KR102136907B1

KR102136907B1 - 진공밸브

Info

Publication number: KR102136907B1
Application number: KR1020157012590A
Authority: KR
Inventors: 토마스 블레하
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2012-11-14
Filing date: 2013-10-22
Publication date: 2020-07-23
Also published as: JP2015534023A; CN104781599A; CN104781599B; US20140131603A1; WO2014075757A1; US8960641B2; KR20150083862A; JP6346898B2

Abstract

진공밸브는 세로축 (20) 을 구비하는 밸브 로드 (11) 를 포함하며, 상기 밸브 로드는 적어도 하나의 밸브 개구부 (2, 3) 를 폐쇄하기 위한 적어도 하나의 폐쇄 부재 (9, 10) 를 받치고 있고, 상기 밸브 로드는 세로방향 드라이브 (18) 에 의해, 상기 밸브 로드 (11) 의 상기 세로축 (20) 에 대해 평행으로 있는 세로방향 (21) 으로, 상기 진공밸브가 개방되어 있는 출발위치로부터 중간위치로 이동 가능하며, 가로방향 드라이브 (19) 에 의해 상기 중간위치로부터 적어도 하나의 마지막 위치로 이동 가능하고, 상기 적어도 하나의 마지막 위치에 있어서 상기 진공밸브는 폐쇄된다. 상기 밸브 로드 (11) 에 전달 피스 (23) 가 고정되며, 상기 전달 피스는 적어도 하나의 가이드 부품 (24) 에 의해 상기 세로방향 (21) 으로 이동 가능하게 안내된다. 상기 가로방향 드라이브 (19) 의 적어도 하나의 가로방향-드라이브 부품 (26) 은 상기 가이드 부품 (24) 에 작용하며, 이때 상기 가이드 부품 (24) 은 상기 가로방향 드라이브 (19) 에 의해 상기 적어도 하나의 가로방향-드라이브 부품 (26) 을 통하여 상기 가로방향 (22) 으로 이동 가능하고, 이때 상기 가이드 부품 (24) 은 상기 가로방향 (22) 으로의 그의 이동시 상기 전달 피스 (23) 를 데리고 간다.

Description

진공밸브 {VACUUM VALVE}

본 발명은 세로축을 구비하는 밸브 로드 (valve rod) 를 갖는 진공밸브에 관한 것이며, 상기 밸브 로드는 적어도 하나의 밸브 개구부 (valve opening) 를 폐쇄하기 위한 적어도 하나의 폐쇄 부재를 받치고 있고, 상기 밸브 로드는 세로방향 드라이브에 의해, 상기 밸브 로드의 상기 세로축에 대해 평행으로 있는 세로방향으로, 상기 진공밸브가 개방되어 있는 출발위치로부터 중간위치로 이동 가능하며, 가로방향 드라이브에 의해 상기 중간위치로부터 적어도 하나의 마지막 위치로 이동 가능하고, 상기 적어도 하나의 마지막 위치에 있어서 상기 진공밸브는 폐쇄된다.

폐쇄 부재가 개방위치로부터, 상기 폐쇄 부재가 밸브 개구부를 덮는, 하지만 밸브 시트 (valve seat) 로부터 들어올려져 있는 중간위치를 거쳐 폐쇄위치로 이동 가능한 진공밸브들은 L 밸브들이라고 불리운다. 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의 상기 폐쇄 부재의 이동이 밸브 로드에 대해 직각으로 있는 축 둘레의, 상기 폐쇄 부재를 받치고 있는 상기 밸브 로드의 선회를 통해 수행되는 형성들 이외에, 상기 폐쇄 부재의 상기 중간위치와 상기 폐쇄 부재의 상기 폐쇄위치 사이에서의 상기 폐쇄 부재의 직선 이동이 수행되는 형성들도 공지되어 있다. 예컨대, 밸브 로드에 지지 유닛이 고정되어 있는 형성들이 공지되어 있으며, 이때 폐쇄 부재는 상기 지지 유닛에 대해 피스톤-실린더 유닛들을 이용해 이동 가능하다. 이러한 유형의 형성들은 예컨대 US 2007/0272888 A1 및 US 6,899,316 에 나타나 있다.

US 2008/0017822 A1 에 L 밸브가 공지되어 있으며, 상기 L 밸브에 있어서 폐쇄 부재는 밸브 로드에 설치되고, 상기 밸브 로드는 그의 세로방향으로 이동 가능하게 안내되며, 피스톤-실린더 유닛에 의해 형성된 세로방향 드라이브를 이용해 세로방향으로 이동 가능하다. 일 실시형태에 있어서 리니어 가이드에 의해 형성되는 가이드 장치를 통해, 이 피스톤-실린더 유닛은 상기 세로방향에 대해 직각으로 있는 가로방향으로 이동 가능하게 안내되고, 이를 통해 상기 밸브 로드도 상기 가로방향으로 이동 가능하다. 상기 폐쇄 부재 안에 통합된 피스톤-실린더 유닛은 상기 밸브 로드를 상기 가로방향으로 이동시키기 위해 사용된다. 그 밖의 실시형태에 있어서, 상기 가로방향-드라이브 장치는 진공영역의 외부에 배치된 피스톤-실린더 유닛에 의해 형성되고, 상기 피스톤-실린더 유닛은 상기 세로방향-드라이브 장치의 실린더에 작용한다. 이러한 형성 형태가 특히 상기 폐쇄 부재를 밸브 시트에 내리누르는 압력차이를 통해서만 상기 폐쇄 부재가 가압되는 적용들을 위해 적합하다는 것이 실시된다. 이 경우, 상기 폐쇄 부재를 상기 밸브 시트에 내리누르는 큰 폐쇄력이 가해질 필요가 없다. 보다 큰 폐쇄력의 전달은 이 문헌에 나타나는 가로방향 가이드를 갖고는 어려울 것이다.

상기 도입부에 언급된 유형의 L 밸브는 WO 2010/034046 A1 에 나타나 있다. 거기에 도시된 실시예들에서, 횡단면에 있어서 원통형인 밸브 로드는 바로 가이드 유닛에 의해 그의 세로방향으로 이동 가능하게 안내되고, 상기 가이드 유닛은 그의 편에서 베어링 유닛에 의해, 상기 밸브 로드의 세로방향에 대해 직각으로 있는 가로방향으로 이동 가능하게 안내된다. 좋은 안내를 가능하게 하기 위해 상기 가이드 유닛은 비교적 육중하게 형성되고, 상기 밸브 로드를 그의 세로방향으로 이동시키는 세로방향 드라이브를 위한 실린더 공간들도 형성한다.

본 발명의 목적은 비교적 유리한 제조비용에 있어서 안정된 그리고 신뢰성 있는 형성을 구비하는, 상기 도입부에 언급된 유형의 유리한 진공밸브를 제공하는 것이다.

이는 본 발명에 따르면 청구항 제 1 항의 특징들을 갖는 진공밸브를 통해 달성된다.

