KR101725251B1 - 진공밸브 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 내측에 구동공간(110)이 형성되고, 양측면에는 대상물이 이동되도록 이동통로부(120, 120`)가 각각 타공형성되는 밸브하우징(100);과, 상기 구동공간(110)에 설치되어 내측으로부터 상기 이동통로부(120)를 개폐하는 블레이드(200);와, 상기 블레이드(200) 후면에 결합되는 메인샤프트(300);와, 상기 밸브하우징(100) 하부에 형성되되, 내부에 공압에 의해 상, 하방향으로 이동되는 제1 피스톤(410)과 상기 메인샤프트(300)가 연결되어 상기 블레이드(200)를 상, 하방향으로 이동시키는 수직이동부(400);와, 상기 수직이동부(400) 하부에 결합되되, 양측면에 수직방향으로 각각 타공형성되는 수직이동가이드홈(510, 510`)이 구비되는 수평이동부(500);와, 상기 수평이동부(500) 내부에 구비되되, 공압에 의해 상, 하방향으로 이동되는 제2 피스톤(610)와, 상기 제2 피스톤(610) 하부에 형성되는 이동가이드블럭(620)과, 상기 이동가이드블럭(620) 양측에 형성되어 상기 수직이동가이드홈(510, 510`)을 각각 통과하는 캠롤러(630, 630`)가 구비되는 수평이동유닛(600);과, 상기 밸브하우징(100) 하부에 상기 수직이동부(400)와 수평이동부(500)가 수용되도록 형성되되, 양내측면에는 상기 수직이동가이드홈(510, 510`)으로부터 통과된 상기 캠롤러(630, 630`)가 삽입되어 상기 수평이동유닛(600)의 상, 하 이동에 따라 상기 블레이드(200)가 전, 후방향으로 이동되는 것을 가이드하는 개폐유도홈(710, 710`)이 각각 경사지게 형성되는 본체브라켓(700)이 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

진공밸브{Vacuum Valves}
본 발명은 진공밸브에 관한 것으로서, 내측에 구동공간(110)이 형성되고, 양측면에는 대상물이 이동되도록 이동통로부(120, 120`)가 각각 타공형성되는 밸브하우징(100);과, 상기 구동공간(110)에 설치되어 내측으로부터 상기 이동통로부(120)를 개폐하는 블레이드(200);와, 상기 블레이드(200) 후면에 결합되는 메인샤프트(300);와, 상기 밸브하우징(100) 하부에 형성되되, 내부에 공압에 의해 상, 하방향으로 이동되는 제1 피스톤(410)과 상기 메인샤프트(300)가 연결되어 상기 블레이드(200)를 상, 하방향으로 이동시키는 수직이동부(400);와, 상기 수직이동부(400) 하부에 결합되되, 양측면에 수직방향으로 각각 타공형성되는 수직이동가이드홈(510, 510`)이 구비되는 수평이동부(500);와, 상기 수평이동부(500) 내부에 구비되되, 공압에 의해 상, 하방향으로 이동되는 제2 피스톤(610)와, 상기 제2 피스톤(610) 하부에 형성되는 이동가이드블럭(620)과, 상기 이동가이드블럭(620) 양측에 형성되어 상기 수직이동가이드홈(510, 510`)을 각각 통과하는 캠롤러(630, 630`)가 구비되는 수평이동유닛(600);과, 상기 밸브하우징(100) 하부에 상기 수직이동부(400)와 수평이동부(500)가 수용되도록 형성되되, 양내측면에는 상기 수직이동가이드홈(510, 510`)으로부터 통과된 상기 캠롤러(630, 630`)가 삽입되어 상기 수평이동유닛(600)의 상, 하 이동에 따라 상기 블레이드(200)가 전, 후방향으로 이동되는 것을 가이드하는 개폐유도홈(710, 710`)이 각각 경사지게 형성되는 본체브라켓(700);으로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브(1)에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 제조공정은 고정밀도를 요구하므로 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다.
