KR20170087033A - 벽 안의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치 - Google Patents

Abstract

벽 (6) 안의 개구부 (4) 의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치는 폐쇄부재 (1), 적어도 하나의 로드 (2), 전달 유닛 (18), 적어도 하나의 스프링 (25), 및 스톱 장치를 포함하고, 상기 적어도 하나의 로드는 상기 폐쇄장치의 하우징 (8) 밖으로 돌출하고 상기 하우징 (8) 밖에서 상기 폐쇄부재 (1) 를 받치고 있고, 상기 적어도 하나의 로드는 견고하게 지지 피스 (14) 와 연결되고, 상기 전달 유닛은 드라이브 (15) 에 의해, 상기 폐쇄부재 (1) 가 개방위치를 차지하는 시작 위치와 상기 폐쇄부재 (1) 가 중간위치를 차지하는 중앙 위치와 상기 폐쇄부재 (1) 가 폐쇄위치를 차지하는 마지막 위치 사이에서, 세로-조정방향 (9) 에 대해 평행으로 조정될 수 있고, 상기 적어도 하나의 스프링은 상기 전달 유닛 (18) 과 상기 지지 피스 (14) 사이에 배치되고, 상기 스톱 장치는 상기 중앙 위치로부터 상기 마지막 위치로의 상기 전달 유닛 (18) 조정시 상기 세로-조정방향 (9) 에 대해 평행하는 상기 지지 피스 (14) 의 그 밖의 조정을 봉쇄한다. 상기 전달 유닛 (18) 은 적어도 하나의 세로방향-리니어 가이드 (19) 에 의해 상기 하우징 (8) 에 대해 상기 세로-조정방향 (9) 에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내되고, 상기 지지 피스 (14) 는 적어도 하나의 경사진-리니어 가이드 (20) 에 의해 상기 전달 유닛 (18) 에 대해 경사진-조정방향 (21) 에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내된다.

Description

벽 안의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치{CLOSURE DEVICE FOR VACUUM-TIGHT CLOSURE OF AN OPENING IN A WALL}

본 발명은 벽 안의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치에 관한 것이며, 상기 폐쇄장치는 폐쇄 유닛, 전달 유닛, 적어도 하나의 스프링, 및 스톱 장치 (stop device) 를 포함하고, 상기 폐쇄 유닛은 폐쇄부재와 적어도 하나의 로드 (rod) 를 구비하고, 상기 폐쇄부재는 세로-조정방향에 대해 평행으로, 상기 폐쇄부재가 상기 폐쇄장치의 열린 상태에서 차지하는 개방위치로부터 중간위치로 조정될 수 있고, 상기 세로-조정방향에 대해 직각으로 있는 가로-조정방향에 대해 평행으로 상기 중간위치로부터, 상기 폐쇄부재가 상기 폐쇄장치의 닫힌 상태에서 차지하는 폐쇄위치로 조정될 수 있고, 상기 적어도 하나의 로드는 상기 세로-조정방향에 대해 평행으로 있는 세로축을 구비하고 상기 폐쇄장치의 하우징 밖으로 돌출하고, 상기 하우징 밖에서 상기 폐쇄부재를 받치고 있고, 상기 적어도 하나의 로드는 견고하게 (rigidly) 지지 피스 (support piece) 와 연결되고, 상기 전달 유닛은 드라이브 (drive) 에 의해, 상기 폐쇄부재가 상기 개방위치를 차지하는 시작 위치와 상기 폐쇄부재가 상기 중간위치를 차지하는 중앙 위치와 상기 폐쇄부재가 상기 폐쇄위치를 차지하는 마지막 위치 사이에서, 상기 세로-조정방향에 대해 평행으로 조정될 수 있고, 상기 적어도 하나의 스프링은 상기 전달 유닛과 상기 지지 피스 사이에 배치되고, 상기 적어도 하나의 스프링은 상기 시작 위치로부터 상기 중앙 위치로의 상기 전달 유닛 조정시 상기 지지 피스를 동행시키고, 이때 상기 세로-조정방향으로 상기 하우징에 대한 상기 지지 피스의 조정이 수행되고, 상기 스톱 장치는 상기 중앙 위치로부터 상기 마지막 위치로의 상기 전달 유닛 조정시 상기 세로-조정방향에 대해 평행하는 상기 지지 피스의 그 밖의 조정을 봉쇄하고, 이때 상기 가로-조정방향으로 상기 하우징에 대한 상기 지지 피스의 조정이 수행된다.

벽 안의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치는 진공밸브라고도 불리울 수 있다. 상기 개구부가 진공챔버의 벽 안에 배치되고 폐쇄부재가 상기 챔버벽의 외면에 상기 진공챔버를 둘러싸는 주변공간 안에 있으면, 이러한 종류의 진공밸브는 진공도어 (vacuum door) 라고도 불리운다. 진공도어 형태의 이러한 폐쇄장치는 한 방향으로만 작용하는 차압을 위해 설계될 수 있다. 다른 종류의 진공밸브들은 통례적으로 두 방향으로 작용하는 차압들을 위해 설계되어 있다. 이러한 폐쇄장치들에 있어서 상기 폐쇄부재는 일반적으로 밸브 하우징 안에 배치되고, 상기 밸브 하우징은 상기 폐쇄부재에 의해 폐쇄될 수 있는 밸브 개구부를 구비한다.

상기 개구부를 폐쇄하기 위해 상기 폐쇄부재가 우선 로드에 대해 평행으로 있는 세로-조정방향으로 개방위치로부터, 상기 폐쇄부재가 상기 개구부를 덮는, 하지만 아직 상기 벽으로부터 들어 올려져 있는 중간위치로 조정되는, 그리고 그 후 적어도 본질적으로 상기 세로-조정방향에 대해 직각으로 있는 가로-조정방향으로 조정되는 그리고 상기 벽에 밀어붙혀지는 폐쇄장치들은 L 밸브들이라고도 불리운다.

L 밸브들의 동종이 아닌 구조에 있어서, 그의 중간위치로부터 그의 폐쇄위치로의 그리고 원래대로의 상기 폐쇄부재의 조정을 가능하게 하기 위해, 로드는 상기 세로-조정방향에 대해 직각으로 있는 축 둘레로 선회 가능하게 설치된다. 이때, 상기 축 둘레로 상기 로드를 선회시키기 위해, 예컨대 US 6,237,892 B1, US 7,066,443 B2 또는 US 2012/0258242 A1 에 공지된 바와 같이, 연결 링크 가이드들이 사용된다.

상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 상기 폐쇄부재를 조정하기 위해 상기 폐쇄부재의 평행이동이 세로-조정방향에 대해 각이지게 되는, 특히 직각으로 있는 가로-조정방향으로 수행되는 L 밸브들에 있어서, 통례적인 실시형태에 따르면 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 상기 폐쇄부재를 조정하기 위한 드라이브 요소들은 상기 폐쇄부재를 받치고 있는 지지 유닛에 배치되고, 이때 상기 지지 유닛은 로드에 배치된다. 이러한 유형의 L 밸브들의 실시들은, 특히 진공도어들의 형태로, 예컨대 US 6,056,266 A, US 6,899,316 B2 및 US 7,611,122 B2 에 나타나 있다. 이때, 피스톤-실린더 유닛들의 작동의 정확한 진행을 안전하게 하기 위해, US 6,056,266 A 및 US 7,611,122 B2 에 시퀀스 제어들도 나타나 있다. L 밸브를 위한 그 밖의 이러한 시퀀스 제어는 US 8,177,190 B2 에 나타나 있다.

