JP2006046489A - 真空用ゲート弁 - Google Patents

Abstract

【課題】 インフラートシール部材に圧縮空気の供給、吸引という煩雑な制御を同時に行う必要がなく、また弁板が弁箱本体の周囲に衝突してＯリングなどに損傷を与えることがなく、配設向きも限定されず、さらには、インフラートシール部材の容量を小型化することができる真空用ゲート弁を提供する。
【解決手段】 弁板の両側に一対のＯリング部材４０ａ，４０ｂと、インフラートシール部材４２ａ，４２ｂとを、それぞれ対称位置に配設し、これらのインフラートシール部材４２ａ，４２ｂ内の圧縮空気に差圧を生じさせることにより、弁板２４を所定の方向に移動させるようにした。
【選択図】 図２

Description

本発明は、例えば、半導体製造装置等において、真空室と外部雰囲気との間、または真空室相互間に設けられる真空用ゲート弁に関する。

シリコンウェハなどの半導体製造、薄膜製造、液晶製造などにおいては、クリーンな環境下、高い真空中で、スパッタリング、プラズマエッチングなどのデバイスの成膜処理が行われている。

これらの製造装置において、例えば、真空室と外部雰囲気との間、または真空室相互間で、各チャンバ間を開放または閉止するために、真空用ゲート弁が使用されている。このような真空用ゲート弁は、ワンアクションタイプとツーアクションタイプとに大別することができる。

ワンアクションタイプの真空用ゲート弁は、弁板が直線的に移動する単一の移動によりゲート開口部を封止する構造を備えたもので、ツーアクションタイプのゲート弁は、弁板が直線的に移動した後に、この動きと直交する方向に移動方向を変えることにより、ゲート開口部を封止する構造を備えている。

一方、ツーアクションタイプのゲート弁の中には、ピストンシリンダ装置などの駆動装置により、弁板を直線的に移動させた後に、例えば、インフラートシールのような膨張部材を膨張させることにより、これと直交する方向に弁板を移動させるようにした機構が本出願人により提案されている（例えば特許文献１）。

図８は、特許文献１に採用されたツーアクションタイプの真空用ゲート弁を示したものである。
この真空用ゲート弁１０では、図示しないピストンシリンダ装置などにより、図の左右方向に移動する断面略矩形状の弁板１４の一方の主面にＯリング６０が介装され、他方の主面に圧縮空気の導入により内部空間が膨張するインフラートシール部材５６が介装されている。またＯリング６０の環状の配設域外方には、Ｏリング６０と弁箱本体１２の一方の側壁１２ｂとの密着を解除するために、シール解除部材５８が配置され、このシール解除部材５８も、インフラートシール部材５６と略同様の構造を有している。

そして、弁板１４が図８における左方から矢印で示したように直線方向に移動して、第１の部屋１１と第２の部屋１３との間を遮る位置に到達した後に、インフラートシール部材５６に圧縮空気を導入することにより、インフラートシール部材５６の内部空間が膨張し、これにより弁板１４が図８の上方、すなわち、弁箱本体１２の一方の側面１２ｂ側に向かって移動する。これにより、例えば、断面円形のＯリング６０が弁箱本体１２の一方の側壁１２ｂに当接する。この当接状態は、インフラートシール部材５６内に導入された圧縮空気の圧力により維持される。したがって、Ｏリング６０によるシール機能によって第１の部屋１１と第２の部屋１３との間が封止される。

一方、第１の部屋１１と第２の部屋１３との間の封止を解除するには、Ｏリング６０を一方の側壁１２ｂに圧接させた状態で、Ｏリング６０と同じ側に設けたシール解除部材５８内に圧縮空気を導入し、これと当時に、反対側のインフラートシール部材５６から圧縮空気を吸引すれば良い。すると、シール解除部材５８内が膨張するとともにインフラートシール部材５６が収縮し、シール解除部材５８が側壁１２ｂを押圧することにより、Ｏリ
ング６０が側壁１２ｂから離反し、これにより、Ｏリング６０による封止が解除される。このとき、弁板１４は弁箱本体１２の一方の側壁１２ｂと他方の側壁１２ａとの間の中立位置に移動する。