본 발명에 따른 진공밸브에 있어서, 밸브 로드에 전달 피스 (transmission piece) 가 고정되며, 상기 전달 피스는 적어도 하나의, 바람직하게는 로드 (rod) 모양의, 가이드 부품 (guide part) 에 의해 세로방향으로 이동 가능하게 안내된다. 가로방향 드라이브의 적어도 하나의 가로방향-드라이브 부품이 상기 가이드 부품에 작용하고 또는 각각의 가이드 부품에 작용하며, 이때 상기 가이드 부품은 적어도 하나의 가로방향-드라이브 부품에 의해 가로방향으로 이동 가능하며, 이때 상기 가이드 부품은 상기 가로방향으로의 그의 이동시 상기 전달 피스를 데리고 간다. 이로써, 상기 가로방향으로의 상기 적어도 하나의 가이드 부품의 이동시, 상기 가로방향으로의 상기 밸브 로드의 이동도 수행된다.

유리하게는, 상기 세로방향에 대해 직각으로 있는 그리고 상기 가로방향에 대해 직각으로 있는 방향과 관련하여 상기 밸브 로드의 양쪽에 각각 적어도 하나의 가이드 부품이 배치되고, 각각 적어도 하나의 가로방향-드라이브 부품이 상기 가이드 부품에 작용한다. 즉, 상기 밸브 로드의 상기 세로축을 통해 연장되는, 상기 세로방향에 대해 평행으로 있는 그리고 상기 가로방향에 대해 평행으로 있는 평면의 마주하고 있는 측들에 각각 적어도 하나의 이러한 가이드 부품이 놓여 있다.

본 발명을 통해, 너무 큰 재료이용 없이 상기 세로방향으로의 그리고 상기 가로방향으로의 안정된 안내가 가능해지고, 상기 가로방향으로의 높은 폐쇄력들이 확실히 전달될 수 있다.

유리하게는, 상기 전달 피스를 상기 세로방향으로 이동시키기 위해 적어도 하나의 세로방향-드라이브 부품은 상기 전달 피스와 연결되고, 이때 상기 연결은, 상기 가로방향으로의 상기 세로방향-드라이브 부품에 대한 상기 전달 피스의 이동이 가능해지도록 설계된다. 따라서, 상기 세로방향-드라이브 부품은 스스로 상기 가로방향으로 이동 불가능하게 배치될 수 있다. 예컨대, 상기 적어도 하나의 세로방향-드라이브 부품은 피스톤-실린더 유닛의 피스톤 로드 (piston rod) 일 수 있다.

상기 전달 피스는 유리하게는 가로방향 드라이브 하우징의 내부 공간에 배치되고, 상기 가로방향 드라이브 하우징은 상기 세로방향과 상기 가로방향으로 이동 불가능하게 유지된다. 상기 세로방향 드라이브의 적어도 하나의 하우징 부품은 (상기 적어도 하나의 하우징 부품에 대해 상기 세로방향 드라이브의 상기 적어도 하나의 세로방향-드라이브 부품은 상기 세로방향으로 이동 가능하고, 상기 가로방향으로 이동 불가능하다) 바람직하게는 강성적으로 상기 가로방향 드라이브 하우징과 연결된다.

상기 가로방향으로의 상기 적어도 하나의 가이드 부품의 이동 가능한 안내와 상기 세로방향으로의 상기 적어도 하나의 가이드 부품의 이동 불가능한 유지는 유리하게는 상기 가로방향 드라이브 하우징을 통한, 상기 가이드 부품과 연결된 적어도 하나의 요소의 상기 가로방향으로 이동 가능한 설치를 통해 수행된다. 특히, 상기 가로방향 드라이브의 부품들은 상기 가로방향 드라이브 하우징으로부터 상기 가로방향으로 이동 가능하게 안내될 수 있고, 이렇게 예컨대 상기 가이드 부품에 또는 상기 각각의 가이드 부품에 작용하는 상기 적어도 하나의 가로방향-드라이브 부품은, 경우에 따라서는 상기 가로방향 드라이브, 예컨대 피스톤의 그 밖의 부품들의 상기 가로방향으로 이동 가능한 안내와 연결되어, 안내될 수 있다.

본 발명의 유리한 실시형태는, 상기 밸브 로드에 제 1 폐쇄 부재와 제 2 폐쇄 부재가 고정되는 것을 제공한다. 상기 제 1 폐쇄 부재는 상기 밸브 로드의 제 1 마지막 위치에 있어서, 상기 진공밸브의 제 1 밸브 개구부를 둘러싸는 제 1 밸브 시트에 내리눌려져 있다. 상기 제 2 폐쇄 부재는 상기 밸브 로드의 제 2 마지막 위치에 있어서, 상기 진공밸브의 제 2 밸브 개구부를 둘러싸는 제 2 밸브시트에 내리눌려져 있다. 이러한 진공밸브에 있어서, 유리하게는, 상기 밸브 로드가 그의 제 1 마지막 위치에 있을 때는, 예컨대 상기 제 2 폐쇄 부재의 밀봉링을 교체하기 위해 상기 제 2 폐쇄 부재의 정비가 실행될 수 있고, 상기 밸브 로드가 그의 제 2 마지막 위치에 있을 때는, 예컨대 상기 제 1 폐쇄 부재의 밀봉링을 교체하기 위해 상기 제 1 폐쇄 부재의 정비가 실행될 수 있다. 이때, 예컨대 2개의 진공공간, 예컨대 진공챔버들 사이의 진공 밀봉적 밀봉이 유지될 수 있고, 상기 진공챔버들은 상기 진공밸브의 개방된 상태에서 상기 진공밸브를 통하여 연결된다.

상기 가로방향 드라이브에, 유리하게는 적어도 하나의 스프링 요소가 제공되며, 상기 스프링 요소에 의해, 상기 밸브 로드의 마지막 위치에 있는 또는 상기 밸드 로드의 마지막 위치들 중 하나에 있는 상기 밸브 로드는 그의 중간위치의 방향으로 예비인장된다. 상기 밸브 로드를 그의 중간위치로부터 출발하여 제 1 마지막 위치와 제 2 마지막 위치로 이동시키기 위해 상기 가로방향 드라이브가 상기 가로방향에 대해 평행인 반대방향들로 작용하는 드라이브 부품들, 특히 피스톤들을 구비하면, 두 마지막 위치를 위해 바람직하게는 각각 적어도 하나의 스프링 요소가 존재하고, 상기 스프링 요소는 상기 밸브 로드를 그의 각각의 마지막 위치로부터 그의 중간위치의 방향으로 가압한다. 이를 통해, 상기 밸브 로드는 간단한 방식으로, 정의된 중간위치로 움직여질 수 있다. 이때, 가능한 형성 형태에 있어서 스톱 볼트들이 제공될 수 있고, 상기 스톱 볼트들은 상기 밸브 로드의 적어도 하나의 마지막 위치로의 상기 밸브 로드의 이동시 가로방향 드라이브 하우징의 부품에 밀착될 수 있고, 이때 스프링의 힘에 대항하여 이동될 수 있다. 특히, 이러한 스톱 볼트들은 상기 가로방향 드라이브의 피스톤들의 리세스들 (recesses) 안에 배치될 수 있다.