WO 2010/034046 A1 에 L 밸브가 나타나 있고, 상기 L 밸브에 있어서 로드를 세로-조정방향으로 이동 가능하게 지지하는 블록은 상기 세로-조정방향에 대해 직각으로 있는 가로-조정방향으로 선형으로 이동 가능하게 지지되고, 상기 블록에는, 세로-조정방향으로의 상기 로드의 조정을 위한 드라이브도 부착된다. 이 선형이동은 이 방향으로 작용하는 피스톤-실린더 유닛들을 이용해 수행된다.

US 7,762,527 B2 는 L 밸브의 실시형태를 나타내고, 상기 실시형태에 있어서 세로-조정방향으로 폐쇄부재를 조정하기 위해 쓰이는 피스톤-실린더 유닛은 밸브 하우징에 대해 리니어 가이드 (linear guide) 를 이용해, 세로-조정방향에 대해 직각으로 있는 가로-조정방향으로 이동 가능하게 지지된다.

WO 2014/075757 A1 에는, 폐쇄부재를 받치고 있는 로드가 세로-조정방향으로 선형으로 이동 가능하게 안내된 밸브가 나타나 있다. 이를 위해, 상기 밸브 로드와 연결된 지지 피스가 존재하고, 상기 지지 피스는 로드 모양의 가이드 부품들을 따라서 세로-조정방향으로 이동 가능하게 안내된다. 상기 로드 모양의 가이드 부품들은 세로-조정방향에 대해 직각으로 있는 가로-조정방향으로 이동 가능하고, 공압식 피스톤-실린더 유닛들을 이용해 가로-조정방향으로 이동된다. 상기 세로-조정방향으로 상기 로드를 이동시키기 위해 마찬가지로 공압식 피스톤-실린더 유닛들이 쓰이고, 상기 피스톤-실린더 유닛들의 피스톤 로드들은 상기 지지 피스와 연결되고, 이때 이 연결은 가로-조정방향으로 상기 피스톤 로드들에 대한 전달 피스의 가동성을 가능하게 한다.

US 2013/0112906 A1 은 상기 도입부에 언급된 종류의 폐쇄장치를 나타낸다. 폐쇄부재는 여기서 밸브 하우징 안에 배치되고 폐쇄위치에서 상기 밸브 하우징 안의 개구부를 폐쇄한다. 상기 폐쇄장치를 열기 위해 그리고 닫기 위해 피스톤-실린더 유닛들이 쓰이고, 상기 피스톤-실린더 유닛들은 전달 유닛을 세로-조정방향에 대해 평행으로 시작 위치와 중앙 위치와 마지막 위치 사이에서 이동시킨다. 상기 전달 유닛은 요크에 의해 형성되고, 상기 요크에는, 세로-조정방향으로 떨어져 있는 왼쪽 및 오른쪽 캠 팔로워들이 고정된다. 각각의 캠 팔로워 안에는, 각각 하나의 상기 세로-조정방향으로 연장되는 제 1 캠 리세스 (cam recess) 와 경사진-조정방향으로 연장되는 제 2 캠 리세스가 배치된다. 상기 제 1 캠 리세스들과, 하우징에 고정되어 배치된 제어캠들 (controlling cams) 이 맞물린다. 상기 제 2 캠 리세스들과, 지지 피스에 배치된 제어캠들이 맞물리고, 상기 지지 피스는 상기 폐쇄부재를 받치고 있는 로드와 견고하게 연결된다. 상기 전달 유닛의 상기 요크와 상기 지지 피스 사이에 스프링이 배치된다. 그는 상기 시작 위치로부터 상기 중앙 위치로의 상기 전달 유닛 조정시 상기 지지 피스를 동행시킨다. 상기 중앙 위치로부터 상기 마지막 위치로의 상기 전달 유닛의 그 밖의 이동시, 상기 세로-조정방향으로의 상기 지지 피스의 그 밖의 운동이 봉쇄되고, 상기 지지 피스는 상기 세로-조정방향에 대해 직각으로 있는 가로-조정방향으로 조정된다. 이를 통해, 상기 폐쇄부재를 상기 폐쇄위치로 데려가기 위해, 상기 로드 및 그와 함께 상기 폐쇄부재도 상기 가로-조정방향에 대해 평행으로 이동된다. 이 폐쇄장치에 있어서는, 큰 구조비용 없이 작은 여유공간을 갖는 원활한 운동진행을 달성하는 것이 어려워 보인다.

유사한 폐쇄장치가 EP 1 061 301 A2 에 나타나 있다. 하지만 여기서는 상기 중앙 위치로부터 상기 마지막 위치로의 상기 전달 유닛 조정시, 상기 폐쇄부재를 받치고 있는 로드의 선회가 세로-조정방향에 대해 직각으로 있는 축 둘레로 수행된다. 이러한 선회는, 예컨대 그의 폐쇄위치로의 상기 폐쇄부재의 밀봉의 균일한 가압과 관련하여, 상기 폐쇄부재의 평행이동에 비해 단점들을 갖는다.

US 2015/0014556 A1 에는 US 2013/0112906 A1 의 폐쇄장치에 대해 유사한 그 밖의 폐쇄장치가 나타나 있다. 이 문헌의 폐쇄장치의 차이는, 제 1 및 제 2 폐쇄부재들이 존재한다는 데에 있고, 상기 폐쇄부재들에 의해, 마주 보고 있는 벽들 안의 개구부들이 교대로 폐쇄될 수 있다.

JP H112360 A 에는, 마찬가지로 세로방향으로 작용으로 드라이브를 이용해 개방위치로부터 중간위치를 거쳐 폐쇄위치로의 폐쇄부재의 조정이 수행되는 폐쇄장치가 나타나 있다. 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의 상기 폐쇄부재의 조정은 여기에서는, 제 1 캠들은 제 1 의, 세로방향에 대해 평행으로 연장되는 긴 구멍들 안에서 이동되고 제 2 캠들은 제 2 의, 세로방향에 대해 비스듬히 연장되는 긴 구멍들 안에서 이동됨으로써, 상기 폐쇄부재가 부착된 밸브 로드의 선회를 통해 수행된다.

본 발명의 목적은 간단한 방식으로 제조 가능한, 상기 도입부에 언급된 종류의 유리한 폐쇄장치를 제공하는 것이다.