この状態から図示しないピストンシリンダ装置により弁板１４を、図の左方すなわち矢印方向と反対方向に直線的に移動させれば、第１の部屋１１と第２の部屋１３間、すなわち弁箱本体１２の側壁１２ａ、１２ｂ間のゲート開口部を完全に開とすることができる。
特願２００３−４０３０９９号

ところで、上記特許文献１の真空用ゲート弁１０では、例えば、Ｏリング６０を側壁１２ｂに圧接させる場合に、インフラートシール部材５６内に圧縮空気を導入すると同時に、シール解除部材５８内から圧縮空気を吸引しなければならない。逆に、Ｏリング６０を側壁１２ｂから離反させる場合には、シール解除部材５８に圧縮空気を導入すると同時に、インフラートシール部材５６から圧縮空気を吸引しなければならない。

このように、ゲート開口部の開閉のために圧縮空気の供給および吸引を同時に行うことは、極めて煩雑である。
また、インフラートシール部材５６およびシール解除部材５８を膨張または収縮させる場合に、これらの膨張および収縮が確実に行われていないと、収縮したときの弁板１４の位置が側壁１２ａ，１２ｂ間の中立位置からずれてしまう場合がある。仮に、弁板１４が側壁１２ａ、１２ｂ間の中立位置からずれた状態で、その後、シリンダピストン装置などにより直線的に図の左方に移動させると、弁板１４が弁箱本体１２に接触してしまう。このような場合には、Ｏリング６０を損傷させる虞がある。

さらに、このような真空用ゲート弁１０では、シール部材として機能するＯリング６０が、第１の部屋１１側の一方の主面にしか配置されていないので、ゲート弁を配設する場合に、その配設向きを考慮しなければならない。

一方、Ｏリング６０により第１の部屋１１が封止された状態で、弁板１４を押し返そうとする力が第１の部屋１１側から作用したとき、この逆圧に耐えるには、インフラートシール部材５６がその逆圧以上の推力を発揮しなければならない。その場合には、インフラートシール部材５６の容量（面積）を大きくしなければならない。

本発明は、このような実情に鑑み、インフラートシール部材などの膨張部材に圧縮空気の供給、吸引という煩雑な制御を同時に行う必要がなく、また弁板が弁箱本体の周囲に衝突してＯリングなどに損傷を与えることがなく、配設向きも限定されず、さらには、インフラートシール部材の小型化に寄与する真空用ゲート弁を提供することを目的としている。

本発明に係る真空用ゲート弁は、
駆動手段の駆動により直線的に移動する略矩形状の弁板を備えた弁箱を、第１の部屋と第２の部屋との間に配置するとともに、
前記弁箱の互いに対向する一対の側壁間に貫通して形成されたゲート開口部内に、前記駆動手段で移動されてきた前記弁板が、前記第１の部屋と前記第２の部屋との間を遮るように配置された後、中立位置から前記第１の部屋側に接近する方向、または中立位置から前記第２の部屋側に接近する方向にそれぞれ移動することにより、前記第１の部屋が第１のシール部材に、前記第２の部屋が第２のシール部材によりそれぞれ封止されるゲート弁
であって、
前記弁板の一方の主面に第１のシール部材を、前記弁体の他方の主面に第２のシール部材をそれぞれ配置するとともに、
前記第１のシール部材を前記第１の部屋に圧接させる第１の膨張部材と、前記第２のシール部材を前記第２の部屋に圧接させる第２の膨張部材とが対称位置に配置され、
前記第１の膨張部材内の圧力を前記第２の膨張部材内の圧力よりも相対的に高く設定することにより、前記弁板を前記第２の部屋側に移動させるとともに、
前記第１の膨張部材内の圧力を前記第２の膨張部材内の圧力よりも相対的に低く設定することにより、前記弁板を前記第１の部屋側に移動させるようにしたことを特徴としている。

係る構成による本発明によれば、弁板に具備された第１の膨張部材および第２の膨張部材間に差圧を発生させれば、その差圧により弁板を移動させることでき、これにより、第１のシール部材または第２のシール部材により弁の(開口部の）封止を行うことができる
。

したがって、本発明によれば、一方の膨張部材に空気を導入し、他方の膨張部材から空気を抜くという煩雑な作業が不要になる。さらに、弁板の中立状態を確実に保持することができるので、その状態で直線的に移動しても弁板が弁箱に衝突することがなく、したがって、Ｏリングなどのシール部材に損傷を生じさせることはない。

