KR101597600B1 - 핀형세그먼트가 구비된 게이트밸브 - Google Patents

핀형세그먼트가 구비된 게이트밸브 Download PDF

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프리시스 주식회사
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Abstract

본 발명은 핀형세그먼트가 구비된 게이트밸브에 관한 것으로서, 내측에 구동공간(110)이 형성되되, 양측면에 각각 웨이퍼가 이동되는 이동통로(120, 120`)와 하부에 샤프트(300)가 인입되는 삽입공(130)이 형성되는 밸브하우징(100);과, 상기 구동공간(110)에 설치되어 내측으로부터 상기 이동통로(120)를 개폐하되, 하부에 상기 샤프트(300)가 삽입되는 샤프트인입공(210)과 세그먼트(600)가 결합되는 세그먼트안착홈(220)이 각각 형성되는 밸브블레이드(200);와, 상기 밸브블레이드(200)와 연결되도록 상기 삽입공(130)을 통과하여 상기 샤프트인입공(210)에 삽입되는 샤프트(300);와, 상기 샤프트(300) 하부에 연결되어 상기 밸브블레이드(200)의 수직 및 수평이동을 가이드하는 구동블럭(400);과, 상기 밸브블레이드(200)에 의해 상기 이동통로(120)가 개폐되도록 상기 구동블럭(400)를 승하강시키는 구동부재(500);와, 상기 샤프트(300) 상부에 형성되되, 상기 세그먼트안착홈(220)에 결합되어 상기 구동부재(500)에 의해 상기 밸브블레이드(200)가 수직 및 수평 이동시 상기 밸브블레이드(200)의 회전을 방지하는 세그먼트(600);를 포함하여 구성되는 것을 특징이다.

Description

핀형세그먼트가 구비된 게이트밸브{The gate valve Equipped a pin-shaped segment}
본 발명은 핀형세그먼트가 구비된 게이트밸브에 관한 것으로서, 내측에 구동공간(110)이 형성되되, 양측면에 각각 웨이퍼가 이동되는 이동통로(120, 120`)와 하부에 샤프트(300)가 인입되는 삽입공(130)이 형성되는 밸브하우징(100);과, 상기 구동공간(110)에 설치되어 내측으로부터 상기 이동통로(120)를 개폐하되, 하부에 상기 샤프트(300)가 삽입되는 샤프트인입공(210)과 세그먼트(600)가 결합되는 세그먼트안착홈(220)이 각각 형성되는 밸브블레이드(200);와, 상기 밸브블레이드(200)와 연결되도록 상기 삽입공(130)을 통과하여 상기 샤프트인입공(210)에 삽입되는 샤프트(300);와, 상기 샤프트(300) 하부에 연결되어 상기 밸브블레이드(200)의 수직 및 수평이동을 가이드하는 구동블럭(400);과, 상기 밸브블레이드(200)에 의해 상기 이동통로(120)가 개폐되도록 상기 구동블럭(400)를 승하강시키는 구동부재(500);와, 상기 샤프트(300) 상부에 형성되되, 상기 세그먼트안착홈(220)에 결합되어 상기 구동부재(500)에 의해 상기 밸브블레이드(200)가 수직 및 수평 이동시 상기 밸브블레이드(200)의 회전을 방지하는 세그먼트(600);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 핀형세그먼트가 구비된 게이트밸브에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조공정은 고정밀도를 요구하는 공정으로서, 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되어 있다.
상기와 같은 이유로 반도체 소자는 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 완벽하게 차단한 상태, 즉, 진공상태에서 제조되고 있다.
따라서, 반도체 제조장치의 진공작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 주게 된다.
이러한 반도체 제조공정을 위해서는 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 공정챔버와 공정챔버 내의 공기를 흡입하는 진공펌프 및 공정챔버와 진공펌프 사이에 설치되어 진공펌프의 흡입력이 공정챔버로 전달되는 것을 조절하는 게이트밸브가 설치된다.
상기와 같은 게이트밸브는 구동부재의 구동력에 의해 구동부재와 연결되어 있는 밸브블레이드가 수직 및 수평 이동하여 이동통로를 개폐하는 역할을 함으로써, 공정챔버 내의 청결도를 유지시켜 작업의 효율성을 증진시기는 것을 가능하게 한다.