이는 본 발명에 따르면, 벽 안의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치로서, 상기 폐쇄장치는 폐쇄 유닛, 전달 유닛, 적어도 하나의 스프링, 및 스톱 장치를 포함하고, 상기 폐쇄 유닛은 폐쇄부재와 적어도 하나의 로드를 구비하고, 상기 폐쇄부재는 세로-조정방향에 대해 평행으로, 상기 폐쇄부재가 상기 폐쇄장치의 열린 상태에서 차지하는 개방위치로부터 중간위치로 조정될 수 있고, 상기 세로-조정방향에 대해 직각으로 있는 가로-조정방향에 대해 평행으로 상기 중간위치로부터, 상기 폐쇄부재가 상기 폐쇄장치의 닫힌 상태에서 차지하는 폐쇄위치로 조정될 수 있고, 상기 적어도 하나의 로드는 상기 세로-조정방향에 대해 평행으로 있는 세로축을 구비하고 상기 폐쇄장치의 하우징 밖으로 돌출하고, 상기 하우징 밖에서 상기 폐쇄부재를 받치고 있고, 상기 적어도 하나의 로드는 견고하게 지지 피스와 연결되고, 상기 전달 유닛은 드라이브에 의해, 상기 폐쇄부재가 상기 개방위치를 차지하는 시작 위치와 상기 폐쇄부재가 상기 중간위치를 차지하는 중앙 위치와 상기 폐쇄부재가 상기 폐쇄위치를 차지하는 마지막 위치 사이에서, 상기 세로-조정방향에 대해 평행으로 조정될 수 있고, 상기 적어도 하나의 스프링은 상기 전달 유닛과 상기 지지 피스 사이에 배치되고, 상기 적어도 하나의 스프링은 상기 시작 위치로부터 상기 중앙 위치로의 상기 전달 유닛 조정시 상기 지지 피스를 동행시키고, 이때 상기 세로-조정방향으로 상기 하우징에 대한 상기 지지 피스의 조정이 수행되고, 상기 스톱 장치는 상기 중앙 위치로부터 상기 마지막 위치로의 상기 전달 유닛 조정시 상기 세로-조정방향에 대해 평행하는 상기 지지 피스의 그 밖의 조정을 봉쇄하고, 이때 상기 가로-조정방향으로 상기 하우징에 대한 상기 지지 피스의 조정이 수행되고, 이때 상기 폐쇄장치는 적어도 하나의 세로방향-리니어 가이드와 적어도 하나의 경사진-리니어 가이드를 포함하고, 상기 세로방향-리니어 가이드와 상기 경사진-리니어 가이드는 각각 하나의 가이드 레일 (guide rail), 및 상기 가이드 레일을 따라서 선형으로 이동 가능하게 지지된 캐리지 (carriage) 를 구비하고, 이때 상기 세로방향-리니어 가이드의 상기 가이드 레일은 상기 세로-조정방향에 대해 평행으로 배치되고, 상기 경사진-리니어 가이드의 상기 가이드 레일은 경사진-조정방향에 대해 평행으로 배치되고, 상기 경사진-조정방향은 상기 세로-조정방향과 상기 가로-조정방향에 의해 펼쳐진 평면에, 상기 세로-조정방향에 대해 각이 지게 그리고 상기 가로-조정방향에 대해 각이지게 되고, 이때 상기 전달 유닛은 상기 적어도 하나의 세로방향-리니어 가이드에 의해 상기 하우징에 대해 상기 세로-조정방향에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내되고, 상기 지지 피스는 상기 적어도 하나의 경사진-리니어 가이드에 의해 상기 전달 유닛에 대해 상기 경사진-조정방향에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내되는, 벽 안의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치를 통해 달성된다.

본 발명에 따른 상기 폐쇄장치에 있어서, 유리하게는 상기 적어도 하나의 세로방향-리니어 가이드와 상기 적어도 하나의 경사진-리니어 가이드를 위해, 기계 제작에 있어서 표준부품들로서 많이 사용되는 통례적인 리니어 가이드들이 이용될 수 있다. 이러한 리니어 가이드들은 비용절감적이고, 원활히 작동하고, 작은 여유공간을 갖거나 또는 여유공간 (상기 여유공간 안에서 그들은 예비인장된다) 을 갖지 않는다. 특히, 이러한 리니어 가이드의 상기 캐리지는 상기 가이드 레일에 대해 구름요소들 (rolling elements) 에 의해 지지되고, 예컨대 구름요소 회전 가이드들을 이용해 지지되거나 또는 런닝 케이지들 안에 설치된 구름요소들을 이용해 지지된다. 상기 가이드 레일에 대한 상기 캐리지의 슬라이딩 안내도 가능하다.

상기 폐쇄장치를 닫을 때, 상기 전달 유닛이 상기 중앙 위치에 도달하면, 상기 폐쇄 유닛의 제동은 상기 스톱 장치를 통해 수행된다. 이 제동을 댐핑 (damping) 하기 위해 상기 스톱 장치는 유리하게는 스톱 스프링을 구비하고, 상기 스톱 스프링은, 상기 스톱 스프링에 부딪치는 스톱 부품에 의해 상기 스톱 장치가 효력있게 될 때 기본위치로부터 작업위치로 변형된다. 이때, 상기 스톱 스프링은 유리하게는 스프링 레그 (spring leg) 를 구비하고, 상기 스프링 레그는 상기 기본위치로부터 상기 작업위치로의 상기 스톱 스프링의 변형시 스프링 디플렉션 (spring deflection) 에 걸쳐 변위되고, 이때 상기 스톱 스프링의 상기 기본위치에 있어서는 적어도 상기 스톱 부품이 상기 폐쇄장치를 닫을 때 상기 스프링 레그에 부딪치는 섹션에서 강성 (rigid) 지지 부품으로부터 간격을 두고 있고, 상기 스톱 스프링의 상기 작업위치에 있어서는 이 섹션에서 상기 지지 부품에 밀착한다. 상기 스톱 부품은 예컨대 볼트일 수 있고, 상기 볼트는, 상기 지지 피스의 상기 폐쇄부재와 마주 보고 있는 측에서 상기 지지 피스로부터 멀리 떨어져 있는 상기 로드의 섹션에 부착된다. 이를 통해 상기 폐쇄 유닛의 제동의 구조적으로 간단한 그리고 효율적인 댐핑이 달성될 수 있다.

본 발명의 유리한 실시형태에서, 상기 폐쇄장치는 진공도어의 형태로 형성된다. 그러한 것은 진공챔버의 챔버벽의 외면에 부착될 수 있고, 이로써 상기 진공챔버를 둘러싸는 주변공간 안에 상기 진공챔버 밖에 있다. 상기 폐쇄장치의 닫힌 상태에서, 상기 챔버벽의 외면상의 상기 폐쇄부재는 상기 개구부를 둘러싸는 영역에서 상기 챔버벽에 밀어붙혀진다. 이러한 진공도어는 주변공간으로부터 상기 진공챔버의 내부공간 쪽으로의 방향으로 작용하는 차압만을 밀봉하기 위해 형성될 수 있다. 그 대신에 상기 폐쇄장치는 상기 폐쇄부재가 밸브 하우징 안에 배치되어 있는 진공밸브의 이러한 종류의 형태로도 형성될 수 있다. 그러면 상기 폐쇄장치는 두 방향으로 차압에 견딜 수 (대기압의 크기까지) 있다.

이하, 본 발명의 그 밖의 장점들과 상세내용들은 첨부된 도면에 근거하여 설명된다.