이러한 이유로, 반도체 소자는 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 완벽하게 차단한 상태, 즉, 진공상태에서 제조됨으로써, 제품의 신뢰성 및 완성도 높은 제품 생산이 가능해진다.
한편, 반도체 소자를 제조하는 공정챔버 내부의 진공상태를 유지하기 위하여, 공정챔버의 외부에는 공정챔버 내의 공기 및 기타 기체를 흡입하는 진공펌프가 설치된다.
또한, 상기 공정챔버와 진공펌프 사이에는 진공밸브가 설치되어, 공정챔버 내부의 공기 및 기타 기체를 외부로 배출할 경우에는 진공밸브를 개방하고, 공정챔버 내부의 진공상태를 유지할 경우에는 진공밸브를 폐쇄함으로써, 공정챔버 내부를 항상 청정한 진공상태로 유지할 수 있는 것을 가능하게 해준다.
이러한, 진공밸브 중 하기 특허문헌 1의 “마운트형 사각 게이트밸브(대한민국 공개특허공보 특2003-0050409호)”는 오링들로 진공을 유지하며 축을 승하강시키는 에어실린더와 사각의 디스크 및 그 상부에 직사각형상의 통로를 구비한 본체로 구성된 사각 게이트밸브에 있어서, 실린더축과 힌지 연결되고, 사각의 각 모서리부에 구성된 4개의 마운팅롤, 좌우측면에 구름작용을 하는 측면구름롤, 디스크 전면부에 모서리를 돌린 직사각형 오링이 구성된 사각개폐디스크와 사각 게이트밸브 본체의 내측 배면에 마운팅롤에 대응하게 오름각을 가진 4개의 마운팅구와 본체 전면 내측에서 돌출하되, 좌우측에 치우쳐 각각 3개씩 형성시킨 볼프렌져는 항상 사각개폐디스크를 본체의 전면에서 멀어지는 방향으로 힘을 부여하고 축의 승강운동에 의해 사각개폐디스크가 승강, 마운팅구를 마운팅롤이 타고 오름에 따라 오링이 구성된 사각개폐디스크가 전면의 통로에 밀착, 완전 밀폐를 이루도록 구성되어 디스크와 통로의 밀폐효과가 높고, 디스크의 제작이 용이하다는 장점이 있었다.
그러나, 상기 특허문헌 1의 “마운트형 사각 게이트밸브”는 대상물 이동공간에 4개의 마운팅롤, 측면구름롤, 직사각형 오링이 구성된 사각개폐디스크가 구비됨으로써, 사각개폐디스크가 지속적인 동작을 하는 경우, 마운팅롤, 측면구름롤, 직사각형 오링의 마모가 발생되어 Air Leak(공기누설현상) 및 대상물 이동공간에 파티클이 발생된다는 문제점이 있었다.
또한, 에어실린더에 의해 사각개폐디스크가 상승하는 경우, 경사진 상태의 마운팅구를 마운팅롤이 타고 올라가 사각개폐디스크가 통로를 폐쇄하는 구조로서, 별도의 구성없이 에어실린더에서 발생하는 공기압력에 의해 사각개폐디스크가 상, 하 이동됨으로써, 에어실린더 내부에 공기가 새어나가게 되는 경우, 임의적으로 사각개폐디스크가 개방되어 마운트형 사각 게이트밸브의 정상작동이 불가하다는 문제점이 있었다.
특허문헌 1 : 대한민국 공개특허공보 특2003-0050409호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 밸브하우징 내부에 별도의 구성없이 이동통로부를 개폐하는 간단한 구조의 블레이드만 구비됨으로써, 블레이드의 수직이동에 따른 기계적인 마모 등에 의해 발생되는 파티클이 밸브하우징 내부에 생성될 우려를 최소화 할 수 있는 진공밸브를 제공하는 것이다.
또한, 실린더 역할을 하는 수직이동부와 수평이동부가 본체브라켓 내부에 수용할 수 있도록 형성함으로써, 캠팩트한 타입으로 제작되어 공간적 제약을 적게 받을 수 있는 진공밸브를 제공하는 것이다.
