JP4503762B2 - 真空処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハ等を真空中で処理する装置に係り、特に真空バルブを介して接する複数の真空チャンバを有する真空処理装置に関する。
【0002】
高集積化・微細化された半導体装置等では、製造工程でのパーティクルの付着は製造歩留りを低下させることになるから、これらの製造装置においては、パーティクルの発生がないことが望まれている。
【0003】
【従来の技術】
複数の真空チャンバがそれぞれ真空バルブを介して接する構造の真空処理装置としては、マルチチャンバ型のスパッタ装置やドライエッチング装置等がある。先ず、このような装置の構成の概略を説明する。図4はマルチチャンバ型真空処理装置の構成を示す模式図である。搬送用真空チャンバ12の周囲に複数の処理用真空チャンバ11とロードロックチャンバ13がそれぞれ真空バルブ14を介して接している。
【0004】
搬送用真空チャンバ12は中に搬送ロボット(図示せず)があって、この搬送ロボットがロードロックチャンバ13から被処理物(以下、ウェーハと記す)を一枚取り出してこれを複数の処理用真空チャンバ11へ順次搬送し、総ての処理が完了した後、このウェーハをロードロックチャンバ13に戻す。
【0005】
真空バルブ14は通常は閉じられており、ウェーハ搬送時に開く。バルブが開く時、その両側のチャンバは共に真空状態である。搬送用真空チャンバ12は常時真空状態であるが、処理用真空チャンバ11は比較的短い周期で定期的に真空を破り、内部の部品交換や洗浄を行う。
【0006】
次に、従来のこの種の真空処理装置における真空バルブの開閉について説明する。図5は従来の真空処理装置のバルブ開閉を示す要部断面図である。(A)図はバルブ開状態、(B)図はバルブ閉状態を示している。図中、1は第1の真空チャンバ、2は第2の真空チャンバ、3は隔壁、4はウェーハを通過させる開口部、5はOリング、6は真空バルブの弁体である。第1の真空チャンバ1と第2の真空チャンバ2は、それぞれ図4における処理用真空チャンバ11と搬送用真空チャンバ12に相当する。隔壁3は開口部4の周囲にOリング5を保持する溝部3aを有する。この溝部3aは多くの場合、Oリング5の脱落を防ぐためにアリ溝(逆テーパの溝)となっている。
【0007】
この真空バルブを閉じる際には、エアシリンダ等のアクチュエータ(図示せず)の駆動力により弁体6がOリング5を押圧してこれを変形させて、開口部4の周囲をシールする。第1の真空チャンバ1を大気圧にした場合でも気密が保たれるように、バルブ閉状態では常に弁体6に強い力をかけてOリング5を大きく変形させる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような真空処理装置では、毎回のウェーハ搬送時の真空バルブ開閉に際してOリングが大きく変形するから、そのたびにOリングが隔壁の溝部や弁体と局部的に摺動してパーティクルを発生する、という問題があった。
【0009】
本発明は、このような問題を解決して、真空バルブ開閉時のOリングからのパーティクルの発生を抑制することができる真空処理装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため、本発明の請求項1においては、第1の真空チャンバと、開口部を有する隔壁を介して該第1の真空チャンバと隣接する第2の真空チャンバと、弁体と弁体駆動手段とを有して該開口部を開閉する真空バルブとを有し、該真空バルブの閉状態では該弁体駆動手段の駆動力により該弁体が該第2の真空チャンバ側からOリングを介して該隔壁を押圧する真空処理装置において、該第1及び第2の真空チャンバ間の圧力差を検出する圧力差検出手段と、該圧力差により該駆動力を加減する弁体駆動力制御手段とを有し、該真空バルブ閉状態での該駆動力が、該第1及び第2の真空チャンバがともに真空状態では該Oリングの変形が相対的に小さく、且つ該第1の真空チャンバの内圧上昇により該Oリングの変形が相対的に大きくなるように制御されることを特徴とする真空処理装置としている。
【0011】
即ち、この真空処理装置では、例えば第1の真空チャンバが処理用真空チャンバで第2の真空チャンバが搬送用真空チャンバの場合、通常の運転時には真空バルブ閉状態でのOリングの変形は比較的小さいからバルブ開閉に伴うパーティクルの発生はほとんどなく、Oリングを大きく変形させるのはメンテナンスの際だけである。従って、この装置での処理においては、真空バルブ開閉に伴って発生するパーティクルに起因する製造歩留り低下を防ぐことができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、前出の図4のように構成されたマルチチャンバ型スパッタ装置の例で、図を参照して説明する。図1は本発明の真空処理装置の構成を示す要部断面図、図2は本発明の真空処理装置のバルブ開閉を示す要部断面図である。図中、1は第1の真空チャンバ、2は第2の真空チャンバ、3は両チャンバ間を仕切る隔壁、4はウェーハを通過させる開口部、5はOリング、6は弁体、7は弁体駆動手段、8は圧力差検出手段、9は弁体駆動力制御手段である。
【0015】
第1の真空チャンバ1と第2の真空チャンバ2は、それぞれ図4における処理用真空チャンバ11と搬送用真空チャンバ12に相当する。Oリング5は隔壁3の開口部4の周囲に設けられた溝部3aに保持されている。溝部3aは多くの場合、Oリング5の脱落を防ぐためにアリ溝(逆テーパの溝)となっている。この隔壁3,Oリング5,弁体6,弁体駆動手段7等が開口部4を開閉する真空バルブを構成している(図4の真空バルブ14に相当する)。この真空バルブはスパッタ材の付着を避けて第2の真空チャンバ側に配設されている。弁体駆動手段7は例えばエアシリンダであり、バルブ閉状態ではこの駆動力により弁体6がOリング5を介して隔壁3を押圧する。
【0016】
圧力差検出手段8は第1の真空チャンバ1と第2の真空チャンバ2の各内圧を測定する圧力計(真空計)8a及び8bを有し、両チャンバの圧力差を検出して信号を弁体駆動力制御手段9に送出する。弁体駆動力制御手段9は例えば圧力制御弁であり、圧力差の信号により弁体駆動手段7の弁体駆動力を加減する。弁体駆動手段7がエアシリンダの場合には、これに供給される高圧空気(又は高圧窒素ガス)の圧力を制御する。
【0017】
この真空処理装置の運転中、ウェーハ搬送時には図2(A)のようなバルブ開状態とするが、通常は図2(B)のようなバルブ閉状態とする。第1の真空チャンバ1と第2の真空チャンバ2はそれぞれ個別に真空排気されて共に真空状態となっており、両チャンバ間には殆ど圧力差はないから、バルブ閉状態に弁体6が受ける力は僅少である。例えば、第1の真空チャンバ1の圧力が2×10-3 Torr(0.27 Pa)、第2の真空チャンバ2の圧力が5×10-8 Torr(7×10-6 Pa)、弁体6の受圧面積が 3×22=66cm2 とすると、第2の真空チャンバ2の圧力はゼロと見なせるから弁体6が第1の真空チャンバ1から受ける力は約 0.2g重となり、弁体6は1kg重程度の力でOリング5を押圧すればよいことになる。即ち、エアシリンダの内径が7cmならばガスの圧力は0.026 kg/cm2 程度でよい。
【0018】
従って、この真空処理装置の運転中のバルブ閉状態(バルブ閉状態1)では、弁体駆動力制御手段9は弁体駆動手段(エアシリンダ)7に供給される高圧空気(又は高圧窒素ガス)の圧力を低くする。その結果、Oリング5と隔壁3及び弁体6とはソフトコンタクトとなり、図2(B)のようにOリング5の変形は小さい。
【0019】
次に、第2の真空チャンバ2を真空に保ったまま第1の真空チャンバ1を大気圧とする場合のバルブ閉状態(バルブ閉状態2)を説明する。この場合には弁体6が第1の真空チャンバ1から受ける力は、弁体6の受圧面積が前述の 66 cm2 ならば 66 Kg重となる。これだけの力に抗して更に気密が保てるようにOリング5を十分に変形させるには、最低 100kg重程度の力でOリング5 を押圧しなければならない。エアシリンダの内径が7cmならばガスの圧力は2.6 kg/cm2 程度必要となる。
【0020】
従って、第1の真空チャンバ1内を大気圧にする際には、圧力差検出手段8が圧力差を検出して信号を弁体駆動力制御手段(圧力制御弁)9に送出し、これにより弁体駆動力制御手段9は弁体駆動手段(エアシリンダ)7に供給される高圧空気(又は高圧窒素ガス)の圧力を高める。その結果、Oリング5と隔壁3及び弁体6とはハードコンタクトとなり、図2(C)のようにOリング5は変形は大きく変形し、気密が保たれる。
【0021】
ところで、この装置は運転中、ウェーハを搬送するたびにバルブ閉状態1/バルブ開状態の開閉が繰り返されるが、Oリング5の変形が小さいからOリング5と隔壁3の溝部3aや弁体6との間の摺動に伴うパーティクルの発生はなく、一方、バルブ閉状態1/バルブ閉状態2の移行に際してはOリング5の変形が大きく、Oリング5と隔壁3の溝部3aや弁体6との間の摺動に伴ってパーティクルの発生があるものの、この移行の頻度が少ないから(例えば、スパッタのターゲット交換ではウェーハ数千枚の処理に対して1回程度)、製造歩留りへの影響はほとんどない。
【0022】
尚、隔壁3の溝部3aのエッジにR付けを施すことにより、バルブ閉状態1/バルブ閉状態2の移行時におけるパーティクルの発生を減らすことができる。
次に、本発明の他の実施の形態を説明する。図3は本発明の他の実施の形態を示す要部断面図である。隔壁3Aには前述の隔壁3における溝部3aはなく、また、Oリング5Aはフラット面5aを有し、断面形状が半円若しくはそれに近い形となっている。このOリング5Aはフラット面5aで接着剤により隔壁3Aのフラットな面に固着されている。これにより、Oリングが大きく変形した場合でも、溝部での摺動がないから、パーティクルの発生はほとんどない。
【0023】
本発明は以上の例に限定されることなく、更に種々変形して実施することができる。例えば、溝部3aが隔壁3にではなく、弁体6に設けられる場合でも、本発明は有効である。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、真空バルブ開閉時のOリングからのパーティクルの発生を抑制することが可能な真空処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の真空処理装置の構成を示す要部断面図である。
【図2】 本発明の真空処理装置のバルブ開閉を示す要部断面図である。
【図3】 本発明の他の実施の形態を示す要部断面図である。
【図4】 マルチチャンバ型真空処理装置の構成を示す模式図である。
【図5】 従来の真空処理装置のバルブ開閉を示す要部断面図である。
【符号の説明】
1 第1の真空チャンバ
2 第2の真空チャンバ
3,3A 隔壁
3a 溝部
4 開口部
5,5A Oリング
5a フラット面
6 弁体
7 弁体駆動手段
8 圧力差検出手段
8a,8b 圧力計
9 弁体駆動力制御手段
11 処理用真空チャンバ
12 搬送用真空チャンバ
13 ロードロックチャンバ
14 真空バルブ
Claims (1)
- 第1の真空チャンバと、開口部を有する隔壁を介して該第1の真空チャンバと隣接する第2の真空チャンバと、弁体と弁体駆動手段とを有して該開口部を開閉する真空バルブとを有し、該真空バルブの閉状態では該弁体駆動手段の駆動力により該弁体が該第2の真空チャンバ側からOリングを介して該隔壁を押圧する真空処理装置において、該第1及び第2の真空チャンバ間の圧力差を検出する圧力差検出手段と、該圧力差により該駆動力を加減する弁体駆動力制御手段とを有し、該真空バルブ閉状態での該駆動力が、該第1及び第2の真空チャンバがともに真空状態では該Oリングの変形が相対的に小さく、且つ該第1の真空チャンバの内圧上昇により該Oリングの変形が相対的に大きくなるように、制御されることを特徴とする真空処理装置。
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