도 1 및 도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 폐쇄 유닛의 사투상도들을 도시하고;
도 3 은 폐쇄부재의 개방위치에서의, 떼어내진 하우징 뚜껑을 갖는, 벽에 조립된 상기 폐쇄 유닛의 도면을 도시하고;
도 4, 도 5 및 도 6 은 도 3 으로부터의 선 AA, 선 BB 및 선 CC 를 따른 단면들을 도시하고;
도 7 은 도 6 으로부터의 확대된 부분 (N) 을 도시하고;
도 8 은 상기 폐쇄부재의 중간위치에서의, 도 3 과 유사한 도면을 도시하고;
도 9, 도 10 및 도 11 은 도 8 로부터의 선 DD, 선 EE 및 선 FF 를 따른 단면들을 도시하고;
도 12 는 도 11 로부터의 확대된 부분 (P) 을 도시하고;
도 13 은 상기 폐쇄부재의 폐쇄위치에서의, 도 3 과 유사한 도면을 도시하고;
도 14, 도 15 및 도 16 은 도 13 으로부터의 선 GG, 선 HH 및 선 KK 를 따른 단면들을 도시하고;
도 17 은 도 16 으로부터의 확대된 부분 (R) 을 도시하고;
도 18 은 상기 폐쇄부재의 개방위치에서의, 벽에 조립된 상기 폐쇄 유닛의 저면도를 도시하고;
도 19 은 도 18 로부터의 선 LL 를 따른 단면을 도시하고;
도 20 은 도 19 로부터의 확대된 부분 (M) 을 도시하고;
도 21 은 도 19 와 유사한, 하지만 상기 폐쇄부재의 중간위치에서의 단면을 도시하고;
도 22 는 도 21 로부터의 확대된 부분 (U) 을 도시하고;
도 23 은 도 19 와 유사한, 하지만 상기 폐쇄부재의 폐쇄위치에서의 단면을 도시하고;
도 24 는 도 23 으로부터의 확대된 부분 (V) 을 도시하고;
도 25, 도 26 및 도 27 은 상기 폐쇄부재의 개방위치에서의, 중간위치에서의, 폐쇄위치에서의, 떼어내진 하우징 뚜껑을 갖는, 벽에 조립된 상기 폐쇄장치의 사투상도들을 도시하고;
도 28 및 도 29 는 상이한 시선방향들로부터의 분해도들을 도시하고;
도 30 은 함께 움직이는 부품들이 유닛들로서 도시된, 즉 떼어놓여지지 않고 도시된 (하우징 뚜껑을 제외하고), 도 28 과 동일한 시선방향으로부터의 분해도를 도시하고;
도 31 은 부분적으로 절개된 캐리지를 갖는 리니어 가이드의 약간 변화된 실시형태의 섹션을 도시한다.

본 발명에 따른 폐쇄장치의 실시예는 도 1 내지 도 30 에 도시된다.

상기 폐쇄장치는, 특히 플레이트 모양으로 형성된 그리고 로드 (2) 에 의해 받쳐져 있는 폐쇄부재 (1) 를 구비한다. 실시예에서 로드 (2) 와 폐쇄부재 (1) 사이의 연결은 연결 피스 (3) 를 통하여 수행된다. 로드 (2) 에서의 폐쇄부재 (1) 의 직접적인 고정도 가능하다.

폐쇄부재 (1) 를 이용해, 상기 폐쇄장치의 닫힌 상태에서 벽 (6) 안의 개구부 (4) 는 밀봉될 수 있고 상기 폐쇄장치의 열린 상태에서는 해제될 수 있다. 벽 (6) 은 예컨대 그 밖에는 도면들에 도시되지 않은 진공챔버의 부분이다. 이를 위해 상기 폐쇄장치는 상기 진공챔버의 내부공간으로부터 멀리 떨어진 벽 (6) 의 외면에 고정될 수 있고, 예컨대 상기 폐쇄장치의 하우징 (8) 을 관통하는 그리고 블라인드 보어들 (blind bores) 안에서 상기 벽 안의 암나사들과 나사결합되는 나사들 (7) 을 이용해 고정될 수 있다.

하기에서 보다 상세히 설명되는 바와 같이, 상기 폐쇄부재는 상기 폐쇄장치를 닫기 위해, 폐쇄부재 (1) 가 상기 폐쇄장치의 열린 상태에서 차지하는 폐쇄부재 (1) 의 개방위치로부터 시작하여 직선으로 세로-조정방향 (9) 으로 중간위치에 도달할 때까지 이동되고, 그 후, 폐쇄부재 (1) 가 상기 폐쇄장치가 그의 닫힌 상태를 갖는 폐쇄위치에 도달할 때까지 직선으로, 상기 세로-조정방향에 대해 직각으로 있는 가로-조정방향 (10) 으로 이동된다.

이로써, 상기 중간위치에서 폐쇄부재 (1) 는, 개구부 (4) 의 축 (5) 의 방향으로 볼 때, 개구부 (4) 를 덮고, 하지만 벽 (6) 으로부터 들어 올려져 있다 (=거리를 두고 있다). 상기 폐쇄위치에서 폐쇄부재 (1) 는 개구부 (4) 를 둘러싸는 시트 (seat, 11) 에 밀어붙혀진다. 이 시트 (11) 는 실시예에서 밀봉면에 의해 형성되고, 폐쇄부재 (1) 에 배치된 (예컨대 FKM 또는 FFKM 으로 만들어진) 탄성적 밀봉링 (12) 은 상기 밀봉면에 밀어붙혀진다. 원칙적으로, 밀봉링 (12) 이 시트 (11) 에 배치되고 상기 밀봉면이 폐쇄부재 (1) 에 배치될 수도 있다.

로드 (2) 는 세로-조정방향 (9) 에 대해 평행으로 있는 세로축 (13) 을 구비한다. 상기 개방위치로부터 상기 중간위치로의 폐쇄부재 (1) 의 이동은 상기 로드의 세로축 (13) 방향으로의 상기 로드 (2) 의 평행이동을 통해 수행된다.

폐쇄부재 (1) 의 상기 폐쇄위치에서 개구부 (4) 는 진공 밀봉으로 폐쇄된다. 이는 벽 (6) 의 상기 폐쇄부재 (1) 와 마주 보고 있는 측에 있는 그리고 개구부 (4) 를 제외하곤 밀폐적으로 밀봉된 진공영역 안에, 폐쇄부재 (1) 의 닫힌 상태에서 보다 긴 기간에 걸쳐, 특히 1 시간을 초과하여, 특히 0.1 Pascal 보다 작은, 진공이 유지될 수 있다는 것을 의미한다.

로드 (2) 는 견고하게 지지 피스 (14) 와 연결된다. 지지 피스 (14), 로드 (2), 폐쇄부재 (1) 및 경우에 따라서는 존재하는 연결 피스 (3) 는 함께 하나의 폐쇄 유닛 (26) (도 30 참조) 을 형성하고, 상기 폐쇄 유닛의 부품들은 상기 폐쇄장치의 닫힘 및 열림시 함께 움직여진다.

상기 폐쇄장치를 열기 위해 그리고 닫기 위해 드라이브 (15) 가 쓰이고, 상기 드라이브는 도시된 실시예에서 2개의 공압식 피스톤-실린더 유닛들에 의해 형성된다. 드라이브 (15) 는 전달 유닛 (18) 에 작용한다. 전달 유닛 (18) 은 하우징 (8) 에 대해 제 1 및 제 2 리니어 가이드 (19) 를 이용해 세로-조정방향 (9) 에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내된다. 전달 유닛 (18) 을 세로-조정방향 (9) 에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내하는 상기 리니어 가이드들은 이 문헌에서 세로방향-리니어 가이드들 (19) 이라고 불리운다. 전달 유닛 (18) 은 드라이브 (15) 에 의해 직선으로 세로-조정방향 (9) 으로 시작 위치로부터 중앙 위치를 거쳐 마지막 위치로 조정될 수 있다.

전달 유닛 (18) 의 상기 시작 위치에서 폐쇄부재 (1) 는 그의 개방위치를 차지하고, 전달 유닛 (18) 의 상기 마지막 위치에서 폐쇄부재 (1) 는 그의 폐쇄위치를 차지한다. 상기 시작 위치로부터 상기 중앙 위치로의 전달 유닛 (18) 의 이동 동안, 폐쇄부재 (1) 의 상기 개방위치로부터 상기 중간위치로의 폐쇄부재 (1) 의 조정이 수행된다. 하기에서 보다 상세히 설명되는 바와 같이, 상기 중앙 위치로부터 상기 마지막 위치로의 전달 유닛 (18) 의 이동 동안, 폐쇄부재 (1) 의 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의 폐쇄부재 (1) 의 이동이 수행된다.

