KR102180597B1 - 게이트 밸브 및 게이트 밸브 제어 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 정상 밀폐 여부를 판별가능한 게이트 밸브 제어 시스템에 관한 것으로, 챔버와 펌프 사이의 개폐여부를 조절하는 게이트 밸브가 구비되고, 구비된 게이트 밸브는 정상 밀폐여부를 판별할 수 있는 게이트 밸브 제어 시스템을 제공한다.
또한, 본 발명은 게이트 밸브가 각각 내측이 개구되어 유체 통로가 구비된 플랜지부, 팽창부 및 실링부를 둘씩 대칭되도록 포함하고, 상기 유체 통로를 개폐하는 판 형상의 커버부를 더 포함하는 게이트 밸브 제어 시스템을 제공한다.

Description

게이트 밸브 및 게이트 밸브 제어 시스템{GATE VALVE AND GATE VALVE CONTROL SYSTEM}
본 발명은 게이트 밸브 제어 시스템에 관한 것으로, 정상 밀폐 여부를 판별가능한 게이트 밸브 제어 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 반도체는 고정밀도를 요구하므로 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다. 이러한 이유로 반도체 소자는 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공상태에서 제조되며, 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다.
따라서, 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 공정 챔버(1)와 상기 공정 챔버(1) 내의 공기를 흡입하는 진공 펌프(2)와의 사이에 게이트 밸브(G)가 설치되어 진공 펌프(2)의 흡입력이 공정 챔버(1)로 전달되는 것을 개폐하고 있다.
이와 관련된 선행기술로는 등록특허 10-1258489호 및 등록특허 10-0954212호가 있다. 종래의 게이트 밸브(G)에 따르면 게이트 밸브(G)의 밀폐도를 검사하거나, 불량을 검사할 수 있는 기능이 없어 게이트 밸브(G)가 닫혔음에도 불구하고 밀폐부의 마모, 파손 등으로 인해 이물질이 역류하는 것을 방지할 수 없다. 따라서 본 발명은 게이트 밸브(G)의 닫힘 상태가 정상인지 판별할 수 있는 게이트 밸브(G) 제어 시스템을 제공하고자 한다.
대한민국 등록특허 10-1258489호(2013.04.22 등록) 대한민국 등록특허 10-0954212호(2010.04.14 등록)
본 발명은 챔버와 펌프 사이의 개폐를 제어하는 게이트 밸브를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 게이트 밸브의 폐쇄 시 밀폐의 정확도를 검사하여 게이트 밸브의 불량을 검출하는 것을 목적으로 한다.
또한, 팽창부를 통해 게이트 밸브의 개방시, 제 1 실링부 및 제 2 실링부가 서로 접하여 통로를 밀폐시킬 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 게이트 밸브의 개폐를 제어부를 통해 자동제어가 가능한 것을 목적으로 한다.
상기한 발명을 달성하기 위하여, 본 발명은 챔버와 펌프 사이의 개폐여부를 조절하는 게이트 밸브가 구비되고, 구비된 게이트 밸브는 정상 밀폐여부를 판별할 수 있는 게이트 밸브 제어 시스템을 제공한다.
또한, 본 발명은 게이트 밸브가 각각 내측이 개구되어 유체 통로가 구비된 플랜지부, 팽창부 및 실링부를 둘씩 대칭되도록 포함하고, 상기 유체 통로를 개폐하는 판 형상의 커버부를 더 포함하는 게이트 밸브 제어 시스템을 제공한다.
본 발명에 따르면, 각 통전부의 접촉여부에 따라 전류의 흐름 여부를 파악하여 커버부 및 실링부의 정상 밀폐여부를 확인할 수 있는 효과가 있다.
또한, 정상 밀폐여부를 확인하여 이물질의 역류를 방지할 수 있는 효과가 있으며, 게이트 밸브의 불량 판단시 교체할 수 있는 효과가 있다.
또한, 팽창부에 의해 게이트 밸브의 개방시 커버부의 두께만큼 팽창부가 팽창하여 유체 통로를 밀폐시킬 수 있는 효과가 있다.