이 문헌에서 일반적으로 상기 세로방향 또는 상기 가로방향과 관련하여 이동 불가능한 배치 또는 유지가 언급되면, 상기 세로방향에 대해 평행인 두 방향 또는 상기 가로방향에 대해 평행인 두 방향을 의미한다.

이하, 본 발명의 그 밖의 장점들과 상세내용들은 첨부된 도면을 근거로 설명된다.

도 1 은 개방된 상태에서의 본 발명에 따른 진공밸브의 도면;
도 2 와 도 3 은 도 1 의 진공밸브의 측면도와 평면도;
도 4 는 도 1 의 선 AA 를 따른 단면도;
도 5 는 도 1 의 선 BB 를 따른 단면도;
도 6 은 도 5 의 확대된 부분 X;
도 7 은 도 1 의 선 CC 를 따른 단면도;
도 8 내지 도 11 은 밸브 로드의 중간위치에서의, 도 4 내지 도 7 에 상응하는 도면들;
도 12 내지 도 15 는 밸브 로드의 제 1 마지막 위치에서의, 도 4 내지 도 7 에 상응하는 도면들;
도 16 내지 도 19 는 밸브 로드의 제 2 마지막 위치에서의, 도 4 내지 도 7 에 상응하는 도면들;
도 20 은 상기 진공밸브의 부품들이 분해되어 도시된, 상기 진공밸브의 사투상도;
도 21 은 세로방향 드라이브의 부품들과 가로방향 드라이브의 부품들이 분해되어 도시된, 상기 세로방향 드라이브와 상기 가로방향 드라이브를 갖는 상기 밸브 로드의 사투상도;
도 22 는 전달 피스, 가이드 부품들, 세로방향 드라이브의 피스톤 및 가로방향 드라이브의 피스톤을 갖는 상기 밸브 로드의 사투상도;
도 23 와 도 24 는 도 22 의 부품들의 도면과 평면도;
도 25 는 도 8 안의 선 DD 를 따른 단면도;
도 26 은 도 25 의 확대된 부분 Y 를 나타낸다.

본 발명의 실시예는 도 1 내지 도 26 에 도시된다. 진공밸브는 제 1 밸브 개구부 (2) 와 제 2 밸브 개구부 (3) 을 갖는 밸브 하우징 (1) 을 포함하며, 상기 밸브 개구부들은 축들 (4, 5) 을 구비하고, 밸브 하우징 (1) 의 마주 보고 있는 벽들 안에 배치된다. 밸브 개구부들 (2, 3) 을 둘러싸는 상기 벽들은 그들의 서로를 향한 측들에 제 1 밸브 시트 (6) 와 제 2 밸브 시트 (7) 를 구비하며, 상기 밸브 시트들은 밸브 개구부들 (2, 3) 을 둘러싼다.

밸브 하우징 (1) 은 내부 공간 (8) 을 구비하며, 상기 내부 공간은 상기 진공밸브의 진공영역을 형성하고, 즉 내부 공간 (8) 은, 밸브 개구부들 (2, 3) 을 제외하곤, 상기 진공밸브의 외부 공간에 대해 진공 밀봉적으로 밀봉된다.

밸브 하우징 (1) 의 내부 공간 (8) 에 제 1 폐쇄 부재 (9) 와 제 2 폐쇄 부재 (10) 가 배치되고, 상기 폐쇄 부재들은 각각 밸브 플레이트의 형태로 형성된다. 폐쇄 부재들 (9, 10) 은 그들을 받치고 있는 밸브 로드 (11) 에 설치되고, 상기 밸브 로드는 세로축 (20) 을 구비한다.

도시된 실시예에서, 제 1 폐쇄 부재 (9) 와 제 2 폐쇄 부재 (10) 에 각각 적어도 하나의 엘라스토머 밀봉링 (15) 이 배치되고, 밸브 시트들 (6, 7) 은 밀봉면들에 의해 형성된다.

원칙적으로, 그 반대의 형성도 가능하며, 상기 형성에 있어서 밸브 시트들 (6, 7) 은 밀봉링들을 구비하고, 폐쇄 부재들 (9, 10) 은 밀봉면들을 구비한다.

밸브 시트들 (6, 7) 은 각각 하나의 평면에 놓여 있다. 바람직하게는, 상기 밸브 시트들의 상기 평면들은, 도시된 실시예에서 나타나는 바와 같이, 서로 평행한다. 밸브 개구부들 (2, 3) 의 축들 (4, 5) 은 밸브 시트들 (6, 7) 이 놓여 있는 상기 평면들에 대해 직각으로 있다.

예컨대, 밸브 로드 (11) 와의 연결은 도시된 바와 같이 연결 피스 (12) 를 통하여 수행될 수 있고, 상기 연결 피스는 2개의 돌기 (13) 를 구비하며, 상기 돌기들에 각각 지지체 (14) 가 나사결합되고, 상기 지지체는 또다시 그의 두 단부에서 각각의 폐쇄 부재 (9, 10) 에 나사결합된다. 지지체 (14) 의 비틀림을 통해, 세로축 (20) 에 대해 직각으로 있는 그리고 각각의 밸브 시트 (6, 7) 의 평면에 대해 평행으로 있는 축 둘레로 각각의 폐쇄 부재 (9, 10) 의 일종의 선회가 가능하며, 따라서 상기 밀봉면에의 밀봉링 (15) 의 가능한 한 균일한 압축력이 달성된다. 밸브 로드 (11) 와 폐쇄 부재들 (9, 10) 과의 연결은 다른 방식으로도 수행될 수 있다.

밸브 로드 (11) 는 상기 밸브 하우징의 개구부 (16) 를 통해 상기 밸브 하우징 밖으로 안내되며, 따라서 폐쇄 부재들 (9, 10) 이 설치된 상기 밸브 로드의 섹션은 밸브 하우징 (1) 의 내부에 있고, 밸브 로드 (11) 의 그 밖의 섹션은 밸브 하우징 (1) 의 외부에 있다. 밸브 하우징 (1) 을 통한 밸브 로드 (11) 의 통과는, 도시된 실시예에서 벨로스 (17) 를 이용해, 진공 밀봉적으로 실행되며, 상기 벨로스의 일 단부는 밸브 하우징 (1) 과 진공 밀봉적으로 연결되고, 다른 단부는 밸브 로드 (11) 와 진공 밀봉적으로 연결된다.

