CN104781599B - 真空阀 - Google Patents

Abstract

一种真空阀包括具有纵轴线(20)的阀杆(11)，它装有用于关闭至少一个阀开口(2,3)的至少一个关闭件(9,10)并且它可以由纵向驱动装置(18)在平行于阀杆(11)的纵轴线(20)的纵向(21)上从开始位置，在该开始位置上真空阀被打开，移动到一个中间位置并且可以由横向驱动装置(19)从中间位置移动到至少一个终端位置，在该终端位置上真空阀被关闭。在阀杆(11)处固定有传递件(23)，它由至少一个导向件(24)在纵向(21)上可移动地导向。横向驱动装置(19)的至少一个横向驱动部件(26)作用在导向件(24)上，其中，导向件(24)可以由横向驱动装置(19)通过至少一个横向驱动部件(26)在横向(22)上移动和其中，导向件(24)在它在横向(22)上移动期间带动传递件(23)一起运动。

Description

真空阀

技术领域

本发明涉及一种真空阀，其包括具有纵轴线的阀杆,阀杆装有用于关闭至少一个阀开口的至少一个关闭件和阀杆可以由纵向驱动装置在平行于阀杆的纵轴线的纵向上从开始位置,在该开始位置上真空阀被打开,移动到中间位置和可以由横向驱动装置从中间位置移动到至少一个终端位置,在该终端位置上真空阀被关闭。

背景技术

在这些真空阀中关闭件可以从打开位置经由中间位置,在该中间位置上关闭件覆盖阀开口,但是被从阀座升起,移动到关闭位置,这种真空阀称为L-阀。除了已知这样的设计结构以外，即通过围绕垂直于阀杆的轴线转动安装关闭件的阀杆将关闭件从中间位置调节到关闭位置,还已知一些设计结构，其中，在它的中间位置和它的关闭位置之间进行关闭件的直线的调节。例如已知一些设计结构，其中，在阀杆上固定支承单元,其中，关闭件可以相对于支承单元借助于活塞-缸-单元调节。这种设计结构例如由US2007/0272888A1和US6,899,316公开。

由US2008/0017822A1已知一种L-阀，其中，关闭件安装在阀杆上,阀杆在它的纵向上可移动地导向和借助于由活塞-缸-单元形成的纵向驱动装置可以在纵向上移动。通过导向装置,它以线性导向机构的实施方式形成,该活塞-缸-单元在垂直于纵向的横向上可移动地被导向，由此阀杆也可在横向上移动。为了在横向上调节阀杆，使用集成到关闭件中的活塞-缸-单元。在另一个在实施方式中，横向驱动装置由布置在真空区域外部的活塞-缸-单元形成,它作用于纵向驱动装置的缸上。它实施成使得这种设计方式尤其适用于关闭件仅仅通过差压加载的应用中,该差压将关闭件压紧在阀座上。在这种情况下，不必施加将关闭件压紧在阀座上的大的关闭力。通过在该文献中给出的横向导向机构来传递较大的关闭力会是有问题的。

由WO2010/034046A1得知一种开头所述类型的L-阀。在横截面上圆柱形的阀杆在其中所示的实施例中直接地由导向单元在其纵向上可移动地导向,该导向单元本身由一个支承单元在垂直于阀杆的纵向的横向上可移动地导向。导向单元相对较结实地构造成，以便实现良好的导向并且也形成用于在其纵向上移动阀杆的纵向驱动装置的缸室。

发明内容

本发明的目的在于提供一种开头所述类型的有利的真空阀,它在相对有利的制造成本下具有稳定的和可靠的设计结构。按照本发明，这通过一种具有权利要求1的特征的真空阀实现。

在按照本发明的真空阀中，在阀杆上固定传递件,它由至少一个、最好杆形的、导向件在纵向上可移动地导向。

横向驱动装置的至少一个横向驱动部件作用在导向件或相应的导向件上,其中，导向件可以由至少一个横向驱动部件在横向上移动和其中，导向件在它在横向上移动时带动传递件运动。由此在至少一个导向件在横向上移动也实现阀杆在横向上的移动。