또한, 캠롤러, 개폐유도홈을 이용하여 블레이드를 전, 후방향으로 이동시킴으로써, 간단한 작동으로 인해 이동통로부를 개폐할 수 있으며, 수평이동부에 공기가 새어나가더라도 구배를 이용한 개폐유도홈에 의해 블레이드가 임의적으로 작동되는 것을 방지할 수 있는 진공밸브를 제공하는 것이다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 진공밸브는, 내측에 구동공간(110)이 형성되고, 양측면에는 대상물이 이동되도록 이동통로부(120, 120`)가 각각 타공형성되는 밸브하우징(100);과, 상기 구동공간(110)에 설치되어 내측으로부터 상기 이동통로부(120)를 개폐하는 블레이드(200);와, 상기 블레이드(200) 후면에 결합되는 메인샤프트(300);와, 상기 밸브하우징(100) 하부에 형성되되, 내부에 공압에 의해 상, 하방향으로 이동되는 제1 피스톤(410)과 상기 메인샤프트(300)가 연결되어 상기 블레이드(200)를 상, 하방향으로 이동시키는 수직이동부(400);와, 상기 수직이동부(400) 하부에 결합되되, 양측면에 수직방향으로 각각 타공형성되는 수직이동가이드홈(510, 510`)이 구비되는 수평이동부(500);와, 상기 수평이동부(500) 내부에 구비되되, 공압에 의해 상, 하방향으로 이동되는 제2 피스톤(610)와, 상기 제2 피스톤(610) 하부에 형성되는 이동가이드블럭(620)과, 상기 이동가이드블럭(620) 양측에 형성되어 상기 수직이동가이드홈(510, 510`)을 각각 통과하는 캠롤러(630, 630`)가 구비되는 수평이동유닛(600);과, 상기 밸브하우징(100) 하부에 상기 수직이동부(400)와 수평이동부(500)가 수용되도록 형성되되, 양내측면에는 상기 수직이동가이드홈(510, 510`)으로부터 통과된 상기 캠롤러(630, 630`)가 삽입되어 상기 수평이동유닛(600)의 상, 하 이동에 따라 상기 블레이드(200)가 전, 후방향으로 이동되는 것을 가이드하는 개폐유도홈(710, 710`)이 각각 경사지게 형성되는 본체브라켓(700)으로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 개폐유도홈(710, 710`)의 하부는 상기 밸브하우징(100)의 후면방향으로 함몰형성되는 폐쇄홈구간(710a, 710a`)이 구성되고, 상기 개폐유도홈(710, 710`)의 상부는 상기 폐쇄홈구간(710a, 710a`)으로부터 연장형성되어 상기 밸브하우징(100)의 전면방향으로 함몰형성되는 개방홈구간(710b, 710b`)이 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 폐쇄홈구간(710a, 710a`)과 개방홈구간(710b, 710b`)의 경계면에는 상기 캠롤러(630, 630`)가 상기 개방홈구간(710b, 710b`)에 위치한 상태에서 상기 캠롤러(630, 630`)가 상기 개방홈구간(710b, 710b`)으로부터 임의적으로 이탈하는 것을 방지하도록 이탈방지돌기(711, 711`)가 돌출형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 본체브라켓(700)의 양내측면에는 삽입홈(720, 720`)이 각각 함몰형성되고, 상기 수직이동부(400)의 양외측면에는 상기 삽입홈(720, 720`)에 삽입되어 상기 삽입홈(720, 720`)을 중심으로 상기 수직이동부(400)가 축회전되도록 회전롤러부(420, 420`)가 각각 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 블레이드(200) 후면에는 상기 블레이드(200)의 상, 하방향의 이동을 가이드하는 가이드샤프트(310, 310`)가 대칭을 이루며 각각 형성되고, 상기 이동가이드블럭(620)에는 가이드홈(621, 621`)이 대칭을 이루며 각각 수직방향으로 타공형성되고, 상기 수평이동부(500) 하부 내측에는 상기 가이드홈(621, 621`)에 각각 삽입되어 상기 수평이동유닛(600)의 수직이동을 가이드하는 고정축부재(640, 640`)이 돌출형성되는 특징으로 한다.