세로방향 드라이브 (18) 와 가로방향 드라이브 (19) 는 밸브 하우징 (1) 의 외부에 있는 밸브 로드 (11) 의 섹션과 함께 작용하며, 즉 세로방향 드라이브 (18) 와 가로방향 드라이브 (19) 는 상기 진공밸브의 진공영역의 외부에 배치된다. 세로방향 드라이브 (18) 는 밸브 로드 (11) 의 세로축 (20) 에 대해 평행으로 있는 세로방향 (21) 으로 밸브 로드 (11) 를 이동시키기 위해 사용되며, 상기 세로방향은 도면들에서 이중 화살표로 표시된다. 가로방향 드라이브 (19) 는 밸브 로드 (11) 의 세로축 (20) 에 대해 직각으로 있는 가로방향 (22) 으로 밸브 로드 (11) 를 이동시키기 위해 사용되며, 상기 가로방향은 도면들에서 이중 화살표로 표시된다. 세로방향 (21) 으로의 밸브 로드 (11) 의 이동에 있어서, 밸브 로드 (11) 의 세로축 (20) 의 위치가 변하지 않는다. 가로방향 (22) 으로의 밸브 로드 (11) 의 이동에 있어서, 상기 이동 후의 밸브 로드 (11) 의 세로축 (20) 은 상기 이동 전의 상기 세로축의 위치에 대해 평행으로 있다. 다른 말로 하자면, 세로방향 (21) 으로의 이동과 가로방향 (22) 으로의 이동은 밸브 로드 (11) 의 평행이동들이다.

밸브 시트들 (6, 7) 이 놓여 있는 평면들의 평행 배열에 있어서, 세로방향 (21) 은 이 평면들에 대해 평행으로 있다. 가로방향 (22) 은 이 평면들에 대해 직각으로 있다. 밸브 시트들 (6, 7) 의 평면들이 서로 각도를 이룬다면, 세로방향 (21) 은 이 각도에 대한 각도 이등분선에 있는 평면에 대해 평행으로 있을 것이고, 가로방향 (22) 은 상기 각도 이등분선에 있는 이 평면에 대해 직각으로 있을 것이다.

도 1 내지 도 7 에 도시된 상기 진공밸브의 완전히 개방된 상태에서, 밸브 로드 (11) 는 출발위치를 차지한다. 폐쇄 부재들 (9, 10) 은 그들의 개방위치들에 있고, 상기 개방위치들에 있어서 상기 폐쇄 부재들은 밸브 개구부들 (2, 3) 을 (축들 (4, 5) 의 방향으로 볼 때) 완전히 해제한다.

세로방향 드라이브 (18) 를 이용해, 밸브 로드 (11) 는 그의 출발위치로부터 출발하여 세로방향 (21) 으로, 도 8 내지 도 11 에 도시된 중간위치로 이동될 수 있다. 밸브 로드 (11) 의 상기 중간위치에 있어서 폐쇄 부재들 (9, 10) 은 그들의 중간위치들을 차지하며, 상기 중간위치들에 있어서 상기 폐쇄 부재들은 밸브 개구부들 (2, 3) 을, 축들 (4, 5) 의 방향으로 볼 때, 덮고 있고, 하지만 밸브 시트들 (6, 7) 로부터 들어올려져 있다.

가로방향 드라이브 (19) 를 이용해, 밸브 로드 (11) 는 상기 중간위치로부터 출발하여 가로방향 (22) 으로, 도 12 내지 도 15 에 도시된 제 1 마지막 위치로 그리고 도 16 내지 도 19 에 도시된 제 2 마지막 위치로 이동될 수 있다. 상기 제 1 마지막 위치에 있어서 제 1 폐쇄 부재 (9) 는 그의 폐쇄위치를 차지하고, 상기 폐쇄위치에 있어서 상기 제 1 폐쇄 부재는 제 1 밸브 시트 (6) 에 내리눌려져 있으며, 제 1 밸브 개구부 (2) 를 폐쇄한다. 상기 제 2 마지막 위치에 있어서 제 2 폐쇄 부재 (10) 는 그의 폐쇄위치를 차지하고, 상기 폐쇄위치에 있어서 상기 제 2 폐쇄 부재는 제 2 밸브 시트 (7) 에 내리눌려져 있으며, 제 2 밸브 개구부 (3) 를 폐쇄한다. 각각의 밸브 개구부 (2, 3) 의 상기 폐쇄는 진공 밀봉적이다. ‘진공 밀봉적’이라는 것은 이 문헌의 범위에서, 1.10-3mBar 미만의 진공이 적어도 1 시간을 초과하여 상기 진공밸브의 진공영역 안에서 유지될 수 있다는 것을 의미해야 한다 (이때, 다른 밸브 개구부가 완전히 밀봉되어 있다고 가정된다; 실제로 그는 진공화된 공간과, 예컨대 진공챔버와 연결되어 있을 것이다).

밸브 하우징 (1) 의 외부에 놓여 있는 밸브 로드 (11) 의 섹션에 전달 피스 (23) 가 고정된다. 전달 피스 (23) 는 밸브 로드 (11) 와 상기 세로방향으로 그리고 상기 가로방향으로 이동 불가능하게 연결된다.

전달 피스 (23) 는 세로방향 (21) 으로 이동 불가능하게 유지된 가이드 부품들 (24) 에 의해 세로방향 (21) 으로 이동 가능하게 안내된다. 가이드 부품들 (24) 은 세로방향 (21) 으로의, 전달 피스 (23) 를 위한 직선 안내를 형성한다. 바람직하게는, 상기 전달 피스는 실시예에서 미끄럼 베어링의 형태로 형성된다.

전달 피스 (23) 는 적어도 모든 가이드 부품들 (24) 에 의해 함께 가로방향 (22) 으로 이동 불가능하게 유지된다. 실시예에서, 전달 피스 (23) 는 각각의 가이브 부품 (24) 에 의해 개별적으로 가로방향 (22) 으로 이동 불가능하게 유지된다.

전달 피스 (23) 와 가이드 부품들 (24) 은 상기 진공밸브의 진공영역의 외부에 있다.

도시된 실시예의 전달 피스 (23) 는 요크 (yoke) 라고도 불리울 수 있다.

가이드 부품들 (24) 은 로드들의 형태로 형성되며, 전달 피스 (23) 의 리세스들 (25) 을 관통한다. 리세스들 (25) 은 가로방향 (22) 으로 전달 피스 (23) 의 가장자리 쪽으로 각각 개방되고, 180°를 초과하여 각각의 가이드 부품 (24) 을 둘러싼다. 이를 통해, 전달 피스 (23) 는 각각의 가이브 부품 (24) 에 대해 세로방향 (21) 으로 이동 가능하고, 하지만 가로방향 (22) 으로 이동 불가능하게 유지된다.

세로방향 (21) 으로의 전달 피스 (23) 의 직선 안내는 다른 방식으로도 형성될 수 있다. 가이드 부품들 (24) 은 직선 안내의 다른 형성들에 있어서 예컨대 각각 언더컷된 그루브 (groove) 안으로 돌출하는 섹션과, 이 언더컷된 그루브의 외부에 놓여 있는 섹션을, 예컨대 더브테일 가이드 (dovetail guide) 식으로, 구비할 수 있다. 즉, 가이드 부품들 (24) 의 도시된 원통형 형성 대신에, 상기 가이드 부품들은 다른 횡단면들을 갖는, 예컨대 막대 모양의 형성을 구비할 수 있다.