한편, 게이드밸브는 밸브블레이드와 샤프트가 탈착 가능하게 연결되어 개폐작동을 하게 되는데, 밸브블레이드가 수직 및 수평으로 이동할 경우, 이동에 의해 원통형상의 샤프트를 중심으로 밸브블레이드가 회전되는 것을 방지하도록 샤프트에 사각형상 등의 세그먼트를 설치함으로써, 이동통로 내부에 간섭되는 것을 차단하여 원활한 개폐작동을 실행할 수 있는 것을 가능하게 한다.
하기 특허문헌 1의 “진공 게이트밸브(대한민국 등록특허공보 제10-0960030호)”는 개구부(3)와 개구부(3)를 포위하는 밸브시트(40)가 있는 벽부(2)를 구비하는 밸브하우징(1)과 리셉터클(6)이 형성되고 개구부(30)를 폐쇄하는 밀봉면(7)을 구비한 밸브판(5) 및 리셉터클(6) 내에 결합되는 밸브로드(8)의 연결 세그먼트(9)에 의해 밸브판(5)에 탈착 가능하게 장착되며, 제어 기구(10)를 매개로 하여 밸브 로드 축선(11)을 추종하여 개구부(30) 위로 밸브판(5)을 이동시키고 밸브 시트(4)에 대하여 밸브판(5)의 밀봉면(7)을 압박함으로써 개구부(3)가 폐쇄될 수 있도록 지지 및 조정 가능한 밸브 로드(8)를 구비하고 리셉터클(6) 및 리셉터클(6) 내에 결합되는 연결 세그먼트(9)는 적어도 밸브판(5)이 첫번째로 밸브 시트(4)에 압박될 때, 밸브 로드 축선(11)에 관한 밸브판(5)의 정렬이 상기 밸브 시트(4)에 맞춰지도록 밸브판(5)이 밸브 로드 축선(11)을 중심으로 밸브 로드(8)에 대하여 적어도 부분적으로 회전할 수 있게 하는 레이디얼 베어링 세그먼트(12) 및 밸브판(5)이 개구부(3) 위로 이동하는 동안에는 과도한 회전각으로 인한 밸브 하우징(1)과 밸브판(5) 사이의 접촉이 발생하지 않도록 레이디얼 베어링 세그먼트(12)에 의해서 가능해지는 회전을 정해진 각도 범위(14)로 제한하는 회전각 제한 세그먼트(13)을 포함하여 형성되는 것이 특징으로서, 밸브판(5)이 개구부(3) 위로 이동되는 동안 회전 성능을 제한하는 수단으로 인해 밸브 하우징(1)과 밸브판(5) 사이의 접촉이 회피되어 안전하게 개구부(3)를 개폐할 수 있다는 장점이 있었다.
그러나, 상기 특허문헌 1의 “진공 게이트밸브”는 내측 다각 세크먼트(13b)가 외측 다각 세그먼트(13a)보다 초과치수를 갖기 때문에 밸브 로드(8)와 밸브판(5)을 탈착하는 작업은 수월하게 진행할 수 있으나, 밸브판(5)이 개구부(3) 위로 이동되는 동안 내측 다각 세크먼트(13b)와 외측 다각 세그먼트(13a) 사이의 공간으로 인해 유격이 존재하여 밸브판(5)이 회전 가능하게 되어, 밸브판(5)이 회전된다는 자체가 구조적으로 비효율적인 구조이고, 밸브판(5) 이동시 회전으로 인해 소음이 발생할 수 있으며, 회전각도범위(14)를 갖더라도 계속되는 반복작동으로 인해 접촉부위의 마모 또는 변형이 발생하게 되면 밸브 하우징(1)과 밸브판(5) 사이의 접촉이 발생되기 때문에 게이트밸브로서의 기능이 상실된다는 문제점이 있었다.
