JP6326458B2 - 両方向ゲートバルブ - Google Patents
両方向ゲートバルブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6326458B2 JP6326458B2 JP2016155870A JP2016155870A JP6326458B2 JP 6326458 B2 JP6326458 B2 JP 6326458B2 JP 2016155870 A JP2016155870 A JP 2016155870A JP 2016155870 A JP2016155870 A JP 2016155870A JP 6326458 B2 JP6326458 B2 JP 6326458B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- movement
- moving
- motion block
- guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 title claims description 22
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 23
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 22
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 22
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 22
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 22
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 17
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims description 6
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 2
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000009194 climbing Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
- F16K3/184—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of cams
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/0218—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with only one sealing face
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/0281—Guillotine or blade-type valves, e.g. no passage through the valve member
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/029—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with two or more gates
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
- F16K3/182—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of toggle links
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/30—Details
- F16K3/314—Forms or constructions of slides; Attachment of the slide to the spindle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/30—Details
- F16K3/316—Guiding of the slide
- F16K3/3165—Guiding of the slide with rollers or balls
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
本発明は、両方向ゲートバルブに関し、前面と後面がそれぞれ開口された第1、2の移動通路（110、120）が形成される上部ハウジング（100）と、前記上部ハウジング（100）内部に設置され、下部から上部へ移動し、前記第1移動通路（110）を開閉させる第1ブレード（200）と、前記第1ブレード（200）下部に結合される第1シャフト（300）と、前記上部ハウジング（100）の下部に形成され、両内側面には、第1ブレード（200）が閉鎖方向（C）へ向かう過程でＬ−モーションブロック（500）の定位置回転をガイドする回転ガイド溝（410）がそれぞれ形成される下部ハウジング（400）と、前記下部ハウジング（400）の内部に設置され、前記第1シャフト（300）下部と結合され、上部両側に前記回転ガイド溝（410）にそれぞれ挿入される第1ローラー（510）と、下部に前記ムービングユニット（600）と連結される結合部（520）が形成されるＬ−モーションブロック（500）と、中央に回転可能なリンク（610）が形成され、前記リンク（610）の一側は、前記結合部（520）に連結され、前記リンク（610）の他側は駆動部（700）と連結され、前記Ｌ−モーションブロック（500）を回転させるムービングユニット（600）と、前記リンク（610）に連結され、前記Ｌ−モーションブロック（500）を垂直移動させる第1駆動部（700）と、前記上部ハウジング（100）内部に設置され、上部から下部へ移動して、前記第1、2移動通路（110、120）を同時に開閉させ、前記第1、2移動通路（110、120）を閉鎖する過程で、その両側にそれぞれ形成された密閉板（820）が外側方向へ開かれ、前記第1、2移動通路（110、120）をそれぞれ密閉させる第2ブレード（800）と、前記第2ブレード（800）上部に結合される第2シャフト（900）と、前記上部ハウジング（100）上部に形成され、前記第2シャフト（900）と連結され、前記第2ブレード（900）を垂直移動させる第2駆動部（1000）で構成されることを特徴とする両方向ゲートバルブに関するものである。
一般的に、半導体素子を製造するための半導体製造工程は、高精密度を要求するので、高い清浄度と特殊な製造技術が要求されている。
このような理由で、半導体素子は、空気中に含まれた異物の接触を完璧に遮断した状態、すなわち、真空状態で製造されることで、製品の信頼性および完成度の高い製品生産が可能となる。
一方、半導体素子を製造する工程チャンバー内の真空状態を維持するために、工程チャンバーの外部には、工程チャンバー内の空気および、その他の気体を吸い込む真空ポンプが設置される。