有利地，关于垂直于纵向和垂直于横向的方向在阀杆的两侧分别设置至少一个导向件,其上分别作用至少一个横向驱动部件。因此至少一个这种导向件分别位于一个通过阀杆的纵轴线延伸的、平行于纵向和横向的平面的相对置的两侧上。

通过本发明在不需要太多的材料使用量下实现在纵向上以及在横向上的稳定的导向并且能够可靠地在横向上传递高的关闭力。

有利地，为了在纵向上调节传动件，至少一个纵向驱动部件与传递件连接,其中，该连接如此设计,即传动件可以相对于纵向驱动部件在横向上移动。纵向驱动部件可以由此本身在横向上不可移动地布置。至少一个纵向驱动部件例如可以是活塞-缸-单元的活塞杆。

传递件有利地布置在横向驱动装置外壳的内室中,横向驱动装置外壳在纵向和横向上被不可移动地保持。纵向驱动装置的至少一个外壳部件,相对于它纵向驱动装置的至少一个纵向驱动部件在纵向上可以移动和在横向上不可移动,有利地刚性地与横向驱动装置外壳连接。

至少一个导向件在横向上的可移动的导向和至少一个导向件在纵向上的不可移动的保持有利地通过至少一个与导向件连接的元件的、通过横向驱动装置外壳的一种在横向上可移动的支承来实现。横向驱动装置的部件尤其可以由横向驱动装置外壳在横向上可移动地导向,因此例如至少一个作用在导向件或相应的导向件上的横向驱动部件,必要时在结合对横向驱动装置的另外的部件,例如活塞在横向上的可移动的导向相下。

本发明的一个有利的实施方式规定,在阀杆上固定第一和第二关闭件。第一关闭件在阀杆的第一终端位置压紧在第一阀座上,它包围真空阀的第一阀开口。第二关闭件在阀杆的第二终端位置上压紧在第二阀座上,它包围真空阀的第二阀开口。在这种真空阀中，当阀杆位于其第一终端位置上时,可以有利地实施对第二关闭件的维护,例如为了更换第二关闭件的密封环,和当阀杆位于其第二终端位置上时，实施对第一关闭件的维护,例如为了更换第一关闭件的密封环。在此情况下可以维持在例如真空腔的两个真空室之间的真空密封的密封，该真空室在真空阀打开的状态下通过真空阀连接。

横向驱动装置有利地具有至少一个弹簧元件，由该弹簧元件将位于其终端位置上或其终端位置之一上的阀杆在其中间位置的方向预张紧。如果横向驱动装置具有在相反的方向上平行于横向作用的驱动部件,尤其是活塞,用于将阀杆从其中间位置出发移动到第一和第二终端位置，那么对于两个终端位置有利地分别设置至少一个弹簧元件,该弹簧元件将阀杆从其相应的终端位置在其中间位置的方向上加载。阀杆可以由此以简单的方式移动到限定的中间位置。在一个可能的实施方式中此时可以设置止挡销,它们在阀杆移动到其至少一个终端位置上时顶靠在横向驱动装置外壳的一个部件上并且在此克服弹簧的力被移动。这种止挡销尤其可以布置在横向驱动装置的活塞的空隙中。

如果在本文中一般地谈及的是关于纵向或横向不可移动的布置或保持,那么指的是两个方向平行于纵向上或两个方向平行于横向。

附图说明

本发明的另外的优点和细节在以下借助于附图进行解释。附图中所示:

图1是按照本发明真空阀在打开的状态下的视图;

图2和3是图1的真空阀的侧视图和俯视图;

图4是沿着图1的线AA的截面图;

图5是沿着图1的线BB的截面图;

图6是图5的放大的细节X;

图7是沿着图1的线CC的截面图;

图8至11是对应于图4至7在阀杆的中间位置上的图示;

图12至15是对应于图4至7在阀杆的第一终端位置上的图示;

图16至19是图示对应于图4至7在阀杆的第二终端位置上的图示;

图20是真空阀的斜视图,真空阀的部件相互分解地示出;

图21是具有纵向和横向驱动装置的阀杆的斜视图,纵向和横向驱动装置的部件相互分解地示出;

