JP2018514721A - 真空バルブ - Google Patents

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Abstract

本発明は、内側に駆動空間が形成され、両側面には、移動通路部が打孔し形成されるバルブハウジングと、駆動空間に設置されて内側から移動通路部を開閉するブレードと、ブレード後面に結合するメインシャフトと、バルブハウジング下部に形成され、内部に空圧によって上、下方向に移動する第1ピストンとメインシャフトが連結されて、前記ブレードを上、下方向に移動させる垂直移動部と、垂直移動部下部に結合され、両側面に垂直方向にそれぞれ打孔し形成される垂直移動ガイド溝を具備する水平移動部と、水平移動部内部に具備する第2ピストンと、第2ピストン下部に形成される移動ガイドブロックと、移動ガイドブロックの両側に形成されて垂直移動ガイド溝を通過するカムローラーを具備する水平移動ユニットと、バルブハウジング下部に垂直移動部と水平移動部を収容するように形成され、両内側面には、垂直移動ガイド溝から通過したカムローラーが挿入されて水平移動ユニットの上、下移動によって、前記ブレードが前、後方向に移動することをガイドする開閉誘導溝が傾くように形成される本体ブラケットで構成されることができる。

Description

本発明は、真空バルブに関し、内側に駆動空間（110）が形成され、両側面には、対象物が移動するように移動通路部（120、120`）がそれぞれ打孔形成されるバルブハウジング（100）と、
前記駆動空間（110）に設置され、内側から前記移動通路部（120）を開閉するブレード（200）と、前記ブレード（200）後面に結合するメインシャフト（300）と、
前記バルブハウジング（100）下部に形成され、内部に
空圧により上、下方向に移動する第1ピストン（410）と前記メインシャフト（300）が連結され、前記ブレード（200）を上、下方向に移動させる垂直移動部（400）と、
前記垂直移動部（400）の下部に結合して、両側面に垂直方向にそれぞれ打孔形成される
垂直移動ガイド溝（510、510`）を具備する水平移動部（500）と、
前記水平移動部（500）の内部に具備し、空圧によって上、下方向に移動する第2ピストン（610）と、前記第2ピストン（610）の下部に形成される移動ガイドブロック（620）と、前記移動ガイドブロック（620）の両側に形成され、前記垂直移動ガイド溝（510、510`）をそれぞれ通過するカムローラー（630、630`）を具備する水平移動ユニット（600）と、
前記バルブハウジング（100）下部に、前記垂直移動部（400）と水平移動部（500）を収容するように形成され、両内側面には、前記垂直移動ガイド溝（510、510`）から通過した前記カムローラー（630、630`）が挿入され、前記水平移動ユニット（600）の上、下移動によって、前記ブレード（200）が前、後方向に移動することをガイドする開閉誘導溝（710、710`）がそれぞれ傾くように形成される本体ブラケット（700）と、で構成されることを特徴とする真空バルブ（1）に関する。
一般的に、半導体素子を製造するための半導体製造工程は、高精密度を要求するので、高い清潔度と特殊な製造技術が要求されている。
このため、半導体素子は、空気中に含まれた異物の接触を完璧に遮断した状態、すなわち、真空状態で製造されることにより、製品の信頼性及び完成度の高い製品生産ができる。
一方、半導体素子を製造する工程チャンバー内部の真空状態を維持するために、工程チャンバーの外部には、工程チャンバー内の空気及びその他の気体を吸い込む真空ポンプが設置される。
また、前記工程チャンバーと真空ポンプの間には真空バルブを設置して、工程チャンバー内部の空気及びその他の気体を外部に排出する場合には、真空バルブを開放し、
工程チャンバー内部の真空状態を維持する場合には、真空バルブを閉鎖することにより、
工程チャンバー内部を常に清浄な真空状態で維持することができる。
このような、真空バルブの中、下記特許文献1の「マウント型四角ゲートバルブ（大韓民国
