KR101726452B1

KR101726452B1 - 진공밸브

Info

Publication number: KR101726452B1
Application number: KR1020117006802A
Authority: KR
Inventors: 플로리안 에르네; 토마스 블레하
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2008-09-29
Filing date: 2009-09-21
Publication date: 2017-04-12
Also published as: US20110175011A1; JP5490124B2; TW201020437A; CN102165232B; CN102165232A; TWI479097B; US8672293B2; KR20110073476A; JP2012504212A; WO2010034046A1; DE102008049353A1

Abstract

진공밸브는 밸브시트 (4) 의해 둘러싸인 밸브 개구부 (2) 를 가진 벽 (1), 진공밸브의 진공영역에 배치된 적어도 하나의 밸브 플레이트 (5) (상기 밸브 플레이트는 개방 위치로부터 세로 방향 (6) 으로 중간 위치로, 그리고 그의 중간 위치로부터 세로 방향 (6) 에 대해 직각으로 있는 가로 방향 (7) 으로 폐쇄 위치로 이동될 수 있다), 밸브 플레이트 (5) 를 지니고 있는 적어도 하나의 밸브로드 (12) (상기 밸브로드는 진공밸브의 진공영역 밖으로 안내되어 있고, 그리고 벽 (1) 에 대해 세로 방향 (6) (상기 세로 방향은 밸브로드 (12) 의 세로축 (14) 에 대해 평행으로 놓여 있다) 으로, 또한 가로 방향 (7) 으로 이동될 수 있다), 및 진공밸브의 진공영역의 외부에 배치된 세로-드라이브 장치 (15, 15') 및 가로-드라이브 장치 (16, 16') (상기 장치들에 의해 밸브로드 (12) 는 밸브 플레이트 (5) 를 이동시키기 위해 세로 방향 (6) 으로, 그리고 가로 방향 (7) 으로 이동될 수 있다) 를 포함한다. 진공밸브의 진공영역의 외부에 놓여 있는, 벽 (1) 과 단단히 연결되어 있는 베어링 유닛 (17, 17') 이 존재하며, 상기 베어링 유닛에 의해, 밸브로드 (12) 를 세로 방향 (6) 으로 이동 가능하게 안내하는 가이드 유닛 (20, 20') 은 가로 방향 (7) 으로 이동 가능하게 안내되어 있다.

Description

진공밸브 {VACUUM VALVE}

본 발명은 진공밸브에 관한 것으로, 상기 진공밸브는 밸브시트 (valve seat) 에 의해 둘러싸인 밸브 개구부 (valve opening) 를 가진 벽, 진공밸브의 진공영역 (vacuum region) 에 배치된 적어도 하나의 밸브 플레이트 (valve plate) (상기 밸브 플레이트는 그가 밸브 개구부를 개방하는 개방 위치로부터 세로 방향으로, 그가 밸브 개구부를 덮고 있으며, 하지만 밸브시트로부터 들어내져 있는 중간 위치로, 그리고 그의 중간 위치로부터 상기 세로 방향에 대해 직각으로 있는 가로 방향으로 폐쇄 위치 (상기 폐쇄 위치에서 그는 밸브시트에 내리눌려져 있고, 그리고 밸브 개구부를 폐쇄한다) 로 이동될 수 있다), 밸브 플레이트를 지니고 있는 적어도 하나의 밸브로드 (valve rod) (상기 밸브로드는 진공밸브의 진공영역 밖으로 안내되어 있으며, 그리고 벽에 대해 세로 방향으로 (상기 세로 방향은 밸브로드의 세로축에 대해 평행으로 놓여 있다) 이동될 수 있고, 또한 상기 벽에 대해 가로 방향으로 평행으로 이동될 수 있다), 진공밸브의 진공영역의 외부에 배치된 세로-드라이브 장치 (longitudinal drive device) (상기 세로-드라이브 장치에 의해 밸브로드는 밸브 플레이트를 그의 개방 위치와 그의 중간 위치 사이에서 이동시키기 위해 세로 방향으로 이동될 수 있다), 및 진공밸브의 진공영역의 외부에 배치된 가로-드라이브 장치 (transverse drive device) (상기 가로-드라이브 장치에 의해 밸브로드는 밸브 플레이트를 그의 중간 위치와 그의 폐쇄 위치 사이에서 이동시키기 위해 가로 방향으로 이동될 수 있다) 를 포함한다.

이러한 유형의 진공밸브는 L 밸브라고도 불리우며, 이 L 밸브들은 여러 가지 구조로 공지되어 있다. 널리 보급되어 있는 비동종 구조에 있어서, 밸브 플레이트를 그의 중간 위치로부터 그의 폐쇄 위치로, 그리고 그 반대로 이동시키는 것을 가능하게 하기 위해, 밸브로드는 세로 방향에 대해 직각으로, 그리고 가로 방향에 대해 직각으로 있는 축 둘레로 선회 가능하게 지지되어 있다. 이러한 구현형태는 예컨대 US 6,431,518 B1 에 나타나 있다. 세로 드라이브를 형성하는 피스톤-실린더 유닛의 실린더는 밸브로드와 함께 선회 가능하며, 그리고 밸브로드 및 실린더를 선회시키기 위해서는 그 밖의 피스톤-실린더 유닛이 사용된다. 유사한 장치가 US 6,416,037 B1 으로부터 공지되어 있다. 예컨대 US 6,966,538 B2, US 5,641,149 A, US 6,237,892 B1 및 US 6,619,618 B2 에 나타나 있는 바와 같이, 널리 보급되어 있는 구조에 따르면, 밸브로드의 틸팅 (tilting) 은 슬라이딩 가이드를 수단으로 하여, 세로 방향 구동을 초래하는 동일한 피스톤-실린더 유닛을 통해 수행된다.

밸브 플레이트의 이동이 가로 방향으로 밸브로드의 틸팅을 통해 수행되는 사전 공지되어 있는 이 L 밸브들의 단점은, 밸브 플레이트의 이동이 정확히, 그리고 평행으로 수행되지 않고 대략적으로만 가로 방향으로 수행된다는 것이며, 이는 밸브 플레이트를 밸브시트에 대해 밀봉하는 실 (seal) 에게 보다 높은 부하를 가하게 한다.

이 이외에, 이른바 J 밸브들이 공지되어 있으며, 이 J 밸브들에 있어서 밸브시트에의 밸브 플레이트의 돌진은 가로 방향에 대해 매우 비스듬히 수행된다.

이 이외에, 중간 위치로부터 폐쇄 위치로의 밸브 플레이트의 이동이 가로 방향으로의 직선 이동을 통해 수행되는 L 밸브들이 공지되어 있다. 예컨대, 출원인의 US 2007/0272888 A1 으로부터 진공밸브가 공개되어 있으며, 이 경우 밸브 플레이트는 피스톤-실린더 유닛들을 수단으로 하여 지지 유닛에 대해 가로 방향으로 이동될 수 있다. 상기 지지 유닛은 밸드로드들에 배치되어 있으며, 상기 밸브로드들은 그 밖의 피스톤-실린더 유닛들을 수단으로 하여 세로 방향으로 이동될 수 있다. 진공밸브로서의 구현형태 이외에 이 장치는 도어 (door) 로서 형성될 수도 있으며, 상기 도어에 있어서 밸브 플레이트는 진공챔버의 벽 안의 개구부를 폐쇄하고, 그리고 이 경우 진공영역의 외부에 놓여 있을 수 있다. 지지 유닛을 지니고 있는 밸브로드들의 세로 방향 이동을 위한, 그리고 지지 유닛에 대한 밸브 플레이트의 가로 방향 이동을 위한 피스톤-실린더 유닛들을 가진 유사한 진공밸브가 US 6,899,316 A 로부터 공지되어 있다.