전달 유닛 (18) 은 실시예에서 2개의 옆부품 (18a, 18b) 과 하나의 연결부품 (18c) 에 의해 형성되고, 이때 상기 두 피스톤-실린더 유닛들의 피스톤 로드들 (16) 은 옆부품들 (18a, 18b) 에 작용한다. 이에 대해 변화된, 예컨대 일체형의, 형성도 가능하다.

지지 피스 (14) 는 전달 유닛 (18) 에 대해 제 1 및 제 2 리니어 가이드 (20) 를 이용해 경사진-조정방향 (21) 에 대해 평행으로 (특히 도 6 참조) 이동 가능하게 안내된다. 지지 피스 (14) 를 전달 유닛 (18) 에 대해 경사진-조정방향 (21) 에 대해 평행으로 안내하는 상기 리니어 가이드들은 이 문헌에서 경사진-리니어 가이드들 (20) 이라고 불리운다.

세로방향-리니어 가이드 (19) 와 경사진-리니어 가이드 (20) 는 통례적인 방식으로 레일 가이드들로서 형성되고, 각각 하나의 직선으로 연장되는 가이드 레일 (22), 및 상기 가이드 레일 (22) 의 세로방향 연장부를 따라서 이동 가능하게 안내된 캐리지 (=가이드 차) (23) 를 구비한다. 캐리지 (23) 는 리세스 (recess) 를 구비하고, 상기 리세스로 그는 가이드 레일 (22) 의 확장된 헤드 영역 (22a) 을 빙 둘러싼다. 특히, 이 리세스는 가이드 레일 (22) 의 세로방향 연장부에 대해 직각인 횡단면에서 볼 때 C 형태를 갖는다. 이로써 캐리지 (23) 는 가이드 레일 (22) 의 세로방향 연장부에 대해 직각인 모든 방향들로 가이드 레일 (22) 에서 잡아뺌에 맞서 형상 결합으로 안전해진다. 실시예에서 도 1 내지 도 30 에 상응하여 도시된 세로방향-리니어 가이드들 (19) 과 경사진-리니어 가이드들 (20) 에 대해 약간 변화되어 형성된, 하지만 이 세로방향-리니어 가이드 (19) 와 경사진-리니어 가이드 (20) 를 위해 이용될 수 있는 리니어 가이드의 섹션은 도 31 에 도시되고, 이때 캐리지 (23) 는 부분적으로 절개되어 도시된다. 이를 통해, 여기에서 볼들 (balls) 의 형태로 형성된 구름요소들 (32) 을 볼 수 있다. 볼들 대신에, 구름 지지를 위한 구름요소들로서는 예컨대 롤러들도 제공될 수 있다. 구름요소들 (32) 을 이용한, 가이드 레일 (22) 에 대한 캐리지 (23) 의 이동 가능한 지지가 선호된다. 예컨대, 볼 회전 또는 롤러 회전이 제공될 수 있고 또는 구름요소들로서는 케이지 안에 배치된 볼들 또는 롤러들 (=원통들) 이 제공될 수 있다.

세로방향-리니어 가이드들 (19) 의 캐리지들 (23) 의 그리고/또는 경사진-리니어 가이드들 (20) 의 캐리지들 (23) 의 슬라이딩 안내는 변화된 실시형태에서 원칙적으로 가능하다.

구름요소들 (32) 을 통한 세로방향-리니어 가이드들 (19) 의 캐리지들 (23) 의 그리고/또는 경사진-리니어 가이드들 (20) 의 캐리지들 (23) 의 이동 가능한 안내의 경우, 각각의 캐리지 (23) 는 구름요소들 (32) 을 통하여 각각의 가이드 레일 (22) 과 탄성적으로 클램핑될 수 있다. 이를 통해, 여유공간을 피할 수 있다.

세로방향-리니어 가이드들 (19) 에 있어서, 도시된 실시예에서 가이드 레일들 (22) 은 하우징 (8) 에 부착되고, 캐리지들 (23) 은 전달 유닛 (18) 에, 특히 전달 유닛 (18) 의 각각의 옆부품 (18a, 18b) 에 부착되고, 이는 상기 폐쇄장치의 콤팩트한 형성을 위해 유리하다. 하지만 원칙적으로 가이드 레일들 (22) 이 전달 유닛 (18) 에 부착되고 캐리지들 (23) 이 하우징 (8) 에 부착될 수도 있다.

상기 경사진-리니어 가이드들에 있어서, 실시예에서 가이드 레일들 (22) 은 전달 유닛 (18) 에, 특히 전달 유닛 (19) 의 두 옆부품 (18a, 18b) 에 부착되고, 캐리지들 (23) 은 지지 피스 (14) 에 부착된다. 하지만 원칙적으로 가이드 레일들 (22) 이 지지 피스 (14) 에 부착되고 캐리지들 (23) 이 전달 유닛 (18) 에 부착될 수도 있다.

세로방향-리니어 가이드들 (19) 의 캐리지들 (23) 의 개방된 측들과 경사진-리니어 가이드들 (20) 의 캐리지들 (23) 의 개방된 측들은 실시예에서 서로 직각으로 있는 방향들을 가리킨다. 세로방향-리니어 가이드들 (19) 의 캐리지들 (23) 의 개방된 측들은 이때 벽 (6) 쪽으로의 방향을 가리키고, 상기 경사진-리니어 가이드들의 캐리지들 (23) 의 개방된 측들은 세로-조정방향 (9) 과 가로-조정방향 (10) 에 의해 펼쳐지는 평면에 대해 직각으로 있는 방향을 가리킨다. 세로방향-리니어 가이드들 (19) 의 캐리지들 (23) 의 개방된 측들과 경사진-리니어 가이드들 (20) 의 캐리지들 (23) 의 개방된 측들이 동일한 그리고/또는 반대 방향들을 가리키는 형성이 가능하다.

경사진-조정방향 (21) 은 세로-조정방향 (9) 과 가로-조정방향 (10) 에 의해 펼쳐진 평면에 (= 세로-조정방향 (9) 뿐만 아니라 가로-조정방향 (10) 도 있는 평면에) 있다. 경사진-조정방향 (21) 은 이때 세로-조정방향 (9) 에 대해 각이 지게 그리고 가로-조정방향 (10) 에 대해 각이지게 되고, 즉 세로-조정방향 (9) 뿐만 아니라 가로-조정방향 (10) 과도 0°와 다른 각도 (24) (특히 도 6 참조) 를 이룬다. 경사진-조정방향 (21) 은 유리하게는 세로-조정방향 (9) 과 함께 4°보다 큰 그리고 45°보다 작은 각도 (24) 를 이룬다. 바람직하게는, 각도 (24) 는 5°내지 20°의 범위에 있다.

전달 유닛 (18) 과 지지 피스 (14) 사이에 스프링들 (25) 이 배치되고, 상기 스프링들은 상기 폐쇄장치를 닫을 때 지지 피스 (14) 를 전달 유닛 (18) 과 커플링하고, 이로써 “커플링 스프링들”이라고도 불리울 수 있다. 스프링들 (25) 은 상기 폐쇄장치를 닫을 때 압축부하를 받고, 이로써 압축 스프링들로서 작용한다. 상기 폐쇄장치를 닫을 때 스프링들 (25) 이 인장 스프링들로서 작용하는 형성도 가능하다.

실시예에서 2개의 스프링 (25) 이 존재한다. 단지 하나의 스프링 (25) 이 존재할 수도 있고 또는 2개를 초과하는 스프링들 (25) 이 제공될 수도 있다.

상기 적어도 하나의 스프링 (25) 은 바람직하게는, 도시된 바와 같이, 코일 스프링의 형태로 형성되고, 상기 코일 스프링의 세로방향 연장부는 경사진-조정방향 (21) 에 대해 평행으로 연장된다. 스프링들의 다른 형성들이, 예컨대 스프링 와셔들의 다발의 형태로, 가능하다.