图22是具有传递件和导向件以及纵向和横向驱动装置的活塞的阀杆的斜视图;

图23和图24是图22的部件的视图和俯视图;

图25是沿着图8中的线DD的截面图;

图26是图25的放大的细节Y。

具体实施方式

本发明的一个实施例在图1至26中示出。真空阀包括具有第一和第二阀开口2,3的阀壳1,该阀开口具有轴线4,5和设置在阀壳1的相对置的壁。围住阀开口2,3的壁在其相互面对的侧面上具有第一和第二阀座6,7,它们围住阀开口2,3。

阀壳1具有内室8,它形成真空阀的真空区,也就是说该内室8,在不考虑阀开口2,3下,真空密封地相对于真空阀的外室密封。

在阀壳1的内室8中布置第一和第二关闭件9,10，其分别以阀盘的形式构成。关闭件9,10安装在支承它们的阀杆11上,阀杆具有纵轴线20。

在示出的实施例中，在第一和第二关闭件9,10上分别设置至少一个弹性体的密封环15和阀座6,7由密封面形成。

原则上也可以实现反向的设计结构,其中阀座6,7具有密封环和关闭件9,10具有密封面。

阀座6,7分别位于一个平面中。如在示出的实施例中示出的那样,阀座的平面最好相互平行。阀开口2,3的轴线4,5垂直于阀座6,7所处于的平面。

与阀杆11的连接例如可以如示出的那样经由连接件12实现,它具有两个凸肩13,在其上分别拧接一个支架14,支架又在它的两个端部处被拧接在相应的关闭件9,10上。通过扭转支架14，可以实现相应的关闭件9,10围绕轴线的一定的转动,该轴线垂直于纵轴线20和平行于相应的阀座6,7的平面，由此实现密封环15在密封面上的在很大程度上均匀的压紧力。关闭件9,10与阀杆11的连接也可以以其它的方式实现。

阀杆11通过阀壳的开口16从阀壳中伸出，由此阀杆的一个在其上安装关闭件9,10的部段位于阀壳1内部和阀杆11的另一个部段位于阀壳1外部。阀杆11通过阀壳1的伸出是真空密封地实施的,在示出的实施例中，借助于伸缩管17,它的一个端部真空密封地与阀壳1连接和另一个端部真空密封地与阀杆11连接。

纵向驱动装置18和横向驱动装置19与阀杆11的位于阀壳1外部的部段共同作用,即纵向驱动装置18和横向驱动装置19布置在真空阀的真空区外部。纵向驱动装置18用于在平行于阀杆11的纵轴线20的、在附图中用于双箭头标示的纵向21上移动阀杆11。横向驱动装置19用于在垂直于阀杆11的纵轴线20的、在附图中用于双箭头标示的横向22上移动阀杆11。在纵向21上移动阀杆11时，阀杆11的纵轴线20的位置不改变。在横向22上移动阀杆11时，阀杆11的纵轴线20在移动之后平行于它的在移动之前的位置。换言之，在纵向21上和在横向22上的移动是阀杆11的平行移动。

在平行设置的平面的情况下,阀座6,7位于该平面中,纵向21平行于这些平面。横向22垂直于这些平面。如果阀座6,7的平面相互间夹成一个角度，那么纵向21平行于与该角度处于角平分线上的平面,而横向22垂直于这个处于角平分线上的平面。

在真空阀在图1至7中示出的完全被打开状态下，阀杆11位于开始位置。关闭件9,10位于其打开位置上,在该打开位置上它们完全释放阀开口2,3(在轴线4,5的方向上看)。

借助于纵向驱动装置18，阀杆11可以从其开始位置出发在纵向21上被移动到图8至11中示出的中间位置。在阀杆11的中间位置上，关闭件9,10占据其中间位置,在该中间位置上在轴线4,5的方向上看它们覆盖阀开口2,3,但是从阀座6,7上升起。