밸브 플레이트가 밸브로드에 부착되어 있는 L 밸브가 US 2008/0017822 A1 으로부터 공지되어 있으며, 상기 밸브로드는 세로 방향으로 이동 가능하게 안내되어 있고, 그리고 피스톤-실린더 유닛을 수단으로 하여 세로 방향으로 이동될 수 있다. 일 실시형태에서 리니어 가이드 (linear guide) 에 의해 형성된 가이드 장치를 수단으로 하여 이 피스톤-실린더 유닛은 가로 방향으로 이동 가능하게 안내되어 있으며, 이로 인해 피스톤 로드 (piston rod) 도 밸브 개구부를 구비한 벽에 대해 가로 방향으로 이동될 수 있다. 밸브 플레이트를 그의 중간 위치로부터 그의 폐쇄 위치로 이동시키기 위해, 밸브 플레이트 안에 통합된 피스톤-실린더 유닛이 사용된다. 다른 실시형태에서, 가로-드라이브 장치는 진공영역의 외부에 배치된 피스톤-실린더 유닛에 의해 형성되며, 상기 피스톤-실린더 유닛은 세로-드라이브 장치의 피스톤-실린더 유닛의 실린더에 작용한다. 이러한 설계는 특히 밸브 플레이트가 상기 밸브 플레이트를 밸브시트에 내리누르는 차이압력 (differential pressure) 에 의해서만 가압되고 있는 적용 (applications) 을 위해 적합하다. 이 경우, 밸브 플레이트를 밸브시트에 내리누르는 큰 폐쇄력이 가해질 필요가 없다. 보다 큰 폐쇄력의 전달은 이 문헌으로부터 유래하는 가로 가이드 (transverse guide) 를 갖고는 문제가 있을 것이다.

본 발명의 목적은, 두 방향으로 밸브 플레이트에 작용하는 차이압력들이 발생할 수 있는 적용을 위해서도 적합한, 도입부에 언급된 유형의 개선된 진공밸브를 제공하는 것이다.

이는 본 발명에 따르면 청구항 제 1 항의 특징들을 가진 진공밸브를 통해 달성된다.

본 발명의 진공밸브에 있어서, 밸브로드는 한편으로는 세로 방향으로 (상기 세로 방향은 그의 세로축에 대해 평행으로 놓여 있다), 밸브 개구부를 구비한 벽에 대해 이동될 수 있으며, 그리고 다른 한편으로는 상기 세로축에 대해 직각으로 있는 가로 방향으로, 밸브 개구부를 구비한 벽에 대해 평행으로 이동될 수 있다. 밸브로드를 위한 세로-드라이브 장치와 가로-드라이브 장치는 진공밸브의 진공영역의 외부에 놓여 있다. 이 이외에, 진공밸브의 진공영역의 외부에는 베어링 유닛 (bearing unit) 이 배치되어 있다. 이것에 의해 가이드 유닛 (guide unit) (상기 가이드 유닛은 밸브로드를 세로 방향으로 이동 가능하게 안내한다) 은 가로 방향으로 이동 가능하게 안내되어 있으며, 그러므로 상기 가이드 유닛은 마찬가지로 진공밸브의 진공영역의 외부에 놓여 있다. 상기 가이드 유닛은 전체로서, 즉 그의 전체 연장부에 걸쳐 가로 방향으로 상기 베어링 유닛에 대해 이동될 수 있다.

진공영역의 외부에 배치된, 벽과 단단히 연결된 베어링 유닛 (상기 베어링 유닛은 상기 가이드 유닛을 이동 가능하게 안내한다) 을 수단으로 하여, 밸브 플레이트로의 개선된 힘전달이 달성될 수 있으며, 이로 인해 두 방향으로 밸브 플레이트에 작용하는 차이압력들을 흡수하기 위한 이러한 유형의 L 밸브 (상기 L 밸브에 있어서 세로-드라이브 장치 뿐만 아니라 가로-드라이브 장치가 진공영역의 외부에 놓여 있다) 의 설계가 가능해진다. 진공영역의 외부에 세로-드라이브 장치 뿐만 아니라 가로-드라이브 장치를 배치함으로써, 바람직한, 그리고 정비가 편한 구성이 달성될 수 있다.

바람직하게는, 상기 가이드 유닛을 직선으로 가로 방향으로 이동 가능하게 지지하는 상기 베어링 유닛은 세로 방향과 관련하여 상기 가이드 유닛의 양쪽에 놓여 있는 섹션들 (sections) 을 구비한다. 이 경우, 상기 가이드 유닛은 바람직하게는 적어도 부분적으로, 바람직하게는 완전히, 상기 베어링 유닛의 수용 공간 안에 배치되어 있으며, 그리고 이것 안에서, 베어링 유닛에 의해 이동 가능하게 안내되어 있다. 상기 가이드 유닛은 상기 베어링 유닛에 의해 직선으로 가로 방향으로 안내된 활대 (滑臺)이다.

바람직하게는, 상기 세로-드라이브 장치는 적어도 하나의 피스톤-실린더 유닛을 구비한다. 그 안에 피스톤이 배치되어 있는 실린더 리세스 (cylinder recess) 는 바람직하게는 상기 가이드 유닛 안에 형성되어 있을 수 있다. 하지만 가이드 유닛과 단단히 연결된 실린더를 제공하는 것도 가능하다. 상기 피스톤-실린더 유닛의 피스톤의 밸브로드는 직접 진공영역 안으로 안내된, 그리고 밸브 플레이트를 지니고 있는 밸브로드를 형성할 수 있으며, 또는 밸브로드와 연결된 별도의 피스톤 로드가 제공되어 있을 수 있다.

상기 가로-드라이브 장치에 의해 밸브로드를 가로 방향으로 이동시키기 위해 가해져야 하는 힘은 바람직하게는 상기 가이드 유닛을 통해 밸브로드에 작용하며, 이때 이 작용은 직접 또는 적어도 하나의 기어부재 (gear member) 를 통해 수행될 수 있다. 상기 가로-드라이브 장치는 예컨대 적어도 하나의 피스톤-실린더 유닛의 형태로 형성되어 있을 수 있다.

본 발명의 가능한 실시형태에서, 상기 가로-드라이브 장치는 세로 방향으로 이동 가능한 적어도 하나의 드라이브 부품 (drive part) 을 구비하며, 상기 드라이브 부품은 적어도 하나의 기어부재를 통해 상기 가이드 유닛과 연결되어 있고, 상기 기어부재는 세로 방향으로 수행되는 상기 드라이브 부품의 운동을 가로 방향으로의 가이드 유닛의 운동으로 전환시킨다. 이 경우, 상기 드라이브 부품 또는 각각의 드라이브 부품은, 가로 방향으로 가이드 유닛을 평행으로 이동시키는 것을 달성하기 위해, 세로 방향과 관련하여 상기 드라이브 부품의 마주보고 놓여 있는 쪽들에서 각각의 기어부재를 통해 가이드 유닛과 연결되어 있는 것이 바람직하다. 다른 말로 하자면, 상기 기어부재들은 상기 가이드 유닛을 위한 평행 가이드를 형성한다. 이 경우, 상기 기어부재들은 예컨대 선회 가능하게 상기 드라이브 부품과 연결된, 또한 상기 가이드 유닛과 연결된 링크 (link) 들일 수 있으며, 상기 링크들은 함께 평행 사변형 가이드를 형성한다. 이 경우, 드라이브 부품들을 구비한 가로-드라이브 장치의 액추에이터들은 전체로서 세로 방향으로 이동 가능하게 지지 유닛에 대해 안내되어 있을 수 있으며, 그리고 예컨대 베어링 유닛에 대해 이동 가능한 플레이트 모양의 슬라이딩 부품을 수단으로 하여 상기 지지 유닛에 지지될 수 있고, 상기 슬라이딩 부품에는 상기 액추에이터들이 부착되어 있다. 이러한 방식으로, 밸브 플레이트를 그의 폐쇄 방향으로 상응하는 높은 폐쇄력을 갖고 밸브시트에 내리누르기 위해, 세로 방향과 마주한 밸브로드의 틸팅 (tilting) 에 대한 큰 힘이 가해질 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시형태에 따르면, 밸브로드는 개방 위치에서 뿐만 아니라 중간 위치에서도, 그리고 폐쇄 위치에서도, 밸브 플레이트로부터 멀리 향하는 쪽에서 가이드 유닛 밖으로 돌출하며, 그리고 밸브 플레이트의 폐쇄 위치에서 가로 스톱 (transverse stop) 에 지지되고, 상기 가로 스톱은 베어링 유닛에 배치되어 있으며, 그리고 가로 방향으로의 밸브로드의 이동을 저지한다. 이때, 밸브로드 또는 이것과 연결된 부품은 가로 방향과 관련하여 밸브로드의 또는 이 부품의 보다 가까이 밸브시트에 놓여 있는 쪽에서 가로 스톱에 지지된다. 그러므로, 베어링 유닛의 가로 스톱, 및 그것에 밸브 플레이트가 밀착해 있는 밸브시트는 밸브 플레이트의 폐쇄 위치에서, 밸브로드와 밸브 플레이트로 형성된 유닛을 위한 2 개의 지지체를 형성한다. 이로써, 밸브 플레이트의 폐쇄 방향에서의 밸브로드의 정렬을 세로 방향에 대해 평행으로 유지하는 힘은 밸브로드로부터 베어링 유닛을 통해, 밸브 개구부를 구비한 벽으로 전달될 수 있다.

