CN104279345B - 闸阀 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种闸阀。在气缸的驱动杆与阀装配体之间夹设由导向槽以及导辊构成的平行移动机构、以及由凸轮槽以及凸轮辊构成的垂直移动机构，在利用平行移动机构使阀装配体相对于在阀箱的一对开口周围形成的阀座面平行移动之后，利用垂直移动机构使阀装配体相对于这些阀座面垂直移动，从而使阀体的阀密封件与各阀座面接触或分离，能够选择性地开闭所述各开口。

Description

闸阀

技术领域

本发明涉及配置在半导体制造装置等中的真空腔之间的闸阀，更详细地涉及能够以不滑动的方式选择性地开闭通向处理腔的第一开口和通向转移腔的第二开口的闸阀。

背景技术

闸阀通常用于通向半导体制造装置等中的真空腔的开口的开闭，闸阀构成为，具有安装有阀板的阀轴以及与该阀轴连结的气缸，通过由该气缸操作所述阀轴，从而使所述阀板的密封部件与设置在所述开口周围的阀座面接触或分离来开闭该开口。

而且，关于闸阀中的所述开口的开闭操作，主要已知有以阀轴的一点为支点使其转动来开闭操作阀板的方式、以及使由阀轴及阀板构成的阀装配体相对于阀座面垂直移动来开闭操作阀板的方式。

其中特别是采用了后者的方式的闸阀，可以使阀板的密封部件的整周同时与所述开口的阀座面接触或分离地开闭该开口而不使两者相互滑动，因此，被称为不滑动型闸阀(non-slide type gate valve)，由于可以抑制由密封部件和密封面的摩擦而引起的密封部件的扭曲、磨损粉末的产生等，所以近来正被关注。

如上所述的不滑动型闸阀的一例在专利文献1中公开。如图11、图12所示，该专利文献1中记载的闸阀具有：在经由杆臂124固定于驱动杆109的一对凸轮架128的每一个上以相对于阀座面110倾斜的朝向形成的两条凸轮槽130、以及在棒部件112的左侧面和右侧面上各自分别安装有两个且与对应的各个凸轮槽130嵌合的凸轮辊133。而且，安装于凸轮辊133的停止辊136与形成于辊架132的抵接部137抵接，在棒部件112停止上升并压缩了压缩弹簧125的状态下，凸轮架128上升，各个凸轮槽130相对于对应的凸轮辊133而上升，因此，凸轮辊133被倾斜的凸轮槽130的槽壁推压，使得阀板105以及阀轴107相对于阀座面110垂直移动。

专利文献

专利文献1：日本特开2013-96557号公报

发明要解决的课题

但是，上述专利文献1中公开的不滑动型闸阀是以不滑动的方式进行与处理腔连接的一个开口的开闭的闸阀，但另一方面，为了谋求闸阀和处理腔的维护作业的高效化，针对与转移腔连接的另一个开口也能够以不滑动的方式进行开闭的闸阀被期待。

发明内容

即，本发明的目的在于提供一种闸阀，不仅针对与处理腔连接的第一开口，而且针对与转移腔连接的第二开口也能够以不滑动的方式进行开闭。

用于解决课题的方案

为了实现上述目的，本发明的闸阀具有：阀箱，所述阀箱在相互相向的侧壁上设置有与处理腔连接的第一开口以及与转移腔连接的第二开口，在这些开口周围分别形成有相互平行的阀座面；阀装配体，所述阀装配体由阀轴、板状的第一阀体以及第二阀体构成，所述阀轴在长度方向上具有前端部和基端部，所述第一阀体以及第二阀体安装在该阀轴的前端部并分别具有与所述各阀座面对应的阀密封件；以及气缸，所述气缸的驱动杆与该阀轴连结，所述闸阀构成为，能够利用所述气缸使所述阀装配体从所述各阀体与所述各开口非相向的全开位置，经由所述各阀体与所述各开口相向的相向位置，移动到所述第一阀体的阀密封件被压在所述第一开口周围的阀座面上而堵塞该第一开口的第一堵塞位置、以及所述第二阀体的阀密封件被压在所述第二开口周围的阀座面上而堵塞该第二开口的第二堵塞位置，所述闸阀的特征在于，所述闸阀具有：连结机构，所述连结机构将所述驱动杆和阀轴以能够相对位移的方式连结；平行移动机构，所述平行移动机构使所述阀装配体相对于所述各阀座面平行移动；垂直移动机构，所述垂直移动机构使该阀装配体相对于所述各阀座面垂直移动；以及止动机构，在利用所述平行移动机构使所述阀装配体自所述全开位置到达了相向位置时，所述止动机构使该阀装配体的平行移动停止，并且允许利用所述垂直移动机构进行的该阀装配体的垂直移动，所述连结机构具有：固定于所述驱动杆的杆臂、固定于所述阀轴的基端部的棒部件、以及夹设在该棒部件和所述杆臂之间的压缩弹簧，所述平行移动机构具有：以分别面对所述棒部件的左侧面和右侧面的方式固定于所述杆臂的左右一对凸轮架、在平行移动方向上形成于各个凸轮架的导向槽、以及在左右一对辊架的每一个上安装有多个且嵌合于所述导向槽的导辊，所述左右一对辊架固定于所述阀箱所安装的阀帽，所述垂直移动机构具有：在所述一对凸轮架的每一个上形成有多个的凸轮槽、以及在所述棒部件的左右侧面的每一个上设置有多个且分别嵌合于所述各凸轮槽的凸轮辊，所述各凸轮槽在所述平行移动方向上具有所述阀体侧的始端位置、与其相反的一侧的终端位置、以及设置在上述始端位置和终端位置之间的中间位置，在垂直移动方向上，所述中间位置相比始端位置设置在更靠所述第一开口侧，所述终端位置相比始端位置设置在更靠所述第二开口侧，在所述阀装配体进行自所述全开位置到达相向位置的平行移动时，所述凸轮辊配置在所述始端位置，在该凸轮辊移动到了中间位置时，所述阀装配体占据所述第一堵塞位置，在该凸轮辊移动到了所述终端位置时，该阀装配体占据第二堵塞位置。