이로 인해, 게이트 밸브의 불량을 방지하고 밀폐도를 향상시켜 반도체 제조시 양품의 반도체를 제공할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 게이트 밸브 제어 시스템을 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명의 게이트 밸브를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 게이트 밸브의 결합관계를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 게이트 밸브의 폐쇄 상태를 나타낸 해부도이다.
도 5는 본 발명의 게이트 밸브의 개방 상태를 나타낸 해부도이다.
도 6은 본 발명의 게이트 밸브의 폐쇄시 통전부가 전기적으로 연결된 모습을 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 발명의 게이트 밸브의 개방시 팽창부가 팽창된 모습을 나타낸 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 여러가지 상이한 형태로 구형될 수 있어 이하에서 기재되거나 도면에 도시되는 실시예에 한정되지 않는다. 또한, 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해 본 발명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 도면에서 동일하거나 유사한 부호들은 동일하거나 유사한 구성요소들을 나타낸다.
본 발명의 목적 및 효과는 하기의 설명에 의해서 자연스럽게 이해되거나 보다 분명해질 수 있으며, 하기의 기재만으로 본 발명의 목적 및 효과가 제한되는 것은 아니다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 게이트 밸브 제어 시스템을 나타낸 개략도이다.
도 1을 참조하면, 게이트 밸브(G)는 반도체 설비의 챔버(1)와 펌프(2) 사이에 구비될 수 있다. 상세하게, 게이트 밸브(G)는 챔버(1)와 펌프(2)를 연결하도록 사이에 구비될 수도 있으나, 챔버(1)와 펌프(2)를 연결하는 별도의 배관(L) 사이에 구비되는 것이 바람직하다. 구비된 게이트 밸브(G)는 제어부(500)에 의해 폐쇄 및 개방이 제어될 수 있으며, 폐쇄 또는 개방시에도 제어부(500)에 의해 정상 폐쇄여부 등을 판단하여 게이트 밸브(G)가 제어될 수 있다.
이하, 도 2 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브를 보다 상세히 설명하도록 한다. 도 2는 본 발명의 게이트 밸브를 나타낸 도면이고, 도 3은 본 발명의 게이트 밸브의 결합관계를 나타낸 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 게이트 밸브(G)는 각각 내측이 개구되어 유체통로(3)가 구비된 한 쌍의 플랜지부(110, 120), 팽창부(210, 220) 및 실링부(310, 320)를 포함하고, 한 쌍의 실링부(310, 320) 사이에 구비되어 게이트 밸브(G)의 유체 통로(3)를 개폐하는 판 형상의 커버부(410)를 더 포함한다. 또한, 게이트 밸브(G)의 플랜지부(110, 120)와 연결되는 몸체부(10)와 커버부(410)와 연결되는 판 형상의 이동부(420)를 포함하고, 이동부(420)의 일단은 몸체부(10)의 일단에 구비된 제어부(500)와 연결될 수 있다.
플랜지부(110, 120)는 도 3에서와 같이 게이트 밸브(G)의 최상측 및 최하측에 각각 한 쌍으로 구비될 수 있다. 설명의 편의상 도 3을 기준으로 최상측에 위치한 플랜지부(110)를 제 1 플랜지부(110)라 하며, 최하측에 위치한 플랜지부(120)를 제 2 플랜지부(120)라 설명하고, 각각의 제 1 플랜지부(110) 및 제 2 플랜지부(120)를 통틀어 플랜지부(110, 120)라 설명하도록 한다. 플랜지부(110, 120)는 챔버(1)와 펌프(2) 사이의 배관(L)에 연결되는 구성으로, 파손되지 않도록 단단한 재질로 구비되는 것이 바람직하다. 플랜지부(110, 120)는 배관(L)의 둘레에 연결되어 배관(L)을 따라 이동되는 유체가 통과할 수 있도록 내측이 개구된 유체 통로(3)를 구비한 링 형상으로 구비되는 것이 바람직하다. 각각의 플랜지부(110, 120)는 배관(L)과 연결될 수 있도록 상면 또는 하면의 둘레면에 복수의 나사 연결공을 구비할 수 있다. 상세하게, 제 1 플랜지부(110)의 상면 둘레면 및 제 2 플랜지부(120)의 하면 둘레면에는 배관(L)과 연결될 수 있는 나사 연결공을 구비할 수 있으며, 나사 연결공은 내측에 나사골이 구비되는 것이 바람직하다. 각각의 플랜지부(110, 120)는 몸체부(10)의 타단이 연결될 수 있다. 몸체부(10)는 후술될 이동부(420)를 보호하고, 게이트 밸브(G)를 고정시키는 구성으로, 제 1 플랜지부(110)와 연결된 제 1 몸체부(11) 및 제 2 플랜지부(120)와 연결된 제 2 몸체부(12)로 구성될 수 있다.