이하, 본 발명의 그 밖의 장점들 및 상세 내용을 첨부된 도면을 참조로 설명한다.

도 1 은 밸브 플레이트의 개방 위치에서, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 진공밸브를 나타낸 도면;
도 2 내지 도 4 는 도 1 의 선 (AA, BB 및 CC) 을 따른 단면들;
도 5 는 도 1 과 일치하는, 하지만 밸브 플레이트의 중간 위치에서의 도면;
도 6 내지 도 8 은 도 5 의 선 (AA, BB 및 CC) 을 따른 단면들;
도 9 는 도 1 과 일치하는, 하지만 밸브 플레이트의 폐쇄 위치에서의 도면;
도 10 내지 도 12 는 도 9 의 선 (AA, BB 및 CC) 을 따른 단면들;
도 13 은 본 발명의 제 1 실시형태에 상응하여 밸브로드 및 이것에 부착된 밸브 플레이트를 가진 진공밸브의 드라이브를 기울여 나타낸 도면;
도 14 는 도 13 과 일치하는, 기울여 나타낸 도면이며, 밸브의 부품들이 분해되어 도시되어 있다;
도 15 는 본 발명의 제 1 실시형태와 일치하는, 진공밸브의 그 밖의 실시변형을 나타낸 도면;
도 16 은 도 15 의 선 (AA) 을 따른 단면;
도 17 은 밸브 플레이트의 개방 위치에서, 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 진공밸브를 나타낸 도면 (밸브로드의 벨로스 피드쓰루 (bellows feed-through) 의 벨로스는 생략되어 있다);
도 18 내지 도 20 은 도 17 의 선 (AA, BB 및 CC) 을 따른 단면들 (밸브로드의 벨로스 피드쓰루의 벨로스와 함께);
도 21 은 밸브 플레이트의 중간 위치에서 도 17 의 밸브를 나타낸 도면;
도 22 내지 도 24 는 도 21 의 선 (AA, BB 및 CC) 을 따른 단면들;
도 25 는 밸브 플레이트의 폐쇄 위치에서 도 17 의 밸브를 나타낸 도면;
도 26 내지 도 28 은 도 25 의 선 (AA, BB 및 CC) 을 따른 단면들;
도 29 는 제 2 실시형태에 따른 진공밸브의 저면도;
도 30 은 제 2 실시형태에 따른 진공밸브를 기울여 나타낸 도면;
도 31 은 도 30 과 일치하는 시선 방향으로부터 기울여 나타낸 도면이며, 진공밸브의 부품들이 분해되어 도시되어 있다;
도 32 는 도 31 과 일치하는, 하지만 다른 시각 방향에서 바라본 도면;
도 33 은 밸브로드를 가진 밸브 드라이브를 나타낸 도면이며 (벨로스 또는 벨로스 피드쓰루 없이), 부분적으로 잘라내져 있다;
도 34 는 진공챔버 안에 장착된 상태에서의 밸브의 개략적인 도면이다.
도면들은 부분적으로 간략하게 도시되어 있다. 즉, 특히 연결 플랜지들은 간략하게 도시되어 있으며, 예컨대 부분적으로 나사 구멍들이 생략되어 있고, 그리고 연결나사들이 부분적으로 도시되어 있지 않다.

이하, 본 발명의 제 1 실시형태는 도 1 내지 도 14 를 참조로 설명된다. 진공밸브는 밸브 개구부 (valve opening, 2) 를 가진 벽 (1) 을 포함하며, 상기 밸브 개구부는 축 (3) 을 구비하고, 밸브시트 (valve seat, 4) 에 의해 둘러싸여 있으며, 상기 밸브시트는 실시예에서 밀봉면에 의해 형성되어 있다. 진공밸브의 닫힌 상태에서 (도 9 내지 도 12 참조) 밸브 개구부 (2) 를 진공 밀봉적으로 (vacuum-tight) 폐쇄하기 위해 밸브 플레이트 (5) 가 제공되어 있다. 진공밸브의 열린 상태에서 (도 1 내지 도 4 참조) 밸브 플레이트 (5) 는 밸브 개구부 (2) 를 개방시키며, 이때 상기 밸브 플레이트는 바람직하게는 밸브 개구부 (2) 의 축 (3) 의 방향과 관련하여 완전히 밸브 개구부 (2) 옆에 배치되어 있다. 밸브 플레이트 (5) 의 이 개방 위치로부터 출발하여, 밸브 플레이트 (5) 는 진공밸브를 닫기 위해, 상기 밸브 플레이트가 밸브 개구부 (2) 를 덮고 있으나 (축 (3) 의 방향으로 볼 때) 아직 밸브시트 (4) 로부터 들어내져 있을 때까지 우선 세로 방향 (6) 으로 이동될 수 있다. 밸브 플레이트 (5) 의 이 중간 위치는 도 5 내지 도 8 에 도시되어 있다. 그의 개방 위치로부터 그의 중간 위치로의 밸브 플레이트의 이동은 전체 이동경로에 걸쳐 직선으로 세로 방향 (6) 으로 수행된다. 이 이외에, 밸브 플레이트는 그의 중간 위치로부터 출발하여 세로 방향에 대해 직각으로 있는 가로 방향 (7) 으로 (상기 가로 방향은 축 (3) 에 대해 평행으로 놓여 있다) 밸브시트 (4) 방향으로 이동되며, 그리고 밸브 개구부 (2) 를 밀봉하기 위해 밸브시트 (4) 에 내리눌려진다. 밸브 플레이트의 폐쇄 위치에서 (도 9 내지 도 12 참조) 진공밸브는 닫혀져 있다. 상기 중간 위치로부터 상기 폐쇄 위치로의 이동은 전체 이동경로에 걸쳐 직선으로 가로 방향 (7) 으로 수행된다.

상기 폐쇄 위치에서, 밸브 플레이트 (5) 에 배치되어 있는 탄성적인 실링링 (sealing ring) 은 밸브시트 (4) 를 형성하는 밀봉면에 내리눌려져 있다. 진공밸브의 개방은 정반대의 순서로 수행되며, 즉 밸브 플레이트의 폐쇄 위치로부터 그의 중간 위치로 수행되고, 그리고 계속해서 그의 개방 위치로 수행된다.