특허문헌 1 : 대한민국 등록특허공보 제10-0960030호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 샤프트 상부에 횡방향으로 원형의 핀형상으로 형성되는 세그먼트가 설치되고, 밸브블레이드 하면에 세그먼트와 호환되어 결합되는 세그먼트안착홈을 형성함으로써, 밸브블레이드와 세그먼트의 결합 및 분리가 원활하게 이루어지고, 세그먼트와 세그먼트안착홈의 결합관계가 유격되지 않은 결속력 높은 구조로 형성됨으로써, 밸브블레이드가 구동부재에 의해 수직 및 수평으로 이동하더라도 회전되는 것을 방지하여 리크현상이 차단되고 제품의 안전성 및 효율성을 확보할 수 있는 것이 가능한 핀형세그먼트가 구비된 게이트밸브를 제공하는 것이다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명에 따른 핀형세그먼트가 구비된 게이트밸브(1)는, 내측에 구동공간(110)이 형성되되, 양측면에 각각 웨이퍼가 이동되는 이동통로(120, 120`)와 하부에 샤프트(300)가 인입되는 삽입공(130)이 형성되는 밸브하우징(100);과, 상기 구동공간(110)에 설치되어 내측으로부터 상기 이동통로(120)를 개폐하되, 하부에 상기 샤프트(300)가 삽입되는 샤프트인입공(210)과 세그먼트(600)가 결합되는 세그먼트안착홈(220)이 각각 형성되는 밸브블레이드(200);와, 상기 밸브블레이드(200)와 연결되도록 상기 삽입공(130)을 통과하여 상기 샤프트인입공(210)에 삽입되는 샤프트(300);와, 상기 샤프트(300) 하부에 연결되어 상기 밸브블레이드(200)의 수직 및 수평이동을 가이드하는 구동블럭(400);과, 상기 밸브블레이드(200)에 의해 상기 이동통로(120)가 개폐되도록 상기 구동블럭(400)를 승하강시키는 구동부재(500);와, 상기 샤프트(300) 상부에 형성되되, 상기 세그먼트안착홈(220)에 결합되어 상기 구동부재(500)에 의해 상기 밸브블레이드(200)가 수직 및 수평 이동시 상기 밸브블레이드(200)의 회전을 방지하는 세그먼트(600);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 원형의 핀형상으로 형성되어 상기 샤프트(300) 상부에 횡방향으로 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 샤프트인입공(210)은, 상기 샤프트인입공(210)에 삽입되는 상기 샤프트(300) 상부의 지름과 같거나 크게 형성되고, 상기 세그먼트안착홈(220)은, 상기 밸브블레이드(200)와 샤프트(300)를 연결하기 위해 상기 샤프트인입공(210)에 상기 샤프트(300)를 삽입하는 과정에서 상기 세그먼트(600)가 안착되도록 상기 밸브블레이드(200)의 하면에서 내측방향으로 상기 세그먼트(600)와 동일한 지름으로 함몰형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 샤프트 상부에 횡방향으로 원형의 핀형상으로 형성되는 세그먼트가 설치되고, 밸브블레이드 하면에 세그먼트와 호환되어 결합되는 세그먼트안착홈을 형성함으로써, 밸브블레이드와 세그먼트의 결합 및 분리가 원활하게 이루어지고, 세그먼트와 세그먼트안착홈의 결합관계가 유격되지 않은 결속력 높은 구조로 형성됨으로써, 밸브블레이드가 구동부재에 의해 수직 및 수평으로 이동하더라도 회전되는 것을 방지하여 리크현상이 차단되고 제품의 안전성 및 효율성을 확보할 수 있다는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 핀형세그먼트가 구비된 게이트밸브의 전체 모습을 보인 사시도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 핀형세그먼트가 구비된 게이트밸브의 분해된 모습을 보인 분해사시도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 핀형세그먼트가 구비된 게이트밸브의 구성 중 밸브블레이드와 샤프트 및 세그먼트의 분해된 분해단면도
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 핀형세그먼트가 구비된 게이트밸브가 구성 중 밸브블레이드와 샤프트 및 세그먼트의 결합된 모습을 결합단면도
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 핀형세그먼트가 구비된 게이트밸브의 도 4의 A-A` 단면을 저면에서 보인 단면도
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 핀형세그먼트가 구비된 게이트밸브의 도 4의 B-B` 단면을 우측면에서 보인 단면도
이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 핀형세그먼트가 구비된 게이트밸브(1)를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
본 발명은 도 2에 나타낸 것과 같이 크게, 밸브하우징(100), 밸브블레이드(200), 샤프트(300) 및 세그먼트(600)로 구성된다.
설명에 앞서, 도 6은 도 4의 B-B`의 단면을 우측면에서 보인 도면으로서, 도 6의 중앙부를 중심으로 종단면도로 나타내면, 실제 본 발명의 구성상 밸브블레이드(200), 샤프트(300) 및 구동블럭(400)은 상기 이동통로(120)의 내측과 접촉하기 전 상태이므로 기울여져 있는 상태로 표현되는 것이 맞는 표현이나, 본 발명을 이해를 돕기 위해 상기 밸브블레이드(200), 샤프트(300) 및 구동블럭(400)을 직립된 상태로 표현하였음에 유의하여야 한다.