公開特許公報特2003-0050409号）」は、Oリングで真空を維持し、軸を昇降させるエアシリンダーと四角のディスク及びその上部に直四角形状の通路を具備した本体で構成された四角ゲートバルブにおいて、シリンダー軸とヒンジ連結され、四角の各角部に構成された4個のマウンティングロ−ル、左右側面に回転作用をする側面回転ロール、ディスク前面部に角を回した直四角形Oリングで構成された四角開閉ディスクと四角ゲートバルブ本体の内側背面にマウンティングロ−ルに対応するように上昇角度を持った4個のマウンティング具と本体前面の内側から突出し、左右則に偏ってそれぞれ3個ずつ形成させたボールプランジャーは、常に四角開閉ディスクを本体の前面から遠くなる方向に力を付与し、軸の昇降運動によって四角開閉ディスクが昇降、マウンティング具をマウンティングロールが乗って上がることによって、Oリングで構成された四角開閉ディスクが前面の通路に密着し、完全密閉を成すように構成され、ディスクと通路の密閉効果が高く、ディスクの製作が容易いと言う長所があった。
しかし、前記特許文献1の「マウント型四角ゲートバルブ」は、対象物移動空間に4個のマウンティングロール、側面回転ロール、直四角形Oリングで構成された四角開閉ディスクを具備することで、四角開閉ディスクが持続的な作動をする場合、マウントロール、側面回転ロール、直四角形Oリングの摩耗が発生され、Air Leak（空気漏洩現象）及び対象物移動空間にパーティクルが発生すると言う問題があった。
また、エアシリンダーによって四角開閉ディスクが上昇する場合、傾いた状態のマウンティング具をマウンティングロールが乗って上がり、四角開閉ディスクが通路を閉鎖する構造として、別途の構成なしに、エアシリンダーで発生する空気圧力によって四角開閉ディスクが上、下に移動することにより、エアシリンダー内部に空気が漏れるようになる場合、任意的に四角開閉ディスクが開放され、マウント型四角ゲートバルブの正常作動ができないと言う問題があった。
本発明は、上述した問題点を解決するために考案されたもので、本発明の目的は、バルブハウジング内部に別途の構成なしに移動通路部を開閉する簡単な構造のブレードだけ具備することにより、ブレードの垂直移動による機械的な摩耗などによって発生するパーティクルがバルブハウジング内部に生成される憂慮を最小化することができる真空バルブを提供することである。
また、シリンダーの役割をする垂直移動部と水平移動部が本体ブラケット内部に収容することができるように形成することにより、コンパクトしたタイプで製作されて空間的制約を少なく受けることができる真空バルブを提供する。
また、カムローラー、開閉誘導溝を利用し、ブレードを前、後方向に
移動させることにより、簡単な作動によって、移動通路部を開閉することができ、
水平移動部に空気が漏れても勾配を利用した開閉誘導溝によって、
ブレードが任意的に作動することを防止することができる真空バルブを提供する。
前記のような問題点を解決するために、本発明に係る真空バルブは、内側に駆動空間（110）が形成され、両側面には、対象物が移動するように移動通路部（120、120`）がそれぞれ打孔形成されるバルブハウジング（100）と、
前記駆動空間（110）に設置され、内側から前記移動経路部（120）を開閉するブレード（200）と、前記ブレード（200）後面に結合するメインシャフト（300）と、
前記バルブハウジング（100）下部に形成され、内部に空圧によって上、下方向に移動する第1ピ
ストン（410）と、前記メインシャフト（300）が連結され、前記ブレード（200）を上、下方向に移動させる垂直移動部（400）と、
前記垂直移動部（400）下部に結合し、両側面に垂直方向にそれぞれ打孔形成される垂直移動ガイド溝（510，510`）を具備する水平移動部（500）と、
前記水平移動部（500）内部に具備し、空圧によって上、下方向に移動する第2ピストン（610）と、前記第2ピストン（610）下部に形成される移動ガイドブロック（620）と、前記移動ガイドブロック（620）両側に形成され、前記垂直移動ガイド溝（510、510`）をそれぞれ通過するカムローラー（630、630`）を具備する水平移動ユニット（600）と、