이상 , 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 밸브하우징 내부에 별도의 구성없이 이동통로부를 개폐하는 간단한 구조의 블레이드만 구비됨으로써, 블레이드의 수직이동에 따른 기계적인 마모 등에 의해 발생되는 파티클이 밸브하우징 내부에 생성될 우려를 최소화 할 수 있다는 장점이 있다.
또한, 실린더 역할을 하는 수직이동부와 수평이동부가 본체브라켓 내부에 수용할 수 있도록 형성함으로써, 캠팩트한 타입으로 제작되어 공간적 제약을 적게 받을 수 있다는 장점이 있다.
또한, 캠롤러, 개폐유도홈을 이용하여 블레이드를 전, 후방향으로 이동시킴으로써, 간단한 작동으로 인해 이동통로부를 개폐할 수 있으며, 수평이동부에 공기가 새어나가더라도 구배를 이용한 개폐유도홈의 형성에 의해 블레이드가 임의적으로 작동되는 것을 방지할 수 있다는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브의 전체 구성을 보인 사시도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브의 밸브하우징 및 본체브라켓 내부의 구성을 보인 내부사시도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브의 수직, 수평이동부 내부의 구성을 보인 내부사시도
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브의 분해된 모습을 보인 분래사시도
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브의 구성 중 수직이동가이드홈과 개폐유도홈의 구성을 보인 측면도
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브의 작동 전 모습을 보인 상태도
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브의 구성 중 수직이동부의 작동으로 인해 메인샤프트 및 가이드샤프트가 상승하는 모습을 보인 작동상태도
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브의 구성 중 수평이동부의 작동으로 인해 블레이드가 전방향으로 이동하는 모습을 보인 작동상태도
이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공밸브를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 진공밸브(1)는 크게 밸브하우징(100), 블레이드(200), 메인샤프트(300), 수직이동부(400), 수평이동부(500), 수평이동유닛(600) 및 본체브라켓(700)으로 구성된다.
설명에 앞서, 도 6을 기준으로 우측을 폐쇄방향, 좌측을 개방방향으로 설정한다는 것에 유의하여야 한다.
또한, 본 발명에 기재된 대상물은, 반도체 소자, 웨이퍼, 유체 등을 포함하는 물질 또는 물체임에 유의하여야 한다.
먼저, 밸브하우징(100)에 대하여 설명한다. 상기 밸브하우징(100)은 도 1 또는 도 2에 나타낸 것과 같이, 양측면에 각각 대상물이 이동되는 이동통로(120, 120`)가 타공형성되는 구성요소로서, 상기 밸브하우징(100)의 내측에는 후술할 밸브블레이드(200)가 구비되도록 별도의 구성없이 공간으로 이루어진 구동공간(110)이 형성된다.
한편, 상기 밸브하우징(100)의 하부에는 샤프트삽입공(미도시)이 다수개 타공형성됨으로써, 후술할 수직이동부(400)에 연결되어 있는 후술할 메인샤프트(300)와 가이드샤프트(310, 310`)가 상기 구동공간(110) 내측에 구비된 상기 밸브블레이드(200)에 각각 결합되는 것을 가능하게 한다.
다음으로, 블레이드(200)에 대하여 설명한다. 상기 블레이드(200)는 도 3 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 구동공간(110) 내측에 설치되어, 상기 수직이동부(400) 및 후술할 수평이동부(500), 수평이동유닛(600)에 의해 수직 또는 수평방향으로 이동되어 상기 이동통로부(120)를 개폐하는 역할을 한다.
