TWI682120B - 在真空室之室壁上關閉一室開口之門 - Google Patents

在真空室之室壁上關閉一室開口之門 Download PDF

Info

Publication number
TWI682120B
TWI682120B TW104141666A TW104141666A TWI682120B TW I682120 B TWI682120 B TW I682120B TW 104141666 A TW104141666 A TW 104141666A TW 104141666 A TW104141666 A TW 104141666A TW I682120 B TWI682120 B TW I682120B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
door
space
rod
housing
movement
Prior art date
Application number
TW104141666A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201634852A (zh
Inventor
湯瑪士 布雷夏
Original Assignee
瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 filed Critical 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司
Publication of TW201634852A publication Critical patent/TW201634852A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI682120B publication Critical patent/TWI682120B/zh

Links

Images

Classifications

    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B5/00—Doors, windows, or like closures for special purposes; Border constructions therefor
    • E06B5/10—Doors, windows, or like closures for special purposes; Border constructions therefor for protection against air-raid or other war-like action; for other protective purposes
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05D—HINGES OR SUSPENSION DEVICES FOR DOORS, WINDOWS OR WINGS
    • E05D15/00—Suspension arrangements for wings
    • E05D15/06—Suspension arrangements for wings for wings sliding horizontally more or less in their own plane
    • E05D15/0604—Suspension arrangements for wings for wings sliding horizontally more or less in their own plane allowing an additional movement
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05D—HINGES OR SUSPENSION DEVICES FOR DOORS, WINDOWS OR WINGS
    • E05D15/00—Suspension arrangements for wings
    • E05D15/56—Suspension arrangements for wings with successive different movements
    • E05D15/58—Suspension arrangements for wings with successive different movements with both swinging and sliding movements
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05F—DEVICES FOR MOVING WINGS INTO OPEN OR CLOSED POSITION; CHECKS FOR WINGS; WING FITTINGS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, CONCERNED WITH THE FUNCTIONING OF THE WING
    • E05F15/00—Power-operated mechanisms for wings
    • E05F15/50—Power-operated mechanisms for wings using fluid-pressure actuators
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B7/00—Special arrangements or measures in connection with doors or windows
    • E06B7/16—Sealing arrangements on wings or parts co-operating with the wings
    • E06B7/22—Sealing arrangements on wings or parts co-operating with the wings by means of elastic edgings, e.g. elastic rubber tubes; by means of resilient edgings, e.g. felt or plush strips, resilient metal strips
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B7/00—Special arrangements or measures in connection with doors or windows
    • E06B7/28—Other arrangements on doors or windows, e.g. door-plates, windows adapted to carry plants, hooks for window cleaners
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/04—Construction of housing; Use of materials therefor of sliding valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/0254—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor being operated by particular means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/30—Details
    • F16K3/314—Forms or constructions of slides; Attachment of the slide to the spindle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
    • F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES E05D AND E05F, RELATING TO CONSTRUCTION ELEMENTS, ELECTRIC CONTROL, POWER SUPPLY, POWER SIGNAL OR TRANSMISSION, USER INTERFACES, MOUNTING OR COUPLING, DETAILS, ACCESSORIES, AUXILIARY OPERATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, APPLICATION THEREOF
    • E05Y2900/00—Application of doors, windows, wings or fittings thereof
    • E05Y2900/10—Application of doors, windows, wings or fittings thereof for buildings or parts thereof
    • E05Y2900/13—Type of wing
    • E05Y2900/132—Doors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)
  • Refrigerator Housings (AREA)
  • Accommodation For Nursing Or Treatment Tables (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

一種相對於一環境空間(45)關閉一真空室(3)之一室壁(2)上之一室開口(4)之門，該真空室位於該環境空間中，該門包括一設於環境空間(45)中之門殼體，一設於環境空間(45)中之關閉環節(5)，及一桿(10)，該關閉環節(5)與該桿連接，而該桿(10)之一第一運動係以桿(10)在其縱軸(11)方向之一滑動形式為之，將關閉環節(5)由一打開位置調整至一中間位置，且接續之桿(10)之一第二運動係以桿(10)在對其縱軸(11)成角度之一方向之一滑移形式及/或桿(10)對一對其縱軸(11)成直角之一樞轉軸(46)之一樞轉形式為之，將關閉環節由中間位置調整至關閉位置。桿(10)經由承載元件在其第一運動及在其第二運動上以可相對於門殼體(25)活動之方式被承載，而承載元件係設於門殼體(25)之一內部空間(30)，該內部空間相對於環境空間(45)密封或經由一穿過門殼體(25)之一殼體壁(40)之通道(41)與環境空間(45)連接，在該通道中設置一粒子過濾器(59)。桿(10)以密封方式被引出門殼體(25)之內部空間(30)，進入環境空間(45)。(圖12)