前記バルブハウジング（100）下部に前記垂直移動部（400）と、水平移動部（500）を収容するように形成され、両内側面には、前記垂直移動ガイド溝（510、510`）から通過した前記カムローラー（630、630`）が挿入され、前記水平移動ユニット（600）の上、下移動によって、前記ブレード（200）が前、後方向に移動することをガイドする開閉誘導溝（710、710`）がそれぞれ傾いて形成される本体ブラケット（700）で構成されることを特徴とする。
また、前記開閉誘導溝（710、710`）の下部は、前記バルブハウジング（100）の
後面方向に陥没し形成される閉鎖溝区間（710a、710a`）を構成し、前記開閉誘導溝（710、710`）の上部は、前記閉鎖溝区間（710a、710a`）から延長し形成され、前記バルブハウジング（100）の前面方向に陥没し形成される開放溝区間（710b、710b`）を構成することを特徴とする。

また、前記閉鎖溝区間（710a、710a`）と開放溝区間（710b、710b`）の境界面には、前記カムローラー（630、630`）が前記開放溝区間（710b、710b`）に位置した状態で、前記カムローラー（630、630`）が前記開放溝区間（710b、710b`）から任意的に離脱することを防止するように、離脱防止突起（711、711`）が突出し形成されることを特徴とする。
また、前記本体ブラケット（700）の両内側面には挿入溝（720、720`）がそれぞれ
陥没し形成され、前記垂直移動部（400）の両外側面には、前記挿入溝（720、720`）に挿入され、前記挿入溝（720、720`）を中心に、前記垂直移動部（400）が軸回転するように、回転ローラー部（420、420`）がそれぞれ形成されることを特徴とする。
また、前記ブレード（200）の後面には、前記ブレード（200）の上、下方向の移動を
ガイドするガイドシャフト（310、310`）が対称を成してそれぞれ形成され、前記移動ガイドブロック（620）には、ガイド溝（621、621`）が対称を成して、それぞれ垂直方向に打孔し形成され、前記水平移動部（500）下部内側には、前記ガイド溝（621、621`）にそれぞれ挿入され、前記水平移動ユニット（600）の垂直移動をガイドする固定軸部材（640、640`）が突出し形成されることを特徴とする。
以上のように、本発明によると、バルブハウジング内部に別途の構成なしに移動通路部を開閉する簡単な構造のブレードだけ具備することで、ブレードの垂直移動による機械的な摩耗等により発生するパーティークルがバルブハウジング内部に生成される憂慮を最小化することができると言う長所がある。
また、シリンダー役割をする垂直移動部と水平移動部を本体ブラケット内部に収容することができるように形成することにより、コンパクトしたタイプで製作されて空間的制約を少なく受けることができると言う長所がある。
また、カムローラー、開閉誘導溝を利用して、ブレードを前、後方向に移動させることにより、簡単な作動によって、移動通路部を開閉することができ、
水平移動部に空気が漏れても勾配を利用した開閉誘導溝の形成によって、ブレードが任意的に作動することを防止することができると言う長所がある。
本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの全体構成を示す斜視図である。 本発明の好ましい実施例に係る真空バルブのバルブハウジング及び本体ブラケット内部の構成を示す内部斜視図である。 本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの垂直、水平移動部内部の構成を示す内部斜視図である。 本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの分解された状態を見せた分解斜視図である。 本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの構成の中、垂直移動ガイド溝と開閉誘導溝の構成を示す側面図である。 本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの作動前の状態を示す状態図である。 本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの構成の中、垂直移動部の作動により、メインシャフト及びガイドシャフトが上昇する状態を示す作動状態図である。 本発明の好ましい実施例に係る真空バルブの構成の中、水平移動部の作動により、ブレードが前方向に移動する状態を示す作動状態図である。