在本发明中，从强度方面来看优选为，分别形成于所述左右一对凸轮架的导向槽在该导向槽的所述阀体侧的端部具有槽宽扩大了的加宽部，在所述左右的辊架的每一个上安装的多个导辊中的、配置在最靠近所述阀体侧的导辊，相比其他的导辊形成为大径并嵌合于所述加宽部。

另外，在本发明中，优选为，所述止动机构具有：在所述垂直移动方向上转动自如地设置的停止辊、以及与所述停止辊接触或分离的抵接部，上述停止辊以及抵接部相互相向地分别设置于所述棒部件以及所述阀帽，在利用所述平行移动机构使所述阀装配体自所述全开位置到达了相向位置时，所述停止辊抵接于抵接部而使所述阀装配体的平行移动停止，在利用所述垂直移动机构使该阀装配体垂直移动时，停止辊在该抵接部上滚动。

此时，优选为，在所述止动机构中，所述停止辊和抵接部构成的对设置在隔着所述阀轴的左右两侧，更优选为，所述抵接部由缓冲杆和缓冲部件构成，所述缓冲杆在长度方向的一端具有所述停止辊能够滚动地抵接的抵接面，该缓冲杆的长度方向的另一端侧抵接于所述缓冲部件。

根据本发明的闸阀，通过使具有第一阀体和第二阀体的阀装配体相对于第一开口以及第二开口周围的各阀座面垂直移动，从而可以使各阀体的对应的阀密封件分别以不滑动的方式与上述阀座面接触或分离，因此，不仅在开闭与处理腔连接的第一开口时，而且在开闭与转移腔连接的第二开口时，也可以抑制阀密封件的扭曲、磨损粉末的产生等。其结果是，即便在处理腔、第一阀体等的维护作业时堵塞第二开口，也可以抑制由阀密封件的扭曲引起的真空泄漏、磨损粉末的产生等，可以谋求维护作业的高效化。

附图说明

图1是表示本发明的闸阀的实施方式的局部剖视图，左半部表示阀装配体处于全开位置的状态、右半部表示阀装配体处于相向位置的状态。

图2是分解表示图1的一部分的立体图。

图3是沿着图1的轴线X1的纵剖视图。

图4是图1的左半部侧的主要部分纵剖视图。

图5是图1的右半部侧的主要部分纵剖视图。

图6是表示阀装配体处于第一堵塞位置的状态的剖视图。

图7是图6的纵剖视图。

图8是表示阀装配体处于第二堵塞位置的状态的剖视图。

图9是图8的纵剖视图。

图10(a)是止动机构的剖视图、图10(b)是表示停止辊抵接于抵接部的缓冲杆的状态的剖视图。

图11是以往所使用的闸阀的剖视图，左半部表示阀板处于开阀位置的状态，右半部表示阀板处于相向位置的状态。

图12是分解表示图11的主要部分的立体图。

附图标记说明

1 闸阀

2 阀箱

2a、2b 侧壁

3 第一开口

4 第二开口

5A 第一阀体

5B 第二阀体

6、7 阀座面

8、9 阀密封件

10 阀轴

X1 阀轴的轴线

11 驱动杆

12 阀帽(bonnet)

13 棒部件

15 阀装配体

20 气缸

27 辊架

30 杆臂

31 压缩弹簧

32a 第一凸轮辊

32b 第二凸轮辊

33a 第一凸轮槽

33b 第二凸轮槽

34 凸轮架

35 导向槽

35a 加宽部

36a 第一导辊

36b 第二导辊

40 止动机构

41 停止辊

42 抵接部

45 缓冲杆

45a 抵接面

46 缓冲部件

具体实施方式

本发明的不滑动型闸阀1配置在半导体制造装置等中的真空腔之间，能够以不滑动的方式选择性地使通向处理腔(process chamber)以及转移腔(transfer chamber)的两个开口开闭，该不滑动型闸阀1具有：阀箱2，该阀箱2具有相互相向的第一开口3以及第二开口4，在这些开口周围分别形成有相互平行的阀座面6、7；第一阀体5A及第二阀体5B，该第一阀体5A及第二阀体5B被收容在该阀箱2内，该第一阀体5A在所述第一开口3侧的面上安装有由O型环等弹性体构成的阀密封件8，该第二阀体5B在所述第二开口4侧的面上安装有由O型环等弹性体构成的阀密封件9；阀轴10，该阀轴10将所述第一以及第二阀体5A、5B相互背向地安装在前端部；以及驱动杆11与该阀轴10连结的气缸20。