진공밸브의 진공영역 (=진공화된 영역) 에 배치된 밸브 플레이트 (5) 는 밸브로드 (valve rod, 12) 에 부착되어 있으며, 상기 밸브로드는 벨로스 피드쓰루를 수단으로 하여 진공밸브의 진공영역 밖으로 안내되어 있고, 즉 밸브 플레이트 (5) 가 부착되어 있는 밸브로드의 섹션 (section) 은 진공영역에 위치하며, 밸브로드 (12) 의 다른 섹션은 진공영역의 외부에 위치한다. 벨로스 피드쓰루는 도면들에 개략적으로 도시되어 있는 벨로스 (13), 예컨대 폴딩 벨로스 (folding bellows) 또는 멤브레인 벨로스 (membrane bellows) 에 의해 형성되며, 상기 벨로스는 한편으로는 밸브로드 (12) 와 진공 밀봉적으로 연결되어 있고 다른 한편으로는 벽 (46) 과 진공 밀봉적으로 연결되어 있으며, 상기 벽은 벽 (1) 과 단단히 연결되어 있고, 그리고 벽 (1) 에 대해 각이 지게, 바람직하게는 직각으로 있으며, 보다 정확히 말하면 벽 (46) 을 통한 개구부의 영역에 있고, 상기 개구부를 통해 밸브로드 (12) 가 돌출한다. 밸브 플레이트 (5) 는 도시되어 있는 바와 같이 밸브로드 (12) 와 단단히 연결될 수 있으며, 또는 이 연결은 밸브 플레이트 (5) 의 폐쇄 위치에서의 밸브시트 (4) 에의 밸브 플레이트 (5) 의 일종의 적응을 가능하게 하기 위해 탄성을 가질 수 있다. 밸브 플레이트 (5) 와 밸브로드 (4) 간의 이러한 유형의 탄성적인 연결은 공지되어 있다.

밸브로드 (12) 의 세로축 (14) 은 세로 방향 (6) 에 대해 평행으로 놓여 있다. 그의 개방 위치와 그의 중간 위치 사이에서 밸브 플레이트 (5) 를 이동시키기 위해, 밸브로드 (12) 는 세로 방향 (6) 으로 벽 (1) 에 대해 이동될 수 있다. 그의 폐쇄 위치와 그의 중간 위치 사이에서 밸브 플레이트 (5) 를 이동시키기 위해, 밸브로드 (12) 는 가로 방향 (7) 으로 벽 (1) 에 대해 평행으로 이동될 수 있다. 밸브로드를 진공영역 밖으로 안내하기 위한 벨로스 피드쓰루 대신 슬라이딩 피드쓰루 (sliding feed-through) 가 제공될 수도 있다. 상기 슬라이딩 피드쓰루는 슬라이딩 부품을 구비할 수 있으며, 상기 슬라이딩 부품은 관통 개구부를 구비하고, 상기 관통 개구부를 통해 밸브로드는 실 (seal) 을 수단으로 밀봉되어 안내되어 있다. 그러므로, 밸브로드 (12) 는 세로 방향 (6) 으로 이 슬라이딩 부품에 대해 이동될 수 있다. 상기 슬라이딩 부품 자체는 벽 (46) 에 대해 가로 방향 (7) 으로 이동 가능하게 지지되어 있으며, 이때 상기 슬라이딩 부품은 실을 수단으로 하여 벽 (46) 에 대해 밀봉되어 있다. 즉, 상기 슬라이딩 부품은 벽 (46) 에 대해 밀봉된, 그리고 가로 방향 (7) 으로 이동 가능한 일종의 활대를 형성한다. 특히 서로 직각으로 있는 2 개의 방향으로의 이동 가능성을 가능하게 하는 이러한 유형의 슬라이딩 피드쓰루는 공지되어 있다.

진공밸브를 개방 및 폐쇄하기 위해 밸브 드라이브 (valve drive) 가 쓰이며, 상기 밸브 드라이브는 진공영역의 외부에 배치된 세로-드라이브 장치 (15), 및 마찬가지로 진공영역의 외부에 배치된 가로-드라이브 장치 (16) 를 구비하고, 상기 세로-드라이브 장치에 의해 밸브로드 (12) 는 세로 방향으로 이동될 수 있고, 상기 가로-드라이브 장치에 의해 밸브로드는 가로 방향으로 이동될 수 있다.

도시되어 있는 실시예에서, 벽 (1) 은 밸브 하우징 (8) 의 일부를 형성하며, 상기 밸브 하우징은 그 밖의 개구부 (10) 를 가진, 실시예에서 벽 (1) 과 마주보고 있는 벽 (9) 을 구비한다. 밸브 개구부 (2) 와 개구부 (10) 는 밸브의 열린 상태에서 개방되어 있는, 밸브 하우징 (8) 을 통한 관통 채널의 부품이며, 상기 관통 채널은 실시예에서 직선으로 뻗어 있다. 밸브 플레이트 (5) 는 밸브 하우징 (8) 의 내부 공간 (11) 안에 수용되어 있으며, 상기 내부 공간은 진공밸브의 진공영역이다.

그 대신 벽 (1) 이 진공챔버의 부품일 수도 있다 (하기에서 도 15 및 도 16 을 참조로 설명되는 바와 같이). 이 이외에, 진공밸브는 일종의 인서트 (insert) 를 형성할 수 있으며, 상기 인서트에 있어서 벽 (1) 은 진공챔버의 진공영역 안으로 삽입된다. 하기에서 제 2 실시예와 관련하여 설명되는 도 34 의 개략적인 도면을 참조하도록 한다.

이제 세로-드라이브 장치 (15) 및 가로-드라이브 장치 (16) 의 세로 방향 (6) 및 가로 방향 (7) 으로의 밸브로드 (12) 의 이동 가능한 지지에 관한 보다 상세한 설명이 뒤따른다.

진공밸브의 진공영역의 외부에서 베어링 유닛 (17) 은 벽 (1) 과 단단히 연결되어 있다. 베어링 유닛 (17) 은 도시되어 있는 실시예에서 벽 (1) 과, 또는 벽 (1) 을 구비한 밸브 하우징 (8) 과 단단히 연결되어 있는 드라이브 하우징 (18) 을 포함하며, 상기 드라이브 하우징은 수용 공간 (19) 을 구비하고 있다. 수용 공간 (19) 안에는 가이드 유닛 (20) 이 배치되어 있으며, 상기 가이드 유닛은 수용 공간 (19) 안에서, 가로 방향 (7) 으로 직선으로 이동 가능하게 안내되어 있다. 가이드 유닛 (20) 에 의해 밸브로드 (12) 는 세로 방향 (6) 으로 이동 가능하게 안내되어 있다. 이 경우, 가이드 유닛 (20) 의 기본 바디 (base body, 23) 는 밸브로드 (12) 에 의해 관통된 관통 채널을 구비하며, 상기 관통 채널 안에서, 밸브로드 (12) 는 가이드 부시 (21, 22) 를 수단으로 하여 세로 방향 (6) 으로 이동 가능하게 안내되어 있다. 베어링 유닛 (17) 에 대한 가이드 유닛 (20) 의 이동 가능한 안내는 하기에서 보다 상세히 설명된다.

세로-드라이브 장치 (15) 는 도시되어 있는 실시예에서 액추에이터로서 2 개의 피스톤 (25) 을 포함하며, 상기 피스톤들은 각각 가이드 유닛 (20) 의 기본 바디 (23) 안의 실린더 리세스 (cylinder recess, 26) 안에 배치되어 있다. 실린더 리세스 (26) 들은 가이드 유닛 (20) 의 실린더 커버 (24) 에 의해 폐쇄되며, 상기 실린더 커버는 피스톤 (25) 에 부착된 피스톤 로드 (piston rod, 27) 들에 의해 관통된다. 피스톤 로드 (27) 들은 요크 (yoke, 28) 를 통해 밸브로드 (12) 와 단단히 연결되어 있으며, 따라서 실린더 리세스 (26) 들 안에서의 피스톤 (25) 의 이동시 압력매체 (pressure medium), 바람직하게는 압축공기를 수단으로 하여 밸브로드 (12) 는 세로 방향 (6) 으로 동반된다. 요크 (28) 는 밸브로드 (12) 와의 연결을 위해 예컨대 상기 밸브로드에 나사결합되어 있다.