以下、添付された図面を参照し、本発明の一実施例に係る
真空バルブを詳細に説明する。まず、図面の中、同一の構成要素または部品は、可能な限り同一の参照符号で示していることに注意しなければならない。本発明を説明するにおいて、係る公知機能あるいは構成に関する具体的な説明は、本発明の要旨を曖昧ではないように省略する。
本発明の一実施例に係る真空バルブ（1）は大きくバルブハウジング（100）、
ブレード（200）、メインシャフト（300）、垂直移動部（400）、水平移動部（500）、
水平移動ユニット（600）及び本体ブラケット（700）で構成される。
説明に先立って、図6を基準で右側を閉鎖方向、左側を開放方向に設定すると言うことに留意しなければならない。
また、本発明に記載された対象物は、半導体素子、ウェーハ、流体などを含む物質または物体であることに留意しなければならない。
まず、バルブハウジング（100）について説明する。前記バルブハウジング（100）は、図1または図2に示すように、両側面にそれぞれ対象物が移動する移動通路（120、120`）が打孔し形成される構成要素として、前記バルブハウジング（100）の内側には、後述するバルブブレード（200）を具備するように、別途の構成なしに空間で構成された駆動空間（110）が形成される。
一方、前記バルブハウジング（100）の下部には、シャフト挿入孔（未図示）が多数個、打孔し形成されることで、後述する垂直移動部（400）に連結されている、後述するメインシャフト（300）と、ガイドシャフト（310、310`）が前記駆動空間（110）内側に具備した前記バルブブレード（200）にそれぞれ結合することができる。
次に、ブレード（200）について説明する。前記ブレード（200）は、図3または図4に示すように、前記駆動空間（110）内側に設置され、前記垂直移動部（400）及び後述する水平移動部（500）、水平移動ユニット（600）によって垂直または水平方向に移動し、前記移動通路部（120）を開閉する役割をする。
次に、メインシャフト（300）について説明する。前記メインシャフト（300）は、図3または図4に示すように、前記シャフト挿入孔（未図示）を通過し、前記バルブブレード（100）と結合する構成要素として、前記垂直移動部（400）及び水平移動部（500）の駆動力を前記ブレード（200）に伝達し、前記ブレード（200）の垂直または水平方向に移動することができる。
一方、前記ブレード（200）には、メインシャフト（300）以外にも、一対のガイドシャフト（310、310`）と、さらに結合することにより、前記ブレード（200）の垂直移動及び水平移動の時、前記垂直移動部（400）及び水平移動部（500）の駆動力を均等に伝達受けて、前記移動通路部（120）との密閉性が向上することができる。
一方、前記垂直移動部（400）の内側上部には、前記メインシャフト（300）及びガイドシャフト（310、310`）が通過する第1通過孔（未図示）がそれぞれ打孔し形成されるシャフト移動ガイドブロック（320）を具備することにより、前記垂直移動部（400）及び水平移動部（500）が駆動する場合に、駆動による振動から前記メインシャフト（300）およびガイドシャフト（310、310`）が揺れることを防止して、前記ブレード（200）の正確な位置移動をすることができる。
次に、垂直移動部（400）について説明する。前記垂直移動部（400）は、図2または図4に示すように、前記バルブハウジング（100）の下部に形成されて、前記ブレード（200）の上、下方向に移動させる一種のシリンダー役割をする構成要素として、第1ピストン（410）、回転ローラー部（420、420`）及びピストン移動制限ブロック（430）を含む。
前記第1ピストン（410）は、前記メインシャフト（300）の末端に結合し、前記垂直移動部（400）の内部に位置する構成要素として、空圧によるシリンダ作動により、前記ブレード（200）を垂直方向に移動させる役割をする。