도 3 내지 도 6, 도 19 및 도 25 에서 볼 수 있는 전달 유닛 (18) 의 상기 시작 위치에서, 폐쇄부재 (1) 는 이미 언급한 바와 같이 그의 개방위치를 차지한다. 상기 폐쇄장치를 닫기 위해, 전달 유닛 (18) 은 드라이브 (15) 를 이용해 세로-조정방향 (9) 에 대해 평행으로 상기 시작 위치로부터 그의 마지막 위치의 방향으로 이동된다. 이때, 지지 피스 (14) 는 우선 적어도 하나의 스프링 (25) 에 의해 동행되고, 즉 지지 피스 (14) 는 같은 모양으로 전달 유닛 (18) 과 함께 세로-조정방향 (9) 에 대해 평행으로 이동된다. 전달 유닛 (18) 이 상기 중앙 위치에 도달하면, 폐쇄부재 (1) 는 그의 중간위치를 차지한다. 전달 유닛 (18) 의 이 상태는 도 8 내지 도 11, 도 21 및 도 26 에서 볼 수 있다.

전달 유닛 (18) 이 드라이브 (15) 에 의해 상기 중앙 위치를 넘어서 계속 그의 마지막 위치의 방향으로 세로-조정방향 (9) 에 대해 평행으로 이동되면, 상기 세로-조정방향에 대해 평행하는 지지 피스 (14) 의 그 밖의 이동은 하기에서 보다 상세히 설명되는 스톱 장치 (28, 29) 에 의해 봉쇄된다. 즉, 이로써 이제 지지 피스 (14) 에 대한 전달 유닛 (18) 의 상대적 이동이 수행되고, 이때 적어도 하나의 스프링 (25) 이 압축된다 (다른 실시예에서 상기 적어도 하나의 스프링 (25) 이 인장 스프링으로서 설계된다면, 그는 팽창될 것이다). 전달 유닛 (18) 에 대한 지지 피스 (14) 의 이 상대적 이동은 경사진-리니어 가이드들 (20) 을 통해 강제로 안내된다. 즉, 상기 중앙 위치로부터 상기 마지막 위치로의 전달 유닛 (18) 의 이동 동안, 경사진-리니어 가이드 (20) 의 가이드 레일들 (22) 을 따라서 경사진-리니어 가이드 (20) 의 캐리지들 (23) 의 이동이 발생한다. 이로써, 가로-조정방향 (10) 으로 하우징 (8) 에 대한 지지 피스 (14) 의, 그리고 이로써 다 함께 폐쇄 유닛 (26) 의 이동이 발생한다. 폐쇄부재 (1) 는 이를 통해 벽 (6) 쪽으로의 방향으로 이동되고, 개구부 (4) 를 폐쇄하기 위해 상기 벽에 밀어붙혀진다. 전달 유닛 (18) 의 상기 마지막 위치는 도 13 내지 도 16, 도 23 및 도 27 에 도시된다.

이로써, 상기 진공밸브의 전체 폐쇄는 전달 유닛 (18) 의 상기 시작 위치로부터 상기 마지막 위치까지의 전달 유닛 (18) 의 직선이동을 통해 수행된다. 전달 유닛 (18) 의 상기 시작 위치로부터 상기 중앙 위치까지, 이때는 지지 피스 (14) 와 전달 유닛 (18) 사이의 상대적 이동이 수행되지 않는다. 전달 유닛 (18) 의 상기 중앙 위치로부터 상기 마지막 위치까지 지지 피스 (14) 는 전달 유닛 (18) 에 대해 상대적으로, 경사진-리니어 가이드들 (20) 에 의해 미리 정해져 있는 경사진-조정방향 (21) 을 따라서 이동된다.

상기 폐쇄장치를 열 때, 상기 기술된 운동과정이 반대 방향에서 수행된다. 이때, 전달 유닛 (18) 에 대한 지지 피스 (14) 의 이동을 제한하는, 그리고 전달 유닛 (18) 이 그의 마지막 위치로부터 시작하여 그의 중앙 위치에 도달하면 효과가 있게 되는 스톱이 제공된다. 이 스톱은 실시예에서 전달 유닛 (18) 의 돌출부 (27) 에 의해 실현되고, 상기 돌출부에 경사진-리니어 가이드 (20) 의 캐리지 (23) 가 부딪친다. 이러한 스톱은, 예컨대 각각의 경사진-리니어 가이드 (20) 의 가이드 레일 (22) 과 캐리지 (23) 사이에서, 다른 방식으로도 형성될 수 있다. 원칙적으로, 이러한 스톱이 생략되고 지지 피스 (14) 가 적어도 하나의 스프링 (25) 에 의해 동행되고, 그러면 상기 스프링이 본 실시예에서 상기 폐쇄장치를 열 때 인장 스프링으로서 작용하는 것도 가능하다.

도 30 에는, 명료하게 보이도록 하기 위해, 함께 움직이는 요소들은 함께 연결된 상태에서 도시된다. 이렇게, 폐쇄 유닛 (26) 의 부품들과, 지지 피스 (14) 에 부착된 경사진-리니어 가이드들 (20) 의 캐리지들 (23) 은 유닛으로서 도시된다. 전달 유닛 (18), 그에 부착된 세로방향-리니어 가이드들 (19) 의 캐리지들 (23), 그에 부착된 경사진-리니어 가이드들 (20) 의 가이드 레일들 (22), 및 그에 작용하는 피스톤 로드들 (16) 은 마찬가지로 유닛으로서 도시된다. 세로방향-리니어 가이드들 (19) 의 가이드 레일들 (22) 은, 실린더들 (17) 과 마찬가지로, 하우징 (8) 에 부착되어 도시된다.

상기 폐쇄 유닛의 제동을 댐핑하기 위해 (즉 지체 또는 발생하는 충격을 감소시키기 위해) 상기 스톱 장치는 스톱 스프링 (28) 을 구비한다. 폐쇄부재 (1) 의 상기 개방위치에서는 이 스톱 스프링 (28) 은 부하를 받지 않고, 변형되지 않은 기본위치를 차지한다. 상기 폐쇄장치가 닫히면 스톱 부품 (29) 은 스톱 스프링 (28) 에 부딪치고, 그를 작업위치로 변형시키고, 보다 정확히 말하면 이 부딪침과 이 변형은 상기 시작 위치로부터 상기 중앙 위치로의 전달 유닛 (18) 의 이동 경로의 마지막 섹션에서 수행된다.

이 스톱 스프링 (28) 은 각각 스톱 부품 (29) 과 함께 작용하는 스프링 레그들 (28a) 을 구비한다. 각각의 스프링 레그 (28a) 는 스톱 부품 (29) 에 의해 스프링 디플렉션에 걸쳐 변위될 수 있다. 스톱 스프링 (28) 의 상기 기본위치에 있어서, 상기 스프링 레그는 이때 적어도 스톱 부품 (29) 이 상기 폐쇄장치를 닫을 때 상기 스프링 레그에 부딪치는 상기 스프링 레그의 연장부의 섹션에서 각각의 강성 지지 부품 (30) 으로부터 간격을 두고 있다. 스톱 스프링 (28) 의 상기 작업위치에 있어서, 스프링 레그 (28a) 가 스톱 부품 (29) 에 의해 변위되었으면, 스프링 레그 (28a) 의 이 섹션은 지지 부품 (30) 에 밀착한다. 스프링 레그 (28a) 의 변위는 이로써 지지 부품 (30) 에 의해 제한된다.