가로-드라이브 장치 (16) 는 액추에이터로서, 실 (seal, 36) 들을 가진 2 개의 피스톤 (29) 을 포함하며, 상기 피스톤들은 실린더 리세스 (30) 들 안에 배치되어 있고, 상기 실린더 리세스들은 가이드 유닛 (20) 의 기본 바디 (23) 안에 형성되어 있다. 피스톤 (29) 들은 피스톤 로드 (31) 들에 고정되어 있으며, 상기 피스톤 로드들은 도시되어 있는 실시예에서 베어링 유닛 (17) 의 드라이브 하우징 (18) 과 일체로 형성되어 있다. 이 의미에서 피스톤 (29) 들은 베어링 유닛 (17) 의 부품들이다. 피스톤 로드 (31) 들은 베어링 유닛 (17) 의 별도의 부품들에 의해 형성될 수도 있으며, 상기 부품들은 베어링 유닛 (17) 의 드라이브 하우징 (18) 과 단단히 연결되어 있다.

피스톤 (29) 들은 도시되어 있는 실시예에서 단동식 피스톤으로서 형성되어 있다. 피스톤 로드 (31) 쪽에서 피스톤 (29) 과 드라이브 하우징 (18) 사이에 놓여 있는 공간을 가압함으로써, 가이드 유닛 (20) 과 밸브로드 (12) 는 밸브 플레이트 (5) 가 그의 폐쇄 위치로부터 그의 중간 위치로 이동되도록 베어링 유닛 (17) 에 대해 가로 방향 (7) 으로 이동될 수 있다. 가이드 유닛 (20) 과 밸브로드 (12) 와 밸브 플레이트 (5) 를 정반대 방향으로 이동시키기 위해, 도시되어 있는 실시예에서 우선 한 번 스프링 장치가 쓰인다. 이것은 가이드 유닛 (20) 과 드라이브 하우징 (18) 사이에서 작용하는 코일 스프링 (32) 을 포함한다. 코일 스프링 (32) 은 각각의 피스톤 로드 (31) 를 둘러싸는 영역 상에 배치되어 있다 (도 14 에서 코일 스프링들은 편의상 피스톤 로드 (31) 에서만 도시되어 있다). 코일 스프링 (32) 들의 다른 배열 및/또는 이러한 스프링 장치를 형성하기 위한 다른 스프링들의 이용도 가능하다.

밸브 플레이트 (5) 의 폐쇄 위치에서, 밸브시트 (4) 로부터 밸브 플레이트 (5) 를 밀쳐내기의 의미에서 작용하는 보다 큰 차이압력이 밸브 플레이트 (5) 에 작용하지 않으면, 스프링 장치에 의해 밸브 플레이트 (5) 에 가해진, 밸브시트 (4) 에의 누름력은 밸브 개구부 (2) 를 밀봉하기에 충분하다. 이는 예컨대 진공밸브가 2 개의 진공챔버 사이를 밀봉하기 위해 제공되어 있고, 그리고 챔버들 중 하나 안에서 예컨대 반도체 산업을 위한 진공 공정이 실행되면 그러하다.

밸브 플레이트 (5) 를 밸브시트 (4) 로부터 멀리 가압하는 보다 큰 차이압력의 경우 밸브시트 (4) 에의 밸브 플레이트 (5) 의 보다 큰 누름력이 필요해지면, 추가적으로 가이드 유닛의 기본 바디 (23) 와 베어링 유닛 (17) 의 드라이브 하우징 (18) 사이에 제공된 압력공간 (33), 또는 도시되어 있는 실시예에서 2 개의 이러한 압력공간 (33) 들은 압력매체, 특히 압축공기를 갖고 가압될 수 있다. 압력공간 (33) 들은 실 (34, 35) 들에 의해 밀봉된다.

밸브 플레이트 (5) 를 밸브시트 (4) 쪽으로 또는 상기 밸브시트로부터 멀리 가압하는 보다 높은 차이압력은 예컨대 진공밸브를 통해 연결된 두 진공챔버 중 하나의 플러딩 (flooding) 의 경우 예컨대 정비를 목적으로 발생할 수 있다.

코일 스프링 (32) 들 또는 달리 형성된 스프링들은 생략될 수도 있다. 스프링들 및/또는 압력공간 (33) 들 대신 복동식 피스톤 (29) 들이 제공되어 있을 수도 있다.

베어링 유닛 (17) 에 대해 가이드 유닛 (20) 을 안내하기 위해, 피스톤 로드 (31) 들과 가이드 유닛 (20) 들의 기본 바디 (23) 들 사이에 배치된 가이드 부시 (37) 들이 사용된다 (도 4, 도 8 및 도 12 참조). 실 (34) 및/또는 실 (35) 및/또는 실 (36) 도 안내 기능을 맡도록 형성되어 있을 수 있다. 이 경우, 가이드 부시 (37) 들은 생략될 수도 있다.

가이드 유닛 (20) 의 밸브 플레이트 (5) 로부터 멀리 향하는 쪽에서 가이드 유닛 (20) 밖으로 돌출하는 밸브로드 (12) 는, 밸브 플레이트 (5) 의 폐쇄 위치에서 가이드 유닛 (20) 밖으로 돌출하는 이 섹션에서, 베어링 유닛 (17) 의 드라이브 하우징 (18) 에 배치된 가로 스톱 (transverse stop, 38) 과 바람직하게는 도시되어 있는 바와 같이 밸브로드 (12) 의 단부영역에서 상호 작용한다. 밸브 플레이트 (5) 의 개방 위치에서, 그리고 밸브 플레이트 (5) 의 중간 위치에서, 밸브로드 (12) 는 가로 스톱 (38) 으로부터 간격을 두고 있다. 중간 위치로부터 폐쇄 위치로의 밸브 플레이트 (5) 의 이동시, 밸브로드 (12) 는 바람직하게는 밸브시트 (4) 에 밸브 플레이트 (5) 가 부딪침과 동시에 가로 스톱 (38) 에 부딪친다. 그러므로, 밸브로드 (12) 는 가로-드라이브 장치 (16)) 의 맞물림 요소의 양쪽에서 밸브로드 (12) 에 (이 맞물림 영역은 가이드 유닛 (20) 에 대한 밸브로드 (12) 의 이동 가능한 지지 영역에 놓여 있다), 벽 (1) 또는 상기 벽 (1) 과 단단히 연결된 부품에 지지되어 있다. 이로 인해, 밸브로드 (12) 의 세로방향 안내에 의해, 그리고 가이드 유닛 (20) 의 가로방향 안내에 의해 큰 틸팅력 (tilting forces) 이 흡수 가능할 필요 없이 간단한 방식으로 밸브시트 (4) 에의 밸브 플레이트 (5) 의 필요한 누름력이 전달될 수 있다.

세로-드라이브 장치 (15) 및/또는 가로-드라이브 장치 (16) 는 도시되어 있는 두 피스톤 (25 또는 29) 보다 많거나 또는 더 적은 피스톤을 구비할 수도 있다. 가이드 유닛 (20) 의 기본 바디 (23) 안의 리세스들로서 세로 드라이브 장치 (15) 의 피스톤 (25) 들을 위한 및/또는 가로-드라이브 장치 (16) 의 피스톤 (29) 들을 위한 실린더 리세스 (26) 들 대신에, 별도의 실린더들이 제공되어 있을 수 있으며, 상기 실린더들은 상기 가이드 유닛과 단단히 연결되어 있다. 실린더들과 피스톤들의 정반대의 배열도 가능하다. 즉, 세로-드라이브 장치 (15) 의 피스톤들은 가이드 유닛 (20) 과 단단히 연결될 수 있으며, 이 피스톤들의 실린더들은 밸브로드 (12) 와 연결되어 있을 수 있고 및/또는 가로-드라이브 장치 (16) 의 피스톤 (29) 들은 가이드 유닛 (20) 과 단단히 연결되어 있을 수 있고, 그리고 이 피스톤들을 위한 실린더들은 베어링 유닛 (17) 과 단단히 연결되어 있을 수 있으며 또는 실린더 리세스의 형태로 베어링 유닛 (17) 안에 형성되어 있을 수 있다.

