JP6758717B2 - 真空バルブ - Google Patents
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Description
前記駆動空間(110)に設置され、内側から前記移動通路部(120)を開閉するブレード(200)と、前記ブレード(200)後面に結合するメインシャフト(300)と、
前記バルブハウジング(100)下部に形成され、内部に
空圧により上、下方向に移動する第1ピストン(410)と前記メインシャフト(300)が連結され、前記ブレード(200)を上、下方向に移動させる垂直移動部(400)と、
前記垂直移動部(400)の下部に結合して、両側面に垂直方向にそれぞれ打孔形成される
垂直移動ガイド溝(510、510`)を具備する水平移動部(500)と、
前記水平移動部(500)の内部に具備し、空圧によって上、下方向に移動する第2ピストン(610)と、前記第2ピストン(610)の下部に形成される移動ガイドブロック(620)と、前記移動ガイドブロック(620)の両側に形成され、前記垂直移動ガイド溝(510、510`)をそれぞれ通過するカムローラー(630、630`)を具備する水平移動ユニット(600)と、
前記バルブハウジング(100)下部に、前記垂直移動部(400)と水平移動部(500)を収容するように形成され、両内側面には、前記垂直移動ガイド溝(510、510`)から通過した前記カムローラー(630、630`)が挿入され、前記水平移動ユニット(600)の上、下移動によって、前記ブレード(200)が前、後方向に移動することをガイドする開閉誘導溝(710、710`)がそれぞれ傾くように形成される本体ブラケット(700)と、で構成されることを特徴とする真空バルブ(1)に関する。
工程チャンバー内部の真空状態を維持する場合には、真空バルブを閉鎖することにより、
工程チャンバー内部を常に清浄な真空状態で維持することができる。
公開特許公報特2003-0050409号)」は、Oリングで真空を維持し、軸を昇降させるエアシリンダーと四角のディスク及びその上部に直四角形状の通路を具備した本体で構成された四角ゲートバルブにおいて、シリンダー軸とヒンジ連結され、四角の各角部に構成された4個のマウンティングロ−ル、左右側面に回転作用をする側面回転ロール、ディスク前面部に角を回した直四角形Oリングで構成された四角開閉ディスクと四角ゲートバルブ本体の内側背面にマウンティングロ−ルに対応するように上昇角度を持った4個のマウンティング具と本体前面の内側から突出し、左右則に偏ってそれぞれ3個ずつ形成させたボールプランジャーは、常に四角開閉ディスクを本体の前面から遠くなる方向に力を付与し、軸の昇降運動によって四角開閉ディスクが昇降、マウンティング具をマウンティングロールが乗って上がることによって、Oリングで構成された四角開閉ディスクが前面の通路に密着し、完全密閉を成すように構成され、ディスクと通路の密閉効果が高く、ディスクの製作が容易いと言う長所があった。
移動させることにより、簡単な作動によって、移動通路部を開閉することができ、
水平移動部に空気が漏れても勾配を利用した開閉誘導溝によって、
ブレードが任意的に作動することを防止することができる真空バルブを提供する。
前記駆動空間(110)に設置され、内側から前記移動経路部(120)を開閉するブレード(200)と、前記ブレード(200)後面に結合するメインシャフト(300)と、
前記バルブハウジング(100)下部に形成され、内部に空圧によって上、下方向に移動する第1ピ
ストン(410)と、前記メインシャフト(300)が連結され、前記ブレード(200)を上、下方向に移動させる垂直移動部(400)と、
前記垂直移動部(400)下部に結合し、両側面に垂直方向にそれぞれ打孔形成される垂直移動ガイド溝(510,510`)を具備する水平移動部(500)と、
前記水平移動部(500)内部に具備し、空圧によって上、下方向に移動する第2ピストン(610)と、前記第2ピストン(610)下部に形成される移動ガイドブロック(620)と、前記移動ガイドブロック(620)両側に形成され、前記垂直移動ガイド溝(510、510`)をそれぞれ通過するカムローラー(630、630`)を具備する水平移動ユニット(600)と、
前記バルブハウジング(100)下部に前記垂直移動部(400)と、水平移動部(500)を収容するように形成され、両内側面には、前記垂直移動ガイド溝(510、510`)から通過した前記カムローラー(630、630`)が挿入され、前記水平移動ユニット(600)の上、下移動によって、前記ブレード(200)が前、後方向に移動することをガイドする開閉誘導溝(710、710`)がそれぞれ傾いて形成される本体ブラケット(700)で構成されることを特徴とする。
後面方向に陥没し形成される閉鎖溝区間(710a、710a`)を構成し、前記開閉誘導溝(710、710`)の上部は、前記閉鎖溝区間(710a、710a`)から延長し形成され、前記バルブハウジング(100)の前面方向に陥没し形成される開放溝区間(710b、710b`)を構成することを特徴とする。
陥没し形成され、前記垂直移動部(400)の両外側面には、前記挿入溝(720、720`)に挿入され、前記挿入溝(720、720`)を中心に、前記垂直移動部(400)が軸回転するように、回転ローラー部(420、420`)がそれぞれ形成されることを特徴とする。