팽창부(210, 220)는 팽창 및 수축을 통해 게이트 밸브(G)의 유체 통로(3)를 밀폐시키는 구성으로 각각의 플랜지부(110, 120)의 상측 또는 하측에 구비된다. 상세하게, 제 1 플랜지부(110)의 하면에 접하도록 제 1 팽창부(210)가 구비될 수 있으며, 제 2 플랜지부(120)의 상면에 접하도록 제 2 팽창부(220)가 구비될 수 있다. 각각의 팽창부(210, 220)는 제어부(500)에 의해 팽창 또는 수축이 제어될 수 있다. 상세하게, 팽창부(210, 220)는 유체가 통과할 수 있도록 내측이 개구된 유체 통로(3)를 구비한 링 형상으로 구비되는 것이 바람직하다. 이때, 개구된 내측은 상술한 플랜지부(110, 120)의 개구된 내측과 직경이 동일하도록 구비되는 것이 바람직하다. 보다 상세하게, 팽창부(210, 220)는 내측에 개구된 유체 통로(3)를 구비하고, 내측에 기체의 유입 또는 방출로 인한 팽창 또는 수축으로 높이가 조절될 수 있는 구성으로, 탄성력 및 복원력이 있는 재질로 구비되는 것이 바람직하다.
실링부(310, 320)는 각각의 팽창부(210, 220)의 하측 또는 상측에 구비되어 게이트 밸브(G)의 유체 통로(3)를 가이드하는 구성으로, 기밀하게 밀폐시킬 수 있도록 복원력 및 탄성력이 있는 재질로 구비될 수 있다. 보다 바람직하게는 고무, 실리콘 등의 합성수지로 구비되는 것이 바람직하다. 상세하게, 각각의 실링부(310, 320)의 하면 또는 상면에는 복수의 실링 통전부(311, 321)가 더 구비될 수 있다. 보다 상세하게, 제 1 팽창부(210)의 하측에 구비된 제 1 실링부(310)의 하면에 둘레방향을 따라 복수의 제 1 실링 통전부(311)가 구비될 수 있으며, 제 1 실링 통전부(311)는 일정한 소정 간격 이격되도록 복수개 구비되는 것이 바람직하다. 또한, 제 2 팽창부(22)의 상측에 구비된 제 2 실링부(320)의 상면에 둘레방향을 따라 복수의 제 2 실링 통전부(321)가 구비될 수 있으며, 제 2 실링 통전부(321)는 상술한 제 1 실링 통전부(311)와 대칭되도록 일정한 소정 간격 이격되도록 복수개 구비되는 것이 바람직하다. 여기서, 각각의 실링 통전부(311, 321)는 전류가 흐를 수 있는 전도성 재질로 구비되는 것이 바람직하며, 복수의 실링 통전부(311, 321)는 서로 소정 간격 이격되도록 구비되어 전기적으로 연결되지 않도록 구비되는 것이 바람직하다.