다음으로, 메인샤프트(300)에 대하여 설명한다. 상기 메인샤프트(300)는 도 3 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 샤프트삽입공(미도시)을 통과하여 상기 밸브블레이드(100)와 결합되는 구성요소로서, 상기 수직이동부(400) 및 수평이동부(500)의 구동력을 상기 블레이드(200)에 전달하여 상기 블레이드(200)의 수직 또는 수평방향의 이동을 가능하게 한다.
한편, 상기 블레이드(200)에는 메인샤프트(300) 이외에도 한쌍의 가이드샤프트(310, 310`)와 더 결합됨으로써, 상기 블레이드(200)의 수직이동 및 수평이동 시 상기 수직이동부(400) 및 수평이동부(500)의 구동력을 균등하게 전달받아 상기 이동통로부(120)와의 밀폐성이 향상되는 것을 가능하게 한다.
한편, 상기 수직이동부(400)의 내측 상부에는 상기 메인샤프트(300) 및 가이드샤프트(310, 310`)가 통과되는 제1 통과공(미도시)가 각각 타공형성되는 샤프트이동가이드블럭(320)이 구비됨으로써, 상기 수직이동부(400) 및 수평이동부(500)가 구동하는 경우 구동에 따른 진동으로부터 상기 메인샤프트(300) 및 가이드샤프트(310, 310`)가 흔들리는 것을 방지하여 상기 블레이드(200)의 정확한 위치이동을 가능하게 한다.
다음으로, 수직이동부(400)에 대하여 설명한다. 상기 수직이동부(400)는 도 2 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 밸브하우징(100)의 하부에 형성되어 상기 블레이드(200)의 상, 하방향으로 이동시키는 일종의 실린더 역할을 하는 구성요소로서, 제1 피스톤(410), 회전롤러부(420, 420`) 및 피스톤이동제한블럭(430)을 포함한다.
상기 제1 피스톤(410)은 상기 메인샤프트(300)의 말단에 결합되어 상기 수직이동부(400) 내부에 위치되는 구성요소로서, 공압에 의한 실린더 작동에 의해 상기 블레이드(200)를 수직방향으로 이동시키는 역할을 한다.
상기 회전롤러부(420, 420`)는 상기 수직이동부(400)의 양외측면에 후술할 본체브라켓(700)의 삽입홈(720, 720`)에 각각 삽입되는 구성요소로서, 상기 회전롤러부(420, 420`)는 상기 수직이동부(410)에 의해 상기 블레이드(200)가 상승한 상태에서 상기 블레이드(200)의 수평이동을 위하여 상기 수평이동부(500) 및 수평이동유닛(600)이 작동하는 경우, 상기 삽입홈(720, 720`)을 중심으로 상기 수직이동부(400), 수평이동부(500) 및 수평이동유닛(600)이 축회전하는 것을 가이드함으로써, 상기 블레이드(200)의 정확한 수평 위치이동을 가능하게 한다.
한편, 상기 수직이동부(400)의 하부에는 상기 수직이동부(400)의 작동에 따라 하강하는 제1 피스톤(410)의 이동을 제한하는 피스톤이동제한블럭(430)가 구비되는 것이 바람직하다.
다음으로, 수평이동부(500)에 대하여 설명한다. 상기 수평이동부(500)는 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 수직이동부(400) 하부에 결합되어 상기 수평이동유닛(600)의 작동을 가이드하는 일종의 하우징으로서, 수직이동가이드홈(510, 510`)을 포함한다.
상기 수직이동가이드홈(510, 510`)은 상기 수평이동부(500)의 양측면에 수직방향으로 타공형성되는 구성요소로서, 상기 수평이동부(500) 내측에 상기 수직이동유닛(600)이 구비된 상태에서 후술할 수직이동유닛(600)의 캠롤러(630, 630`)가 삽입 및 통과되어, 상기 수평이동부(500) 내부의 공압에 의해 상기 수직이동유닛(600)의 수직이동을 가이드하는 역할을 한다.