실시예에서 스톱 스프링 (28) 은 2개의 스프링 레그들 (28a) 을 구비하고, 그들에 각각 하나의 지지 부품 (30) 이 할당된다. 할당된 지지 부품 (30) 을 갖는 단지 하나의 스프링 레그 (28a) 만 제공될 수도 있고 또는 각각 할당된 지지 부품들 (30) 을 갖는 2개를 초과하는 스프링 레그들 (28) 이 제공될 수 있다. 상기 지지 부품들은 실시예에서 볼트들에 의해 형성되고, 상기 볼트들은 하우징 (8) 의 바닥 벽에 부착되고, 그로부터 돌출해 있고, 이때 지지 부품들 (30) 은 상이한, 그에 대하여 변화된 형태로도 형성될 수 있고, 또한 하나의 공통의 지지 부품이 1개를 초과하는 스프링 레그 (28a) 를 위해 존재할 수 있다. 상기 적어도 하나의 스프링 레그 (28a) 는 세로-조정방향 (9) 과 함께 45°보다 큰 각도를 이룬다 (스톱 스프링 (28) 의 상기 기본위치에서 뿐만 아니라 상기 작업위치에서도).

스톱 스프링 (28) 의 목적에 맞는 구현형태는 그가 플레이트 모양의 베이스 부분 (28b) 을 구비하는 것을 제공하고, 상기 베이스 부분과 상기 적어도 하나의 스프링 레그 (28a) 는 굽힘부를 통하여 연결된다. 플레이트 모양의 베이스 부분 (28b) 은 바로 하우징 (8) 에 나사결합될 수 있다. 스톱 스프링 (28) 의 기본상태에서 스프링 레그 (28a) 는 베이스 부분 (28b) 과 함께, 유리하게는 45°와 80°사이의 범위에 있는 각도를 이룬다. 스톱 스프링 (28) 의 상기 작업위치에 있어서, 스프링 레그 (28a) 가 스톱 부품 (29) 에 지지되면 이 각도는 예컨대 도시된 바와 같이 90°일 수 있다.

실시예에서 스톱 부품 (29) 은 로드 (2) 에 배치되고, 보다 정확히 말하면 폐쇄부재 (1) 로부터 멀리 향하는 측에서 지지 피스 (14) 밖으로 튀어나와 있는 상기 로드의 섹션에, 특히 로드 (2) 의 이 섹션의 자유 단부의 영역에 배치된다. 스톱 부품 (29) 은 여기서 로드 (2) 를 관통하는 볼트에 의해 형성되고, 하지만 다른 방식으로도 형성될 수 있다. 변화된 실시형태에서, 스톱 부품 (29) 은 지지 피스 (14) 에도 배치될 수 있고, 상응하여 하우징 (8) 에 조립된 스톱 스프링과 함께 작용할 수 있다.

하우징 (8) 은 내부공간을 구비하고, 상기 내부공간 밖으로 로드 (2) 가 안내된다. 이러한 밖으로의 안내는 실시예에서 벨로스 (bellows, 31) (중앙 섹션에서는 실선으로 그려지지 않음) 에 의해 밀봉된다. 이를 통해, 하우징 안에 발생된 입자들 (particles) 이 로드 (2) 를 위한 개구부를 통해 상기 하우징 내부 밖으로 벽 (6) 안의 개구부 (4) 의 영역에 도달하는 것이 방지된다.

전달 유닛 (18), 지지 피스 (14), 리니어 가이드들 (19, 20) 은, 마찬가지로 바람직하게는 드라이브 (15) 는, 하우징 (8) 의 상기 내부공간 안에 배치된다. 하우징 (8) 은 주변공간에 대해 밀봉될 수 있고 또는 필터를 통하여 주변공간과 연결될 수 있고, 상기 필터는 상기 하우징의 상기 내부공간 밖으로의 입자들의 배출을 저지한다. 이로써 상기 폐쇄장치는 특히 청정실 조건들 하에서의 이용을 위해 적합할 수 있다.

본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서, 본 발명의 상기 도시된 실시예의 여러 가지 변화들이 가능하다. 이렇게, 예컨대 변화된 구현에 있어서 드라이브로서는 오로지 하나의 개별적인 피스톤-실린더 유닛이 제공될 수 있고 또는 2개를 초과하는 피스톤-실린더 유닛들이 이용될 수 있다. 공압식 피스톤-실린더 유닛들과 다른 액추에이터들을 갖는 드라이브들, 예컨대 전기 드라이브들이 이용될 수 있다.

상기 드라이브가 1개를 초과하는 드라이브 요소 (=액추에이터) 를 구비할 경우, 그들은 동일한 운동방향으로 작용한다.

전달 유닛 (18) 은 2개의 분리된 부품들에 의해서도 형성될 수 있고, 상기 부품들은 상기 드라이브에 의해 동시에 이동된다 (예컨대 동기 (synchronized) 액추에이터들에 의해).

상기 폐쇄 유닛은 1개를 초과하는 로드도 포함할 수 있고, 이때 상기 로드들은 하나의 공통의 지지 피스와 견고하게 연결된다. 각각의 로드는 각각의, 별도의 지지 피스와 견고하게 연결될 수 있다.

원칙적으로, 상기 전달 유닛의 선형으로 이동 가능한 안내를 위한 단지 하나의 세로방향-리니어 가이드만 존재할 수도 있고 또는 2개를 초과하는 세로방향-리니어 가이드들이 제공될 수 있다.

원칙적으로, 전달 유닛 (18) 에 대한 지지 피스 (14) 의 이동 가능한 안내를 위한 단지 하나의 경사진-리니어 가이드만 존재할 수도 있고 또는 2개를 초과하는 경사진-리니어 가이드들이 제공될 수 있다.

실시예에서 상기 폐쇄장치는 진공도어의 형태로 형성된다. 진공밸브의 다른 종류 형태의 형성이 마찬가지로 가능하다. 이렇게, 예컨대 2개의 진공챔버 사이에 배치될 수 있는 진공밸브에 관한 것일 수 있다. 이로써 상기 폐쇄장치는 밸브 하우징을 구비할 수도 있고, 상기 밸브 하우징 안에 폐쇄부재 (1) 가 배치되고, 이때 로드 (2) 는 밀봉되어, 특히 벨로스를 이용해, 상기 밸브 하우징 밖으로 안내된다. 그러면 개구부 (4) 는 상기 밸브 하우징의 벽 안에 배치되고 상기 밸브 하우징은 제 2 개구부를, 예컨대 마주 보고 있는 벽 안에, 구비할 것이다.