借助于横向驱动装置19，阀杆11可以从出发中间位置在横向22上被移动到图12至15中示出的第一终端位置和图16至19中示出的第二终端位置。在第一终端位置上，第一关闭件9占据它的关闭位置,在该关闭位置上它被压紧在第一阀座6上并且关闭第一阀开口2。在第二终端位置上，第二关闭件10占据它的关闭位置,在该关闭位置上它被压紧在第二阀座7上并且关闭第二阀开口3。相应的阀开口2,3的关闭是真空密封的。“真空密封的”在本文献的范围中应该指，在真空阀的真空区中维持可以在至少大于一个小时上维持小于1.10至3mBar的真空度(在此处假设,另一个阀开口是完全密封的;在实际中它与一个抽真空的室,例如真空腔连接)。

在阀杆11的位于阀壳1外部的部段上固定传递件23。传递件23与阀杆11在纵向和横向上不可移动地连接。

传递件23由在纵向21上不可移动地被保持的导向件24在纵向21上可移动地导向。导向件24形成用于传递件23在纵向21上的线性导向。传递件在实施例中以滑动轴承的形式构成,如这是优选的。

传递件23至少由全部的导向件24一起在横向22上不可移动地被保持。在实施例中，传递件23由每个导向件24单独地在横向22上不可移动地被保持。

传递件23和导向件24位于真空阀的真空区外部。

示出的实施例的传递件23也可以称为轭。

导向部件24以杆的形式构成和穿过传动件23的空隙25。空隙25在横向22上朝着传动件23的边缘分别是敞开的并且在大于180°上围住相应的导向件24。由此传递件23可以相对于相应的导向件24在纵向21上移动,但是在横向22上被不可移动地保持。

用于传递件23的在纵向21上的线性导向也可以以另外的方式构成。导向件24可以在与线性导向不同的设计结构中例如分别具有突入一个底切的（侧凹的）槽中的部段和位于该底切的（侧凹的）槽外部的部段,例如按照燕尾槽导向结构的方式。替代示出的圆柱形结构的导向件24，它们例如可以具有不同的横截面的杆形的结构。

在导向件24上分别固定以活塞杆的形式构成的横向驱动部件26。该固定在导向件24的这样的位置上进行,它们在传动件23纵向移动时位于在空隙25的关于横向朝着传动件23的边缘敞开的区域中。该固定也可以在这样的位置上进行,它们在传动件23的整个移动行程上在阀杆11从其开始位置到其中间位置的移动期间在侧面位于(关于纵向21)传递件23旁边。在这种情况下，导向件24也可以穿过朝着传动件23的边缘封闭的(通过传递件23的孔的形式的)空隙25。

在实施例中，以活塞杆的形式构成的横向驱动部件26固定在横向驱动装置29的活塞27上。横向驱动装置19的活塞27位于缸室28中。缸室28在示出的实施例中由横向驱动装置外壳的内室形成。横向驱动装置外壳包括两个刚性地相互连接的基体29。为了形成缸室28，缸室具有由盖子30封闭的空隙。横向驱动装置外壳29,30刚性地与阀壳1连接。

关于垂直于纵向21和横向22的方向，在阀杆11的两侧各布置两个导向件24。换言之，各有两个导向件24位于一个平行于纵向和横向21,22和穿过纵轴线20的平面的两侧。所述平面的每侧上的两个导向件24在横向19上相互相间隔,其中，它们位于一个平行于纵向21和垂直于横向22并且穿过阀杆的纵轴线20的平面的两侧。固定在位于最后所述平面两侧的两个导向件24上的横向驱动部件26处于与导向件24相互离开地指向的方向上(该方向平行于横向22)。

在示出的实施例中，每个活塞27经由两个以活塞杆的形式构成的横向驱动部件26与相应的导向件24连接。取而代之地，也可以仅仅经由一个横向驱动部件26实现这种连接。

导向件24通过其与横向驱动部件26的连接在纵向21上不可移动地被保持和可以由横向驱动装置19在横向22上移动。在实施例中，导向件24的在横向22上可移动的导向包括在横向22上可移动地支承横向驱动部件26的导向以及在横向22上的活塞27的可移动的导向。活塞27由缸室28的边缘在横向22上可移动地导向和横向驱动部件26由在横向驱动装置外壳中的开口31的边缘(参见图21)在横向22上可移动地导向,横向驱动部件26延伸通过该开口。此外，在活塞27上设置导向栓51,它们在基体29中的在横向22上延伸的导向孔52中(参见图21)在横向上可移动地导向。在横向22上可移动的导向也可以以不同的方式实现,例如导向栓21和导向孔52可以取消或者仅仅活塞27可以在横向22上可移动地导向。