さらに、本発明では、前記弁板は、窓枠状の枠体に支持されており、前記駆動手段が駆動されたときに、この枠体とともに前記ゲート開口部を遮断する方向または開放する方向に直線的に移動されることが好ましい。

このような構成であれば、弁板を安定した姿勢で保持することができる。
さらに、本発明では、前記枠体は、前記弁箱本体に設けられた案内レールに案内されており、前記駆動手段が駆動されたときに、この案内レールに沿って前記ゲート開口部を遮断または開放する方向に、直線的に移動されることが好ましい。

このような構成であれば、弁板の移動がよりスムーズである。

本発明によれば、弁板をゲート開口部に対向する位置に直線的に移動させた状態で、互いに対向する膨張部材間に差圧を生じさせることによって、弁板を移動させることができる。したがって、弁の開閉に伴う圧縮空気の調整が容易である。また、弁板を枠体に取付ることにより、膨張部材の内圧差による弁板の駆動を枠体内で確実に行うことができる。したがって、閉弁時、開放時における弁板の移動が正確になり、確実なシールを行うことができるとともに、シール部材が開放時に確実にシール座面から離れるので、Ｏリングなどの損傷を防止することができる。

さらに、膨張部材の容量は、シール材をつぶす推力を満たせば良いので、膨張部材を小型化することができる。
しかも、シール部材が弁板の両側にそれぞれ配置されているので、配管機器に対する配設向きが限定されることはない。また、逆圧にも耐えることができる。

以下、本発明に係る真空用ゲート弁の一実施例について図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施例に係る真空用ゲート弁を示したもので、図２は、図１のＡ−Ａ線方向の断面図である。

この真空用ゲート弁２０は、略矩形状の弁箱本体２２と、弁箱本体２２の内部に、その半部ほどの大きさの弁板２４が収容されている。弁箱本体２２には、互いに対向する二側壁間に弁板２４により封止される略矩形状の開口２０ａ、２０ｂが形成されることにより、両者の間にゲート開口部２６が形成されている。なお、図１の状態では、弁板２４が、水平位置から右方向に移動してゲート開口部２６を遮るような位置に到達した状態を示している。この状態から弁板２４が、図１において左方向に移動することにより、ゲート開口部２６が開放され、第１の部屋２８と第２の部屋３０との間が連通されることになる。

なお、この実施例では、弁板２４の移動方向を水平方向となるように配置しているが、この配設向きは特に限定されない。
弁板２４は、中央に矩形の孔が開いた窓枠状の枠体１５内に収容され、この枠体１５とともに一体的に図１において左右方向に往復移動するように構成されている。また、枠体１５は、弁箱本体２２に対して、厚さ方向に若干の隙間を持って配設され、移動の際に摩擦が生じないように構成されている。

弁箱本体２２の図１における下方には、弁板２４を左右方向に移動させるための駆動手段として、ピストンシリンダ装置１８が設置されており、このピストンシリンダ装置１８のピストンロッド３２にフランジ部材３４が取り付けられ、このフランジ部材３４が、枠体１５に取り付けられている。

一方、弁箱本体２２の上方端部および下方端部には、それぞれ水平方向にガイドレール３６、３６が設けられている。そして、枠体１５は、これら上下端部で摺動案内部材３８，３８を介してガイドレール３６に摺動自在に取り付けられている。

これにより、ピストンシリンダ装置１８が作動されて、ピストンロッド３２が伸縮されると、枠体１５に取り付けられた摺動案内部材３８、３８がガイドレール３６に沿って水平方向に移動する。このようにして、弁板２４の図１における左右方向への円滑な直線移動が確保されるようになっている。

なお、ピストンシリンダ装置１８に代えて、電動モータ、ステッピングモータなど公知の駆動機構を採用することもできる。
一方、本実施例では、図３（ａ）、図３（ｂ）に示したように、弁板２４の一方の主面２４ａにＯリング４０ａが、他方の主面２４ｂにＯリング４０ｂがそれぞれ介装され、Ｏリング４０ａの外方に、インフラートシール部材４２ａ、４２ｂが配設されている。また、Ｏリング４０ｂの外方に、インフラートシール部材４３ａ、４３ｂが配設されている。また、Ｏリング４０ａは、Ｏリング４０ｂと対称の位置に配置されており、インフラートシール部材４２ａ、４２ｂは、インフラートシール部材４３ａ、４３ｂと対称の位置に配置されている。