また、前記の工程チャンバーと真空ポンプの間には、ゲートバルブが設置され、工程チャンバー内の空気および、その他の気体を外部へ排出する場合には、ゲートバルブを開放して、工程チャンバー内の真空状態を維持する場合には、真空バルブを閉鎖することにより、工程チャンバー内部を常に清浄な真空状態に維持できることを可能とする。
このような、ゲートバルブの中、特許文献1の「マウント型四角ゲートバルブ（大韓民国公開特許公報特2003-0050409号）」は、Oリング達で真空を維持し、軸を昇下降させるエアシリンダと四角のディスクおよびその上部に直四角形上の通路を具備した本体で構成された四角ゲートバルブにおいて、シリンダ軸とヒンジ連結され、四角の各角部に構成された4個のマウンティングロ−ル、左右側面にローリング作用をする側面ローリングロール、ディスク前面部に角を丸くした直四角形Oリングが構成された四角開閉ディスクと、四角ゲートバルブ本体の内側背面にマウンティングロールに対応するように、上昇角を備えられた4個のマウンティング丘と、本体前面内側で突出し、左右則にかたよって、それぞれ3個ずつ形成させたボールフフランジャーは、常に四角開閉ディスクを本体の前面から遠くなる方向へ力を付与して、軸の昇降運動によって四角開閉ディスクが昇降、マウンティング丘をマウンティングロールが乗り上がることによって、Oリングが構成された四角開閉ディスクが前面の通路に密着、完全密閉を形成するように構成され、ディスクと通路の密閉効果が高くて、ディスクの製作が容易いという長所があった。
しかし、前記特許文献1の「マウント型四角ゲートバルブ」は、エアシリンダに機械的欠陥が発生される場合、別途の代替開閉手段が存在しないため、本然の通路閉鎖機能を遂行することができなくて、機械的欠陥に対する即刻な対処および補修が行われることができないという問題点があった。
また、エアシリンダ内に四角開閉ディスクの垂直移動をガイドする構成が存在しないため、エアシリンダ内の空気圧の差異などにより、エアシリンダと連結された軸が正確に上、下、垂直移動できなくなって、四角開閉ディスクの垂直、水平移動が円滑に作動されることができないという問題点があった。
本発明は、上述した問題点を解決するために案出されたもので、本発明の目的は、ゲートバルブ上、下にそれぞれ独立的に作動される第1、2ブレードを形成することで、第1ブレードが機械的欠陥よって作動されなくても、第2ブレードを作動して、第1、2移動通路をスムーズに開閉させて作業の継続性を確保し、駆動の制約なしに、第1ブレードを修理できることが可能な両方向ゲートバルブを提供することである。
また、第1ブレードを垂直および水平移動させるＬ−モーションブロックと、ムービングユニットに、それぞれ第1、2、3ローラーを形成し、それぞれの第1、2、3ローラーを通じてＬ−モーションブロックと、ムービングユニットの移動をガイドできるように、下部ハウジング両内側面にそれぞれの第1、2、3ローラーが挿入される回転ガイド溝、Ｌ−モーションブロック移動溝、ムービングユニット案内溝を形成することで、第1ブレードが正確に垂直および水平に移動できることを可能なようにする両方向ゲートバルブを提供することである。
また、Ｌ−モーションブロックの両側面に、Ｌ−モーションブロック移動溝に挿入される第2ローラーが形成されたガイドリンクを形成することで、Ｌ−モーションブロックがＬ−モーションブロック移動溝に沿って上、下、左、右方向へ移動する過程で、Ｌ−モーションブロックと、ムービングユニットの間隔を常に一定に維持し、第1ブレードの正確な作動を可能とする両方向ゲートバルブを提供することである。
前記のような問題点を解決するために、本発明に係る両方向ゲートバルブは、前面と後面がそれぞれ開口された第1、2の移動通路（110、120）が形成される上部ハウジング（100）と、前記上部ハウジング（100）内部に設置され、下部から上部へ移動し、前記第1移動通路（110）を開閉させる第1ブレード（200）と、前記第1ブレード（200）下部に結合される第1シャフト（300）と、前記上部ハウジング（100）下部に形成され、両内側面には第1ブレード（200）が閉鎖方向（C）へ向かう過程で、Ｌ−モーションブロック（500）の定位置回転をガイドする回転ガイド溝（410）が、それぞれ形成される下部ハウジング（400）と、前記下部ハウジング（400）内部に設置され、前記第1シャフト（300）下部と結合され、上部両側に前記回転ガイド溝（410）にそれぞれ挿入される第1ローラ（510）と、下部に前記ムービングユニット（600）と連結される結合部（520）が形成されるＬ−モーションブロック（500）と、中央に回転可能なリンク（610）が形成され、前記リンク（610）の一側は、前記結合部（520）に連結され、前記リンク（610）の他側は駆動部（700）と連結され、前記Ｌ−モーションブロック（500）を回転させるムービングユニット（600）と、前記リンク（610）に連結され、前記Ｌ−モーションブロック（500）を垂直移動させる第1駆動部（700）と、前記上部ハウジング（100）内部に設置され、上部から下部へ移動し、前記第1、2移動通路（110、120）を同時に開閉させ、前記第1、2移動通路（110、120）を閉鎖する過程で、その両側にそれぞれ形成された密閉板（820）が外側方向へ開き、前記第1、2移動通路（110、120）をそれぞれ密閉させる第2ブレード（800）と、前記第2ブレード（800）上部に結合される第2シャフト（900）と、前記上部ハウジング（100）上部に形成され、前記第2シャフト（900）と連結されて前記第2ブレード（900）を垂直移動させる第2駆動部（1000）で構成されることを特徴とする。
また、前記第2ブレード（800）は、中央に前記第2シャフト（900）と結合される第2シャフト結合部（811）が形成され、前、後面にそれぞれ回転可能に具備される離隔ガイドボール（812 ）が多数個形成される水平移動ガイドバー（810）が具備され、前記水平移動ガイドバー（810）両側にそれぞれ具備され、その内側には、前記離隔ガイドボール（812）がそれぞれ接触し、前記水平移動ガイドバー（810）が上、下方向に移動されることにより、前記離隔ガイドボール（812）の移動を案内する水平移動案内溝（821）を含む密閉板（820）がそれぞれ形成され、それぞれの前記密閉板（820）の間には、 前記密閉板（820）が互いに連結されるように連結部材（830）が具備されることを特徴とする。
また、前記水平移動案内溝（821）は、所定の深さに陥没形成される水平拡張区間（821a）と、前記水平拡張区間（821a）から延長されて陥没形成され、前記水平拡張区間（821a）の陥没深さより漸次的に深く陥没形成される水平縮小区間（821b）でそれぞれ形成され、前記離隔ガイドボール（812）が水平拡張区間（821a）に位置された状態では、それぞれの密閉板（820）が外側方向へ押されて、前記第1、2移動通路（110、120）をそれぞれ密閉して、前記離隔ガイドボール（812）が、前記水平縮小区間（821b）に位置された状態では、それぞれの密閉板（820）が内側方向へ移動され、前記第1、2移動通路（110、120）を開放することを特徴とする。
また、それぞれの前記連結部材（830）側面には、前記第2ブレード（800）の外側へ露出されて形成される移動制限部（831）がそれぞれ具備され、前記上部ハウジング（100）両内側面には、前記第2ブレード（800）が下降する過程で、前記第2ブレード（800）の移動制限部（831）を支持して、前記第2ブレード（800）の垂直移動を制限する支持部（140）が形成されることを特徴とする。