커버부(410)는 커버부(410)와 타단이 연결된 이동부(420)의 슬라이드 이동에 의해 게이트 밸브(G)의 유체 통로(3)를 폐쇄 또는 개방을 조절하는 구성이다. 상세하게, 커버부(410)는 유체 통로(3)를 개폐하는 판 형상으로 구비되며, 제 1 실링부(310) 및 제 2 실링부(320)사이에 구비되는 것이 바람직하다. 보다 상세하게, 커버부(410)는 유체 통로(3)의 내직경보다 크게 구비되는 것이 바람직하며, 원판 또는 사각 판으로 구비되는 것이 바람직하다. 구체적으로, 커버부(410)는 상면 및 하면에 둘레 방향을 따라 복수의 커버 통전부(411, 412)가 구비되는 것이 바람직하다. 커버 통전부(411, 412)는 전류가 흐를 수 있는 전도성 재질로 구비되는 것이 바람직하며, 상세하게는 상술한 실링 통전부(311, 321)와 동일한 재질로 구비되는 것이 바람직하다. 일 실시예에 따르면, 커버 통전부(411, 412)는 원판 형상의 커버부(410)의 둘레방향을 따라 소정 간격 이격되도록 각각 상면에는 제 1 커버 통전부(311)가 하면에는 제 2 커버 통전부(412)가 구비되는 것이 바람직하다. 이때, 제 1 커버 통전부(311) 및 제 2 커버 통전부(412)는 각각 상술한 실링 통전부(311, 321)와 서로 교차되는 위치에 구비되는 것이 바람직하다. 구체적으로, 제 1 실링 통전부(311)의 소정 간격 중심에 제 1 커버 통전부(411)의 중심이 대응되고, 제 2 실링 통전부(321)의 소정 간격 중심에 제 2 커버 통전부(412)의 중심이 대응되도록 구비되는 것이 바람직하다. 따라서, 커버부(410)가 유체 통로(3)를 폐쇄시, 복수의 제 1 실링 통전부(311) 및 제 1 커버 통전부(411)가 서로 전기적으로 연결되고, 복수의 제 2 실링 통전부(321) 및 제 2 커버 통전부(412)가 서로 전기적으로 연결되어 각각에 전류가 흐를 수 있도록 구비되는 것이 바람직하다. 따라서, 커버부(410)의 폐쇄시 각각의 통전부(311, 411, 321, 412)에 전류가 흐르는지 여부를 측정하여 게이트 밸브(G)의 정상 밀폐 여부를 판별할 수 있다.
제어부(500)는 커버부(410)의 개폐를 제어하고, 커버부(410)의 정상 밀폐여부를 판단하는 구성이다. 제어부(500)는 커버부(410)의 개폐를 제어하기 위하여 이동부(420)가 슬라이드 이동되어 삽입 및 돌출될 수 있는 이동공(510)을 포함할 수 있다. 이동부(420)의 일단은 이동공(510)에 삽입되어 수평방향으로 좌우 이동될 수 있으며, 제어부(500)의 제어에 따른 이동부(420)의 이동으로 커버부(410)의 유체 통로(3) 개폐여부가 제어될 수 있다.
이하, 도 4 및 도 5를 참조하여, 본 발명의 게이트 밸브의 개폐구조를 상세히 설명하도록 한다. 도 4는 본 발명의 게이트 밸브의 폐쇄 상태를 나타낸 해부도이고, 도 5는 본 발명의 게이트 밸브의 개방 상태를 나타낸 해부도이다.
도 4를 참조하면, 게이트 밸브(G)의 폐쇄 시 커버부(410)는 유체 통로(3)를 밀폐시킬 수 있다. 상세하게, 제어부(500)에서 게이트 밸브(G)의 폐쇄를 제어할 때 이동부(420)를 슬라이드 이동시켜 커버부(410)가 유체 통로(3)를 개폐할 수 있도록 제어할 수 있다. 도 5를 참조하면, 제어부(500)에서 게이트 밸브(G)의 개방으로 제어를 판단하면, 이동부(420)를 제어부(500)의 이동공(510) 내측으로 슬라이드 이동하여 커버부(410)를 제어부(500) 방향으로 수평이동 시킬 수 있으며, 커버부(410)를 이동시킴에 따라 유체 통로(3)가 개구될 수 있도록 할 수 있다.