而且，由所述第一以及第二阀体5A、5B以及阀轴10构成阀装配体15。

由图1以及图3可知，所述阀箱2形成大致长方体的箱形，在相对的左右的侧壁2a、2b上，分别开设有横向上长的大致矩形的所述第一开口3以及所述第二开口4。而且，所述第一开口3与未图示的处理腔连接，所述第二开口4与未图示的转移腔连接。

另外，所述第一以及第二阀体5A、5B分别对所述第一以及第二开口3、4进行开闭，与上述第一以及第二开口3、4同样地以横向上长的矩形形成为面积比上述开口大的板状。

在所述侧壁2a、2b中的、一侧(处理腔侧)的侧壁2a的内表面上，由平坦面构成的所述阀座面6形成为包围所述第一开口3的大致矩形的环状，在所述第一阀体5A中的处于所述第一开口3侧的面上，安装有用于与所述阀座面6抵接来密闭所述第一开口3的所述阀密封件8，该阀密封件8形成为大致矩形的环状。另一方面，在另一侧的侧壁2b的内表面，与所述一侧的侧壁2a同样地，由平坦面构成的所述阀座面7也形成为包围所述第二开口4的大致矩形的环状，在所述第二阀体5B中的处于所述第二开口4侧的面上，安装有用于与所述阀座面7抵接来密闭所述第二开口4的所述阀密封件9，该阀密封件9形成为大致矩形的环状。

所述第一以及第二阀体5A、5B以使它们的阀密封件8、9的安装面相互背向的状态，由螺钉等能够卡脱的固定件能够装卸且固定地安装于在形成为圆柱状的所述阀轴10的前端侧(图1中的上端侧)形成的与所述一对侧壁2a、2b相向的面。另一方面，在所述阀箱2中的与所述侧壁2a、2b大致垂直的底面上，气密地固定有阀帽12，所述阀轴10的基端侧(图1中的下端侧)穿过在该阀帽12的中央贯穿设置的通孔12a延伸到所述阀箱2的外部。此时，该通孔12a为了允许后述的阀装配体15整体的垂直移动而具有比该阀轴10的直径稍大的最小孔径。另外，所述阀轴10的轴线X1与所述阀座面6、7平行，因此，所述阀装配体15整体与所述阀座面6、7平行。

在所述阀轴10的基端部固定有棒部件13。该棒部件13形成为大致H形的块状，并具有：在所述阀帽12侧(图1中的上侧)的中央形成的第一凹部13a、形成在隔着该凹部13a的左右两侧且形成该凹部13a的侧壁的一对第一肩部13b、在所述轴线X1方向上形成在与该阀帽12相反侧(图1中的下侧)的中央的第二凹部13c、以及形成在隔着该凹部13c的左右两侧且形成该凹部13c的侧壁的一对第二肩部13d。而且，在所述第一凹部13a固定有所述阀轴10的基端部，在与其相反侧的第二凹部13c安装有后面详述的压缩弹簧31的一端。

所述阀装配体15构成为，从所述第一以及第二阀体5A、5B与第一开口3以及第二开口4非相向并使这些开口3、4都全部打开的全开位置，经由这些阀体5A、5B相对于所述开口3、4双方隔开间隙地相向的相向位置，依次移动到将所述第一阀体5A的阀密封件8推碰到所述第一开口3周围的阀座面6上而将该第一开口3密闭的第一堵塞位置、以及将所述第二阀体5B的阀密封件9推碰到所述第二开口4周围的阀座面7上而将该第二开口4密闭的第二堵塞位置。

所述通孔12a在所述阀轴10的基端部侧(阀帽12的外表面侧)具有孔径扩大的扩径部12b，覆盖所述阀轴10的波纹管(bellows)14的一端安装于该扩径部12b，所述波纹管14的另一端固定于阀轴10的基端部的凸缘10a。该波纹管14形成为伴随着所述阀轴10的上下移动而伸缩。另外，所述波纹管14的两端气密地被固定，利用该波纹管14将阀箱2的内部与外部完全隔断。

在所述阀帽12外表面的、中间隔着所述阀轴10以及棒部件13而相对的位置，固定有分别具有所述驱动杆11的两个气缸20。具体而言，该气缸20由如下部件构成：横截面的外周形状形成为大致矩形的缸壳21、设置在上方的缸盖侧(所述驱动杆11未被导出到外部的一侧)的止动活塞22、在比该止动活塞22更靠下方的杆侧(驱动杆被导出到外部的一侧)与该止动活塞22同轴地配置的驱动活塞23、以及基端部被固定于该驱动活塞23的所述驱动杆11。而且，上述一对气缸20、20以使所述驱动杆11的轴线X1朝向与所述阀轴10的轴线X1平行的方向的姿势，在所述缸盖侧固定在阀帽12的下表面。