为了在纵向上调节传动件23，纵向驱动部件32与传递件23连接,纵向驱动部件由活塞杆形成,在其上安装纵向驱动装置18的活塞33。活塞33布置在缸室34中。在实施例中，缸室由纵向驱动装置外壳的内室形成。纵向驱动装置外壳为此具有带有空隙的基体35,空隙被盖子36a,36b封闭。形成纵向驱动部件32的活塞杆延伸通过盖子36b的孔。

纵向驱动装置外壳35,36与横向驱动装置外壳29,30刚性地连接。

纵向驱动部件32,其本身在横向22上是不可移动的,与传递件23在横向22上可移动地连接。为此，它们（纵向驱动部件）在实施例中穿过在纵向21上延伸通过传递件23的通孔37,它们的净宽度在横向22上分别大于纵向驱动部件32在横向22上的延伸长度。相应的通孔37由被保持在传递件23中的孔中的连接销38横向穿过。连接销38在有间隙下延伸通过纵向驱动装置部件32中的孔39(参见图21)，由此纵向驱动部件32可以相对于连接件38在横向22上移动。

在在活塞33的相对置的一侧上从传递件23突出的部段上，纵向驱动装置部件32至少在阀杆11的中间位置和在终端位置上由横向驱动装置外壳29,30在横向22上被不可移动地保持。为此在实施例中，横向驱动部件26被移动到被保持横向驱动装置外壳29,30的空隙中的套筒40中(参见图21,22),横向驱动部件26可以相对于该套筒在纵向21上移动。

纵向驱动部件32与传递件23在横向22上可移动的连接也可以以不同于所示的方式设想和实现。例如在传递件23和相应的纵向驱动部件32之间也可以设置铰链式的连接,其中，对于平行于纵向21的两个移动方向可以设置不同的纵向驱动部件32或者可以通过弹簧实现在一个方向上的移动。

在实施例中，设置两个纵向驱动部件32，它们关于垂直于纵向21和垂直于横向22的方向布置在阀杆11的相对置的侧面上并且分别与传递件23连接。

传动件23在阀杆11上的固定在示出的实施例中借助于夹持件41(参见图21)实现,它拧接在传动件23的基体上。在夹持件41取下的状态下，阀杆11可以从传递件23拉出来。

在实施例中，横向驱动装置19如描述的那样包括形成缸室28的横向驱动装置外壳29,30、活塞27和横向驱动部件26。对于每个活塞27例如也可以设置单独的缸，它们在纵向和横向21,22上不可移动地与阀壳1连接。

在实施例中，纵向驱动装置包括具有缸室34的纵向驱动装置外壳35,36、布置在缸室34中的活塞33和纵向驱动部件32。例如可以为每个活塞33也设置一个自己的缸,该缸在纵向和横向21,22上不可移动地与阀壳1连接(例如经由横向驱动装置外壳)。

在阀杆11的第一和第二终端位置上，阀杆在位于阀壳1外部的一个部段中,该部段从阀杆11与传递件23的连接区域在z阀杆11与阀壳1远离的端部的方向上延伸,支承在相应的横向止挡42,43上。横向止挡42,43在实施例中安装在纵向驱动装置外壳的基体35并且是在基体35的开口44中,阀杆11突入到该开口中。在相应的横向止挡42,43上的止挡最好在阀杆11的端部区域中实现。在实施例中在阀杆上安装止挡件45用于止挡在相应的横向止挡42,43上。

通过使阀杆11在相应的终端位置上支承在相应的横向止挡42,43上，横向驱动装置19不必承受任何倾覆力矩。阀杆11支承在横向驱动装置19的两侧(一方面经由相应的关闭件9,10支承在相应的阀座6,7上和另一方面支承在相应的横向止挡42,43上)和由横向驱动装置19加载弯曲负荷。