이하, 도 6 및 도 7을 참조하여 본 발명의 게이트 밸브의 개폐시 게이트 밸브의 각 구성에 대해 보다 상세히 설명하도록 한다. 도 6은 본 발명의 게이트 밸브의 폐쇄시 통전부가 전기적으로 연결된 모습을 나타낸 단면도이고, 도 7은 본 발명의 게이트 밸브의 개방시 팽창부가 팽창된 모습을 나타낸 단면도이다.
먼저 도 6을 참조하여 본 발명의 게이트 밸브(G)의 폐쇄상태를 설명하도록 한다. 도 6을 참조하면, 게이트 밸브(G)의 정상 밀폐 시, 판 형상의 커버부(410)의 상면 및 하면에 둘레방향을 따라 형성된 복수의 커버 통전부(411, 412)는 커버부(410)가 유체 통로(3)를 폐쇄시, 제 1 실링부(310) 및 제 2 실링부(320)의 하면 또는 상면의 둘레방향을 따라 구비된 실링 통전부(311, 321)와 각각의 일단 및 타단이 접하여 전기적으로 연결되는 것이 바람직하다. 상세하게, 커버부(410)가 제 1 실링부(310) 및 제 2 실링부(320) 사이에 구비되어 유체 통로(3)를 밀폐하는 경우, 정상 밀폐여부를 검사하기 위하여 전류를 흘려 각 통전부(311, 411, 321, 412)들의 전기적 연결여부를 검사할 수 있다. 보다 상세하게, 정상적으로 커버부(410)가 밀폐된 경우, 제 1 실링부(310)의 하면 둘레방향을 따라 소정 간격 이격되도록 구비된 복수의 제 1 실링 통전부(311)와 커버부(410)의 상면 둘레방향을 따라 동일한 소정 간격 이격되도록 구비되되, 상기 제 1 실링 통전부(311)와 교차되도록 구비된 제 1 커버 통전부(411) 각각의 일단 및 타단이 서로 접함으로써 복수의 제 1 실링 통전부(311) 및 제 1 커버 통전부(411)는 전기적으로 하나로 연결될 수 있다. 구체적으로, 정상 밀폐시 복수의 제 1 실링 통전부(311) 및 제 1 커버 통전부(411)가 전기적으로 하나로 연결되어, 하나로 연결된 양 끝단의 전선(통전부)에 전압을 인가하면 전류의 정상적인 흐름을 감지하여 커버부(410)가 유체 통로(3)를 정상적으로 밀폐하고 있음을 판단할 수 있다. 또한, 복수의 제 2 실링 통전부(321) 및 제 2 커버 통전부(412)도 전기적으로 하나로 연결됨으로써 하나로 연결된 양 끝단의 전선(통전부)에 전압을 인가하여 전류의 정상적인 흐름을 감지함으로써 커버부(410)의 하면이 제 2 실링부(320)와 정상적으로 밀착되어 유체 통로(3)를 정상적으로 밀폐하고 있음을 판단할 수 있다.