另外，所述缸壳21的一部分兼用作用于安装后述的第一以及第二导辊36a、36b的辊架。因此，在以下的说明中，也有时将缸壳21的安装有所述导辊36a、36b的部分称为“辊架27”。但是，该辊架27也可以与所述缸壳21单独地另行形成。

另外，在该缸壳21内的缸盖侧形成有大径的第一缸S1，在该缸壳21内的杆侧形成有小径的第二缸S2，这些缸S1、S2相互连通。而且，在该第一缸S1内滑动自如地配置有所述止动活塞22，并且，在该第二缸S2内滑动自如地配置有所述驱动活塞23，在所述止动活塞22的杆侧固定有直径比第二缸S2内径小的小径的圆柱状止动块22a。

其结果是，在所述气缸20内，在驱动活塞23的杆侧形成有第一缸室24，在驱动活塞23与止动活塞22之间形成有第二缸室25，在比止动活塞22更靠缸盖侧形成有第三缸室26。另外，在第一缸室24、第二缸室25、第三缸室26分别开设有未图示的进气排气口。

并且，所述各气缸20、20的驱动杆11、11的前端分别固定于在所述棒部件13的与所述阀帽12相反的一侧(棒部件13的下方)呈水平地延伸的板状的杆臂30的左右端部。而且，在所述棒部件13的作为弹簧座的所述第二凹部13c与在杆臂30中的与该第二凹部13c相对的面上(杆臂30的上表面)形成的凹状的弹簧座30a之间，夹设有所述压缩弹簧31。

被夹设在所述杆臂30与棒部件13之间的所述压缩弹簧31具有能够支撑所述阀装配体15以及棒部件13的重量的弹力。在利用该弹力将后述的第二凸轮辊32b压在第二凸轮槽33b的所述阀体5A、5B侧的上端，从而使该阀体5A、5B上升而相对于所述第一以及第二开口3、4平行移动时，所述阀装配体15和杆臂30构成一体。而且，在使所述阀体5A、5B相对于所述第一以及第二开口垂直移动时，所述压缩弹簧31被压缩而允许所述阀装配体15和杆臂30的相对移动。即，该压缩弹簧31、所述棒部件13以及所述杆臂30构成用于将所述阀轴10和驱动杆11以能够相对位移的方式进行连结的连结机构。

左右一对板状的凸轮架34、34以使其内表面与所述棒部件13的左侧面以及右侧面分别面对的配置，与所述阀轴10的轴线X1平行地固定在所述杆臂30的上表面。而且，在各个凸轮架34、34的与所述辊架27、27面对的外表面，形成有在沿着轴线X1的所述平行移动方向上延伸的一条有底的导向槽35，另外，在各个凸轮架34、34的内表面，沿轴线X1形成有上下两个有底的第一以及第二凸轮槽33a、33b。此时，这些导向槽35以及凸轮槽33a、33b的深度比所述凸轮架34的厚度的一半深，因此，这些导向槽35以及凸轮槽33a、33b以在凸轮架34的厚度方向上相互不重叠的方式在凸轮架34的宽度方向上错开地配置。

另外，所述凸轮槽33a、33b的个数、它们的位置关系并不限于本实施方式，也可以构成为，凸轮槽在各个凸轮架34上形成三个以上，或凸轮槽彼此在凸轮架34的宽度方向上相互错开地配置。另外，只要能够确保凸轮架34的强度即可，所述导向槽35、凸轮槽33a、33b也可以贯通凸轮架34。

该导向槽35由槽宽扩大的加宽部35a和槽宽形成为比该加宽部35a窄的其他的狭窄宽度部35b一连串地形成，加宽部35a设置在所述阀体5A、5B侧(图2中的上侧)的端部，狭窄宽度部35b设置在所述杆臂30侧(图2中的下侧)。另外，此时，该导向槽35的阀体侧的一端、即加宽部35a的阀体侧的一端在凸轮架34的上端面敞开。

另一方面，所述第一以及第二凸轮槽33a、33b分别在与轴线X1平行的平行移动方向上，从阀体5A、5B侧(图4中的上侧)朝向与其相反侧的棒部件13侧(图4中的下侧)依次具有A位置(始端位置)、B位置(中间位置)、C位置(终端位置)。而且，在与轴线X1垂直的所述垂直移动方向上，所述B位置配置在比A位置更靠所述第一开口3侧(图4中的左侧)，所述C位置配置在比A位置更靠所述第二开口侧(图4中的右侧)。即，该凸轮槽33a、33b分别形成为向所述第一开口3侧凸出地弯曲并沿上下方向延伸的弯曲形状。并且，上述两个凸轮槽33a、33b具有彼此相同的凸轮形状，并沿轴线X1配置，其中，第一凸轮槽33a的所述阀体5A、5B侧(上侧)的端部在凸轮架34的上端面敞开。