도 15 및 도 16 에 도시되어 있는 실시 변형에서, 밸브 드라이브, 밸브로드 (12), 및 이것과 연결된 밸브 플레이트 (5) 는 도 1 내지 도 14 에 도시되어 있는 바와 동일하게 형성되어 있다. 이 실시 변형의 차이는, 밸브 개구부 (2) 를 구비하는 진공밸브의 벽 (1) 이 여기에서는 도 15 및 도 16 에 부분적으로만, 그리고 개략적으로 도시되어 있는 진공챔버 (39) 의 부품이라는 것뿐이다. 밸브 플레이트 (5) 는 진공챔버 (39) 의 내부에 놓여 있으며, 상기 진공챔버는 상기 진공챔버가 펌프 아웃되면 (pumped out) 밸브의 진공영역이다. 그의 개구부를 통해 밸브로드 (12) 가 진공챔버 (39) 의 진공영역 밖으로 안내되어 있는 벽 (46) 은 도 15 및 도 16 에 별도의 부품으로서 도시되어 있으며, 상기 부품은 보다 정확히 말하면 진공챔버 (39) 의 개구부 둘레의 영역에서 플랜지 연결 (flange connection) 을 통해 진공챔버 (39) 와 연결되어 있다. 그러므로, 이 플랜지 연결의 개방을 통해, 벽 (46) 은 그것에 부착되어 있는 밸브 드라이브와 함께, 그리고 밸브로드 및 밸브 플레이트 (5) 와 함께 떼어내질 수 있다.

이하, 본 발명의 제 2 실시형태는 도 17 내지 도 34 를 참조로 설명된다.

본 발명의 제 1 실시형태의 설명부의 제 1 다섯 개의 단락에서 (즉, 도면들의 간략한 설명 뒤에 "본 발명의 제 1 실시형태는..." 라고 시작되는) 제 1 실시형태에 관해 기술했던 모든 것들은 제 2 실시형태에 동일하게 적용되며, 동일한 부품은 동일한 참조부호로 표시되어 있다.

제 1 실시형태에 대한 차이는 우선 벽 (1) 이 여기에서는 - 개구부들은 제외하고 - 닫힌 밸브 하우징의 부품이 아니라는 것이다. 진공밸브는 도 34 에 개략적으로 도시되어 있는 바와 같이 오히려 진공챔버 (42) 안으로 삽입하기 위한 인서트 (insert) 로서 형성되어 있다. 그러므로, 벽 (1) 은, 진공챔버 (42) 의 개구부 (43) 를 둘러싸는 영역에서 진공챔버의 벽 (41) 에 대해 벽 (1) 을 밀봉하기 위해, 밸브시트 (4) 와 마주하고 있는 쪽에서 밸브 개구부 (2) 를 둘러싸는 탄성적인 실 (seal, 40) 을 구비한다. 벽 (1) 에 대해 직각으로 있는 벽 (46) 은 (그의 개구부를 통해 밸브로드 (12) 가 나가며, 이때 밸브로드 (12) 는 벨로스 (13) 를 포함하고 있는 벨로스 피드쓰루를 수단으로 하여 진공 밀봉적으로 진공밸브의 진공영역 밖으로 안내되어 있다) 이 개구부를 둘러싸는 탄성적인 실 (47) 을 구비하는데, 상기 실은 벽 (44) 의 개구부 (45) 및 개구부 (60) 를 둘러싸는 영역에서 진공챔버의 벽 (44) 에 대해 벽 (46) 을 밀봉하기 위한 것이다. 진공챔버 (42) 에 고정하기 위한 볼트 (61) 가 개략적으로 도시되어 있다.

진공챔버 (42) 안으로 삽입될 수 있는 인서트의 형태로 진공밸브를 형성하는 대신 진공밸브는 밸브 하우징을 구비할 수 있으며, 상기 밸브 하우징은 도 1 내지 도 14 을 참조로 설명한 바와 동일한 형태로 형성되어 있다. 또한, 벽 (1) 은 도 15 및 도 16 에 도시되어 있는 바와 같이, 또한 이 도면들을 참조로 설명한 바와 같이 진공챔버의 부품일 수 있다.

이제 세로-드라이브 장치 (15) 와 가로-드라이브 장치 (16) 의 세로 방향 (6) 및 가로 방향 (7) 으로의 밸브로드 (12) 의 이동 가능한 지지에 관한 보다 상세한 설명이 뒤따른다.

벽 (1) 과 단단히 연결된, 진공영역의 외부에 배치된 베어링 유닛 (17') 은 수용 공간 (19') 을 가진 드라이브 하우징 (18') 을 구비한다. 밸브로드 (12) 를 세로 방향 (6) 으로 이동 가능하게 지지하는 가이드 유닛 (20') 은 수용 공간 (19') 안에 배치되어 있으며, 그리고 이것 안에서, 베어링 유닛 (17') 으로부터 가로 방향 (7) 으로 직선으로 이동 가능하게 안내되어 있다. 이동 가능한 안내를 위해 가이드 부시 (48) 들이 사용되며, 상기 가이드 부시들은 드라이브 하우징 (18') 의 부시 수용부 (49) 들 안에 수용되어 있고, 상기 가이드 부시들 안으로 가이드 핀 (50) 들이 돌출하고, 상기 가이드 핀들은 가이드 유닛 (20') 의 기본 바디 (23') 에 단단히 부착되어 있으며, 또는 기본 바디 (23') 와 일체로 형성되어 있다. 가이드 핀 (50) 들과, 가이드 부시 (48) 들의 축들은 가로 방향에 대해 평행으로 놓여 있다. 도시되어 있는 실시예에서, 가로 방향에 대해 직각으로, 그리고 세로 방향에 대해 직각으로 있는 방향으로 간격을 둔, 부시 수용부 (49) 들 안에 수용된 2 개의 가이드 부시 (48) 가 존재하며, 상기 가이드 부시들 안에는 각각 하나의 가이드 핀 (50) 이 이동 가능하게 안내되어 있다. 도 31 에는 가이드 핀 (50) 에 의해 아래로 당겨진, 그리고 가이드 부시 (48) 밖으로 당겨진 상태에서의 가이드 부시 (48) 들 중 하나가 도시되어 있다. 다른 가이드 부시는 도 32 에서 가이드 핀 (50) 위에 배치된 상태에서 눈에 띄인다. 가이드 부시 (48) 안에서 이동 가능한 단 하나의 가이드 핀 (50), 또는 2 개 이상의 이러한 이동 가능하게 안내된 가이드 핀 (5) 들이 제공되어 있을 수도 있다.

세로-드라이브 장치 (15') 는 액추에이터로서 피스톤 (25') 을 구비하며, 상기 피스톤은 가이드 유닛 (20') 의 기본 바디 (23') 안에 형성되어 있는 실린더 리세스 (26') 안에 배치되어 있다. 피스톤 (25') 은 밸브로드 (12) 위에 배치되어 있으며, 그러므로 상기 밸브로드는 세로-드라이브 장치 (15') 의 피스톤-실린더 유닛의 피스톤 로드를 형성한다. 실린더 리세스 (26') 는 밸브로드 (12) 의 밸브 플레이트쪽 단부로부터 멀리 향하는 쪽에서 실린더 커버 (24') 에 의해 닫혀져 있으며, 상기 실린더 커버는 여기에서는 부시 유형으로 형성되어 있고, 그리고 밸브로드 (12) 를 이동 가능하게 안내한다. 피스톤 (25') 의 다른 쪽에서, 밸브로드 (12) 는, 상기 밸브로드가 가이드 유닛 (20') 의 기본 바디 (23') 의 개구부를 관통하는 그의 영역에서 마찬가지로 가이드 유닛 (20') 에 의해 세로 방향 (6) 으로 이동 가능하게 지지되어 있으며, 이로 인해 밸브로드 (12) 의 세로축 (14) 은 세로 방향 (6) 에 대해 평행으로 유지된다.