가이드 부품들 (24) 에 각각 가로방향-드라이브 부품들 (26) 이 고정되며, 상기 가로방향-드라이브 부품들은 피스톤 로드들의 형태로 형성된다. 상기 고정은 전달 피스 (23) 의 상기 세로방향 이동시 상기 가로방향과 관련하여 전달 피스 (23) 의 가장자리 쪽으로 개방된 리세스들 (25) 의 영역들 안에 놓이게 되는 가이드 부품들 (24) 의 부위들에서 수행된다. 상기 고정은 밸브 로드 (11) 의 출발위치로부터 그의 중간위치로의 상기 밸브 로드의 이동시 전달 피스 (23) 의 전체 이동경로에 걸쳐 옆으로 (세로방향 (21) 과 관련하여) 전달 피스 (23) 옆에 놓여 있는 부위들에서 수행될 수도 있다. 이 경우, 가이드 부품들 (24) 은 전달 피스 (23) 의 가장자리 쪽으로 폐쇄된 리세스들 (25) (전달 피스 (23) 를 통한 보어들 형태의) 도 관통할 수 있다.

실시예에서 피스톤 로드들의 형태로 형성된 가로방향-드라이브 부품들 (26) 은 가로방향 드라이브 (29) 의 피스톤들 (27) 에 고정된다. 가로방향 드라이브 (19) 의 피스톤들 (27) 은 실린더 공간들 (28) 안에 놓여 있다. 실린더 공간들 (28) 은 도시된 실시예에서 가로방향 드라이브 하우징의 내부 공간들에 의해 형성된다. 상기 가로방향 드라이브 하우징은 서로 강성적으로 연결된 2개의 기본몸체 (29) 를 포함한다. 실린더 공간들 (28) 을 형성하기 위해, 상기 실린더 공간들은 뚜껑들 (30) 에 의해 폐쇄된 리세스들을 구비한다. 상기 가로방향 드라이브 하우징 (29, 30) 은 밸브 하우징 (1) 과 강성적으로 연결된다.

세로방향 (21) 에 대해 직각으로 있는 그리고 가로방향 (22) 에 대해 직각으로 있는 방향과 관련하여, 밸브 로드 (11) 의 양쪽에 각각 2개의 가이드 부품들 (24) 이 배치된다. 다른 말로 하자면, 세로방향 (21) 에 대해 그리고 가로방향 (22) 에 대해 평행으로 놓여 있는 그리고 세로축 (20) 을 관통하는 평면의 양쪽에 각각 2개의 가이드 부품들 (24) 이 놓여 있다. 상기 언급된 평면의 각각의 측에 놓여 있는 두 가이드 부품 (24) 은 가로방향 (19) 으로 서로 간격을 두고 있고, 이때 그들은 세로방향 (21) 에 대해 평행으로 있는 그리고 가로방향 (22) 에 대해 직각으로 있는 그리고 상기 밸브 로드의 세로축 (20) 을 관통하는 평면의 양쪽에 놓여 있다. 상기 평면의 양쪽에 놓여 있는 두 가이드 부품 (24) 에 고정된 가로방향-드라이브 부품들 (26) 은 서로로부터 멀리 향하는 방향들로 (상기 방향들은 가로방향 (22) 에 대해 평행으로 있다) 가이드 부품들 (24) 로부터 떨어져 있다.

도시된 실시예에서, 각각의 피스톤 (27) 은 피스톤 로드들의 형태로 형성된 2개의 가로방향-드라이브 부품들 (26) 을 통하여 각각의 가이드 부품 (24) 과 연결된다. 그 대신에, 이러한 연결은 하나의 가로방향-드라이브 부품 (26) 을 통해서만도 수행될 수 있다.

가이브 부품들 (24) 은 가로방향-드라이브 부품들 (26) 과의 연결을 통해 세로방향 (21) 으로 이동 불가능하게 유지되고, 가로방향 드라이브 (19) 에 의해 가로방향 (22) 으로 이동 가능하다. 실시예에서, 가로방향 (22) 으로 이동 가능한, 가이드 부품들 (24) 의 안내는 가로방향-드라이브 부품들 (26) 을 가로방향 (22) 으로 이동 가능하게 지지하는 안내와, 가로방향 (22) 으로의 피스톤들 (27) 의 이동 가능한 안내를 포함한다. 피스톤들 (27) 은 실린더 공간들 (28) 의 가장자리들로부터 가로방향 (22) 으로 이동 가능하게 안내되고, 가로방향-드라이브 부품들 (26) 은 상기 가로방향 드라이브 하우징 안의 개구부들 (31) (도 21 참조) 의 가장자리들로부터 (상기 개구부들을 통해 가로방향-드라이브 부품들 (26) 이 연장된다) 가로방향 (22) 으로 이동 가능하게 안내된다. 또한, 피스톤들 (27) 에 가이드 핀들 (51) 이 배치되고, 상기 가이드 핀들은 가로방향 (22) 으로 연장되는, 기본몸체 (29) 안의 가이드 보어들 (52) (도 21 참조) 안에서 상기 가로방향으로 이동 가능하게 안내된다. 가로방향 (22) 으로의 이동 가능한 안내는 다른 방식으로도 수행될 수 있고, 예컨대 가이드 핀들 (21) 과 가이드 보어들 (52) 이 생략될 수 있거나 또는 피스톤들 (27) 만 가로방향 (22) 으로 이동 가능하게 안내될 수 있다.

전달 피스 (23) 를 상기 세로방향으로 이동시키기 위해 세로방향-드라이브 부품들 (32) 은 전달 피스 (23) 와 연결되며, 상기 세로방향-드라이브 부품들은 피스톤 로드들에 의해 형성되고, 상기 피스톤 로드들에 세로방향 드라이브 (18) 의 피스톤들 (33) 이 설치된다. 피스톤들 (33) 은 실린더 공간들 (34) 안에 배치된다. 상기 실린더 공간들은 실시예에서 세로방향 드라이브 하우징의 내부 공간들에 의해 형성된다. 상기 세로방향 드라이브 하우징은 이를 위해 리세스들을 갖는 기본몸체 (35) 를 구비하며, 상기 리세스들은 뚜껑들 (36a, 36b) 에 의해 폐쇄된다. 뚜껑 (36b) 의 보어를 통해, 세로방향-드라이브 부품 (32) 을 형성하는 피스톤 로드가 연장된다.

세로방향 드라이브 하우징 (35, 36) 은 가로방향 드라이브 하우징 (29, 30) 과 강성적으로 연결된다.