먼저, 밸브하우징(100)에 대하여 설명한다. 상기 밸브하우징(100)은 도 1 또는 도 2에 나타낸 것과 같이, 양측면에 각각 웨이퍼가 이동되도록 길게 타공형성되는 이동통로(120, 120`)가 형성된 구성요소로서, 상기 밸브하우징(100)은 내측에 구동공간(110)이 형성되어 후술할 밸브블레이드(120)가 수직 및 수평으로 이동되는 것을 가능하게 한다.
한편, 상기 밸브하우징(100)의 하부에는 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 원형으로 타공형성되는 삽입공(130)이 형성되는 받침하우징(101)이 구비되는데, 이로 인하여 상기 삽입공(130)을 통해 후술할 샤프트(300)가 인입되어 상기 구동공간(110) 내에 위치한 상기 밸브블레이드(200)와 연결되는 것을 가능하게 한다.
한편, 상기 밸브하우징(100)과 받침하우징(101)은 상기 밸브하우징(100) 내부의 기밀성을 높이기 위하여 일체로 형성되는 것도 가능하다.
다음으로, 밸브블레이드(200)에 대하여 설명한다. 상기 밸브블레이드(200)는 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 밸브하우징(100)의 구동공간(110) 내에 설치되는 구성요소로써, 상기 블레이드(200)는 후술할 구동부재(500)에 의하여 수직 및 수평으로 이동되면서 상기 이동통로(120)를 개폐하는 역할을 한다.
본 발명에 있어서, 상기 밸브블레이드(200)는 하부에 상기 샤프트(300)가 삽입되는 샤프트삽입공(210)과 후술할 세그먼트(600)가 결합되는 세그먼트안착홈(220)이 각각 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 샤프트삽입공(210)은 도 3 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 삽입공(130)을 통과한 상기 샤프트(300) 상부가 인입되는 공간으로서, 상기 샤프트삽입공(210)을 통해 상기 밸브블레이드(200)와 샤프트(300)가 연결됨으로써, 상기 구동부재(500)의 구동력을 상기 밸브블레이드에 전달하는 것을 가능하게 한다.
한편, 상기 샤프트삽입공(210)은 필요에 따라 상기 샤프트삽입공(210)의 지름을 상기 샤프트(300) 상부의 지름과 같거나 크게 형성하는 것이 가능하다.
상기 샤프트삽입공(210)의 지름을 상기 샤프트(300) 상부의 지름과 같게 형성할 경우에는, 상기 밸브블레이드(200)와 샤프트(300)의 결합성 증가로 인한 일체성을 확보할 수 있는 효과가 있다.
한편, 상기 샤프트삽입공(210)의 지름을 상기 샤프트(300) 상부의 지름보다 크게 형성할 경우에는, 상기 샤프트삽입공(210)의 내측연과 샤프트(300)의 외측연의 맞닿지 않는 상태가 되기 때문에, 상기 밸브블레이드(200) 교체시, 원활하게 상기 밸브블레이드(200)와 샤프트(300)를 분리할 수 있는 것을 가능하게 한다.
상기 세그먼트안착홈(220)은 도 6에 나타낸 것과 같이, 상기 밸브블레이드(200)와 샤프트(300)를 연결하기 위해 상기 샤프트인입공(210)에 상기 샤프트(300)를 삽입하는 과정에서 상기 세그먼트(600)가 안착되도록 상기 밸브블레이드(200)의 하면에서 내측방향으로 상기 세그먼트(600)와 동일한 지름으로 함몰형성함으로써, 상기 세그먼트(600)와의 결합 호환성을 높이는 것을 가능하게 한다.
한편, 상기 밸브블레이드(200)의 내부에는 상기 샤프트(300)와의 결합성을 높이기 위하여 상기 밸브블레이드(200) 상면으로부터 상기 샤프트삽입공(210)까지 통공형성되는 제1 체결공(230)을 구성함으로써, 상기 밸브블레이드(200)와 샤프트(300)를 볼트 또는 피스 등으로 결합할 수 있는 것을 가능하게 한다.
다음으로 샤프트(300)에 대하여 설명한다. 상기 샤프트(300)는 도 3 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 삽입공(130)을 통과하여 상기 샤프트인입공(210)에 삽입되어 상기 밸브블레이드(200)와 결합되는 구성요소로써, 상기 구동부재(500)의 구동력을 상기 밸브블레이드(200)에 전달하는 역할을 한다.