가로-드라이브 장치 (16') 는 세로 방향 (6) 으로 이동 가능한 2 개의 드라이브 부품 (51) 을 포함하며, 상기 드라이브 부품들은 도시되어 있는 실시예에서 각각의 피스톤-실린더 유닛의 피스톤의 형태로 형성되어 있고, 상기 피스톤-실린더 유닛들은 가로-드라이브 장치 (16') 의 액추에이터들을 형성한다. 예컨대 액추에이터로서 전자기식으로 작용하는 적어도 하나의 리니어 드라이브 (linear drive) 가 제공될 수도 있다. 피스톤의 형태로 형성된 드라이브 부품 (51) 들은 실린더 리세스 (30') 들 안에 배치되어 있으며, 상기 실린더 리세스들은 베어링 유닛 (17') 의 드라이브 하우징 (18') 안에 배치되어 있다. 실린더 리세스 (30') 들은 양쪽에서 실린더 커버 (52, 53) 에 의해 닫혀져 있다. 드라이브 하우징 (18') 안에 실린더 리세스 (30') 를 형성하는 대신 베어링 유닛 (17') 의 별도의 실린더들이 제공될 수도 있으며, 상기 실린더들은 드라이브 하우징 (18') 과 단단히 연결되어 있다. 피스톤 로드 (31') 는 양쪽에서 각각의 드라이브 부품 (51) 보다 돌출하며, 그리고 양쪽에서 실린더 리세스 (30') 밖으로 돌출한다. 실린더 리세스 (30') 밖으로 돌출하는 두 단부에서, 피스톤 로드 (31') 는 각각 기어부재 (54, 55) 를 통해 가이드 유닛 (20') 과 연결되어 있다. 상기 기어부재는 한편으로는 선회 가능하게 피스톤 로드 (31') 와 연결된, 다른 한편으로는 선회 가능하게 베어링 유닛 (17') 과 연결된 링크들이며, 이때 이 선회축들은 가로 방향 (7) 에 대해 직각으로, 그리고 세로 방향 (6) 에 대해 직각으로 정렬되어 있다. 가이드 유닛 (20') 과의 선회 가능한 연결을 위해, 도시되어 있는 바와 같이 선회 볼트 (56, 57) 들이 제공되어 있을 수 있으며, 상기 선회 볼트들은 베어링 리세스들을 관통하고, 상기 베어링 리세스들 안으로 기어부재 (54, 55) 들이 돌출한다.

밸브 플레이트 (5) 의 개방 위치 및 중간 위치에서, 기어부재 (54, 55) 들은 가로 방향 (7) 에 대해 각이 지게 위치해 있다. 실린러 리세스 (30') 의 상응하는 실린더 공간을 압력매체, 바람직하게는 압축공기로 가압하여 드라이브 부품 (51) 들을 세로 방향으로 이동시킴으로써 가로 방향 (7) 에 대한 각도는 적어도 감소되며, 이로 인해 가이드 유닛 (20') 은 베어링 유닛 (17') 에 대해 가로 방향 (7) 으로 이동된다.

밸브시트 (4) 에 밸브 플레이트 (5) 를 내리누르기 위해 밸브 플레이트 (5) 의 폐쇄 위치에서 가로-드라이브 장치에 의해 가해질 수 있는 힘을 베어링 유닛 (17') 에 전달하기 위해서는, 이동 가능하게 베어링 유닛 (17') 에 접해 있는 슬라이딩 부품 (sliding part, 58) 이 사용된다. 상기 슬라이딩 부품은 예컨대 도시되어 있는 바와 같이 각각의 기어부재 (54, 55) 와 피스톤 로드 (31') 의 연결 영역에서, 각각의 피스톤 로드 (31') 와 드라이브 부품 (51) 의 양쪽에서 연결되어 있다. 그러므로, 슬라이딩 부품 (58) 은 베어링 유닛 (17') 에 대한 드라이브 부품 (51) 의 세로 방향 이동에 있어서 함께 이동된다. 베어링 유닛 (17') 에 대한 슬라이딩 부품 (58) 의 이동 가능한 안내를 위해 롤링 베어링 (59) 들이 제공되어 있다. 미끄럼 베어링의 이용도 또한 가능하다. 그러므로, 슬라이딩 부품 (58) 의 위로, 피스톤 로드 (31') 는 밸브 플레이트 (5) 의 폐쇄 위치에서의 베어링 유닛 (17') 에 대해 지지된다. 그러므로, 힘전달은 피스톤 로드 (31') 의 이동 가능한 안내를 통해 수행될 필요가 없다. 하지만, 슬라이딩 부품 (58) 이 생략되고, 그리고 피스톤 로드 (31') 로부터 베어링 유닛 (17') 으로의 힘전달이 피스톤 로드의 이동 가능한 지지를 통해 수행되는 것도 가능하다.

피스톤의 형태로 형성된 드라이브 부품 (51) 들을 실린더 리세스 (26) 들 (상기 실린더 리세스들은 베어링 유닛 (17') 의 드라이브 하우징 (18') 안에 형성되어 있다) 안에 수용하는 대신, 드라이브 하우징 (18') 과 단단히 연결된 별도의 실린더들을 제공하는 것도 가능하다.

가로-드라이브 장치 (16') 를 위한 2 개의 드라이브 부품 (51) 보다 많거나 또는 더 적은 드라이브 부품들이 제공되는 것도 가능하다.

기어부재 (54, 55) 들은 선회 가능한 레버 형태와는 달리 형성될 수도 있으며, 예컨대 베어링 유닛 (17') 에 대한 가이드 유닛 (20') 의 평행 이동을 위해 쐐기 요소들이 가능하다.

드라이브 부품 (51) 들을 한 방향으로 가압하는 스프링 장치도 가능하다.

세로-드라이브 장치 (15') 는 액추에이터로서 하나 또는 다수의 별도의 피스톤-실린더 유닛을 구비할 수 있으며, 그의 피스톤들은 밸브로드 (12) 와 연결되어 있다.

제 2 실시예에서도, 밸브로드 (12) 는 밸브 플레이트 (5) 의 폐쇄 위치에서 밸브 플레이트 (5) 로부터 멀리 향하는 쪽에서 가이드 유닛 (20') 밖으로 위치해 있는 섹션에서 베어링 유닛 (17') 의 가로 스톱 (transverse stop) 에 밀착하는 것이 가능하다. 이로 인해, 세로 방향 (6) 에 대해 평행한 그의 정렬로부터의 밸브로드 (12) 의 틸팅에 맞선 세로 방향 및 가로 방향 안내에 의해 가해질 수 있는 힘들이 감소될 수 있다.

제 1 실시형태에서는, 언급한 바와 같이 인서트로서 형성된 밸브바디 (valve body) 가 제공될 수 있으며, 상기 밸브바디는 밸브 개구부 (2) 를 구비한 벽 (1) 을 포함한다. 도 34 에 대해 언급된 것은 이러한 실시 변형에 동일하게 적용될 수 있다.

제 1 실시형태 (도 1 내지 도 16) 에서 뿐만 아니라 제 2 실시형태 (도 17 내지 도 34) 에서도 특히 다음과 같은 수정이 가능하다:

탄성적인 실은 밸브시트 (4) 에 부착될 수도 있으며, 그리고 밸브 플레이트 (5) 에는 상기 탄성적인 실과 상호 작용하는 밀봉면이 제공되어 있을 수 있다.

밸브 플레이트 (5) 를 지니고 있는 두 개 이상의 밸브로드 (12) 가 제공되어 있을 수도 있다.

하나 또는 다수의 밸브로드 (12) 를 지니고 있는 두 개 이상의 밸브 플레이트 (5) 가 제공되어 있을 수도 있다.

기술되어 있는 여러 가지의, 바람직하게는 공압식 피스톤-실린더 유닛들을 위한 압력매체 라인들이 상세히 설명되어 있지 않다. 부분적으로, 압력매체를 위한 채널들을 형성하는 보어 (bore) 들을 단면도들에서 알아볼 수 있다. 피스톤-실린더 유닛들과는 다른 액추에이터들도 진공밸브의 세로 및/또는 가로 드라이브를 위해 이용 가능하다.