스스로는 가로방향 (22) 으로 이동 불가능한 세로방향-드라이브 부품들 (32) 은 전달 피스 (23) 와 가로방향 (22) 으로 이동 가능하게 연결된다. 이를 위해, 상기 세로방향-드라이브 부품들은 실시예에서 세로방향 (21) 으로 연장되는 관통 개구부들 (37) 을 전달 피스 (23) 를 통해 관통하며, 가로방향 (22) 으로의 상기 관통 개구부들의 내부 폭은 각각 가로방향 (22) 으로의 세로방향-드라이브 부품 (32) 의 연장부보다 크다. 각각의 관통 개구부 (37) 는 전달 피스 (23) 안의 보어들 안에 유지된 연결핀 (38) 에 의해 횡단된다. 연결핀 (38) 은 여유공간을 갖고 세로방향-드라이브 부품 (32) 안의 보어 (39) (도 21 참조) 를 통해 연장되며, 따라서 세로방향-드라이브 부품 (32) 은 연결 피스 (38) 에 대해 가로방향 (22) 으로 이동 가능하다.

피스톤 (33) 의 마주 보고 있는 측에서 전달 피스 (23) 로부터 돌출하는 섹션 안에서, 세로방향-드라이브 부품 (32) 은 밸브 로드 (11) 의 적어도 상기 중간위치에 있어서 그리고 상기 마지막 위치들에 있어서 가로방향 드라이브 하우징 (29, 30) 으로부터 가로방향 (22) 으로 이동 불가능하게 유지된다. 이를 위해, 실시예에서 가로방향-드라이브 부품 (26) 은 가로방향 드라이브 하우징 (29, 30) 의 리세스 안에 유지된 슬리브 (40) 안으로 진입되고 (도 21, 도 22 참조), 상기 슬리브에 대해 상기 가로방향 드라이브 부품은 세로방향 (21) 으로 이동 가능하다.

가로방향 (22) 으로 이동 가능한, 전달 피스 (23) 와 세로방향-드라이브 부품 (32) 과의 연결은 도시된 바와 다른 방식으로도 가능하다. 예컨대, 전달 피스 (23) 와 각각의 세로방향-드라이브 부품 (32) 사이의 관절식 연결도 존재할 수 있고, 이때 두 이동방향을 위해 세로방향 (21) 에 대해 평행으로 여러 가지 세로방향-드라이브 부품들 (32) 이 존재할 수 있거나 또는 한 방향으로의 이동이 스프링을 통해 수행될 수 있다.

실시예에서, 2개의 세로방향-드라이브 부품들 (32) 이 존재하며, 상기 세로방향-드라이브 부품들은 세로방향 (21) 에 대해 직각으로 있는 그리고 가로방향 (22) 에 대해 직각으로 있는 방향과 관련하여 밸브 로드 (11) 의 마주 보고 있는 측들에 배치되고, 각각 전달 피스 (23) 와 연결된다.

밸브 로드 (11) 에의 전달 피스 (23) 의 고정은 도시된 실시예에서 클램핑 피스 (41) (도 21 참조) 를 이용해 수행되며, 상기 클램핑 피스는 전달 피스 (23) 의 베이스 몸체에 나사결합된다. 클램핑 피스 (41) 의 떼어내진 상태에서, 밸브 로드 (11) 는 전달 피스 (23) 밖으로 잡아당겨질 수 있다.

실시예에서, 가로방향 드라이브 (19) 는 기술한 바와 같이 실린더 공간들 (28) 을 형성하는 가로방향 드라이브 하우징 (29, 30), 피스톤들 (27) 및 가로방향-드라이브 부품들 (26) 을 포함한다. 예컨대, 각각의 피스톤 (27) 을 위해 별도의 실린더들도 존재할 수 있고, 상기 실린더들은 세로방향 (21) 과 가로방향 (22) 으로 이동 불가능하게 밸브 하우징 (1) 과 연결된다.

실시예에서, 상기 세로방향 드라이브는 실린더 공간들 (34) 을 구비하는 세로방향 드라이브 하우징 (35, 36), 실린더 공간들 (34) 안에 배치된 피스톤들 (33), 및 세로방향-드라이브 부품들 (32) 을 포함한다. 예컨대, 각각의 피스톤 (33) 을 위해 자신의 실린더도 제공될 수 있고, 상기 실린더는 세로방향 (21) 으로 그리고 가로방향 (22) 으로 이동 불가능하게 밸브 하우징 (1) 과 연결된다 (예컨대 가로방향 드라이브 하우징을 통하여).

밸브 로드 (11) 의 상기 제 1 마지막 위치와 상기 제 2 마지막 위치에 있어서, 상기 밸브 로드는, 전달 피스 (23) 와 밸드 로드 (11) 와의 연결 영역으로부터 밸브 하우징 (1) 으로부터 멀리 떨어진 밸브 로드 (11) 의 단부를 향한 방향으로 연장되며 밸브 하우징 (1) 의 외부에 놓여 있는 섹션에서 각각의 가로방향 스톱 (transverse stop, 42, 43) 에 지지된다. 가로방향 스톱들 (42, 43) 은 실시예에서 상기 세로방향 드라이브 하우징의 기본몸체 (35) 에 설치되고, 보다 정확히 말하면 기본몸체 (35) 의 개구부 (44) 안에 설치되고, 상기 개구부 안으로 밸브 로드 (11) 가 돌출한다. 각각의 가로방향 스톱 (42, 43) 에서의 부딪침은 바람직하게는 밸브 로드 (11) 의 상기 단부의 영역에서 수행된다. 실시예에서, 각각의 가로방향 스톱 (42, 43) 에 부딪치기 위한 스톱 피스들 (45) 이 상기 밸브 로드에 설치된다.

각각의 가로방향 스톱 (42, 43) 에의 상기 각각의 마지막 위치에서의 밸브 로드 (11) 의 밀착을 통해, 가로방향 드라이브 (19) 에 의해 틸팅 모멘트가 흡수될 필요가 없다. 밸브 로드 (11) 는 가로방향 드라이브 (19) 의 양쪽에서 지지되고 (한편으로는 각각의 폐쇄 부재 (9, 10) 를 통하여 각각의 밸브 시트 (6, 7) 에 지지되고, 다른 한편으로는 각각의 가로방향 스톱 (42, 43) 에 지지된다), 가로방향 드라이브 (19) 에 의해 굽힘 부하를 받는다.