한편, 상기 샤프트(300)의 상부에는 상기 세그먼트(600)가 결합되도록 횡방향으로 타공형성되는 세그먼트결합공(310)이 구성되는데, 이로 인하여 상기 세그먼트(600)가 상기 샤프트(300)와 결합되는 것이 가능하게 된다.
이때, 상기 세그먼트(600)는 상기 세그먼트결합공(310)에 고정되어 결합되거나 탈착가능하게 결합되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 샤프트(300)의 상부 내측에는 상기 밸브블레이드(200)의 체결공(230)과 연통되는 제2 체결공(320)을 구성함으로써, 상기 제1, 2 체결공(320)에 삽입되는 볼트 또는 피스 등에 의해 상기 밸브블레이드(200)와 샤프트(300)를 결합할 수 있는 것을 가능하게 한다.
다음으로, 구동블럭(400)에 대하여 설명한다. 상기 구동블럭(400)은 도 2에 나타낸 것과 같이, 상기 샤프트(300)와 연결되어 상기 구동부재(500)의 구동력에 의해 작동되는 상기 밸브블레이드(200)의 수직 및 수평으로의 이동을 가이드 하는 부재로서, 상기 구동블럭(400)은 다양하게 구성되어 상기 밸브블레이드(200)의 이동을 가이드 하는 구성요소에 해당하므로, 상세한 설명은 생략한다.
한편, 상기 구동블럭(400)은 안정적인 작동을 위하여 외부와의 접촉을 차단하도록 도 1 또는 도 2에 나타낸 것과 같이, 외부에 하부하우징(700)이 설치되는 것이 바람직하다.
다음으로, 구동부재(500)에 대하여 설명한다. 상기 구동부재(500)는 도 1 또는 도 2에 나타낸 것과 같이, 상기 구동블럭(400)과 연결되어 상기 구동블럭(400)을 상승 및 하강시켜 상기 밸브블레이드(200)를 수직 및 수평으로 이동시키는 구성요소로써, 본 발명의 도면에서는 엑츄에이터 타입의 구동장치를 예를 들어 설명하였으나, 공압을 이용한 실린더 등 다양하게 구성되는 것이 가능하다.
다음으로, 세그먼트(600)에 대하여 설명한다. 상기 세그먼트(600)는 도 3 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 세그먼트결합공(310)에 연결되어 상기 세그먼트안착홈(220)에 결합되는 구성요소로써, 상기 세그먼트(600)는 상기 밸브블레이드(200)가 상기 구동부재(500)와 연결되어 있는 상기 구동블럭(400)에 의해 수직 및 수평으로 이동할 때 상기 밸브블레이드(200)의 회전을 방지하는 역할을 한다.
상기 세그먼트(600)는 도 5에 나타낸 것과 같이, 원형의 핀형상으로 형성되어 상기 세그먼트결합공(310)에 삽입되고, 삽입된 부분을 제외한 나머지 부분이 상기 샤프트(300)의 양쪽으로 대칭을 이루며 노출되며, 노출된 부분은 상기 세그먼트안착홈(220)에 정확히 안착됨으로써, 상기 샤프트삽입공(210)의 지름이 상기 샤프트(300) 상부의 지름보다 크게 형성된 상태에서 상기 샤프트(300)가 샤프트삽입공(210)에 인입된 경우, 상기 샤프트삽입공(210)와 샤프트(300) 사이에 공간이 형성되더라도 상기 밸브블레이드(200)와 샤프트(300)를 견고하게 연결할 수 있는 것이 가능해 진다.
한편, 도 5에 나타낸 것과 같이, 상기 세그먼트(600)를 횡방향으로 길게 형성함으로써, 기존의 사각 또는 다각으로 형성된 각형세그먼트 보다 회전으로 인해 발생되는 모멘트에 대한 반력범위가 넓기 때문에 보다 안정적으로 밸브블레이드(200)의 작동이 가능해 진다.
한편, 상기 세그먼트(600)를 원형의 핀형상으로 형성함으로써, 상기 밸브블레이드(200) 교체시, 상기 밸브블레이드(200)와 샤프트(300)를 원활하게 분리할 수 있는 것이 가능해 진다.