前記回転ローラー部（420、420`）は、前記垂直移動部（400）の両外側面に、後述する本体ブラケット（700）の挿入溝（720、720`）にそれぞれ挿入される構成要素として、前記回転ローラー部（420、420`）は、前記垂直移動部（410）によって、前記ブレード（200）が上昇した状態で、前記ブレード（200）の水平移動のために、前記水平移動部（500）及び水平移動ユニット（600）が作動する場合、前記挿入溝（720、720`）を中心に、前記垂直移動部（400）、水平移動部（500）及び水平移動ユニット（600）が軸回転することをガイドすることにより、前記ブレード（200）の
正確な水平位置移動をすることができる。

一方、前記垂直移動部（400）の下部には、前記垂直移動部（400）の作動によって、下降する第1ピストン（410）の移動を制限するピストン移動制限ブロック（430）を具備することが好ましい。
次に、水平移動部（500）について説明する。前記水平移動部（500）は、図2または図3に示すように、前記垂直移動部（400）下部に結合して、前記水平移動ユニット（600）の作動をガイドする一種のハウジングとして、垂直移動ガイド溝（510、510`）を含む。
前記垂直移動ガイド溝（510、510`）は、前記水平移動部（500）の両側面に
垂直方向に打孔し形成される構成要素として、前記水平移動部（500）内側に、前記垂直移動ユニット（600）を具備した状態で、後述する垂直移動ユニット（600）のカムローラー（630、630`）が挿入及び通過して、前記水平移動部（500）内部の空圧により、前記垂直移動ユニット（600）の垂直移動をガイドする役割をする。
次に、水平移動ユニット（600）について説明する。前記水平移動ユニット（600）は、図3または図4に示すように、前記水平移動部（500）の内部に具備して、前記水平移動部（500）内部に発生する空圧及び後述する本体ブラケット（700）の開閉誘導溝（710、710`）の連結関係により、前記ブレード（200）を水平移動させる構成要素として、第2ピストン（610）、移動ガイドブロック（620）、カムローラー（630、630`）、固定軸（640、640`）を含む。
前記第2ピストン（610）は、前記水平移動部（500）内側下部に位置する構成要素として、空圧によるシリンダ作動により上、下方向に移動して、前記移動ガイドブロック（620）を垂直方向に移動させる役割をする。
前記移動ガイドブロック（620）は、前記第2ピストン（610）の下部に形成されて、前記第2ピストン（610）の垂直移動によって、前記カムローラー（630、630`）を移動させる役割をする。
一方、前記移動ガイドブロック（620）は、ガイド溝（621、621`）が対称を成し、それぞれ垂直方向に打孔し形成されることが特徴として、前記ガイド溝（621、621`）に後述する固定軸部材（640、640`）が挿入されことにより、前記水平移動部（500）の作動によって、前記水平移動ユニット（600）の垂直移動する場合、前記水平移動ユニット（600）の正確な作動が行われることができる。
前記カムローラー（630、630`）は、前記移動ガイドブロック（620）の両側に回転可能にそれぞれ形成される構成要素として、前記垂直移動ガイド溝（510、510`）にそれぞれ挿通され、前記開閉誘導溝（7l0、710`）にそれぞれ停止することにより、前記開閉誘導溝（710、710'）内側の停止位置によって、前記ブレード（200）を開放方向または閉鎖方向に移動させることができる。
前記固定軸部材（640、640`）は、前記水平移動部（500）下部内側にそれぞれ突出し形成されて、前記ガイド溝（621、621`）にそれぞれ挿入される構成要素として、前記水平移動ユニット（600）の正確な作動をガイドする役割をする。
次に、本体ブラケット（700）について説明する。前記本体ブラケット（700）は、図4または図5に示すように、前記バルブハウジング（100）の下部に、前記垂直移動部（400）と水平移動部（500）を収容するように形成される構成要素として、開閉誘導溝（710、710`）および挿入溝（720、720`）を含む。