在所述两个气缸20的缸壳21中的朝向所述阀轴10侧的内侧面，与所述导向槽35嵌合的两个第一以及第二导辊36a、36b分别安装在沿轴线X1上下离开的位置。此时，上侧的第一导辊36a与所述导向槽35的加宽部35a嵌合地被引导，因此，相比与所述狭窄宽度部35b嵌合的下侧的另外的导辊36b形成为大径。另外，为了抑制引导时的晃动，优选为，第一导辊36a的直径形成为与加宽部35a的宽度大致相等，第二导辊36b的直径形成为与狭窄宽度部35b的宽度大致相等。

该导辊36a、36b在所述阀装配体15处于所述全开位置时，如图4所示，仅下侧的第二导辊36b与所述导向槽35嵌合，在该阀装配体15到达了所述相向位置时，如图5所示，所述上侧的导辊36a从导向槽35的上端的开口与导向槽35的加宽部35a嵌合。

这样，所述阀装配体15能够与所述阀座面6、7平行地从所述全开位置移动至到达所述相向位置，所述凸轮架34、导向槽35、以及导辊36a、36b构成用于使所述阀装配体15在上下方向上相对于阀座面6、7平行移动的平行移动机构。

另外，在所述棒部件13的左侧面以及右侧面，分别安装有与在所述凸轮架34上分别形成的两个凸轮槽33a、33b分别嵌合的两个第一以及第二凸轮辊32a、32b。此时，上述两个凸轮辊32a、32b配置于上下离开的位置，与所述两个凸轮槽33a、33b单独地嵌合。

而且，在利用所述平行移动机构使阀装配体15从所述全开位置向相向位置移动之后，利用后述的止动机构使所述阀装配体15停止在所述相向位置，在这种状态下，进一步使所述杆臂30上升而压缩所述压缩弹簧31的同时使所述凸轮架34上升时，借助所述凸轮槽33a、33b的上升，所述凸轮辊32a、32b被该凸轮槽的朝向所述第一开口3侧倾斜的部分推压而自所述A位置向B位置移动。此时，凸轮辊32a、32b在接近所述第一开口3的阀座面6的方向上相对于该阀座面6垂直移动，伴随于此，所述阀装配体15也向相同方向移动。其结果是，该阀装配体15占据将所述第一阀体5A的阀密封件8压在所述第一开口3的阀座面6上而密闭该第一开口3的第一堵塞位置。

另外，在凸轮架34进一步上升时，借助所述凸轮槽33a、33b的进一步上升，所述凸轮辊32a、32b被该凸轮槽的朝向所述第二开口4侧倾斜的部分推压而自所述B位置向C位置移动。此时，凸轮辊32a、32b在接近所述第二开口4的阀座面7的方向上相对于该阀座面7垂直移动，伴随于此，所述阀装配体15也向相同方向移动。其结果是，使所述第一阀体5A自第一开口3离开，该阀装配体15占据将所述第二阀体5B的阀密封件9压在所述第二开口4的阀座面7上而密闭该第二开口4的第二堵塞位置。

这样，所述凸轮槽33a、33b和所述凸轮辊32a、32b构成用于使所述阀装配体15相对于所述阀座面6、7垂直移动的垂直移动机构。

并且，该闸阀1具有止动机构40，在利用所述平行移动机构使所述阀装配体15自所述全开位置到达了相向位置时，该止动机构40使该阀装配体15的平行移动停止，并且允许利用所述垂直移动机构进行的该阀装配体15的垂直移动。该止动机构40具有：在所述棒部件13的形成在阀帽12侧的一对肩部13b、13b的各上端部，能够在所述垂直移动方向上滚动地设置的停止辊41；以及在阀帽12的外表面(下表面)侧的与所述各停止辊41相对的部分设置且用于使所述停止辊41接触或分离的抵接部42。即，该停止辊41和抵接部42所构成的对设置在隔着所述阀轴10的左右两侧。

而且，如图5所示，在利用所述平行移动机构使阀装配体15从所述全开位置到达相向位置时，所述停止辊41与抵接部42抵接而使所述阀装配体15的平行移动停止，如图7以及图9所示，伴随着利用所述垂直移动机构进行的该阀装配体15的垂直移动，停止辊在该抵接部42上在该垂直移动方向上滚动。

如图10所示，所述停止辊41在凹下地设置于所述肩部13b上端面的辊收容部43内，由其旋转轴41a转动自如地支承，该停止辊41的一部分从该上端面突出。另外，该辊收容部43如本实施方式那样由开设于各肩部13b的上端面的孔形成并使旋转轴41a的两端支承于该肩部13b，这种情况在强度方面是优选的，但也可以在各肩部13b的上端拐角部形成作为该辊收容部43的切口部，并仅使旋转轴41a的一端支承于该肩部13b。

另一方面，同样地如图10所示，所述抵接部42具有：在长度方向的一端(图10中的下端)具有所述停止辊41能够滚动地抵接的抵接面45a的缓冲杆45、该缓冲杆45的长度方向的另一端(图10中的上端)侧抵接的缓冲部件46、以及用于将这些缓冲杆45以及缓冲部件46安装在所述阀帽12的下表面侧的缓冲支座47。