为了使阀杆11从图4至7中示出的开始位置调节到在图8至11中示出的中间位置，传递件23由纵向驱动装置18在纵向21上移动。为了使阀杆11出图8至11中示出的中间位置调节到对应于图12至15的第一终端位置或对应于图16至19的第二终端位置，导向件24由横向驱动装置19经由横向驱动部件26在平行于横向22的对应的方向上移动。由此实现传动件23和由此阀杆11在横向22上的移动。为了在横向22上移动导向件24，横向驱动装置19的活塞33被加载压力介质,尤其是压缩空气。经由导向件24的中间作用，在一侧上布置的活塞27推动传递件23和在另一侧上布置的活塞27拉动传递件23(依据阀杆11被移动到哪个终端位置而定)。活塞27在实施例中分别由双作用的活塞构成,由此不仅在调节阀杆11到第一终端位置时而且在调节阀杆11到第二终端位置时全部活塞27都是有效的。

如果阀杆11从其中间位置移动到其终端位置,那么弹簧元件46张紧,它布置在传动件23的一侧上，阀杆11被朝着该侧面移动。在实施例中，弹簧元件是螺旋弹簧,它们布置在活塞27的盲孔式的凹部47中。凹部47通过孔板48封闭,通过它们分别突出一个止挡销49。止挡销49具有带有支撑凸缘50的头部。相应的螺旋弹簧位于凹部47的底部和支撑凸缘50之间。如果阀杆11从其中间位置移动到其终端位置,那么止挡销49的从孔板48突出的端部顶接在盖子30上,由此止挡销49在弹簧元件46的张力下被压入。

通过弹簧元件46实现阀杆11从相应的终端位置复位到中间位置，其中，相关的止挡销49支撑在相应的盖子30上和移动活塞27,止挡销设置在该活塞中。全部活塞27的缸室28在此情况下被无压力地连接。

在不离开本发明的范围下可以设想和实现对本发明的示出的实施例的不同的修改。因此例如可以在一个穿过阀杆11的纵轴线20的、平行于纵向21和平行于横向22的平面的每一侧上设置仅仅一个导向件24和/或仅仅一个活塞27。在此情况下，在相反的方向上突出的横向驱动部件26可以作用在一个相应的导向件上。

如果取代双作用的活塞27而式样单作用的活塞,那么一个相应的活塞27被设置仅仅用于或者推或者拉传动件23。如果使用被设置用于仅仅推传递件23的活塞27，那么空隙25也可以在小于180°上包围导向件24或者设置另一个没有底切的槽的纵向导向。导向件24也可以以不同于所示的方式构成。

取代用于将阀杆从真空区导出的伸缩套管，也可以设置移动套管。它可以具有移动部件,该移动部件具有贯通开口,阀杆借助于密封件密封地通过该贯通开口导向。阀杆由此可以在纵向上相对于该移动部件移动。移动部件本身相对于阀壳1在横向22上可移动地支承,其中，它借助于密封件相对于阀壳1密封。移动部件由此形成一种相对于阀壳1密封的和在横向22上可移动的滑块。

这种移动套管是已知的,它实现在两个尤其相互正交的方向上的移动性。

在示出的实施例中，在阀杆11上安装两个关闭件9,10。取而代之地，也可以在阀杆11上只安装一个关闭件。阀杆此时可以从中间位置仅仅移动到一个终端位置,在该位置上关闭件顶靠在阀座上,该阀座围住阀壳的阀开口。在这种真空阀中，在一个可能的实施方式变型方案中，阀壳也可以由真空腔形成。换言之，由此可以取消单独的阀壳和真空阀作为真空腔中的插件构成,其中，阀杆密封地从真空腔导出。