前記開閉誘導溝（710、710）は、前記本体ブラケット（700）の両内側面に所定の形状で打孔し形成される構成要素として、前記垂直移動ガイド溝（510、510`）から通過した前記カムローラー（630、630`）が挿入されて、前記水平移動ユニット（600）の上、下移動によって、前記ブレード（200）が前、後方向に移動することができる。
一方、前記開閉誘導溝（710、710`）の構造は、まず、下部は前記バルブハウジング（100）の後面方向に陥没し形成される閉鎖溝区間（710a、710a`）を構成し、上部は前記閉鎖溝区間（710a、710a`）から延長し形成されて、前記バルブハウジング（100）の前面方向に陥没し形成される開放溝区間（710b、710b`）を形成する。
また、前記閉鎖溝区間（710a、710a`）と開放溝区間（710b、710b`）の境界面には、前記カムローラー（630、630`）が前記開放溝区間（710b、710b`）に位置した状態で、前記カムローラー（630、630`）が前記開放溝区間（710b、710b`）から任意的に離脱することを防止するように離脱防止突起（711,711`）が突出し形成される。
前記挿入溝（720、720`）は、前記本体ブラケット（700）の両内側面にそれぞれ陥没し形成されて、前記回転ローラー部（420、420`）と連結されることにより、前記水平移動部（500）の作動可否によって前記垂直移動部（400）、水平移動部（500）の軸回転をすることができる。
以下、図5~図8を参照して、本発明の好ましい実施例に係る前記ブレード（200）が前記移動通路部（120）を閉鎖する過程について説明する。
まず、図6に示すように、最初、前記移動通路部（120）が開放された状態では、前記垂直移動部（400）及び水平移動部（500）内部の空圧が低い状態によって、前記第1ピストン（410）は、前記ピストン移動制限ブロック（430）の上部に停止した状態になる。これによって、前記ブレード（200）は、前記バルブハウジング（100）の内側下部に位置する。
また、前記第2ピストン（610）もまた、前記ピストン移動制限ブロック（430）の下部に当接する状態になる。これによって、前記カムローラー（630、630`）は、前記開放溝区間（710b、710b`）に停止した状態になることにより、前記ブレード（200）は、前記移動通路部（120）から水平方向に離隔されて配置される。
以後、前記移動通路部（120）を閉鎖する過程を説明すれば、図7に示すように、前記垂直移動部（400）内部に空圧を高めると、前記第1ピストン（410）が上昇する。これにより、前記第1ピストン（410）に連結された前記メインシャフト（300）及び、ガイドシャフト（310、310'）もまた、上昇し、前記ブレード（200）を、前記バルブハウジング（100）の内側上部まで移動させる。
次に、図8に示すように、前記水平移動部（500）内部に空圧を高めると、前記第2ピストン（610）が下降する。これによって、前記移動ガイドブロック（620）が下降することにより、前記カムローラー（630、630`）は、前記開放溝区間（710b、710b`）から前記離脱防止突起（711,711`）を経って前記閉鎖溝区間（710a、710a`）に移動する。
以後、前記カムローラー（630、630'）が前記閉鎖溝区間（710a、710a`）に停止すれば、図5に示すように、閉鎖方向から開放方向に下向きに傾くように形成される、前記開閉誘導溝（710、710`）の構造によって、前記垂直移動部（400）と水平移動部（500）及び水平移動ユニット（600）は、前記回転ローラー部（420、420`）が停止した前記挿入溝（720、720`）を中心に、時計方向に回転することにより、前記ブレード（200）が前記移動通路部（120）を閉鎖する。
一方、前記ブレード（200）の開放過程は、閉鎖過程の逆順に行われることが好ましい。
図面と明細書で最適の実施例を開示した。ここで特定の用語を用いたが、これは単に本発明を説明するための目的で用いたものであり、意味の限定や特許請求の範囲に記載された本発明の範囲を制限するために用いたものではない。従って、当該技術分野の通常の知識を有する者であれば、多様な変形および均等な他の実施例が可能であることを理解すべきである。また、本発明の真の技術的保護範囲は、添付された特許請求の範囲の技術的思想によって定められる。