なお、この実施例では、上下両面に一個ずつのインフラートシール部材４２ａ、４２ｂおよびインフラートシール部材４３ａ、４３ｂを配設しているが、これに代え、図４に示したように、４本のインフラートシール部材４６を用意し、このインフラートシール部材４６を、例えば、上下左右および両面に配置することもできる。この場合にも、上下左右対称および両面対称に配置することが必要である。

なお、これらのインフラートシール部材４２ａ，４２ｂあるいはインフラートシール部材４６は、図５に示したように、中空状の本体部５６と、この本体部５６を支持する基底部５８とから構成されている。そして、この基底部５８を、図８に示した場合と同様に、断面コ字状の係止片を備えた取付部材６１および螺子部材６５などによって弁板２４に取
り付けられている。

そして、本実施例では、図示しない圧縮空気供給源より、図５に示したこれらの中空状の本体部５６内に圧縮空気を供給すれば、本体部５６が膨張する。
このようなインフラートシール部材４２ａ、４２ｂは、例えば、ＥＰＤＭ、フッ素ゴム等から形成されたものが使用可能である。しかしながら、経時により放出されるガス量の少ない材質を使用することが望ましい。

なお、Ｏリング４０ａ，４０ｂの材質としては、フッ素系エラストマー、パーフルオロ系エラストマー、ＮＢＲ（ニトリルゴム）、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンジエン三次元共重合体）などがあげられるが、パーティクルの発生が少なく、耐熱性などを考慮すれば、フッ素系エラストマーが好適である。

本実施例による真空用ゲート弁２０は、上記のように構成されているが、以下に作用について説明する。
先ず、閉弁作動の際には、図１に示したピストンシリンダ装置１８を作動することによって、弁板２４を枠体１５とともにガイドレール３６に沿って同図の右方まで直線的に移動させる。

この状態から、圧縮空気供給源より、図５に示したように弁板２４の一方の主面２４ａ側に設けられたインフラートシール部材４２ａに圧縮空気を供給することによって、中空状の本体部５６を膨張させる。

これによって、膨張したインフラートシール部材４２ａの本体部５６が、枠体１５の内壁を押圧することによって、弁板２４は図５に矢印で示したように、弁箱本体２２の他方の側壁１２ｂ側に移動することになる。

このように、弁板２４が枠体１５内で移動されると、他方の主面２４ｂに設けられたＯリング４０ｂが、弁箱本体２２の他方の側壁１２ｂ側に設けられたシール座面に押し付けられる。これにより、Ｏリング４０ｂにより、弁箱本体２２の開口２０ｂが封止されることにより、第２の部屋３０と第１の部屋２８との間が封止される。

一方、図５に示した状態からＯリング４０ｂによる封止を解除する場合には、インフラートシール部材４２ａに圧縮空気を導入するか、またはインフラートシール部材４２ａから圧縮空気を吸引すればよい。このように、インフラートシール部材４２ｂの圧力をインフラートシール部材４２ａに対して相対的に大きくすれば、弁板２４を、図５において左方向に移動させることができる。すなわち、圧力差を生じさせることにより、弁板２４を所定の方向に移動させることができる。よって、インフラートシール部材４２ａ、４２ｂの圧力を同じにすることにより、Ｏリング４０ｂが側壁１２ｂから離反され、弁板２４が中立位置となる。これにより、Ｏリング４０ｂによるシールが解除される。

なお、このように弁板２４を側壁１２ａ，１２ｂ間の中立位置とするために、インフラートシール部材４２ａから積極的に圧縮空気を吸引することもできる。いずれにしても、本実施例では、２つのインフラートシール部材４２ａ、４２ｂ間に差圧が発生すれば、圧力の大きい方から圧力の小さい方へ、弁板２４を移動させることができる。

そして、このように差圧により弁板２４を枠体１５の略中間位置に配置した後、ピストンシリンダ装置１８を再び作動することによって、ガイドレール３６によって、弁板２４を図１の左方に枠体１５とともに移動させれば、ゲート開口部２６を完全な開弁状態とすることができる。