밸브 로드 (11) 를 도 4 내지 도 7 에 도시된 출발위치로부터 도 8 내지 도 11 에 도시된 중간위치로 이동시키기 위해, 전달 피스 (23) 는 세로방향 드라이브 (18) 에 의해 세로방향 (21) 으로 이동된다. 밸브 로드 (11) 를 도 8 내지 도 11 에 도시된 중간위치로부터 도 12 내지 도 15 에 상응하는 제 1 마지막 위치로 또는 도 16 내지 도 19 에 상응하는 제 2 마지막 위치로 이동시키기 위해, 가이드 부품들 (24) 은 가로방향 드라이브 (19) 에 의해 가로방향-드라이브 부품들 (26) 을 통하여 상응하는 방향으로 가로방향 (22) 에 대해 평행으로 이동된다. 이를 통해, 가로방향 (22) 으로 전달 피스 (23) 그리고 이로써 밸브 로드 (11) 의 이동이 수행된다. 가로방향 (22) 으로 가이드 부품들 (24) 을 이동시키기 위해, 가로방향 드라이브 (19) 의 피스톤들 (33) 은 압력매체, 특히 압축공기에 의해 가압된다. 일 측에 배치된 피스톤들 (27) 은 전달 피스 (23) 를 밀고, 다른 측에 배치된 피스톤들 (27) 은 (밸브 로드 (11) 의 상기 마지막 위치들 중 어느 것으로 이동되는가에 따라) 가이드 부품들 (24) 의 매개를 통하여 전달 피스 (23) 를 잡아당긴다. 피스톤들 (27) 은 실시예에서 각각 복동식 피스톤들로서 형성되며, 따라서 상기 제 1 마지막 위치로 밸브 로드 (11) 를 이동시킬 때 뿐만 아니라 상기 제 2 마지막 위치로 밸브 로드 (11) 를 이동시킬 때에도 모든 피스톤 (27) 이 효과가 있다.

밸브 로드 (11) 가 그의 중간위치로부터 그의 마지막 위치들 중 하나로 이동되면, 전달 피스 (23) 의 측면에 배치된 스프링 요소들 (46) 이 인장되고, 상기 스프링 요소들 쪽으로 밸브 로드 (11) 가 이동된다. 실시예에서, 상기 스프링 요소들은 코일 스프링들이며, 상기 코일 스프링들은 피스톤들 (27) 의 블라인드홀 (blind hole) 유형의 오목부들 (47) 안에 배치된다. 오목부들 (47) 은 구멍이 난 원판들 (48) 을 통해 폐쇄되고, 상기 구멍이 난 원판들을 통해 각각 스톱 볼트 (49) 가 돌출한다. 스톱 볼트 (49) 는 지지 칼라 (supporting collar, 50) 를 갖는 머리를 구비한다. 상기 각각의 코일 스프링들은 오목부 (47) 의 바닥과 지지 칼라 (50) 사이에 놓여 있다. 밸브 로드 (11) 가 그의 중간위치로부터 그의 마지막 위치로 이동되면, 구멍이 난 원판 (48) 밖으로 돌출하는 스톱 볼트 (49) 의 단부는 뚜껑 (30) 과 밀착되고, 따라서 스톱 볼트 (49) 는 스프링 요소 (46) 의 인장하에 밀어 넣어진다.

상기 각각의 마지막 위치로부터 상기 중간위치로의 밸브 로드 (11) 의 복귀는, 해당 스톱 볼트들 (49) 이 각각의 뚜껑 (30) 에 지지되고, 상기 스톱 볼트들이 배치되어 있는 피스톤들 (27) 을 이동시킴으로써 스프링 요소들 (46) 을 통해 수행된다. 이때, 모든 피스톤 (27) 의 실린더 공간들 (28) 은 감압된다.

본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서, 본 발명의 상기 도시된 실시예의 여러 가지 변경이 가능하다. 즉, 예컨대 밸브 로드 (11) 의 세로축 (20) 을 관통하는, 세로방향 (21) 에 대해 평행으로 있는 그리고 가로방향 (22) 에 대해 평행으로 있는 평면의 각각의 측에 하나의 가이드 부품 (24) 만 그리고/또는 하나의 피스톤 (27) 만 제공될 수 있다. 이때 반대방향들로 떨어져 있는 가로방향-드라이브 부품들 (26) 은 각각의 가이드 부품에 작용할 수 있다.

복동식 피스톤들 (27) 대신에 단동식 피스톤들이 이용되면, 각각의 피스톤 (27) 은 전달 피스 (23) 를 밀기 위해서만 또는 잡아당기기 위해서만 제공될 것이다. 전달 피스 (23) 를 밀기 위해서만 제공된 피스톤들 (27) 이 이용되면, 리세스 (25) 는 가이드 부품 (24) 을 180°미만에 걸쳐서도 둘러쌀 수 있고 또는 언더컷된 그루브가 없는 다른 세로방향 가이드가 제공될 수 있다. 가이드 부품들 (24) 은 도시된 바와 다른 방식으로도 형성될 수 있다.

상기 진공영역 밖으로 상기 밸브 로드를 안내하기 위한 벨로스 부싱 대신에 슬라이딩 부싱도 제공될 수 있다. 상기 슬라이딩 부싱은 슬라이딩 부품을 구비할 수 있으며, 상기 슬라이딩 부품은 관통 개구부를 구비하고, 상기 관통 개구부를 통해 상기 밸브 로드는 시일을 이용해 밀봉되어 안내된다. 이로써 상기 밸브 로드는 세로방향으로 이 슬라이딩 부품에 대해 이동 가능하다. 상기 슬라이딩 부품 자체는 밸브 하우징 (1) 에 대해 가로방향 (22) 으로 이동 가능하게 설치되며, 이때 시일을 이용해 밸브 하우징 (1) 에 대해 밀봉된다. 즉, 상기 슬라이딩 부품은 밸브 하우징 (1) 에 대해 밀봉된 그리고 가로방향 (22) 으로 이동 가능한 일종의 슬라이드를 형성한다.

2개의, 특히 서로 직각으로 있는, 방향들로의 이동성을 가능하게 하는 이러한 유형의 슬라이딩 부싱들은 공지되어 있다.

도시된 실시예에서, 밸브 로드 (11) 에 2개의 폐쇄 부재 (9, 10) 가 설치된다. 그 대신에, 하나의 폐쇄 부재만 밸브 로드 (11) 에 설치될 수도 있다. 그러면 상기 밸브 로드는 상기 중간위치로부터 하나의 마지막 위치로만 이동 가능할 것이고, 상기 하나의 마지막 위치에 있어서 상기 폐쇄 부재는 상기 밸브 하우징의 밸브 개구부를 둘러싸는 밸브 시트에 밀착한다. 이러한 진공밸브에 있어서, 상기 밸브 하우징은 가능한 실시변형에 있어서 진공챔버에 의해서도 형성될 수 있다. 다른 말로 하자면, 이로써 별도의 밸브 하우징이 생략될 수 있고, 상기 진공밸브는 상기 진공챔버 안으로의 삽입부품으로서 형성될 것이고, 이때 상기 밸브 로드는 밀봉되어 상기 진공챔버 밖으로 안내된다.