이는, 도 6에 나타낸 것과 같이, 상기 세그먼트안착홈(220)에 인입된 상기 세그먼트(600)는 상기 세그먼트안착홈(220)의 내측면과 상기 세그먼트(600)의 외주연의 접촉하는 면이 적기 때문에, 상기 세그먼트안착홈(220)에서 상기 세그먼트(600)가 이탈될 경우, 마찰이 적게 발생되어 상기 밸브블레이드(200)와 샤프트(300)가 쉽게 분리되는 것을 가능하게 한다.
도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
1: 핀형세그먼트가 구비된 게이트밸브
100: 밸브하우징 101: 받침하우징
110: 구동공간 120, 120`: 이동통로
130: 삽입공
200: 밸브블레이드 210: 샤프트인입공
220: 세그먼트안착홈 230: 제1 체결공
300: 샤프트 310: 세그먼트결합공
320: 제2 체결공
400: 구동블럭
500: 구동부재
600: 세그먼트
700: 하부하우징

Claims (3)

  1. 내측에 구동공간(110)이 형성되되, 양측면에 각각 웨이퍼가 이동되는 이동통로(120, 120`)와 하부에 샤프트(300)가 인입되는 삽입공(130)이 형성되는 밸브하우징(100);
    상기 구동공간(110)에 설치되어 내측으로부터 상기 이동통로(120)를 개폐하되, 하부에 상기 샤프트(300)가 삽입되는 샤프트인입공(210)과 세그먼트(600)가 결합되는 세그먼트안착홈(220)이 각각 형성되는 밸브블레이드(200);
    상기 밸브블레이드(200)와 연결되도록 상기 삽입공(130)을 통과하여 상기 샤프트인입공(210)에 삽입되는 샤프트(300);
    상기 샤프트(300) 하부에 연결되어 상기 밸브블레이드(200)의 수직 및 수평이동을 가이드하는 구동블럭(400);
    상기 밸브블레이드(200)에 의해 상기 이동통로(120)가 개폐되도록 상기 구동블럭(400)를 승하강시키는 구동부재(500);
    상기 샤프트(300) 상부에 형성되되, 상기 세그먼트안착홈(220)에 결합되어 상기 구동부재(500)에 의해 상기 밸브블레이드(200)가 수직 및 수평 이동시 상기 밸브블레이드(200)의 회전을 방지하는 세그먼트(600);를 포함하여 구성되되,
    상기 세그먼트(600)는 원형의 핀형상으로 형성되어 상기 샤프트(300) 상부에 횡방향으로 설치되고,
    상기 세그먼트안착홈(220)은 상기 밸브블레이드(200)와 샤프트(300)를 연결하기 위해 상기 샤프트인입공(210)에 상기 샤프트(300)를 삽입하는 과정에서 상기 세그먼트(600)가 안착되도록 상기 밸브블레이드(200)의 하면에서 내측방향으로 상기 세그먼트(600)와 동일한 지름으로 함몰형성되며,
    상기 샤프트(300)의 상부에는 상기 세그먼트(600)가 탈착가능하게 결합되도록 횡방향으로 세그먼트결합공(310)이 타공형성되는 것을 특징으로 하는 핀형세그먼트가 구비된 게이트밸브(1).
  2. 삭제
  3. 청구항 제1항에 있어서,
    상기 샤프트인입공(210)은,
    상기 샤프트인입공(210)에 삽입되는 상기 샤프트(300) 상부의 지름과 같거나 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 핀형세그먼트가 구비된 게이트밸브(1).
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008025835A (ja) * 2006-07-18 2008-02-07 Vat Holding Ag 真空弁、及び連結棒に取り付け可能な閉鎖ディスク
KR100960030B1 (ko) 2004-03-12 2010-05-28 배트 홀딩 아게 진공 게이트 밸브
KR20110102328A (ko) * 2008-12-11 2011-09-16 배트 홀딩 아게 밸브 로드 상에의 밸브 플레이트의 설치
KR20130113625A (ko) * 2012-04-06 2013-10-16 프리시스 주식회사 게이트 밸브

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100960030B1 (ko) 2004-03-12 2010-05-28 배트 홀딩 아게 진공 게이트 밸브
JP2008025835A (ja) * 2006-07-18 2008-02-07 Vat Holding Ag 真空弁、及び連結棒に取り付け可能な閉鎖ディスク
KR20110102328A (ko) * 2008-12-11 2011-09-16 배트 홀딩 아게 밸브 로드 상에의 밸브 플레이트의 설치
KR20130113625A (ko) * 2012-04-06 2013-10-16 프리시스 주식회사 게이트 밸브

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