また、開弁状態から閉弁状態にする場合には、再びガイドレール３６に沿って枠体１５とともに弁板２４を図１において、左方から右方に移動させ、その後、再び、圧縮空気の供給によりインフラートシール部材４２ａ、４２ｂ間に差圧を生じさせれば、弁板２４を所定の方向に移動させて、第１の部屋２８と第２の部屋３０との間を封止することができる。

以下、本実施例による真空用ゲート弁１０では、このようなサイクルが繰り返されることになる。
このように、本実施例では、弁板２４の両側に一対のＯリング４０ａ，４０ｂと一対のインフラートシール部材４２ａ、４２ｂが共に対称位置に配設されているので、ゲート弁は配設する場合に、向きが限定されず、どの向きにでも配置することもできる。

また、インフラートシール部材４２ａ、４２ｂが弁板２４の両面にそれぞれ配置されているいので、両者の間に差圧を生じさせれば、弁板２４をいずれの方向にも移動させることができる。

したがって、第１の部屋２８あるいは第２の部屋３０のいずれの側が真空であるとしてもそれに対応することができる。
さらに、弁板２４を中立位置で枠体１５とともに直線的に移動させるため、弁板２４の移動が正確になる。したがって、Ｏリング４０ａ，４０ｂなどが弁箱本体２２の内壁などに当接することはなく、Ｏリング４０ａ，４０ｂなどの損傷を防止することができる。

また、インフラートシール部材４２ａ、４２ｂは、Ｏリング４０ａ，４０ｂを潰すことができれば良いため、インフラートシール部材４２ａ、４２ｂを小型化することができる。勿論、弁の開閉のために、圧縮空気の供給と吸引を同時に行う必要もない。

また、上記実施例では、Ｏリング４０ａ，４０ｂなどは、断面円形で無端状のものを例にして説明したが、本発明に採用できるＯリングとは、断面円形に限定されず、断面楕円、断面山形など、他の断面形状からなるものであっても良い。

図６は、本は発明の他の実施例による真空用ゲート弁の要部断面図で、上記実施例の図５に対応している。なお、図６において、前記実施例に対応する要素については同一の符号を付して説明する。

この実施例では、弁板７０が一対の弁板構成要素７０ａ、７０ｂから構成され、これら一対の弁板構成要素７０ａ，７０ｂは、連結部材７２で一体的に連結されている。
そして、このように一対の弁板構成要素７０ａ、７０ｂと連結部材７２とから構成される弁板７０は、矩形窓枠状の枠体１５とともに弁箱本体２２内に収容されている。

この実施例の弁箱本体２２内には、内部に空所を画成する一対のガイドレール７４ａ，７４ｂが、所定間隔離間して状態で、水平方向（図１における左右方向）に延出されている。一方、一対のガイドレール７４ａ、７４ｂ間には、図１と同一の方向から見れば、図７に示したように、枠体１５に取り付けられた複数個のローラ７６、７６’、…が突出して配置されている。これらのローラ７６、７６’、…は、図１に示した摺動案内部材３８、３８のように、弁体７０に対して水平方向に所定間隔置きにそれぞれ設置されている。なお、ローラ７６、７６’、…の数は、２個以上であっても良く、弁板の大きさに応じて適宜設定される。

そして、１つのローラ７６は、図６に示したように、一方のガイドレール７４ａに当接
されている。また、これに隣接する他のローラ７６’は、他方のガイドレール７４ｂに当接されている。このように、枠体１５から上方に設置された複数個のローラ７６、７６’、…は、互い違いにガイドレール７４ａまたはガイドレール７４ｂに当接するように配置されている。したがって、枠体１５の図６における左右方向の移動は、これら互い違いに並べられたローラ７６、７６’、…と、ガイドレール７４ａ、７４ｂとの間で規制されている。

このような弁体７０が採用された他の実施例による真空用ゲート弁８０では、例えば、インフラートシール部材４２ａの内圧よりもインフラートシール部材４２ｂの内圧を高めるように圧縮空気を供給すれば、このインフラートシール部材４２ｂの膨張により、弁板構成要素７０ａが、図６において右方向の第２の部屋３０側に押圧される。これにより、Ｏリング４０ｂが第２の部屋３０の壁面を封止する。