다음으로, 수평이동유닛(600)에 대하여 설명한다. 상기 수평이동유닛(600)은 도 3 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 수평이동부(500) 내부에 구비되어, 상기 수평이동부(500) 내부에 발생되는 공압 및 후술할 본체브라켓(700)의 개폐유도홈(710, 710`)의 연결관계에 의해 상기 블레이드(200)를 수평이동시키는 구성요소로서, 제2 피스톤(610), 이동가이드블럭(620), 캠롤러(630, 630`), 고정축(640, 640`)을 포함한다.
상기 제2 피스톤(610)은 상기 수평이동부(500) 내측 하부에 위치되는 구성요소로서, 공압에 의한 실린더 작동에 의해 상, 하방향으로 이동하여 상기 이동가이드블럭(620)을 수직방향으로 이동시키는 역할을 한다.
상기 이동가이드블럭(620)은 상기 제2 피스톤(610)의 하부에 형성되어 상기 제2 피스톤(610)의 수직이동에 따라 상기 캠롤러(630, 630`)를 이동시키는 역할을 한다.
한편, 상기 이동가이드블럭(620)에는 가이드홈(621, 621`)이 대칭을 이루며 각각 수직방향으로 타공형성되는 것이 특징으로서, 상기 가이드홈(621, 621`)에 후술할 고정축부재(640, 640`)가 삽입됨으로써, 상기 수평이동부(500)의 작동에 따라 상기 수평이동유닛(600)의 수직 이동하는 경우, 상기 수평이동유닛(600)의 정확한 작동이 이루어지는 것을 가능하게 한다.
상기 캠롤러(630, 630`)는 상기 이동가이드블럭(620)의 양측에 회전가능하게 각각 형성되는 구성요소로서, 상기 수직이동가이드홈(510, 510`)에 각각 삽입통과되어 상기 개폐유도홈(710, 710`)에 각각 안착됨으로써, 상기 개폐유도홈(710, 710`) 내측의 안착위치에 따라 상기 블레이드(200)를 개방방향 또는 폐쇄방향으로 이동시키는 것을 가능하게 한다.
상기 고정축부재(640, 640`)은 상기 수평이동부(500) 하부 내측에 각각 돌출형성되어 상기 가이드홈(621, 621`)에 각각 삽입되는 구성요소로서, 상기 수평이동유닛(600)의 정확한 작동을 가이드하는 역할을 한다.
다음으로, 본체브라켓(700)에 대하여 설명한다. 상기 본체브라켓(700)은 도 4 또는 도 5에 나타낸 것과 같이, 상기 밸브하우징(100) 하부에 상기 수직이동부(400)와 수평이동부(500)가 수용되도록 형성되는 구성요소로서, 개폐유도홈(710, 710`) 및 삽입홈(720, 720`)을 포함한다.
상기 개폐유도홈(710, 710)은 상기 본체브라켓(700)의 양내측면에 소정의 형상으로 타공형성되는 구성요소로서, 상기 수직이동가이드홈(510, 510`)으로부터 통과된 상기 캠롤러(630, 630`)가 삽입되어 상기 수평이동유닛(600)의 상, 하 이동에 따라 상기 블레이드(200)가 전, 후방향으로 이동되는 것을 가능하게 한다.
한편, 상기 개폐유도홈(710, 710`)의 구조는 먼저, 하부는 상기 밸브하우징(100)의 후면방향으로 함몰형성되는 폐쇄홈구간(710a, 710a`)이 구성되고, 상부는 상기 폐쇄홈구간(710a, 710a`)으로부터 연장형성되어 상기 밸브하우징(100)의 전면방향으로 함몰형성되는 개방홈구간(710b, 710b`)이 형성된다.
또한, 상기 폐쇄홈구간(710a, 710a`)과 개방홈구간(710b, 710b`)의 경계면에는 상기 캠롤러(630, 630`)가 상기 개방홈구간(710b, 710b`)에 위치한 상태에서 상기 캠롤러(630, 630`)가 상기 개방홈구간(710b, 710b`)으로부터 임의적으로 이탈하는 것을 방지하도록 이탈방지돌기(711, 711`)가 돌출형성된다.