ガイドするガイドシャフト(310、310`)が対称を成してそれぞれ形成され、前記移動ガイドブロック(620)には、ガイド溝(621、621`)が対称を成して、それぞれ垂直方向に打孔し形成され、前記水平移動部(500)下部内側には、前記ガイド溝(621、621`)にそれぞれ挿入され、前記水平移動ユニット(600)の水平移動をガイドする軸部材(640、640`)が突出し形成されることを特徴とする。
水平移動部に空気が漏れても勾配を利用した開閉誘導溝の形成によって、ブレードが任意的に作動することを防止することができると言う長所がある。
真空バルブを詳細に説明する。まず、図面の中、同一の構成要素または部品は、可能な限り同一の参照符号で示していることに注意しなければならない。本発明を説明するにおいて、係る公知機能あるいは構成に関する具体的な説明は、本発明の要旨を曖昧ではないように省略する。
ブレード(200)、メインシャフト(300)、垂直移動部(400)、水平移動部(500)、
水平移動ユニット(600)及び本体ブラケット(700)で構成される。
正確な水平位置移動をすることができる。
垂直方向に打孔し形成される構成要素として、前記水平移動部(500)内側に、前記垂直移動ユニット(600)を具備した状態で、後述する垂直移動ユニット(600)のカムローラー(630、630`)が挿入及び通過して、前記水平移動部(500)内部の空圧により、前記垂直移動ユニット(600)の垂直移動をガイドする役割をする。
Claims (5)
- 内側に駆動空間(110)が形成され、両側面には、対象物が移動するように移動通路部(120、120`)がそれぞれ打孔し形成されるバルブハウジング(100)と、
前記駆動空間(110)に設置され、内側から前記移動通路部(120)を開閉するブレード(200)と、
前記ブレード(200)後面に結合するメインシャフト(300)と、
前記バルブハウジング(100)下部に形成され、内部に空圧によって上、下方向に移動する第1ピストン(410)と、前記メインシャフト(300)が連結されて、前記ブレード(200)を上、下方向に移動させる垂直移動部(400)と、
前記垂直移動部(400)の下部に結合し、両側面に垂直方向にそれぞれ打孔し形成される垂直移動ガイド溝(510,510`)を具備する水平移動部(500)と、
前記水平移動部(500)内部に具備し、空圧によって上、下方向に移動する第2ピストン(610)と、前記第2ピストン(610)下部に形成される移動ガイドブロック(620)と、前記移動ガイドブロック(620)の両側に形成され、前記垂直移動ガイド溝(510、510`)をそれぞれ通過するカムローラー(630、630`)を具備する水平移動ユニット(600)と、
前記バルブハウジング(100)下部に、前記垂直移動部(400)と水平移動部(500)を収容するように形成され、両内側面には、前記垂直移動ガイド溝(510,510`)から通過した前記カムローラー(630、630`)が挿入されて、前記水平移動ユニット(600)の上、下移動によって、前記ブレード(200)が前、後方向に移動することをガイドする開閉誘導溝(710、710`)がそれぞれ傾くように形成される本体ブラケット(700)と、で構成されることを特徴とする真空バルブ(1)。 - 前記開閉誘導溝(710,710`)の下部は、前記バルブハウジング(100)の
後面方向に陥没し形成される閉鎖溝区間(710a、710a`)を構成し、
前記開閉誘導溝(710,710`)の上部は、前記閉鎖溝区間(710a、710a`)から延長し形成され、前記バルブハウジング(100)の前面方向に陥没し形成される開放溝区間(710b、710b`)を構成することを特徴とする請求項1に記載の真空バルブ(1)。 - 前記閉鎖溝区間(710a、710a`)と前記開放溝区間(710b、710b`)の境界面には、前記カムローラー(630、630`)が前記開放溝区間(710b、710b`)に位置した状態で、前記カムローラー(630、630`)が前記開放溝区間(710b、710b`)から任意的に離脱することを防止するように離脱防止突起(711、711`)が突出し形成されることを特徴とする請求項2に記載の真空バルブ(1)。
- 前記本体ブラケット(700)の両内側面には挿入溝(720、720`)がそれぞれ陥没し形成され、
前記垂直移動部(400)の両外側面には、前記挿入溝(720、720`)に挿入されて、前記挿入溝(720、720`)を中心に、前記垂直移動部(400)が、軸回転するように回転ローラー部(420、420`)がそれぞれ形成されることを特徴とする請求項1に記載の真空バルブ(1)。 - 前記ブレード(200)の後面には、前記ブレード(200)の上、下方向の移動をガイドするガイドシャフト(310、310`)が対称を成してそれぞれ形成され、前記移動ガイドブロック(620)には、ガイド溝(621、621`)が対称を成してそれぞれ垂直方向に打孔し形成され、
前記水平移動部(500)下部内側には、前記ガイド溝(621、621`)にそれぞれ挿入されて、前記水平移動ユニット(600)の水平移動をガイドする軸部材(640、640`)が突出し形成されることを特徴とする請求項1に記載の真空バルブ(1)。
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