更具体地进行说明。在所述阀帽12的下表面，开设有为了安装上述抵接部而形成的截面呈大致圆形且有底的缓冲收容孔12c，在其内周面形成有内螺纹。上述缓冲杆45由非弹性材料形成为大致圆柱状，在其一端设置的所述抵接面45a平坦地形成，在其另一端形成有凸缘部45b。另外，所述缓冲部件46由具有缓冲功能的弹性材料形成为朝向其一端(图10中的下端)侧、直径逐渐减小的大致截头圆锥(圆锥台)状，在该一端具有前端面46a，在其另一端(图10中的上端)形成有与所述缓冲收容孔12c大致同径或比其稍小的小径的凸缘部46b。并且，所述缓冲支座47形成为在上述其一端(图10中的下端)与另一端(图10中的上端)之间具有通孔48的大致圆筒状，并具有：在其外周面形成有与所述收容孔12c的内螺纹拧合的外螺纹的筒状部47a、以及在该筒状部47a的下端相比该筒状部47a以及所述缓冲收容孔12c形成为大径的锷部47b。

在此，所述缓冲支座的通孔48由上端侧的大径部48a、下端侧的小径部48c、以及位于两者之间的中径部48b构成。另外，所述缓冲杆45形成为直径比该小径部48c稍小，以便能够滑动地插通于该支座的通孔48中并能够自该支座47下端的开口出没。另一方面，所述缓冲杆的凸缘部45b形成为直径比该大径部48a的直径稍小并且比该中径部48b稍大，该凸缘部45b配置在该大径部48a内。因此，在停止辊41未抵接于所述抵接部42时，在使杆45自支座47的下端突出的状态下，该凸缘部45b卡定于在该大径部48a和中径部48b的边界形成的台阶部48d，该缓冲杆45不从通孔48向下方插拔。

而且，在所述抵接部处，所述缓冲部件46以使其凸缘部46b抵接于该缓冲收容孔12c底面的状态被收容于所述收容孔12c内，所述缓冲杆45使其凸缘部45b抵接于该缓冲部件46的前端面46a并且使其凸缘部45b卡定于所述缓冲支座内周的台阶部48d，并与该缓冲部件46同轴地配置，进而如上所述，所述支座47在使缓冲杆45的包括抵接面45a在内的前端部从该支座47下端的锷部47b的开口突出的状态下，通过拧合而固定于缓冲收容孔12c，从而将所述缓冲部件46以及杆45保持在缓冲收容孔12c内。

通过如上所述构成，棒部件13上升、所述阀装配体15到达所述相向位置而所述停止辊41抵接于所述杆45时，如图10(b)所示，缓冲部件46被压缩，其冲击被缓冲。另外，此时，如该图所示，杆45的抵接面45a成为如下状态：被推起至与支座47的开口大致共面的位置。而且，在该阀装配体15利用所述垂直移动机构进行垂直移动时，在该停止辊41抵接于杆45的抵接面45a的状态下在该垂直移动方向上滚动。

接着，对具有上述结构的闸阀1的动作进行说明。图1左半部以及图4表示如下状态：所述阀装配体15占据了所述第一以及第二阀体5A、5B自第一开口3以及第二开口4离开地避让到阀箱2下端部的全开位置的状态、即与第一开口3连接的未图示的处理腔和与第二开口4连接的未图示的转移腔相互连通而能够在两真空腔之间输送工件的状态。此时，气缸20的驱动杆11朝下完全伸展，包括第一以及第二阀体5A、5B在内的阀装配体15处于最大限度下降了的位置。因此，在所述压缩弹簧31的弹力的作用下各凸轮辊32a、32b配置在各凸轮槽33a、33b的所述A位置，由此，所述驱动杆11和阀装配体15处于经由所述杆臂30、凸轮架34以及棒部件13而一体化的状态。另外，如上所述，所述第一以及第二导辊36a、36b中的仅有配设在下方的小径的第二导辊36b嵌合在所述导向槽35内。

另外，在以下的说明中，将相互处于固定关系的所述驱动杆11、杆臂30以及凸轮架34称为“杆侧组装件”，同样地将处于固定关系的所述阀装配体15(阀轴10以及第一以及第二阀体5A、5B)和棒部件13称为“轴侧组装件”。

在自所述全开位置的状态使第二缸室25内的空气向外部释放并且向第一缸室24以及第三缸室26供给压力空气以使所述驱动杆11上升时，所述杆侧组装件和轴侧组装件相互成一体地上升。这样一来，如图1右半部以及图5所示，所述阀装配体15到达所述第一以及第二阀体5A、5B分别与第一以及第二开口3、4分别相向而所述阀密封件8、9自阀座面6、7离开的所述相向位置。

此时，在所述杆侧组装件以及轴侧组装件的上升初期，如图4所示，通过与导向槽35嵌合的下方的第二导辊36b引导凸轮架34，由此，在所述阀轴10的轴线X1被保持为与所述阀座面6、7平行的状态下，进行所述杆侧组装件以及轴侧组装件相对于所述阀座面6、7的平行移动。接着，在所述阀装配体15靠近所述相向位置时，如图5所示，所述第一导辊36a也从上端的开口嵌合于所述导向槽35。