1 : 벽 2 : 밸브 개구부
3 : 축 4 : 밸브시트
5 : 밸브 플레이트 6 : 세로 방향
7 : 가로 방향 8 : 밸브 하우징
9 : 벽 10 : 개구부
11 : 내부 공간 12 : 밸브로드
13 : 벨로스 14 : 세로축
15, 15' : 세로-드라이브 장치 16, 16' : 가로-드라이브 장치
17, 17' : 베어링 유닛 18, 18' : 드라이브 하우징
19, 19' : 수용 공간 20, 20' : 가이드 유닛
21 : 가이드 부시 22 : 가이드 부시
23, 23' : 기본 바디 24, 24' : 실린더 커버
25, 25' : 피스톤 26, 26' : 실린더 리세스
27 : 피스톤 로드 28 : 요크
29 : 피스톤 30, 30' : 실린더 리세스
31, 31' : 피스톤 로드 32 : 코일 스프링
33 : 압력공간 34 : 실
35 : 실 36 : 실
37 : 가이드 부시 38 : 가로 스톱
39 : 진공챔버 40 : 실
41 : 벽 42 : 진공챔버
43 : 개구부 44 : 벽
45 : 개구부 46 : 벽
47 : 실 48 : 가이드 부시
49 : 부시 수용부 50 : 가이드 핀
51 : 드라이브 부품 52 : 실린더 커버
53 : 실린더 커버 54 : 기어부재
55 : 기어부재 56 : 선회 볼트
57 : 선회 볼트 58 : 슬라이딩 부품
59 : 롤링 베어링 60 : 개구부
61 : 볼트

Claims

진공밸브로서, 상기 진공밸브는 밸브시트 (4) 에 의해 둘러싸인 밸브 개구부 (2) 를 가진 벽 (1), 진공밸브의 진공영역에 배치된 적어도 하나의 밸브 플레이트 (5), 밸브 플레이트 (5) 를 지니고 있는 적어도 하나의 밸브로드 (12), 진공밸브의 진공영역의 외부에 배치된 세로-드라이브 장치 (15, 15'), 및 진공밸브의 진공영역의 외부에 배치된 가로-드라이브 장치 (16, 16') 를 포함하는 진공밸브에 있어서,
상기 밸브 플레이트는 밸브 플레이트가 밸브 개구부 (2) 를 개방하는 개방 위치로부터 세로 방향 (6) 으로 이동하면, 밸브 플레이트는 밸브 개구부 (2) 를 덮고 있지만 밸브시트 (4) 로부터 들어내져 있는 중간 위치로 이동될 수 있고, 밸브 플레이트의 중간 위치로부터, 세로 방향 (6) 에 대해 직각으로 있는 가로 방향 (7) 으로 이동하면, 밸브 플레이트는 밸브시트에 내리눌려져서 밸브 개구부 (2) 를 폐쇄하는 폐쇄 위치로 이동될 수 있고,
상기 밸브로드는 진공밸브의 진공영역 밖으로 안내되어 있으며, 그리고 벽 (1) 에 대해, 밸브로드 (12) 의 세로축 (14) 에 대해 평행으로 놓여 있는, 세로 방향 (6) 으로 이동될 수 있고, 또한 상기 벽에 대해 가로 방향 (7) 으로 평행으로 이동될 수 있고,
상기 세로-드라이브 장치에 의해 밸브로드 (12) 는 밸브 플레이트 (5) 를 그의 개방 위치와 그의 중간 위치 사이에서 이동시키기 위해 세로 방향 (6) 으로 이동될 수 있고,
상기 가로-드라이브 장치에 의해 밸브로드 (12) 는 밸브 플레이트 (5) 를 그의 중간 위치와 그의 폐쇄 위치 사이에서 이동시키기 위해 가로 방향 (7) 으로 평행으로 이동될 수 있고,
가이드 유닛 (20, 20') 은 진공밸브의 진공영역의 외부에 위치해 있고, 밸브로드 (12) 를 세로방향 (6) 으로 이동 가능하게 안내하고, 베어링 유닛 (17, 17') 은 진공밸브의 진공영역 밖에 위치해 있고, 벽 (1) 에 단단히 연결되어 있고, 베어링 유닛 (17, 17') 은 가이드 유닛 (20, 20') 을 가로 방향 (7) 으로 이동 가능하게 안내하고,
가로-드라이브 장치 (16, 16') 에 의해 밸브로드 (12) 를 가로 방향 (7) 으로 이동시키기 위해 가해진 힘은 가이드 유닛 (20, 20') 을 통해 밸브로드 (12) 에 작용하며, 그리고 이 경우 가이드 유닛 (20, 20') 은 밸브로드 (12) 와 함께 가로 방향 (7) 으로 베어링 유닛 (17, 17') 에 대해 이동시키는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항에 있어서, 베어링 유닛 (17, 17') 은 세로 방향 (6) 과 관련하여 가이드 유닛 (20, 20') 의 양쪽으로 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항에 있어서, 가이드 유닛 (20, 20') 은 베어링 유닛 (17, 17') 의 수용 공간 (19, 19') 안에 배치되어 있으며, 그리고 이것 안에서, 가로 방향 (7) 으로 이동 가능하게 안내되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항에 있어서, 세로-드라이브 장치 (15, 15') 는 밸브로드 (12) 와 연결되어 있는 적어도 하나의 피스톤 (25, 25') 을 구비하며, 상기 피스톤은 실린더 리세스 (26, 26') 안에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 4 항에 있어서, 실린더 리세스 (26, 26') 는 가이드 유닛 (20, 20') 안에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
삭제
제 1 항에 있어서, 가로-드라이브 장치 (16') 는 세로 방향 (6) 으로 이동 가능한 적어도 하나의 드라이브 부품 (51) 을 구비하며, 상기 드라이브 부품에 구비된 피스톤 로드 (31') 의 양단부가 적어도 하나의 기어부재 (54, 55) 를 통해 가이드 유닛 (20') 과 연결되어 있고, 기어부재와 가이드 유닛은 선회 볼트 (57) 에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 7 항에 있어서, 가로 방향 (7) 으로 가이드 유닛 (20') 을 평행으로 이동시키기 위해, 적어도 하나의 드라이브 부품 (51) 은, 상기 드라이브 부품 (51) 에서 세로방향 (6) 으로 떨어져 있는 두 개의 단부에 있어서, 첫 번째 단부는 첫 번째 기어부재 (54) 를 통해 상기 가이드 유닛 (20') 과 연결되고, 두 번째 단부는 두 번째 기어부재 (55) 를 통해 상기 가이드 유닛 (20') 과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 8 항에 있어서, 기어부재 (54, 55) 들은 선회 가능하게 가이드 유닛 (20') 과 연결된, 또한 선회 가능하게 드라이브 부품 (51) 과 또는 이것과 단단히 연결된 부품 (31') 과 연결된 링크들에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항에 있어서, 가로-드라이브 장치 (16) 는 적어도 하나의 피스톤 (29) 을 구비하며, 상기 피스톤은 실린더 리세스 (30) 안에 배치되어 있고, 상기 실린더 리세스는 가이드 유닛 (20) 안에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 10 항에 있어서, 가이드 유닛 (20) 과 베어링 유닛 (17) 사이에는, 압력공간 (33) 안으로 도입된 압력매체를 수단으로 하여 가이드 유닛 (20) 을 가로 방향 (7) 을 가압하기 위한 압력공간 (33) 이 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 5 항, 제 10 항 및 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서, 가이드 유닛 (20) 과 베어링 유닛 (17) 사이에는, 가이드 유닛 (20) 을 가로 방향으로 가압하기 위한 스프링 장치 (32) 가 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 5 항, 제 7 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서, 밸브 플레이트 (5) 의 폐쇄 위치에서, 밸브 플레이트 (5) 로부터 멀리 향하는 쪽에서 가이드 유닛 (20, 20') 밖으로 돌출하는 밸브로드 (12) 의 섹션은 가로 스톱 (38) 에 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 4 항, 제 5 항, 제 7 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서, 세로-드라이브 장치 (15') 의 피스톤 (25') 은 밸브로드 (12) 의 양 옆에 배열되어 있고,
세로-드라이브 장치 (15') 의 대향하는 피스톤 (25') 사이의 영역 안에 놓여있는 밸브로드 (12) 로서, 상기 밸브로드 (12) 는 상기 영역 안에서 가이드 유닛 (20') 에 의해 이동 가능하게 안내되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.