また、前記下部ハウジング（400）の両内側面には、垂直に形成された垂直移動溝（421）および、前記垂直移動溝（421）の上部から閉鎖方向（C）を向けって、水平方向へ延長形成される閉鎖溝（422）を含むＬ−モーションブロック移動溝（420）が形成され、前記結合部（520）の両側に回転可能に具備され、前記垂直移動溝（421）にそれぞれ挿入される第2ローラー（531）を含んで、前記Ｌ−モーションブロック（500）とムービングユニット（600）の間隔を一定に調節するガイドリンク（530）が形成されることを特徴とする。
また、前記下部ハウジング（400）の両内側面には、前記ムービングユニット（600）の垂直移動をガイドするムービングユニット案内溝（430）が形成され、前記ムービングユニット（600）の両側には、前記ムービングユニット案内溝（430）にそれぞれ挿入され、前記ムービングユニット（600）の垂直移動をガイドする第3ローラー（620）が形成されることを特徴とする。
以上、上述したように、本発明によれば、ゲートバルブ上、下、それぞれ独立的に作動される第1、2ブレードを形成することで、第1ブレードが機械的欠陥によって作動されなくても、第2ブレードを作動して、第1、2移動通路を円滑に開閉させて、作業の連続性を確保し、駆動の制約なしに、第1ブレードを修理できることが可能とする長所がある。
また、第1ブレードを垂直および水平移動させるＬ−モーションブロックと、ムービングユニットにそれぞれ第1、2、3ローラーを形成し、それぞれの第1、2、3ローラーを通じてＬ−モーションブロックと、ムービングユニットの移動をガイドできるように、下部ハウジング両内側面にそれぞれの第1、2、3ローラーが挿入される回転ガイド溝、Ｌ−モーションブロック移動溝、ムービングユニット案内溝を形成することで、第1ブレードが正確に垂直および水平に移動できることを可能とする長所がある。
また、Ｌ−モーションブロックの両側面にＬ−モーションブロック移動溝に挿入される第2ローラーが形成されたガイドリンクを形成することにより、Ｌ−モーションブロックがＬ−モーションブロック移動溝に沿って上、下、左、右方向へ移動する過程で、Ｌ−モーションブロックと、ムービングユニットの間隔を常に一定に維持し、第1ブレードの正確な作動を可能とする長所がある。
以下では、添付された図面を参照にし、本発明の一実施例に係る両方向ゲートバルブ（1）を詳細に説明する。まず、図面たち中、同一な構成要素または部品たちは、可能な限り同一な参照符号で示していることに留意すべきである。本発明を説明するにおいて、関連された公知機能または構成に関する具体的な説明は、本発明の要旨を曖昧でないようにするために省略する。
図2を参照すれば、本発明の一実施例に係る両方向ゲートバルブ（1）は、上部ハウジング（100）、第1ブレード（200）、第1シャフト（300）、下部ハウジング（400）、Ｌ−モーションブロック（500）、ムービングユニット（600）、第1駆動部（700）、第2ブレード（800）、第2シャフト（900）、第2駆動部（1000）で構成される。
説明に先立って、両方向ゲートバルブ（1）は、図1に示すように、二個の両方向ゲートバルブ（1）が一体に形成されることが好ましくて、設置空間によってひとつの両方向ゲートバルブ（1）に形成されることも可能である。
また、両方向ゲートバルブ（1）の構成要素たち中、対称となる構成要素たちの図番は同一に記載し、図2〜図12に示す図面たちは、図1に示す二つの両方向ゲートバルブ（1）中、一つの両方向ゲートバルブ（1）を基準し、図示したことを留意すべきである。
また、図4および図5に図示した下部ハウジング（400）は、その一部を省略し、前記下部ハウジング（400）内部の姿を明確で詳細に表現したことに留意すべきである。
まず、上部ハウジング（100）について説明する。上部ハウジング（100）は、図1、図6、図7に示すように、両側面にそれぞれ半導体素子（例えばウエハなど）が移動される第1、2移動通路（110、120）が打工形成される構成要素で、前記上部ハウジング（100）の内側には、後述する第1、2ブレード（200、800）が具備され、前記第1、2移動通路（110、120）を開閉できるように、空間で構成された駆動空間（未図示）が形成される。
一方、前記上部ハウジング（100）の両内側面には、図13に示すように、内側方向へ突出形成される安着部（140）が構成されることが特徴で、前記安着部（140）は、前記第2ブレード（800）が前記第1、2移動通路（110、120）を閉鎖するために下降する過程で、後述する第2ブレード（800）の移動制限部（831）を支持することにより、前記移動制限部（831）と連結された後述する第2ブレード（200）の密閉板（820）の垂直移動を制限し、前記密閉板（820）の垂直移動が制限された状態で、後述する第2駆動部（1000）によって発生する垂直力を利用して、後述する第2ブレード（200）の水平移動ガイドバー（810）を下降させ、前記密閉板（820）を水平方向へ開かれるようにし、前記密閉板（820）が、前記第1、2移動通路（110、120）を閉鎖できるようにすることを可能とする。
一方、前記上部ハウジング（100）の下部には、前記駆動空間（未図示）内に設置された前記第1ブレード（200）が外部へ離脱されることを防止するために仕上げハウジング（130）を設置することが好ましい。
次に、第1ブレード（200）について説明する。前記第1ブレード（200）は、図2または図7に示すように、前記駆動空間（未図示）内に設置され、後述するＬ−モーションブロック（500）とムービングユニット（600）によって下部から上部へ垂直および水平方向に移動され、前記第1移動通路（110）を開閉する役割をする。
次に、第1シャフト（300）について説明する。前記第1シャフト（300）は、図2または図7に示すように、前記仕上げハウジング（130）に打工形成されるシャフト挿入孔（未図示）を通過して前記駆動空間（未図示）内に設置された前記第1ブレード（200）の下部と結合される構成要素で、後述する第1駆動部（700）によって作動する前記Ｌ−モーションブロック（500）とムービングユニット（600）の駆動力を前記第1ブレード（200）に伝達し、前記第1ブレード（200）の垂直および水平方向の移動を可能とする。
次に、下部ハウジング（400）について説明する。前記下部ハウジング（400）は、図2または図4、図5に示すように、前記仕上げハウジング（130）の下部に結合され、前記Ｌ−モーションブロック（500）とムービングユニット（600）が収容されるように形成される一種のハウジングで、回転ガイド溝（410）、Ｌ−モーションブロック移動溝（420）、ムービングユニット案内溝（430）を含んで構成される。
前記回転ガイド溝（410）は、前記下部ハウジング（400）の両内側面に垂直にそれぞれ陥没形成される構成要素で、前記回転ガイド溝（410）は、後述するＬ−モーションブロック（500）の第1ローラー（510）がそれぞれ挿入されて、前記Ｌ−モーションブロック（500）の正確な垂直移動をガイドするだけでなく、前記ムービングユニット（600）の作動可否により、前記Ｌ−モーションブロック（500）が定位置で正確に軸回転されることを可能とする。