一方、これと反対に、インフラートシール部材４２ｂ内を吸引する一方、インフラートシール部材４２ａの圧力をインフラートシール部材４２ｂの内圧よりも高くなるように設定すれば、インフラートシール部材４２ａの膨張により弁板構成要素７０ａを、図６において左側の第１の部屋２８側に押圧することができる。これにより、Ｏリング４０ａが第１の部屋２８を封止する。

また、弁板７０を図６における左右方向の中立状態に配置した後、図１に示したシリンダ装置１８の駆動力により、弁板７０を枠体１５とともに、図１の左方向に移動すれば、第１の部屋２８と第２の部屋３０との間を完全に開放することができる。

このように、弁板７０が２枚の弁板構成要素７０ａ，７０ｂからなる真空用ゲート弁であっても、上記実施例と同様の作用効果を奏することができる。
また、上記実施例では、膨張部材として、合成ゴムなどのインフラートシールを例にして説明したが、膨張部材は、インフラートシールに限定されず、ベローズやダイヤフラム、あるいは金属製の膨張部材であっても適用することができる。

図１は、本発明の一実施例に係る真空用ゲート弁の概略正面図である。 図２は、図１におけるＡ−Ａ線方向の概略断面図である。 図３（Ａ）は、図１に示した弁板を一方側から見たときの正面図、図３（Ｂ）は図３（Ａ）を反対側から見たときの裏面図である。 図４は、本発明の一実施例に係る真空用ゲート弁において、他のインフラートシール部材を用いた場合の弁板の正面図である。 図５は、図１におけるＡ−Ａ線方向の拡大断面図である。 図６は本発明の他の実施例に係る真空用ゲート弁の要部拡大断面図である。 図７は図６に示したガイドローラの配置状態を正面から見た場合の概略図である。 図８は、特願２００３−４０３０９９号に開示されている真空用ゲート弁の部分拡大断面図である。

符号の説明

１５ 枠体
１８ ピストンシリンダ装置
２０ 真空用ゲート弁
２０ａ、２０ｂ 開口
２２ 弁箱本体
２４ 弁板
２６ ゲート開口部
２８ 第１の部屋
３０ 第２の部屋
３６ ガイドレール
４０ａ、４０ｂ Ｏリング
４２ａ、４２ｂ インフラートシール部材
７０ 弁板
７０ａ、７０ｂ 弁板構成要素
８０ 真空用ゲート弁

Claims (3)

1. 駆動手段の駆動により直線的に移動する略矩形状の弁板を備えた弁箱を、第１の部屋と第２の部屋との間に配置するとともに、
   前記弁箱の互いに対向する一対の側壁間に貫通して形成されたゲート開口部内に、前記駆動手段で移動されてきた前記弁板が、前記第１の部屋と前記第２の部屋との間を遮るように配置された後、中立位置から前記第１の部屋側に接近する方向、または中立位置から前記第２の部屋側に接近する方向にそれぞれ移動することにより、前記第１の部屋が第１のシール部材に、前記第２の部屋が第２のシール部材によりそれぞれ封止されるゲート弁であって、
   前記弁板の一方の主面に第１のシール部材を、前記弁体の他方の主面に第２のシール部材をそれぞれ配置するとともに、
   前記第１のシール部材を前記第１の部屋に圧接させる第１の膨張部材と、前記第２のシール部材を前記第２の部屋に圧接させる第２の膨張部材とが対称位置に配置され、
   前記第１の膨張部材内の圧力を前記第２の膨張部材内の圧力よりも相対的に高く設定することにより、前記弁板を前記第２の部屋側に移動させるとともに、
   前記第１の膨張部材内の圧力を前記第２の膨張部材内の圧力よりも相対的に低く設定することにより、前記弁板を前記第１の部屋側に移動させるようにしたことを特徴とする真空用ゲート弁。
2. 前記弁板は、窓枠状の枠体に支持されており、前記駆動手段が駆動されたときに、この枠体とともに前記ゲート開口部を遮断する方向または開放する方向に直線的に移動されることを特徴とする請求項１に記載の真空用ゲート弁。
3. 前記枠体は、前記弁箱本体に設けられた案内レールに案内されており、前記駆動手段が駆動されたときに、この案内レールに沿って前記ゲート開口部を遮断または開放する方向に、直線的に移動されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空用ゲート弁。
   
   

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