在所述阀装配体15到达所述相向位置时，如图5中也通过点划线所示的那样，所述停止辊41抵接于所述抵接部42，由此，所述轴侧组装件停止在该位置。但是，在所述轴侧组装件停止后也使所述第二缸室25内的空气向外部释放，因此，所述杆侧组装件压缩所述压缩弹簧31而继续上升，形成于所述凸轮架34的第一以及第二凸轮槽33a、33b相对于所述第一以及第二凸轮辊32a、32b分别上升。如图6所示，所述各凸轮槽33a、33b分别上升直至驱动活塞23抵接于止动活塞22的止动块22a。此时，如图7所示，所述各凸轮辊32a、32b分别移动到各凸轮槽33a、33b的所述B位置，在这个时候，上述凸轮辊32a、32b被倾斜的所述各凸轮槽33a、33b的槽壁推压而向接近所述第一开口3的阀座面6的方向相对于该阀座面6垂直移动。其结果是，所述轴侧组装件与上述各凸轮辊32a、32b一起向相同方向移动，因此，所述阀装配体15移动到所述第一堵塞位置，所述第一阀体5A的阀密封件8被压在所述阀座面6上而密闭所述第一开口3。接着，在如上所述被密闭的处理腔内处理工件。

但是，由于在进行如上所述的工件处理时产生于处理腔内的游离基(radical)使第一阀体5A的阀密封件8劣化，因此，需要定期更换该阀密封件8。另外，处理腔内也需要定期清扫。于是，在本发明的闸阀1中，在进行如上所述的维护时，如图8所示，通过由第二阀体5B密闭通向转移腔的第二开口4，也可以将该转移腔内维持在真空状态。

在进行所述维护时，使第二缸室25以及第三缸室26的空气向外部释放，并且，向第一缸室24供给压力空气以使所述驱动杆11上升。如图8所示，各凸轮槽33a、33b分别上升直至止动活塞22抵接于缸盖侧端。此时，如图9所示，各凸轮辊32a、32b移动到各凸轮槽33a、33b的所述C位置，在这个时候，上述凸轮辊32a、32b被倾斜的所述凸轮槽33a、33b的槽壁推压而向接近所述第二开口4的阀座面7的方向相对于该阀座面7垂直移动。其结果是，所述轴侧组装件与上述各凸轮辊32a、32b一起向相同方向移动，因此，所述阀装配体15移动到所述第二堵塞位置，所述第二阀体5B的阀密封件9被压在所述阀座面7上而密闭所述第二开口4。

这样，在所述维护中密闭所述第二开口4而维持与其连接的转移腔的真空状态，从而可以维持该转移腔的状态不变而继续使用该转移腔，而且，也可以使所述维护后的装置的启动迅速化。

如上所述，两个凸轮辊32a、32b分别被凸轮架34的各凸轮槽33a、33b引导，由此，所述阀装配体15自所述相向位置向第一堵塞位置或第二堵塞位置的移动相对于所述阀座面6、7垂直地进行，在所述阀密封件8、9被压在阀座面6、7上时，阀体5A、5B自阀座面受到的反作用力经由所述凸轮架34被所述两个导辊36a、36b挡住。

具体而言，如图7以及图9所示，在阀装配体15处于所述第一堵塞位置或第二堵塞位置时，阀体5A、5B自阀座面6、7受到的反作用力设为F、所述第一导辊36a自凸轮架34受到的作用力(凸轮架自第一导辊36a受到的反作用力)设为W2、所述第二导辊36b自凸轮架34受到的作用力(凸轮架自第二导辊36b受到的反作用力)设为W1、所述阀体5A、5B的中心与所述第一导辊36a的中心的距离设为L1、该第一导辊36a的中心与所述第二导辊36b的中心的距离设为L2，则

W1×L2＝F×L1

W2＝F+W1＝(1+L1/L2)F

成立。这是因为，由第一以及第二阀体5A、5B自阀座面6、7受到的反作用力F以及凸轮架34自第二导辊36b受到的反作用力W1而产生的、绕第一导辊36a的力矩平衡，而且，该反作用力W2与该反作用力F和该反作用力W1之和相等。即，第一导辊36a相比第二导辊36b自凸轮架34受到更大的作用力，因此，如上所述，第一导辊36a相比该第二导辊36b增大直径而被加强。尤其是，在本实施方式中，所述阀体5A、5B的中心与所述第一导辊36a的中心的距离L1，比该第一导辊36a的中心与所述第二导辊36b的中心的距离L2长，W2比F的2倍大，因此，更希望加强第一导辊36a。

另外，在将所述闸阀1的第一以及第二开口3、4从密闭状态打开时、即使阀装配体15从第一堵塞位置或第二堵塞位置移动到全开位置的情况下，进行与上述的闸阀1堵塞各开口3、4的行程相反的动作即可。