1 : 밸브 하우징 2 : 제 1 밸브 개구부
3 : 제 2 밸브 개구부 4 : 축
5 : 축 6 : 제 1 밸브 시트
7 : 제 2 밸브 시트 8 : 내부 공간
9 : 제 1 폐쇄 부재 10 : 제 2 폐쇄 부재
11 : 밸브 로드 12 : 연결 피스
13 : 돌기 14 : 지지체
15 : 밀봉링 16 : 개구부
17 : 벨로스 18 : 세로방향 드라이브
19 : 가로방향 드라이브 20 : 세로축
21 : 세로방향 22 : 가로방향
23 : 전달 피스 24 : 가이드 부품
25 : 리세스 26 : 가로방향-드라이브 부품
27 : 피스톤 28 : 실린더 공간
29 : 기본몸체 30 : 뚜껑
31 : 개구부 32 : 세로방향-드라이브 부품
33 : 피스톤 34 : 실린더 공간
35 : 기본몸체 36a : 뚜껑
36b : 뚜껑 37 : 관통 개구부
38 : 연결핀 39 : 보어
40 : 슬리브 41 : 클램핑 피스
42 : 가로방향 스톱 43 : 가로방향 스톱
44 : 개구부 45 : 스톱 피스
46 : 스프링 요소 47 : 오목부
48 : 구멍이 난 원판 49 : 스톱 볼트
50 : 지지 칼라 51 : 가이드 핀
52 : 가이드 보어

Claims

세로축 (20) 을 구비하는 밸브 로드 (11) 를 갖는 진공밸브로서,
상기 밸브 로드는 적어도 하나의 밸브 개구부 (2, 3) 를 폐쇄하기 위한 적어도 하나의 폐쇄 부재 (9, 10) 를 받치고 있고, 상기 밸브 로드는 세로방향 드라이브 (18) 에 의해, 상기 밸브 로드 (11) 의 상기 세로축 (20) 에 대해 평행으로 있는 세로방향 (21) 으로, 상기 진공밸브가 개방되어 있는 출발위치로부터 중간위치로 이동 가능하며, 가로방향 드라이브 (19) 에 의해 상기 세로방향 (21) 에 대해 직각인 가로방향 (22) 으로 상기 중간위치로부터 적어도 하나의 마지막 위치로 이동 가능하고, 상기 적어도 하나의 마지막 위치에 있어서 상기 진공밸브는 폐쇄되고, 상기 마지막 위치에서의 상기 밸브 로드 (11) 의 상기 세로축 (20) 은 상기 중간위치에서의 상기 밸브 로드 (11) 의 상기 세로축 (20) 과 평행한 진공밸브에 있어서,
상기 밸브 로드 (11) 에 전달 피스 (transmission piece, 23) 가 고정되며, 상기 전달 피스는 적어도 하나의 가이드 부품 (guide part, 24) 에 의해 상기 세로방향 (21) 으로 이동 가능하게 안내되고, 상기 전달 피스 (23) 를 상기 세로방향 (21) 으로 이동시키기 위해 상기 세로방향 드라이브 (18) 의 적어도 하나의 세로방향-드라이브 부품 (32) 은 상기 전달 피스 (23) 와 연결되고, 상기 가로방향 드라이브 (19) 의 적어도 하나의 가로방향-드라이브 부품 (26) 은 상기 가이드 부품 (24) 에 작용하며, 상기 가이드 부품 (24) 은 상기 가로방향 드라이브 (19) 에 의해 상기 적어도 하나의 가로방향-드라이브 부품 (26) 을 통하여 상기 가로방향 (22) 으로 이동 가능하고, 상기 가이드 부품 (24) 은 상기 가로방향 (22) 으로의 그의 이동시 상기 전달 피스 (23) 를 데리고 가는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항에 있어서,
상기 세로방향 (21) 에 대해 직각으로 있는 그리고 상기 가로방향 (22) 에 대해 직각으로 있는 방향과 관련하여 상기 밸브 로드 (11) 의 양쪽에 각각 적어도 하나의 가이드 부품 (24) 이 배치되고, 각각 적어도 하나의 가로방향-드라이브 부품 (26) 이 상기 가이드 부품에 작용하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항에 있어서,
상기 가로방향-드라이브 부품 (26) 은 상기 가로방향 드라이브 (19) 의 피스톤 (27) 과 연결된 피스톤 로드 (piston rod) 인 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 가이드 부품 (24) 은 로드 (rod) 의 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 2 항에 있어서,
상기 세로방향 (21) 에 대해 직각으로 있는 그리고 상기 가로방향 (22) 에 대해 직각으로 있는 방향과 관련하여 상기 밸브 로드 (11) 의 양쪽에 각각 2개의 가이드 부품들 (24) 이 배치되고, 상기 가이드 부품들은 상기 가로방향 (22) 으로 서로 간격을 두고 있고, 각각 적어도 하나의 가로방향-드라이브 부품 (26) 이 상기 가이드 부품들에 작용하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 밸브 로드 (11) 는 제 1 폐쇄 부재 (9) 와 제 2 폐쇄 부재 (10) 를 받치고 있고, 상기 제 1 폐쇄 부재 (9) 는 상기 밸브 로드 (11) 의 제 1 마지막 위치에 있어서, 제 1 밸브 개구부 (2) 를 둘러싸는 제 1 밸브 시트 (valve seat, 6) 에 내리눌려져 있고, 상기 제 2 폐쇄 부재 (10) 는 상기 밸브 로드 (11) 의 제 2 마지막 위치에 있어서, 제 2 밸브 개구부 (3) 를 둘러싸는 제 2 밸브 시트 (7) 에 내리눌려져 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 세로방향-드라이브 부품 (32) 은 상기 전달 피스 (23) 와 상기 가로방향 (22) 으로 이동 가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 세로방향-드라이브 부품 (32) 은 상기 세로방향 드라이브 (18) 의 피스톤 (33) 과 연결된 피스톤 로드인 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 진공밸브는 밸브 하우징 (1) 을 구비하며, 상기 밸브 하우징의 내부에 상기 적어도 하나의 폐쇄 부재 (9, 10) 가 배치되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 전달 피스 (23) 는 상기 세로방향 (21) 과 상기 가로방향 (22) 으로 이동 불가능한 가로방향 드라이브 하우징 (29, 30) 의 내부 공간에 배치되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 10 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 가이드 부품 (24) 은 상기 가로방향 드라이브 하우징 (29, 30) 에 대해 상기 가로방향 (22) 으로 이동 가능하게 안내되고, 상기 세로방향 (21) 으로 이동 불가능하게 유지되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가로방향 드라이브 (19) 는 적어도 하나의 스프링 요소 (46) 를 구비하며, 상기 스프링 요소에 의해, 상기 밸브 로드의 마지막 위치에 있는 또는 상기 밸브 로드의 마지막 위치들 중 하나에 있는 상기 밸브 로드 (11) 는 그의 중간위치의 방향으로 예비인장되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 밸브 로드 (11) 의 상기 마지막 위치에 있어서 또는 상기 각각의 마지막 위치에 있어서, 상기 전달 피스 (23) 와의 연결 영역으로부터 상기 적어도 하나의 폐쇄 부재 (9, 10) 로부터 멀리 떨어진 상기 밸브 로드 (11) 의 단부까지 연장되는 상기 밸브 로드 (11) 의 섹션은 가로방향 스톱 (transverse stop) 에 또는 각각의 가로방향 스톱 (42, 43) 에 지지되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
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