前記Ｌ−モーションブロック移動溝（420）は、前記下部ハウジング（400）の両内側面に垂直でそれぞれ陥没形成される垂直移動溝（421）と、前記垂直移動溝（421）の上部から閉鎖方向（C）へ向かって、水平方向に陥没されて延長形成される閉鎖溝（422）で構成され、前記Ｌ−モーションブロック移動溝（420）は、後述するガイドリンク（530）の第2ローラ（510）がそれぞれ挿入され、前記ガイドリンク（530）と連結された前記Ｌ−モーションブロック（500）の正確な垂直移動および回転をガイドする。
前記ムービングユニット案内溝（430）は、前記ハウハウジング（400）の両内側面に垂直でそれぞれ陥没形成される構成要素として、前記ムービングユニット案内溝（430）は、後述するムービングユニット（600）の第3ローラー（620）が挿入され、前記ムービングユニット（600）の正確な垂直移動をガイドする。
次に、Ｌ−モーションブロック（500）について説明する。前記Ｌ−モーションブロック（500）は、図2または図4に示すように、前記ムービングユニット（600）と連結され、前記第1ブレード（200）を垂直および水平方向へ移動させるための機械的作動が行われる構成要素で、第1ローラー（510）、結合部（520）、ガイドリンク（530）、第1シャフト連結部（540）を含んで構成される。
前記第1ローラー（510）は、最小2個以上に具備され、前記Ｌ−モーションブロック（500）の両側上部に回転可能にそれぞれ形成される構成要素で、前記回転ガイド溝（410）に挿入され、前記第1の駆動部（700）によって駆動される前記Ｌ−モーションブロック（500）を正確に垂直移動でガイドする役割をする。
前記結合部（520）は、前記Ｌ−モーションブロック（500）の下部に凹形状に形成される構成要素で、前記結合部（520）中央の空間には、後述するムービングユニット（600）のリンク（610）が挿入され、回転可能に連結され、両側面には前記ガイドリンク（530）が回転可能に連結される。
前記ガイドリンク（530）は、前記結合部（5230）の両側面にそれぞれ突出形成される挿入突起（550）に回転可能に連結され、前記Ｌ−モーションブロック（500）の正確な垂直移動をガイドする。
一方、前記ガイドリンク（530）は、前記Ｌ−モーションブロック（500）が閉鎖方向（C）へ回転時、最も上側に形成された前記第1ローラー（510）が前記垂直移動溝（421）から閉鎖溝（422）へ移動する過程で、前記Ｌ−モーションブロック（500）とムービングユニット（600）の間隔を一定に調節することで、安定的に前記Ｌ−モーションブロック（500）を回転させる役割をする。
一方、前記ガイドリンク（530）の下部には、前記ムービングユニット（600）の移動を干渉する係止突起（未図示）が突出形成され、前記第1の駆動部（700）によって前記Ｌ−モーションブロック（500）とムービングユニット（600）が垂直移動する過程で、前記Ｌ−モーションブロック（500）の垂直移動が完了する前（前記ガイドリンク（530）が閉鎖方向（C）へ回転される前まで状態）まで、前記ムービングユニット（600）の作動を制限することで、円滑な後作動（前記Ｌ−モーションブロック（500）が閉鎖方向（C）へ回転する過程）が行われることを可能とする。
前記第1シャフト連結部（540）は、前記第1シャフト（300）の下部が挿入され、前記Ｌ−モーションブロック（500）およびムービングユニット（600）の作動可否によって、前記第1シャフト（300）を垂直および水平へ移動させることを可能とする。
次に、ムービングユニット（600）について説明する。前記ムービングユニット（600）は、図2または図4、図5に示すように、前記Ｌ−モーションブロック（500）と、第1駆動部（700）の中間に連結され、前記第1駆動部（700）の駆動力を前記Ｌ−モーションブロック（500）に伝達し、垂直移動が完了した前記Ｌ−モーションブロック（500）を回転させ、前記第1ブレード（200）の水平移動を可能とする構成要素で、リンク（610）、第3ローラー（620）を含んで構成される。
前記リンク（610）は、前記ムービングユニット（600）中央に、最小所定の角度で傾斜するように位置して、一側は前記結合部（520）に回転可能に連結され、他側は前記第1駆動部（700）の第1シリンダ部材（710）と回転可能に連結される構成要素で、前記リンク（610）の構成により、前記Ｌ−モーションブロック（500）とムービングユニット（600）が互いに平行を維持した状態で、相対的に密着するとか、離隔間される作動を実現することにより、前記Ｌ−モーションブロック（500）を正、逆方向に回転可能にし、前記第1ブレード（200）を水平移動させ、前記第1移動通路（110）を開閉できるようにする。
前記第3ローラ（620）は、前記ムービングユニット（600）の両側に回転可能に設置される構成要素で、前記第3ローラ（620）は、前記ムービングユニット案内溝（430）に挿入されることにより、前記ムービングユニット（600）の正確な垂直移動をガイドする役割をする。
次に、第1駆動部（700）について説明する。前記第1駆動部（700）は、図1または図6に示すように、内部に第1シリンダ部材（710）が具備され、空気圧によって前記第1シリンダ部材（710）を上下に駆動させる構成要素で、エックチュレイトタイプ、シリンダータイプなどで多様に具現することができ、本発明が属する分野で広く知られた水準の技術水準に該当するので、詳細な説明は省略する。
次に、第2ブレード（800）について説明する。前記第2ブレード（800）は、図3に示すように、前記駆動空間（未図示）内に設置され、後述する第2駆動部（1000）によって上部から下部へ垂直および水平方向に移動されて、前記第1移動通路（110）を開閉する役割をする構成要素で、水平移動ガイドバー（810）、密閉板（820）、連結部材（830）を含んで構成される。
前記水平移動ガイドバー（810）は、後述する第2シャフト（900）と直接連結され、後述する第2駆動部（1000）の駆動力を伝達受け、後述する密閉板（830）を垂直および水平方向へ移動させる移動の移動ガイド部材で、第2シャフト結合部（811）、離隔ガイドボール（812）を含んで構成される。
前記第2シャフト結合部（811）は、前記水平移動ガイドバー（810）上部にねじ結合または焼きばめなどで、前記第2シャフト（900）と結合されるように構成されることが好ましい。
前記離隔ガイドボール（812）は、前記水平移動ガイドバー（810）の前、後面にそれぞれ回転可能に具備される構成要素で、後述する密閉板（830）の水平移動案内溝（821）にそれぞれ挿入され、前記水平移動ガイドバー（810）の垂直移動により、前記水平移動案内溝（821）に沿って移動し、前記密閉板（830）を水平方向へ移動可能にする役割をする。
前記密閉板（820）は、前記水平移動ガイドバー（810）の前、後面側にそれぞれ形成され、前記水平移動ガイドバー（810）の移動によって垂直および水平方向に移動される構成要素である。
一方、本発明において、前記密閉板（820）の内側面には前記離隔ガイドボール（812）が挿入され、前記水平移動ガイドバー（810）の垂直移動により、前記離隔ガイドボール（812）の移動を案内し、前記密閉板（820）を水平移動させる水平移動案内溝（821）が多数個形成されることが特徴で、前記水平移動案内溝（821）は所定の深さに陥没形成される水平拡張区間（821a）と、前記水平拡張区間（821a）から延長されて陥没形成され、前記水平拡張区間（821a）の陥没深さより、漸次的に陥没形成される水平縮小区間（821b）にそれぞれ形成される。