상기 삽입홈(720, 720`)은 상기 본체브라켓(700)의 양내측면에 각각 함몰형성되어 상기 회전롤러부(420, 420`)와 연결됨으로써, 상기 수평이동부(500)의 작동여부에 따라 상기 수직이동부(400), 수평이동부(500)의 축회전을 가능하게 한다.
이하에서는 도 5 내지 도 8을 참고하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 상기 블레이드(200)가 상기 이동통로부(120)를 폐쇄하는 과정에 대하여 설명하기로 한다.
먼저, 도 6에 나타낸 것과 같이, 최초 상기 이동통로부(120)가 개방된 상태에서는 상기 수직이동부(400) 및 수평이동부(500) 내부의 공압이 낮은 상태로 인해, 상기 제1 피스톤(410)은 상기 피스톤이동제한블럭(430)의 상부에 안착된 상태가 되고, 이에 따라 상기 블레이드(200)는 상기 밸브하우징(100)의 내측 하부에 위치하게 된다.
또한, 상기 제2 피스톤(610) 또한 상기 피스톤이동제한블럭(430)의 하부에 맞닿는 상태가 되고, 이에 따라, 상기 캠롤러(630, 630`)는 상기 개방홈구간(710b, 710b`)에 안착된 상태가 됨으로로써, 상기 블레이드(200)는 상기 이동통로부(120)로부터 수평방향으로 이격되어 위치된다.
이후, 상기 이동통로부(120)를 폐쇄하는 과정을 설명하면, 도 7에 나타낸 것과 같이, 상기 수직이동부(400) 내부에 공압을 높이게 되면, 상기 제1 피스톤(410)이 상승하게 되고, 이에 따라, 상기 제1 피스톤(410)에 연결된 상기 메인샤프트(300) 및 가이드샤프트(310, 310`) 또한 상승하게 되어 상기 블레이드(200)를 상기 밸브하우징(100)의 내측 상부까지 이동시키게 된다.
다음으로, 도 8에 나타낸 것과 같이, 상기 수평이동부(500) 내부에 공압을 높이게 되면, 상기 제2 피스톤(610)이 하강하게 되고, 이에 따라 상기 이동가이드블럭(620)이 하강함으로써, 상기 캠롤러(630, 630`)는 상기 개방홈구간(710b, 710b`)으로부터 상기 이탈방지돌기(711, 711`)를 지나 상기 폐쇄홈구간(710a, 710a`)으로 이동하게 된다.
이후, 상기 상기 캠롤러(630, 630`)가 상기 폐쇄홈구간(710a, 710a`)에 안착하게 되면, 도 5에 나타낸 것과 같이, 폐쇄방향으로부터 개방방향으로 하향 경사지게 형성되는 상기 개폐유도홈(710, 710`)의 구조로 인하여 상기 수직이동부(400)와 수평이동부(500) 및 수평이동유닛(600)은 상기 회전롤러부(420, 420`)가 안착된 상기 삽입홈(720, 720`)을 중심으로 시계방향으로 회전하게 됨으로써, 상기 블레이드(200)가 상기 이동통로부(120)을 폐쇄하게 된다.
한편, 상기 블레이드(200)의 개방과정은 폐쇄과정의 역순으로 이루어지는 것이 바람직하다.
도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
1: 진공밸브
100: 밸브하우징
110: 구동공간
120, 120`: 이동통로부
200: 블레이드
300: 메인샤프트
310, 310`: 가이드샤프트 320: 샤프트이동가이드블럭
400: 수직이동부
410: 제1 피스톤 420, 420`: 회전롤러부
430: 피스톤이동제한블럭
500: 수평이동부 501: 수평이동부 내부
510, 510`: 수직이동가이드홈
600: 수평이동유닛
610: 제2 피스톤
620: 이동가이드블럭 621, 621`: 가이드홈
630, 630`: 캠롤러 640, 640`: 고정축
700: 본체브라켓
710, 710`: 개폐유도홈 710a, 710a`: 폐쇄홈구간
710b, 710b`: 개방홈구간 711, 711`: 이탈방지돌기
720, 720`: 삽입홈

Claims (5)

  1. 내측에 구동공간(110)이 형성되고, 양측면에는 대상물이 이동되도록 이동통로부(120, 120`)가 각각 타공형성되는 밸브하우징(100);
    상기 구동공간(110)에 설치되어 내측으로부터 상기 이동통로부(120)를 개폐하는 블레이드(200);
    상기 블레이드(200) 후면에 결합되는 메인샤프트(300);
    상기 밸브하우징(100) 하부에 형성되되, 내부에 공압에 의해 상, 하방향으로 이동되는 제1 피스톤(410)과 상기 메인샤프트(300)가 연결되어 상기 블레이드(200)를 상, 하방향으로 이동시키는 수직이동부(400);
    상기 수직이동부(400) 하부에 결합되되, 양측면에 수직방향으로 각각 타공형성되는 수직이동가이드홈(510, 510`)이 구비되는 수평이동부(500);
    상기 수평이동부(500) 내부(501)에 구비되되, 공압에 의해 상, 하방향으로 이동되는 제2 피스톤(610)와, 상기 제2 피스톤(610) 하부에 형성되는 이동가이드블럭(620)과, 상기 이동가이드블럭(620) 양측에 형성되어 상기 수직이동가이드홈(510, 510`)을 각각 통과하는 캠롤러(630, 630`)가 구비되는 수평이동유닛(600);
    상기 밸브하우징(100) 하부에 상기 수직이동부(400)와 수평이동부(500)가 수용되도록 형성되되, 양내측면에는 상기 수직이동가이드홈(510, 510`)으로부터 통과된 상기 캠롤러(630, 630`)가 삽입되어 상기 수평이동유닛(600)의 상, 하 이동에 따라 상기 블레이드(200)가 전, 후방향으로 이동되는 것을 가이드하는 개폐유도홈(710, 710`)이 각각 경사지게 형성되는 본체브라켓(700);으로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브(1).
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 개폐유도홈(710, 710`)의 하부는 상기 밸브하우징(100)의 후면방향으로 함몰형성되는 폐쇄홈구간(710a, 710a`)이 구성되고,
    상기 개폐유도홈(710, 710`)의 상부는 상기 폐쇄홈구간(710a, 710a`)으로부터 연장형성되어 상기 밸브하우징(100)의 전면방향으로 함몰형성되는 개방홈구간(710b, 710b`)이 구성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브(1).
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 폐쇄홈구간(710a, 710a`)과 개방홈구간(710b, 710b`)의 경계면에는 상기 캠롤러(630, 630`)가 상기 개방홈구간(710b, 710b`)에 위치한 상태에서 상기 캠롤러(630, 630`)가 상기 개방홈구간(710b, 710b`)으로부터 임의적으로 이탈하는 것을 방지하도록 이탈방지돌기(711, 711`)가 돌출형성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브(1).
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 본체브라켓(700)의 양내측면에는 삽입홈(720, 720`)이 각각 함몰형성되고,
    상기 수직이동부(400)의 양외측면에는 상기 삽입홈(720, 720`)에 삽입되어 상기 삽입홈(720, 720`)을 중심으로 상기 수직이동부(400)가 축회전되도록 회전롤러부(420, 420`)가 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브(1).
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 블레이드(200) 후면에는 상기 블레이드(200)의 상, 하방향의 이동을 가이드하는 가이드샤프트(310, 310`)가 대칭을 이루며 각각 형성되고,
    상기 이동가이드블럭(620)에는 가이드홈(621, 621`)이 대칭을 이루며 각각 수직방향으로 타공형성되고,
    상기 수평이동부(500) 하부 내측에는 상기 가이드홈(621, 621`)에 각각 삽입되어 상기 수평이동유닛(600)의 수직이동을 가이드하는 고정축부재(640, 640`)이 돌출형성되는 특징으로 하는 진공밸브(1).
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