1 : 폐쇄부재 2 : 로드
3 : 연결 피스 4 : 개구부
5 : 축 6 : 벽
7 : 나사 8 : 하우징
9 : 세로-조정방향 10 : 가로-조정방향
11 : 시트 12 : 밀봉링
13 : 세로축 14 ; 지지 피스
15 : 드라이브 16 : 피스톤 로드
17 : 실린더 18 : 전달 유닛
18a : 옆부품 18b : 옆부품
18c : 연결 부품 19 : 세로방향-리니어 가이드
20 : 경사진-리니어 가이드 21 : 경사진-조정방향
22 : 가이드 레일 22a : 헤드 영역
23 : 캐리지 24 : 각도
25 : 스프링 26 : 폐쇄 유닛
27 : 돌출부 28 : 스톱 스프링
28a : 스프링 레그 28b : 베이스 부분
29 : 스톱 부품 30 : 지지 부품
31 : 벨로스 32 : 구름요소

Claims (10)

1. 벽 (6) 안의 개구부 (4) 의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치로서,
   상기 폐쇄장치는,
   - 폐쇄 유닛 (26) 으로서, 상기 폐쇄 유닛은 폐쇄부재 (1) 와 적어도 하나의 로드 (2) 를 구비하고, 상기 폐쇄부재는 세로-조정방향 (9) 에 대해 평행으로, 상기 폐쇄부재 (1) 가 상기 폐쇄장치의 열린 상태에서 차지하는 개방위치로부터 중간위치로 조정될 수 있고, 상기 세로-조정방향 (9) 에 대해 직각으로 있는 가로-조정방향 (10) 에 대해 평행으로 상기 중간위치로부터, 상기 폐쇄부재 (1) 가 상기 폐쇄장치의 닫힌 상태에서 차지하는 폐쇄위치로 조정될 수 있고, 상기 적어도 하나의 로드는 상기 세로-조정방향 (9) 에 대해 평행으로 있는 세로축 (13) 을 구비하고 상기 폐쇄장치의 하우징 (8) 밖으로 돌출하고, 상기 하우징 (8) 밖에서 상기 폐쇄부재 (1) 를 받치고 있고, 상기 적어도 하나의 로드는 견고하게 지지 피스 (14) 와 연결되는, 상기 폐쇄 유닛 (26),
   - 전달 유닛 (18) 으로서, 상기 전달 유닛은 드라이브 (15) 에 의해, 상기 폐쇄부재 (1) 가 상기 개방위치를 차지하는 시작 위치와 상기 폐쇄부재 (1) 가 상기 중간위치를 차지하는 중앙 위치와 상기 폐쇄부재 (1) 가 상기 폐쇄위치를 차지하는 마지막 위치 사이에서, 상기 세로-조정방향 (9) 에 대해 평행으로 조정될 수 있는, 상기 전달 유닛 (18),
   - 적어도 하나의 스프링 (25) 으로서, 상기 적어도 하나의 스프링은 상기 전달 유닛 (18) 과 상기 지지 피스 (14) 사이에 배치되고, 상기 적어도 하나의 스프링은 상기 시작 위치로부터 상기 중앙 위치로의 상기 전달 유닛 (18) 조정시 상기 지지 피스 (14) 를 동행시키고, 상기 세로-조정방향 (9) 으로 상기 하우징 (8) 에 대한 상기 지지 피스 (14) 의 조정이 수행되는, 상기 적어도 하나의 스프링 (25),
   - 스톱 장치로서, 상기 스톱 장치는 상기 중앙 위치로부터 상기 마지막 위치로의 상기 전달 유닛 (18) 조정시 상기 세로-조정방향 (9) 에 대해 평행하는 상기 지지 피스 (14) 의 그 밖의 조정을 봉쇄하고, 상기 가로-조정방향 (10) 으로 상기 하우징 (8) 에 대한 상기 지지 피스 (14) 의 조정이 수행되는, 상기 스톱 장치를 포함하고,
   상기 폐쇄장치는 적어도 하나의 세로방향-리니어 가이드 (19) 와 적어도 하나의 경사진-리니어 가이드 (20) 를 포함하고, 상기 세로방향-리니어 가이드와 상기 경사진-리니어 가이드는 각각 하나의 가이드 레일 (22), 및 상기 가이드 레일 (22) 을 따라서 선형으로 이동 가능하게 지지된 캐리지 (23) 를 구비하고,
   상기 세로방향-리니어 가이드 (19) 의 상기 가이드 레일 (22) 은 상기 세로-조정방향 (9) 에 대해 평행으로 배치되고, 상기 경사진-리니어 가이드 (20) 의 상기 가이드 레일 (22) 은 경사진-조정방향 (21) 에 대해 평행으로 배치되고, 상기 경사진-조정방향은 상기 세로-조정방향 (9) 과 상기 가로-조정방향 (10) 에 의해 펼쳐진 평면에, 상기 세로-조정방향 (9) 에 대해 각이 지게 그리고 상기 가로-조정방향 (10) 에 대해 각이지게 되고,
   상기 전달 유닛 (18) 은 상기 적어도 하나의 세로방향-리니어 가이드 (19) 에 의해 상기 하우징 (8) 에 대해 상기 세로-조정방향 (9) 에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내되고, 상기 지지 피스 (14) 는 적어도 하나의 상기 경사진-리니어 가이드 (20) 에 의해 상기 전달 유닛 (18) 에 대해 상기 경사진-조정방향 (21) 에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내되는 것을 특징으로 하는, 벽 (6) 안의 개구부 (4) 의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   캐리지들 (23) 은 상기 가이드 레일들 (22) 에 대해 구름요소들을 이용해 이동 가능하게 지지되는 것을 특징으로 하는, 벽 안의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 스톱 장치는 스톱 스프링 (28) 을 구비하고, 상기 스톱 스프링은 상기 폐쇄부재 (1) 의 상기 개방위치에서는 부하를 받지 않고 기본위치를 차지하고, 상기 스톱 스프링은 상기 폐쇄장치를 닫을 때 수행되는 상기 폐쇄 유닛 (26) 의 제동을 댐핑하기 위해 작업위치로 변형될 수 있는 것을 특징으로 하는, 벽 안의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 스톱 스프링 (28) 은 스프링 레그 (spring leg, 28a) 를 구비하고, 상기 스프링 레그는 상기 폐쇄장치를 닫을 때 수행되는 상기 폐쇄 유닛 (26) 의 제동을 댐핑하기 위해 상기 스톱 스프링 (28) 에 부딪치는 스톱 부품 (29) 에 의해 스프링 디플렉션에 걸쳐 변위될 수 있고,
   이때 상기 스톱 스프링 (28) 의 상기 기본위치에 있어서는 적어도 상기 스톱 부품 (29) 이 상기 폐쇄장치를 닫을 때 상기 스프링 레그 (28a) 에 부딪치는 섹션에서 강성 (rigid) 지지 부품 (30) 으로부터 간격을 두고 있고, 상기 스톱 스프링 (28) 의 상기 작업위치에 있어서는 이 섹션에서 상기 지지 부품 (30) 에 밀착하는 것을 특징으로 하는, 벽 안의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치.
5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 경사진-조정방향 (21) 은 상기 세로-조정방향 (9) 과 함께 45°보다 작은 각도 (24) 를 이루는 것을 특징으로 하는, 벽 안의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치.
6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 경사진-조정방향 (21) 은 상기 세로-조정방향 (9) 과 함께 4°보다 큰 각도 (24) 를 이루는 것을 특징으로 하는, 벽 안의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치.
7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 경사진-조정방향 (21) 은 상기 세로-조정방향 (9) 과 함께 5°내지 20°의 범위에 있는 각도 (24) 를 이루는 것을 특징으로 하는, 벽 안의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치.
8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 로드 (2) 는 상기 세로-조정방향 (9) 에 대해 평행으로 있는 세로축 (13) 을 구비하는 것을 특징으로 하는, 벽 안의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치.
9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 로드 (2) 의 상기 세로축 (13) 의 양쪽에 각각 하나의 세로방향-리니어 가이드 (19) 와 각각 하나의 경사진-리니어 가이드 (20) 가 배치되는 것을 특징으로 하는, 벽 안의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치.
10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전달 유닛 (18), 상기 지지 피스 (14), 상기 적어도 하나의 세로방향-리니어 가이드 (19) 및 상기 적어도 하나의 경사진-리니어 가이드 (20) 는 상기 하우징 (8) 의 내부공간 안에 배치되는 것을 특징으로 하는, 벽 안의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치.

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