这样，根据所述闸阀1，通过使由第一阀体5A、第二阀体5B以及阀轴10构成的阀装配体15相对于第一开口3以及第二开口4周围的各阀座面6、7垂直移动，从而可以使各阀体5A、5B的对应的阀密封件8、9分别以不滑动的方式与上述阀座面6、7接触或分离，因此，不仅在开闭与处理腔连接的第一开口3时，而且在开闭与转移腔连接的第二开口4时，也可以抑制阀密封件8、9的扭曲、磨损粉末的产生等。其结果是，即便在处理腔、第一阀体5A的阀密封件8等的维护作业时堵塞第二开口4，也可以抑制由阀密封件9的扭曲引起的真空泄漏、磨损粉末的产生等，可以谋求维护作业的高效化。

以上，对本发明的实施方式详细地进行了说明，但本发明并不限于此，不言而喻在不脱离本发明的主旨的范围内可以进行各种设计变更。

Claims (4)

1.一种闸阀，具有：

阀箱，所述阀箱在相互相向的侧壁上设置有与处理腔连接的第一开口以及与转移腔连接的第二开口，在这些开口周围分别形成有相互平行的阀座面；

阀装配体，所述阀装配体由阀轴、板状的第一阀体以及第二阀体构成，所述阀轴在长度方向上具有前端部和基端部，所述第一阀体以及第二阀体安装在该阀轴的前端部并分别具有与所述各阀座面对应的阀密封件；以及

气缸，所述气缸的驱动杆与该阀轴连结，

所述闸阀构成为，能够利用所述气缸使所述阀装配体从所述各阀体与所述各开口非相向的全开位置，经由所述各阀体与所述各开口相向的相向位置，移动到所述第一阀体的阀密封件被压在所述第一开口周围的阀座面上而堵塞该第一开口的第一堵塞位置、以及所述第二阀体的阀密封件被压在所述第二开口周围的阀座面上而堵塞该第二开口的第二堵塞位置，所述闸阀的特征在于，

所述闸阀具有：

连结机构，所述连结机构将所述驱动杆和阀轴以能够相对位移的方式连结；

平行移动机构，所述平行移动机构使所述阀装配体相对于所述各阀座面平行移动；

垂直移动机构，所述垂直移动机构使该阀装配体相对于所述各阀座面垂直移动；以及

止动机构，在利用所述平行移动机构使所述阀装配体自所述全开位置到达了相向位置时，所述止动机构使该阀装配体的平行移动停止，并且允许利用所述垂直移动机构进行的该阀装配体的垂直移动，

所述连结机构具有：固定于所述驱动杆的杆臂、固定于所述阀轴的基端部的棒部件、以及夹设在该棒部件和所述杆臂之间的压缩弹簧，

所述平行移动机构具有：以分别面对所述棒部件的左侧面和右侧面的方式固定于所述杆臂的左右一对凸轮架、在平行移动方向上形成于各个凸轮架的导向槽、以及在左右一对辊架的每一个上安装有多个且嵌合于所述导向槽的导辊，所述左右一对辊架固定于所述阀箱所安装的阀帽，分别形成于所述左右一对凸轮架的导向槽在该导向槽的所述阀体侧的端部具有槽宽扩大了的加宽部，在所述左右的辊架的每一个上安装的多个导辊中的、配置在最靠近所述阀体侧的导辊，相比其他的导辊形成为大径并嵌合于所述加宽部，

所述垂直移动机构具有：在所述一对凸轮架的每一个上形成有多个的凸轮槽、以及在所述棒部件的左右侧面的每一个上设置有多个且分别嵌合于所述各凸轮槽的凸轮辊，所述各凸轮槽在所述平行移动方向上具有所述阀体侧的始端位置、与其相反的一侧的终端位置、以及设置在上述始端位置和终端位置之间的中间位置，在垂直移动方向上，所述中间位置相比始端位置设置在更靠所述第一开口侧，所述终端位置相比始端位置设置在更靠所述第二开口侧，在所述阀装配体进行自所述全开位置到达相向位置的平行移动时，所述凸轮辊配置在所述始端位置，在该凸轮辊移动到了中间位置时，所述阀装配体占据所述第一堵塞位置，在该凸轮辊移动到了所述终端位置时，该阀装配体占据第二堵塞位置。

2.如权利要求1所述的闸阀，其特征在于，

所述止动机构具有：在所述垂直移动方向上转动自如地设置的停止辊、以及与所述停止辊接触或分离的抵接部，

上述停止辊以及抵接部相互相向地分别设置于所述棒部件以及所述阀帽，

在利用所述平行移动机构使所述阀装配体自所述全开位置到达了相向位置时，所述停止辊抵接于抵接部而使所述阀装配体的平行移动停止，在利用所述垂直移动机构使该阀装配体垂直移动时，停止辊在该抵接部上滚动。

3.如权利要求2所述的闸阀，其特征在于，

在所述止动机构中，所述停止辊和抵接部构成的对设置在隔着所述阀轴的左右两侧。

4.如权利要求2或3所述的闸阀，其特征在于，

所述抵接部由缓冲杆和缓冲部件构成，所述缓冲杆在长度方向的一端具有所述停止辊能够滚动地抵接的抵接面，该缓冲杆的长度方向的另一端侧抵接于所述缓冲部件。