このような構成により、前記離隔ガイドボール（812）が水平拡張区間（821a）に位置された状態では、それぞれの密閉板（820）が外側方向へ押され、前記第1、2移動通路（110、120）をそれぞれ密閉して、前記離隔ガイドボール（812）が、前記水平縮小区間（821b）に位置された状態では、それぞれの密閉板（820）が内側方向へ移動され、前記第1、2移動通路（110、120）をそれぞれ開放することを可能とする。
前記連結部材（830）は、それぞれの前記密閉板（820）の両内側の間に前記密閉板（820）が互いに連結されるように形成される構成要素で、前記密閉板（820）が円滑に水平方向へ拡大または縮小されるために弾性材質、伸縮材質などで形成されることが好ましい。
一方、それぞれの前記連結部材（830）側面には、前記第2ブレード（800）の外側に露出して形成される移動制限部（831）をさらに含むことにより、前記第2ブレード（800）が前記第1、2移動通路（110、120）を閉鎖するために下降する過程において、前記安着部（140）によって前記第2ブレード（800）の垂直移動が制限されれば、前記密閉板（820）の垂直移動は終了し、前記密閉板（820）の垂直移動が終了した状態で、第2駆動部（1000）によって発生する垂直力を利用して、前記第2ブレード（200）の水平移動ガイドバー（810）をさらに下降させれば、前記離隔ガイドボール（812）は、前記水平移動案内溝（821）に沿って移動するようになり、傾斜した前記水平移動案内溝（821）によって前記密閉板（820）は、水平方向へ開かれるようになることで、前記密閉板（820）が前記第1、2移動通路（110、120）を閉鎖できるようにすることを可能とする。
次に、第2のシャフト（900）について説明する。前記第2シャフト（900）は、図2または図7に示すように、駆動空間（未図示）内に設置された前記第2ブレード（800）の上部と結合される構成要素で、前記第2駆動部（1000）によって発生する駆動力を前記第2ブレード（800）に伝達し、前記第2ブレード（800）の垂直および水平方向の移動を可能とする。
次に、第2駆動部（1000）について説明する。前記第2駆動部（1000）は、図1または図6に示すように、前記第1駆動部（700）と同様に、内部に第2シリンダ部材（1010）が具備され、空気圧によって前記第2シリンダ部材（1010）を上下に駆動させる構成要素で、本発明が属する分野で広く知られた水準の技術水準に該当するので、詳細な説明は省略する。
以下では、図7〜図9を参照し、本発明の一実施例に係る両方向ゲートバルブ（1）の構成中、第1ブレード（200）が、第1移動通路を閉鎖する過程について説明する。
まず、図7に示すように、最初の作動前状態では、前記第1ブレード（200）と、第1シャフト（300）、Ｌ−モーションブロック（500）は、開放方向（Ｏ）に傾いている状態を維持することとなる。
以後、図8に示すように、前記第1駆動部（700）の作動により、前記第1シリンダ部材（710）が垂直方向へ上昇するようになれば、前記第1ブレード（200）と、第1シャフト（300）、Ｌ−モーションブロック（500）は、開放方向（Ｏ）に傾いている状態で、垂直方向に上昇するようになって、この時、前記第1、2、3ローラー（510、531、620）は、前記回転ガイド溝（410）、Ｌ−モーションブロック移動溝（420）、ムービングユニット案内溝（430）に沿って上部方向へ移動することとなる。
この状態で、前記ガイドリンク（530）は、垂直状態を維持し、移動するようになって、前記リンク（610）は最初傾斜した状態を維持し、移動することとなる。
以後、図9に示すように、前記Ｌ−モーションブロック（500）の垂直移動が完了した状態で、ずっと上昇する前記第1シリンダ部材（710）により、前記ムービングユニット（600）が所定の高さに上昇することとなって、これにより、リンク（610）は傾斜した状態で平行状態に変換されることで、前記Ｌ−モーションブロック（500）の下部を開放方向（Ｏ）へ押すこととなり、結論的に前記Ｌ−モーションブロック（500）は、前記第1ローラー（510）を中心に閉鎖方向（C）へ回転するようになり、前記Ｌ−モーションブロック（500）は、直角状態を形成するようになる。
前記Ｌ−モーションブロック（500）が直角状態を形成することにより、前記Ｌ−モーションブロック（500）と連結された前記第1ブレード（200）および第1シャフト（300）または、閉鎖方向（C）へ水平移動され、直角状態を形成することで、前記第1ブレード（200）が前記第1移動通路（110）を閉鎖することとなる。
一方、前記第1移動通路（110）の開放の過程は、閉鎖過程の逆の順序で進行される。
以下では、図10〜図12を参照し、本発明の一実施例に係る両方向ゲートバルブ（1）の構成中、第2ブレード（800）が、第1、2移動通路（110、120）を閉鎖する過程について説明する。
まず、図10に示すように、最初第2ブレード（800）が作動する前に、前記離隔ガイドボール（812）は、前記水平縮小区間（812b）にそれぞれ位置している。
以後、図11に示すように、前記第2駆動部（1000）の作動により、前記第2シリンダ部材（1010）が垂直方向へ下降すると、前記第2シリンダ部材（1010）と連結された前記第2シャフト（900）も下降することとなり、前記第2シャフト（900）と連結された前記水平移動ガイドバー（810）を含む前記第2ブレード（800）も下降することとなる。
このとき、前記離間ガイドボール（812）は、前記水平縮小区間（812b）にそれぞれ位置した状態を維持していることとなる。
以後、前記第2ブレード（800）は、前記連結部材（830）が前記安着部（140）にかかり、これ以上下降できず、垂直移動が完了した状態となる。
以後、図12に示すように、前記密閉板（820）が下方向へ垂直移動が制限された状態で、前記第2駆動部（1000）の駆動力をずっと第2シリンダ部材（1010）に印加するようになれば、前記第2シリンダ部材（1010）は、ずっと下降するようになり、前記水平移動ガイドバー（810）は、下方向に所定の距離だけ移動することとなる。
これによって、前記離隔ガイドボール（812）は、前記水平縮小区間（821b）から水平方向に拡張区間（821a）へ移動するようになって、傾斜するように形成された前記水平移動案内溝（821）の特性により、それぞれの前記密閉板（820）は、それぞれ水平方向へ開かれるようになることで、それぞれの前記密閉板（820）は、前記第1、2移動通路（110、120）を閉鎖することとなる。
一方、前記第1、2移動通路（110、120）の開放する過程は、閉鎖過程の逆順で進行される。
図面と明細書で最適の実施例が開示された。ここで特定の用語らが用いられたが、これは単に本発明を説明するための目的で用いられたものであり、意味の限定や特許請求の範囲に記載された本発明の範囲を制限するために用いられたのではない。従って、当該技術分野の通常の知識を有する者であれば、多様な変形および均等な他の実施例が可能であることを理解すべきである。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、添付された特許請求の範囲の技術的思想によって定められるべきである。
1 両方向ゲートバルブ