이하, 도 7을 참조하여 본 발명의 게이트 밸브(G)의 개방 상태를 설명하도록 한다. 판 형상의 커버부(410)가 제어부(500)에 의해 제어부(500) 방향으로 수평 이동하여 유체 통로(3)가 개방된 경우, 커버부(410)의 두께만큼 제 1 실링부(310) 및 제 2 실링부(320) 사이에 빈 공간이 형성될 수 있다. 따라서, 빈 공간으로 유체가 외부로 흘러 나가지 않도록 제 1 실링부(310)의 하면 및 제 2 실링부(320)의 상면이 서로 맞닿도록 밀폐되는 것이 바람직하다. 상세하게, 일 실시예에 따르면 팽창부(210, 220)가 팽창하여 두꺼워짐으로써 제 1 실링부(310) 및 제 2 실링부(320)가 서로 맞닿는 것이 바람직하다. 보다 상세하게, 게이트 밸브(G)의 폐쇄시 도 6의 팽창부(210, 220)의 제 1 높이(h1)보다 게이트 밸브(G)의 개방시 도 7의 팽창부(210, 220)의 제 2 높이(h2)가 더 크도록 구비되는 것이 바람직하다. 구체적으로, 제어부(500)는 게이트 밸브(G)의 개방을 위한 커버부(410)의 수평 이동과 동시에 팽창부(210, 220)에 기체가 유입되어 팽창부(210, 220)가 팽창함으로써 제 2 높이(h2)로 높이가 높아지도록 제어할 수 있다. 팽창부(210, 220)가 팽창하여 제 2 높이(h2)로 높이가 높아짐에 따라, 각각의 실링부(310, 320)는 서로 방향으로 이동되어 맞닿을 수 있다. 이때, 실링부(310, 320)의 제 1 실링 통전부(311) 및 제 2 실링 통전부(321)가 서로 접하도록 팽창부(210, 220)가 팽창되는 것이 바람직하다.
상기한 본 발명은 바람직한 실시예를 기준으로 설명되었으나 이는 실시예에 불과하며, 본 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예도 가능할 수 있다. 따라서, 본 발명의 권리범위는 상기한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것은 아니다.
G: 게이트 밸브 L: 배관
1: 챔버 2: 펌프
3: 유체통로 10: 몸체부
110: 제 1 플랜지부 120: 제 2 플랜지부
210: 제 1 팽창부 220: 제 2 팽창부
310: 제 1 실링부 320: 제 2 실링부
410: 커버부 420: 이동부
500: 제어부

Claims (5)

  1. 반도체 설비의 챔버(1)와 펌프(2) 사이에 구비된 게이트 밸브(G)의 제어 시스템에 있어서,
    챔버(1)와 펌프(2) 사이의 개폐여부를 조절하는 게이트 밸브(G)의 정상 밀폐여부를 판별하고,
    상기 게이트 밸브(G)는,
    각각 내측이 개구되어 유체 통로(3)가 구비된 플랜지부(110, 120), 팽창부(210, 220) 및 실링부(310, 320)를 포함하고,
    상기 유체 통로(3)를 개폐하는 판 형상의 커버부(410)를 더 포함하며,
    상기 플랜지부(110, 120), 팽창부(210, 220) 및 실링부(310, 320)는 각각 커버부(410)를 중심으로 대칭되도록 둘씩 구비되고,
    상기 커버부(410)는 상면 및 하면의 둘레방향을 따라 복수의 커버 통전부(411, 412)가 구비되고,
    상기 커버부(410)의 상측에 구비되는 제 1 실링부(310)는 하면의 둘레방향을 따라 복수의 제 1 실링 통전부(311), 상기 커버부(410)의 하측에 구비되는 제 2 실링부(320)는 상면의 둘레방향을 따라 복수의 제 2 실링 통전부(321)를 포함하며,
    상기 복수의 커버 통전부(411, 412)와 제 1 실링 통전부(311) 및 제 2 실링 통전부(321) 각각은 서로 교차되는 위치로 구비되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 게이트 밸브(G)의 커버부(410)가 상기 유체 통로(3)를 폐쇄시,
    상기 복수의 커버 통전부(411, 412)와 제 1 실링 통전부(311) 및 제 2 실링 통전부(312)가 각각 서로 전기적으로 연결되면,
    제어부(500)에서 게이트 밸브(G)의 정상 밀폐로 판단하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 게이트 밸브(G)의 커버부(410)가 상기 유체 통로(3)를 개방시,
    상기 팽창부(210, 220)가 팽창하여 각각의 제 1 실링부(310) 및 제 2 실링부(320)를 각각 서로 마주보는 방향으로 밀착시켜, 제 1 실링 통전부(311) 및 제 2 실링 통전부(321)가 서로 접하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 시스템.
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