Claims (5)

  1. 内側に駆動空間（110）が形成され、両側面には、対象物が移動するように移動通路部（120、120`）がそれぞれ打孔し形成されるバルブハウジング（100）と、
    前記駆動空間（110）に設置され、内側から前記移動通路部（120）を開閉するブレード（200）と、
    前記ブレード（200）後面に結合するメインシャフト（300）と、
    前記バルブハウジング（100）下部に形成され、内部に空圧によって上、下方向に移動する第1ピストン（410）と、前記メインシャフト（300）が連結されて、前記ブレード（200）を上、下方向に移動させる垂直移動部（400）と、
    前記垂直移動部（400）の下部に結合し、両側面に垂直方向にそれぞれ打孔し形成される垂直移動ガイド溝（510，510`）を具備する水平移動部（500）と、
    前記水平移動部（500）内部に具備し、空圧によって上、下方向に移動する第2ピストン（610）と、前記第2ピストン（610）下部に形成される移動ガイドブロック（620）と、前記移動ガイドブロック（620）の両側に形成され、前記垂直移動ガイド溝（510、510`）をそれぞれ通過するカムローラー（630、630`）を具備する水平移動ユニット（600）と、
    前記バルブハウジング（100）下部に、前記垂直移動部（400）と水平移動部（500）を収容するように形成され、両内側面には、前記垂直移動ガイド溝（510，510`）から通過した前記カムローラー（630、630`）が挿入されて、前記水平移動ユニット（600）の上、下移動によって、前記ブレード（200）が前、後方向に移動することをガイドする開閉誘導溝（710、710`）がそれぞれ傾くように形成される本体ブラケット（700）と、で構成されることを特徴とする真空バルブ（1）。
  2. 前記開閉誘導溝（710，710`）の下部は、前記バルブハウジング（100）の
    後面方向に陥没し形成される閉鎖溝区間（710a、710a`）を構成し、
    前記開閉誘導溝（710，710`）の上部は、前記閉鎖溝区間（710a、710a`）から延長し形成され、前記バルブハウジング（100）の前面方向に陥没し形成される開放溝区間（710b、710b`）を構成することを特徴とする請求項1に記載の真空バルブ（1）。
  3. 前記閉鎖溝区間（710a、710a`）と前記開放溝区間（710b、710b`）の境界面には、前記カムローラー（630、630`）が前記開放溝区間（710b、710b`）に位置した状態で、前記カムローラー（630、630`）が前記開放溝区間（710b、710b`）から任意的に離脱することを防止するように離脱防止突起（711、711`）が突出し形成されることを特徴とする請求項2に記載の真空バルブ（1）。
  4. 前記本体ブラケット（700）の両内側面には挿入溝（720、720`）がそれぞれ陥没し形成され、
    前記垂直移動部（400）の両外側面には、前記挿入溝（720、720`）に挿入されて、前記挿入溝（720、720`）を中心に、前記垂直移動部（400）が、軸回転するように回転ローラー部（420、420`）がそれぞれ形成されることを特徴とする請求項1に記載の真空バルブ（1）。
  5. 前記ブレード（200）の後面には、前記ブレード（200）の上、下方向の移動をガイドするガイドシャフト（310、310`）が対称を成してそれぞれ形成され、前記移動ガイドブロック（620）には、ガイド溝（621、621`）が対称を成してそれぞれ垂直方向に打孔し形成され、
    前記水平移動部（500）下部内側には、前記ガイド溝（621、621`）にそれぞれ挿入されて、前記水平移動ユニット（600）の垂直移動をガイドする固定軸部材（640、640`）が突出し形成されることを特徴とする請求項1に記載の真空バルブ（1）。
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