100 上部ハウジング
110 第1移動通路
120 第2移動通路
130 仕上げハウジング
140 安着部
200 第1ブレード
300 第1シャフト
400 下部ハウジング
410 回転ガイド溝
420 Ｌ−モーションブロック移動溝
421 垂直移動溝
422 閉鎖溝
430 ムービングユニット案内溝
500 Ｌ−モーションブロック
510 第1ローラー
520 結合部
530 ガイドリンク
531 第2ローラー
540 第1シャフト連結部
550 挿入突起
600 ムービングユニット
610 リンク
620 第3ローラー
700 第1駆動部
710 第1シリンダ部材
800 第2ブレード
810 水平移動ガイドバー
811 第2シャフト結合孔
812 離隔ガイドボール
820 密閉板
821 水平移動案内溝
821a 水平拡張区間
821b 水平縮小区間
830 連結部材
831 移動制限部
900 第2シャフト
1000 第2駆動部
1010 第2シリンダ部材
100 上部ハウジング
110 第1移動通路
120 第2移動通路
130 仕上げハウジング
140 安着部
200 第1ブレード
300 第1シャフト
400 下部ハウジング
410 回転ガイド溝
420 Ｌ−モーションブロック移動溝
421 垂直移動溝
422 閉鎖溝
430 ムービングユニット案内溝
500 Ｌ−モーションブロック
510 第1ローラー
520 結合部
530 ガイドリンク
531 第2ローラー
540 第1シャフト連結部
550 挿入突起
600 ムービングユニット
610 リンク
620 第3ローラー
700 第1駆動部
710 第1シリンダ部材
800 第2ブレード
810 水平移動ガイドバー
811 第2シャフト結合孔
812 離隔ガイドボール
820 密閉板
821 水平移動案内溝
821a 水平拡張区間
821b 水平縮小区間
830 連結部材
831 移動制限部
900 第2シャフト
1000 第2駆動部
1010 第2シリンダ部材
Claims (3)
- 前面と後面がそれぞれ開口された第1、2移動通路（110、120）が形成される上部ハウジング（100）と、
前記上部ハウジング（100）内部に設置され、下部から上部へ移動し、前記第1移動通路（110）を開閉させる第1ブレード（200）と、
前記第1ブレード（200）下部に結合される第1シャフト（300）と、
前記上部ハウジング（100）の下部に形成され、両内側面には、第1ブレード（200）が閉鎖方向（C）へ向かう過程で、Ｌ−モーションブロック（500）の定位置回転をガイドする回転ガイド溝（410）がそれぞれ形成される下部ハウジング（400）と、
前記下部ハウジング（400）の内部に設置されて、前記第1シャフト（300）下部と結合され、両側上部に前記回転ガイド溝（410）にそれぞれ挿入される第1ローラー（510）と、下部にムービングユニット（600）と連結される結合部（520）が形成される前記Ｌ−モーションブロック（500）と、
中央に回転可能なリンク（610）が形成され、前記リンク（610）の一側は前記結合部（520）に連結されて、前記リンク（610）の他側は駆動部（700）と連結され、前記Ｌ−モーションブロック（500）を回転させる前記ムービングユニット（600）と、
前記リンク（610）に連結され、前記Ｌ−モーションブロック（500）を垂直移動させる第1駆動部（700）と、
前記上部ハウジング（100）内部に設置されて、上部から下部へ移動し、前記第1、2移動通路（110、120）を同時に開閉させ、前記第1、2移動通路（110、120）を閉鎖する過程で、その両側にそれぞれ形成された密閉板（820）が外側方向へ開かれ、前記第1、2移動通路（110、120）をそれぞれ密閉させる第2ブレード（800）と、
前記第2ブレード（800）上部に結合される第2シャフト（900）と、
前記上部ハウジング（100）上部に形成され、前記第2シャフト（900）と連結されて、前記第2ブレード（800）を垂直移動させる第2駆動部（1000）と、で構成され、
前記第2ブレード（800）は、
中央に前記第2シャフト（900）と結合される第2シャフト結合部（811）が形成され、前面、後面にそれぞれ回転可能に具備される離隔ガイドボール（812）が複数個形成される水平移動ガイドバー（810）を具備し、
前記水平移動ガイドバー（810）の両側にそれぞれ前記密閉板（820）を具備し、該密閉板（820）は、前記離隔ガイドボール（812）とそれぞれ接触し、前記水平移動ガイドバー（810）が上、下方向へ移動することにより、前記離隔ガイドボール（812）の移動を案内する水平移動案内溝（821）を内側に含み、
それぞれの前記密閉板（820）の両内側面の間には、前記密閉板（820）が互いに連結されるように連結部材（830）をそれぞれ具備し、
それぞれの前記連結部材（830）側面に、前記第2ブレード（800）の外側へ露出され、形成される移動制限部（831）をそれぞれ具備し、
前記上部ハウジング（100）の両内側面には、前記第2ブレード（800）が下降する過程で、前記第2ブレード（800）の移動制限部（831）を支持し、前記第2ブレード（800）の垂直移動を制限するする支持部（140）が形成され,
前記下部ハウジング（400）の両内側面には、垂直に形成された垂直移動溝（421）および前記垂直移動溝（421）の上部から閉鎖方向（C）へ向かって水平方向に延長形成される閉鎖溝（422）を含むＬ−モーションブロック移動溝（420）が形成され、
前記結合部（520）の両側に回転可能に具備され、前記垂直移動溝（421）にそれぞれ挿入される第2ローラー（531）を含み、前記Ｌ−モーションブロック（500）と前記ムービングユニット（600）の間隔を調節するガイドリンク（530）が形成され、
前記ガイドリンク（530）の下部には、前記ムービングユニット（600）の垂直移動を制限する係止突起が突出形成され、該係止突起は、前記Ｌ−モーションブロック（500）の垂直移動が完了する前は前記ムービングユニット（600）のさらなる垂直移動を制限する
ことを特徴とする両方向ゲートバルブ（1）。 - 前記水平移動案内溝（821）は、
所定の深さに陥没形成される水平拡張区間（821a）と、前記水平拡張区間（821a）から延長され、
陥没形成される前記水平拡張区間（821a）の陥没深さより、漸次的に深く陥没形成される水平縮小区間（821b）にそれぞれ形成され、
前記離隔ガイドボール（812）が水平拡張区間（821a）に位置された状態では、それぞれの密閉板（820）が外側方向へ押され、前記第1、2移動通路（110、120）をそれぞれ密閉し、
前記離隔ガイドボール（812）が、前記水平縮小区間（821b）に位置された状態では、それぞれの密閉板（820）が内側方向へ移動され、前記第1、2移動通路（110、120）をそれぞれ開放する
ことを特徴とする請求項1に記載の両方向ゲートバルブ（1）。 - 前記下部ハウジング（400）の両内側面には、前記ムービングユニット（600）の垂直移動をガイドするムービングユニット案内溝（430）が形成されて、
前記ムービングユニット（600）の両側には、前記ムービングユニット案内溝（430）にそれぞれ挿入され、前記ムービングユニット（600）の垂直移動をガイドする第3ローラー（620）が形成される