附图标记表

1阀壳 28缸室

2第一阀开口 29基体

3第二阀开口 30盖子

4轴线 31开口

5轴线 32纵向驱动部件

6第一阀座 33活塞

7第二阀座 34缸室

8内室 35基体

9第一关闭件 36a盖子

10第二关闭件 36b盖子

11阀杆 37通孔

12连接件 38连接销

13凸肩 39孔

14支架 40套筒

15密封环 41夹持件

16开口 42横向止挡

17伸缩管 43横向止挡

18纵向驱动装置 44开口

19横向驱动装置 45止挡件

20纵轴线 46弹簧元件

21纵向上 47凹部

22横向 48孔板

23传递件 49止挡销

24导向件 50支撑凸缘

25空隙 51导向栓

26横向驱动部件 52导向孔

27活塞。

Claims (12)

1.真空阀，包括具有纵轴线(20)的阀杆(11)，阀杆装有用于关闭至少一个阀开口(2,3)的至少一个关闭件(9,10)并且阀杆可以由纵向驱动装置(18)在平行于阀杆(11)的纵轴线(20)的纵向(21)上从开始位置，在该开始位置上真空阀被打开,移动到中间位置和可以由横向驱动装置(19)从中间位置移动到至少一个终端位置,在该终端位置上真空阀被关闭，其中，在阀杆(11)上固定传递件(23)，为了在纵向(21)上调节传递件(23)，纵向驱动装置(18)的至少一个纵向驱动部件(32)与传递件(23)连接，其特征在于，真空阀额外具有以杆的形式构造的至少一个导向件(24)，该传递件(23)由至少一个导向件(24)在纵向(21)上可移动地导向,和横向驱动装置(19)的至少一个横向驱动部件(26)作用在导向件(24)上,其中，导向件(24)可以由横向驱动装置(19)经由至少一个横向驱动部件(26)在横向(22)上移动，并且其中，导向件(24)在它在横向(22)上移动时带着传递件(23)一起运动。

2.根据权利要求1所述的真空阀,其特征在于,关于一个垂直于纵向(21)和垂直于横向(22)的方向，在阀杆(11)的两侧各设置至少一个导向件(24),在该导向件上各作用至少一个横向驱动部件(26)。

3.根据权利要求1所述的真空阀,其特征在于,横向驱动部件(26)是与横向驱动装置(19)的活塞(27)连接的活塞杆。

4.根据权利要求2所述的真空阀,其特征在于,关于垂直于纵向(21)和垂直于横向(22)的方向，在阀杆(11)的两侧各设置两个导向件(24),它们在横向(22)上相互相间隔,并且在它们上各作用至少一个横向驱动部件(26)。

5.根据权利要求1所述的真空阀,其特征在于,阀杆(11)装有第一和第二关闭件(9,10)并且第一关闭件(9)在阀杆(11)的第一终端位置上压紧在包围第一阀开口(2)的第一阀座(6)上,和第二关闭件(10)在阀杆(11)的第二终端位置压紧在包围第二阀开口(3)的第二阀座(7)上。

6.根据权利要求1或2所述的真空阀,其特征在于,至少一个纵向驱动部件(32)与传递件(23)在横向(22)上可移动地连接。

7.根据权利要求1所述的真空阀,其特征在于,至少一个纵向驱动部件(32)是与纵向驱动装置(18)的活塞(33)连接的活塞杆。

8.根据权利要求1或2所述的真空阀,其特征在于,真空阀具有阀壳(1),在阀壳内部布置至少一个关闭件(9,10)。

9.根据权利要求1或2所述的真空阀,其特征在于,传递件(23)布置在不可在纵向(21)和横向(22)上移动的横向驱动装置外壳(29,30)的内室中。

10.根据权利要求9所述的真空阀,其特征在于,至少一个导向件(24)相对于横向驱动装置外壳(29,30)在横向(22)上可移动地被导向和在纵向(21)上不可移动地被保持。

11.根据权利要求1或2所述的真空阀,其特征在于,横向驱动装置(19)具有至少一个弹簧元件(46),位于其终端位置上的阀杆(11)在它的中间位置的方向上被该弹簧元件预张紧。

12.根据权利要求1或2所述的真空阀,其特征在于,在阀杆(11)的相应的终端位置上，阀杆(11)的一部段支撑在一个相应的横向止挡(42,43)上,该部段从与传递件(23)的连接区域延伸直至到与至少一个关闭件(9,10)远离的阀杆(11)的端部。