Description

在真空室之室壁上關閉一室開口之門
本發明係關於一種在一真空室之室壁上關閉一室開口之門，使真空室相對於所在之環境空間隔絕，包括一設於環境空間中之門殼體，一設於環境空間中之關閉環節，該關閉環節可在一調整路徑上由釋放室開口之打開位置調整至關閉室開口之關閉位置，並包括一具有一縱軸之桿，關閉環節與該桿連接，而關閉環節在調整路徑上之調整係經由桿之第一運動及接續之桿之第二運動執行，桿之第一運動係桿在其縱軸方向之一滑動，該第一運動將關閉環節由打開位置調整至一中間位置，且接續之桿之第二運動係桿在對其縱軸成角度方向之一滑動及/或桿對一樞轉軸之一樞轉運動，該樞轉軸對桿之縱軸成直角，而該第二運動將關閉環節由中間位置調整至關閉位置。
真空室之門之作用在於，在門之關閉狀態將真空室之室壁上之一室開口相對於環繞之大氣氣密隔離，俾便在真空室中保持真空。在門之打開狀態可例如將需要加工之基板通過開口置入真空室中。
在重要應用領域，在其中製程需在真空條件下進行，例如在半導體科技或鍍層科技，例如在製造顯示器上，在環 繞真空室之空間中必須為清潔室條件。需加工之基板因而受到防護，不受有害污染粒子之沈積。
在門操作時形成之粒子可能構成問題，粒子會釋入環境。特別危害者係，粒子剛好釋入基板置入真空室所經過之區域。
前述類型之真空門在門關閉時，其關閉環節具有基本L-字形調整路徑，此類型之門由DE 19 633 798 A1、WO 2011/091455 A1，及US 7,611,122 B2可知。門由其打開位置開始執行關閉之方式為，裝設有關閉環節之桿首先軸向滑動(=桿之第一運動)且接著桿對一與其軸線成直角之樞轉軸執行一樞轉運動(=桿之第二運動)。桿安裝成可對門之一基體滑動，以執行桿之第一運動。基體可對樞轉軸相對於真空室之室壁樞轉，以執行桿之第二運動。在首先提到之文獻中設有活塞-缸-單元，產生基體對縱軸之樞轉，其活塞在樞轉軸兩側支撐在室壁上。在其次提到之文獻中在樞轉軸兩側設有管狀、可鼓脹之元件作為驅動器。用此方式能提供構造簡單且成本合宜之門，然而在操作時粒子產生甚大。
由US 6,056,266中可知一門，其門殼體固定裝設於室壁上。一桿可藉由一活塞-缸-單元軸向滑動。在桿上裝設一承載單元，其構成一橫向-活塞-缸-單元之一缸室。關閉環節裝設於此橫向-活塞-缸-單元之活塞桿上。總體亦執行一關閉環節之L-字形運動。經由觸發活塞-缸-單元，其中該橫向-活塞-缸-單元更加直接位於室開口前，使得此門亦產生高粒子負荷。在US 6,899,316 B2中亦公開一種類似之門。
由US 6,916,009 B2中公開一門，其在經過一柵門室之室開口引入基板時，可能達到較小之粒子負荷。關閉環節由其打開位置經由一L-字形調整路徑駛向其關閉位置，在關閉位置上其密封通往室壁之開口。為將關閉環節由其打開位置調整至中間位置，設有第一及第二縱向活塞-缸-單元，各裝設於一殼體部上，且使桿滑動，而關閉環節與桿連接。為將關閉環節由其中間位置調整至關閉位置，藉由橫向-活塞-缸-單元相對於柵門室之室壁調整殼體部。關閉環節與桿之連接經由連接塊為之，該連接塊對桿成直角，通過一遮板之長孔突出。在遮板前一過濾後之氣流被引導通過。經由此設計，粒子負荷雖達到改善前述之門之設計，但對敏感應用仍然太高。
在閥方面，其係用於在二真空室之間或在一真空室與一管段之間密封，關閉環節之L-字形運動以不同方式為人所知。關閉環節係設於一閥殼體內部，且在其關閉位置密封閥殼體之一閥開口。閥殼體之內部，即關閉環節所在之處，係一真空區，且在真空閥打開狀態構成一通過真空閥之穿通道。L-閥在真空閥關閉時首先執行一閥桿之軸向滑移，且接著執行一對此成直角之滑移，L-閥之實例見於US 2014/0131603 A1及US 2011/0175011 A1。具有至少基本L-字形關閉環節運動之真空閥，其在閥桿一軸向滑移後實施一對閥桿縱軸成直角之閥桿傾轉，此類閥之實例見於例如US 6,431,518 B1及US 6,237,892 B1。
本發明之目的在於，提出一種有利之前述類型之門，其特徵為在門開關時釋放之粒子產出極低。本發明係經由一具有申請專利範圍第1項特徵之門而達成。
在根據本發明之門中，桿藉由承載元件安裝成在其第一運動及在其第二運動上可相對於一門殼體活動。此承載元件設於門殼體之內部空間。門殼體之內部空間相對於其位置所在之環境空間密封或經由一穿過門殼體之一殼體壁之一通道與該環境空間連接，在通道中設有一粒子過濾器。桿以密封方式被導引出門殼體之內部空間，進入關閉環節所在之環境空間。
若為門殼體之內部空間相對於門殼體所在之環境空間密封之情況，則在一可能之實施例中可設置成門殼體之內部空間完全封閉，且在門殼體之內部空間內設一膨脹容器，容器內有一膨脹空間，其容積可變。此處可經由膨脹空間容積改變補償門殼體內部空間自由區之容積改變，此改變係關閉環節在打開位置與關閉位置間調整時出現，使得門殼體內部空間之內部壓力在關閉環節於打開位置與關閉位置間調整時不致改變過大，以低於20%為佳。
在另一可能之實施例中該膨脹容器亦可設於門殼體所在之環境空間中，而容積可變之膨脹容器之膨脹空間經由一穿過門殼體一殼體壁之通道與門殼體之內部空間流通。
在又一可能之實施例中，門殼體之內部空間相對於環境空間密封，且經由一穿過門殼體一殼體壁之通道被泵抽吸。可使用一前泵提供抽吸，該前泵在一真空設備中一般都已存在。
根據再一實施例，門殼體之內部空間亦可經由一穿過門殼體一殼體壁之通道與外界空間連接，該外界空間與門殼體所在之環境空間係分隔。外界空間以位於清潔室外為佳，裝設門之真空室位於清潔室內。經由此亦可實現門殼體內部空間相對於環繞門殼體之環境空間(由清潔室構成)之密封。
在本發明之一有利實施例中，至少一氣動活塞-缸-單元連同一由缸伸出之活塞-缸-單元之活塞桿完全設於門殼體之內部空間，亦即，活塞桿之全長位於門殼體之內部空間內，且不經由門殼體之一開口被導引離開門殼體。該至少一氣動活塞-缸-單元之作用在於產生桿之運動，關閉環節係與該桿連接，使關閉環節至少在其調整路徑之一段上運動。最好所有使關閉環節在其調整路徑上運動之氣動活塞-缸-單元連同其活塞桿完全設於門殼體之內部空間。
為將桿以密封方式引出門殼體之內部空間，使之進入環境空間，以設置一伸縮管為佳，偏好一折疊伸縮管(Faltenbalg)，特別係以一隔膜伸縮管或一波紋伸縮管形式設置。
本發明可提供一門，其具有極低之粒子產出，能夠適應清潔室條件之極高要求。根據本發明之門亦能以比較簡單之方式構成。
1‧‧‧門
2‧‧‧室壁
3‧‧‧真空室
4‧‧‧室開口
5‧‧‧關閉環節
6‧‧‧縱向中軸
7‧‧‧密封件
8‧‧‧密封面
9‧‧‧連接件
10‧‧‧桿
11‧‧‧縱軸
12‧‧‧縱向-活塞-缸-單元
13‧‧‧缸
14‧‧‧固定螺絲
15‧‧‧凸起
16‧‧‧活塞桿
17‧‧‧傳動件
18‧‧‧連接部
19‧‧‧凹空
20‧‧‧導引桿
21‧‧‧橫向-活塞-缸-單元
22‧‧‧殼體部
23‧‧‧凹空
24‧‧‧殼體部
25‧‧‧門殼體
26‧‧‧活塞
27‧‧‧活塞桿
28‧‧‧孔
29‧‧‧殼體部
30‧‧‧內部空間
31‧‧‧伸縮管
32‧‧‧穿越孔
33‧‧‧塊(Block)
34‧‧‧穿越孔
34a‧‧‧延伸部
35‧‧‧殼體部
36‧‧‧突柄
37‧‧‧接頭
38‧‧‧接頭
39‧‧‧接頭
40‧‧‧殼體壁
41‧‧‧通道
42‧‧‧管線
43‧‧‧通道
44‧‧‧真空泵
45‧‧‧環境空間
46‧‧‧樞轉軸
47‧‧‧軛
48‧‧‧軸頸
49‧‧‧槽軌
50‧‧‧殼體壁
51‧‧‧殼體壁
52‧‧‧導引件
53‧‧‧軸頸
54‧‧‧導引軌道
55‧‧‧中間壁
56‧‧‧中間壁
57‧‧‧螺旋彈簧
58‧‧‧外界空間
59‧‧‧粒子過濾器
60‧‧‧膨脹容器
61‧‧‧膨脹空間
62‧‧‧通道
63‧‧‧通道
64‧‧‧間隙
以下將根據所附圖式說明本發明其餘優點與細節。圖中顯示： 圖1 一斜視圖，顯示設於一真空室之一室壁上之本發明第一實施例之門，其處於打開狀態；圖2 一斜視圖，以不同視角顯示圖1中設於室壁上之門；圖3 一設於室壁上之門之視圖；圖4及圖5 沿圖3中線條AA及BB所見之截面圖；圖6 一類似圖3之視圖，但處於關閉環節之一中間位置；圖7及圖8 沿圖6中線條CC及DD所見之截面圖；圖9 一類似圖3之視圖，但門處於關閉狀態；圖10、圖11及圖12 沿線條EE、FF及GG所見之截面圖；圖13及圖14 由不同視角所見之門之立體分解圖；圖15a及圖15b 由不同視角所見之門殼體之殼體部之斜視圖；圖16 一設於一室壁上之本發明第二實施例之門之視圖；圖17至圖22 沿圖16中線條HH、II、JJ、KK、LL及MM所見之截面圖；圖23至圖26 類似圖19至圖22之截面圖，但處於關閉環節之中間位置；圖27至圖30 類似圖19至圖22之截面圖，但處於門之關閉狀態；圖31 一斜視圖，顯示第二實施例之門，其中移除一殼體部；圖32至圖35 其他實施例之示意圖。
圖1至圖15顯示本發明之門之第一實施例。門1，其亦可稱為真空門，係裝設於一真空室3之一室壁2上，該室壁僅顯示一部份。室壁2具有一室開口4，當門1處於關閉狀態時，該室開口被門之關閉環節5以真空密封方式關閉。當門1處於打開狀態時，室開口4被釋放，亦即，由室開口4縱向中軸6方向觀之該關閉環節5不再遮蔽室開口4。
門1裝設於真空室3外側，亦即，門1位於環繞真空室3之環境空間45中。在此環境空間中充斥大氣壓力。
當門1處於打開狀態時，設於真空室3外之關閉環節5採取其打開位置，見圖1至圖8。當門1處於關閉狀態時，關閉環節5採取其關閉位置，見圖9至圖12，在該關閉位置其由外按壓在室壁2上。在關閉環節5之關閉位置，一周緣封閉之彈性密封件7按壓在室壁2之一密封面8上，該彈性密封件係裝設於關閉環節5上。密封面8圍繞室開口4。密封件7與密封面8因而係環形，然而在實施例中卻並非圓環形構造。然而特別在室開口4及關閉環節5為圓形輪廓時，圓形構造係可想而知且可行。密封面8位於室壁2外側上，該外側鄰接環境空間45。密封件7在一修改之設計中亦可裝設於室壁2上，並圍繞室開口4，且在門1之關閉狀態接著在關閉環節5之一密封面上。密封件在此時係裝設於室壁2之外側，而室壁之外側鄰接環境空間45。
門1在室壁2上之固定係經由門殼體25在室壁2上之固定而實現。
關閉環節5由打開位置調整至關閉位置，及返回，各係經由一中間位置，該位置顯示於圖6至圖8中。由室開口4之 縱向中軸6方向觀之，該關閉環節5在中間位置遮蔽室開口4，但密封件7與密封面8仍有距離。
關閉環節5經由一連接件9裝設於一桿10上。關閉環節5在打開位置及關閉位置間之調整係經由桿10之一運動。為使關閉環節在其打開位置與其中間位置間調節，桿10軸向，亦即在其縱軸11方向線性滑動(直線平行滑動)。為使關閉環節5在其中間位置與其關閉位置間調節，桿10在此實施例中對其縱軸11直角線性滑動(直線平行滑動)，俾便關閉環節5在室開口4之縱向中軸6方向接近具有室開口4之室壁2，直至密封件7按壓在密封面8上。因而整體係執行一關閉環節5之L-字形運動。
雖然對桿10之縱軸11成直角滑動有利，便於關閉環節5由中間位置滑至關閉位置，然而角度≠90°亦可想而知且可行，其對90°之偏離以少於45°為佳。滑動方向因而由對室開口4之縱向中軸6平行之位置偏離一對應角度。平行滑動之方向在關閉環節5之調整路徑上在中間位置與關閉位置之間亦可改變。關閉環節5之此種運動，亦即在中間位置與關閉位置之間以一偏離90°之角度執行運動，亦稱為關閉環節之「J-字形運動」。根據另一可能之設計，關閉環節在中間位置與關閉位置間之調整亦可經由桿10對一與桿10縱軸11成直角及對室開口4之縱向中軸6成直角之一樞轉軸之樞轉為之，將在以下根據本發明之第二實施例一並詳細說明。桿10對其縱軸11成角度之一平行滑動與桿10對一對其縱軸11成直角之樞轉軸之樞轉，兩者重疊之作法，亦屬可想而知及可行。經由此作法亦可達到關閉環節5之至少基本為L-字形之運動。
因而關閉環節由打開位置至關閉位置之調整係經由桿10之第一運動及接續之桿10之第二運動而實施，在該第一運動中，桿10軸向滑動，在該第二運動中，桿在一對其縱軸11成角度，例如成直角之方向滑動及/或對一對其縱軸成角度之樞轉軸樞轉。關閉環節由關閉位置至打開位置之調整係經由桿10以相反順序及相反方向執行該二運動而達成。
在桿10之軸向滑動上，為使其執行桿10之第一運動(及因而關閉環節在打開位置與中間位置間之滑動)，使用氣動活塞-缸-單元作為驅動器，以下稱為縱向-活塞-缸-單元12。各縱向-活塞-缸-單元12皆具有一缸13，該缸具有一缸室及一設於缸室中之活塞。
縱向-活塞-缸-單元12之活塞桿16在桿10之縱軸11方向不可滑動(亦即在此方向為剛性)，在對桿10之縱軸11成角度之方向，在實施例中為直角方向，亦即桿10之第二運動實施之方向，以可活動之方式與一在所有方向與桿10剛性連接之傳動件17連接。活塞桿16為此裝設於連接部18上，該連接部依機架方式相對於傳動件17在桿10之第二運動方向可滑動。
傳動件17具有凹空19，在其中設有導引桿20。凹空19在實施例中設計成部分圓柱形，且朝傳動件17邊緣方向開放，並在導引桿20周緣超過180°包圍設於其中之、在截面為圓形之導引桿20。經由此，該傳動件17在桿10之縱軸11方向相對於導引桿20可滑動，但在桿10之第二運動方向相對於導引桿20卻以不可滑動之方式被保持。亦可設置例如鳩尾形凹空取代所示之凹空19，在其中設置具有後切(hinterschnitten)之導引桿板。
缸13與門殼體25之一殼體部22剛性連接，以下將有詳細說明。
其他不同於所示之活塞桿16與桿10間之活動連接亦屬可想而知及可行。同樣，相反設置，令缸13與活塞桿16連接而活塞與門殼體25連接，亦屬可想而知及可行。基本上亦可僅設一縱向-活塞-缸-單元12，而非二縱向-活塞-缸-單元12，或亦可設置多於二縱向-活塞-缸-單元12。
桿10對其縱軸11成角度滑動，以成直角滑動為佳，俾便執行桿10之第二運動及關閉環節5在中間位置與關閉位置間之調整，為此，使用氣動活塞-缸-單元21作為驅動器，在以下稱此為橫向-活塞-缸-單元21。橫向-活塞-缸-單元21之缸室被整合在門殼體25內。門殼體25之殼體部22為此具有對應之凹空23，構成缸室且被遮蓋部24關閉。橫向-活塞-缸-單元21之活塞26被容納在此缸室內。其活塞桿27以密封方式(藉由彈性密封件)穿過在殼體部22之中間壁之孔28且與導引桿20剛性連接。活塞與活塞桿27被缸室之壁及被殼體部22之中間壁在桿20之第二運動方向以可滑動之方式承載。
橫向-活塞-缸-單元21之其他設計及/或組合係屬可想而知及可行，而橫向-活塞-缸-單元21之缸亦可為與門殼體25分離之部件。亦可僅設置一橫向-活塞-缸-單元21或設置多於二橫向-活塞-缸-單元21。
在將門由其打開狀態關閉時，首先桿10藉由縱向-活塞-缸-單元12軸向滑移，而該傳動件17被導引桿20在桿10之縱軸11方向線性滑動導引。當關閉環節5抵達中間位置時，傳動件 17及隨之桿10經由橫向-活塞-缸-單元21之觸發對縱軸11成角度滑動，以成直角滑動為佳，執行桿之第二運動，經由此，關閉環節5由中間位置被調整至關閉位置。
傳動件17及導引桿20因而構成承載元件，桿10在其第一運動中被此承載元件以可相對於門殼體25活動之方式承載。缸室之壁、在殼體部22之中間壁之孔28、活塞26及橫向-活塞-缸-單元21之活塞桿27構成承載元件，桿10在其第二運動中被這些承載元件以可相對於門殼體25活動之方式承載。
在殼體部22凹空23之對立側之殼體部22設計成托盤形，且被一板形殼體部29關閉。
殼體部22具有一在桿10縱向延伸之穿越孔34，其被另一板形殼體部35關閉。此穿越孔34容納桿10遠離關閉環節5之端部。在門之關閉狀態，桿10之側向突柄36(Fortsatz)在朝向室壁2之側支撐在延伸部34a之邊緣上，該延伸部在側向具有穿越孔34。
一附著在桿10端部之桿10段延伸通過殼體部22之另一穿越孔32，該穿越孔亦在桿10之縱向延伸方向，桿10在該附著段之端部與關閉環節5連接。
殼體部22、24、29、35由位於其間之密封件互相密封。
經由殼體部22之外壁及殼體部24、29及35構成一門殼體25，其包圍出一內部空間30。承載元件位於此內部空間30中，桿在其第一運動及在其第二運動中被這些承載元件以可相對於門殼體25活動之方式承載。
桿10在以抗粒子逸出之密封方式下被導引離開門殼體25之內部空間30，進入包圍門殼體25之環境空間45。為此目的，使用一(在圖示中未詳細顯示其全長之)伸縮管31，其例如係以折疊伸縮管(Faltenbalg)之形式構成，特別是隔膜伸縮管。使用以其他方式構成之伸縮管，例如波紋伸縮管，係屬可想而知及可行。伸縮管31在一端部與桿10連接，而在另一端部與殼體部22連接，明確而言，係在桿10之穿越孔32區域連接。門殼體25之內部空間係由位於伸縮管31與桿10間之中間空間，一直持續至位於伸縮管31與桿10間之連接區域。
縱向-活塞-缸-單元12包括其活塞桿16在其全部伸展長度上，及橫向-活塞-缸-單元21包括其活塞桿27在其全部伸展長度上，皆位於門殼體25之內部空間30。
壓縮空氣向活塞-缸-單元12、21之進流係經由接頭37、38。通往對應缸室之通道可由鑽孔例如在殼體部22中者及/或由軟管及/或由硬管構成。此壓縮空氣至活塞-缸-單元12、21之進流在圖中為清楚起見並未顯示，同樣未顯示者尚有確保活塞-缸-單元12、21動作正確運行之如控制閥及位置檢出器。相應之順序控制係屬習知。
此外存在一接頭39，通往一穿過一殼體壁40之通道41，該通道與門殼體25之內部空間30流通。在門之操作狀態在此接頭上連接一管線42，其接在一真空泵44上。管線42及真空泵44僅在圖3與圖12中以示意法標出。門殼體25之內部空間30因而經由通道41及被管線42導引之通道43被泵抽吸。
門殼體25之內部空間30對包圍門殼體25之環境空間45密封。門殼體25之內部空間30內之自由容積之改變，該改變係經由門打開及關閉時部件位置改變而產生，特別係經由伸縮管31之拉伸與壓縮產生，能在不產生超過大氣壓力之過壓情況下發生，這是由於內部空間30處於真空。
門殼體25具有一接著區，在其固定於室壁2之狀態下門殼體在該區接著於室壁上。此接著區位於固定螺絲14附近，且由殼體部22之凸起15構成。在此凸起區殼體部29可具有凹空。門殼體25在一由固定螺絲14相對於接著區更加遠離之區域經由一間隙64與室壁2保持距離。
經由門殼體之變形，產生相對於室壁2之微小位置改變，此微小改變主要出現於一遠離固定螺絲14之區域，導致較少粒子產生，少於門殼體25連續接著在室壁2上之設計。
本發明之第二實施例顯示於圖16至圖31。除以下說明之不同外，第二實施例之設計對應於第一實施例，且對第一實施例之說明與可能之修改對第二實施例亦成立。
第二實施例相對於第一實施例主要不同在於，桿10之第二運動係桿10對一樞轉軸46之樞轉，而該樞轉軸對桿10成直角。此例中縱向-活塞-缸-單元12在桿10兩側接觸在一軛47上，該軛在桿10上安裝成可在桿10之縱軸11方向滑動。軛47具有側向突出之軸頸48，被導引在槽軌49中，該槽軌設於殼體壁50、51之內側。
一導引件52固定在桿10上，其具有兩側突出之軸頸53，該軸頸齧入在門殼體25內部在中間壁55、56之導引軌道54。在導引件52與軛47之間有一環繞桿10之螺旋彈簧57。
為調整關閉環節，使之由打開位置(圖16至圖22)經中間位置(圖23至圖26)，進入關閉位置(圖27至圖30)，使用設於門殼體25內部空間30之縱向-活塞-缸-單元12。此單元推動軛47使其滑動，而軛47之運動經由螺旋彈簧57傳遞至導引件52。其間導引件52之軸頸53沿直線延伸之導引軌道54運動，而軛47之軸頸48沿槽軌49直線延伸之段運動，直至關閉環節5抵達中間位置。在關閉環節5抵達中間位置時，軸頸53抵達導引軌道54之端部，使得導引件52之進一步運動受到禁制。軛47經由縱向-活塞-缸-單元12繼續在相同方向運動，在壓縮螺旋彈簧57情況下相對於桿10滑動。此處軛47之軸頸48沿槽軌49彎曲延伸之段運動，此特別係由圖21及圖25可看出，經由此，桿10對樞轉軸46樞轉，直至關閉環節5抵達關閉位置。
在此實施例中，軸頸48、槽軌49、軸頸53，及導引軌道54構成承載元件，經由這些承載元件桿10在其第一運動及在其第二運動上以可相對於門殼體25運動之方式被承載。
軛47亦可剛性固定在桿10上，並因而可省去螺旋彈簧57。槽軌49之彎曲走勢在軸頸30抵達導引軌道54之端部前即已開始。此可構建出關閉環節之一J-字形運動。
關閉環節之一J-字形運動亦可無需桿10樞轉而達到，其方式為，槽軌49及導引軌道54皆具有走勢斜向室壁2方向之端部段。以例如類似於在第一實施例中所說明之方式應可實現 軛42與縱向-活塞-缸-單元12之活塞桿之間在平行於室開口4縱向中軸6方向上之運動。
其他構成關閉環節5之L-字形或J-字形運動之機構亦屬可想而知及可行。此類機構由設於閥殼體內之關閉環節具有L-字形或J-字形運動之真空閥方面為人所知。
亦可不用泵抽排門殼體25之內部空間30，而可使用一穿過殼體壁之通道41，經過一硬管線或軟管線之內部通道43亦與一外界空間58連接，該外界空間與環繞門殼體25之環境空間45隔離，如圖32所示意。此處門殼體25之內部空間30仍對環境空間45密封。
根據在圖33中以示意方式顯示之又一可能之實施例，內部空間30雖然對環境空間45不密封，但與環境空間45僅經由一穿過門殼體25之一殼體壁40之通道41連接，在通道中設有一粒子過濾器59。當門1由其關閉狀態打開時，經由內部空間30之容積改變，特別係由於伸縮管31之壓縮，空氣經由通道41由內部空間30被排出。空氣之粒子負荷此處經由粒子過濾器59至少顯著降低。此外殘餘之粒子被釋放至一相當遠離室開口4之區域。
在圖34中以示意方式顯示又一實施例。在此實施例中，門殼體25之內部空間30完全封閉(封裝起來)。為能容納門打開及關閉時之容積變化，使內部空間30之壓力不致過度強烈改變，在此實施例中在門殼體25之內部空間中設一膨脹容器60。該膨脹容器具有一膨脹空間61，其容積可改變。為此在實施例中該膨脹容器60係依照一可膨脹之氣球方式構成。膨脹空間61經由一 通道62與環境空間45連接。該膨脹容器可例如具有一非彈性之活動壁。
膨脹容器60亦可設於門殼體25之外，且經由一通道63與門殼體25之內部空間30連接，請參閱示意之圖35。除此之外門殼體25之內部空間30完全封閉。
3‧‧‧真空室
4‧‧‧室開口
5‧‧‧關閉環節
10‧‧‧桿
13‧‧‧缸
14‧‧‧固定螺絲
15‧‧‧凸起
22‧‧‧殼體部
30‧‧‧內部空間
31‧‧‧伸縮管
39‧‧‧接頭
40‧‧‧殼體壁
41‧‧‧通道
42‧‧‧管線
43‧‧‧通道
44‧‧‧真空泵
64‧‧‧間隙

Claims (6)

  1. 一種相對於一環境空間(45)關閉一真空室(3)一室壁(2)上之一室開口(4)之門，該真空室位於該環境空間中，該門包括一設於環境空間(45)中之門殼體(25)，一設於環境空間(45)中之關閉環節(5)，該關閉環節經由一調整路徑可由一釋放室開口(4)之打開位置調整至一關閉室開口(4)之關閉位置，及一具有一縱軸(11)之桿(10)，關閉環節(5)與該桿連接，而關閉環節(5)在調節路徑上之調節係經由桿(10)之一第一運動及接續之桿(10)之第二運動為之，且桿(10)之該第一運動係桿(10)在其縱軸(11)方向之一滑動，將關閉環節(5)由打開位置調整至中間位置，而接續之桿(10)之該第二運動係桿(10)在對其縱軸(11)成角度之一方向之一滑移及/或桿(10)對一對其縱軸(11)成直角之一樞轉軸(46)之一樞轉，將關閉環節由中間位置調整至關閉位置，其特徵為，桿(10)經由承載元件在其第一運動及在其第二運動上以可相對於門殼體(25)活動之方式被承載，而將桿(10)承載成在桿之第一運動及在其第二運動上可相對於門殼體(25)活動之承載元件係設於門殼體(25)之一內部空間(30)，其中該內部空間(30)相對於環境空間(45)密封及 該內部空間(30)完全封閉且在內部空間(30)中設一具有一內部膨脹空間(61)之膨脹容器(60)，該膨脹空間之容積可改變，或在門殼體(25)所在之環境空間(45)中設有一膨脹容器(60)，其具有一內部膨脹空間(61)，其容積可變，且其經由一穿過門殼體(25)之一殼體壁之通道與門殼體(25)之內部空間(30)連接，或該門殼體(25)之內部空間(30)經由一穿過門殼體(25)之一殼體壁(40)之通道(41)被用泵抽排，或該門殼體(25)之內部空間(30)經由一穿過門殼體(25)之一殼體壁(40)之通道(41)與一外界空間(58)連接，該外界空間與環境空間(45)隔離，而門殼體(25)係位於該環境空間中，或其中該內部空間(30)經由一穿過門殼體(25)之一殼體壁(40)之通道(41)與環境空間(45)連接，在該通道中設置一粒子過濾器(59)，及在於，桿(10)以密封方式被引出門殼體(25)之內部空間(30)，進入環境空間(45)。
  2. 根據申請專利範圍第1項所述之門，其特徵為，至少一氣動活塞-缸-單元(12、21)完全設於門殼體(25)之內部空間(30)中，該單元具有一活塞(15、26)，活塞上裝設一活塞桿(16、27)。
  3. 根據申請專利範圍第2項所述之門，其特徵為，桿(10)之該第一運動及桿(10)之該第二運動皆可由該氣動活塞-缸- 單元(12、21)驅動，該單元具有活塞(15、26)且在活塞(15、26)上裝設有活塞桿(16、27)，而所有驅動桿(10)之活塞-缸-單元(12、21)皆完全設於門殼體(25)之內部空間(30)中。
  4. 根據申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之門，其特徵為，在該關閉環節(5)上設一周緣封閉之密封件(7)，其在關閉環節(5)之關閉位置按壓在環繞室開口(4)之一密封面(8)上，或在該關閉環節(5)上設一周緣封閉之密封面，其在關閉環節(5)之關閉位置按壓在一設於室壁(2)上之、環繞室開口(4)之一密封件上。
  5. 根據申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之門，其特徵為，桿(10)藉由一伸縮管(31)以密封方式由門殼體(25)之內部空間(30)被向外引出。
  6. 根據申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之門，其特徵為，門殼體(25)在其經由固定螺絲(14)可固定在室壁(2)上之一區域具有凸起(15)，用以接著在室壁(2)上，且在一與此相較遠離固定螺絲(14)之區域設計成在門殼體(25)與室壁(2)間形成一相對於凸起(15)凹陷之間隙(64)。
TW104141666A 2014-12-19 2015-12-11 在真空室之室壁上關閉一室開口之門 TWI682120B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT9202014 2014-12-19
ATA920/2014 2014-12-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201634852A TW201634852A (zh) 2016-10-01
TWI682120B true TWI682120B (zh) 2020-01-11

Family

ID=54780336

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104141666A TWI682120B (zh) 2014-12-19 2015-12-11 在真空室之室壁上關閉一室開口之門

Country Status (7)

Country Link
US (1) US10184291B2 (zh)
JP (1) JP6679594B2 (zh)
KR (1) KR102396227B1 (zh)
CN (1) CN107110402B (zh)
MY (1) MY190405A (zh)
TW (1) TWI682120B (zh)
WO (1) WO2016096471A1 (zh)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016155976A1 (de) * 2015-03-27 2016-10-06 Vat Holding Ag Vakuumventil
CN107575641B (zh) * 2017-10-10 2023-12-29 深圳市大成精密设备股份有限公司 一种先导式真空阀门
CN109972943B (zh) * 2019-04-26 2024-01-23 爱发科真空技术（苏州）有限公司 一种门开闭位置锁住机构
CN110364467A (zh) * 2019-06-13 2019-10-22 上海提牛机电设备有限公司 空气阻隔装置、晶圆上料设备与空气阻隔控制方法
DE102019133555A1 (de) * 2019-12-09 2021-06-10 Vat Holding Ag Vakuumventil oder Vakuumtür
CN113464009B (zh) * 2021-08-06 2023-03-31 佛山市博顿光电科技有限公司 镀膜机开关门装置、系统，开关门控制方法以及镀膜机
KR20230059635A (ko) * 2021-10-26 2023-05-03 삼성전자주식회사 밸브 구조체 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR102574233B1 (ko) * 2023-03-14 2023-09-04 주식회사 에스알티 U motion 게이트밸브

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030136343A1 (en) * 2002-01-18 2003-07-24 Shen Tsung-Lin Apparatus for sealing a vacuum chamber
DE102008051349B3 (de) * 2008-10-15 2009-11-12 Vat Holding Ag Vakuumventil
US20110089354A1 (en) * 2009-10-15 2011-04-21 Smc Corporation Gate valve

Family Cites Families (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH086843B2 (ja) * 1991-10-15 1996-01-29 エスエムシー株式会社 無発塵ゲートバルブ
DE19633798A1 (de) 1996-08-22 1998-02-26 Vat Holding Ag Einrichtung zum Verschließen einer Öffnung in einem Behälter oder in einer Rohrleitung
DE19746241C2 (de) 1997-10-20 2000-05-31 Vat Holding Ag Haag Einrichtung zum Verschließen einer Öffnung
US6095741A (en) * 1999-03-29 2000-08-01 Lam Research Corporation Dual sided slot valve and method for implementing the same
DE60012428T2 (de) 1999-06-14 2005-07-28 Smc K.K. Schieber
JP4503762B2 (ja) * 2000-02-09 2010-07-14 富士通セミコンダクター株式会社 真空処理装置
US6237892B1 (en) 2000-02-18 2001-05-29 V Tex Corporation Gate valve
US6390448B1 (en) * 2000-03-30 2002-05-21 Lam Research Corporation Single shaft dual cradle vacuum slot valve
US6431518B1 (en) 2001-01-11 2002-08-13 Vat Holding Ag Vacuum valve
JP4304365B2 (ja) * 2002-12-16 2009-07-29 Ｓｍｃ株式会社 ゲートバルブ
US6899316B2 (en) 2003-04-16 2005-05-31 Vat Holding Ag Closure device for vacuum closure of at least one opening in a wall
US7086638B2 (en) * 2003-05-13 2006-08-08 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for sealing an opening of a processing chamber
JP2004360754A (ja) * 2003-06-03 2004-12-24 Nippon Valqua Ind Ltd 真空用ゲート弁
US6916009B2 (en) 2003-07-14 2005-07-12 Vat Holding Ag Load-lock device for introducing substrates into a vacuum chamber
US7841582B2 (en) * 2004-06-02 2010-11-30 Applied Materials, Inc. Variable seal pressure slit valve doors for semiconductor manufacturing equipment
KR101474786B1 (ko) * 2006-05-05 2014-12-22 배트 홀딩 아게 진공밸브 구동장치
KR20070113122A (ko) * 2006-05-24 2007-11-28 배트 홀딩 아게 벽 내의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치
DE102007059039A1 (de) * 2007-12-06 2009-06-18 Vat Holding Ag Vakuumventil
DE102008049353A1 (de) 2008-09-29 2010-04-08 Vat Holding Ag Vakuumventil
SG182472A1 (en) 2010-01-29 2012-08-30 Vat Holding Ag Door for sealing an opening
JP5926694B2 (ja) * 2011-02-08 2016-05-25 東京エレクトロン株式会社 基板中継装置，基板中継方法，基板処理装置
JP5806827B2 (ja) * 2011-03-18 2015-11-10 東京エレクトロン株式会社 ゲートバルブ装置及び基板処理装置並びにその基板処理方法
JP5533839B2 (ja) * 2011-11-04 2014-06-25 Ｓｍｃ株式会社 無摺動型ゲートバルブ
KR101293590B1 (ko) * 2011-12-16 2013-08-13 주식회사 뉴파워 프라즈마 양방향 게이트 밸브 및 이를 구비한 기판 처리 시스템
KR101375280B1 (ko) * 2012-04-06 2014-03-17 프리시스 주식회사 게이트 밸브
KR101376045B1 (ko) * 2012-04-06 2014-03-18 프리시스 주식회사 게이트 밸브
US9086173B2 (en) 2012-07-19 2015-07-21 Vat Holding Ag Vacuum valve
KR101384965B1 (ko) * 2012-07-23 2014-04-14 에스엔유 프리시젼 주식회사 경사 구동을 이용하는 게이트 밸브
US8960641B2 (en) 2012-11-14 2015-02-24 Vat Holding Ag Vacuum valve
EP2749798B1 (de) * 2012-12-27 2016-03-02 VAT Holding AG Vakuumschieberventil
JP5963091B2 (ja) * 2013-07-10 2016-08-03 Smc株式会社 無摺動型ゲートバルブ
CN106062942A (zh) * 2014-03-18 2016-10-26 Vat 控股公司 阀杆
JP6160923B2 (ja) * 2014-04-30 2017-07-12 Smc株式会社 ゲートバルブ
US9752703B2 (en) * 2014-05-29 2017-09-05 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus to reduce shock in a slit valve door
TWI705212B (zh) * 2016-01-19 2020-09-21 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 用於對壁中開口進行真空密封的密封裝置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030136343A1 (en) * 2002-01-18 2003-07-24 Shen Tsung-Lin Apparatus for sealing a vacuum chamber
DE102008051349B3 (de) * 2008-10-15 2009-11-12 Vat Holding Ag Vakuumventil
US20110089354A1 (en) * 2009-10-15 2011-04-21 Smc Corporation Gate valve

Also Published As

Publication number Publication date
CN107110402B (zh) 2019-10-25
JP6679594B2 (ja) 2020-04-15
CN107110402A (zh) 2017-08-29
JP2018501443A (ja) 2018-01-18
KR20170097038A (ko) 2017-08-25
MY190405A (en) 2022-04-21
US20170328125A1 (en) 2017-11-16
TW201634852A (zh) 2016-10-01
WO2016096471A1 (de) 2016-06-23
KR102396227B1 (ko) 2022-05-09
US10184291B2 (en) 2019-01-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI682120B (zh) 在真空室之室壁上關閉一室開口之門
JP5533839B2 (ja) 無摺動型ゲートバルブ
JP5963091B2 (ja) 無摺動型ゲートバルブ
JP2007078175A (ja) 流路の気密封止バルブ
JP6860282B2 (ja) バルブ
US9599233B2 (en) Gate valve
JP5746412B2 (ja) バルブの運転方法
KR20170087033A (ko) 벽 안의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치
TWI679365B (zh) 真空閥
JP6160924B2 (ja) ゲートバルブ
KR101099571B1 (ko) 진공 게이트밸브
TWI527982B (zh) 利用傾斜驅動的閘門閥
WO2014174926A1 (ja) ゲートバルブ
JP2018132187A (ja) 真空バルブ
JP2007170437A (ja) 真空用ゲート弁
TWI779036B (zh) 具有一第一室及至少一第二室之裝置
JP2006046489A (ja) 真空用ゲート弁
KR101758802B1 (ko) 게이트 밸브의 프로텍션 장치
JP2006234085A (ja) 真空バルブ
KR20160062789A (ko) 진공밸브
TW201730465A (zh) 具連桿傳動之真空角閥
JP4470201B2 (ja) ゲートバルブ
JP2001355745A (ja) ゲートバルブ
KR20220080086A (ko) 밸브를 갖는 배열체