ことを特徴とする請求項１に記載の両方向ゲートバルブ（1）。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2015-0136296 | 2015-09-25 | ||
| KR1020150136296A KR101784839B1 (ko) | 2015-09-25 | 2015-09-25 | 양방향 게이트밸브 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2017062031A JP2017062031A (ja) | 2017-03-30 |
| JP6326458B2 true JP6326458B2 (ja) | 2018-05-16 |
Family
ID=58408680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016155870A Active JP6326458B2 (ja) | 2015-09-25 | 2016-08-08 | 両方向ゲートバルブ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9995402B2 (ja) |
| JP (1) | JP6326458B2 (ja) |
| KR (1) | KR101784839B1 (ja) |
| SG (1) | SG10201606543QA (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6388182B1 (ja) * | 2017-07-25 | 2018-09-12 | Smc株式会社 | ゲートバルブの取付構造 |
| JP7385400B2 (ja) * | 2018-09-26 | 2023-11-22 | 株式会社キッツエスシーティー | 真空用ゲートバルブ |
| DE102019001115A1 (de) * | 2019-02-15 | 2020-08-20 | Vat Holding Ag | Torventil mit Kulissenführung |
| KR102203831B1 (ko) * | 2019-09-23 | 2021-01-15 | 주식회사 퓨젠 | 게이트 진공 밸브용 액츄에이터 구조 |
| JP7089245B1 (ja) * | 2020-12-22 | 2022-06-22 | Smc株式会社 | デュアルゲートバルブ |
| KR102595747B1 (ko) * | 2022-03-08 | 2023-10-31 | 에이아이메카닉스 주식회사 | 게이트 밸브 |
Family Cites Families (36)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2776813A (en) * | 1955-08-04 | 1957-01-08 | Glenn R Blackman | Seal for gate valve |
| US2876986A (en) * | 1956-08-23 | 1959-03-10 | Hydril Co | Gate valve |
| US3027135A (en) * | 1959-11-10 | 1962-03-27 | George E Kellar | Double disc, bidirectional-flow gate valve |
| CH420758A (de) * | 1963-04-02 | 1966-09-15 | Schertler Siegfried | Absperrschieber |
| CH420759A (de) * | 1965-03-03 | 1966-09-15 | Schertler Siegfried | Absperrschieber, insbesondere für Gas- und Vakuumleitungen |
| CH582842A5 (ja) * | 1974-07-15 | 1976-12-15 | Vat Ag | |
| US4165858A (en) * | 1975-06-30 | 1979-08-28 | Thackrey James D | Gate valve structure |
| US4275763A (en) * | 1979-05-25 | 1981-06-30 | Standard Oil Company (Indiana) | Double-slide valve |
| JPS5684158U (ja) * | 1979-12-03 | 1981-07-07 | ||
| US4291861A (en) * | 1980-08-04 | 1981-09-29 | Thermionics Laboratory, Inc. | Gate valve with slideable closure expandable upon oscillation |
| US4408634A (en) * | 1981-11-05 | 1983-10-11 | Hps Corporation | Gate stop valve |
| US5269491A (en) * | 1992-03-10 | 1993-12-14 | Reynolds Calvin E | High vacuum valve |
| JPH0640530U (ja) * | 1992-11-06 | 1994-05-31 | 石川島播磨重工業株式会社 | 真空ゲート弁 |
| JP2613171B2 (ja) * | 1993-07-22 | 1997-05-21 | 株式会社岸川特殊バルブ | ゲートバルブ |
| US5379983A (en) * | 1993-12-21 | 1995-01-10 | Vat Holding Ag | Shut-off valves for pipelines |
| JP2766190B2 (ja) * | 1994-07-28 | 1998-06-18 | 入江工研株式会社 | 無しゅう動真空ゲートバルブ |
| US5881998A (en) * | 1997-07-14 | 1999-03-16 | Brenes; Arthur | Half profile slot valve |
| JPH11351419A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-24 | Irie Koken Kk | 無摺動ゲート弁 |
| US6267545B1 (en) * | 1999-03-29 | 2001-07-31 | Lam Research Corporation | Semiconductor processing platform architecture having processing module isolation capabilities |
| JP2001021048A (ja) * | 1999-06-29 | 2001-01-26 | Varian Inc | ランプアクチュエータ機構を有するゲートバルブ |
| US6913243B1 (en) * | 2000-03-30 | 2005-07-05 | Lam Research Corporation | Unitary slot valve actuator with dual valves |
| US6390448B1 (en) * | 2000-03-30 | 2002-05-21 | Lam Research Corporation | Single shaft dual cradle vacuum slot valve |
| US6612546B2 (en) * | 2001-08-01 | 2003-09-02 | Varian, Inc. | Gate valve with delayed retraction of counter plate |
| KR20030050409A (ko) | 2001-12-18 | 2003-06-25 | 주식회사 엠지아이 | 마운팅형 사각 게이트밸브 |
| US6896239B1 (en) * | 2003-04-22 | 2005-05-24 | Arthur J. Brenes | Method and apparatus for locking a valve |
| US7100892B2 (en) * | 2003-08-26 | 2006-09-05 | Kitz Sct Corporation | Non-rubbing gate valve for semiconductor fabrication apparatus |
| KR100779241B1 (ko) | 2006-11-02 | 2007-11-23 | 주식회사 비츠로테크 | 양면 진공 게이트 밸브 |
| KR100714249B1 (ko) * | 2007-03-29 | 2007-05-07 | 주식회사 에스티에스 | 구동이 개선된 사각형 진공 게이트 밸브 |
| DE102008049353A1 (de) * | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
| KR101071955B1 (ko) * | 2009-05-06 | 2011-10-11 | 주식회사 에스알티 | 게이트 밸브 |
| JP5365867B2 (ja) * | 2009-10-15 | 2013-12-11 | Ｓｍｃ株式会社 | ゲートバルブ |
| JP5533839B2 (ja) * | 2011-11-04 | 2014-06-25 | Ｓｍｃ株式会社 | 無摺動型ゲートバルブ |
| KR101375280B1 (ko) * | 2012-04-06 | 2014-03-17 | 프리시스 주식회사 | 게이트 밸브 |
| EP2749798B1 (de) * | 2012-12-27 | 2016-03-02 | VAT Holding AG | Vakuumschieberventil |
| EP2876341B1 (de) * | 2013-11-21 | 2015-10-21 | VAT Holding AG | Verfahren zum Betrieb eines Ventils |
| KR20160119643A (ko) * | 2015-04-06 | 2016-10-14 | 주식회사 퓨젠 | 사각 게이트 진공밸브 및 그 작동방법, 그리고 그를 구비하는 반도체 제조장치 |
-
2015
- 2015-09-25 KR KR1020150136296A patent/KR101784839B1/ko active IP Right Grant
-
2016
- 2016-08-08 US US15/230,640 patent/US9995402B2/en active Active
- 2016-08-08 SG SG10201606543QA patent/SG10201606543QA/en unknown
- 2016-08-08 JP JP2016155870A patent/JP6326458B2/ja active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SG10201606543QA (en) | 2017-04-27 |
| US20170089472A1 (en) | 2017-03-30 |
| KR101784839B1 (ko) | 2017-11-06 |
| KR20170037128A (ko) | 2017-04-04 |
| US9995402B2 (en) | 2018-06-12 |
| JP2017062031A (ja) | 2017-03-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6326458B2 (ja) | 両方向ゲートバルブ | |
| KR101376045B1 (ko) | 게이트 밸브 | |
| JP6115628B2 (ja) | ゲートバルブ | |
| JP6758717B2 (ja) | 真空バルブ | |
| TW201339457A (zh) | 無滑動型閘閥 | |
| TW201445662A (zh) | 載入埠裝置 | |
| TWI394695B (zh) | 一種具有橢圓門閂結構之前開式晶圓盒 | |
| KR101738598B1 (ko) | 양방향 게이트밸브 | |
| KR101071955B1 (ko) | 게이트 밸브 | |
| KR20160132155A (ko) | 게이트 밸브 | |
| CN103574083A (zh) | 利用倾斜驱动的闸门阀 | |
| KR101357104B1 (ko) | 챔버용 게이트밸브 구동장치 | |
| KR101358801B1 (ko) | 게이트 밸브 | |
| KR101725249B1 (ko) | 진공밸브 | |
| KR20050071931A (ko) | 게이트 밸브 | |
| KR20160150406A (ko) | 게이트 밸브 | |
| JP6242450B2 (ja) | 仕切弁 | |
| KR101600876B1 (ko) | 씰링확인이 가능한 슬릿밸브 | |
| KR101583458B1 (ko) | 유체이동 조절 장치 | |
| JP2016160984A (ja) | 仕切弁 | |
| KR102525650B1 (ko) | 락킹 확인 기능이 포함된 앵글밸브 | |
| KR101773169B1 (ko) | 기판 반송용 로봇 | |
| KR20240103401A (ko) | 진공 게이트 밸브 | |
| KR102011931B1 (ko) | 게이트밸브 | |
| KR101033029B1 (ko) | 평판 디스플레이 및 반도체 제조용 장비의 압력조절장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170629 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170704 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171004 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180320 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180416 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6326458 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |