KR20140011986A

KR20140011986A - 진공 밸브

Info

Publication number: KR20140011986A
Application number: KR1020130085322A
Authority: KR
Inventors: 플로리안 에르네
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2012-07-19
Filing date: 2013-07-19
Publication date: 2014-01-29
Also published as: US9086172B2; CN103574084A; JP6204735B2; JP2014020562A; KR102107245B1; US20140021395A1; CN103574084B

Abstract

진공 밸브는 적어도 하나의 밸브 개구부 (2, 3) 를 가진 밸브 하우징 (1), 적어도 하나의 밸브 플레이트 (10, 11), 및 지지 유닛 (9) 을 포함하며, 상기 지지 유닛에 의해 상기 적어도 하나의 밸브 플레이트 (10, 11) 가 받쳐져 있다. 상기 적어도 하나의 밸브 플레이트 (10, 11) 는 적어도 2 개의 연결장치를 통하여 지지 유닛 (9) 과 연결되어 있으며, 상기 연결장치들은 각각, 넥 섹션 (47), 및 확대된, 상기 넥 섹션 (47) 에 대해 돌출하는 헤드 섹션 (48) 을 가지는 연결 부품 (45), 및 수용 부품 (46, 56') 을 구비하고, 상기 수용 부품은 각각 수용 슬롯 (49) 을 가지며, 상기 수용 슬롯 안으로 연결 부품 (45) 의 넥 섹션 (47) 이 도입 가능하다. 연결 부품 (45) 들이 수용 슬롯 (49) 들 밖으로 이탈하는 것을 저지하기 위해, 상기 연결장치들의 수용 부품 (46') 들 중 적어도 하나는 회전축 (80) 둘레로, 관련 연결 부품 (45) 이 그의 넥 섹션 (47) 과 함께 마지막 위치 안까지 수용 슬롯 (49) 안으로 도입 가능한 도입위치로부터 차단위치로 회전 가능하다.

Description

진공 밸브{VACUUM VALVE}

본 발명은 진공 밸브에 관한 것이며, 상기 진공 밸브는 축을 구비하는, 그리고 밸브시트 (valve seat) 에 의해 둘러싸여 있는 적어도 하나의 밸브 개구부 (valve opening) 를 가진 밸브 하우징 (valve housing), 밸브 플레이트 (valve plate) 가 밸브 개구부를 해제하는 개방위치와 밸브 플레이트가 밸브시트에 밀착해 있는 폐쇄위치 사이에서 이동 가능한 적어도 하나의 밸브 플레이트, 및 지지 유닛 (supporting unit) 을 포함하며, 상기 지지 유닛에 의해 상기 적어도 하나의 밸브 플레이트가 받쳐져 있다.

WO 2011/096613 A1, KR 10-2010-0061214 및 US 2006/0225811 A1 에는 제 1 및 제 2 밸브 플레이트를 가진 진공 밸브들이 공지되어 있으며, 상기 밸브 플레이트들은 상기 진공 밸브의 닫혀져 있는 상태에서 밸브 하우징의 제 1 및 제 2 밸브 개구부들을 폐쇄한다. 이 진공 밸브들에 있어서, 밸브 플레이트들 중 하나를 받치고 있는 지지 유닛은 적어도 하나의 밸브 로드 (valve rod) 에 부착되어 있으며, 상기 밸브 로드는 그의 세로축의 방향으로 이동 가능하다. 상기 밸브 로드의 이동을 통해, 밸브 플레이트들은 그들이 각각의 밸브 개구부를 해제하는 개방위치와 그들이 각각의 밸브 개구부를 덮는, 하지만 밸브시트로부터 들어내져 있는 중간위치 (intermediate position) 사이에서 이동될 수 있다. 평탄한 또는 직육면체 모양의 상기 지지 유닛 안으로 피스톤-실린더 유닛들이 통합되어 있고, 그들의 피스톤 로드 (piston rod) 들에는 밸브 플레이트들이 부착되어 있다. 피스톤-실린더 유닛들을 이용해, 밸브 플레이트들은 상기 중간위치와 그들이 각각의 밸브 개구부를 폐쇄하는 폐쇄위치 사이에서 이동될 수 있다.

US 6,899,316 B2 에는 하나의 개별적인 밸브 플레이트가 지지 유닛에 의해 받쳐지는 진공 밸브가 공지되어 있다. 직육면체 모양의 지지 유닛 안으로, 밸브 플레이트를 위한 드라이브 요소들로서 피스톤-실린더 유닛들이 통합되어 있으며, 그들의 피스톤 로드들에는 밸브 플레이트가 부착되어 있다. 상기 지지 유닛은 그의 세로축의 방향으로 이동 가능한 밸브 로드에 부착되어 있다. 유사한 진공 밸브가 사용을 통해 공지되었다. 이 진공 밸브에 있어서, 밸브 플레이트를 위한 드라이브 요소 (drive element) 들로서는 피스톤-실린더 유닛들이 제공되어 있고, 상기 피스톤-실린더 유닛들은 여기에서는 플레이트 모양의 지지 유닛의 외면에 고정되어 있다. 이 피스톤-실린더 유닛들의 피스톤 로드들은 단부쪽에 확대된 헤드 (head) 를 갖고 형성되어 있다. 상기 피스톤 로드들의 이 헤드들은 밸브 플레이트가 갖추고 있는 언더컷된 그루브 (groove) 들 안으로 진입되어 있다. 이로써, 각각의 그루브를 밸브 플레이트의 표면에서 한정하는 세로방향 가장자리들은 상기 헤드 섹션 (head section) 에 이어지는 피스톤 로드의 넥 섹션 (neck section) 안에 각각의 피스톤 로드를 진입시키기 위한 수용 슬롯을 형성한다. 상기 그루브들 안에 상기 헤드들을 고정시키기 위해 고정 나사들이 사용되며, 상기 고정 나사들은 밸브 플레이트를 통해 피스톤 로드들 안으로 나사결합되어 있다. 유사한 방식으로, KR 10/2010-0061214 의 진공 밸브에 있어서도 밸브 플레이트들은 지지 유닛의 드라이브 요소들과 연결되어 있다.

US 2004/0079915 A1 및 US 6,561,484 B2 는 밸브 플레이트와, 마주하고 있는 지지 플레이트가 지지 유닛에 의해 받쳐져 있는, 그리고 피스톤-실린더 유닛들을 이용해 상기 지지 유닛에 대해 이동 가능한 진공 밸브들을 나타낸다. 닫혀져 있는 상태에서, 밸브 플레이트를 밸브시트에 내리누르기 위해 상기 지지 플레이트는 밸브 하우징에 지지된다.

US 2008/0066811 A1 에 공지되어 있는 진공 밸브에 있어서, 제 1 밸브 플레이트 또는 제 2 밸브 플레이트를 밸브시트에 내리누르기 위해, 마주하고 있는 쪽들에서 제 1 및 제 2 밸브 플레이트들이 부착되어 있는 지지 유닛은 플런저들을 이용해 이동된다. 상기 플런저들은 밸브 하우징에 배치되어 있는 피스톤-실린더 유닛들에 의해 작동된다.

US 2011/0095218 A1 에는 제 1 및 제 2 밸브 플레이트가 움직일 수 없게 지지 유닛에 고정되어 있는 진공 밸브가 공지되어 있다. 상기 밸브 플레이트들 중 하나를 밸브시트들 중 하나에 교대로 내리누르기 위해, 지지 유닛은 밸브 로드를 이용해 이동된다. 상기 밸브 플레이트들은 가이드들을 통하여 상기 지지 유닛 상으로 밀어져 있고, 이때 상기 지지 유닛의 돌출부는 각각의 밸브 플레이트의 언더컷된 그루브 안으로 맞물린다.

본 발명의 목적은 적어도 하나의 밸브 플레이트 (valve plate) 의 간단한 조립 및 분해가 가능해지는, 도입부에 언급된 유형의 유익한 진공 밸브를 제공하는 것이다.

이는 본 발명에 따르면 청구항 1 의 특징들을 가진 진공 밸브를 통해 달성된다.

본 발명에 따른 진공 밸브에 있어서, 밸브 플레이트 또는 밸브 플레이트들 각각을 지지 유닛과 연결시키기 위해 적어도 2 개의 연결장치 (connecting device) 가 존재하며, 상기 연결장치들은 각각 연결 부품 및 수용 부품을 포함한다. 상기 연결 부품은 넥 섹션 (neck section), 및 확대된, 상기 넥 섹션에 대해 돌출하는 헤드 섹션 (head section) 을 가진다. 상기 각각의 수용 부품은 수용 슬롯 (receiving slot) 을 가지며, 상기 수용 슬롯 안으로 상기 연결 부품의 넥 섹션이 도입 가능하다. 상기 수용 슬롯의 슬롯 폭은 적어도 상기 연결 부품이 그의 마지막 위치에 있는 영역에서, 바람직하게는 상기 수용 슬롯의 전체 세로방향 연장부 (longitudinal extension) 에 걸쳐, 상기 수용 슬롯의 폭 연장부의 방향으로 측정된 상기 연결 부품의 상기 헤드 섹션의 지름보다 작으며, 따라서 그의 마지막 위치에 있는 상기 연결 부품은 상기 수용 슬롯의 세로방향 연장부에 대해 직각으로 상기 수용 슬롯 밖으로 끌어내질 수 없다. 상기 수용 슬롯들 안으로 그들의 마지막 위치들 안까지 도입된 상기 연결 부품들이 상기 수용 슬롯들 밖으로 움직일 수 있는 것을 저지하기 위해, 상기 수용 부품들 중 적어도 하나는 도입위치와 차단위치 사이에서 비틀려질 수 있다. 상기 도입위치에 있어서, 상기 관련 연결 부품의 상기 넥 섹션은 상기 수용 슬롯 안으로 상기 연결 부품의 마지막 위치 안까지 밀어넣어질 수 있다. 상기 연결 부품의 마지막 위치에서, 상기 수용 부품은 차단위치로 회전되며, 바람직하게는 90°만큼 회전된다.

바람직하게는, 밸브 플레이트 또는 각각의 밸브 플레이트를 지지 유닛과 연결시키는 적어도 2 개의 연결장치의 수용 부품들은 도입위치와 차단위치 사이에서 회전축 둘레로 회전 가능하며, 이때 회전축들은 서로 평행으로 놓여 있다.

상기 수용 슬롯 안으로의 상기 각각의 연결 부품의 도입은 상기 연결 부품이 상기 수용 슬롯 안에 도달하는 위치로부터 상기 연결 부품의 마지막 위치 안까지, 상기 수용 슬롯의 세로방향으로 정렬된 도입 방향으로 수행된다. 바람직하게는, 각각의 수용 부품은 각각의 수용 슬롯의 열려 있는 단부를 통하여 도입 방향으로 상기 수용 슬롯 안으로 밀어넣어진다. 각각의 수용 슬롯이 확대된 폭을 가진 영역을 구비하는 것도 가능하며, 상기 폭 안으로 상기 관련 연결 부품의 상기 헤드 섹션은 상기 수용 슬롯의 세로방향 연장부에 대해 직각으로 도입될 수 있으며, 그러면 그 후 상기 수용 슬롯의 세로방향 (= 도입 방향) 으로의 이동은 마지막 위치 안까지 수행된다.

상기 적어도 하나의 회전 가능한 수용 부품의 회전축은 특히 도입 방향에 대해 직각으로, 그리고 밸브 플레이트 또는 각각의 밸브 플레이트가 놓여 있는 평면에 대해 직각으로 놓여 있다.

상기 적어도 하나의 밸브 플레이트와 상기 지지 유닛과의 상기 설명된 연결을 통해, 상기 지지 유닛에서의 상기 밸브 플레이트의 간단한 그리고 신뢰성 있는 조립이 가능해진다. 특히 정비를 실행하기 위해, 상기 밸브 플레이트는 간단한 방식으로 분해될 수 있으며, 즉 상기 지지 유닛으로부터 떼어내질 수 있다.

상기 연결장치들의 상기 수용 부품들을 상기 적어도 하나의 밸브 플레이트에 부착시키는 것이 선호되며, 이때 상기 수용 부품들 중 적어도 하나는, 바로 또는 적어도 하나의 베어링 부품을 통하여 부착되어 있는 밸브 플레이트에 대해 회전축 둘레로 상기 도입위치와 상기 차단위치 사이에서 회전 가능하다. 바람직하게는, 상기 밸브 플레이트에는 또는 각각의 밸브 플레이트에는 상기 수용 부품들 중 적어도 2 개가 이 형태로 회전 가능하게 부착되어 있다. 회전 가능하지 않은 수용 부품들은 원칙적으로 상기 밸브 플레이트와 일체로 형성되어 있을 수 있다. 그러면, 상기 연결장치들의 상기 연결 부품들은 상기 지지 유닛과, 바람직하게는 상기 지지 유닛의 드라이브 또는 가이드 요소들과 연결되어 있고, 특히 강성적으로 연결되어 있으며, 또는 이것들과 일체로 형성되어 있다. 정반대의 배열 (적어도 하나의 밸브 플레이트에서의 연결 부품들, 지지 유닛에서의 수용 부품들) 도 가능하다.

상기 적어도 하나의 밸브 플레이트는 바람직하게는 개방위치로부터 중간위치를 거쳐 폐쇄위치로 이동 가능하며, 이때 상기 밸브 플레이트 또는 밸브 플레이트들 각각은 상기 중간위치에 있어서 밸브 개구부 또는 밸브 개구부들 각각을 덮고, 하지만 밸브시트로부터 또는 각각의 밸브시트로부터 들어내져 있다. 상기 적어도 하나의 밸브 플레이트를 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 이동시키기 위해, 바람직하게는 상기 지지 유닛이 드라이브 요소 (drive element) 들을 구비하는 것이 제공되어 있다. 이러한 드라이브 요소들은 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서의 운동에 있어서 상기 적어도 하나의 밸브 플레이트를 안내하기 위한 안내 기능을 떠맡을 수도 있다. 추가적으로, 상기 지지 유닛은 적어도 하나의 밸브 플레이트를 안내하는데만 쓰이는 적어도 하나의 별도의 가이드 요소 (guide element) 를 구비할 수 있다. 상기 드라이브 요소들과, 존재하는 경우에는, 상기 적어도 하나의 가이드 요소는 각각 연결장치를 통하여 밸브 플레이트와 또는 각각의 밸브 플레이트와 연결되어 있다.

상기 드라이브 요소들은 바람직하게는 각각, 적어도 하나의 실린더 공간을 구비하는 실린더, 및 피스톤 로드를 가지며 상기 실린더 공간 안에 배치된 적어도 하나의 피스톤을 포함하며, 상기 피스톤 로드는 연결장치들 중 하나를 통하여 밸브 플레이트와 또는 밸브 플레이트들 중 하나와 연결되어 있다 (직접적으로 또는 간접적으로).

경우에 따라서 존재하는 상기 적어도 하나의 가이드 요소는 바람직하게는 하우징, 및 상기 하우징으로부터 이동 가능하게 안내된 적어도 하나의 가이드 로드를 포함하며, 상기 가이드 로드는 연결장치들 중 하나를 통하여 밸브 플레이트와 또는 밸브 플레이트들 중 하나와 (직접적으로 또는 간접적으로) 연결되어 있다. 상기 가이드 요소는 바람직하게는 밀봉된 내부 공간을 구비하며, 상기 내부 공간은 하우징에 의해, 그리고 상기 적어도 하나의 밸브 개구부의 방향과 관련하여 마주하고 있는 쪽들에서 상기 하우징과 밀봉되어 연결된 플렉시블 (flexible) 멤브레인 (membrane) 들에 의해 한정되어 있으며, 그리고 상기 내부 공간 안에는 적어도 하나의 가이드 로드가 이동 가능하게 설치되어 있다. 밀봉된 이 내부 공간은 그 안으로 통해 있는 라인 (line) 을 통하여 대기와 연결되어 있거나 또는 진공화되어 있다 (=펌핑 아웃되어 있다).

본 발명의 바람직한 실시형태에서, 상기 지지 유닛은 적어도 하나의 제 1 지지대 및 제 2 지지대를 구비하며, 상기 지지대들과, 드라이브 요소들의 실린더들이 강성적으로 연결되어 있다. 이때, 상기 실린더들은 각각, 상기 제 1 지지대와 상기 제 2 지지대 사이에 놓여 있는 중간 공간 (intermediate space) 을 가교하며, 이때 상기 제 1 지지대 및 제 2 지지대는 마주하고 있는 쪽들에 측면으로 드라이브 요소들의 피스톤 로드들 옆에 배치되어 있다.

이를 통해, 간단한 방식으로 진공 밸브들의 여러 가지 치수에 맞춰질 수 있는 바람직한 그리고 재료절약적인 구조체가 제공될 수 있다.

바람직하게는, 상기 지지 유닛은 정확히 2 개의 지지대를 구비하며, 이때 제 1 지지대는 한쪽에 측면으로 드라이브 요소들의 피스톤 로드들 옆에 배치되어 있고, 제 2 지지대는 마주하고 있는 쪽에 측면으로 드라이브 요소들의 피스톤 로드들 옆에 배치되어 있다.

상기 지지 유닛이 드라이브 요소들에 대해 추가적으로 적어도 하나의 밸브 플레이트를 위한 적어도 하나의 가이드 요소를 구비하는 경우, 상기 가이드 요소의 하우징은 바람직하게는 마찬가지로 제 1 지지대 및 제 2 지지대에 고정되어 있으며, 그리고 상기 제 1 지지대와 상기 제 2 지지대 사이에 놓여 있는 중간 공간을 가교한다.

상기 적어도 하나의 가이드 요소는 적어도 하나의 밸브 플레이트를 이동 가능하게 안내하는데 쓰이거나 또는 이 안내에 있어서 적어도 드라이브 요소들을 지지하는데 쓰이며, 또한 적어도 하나의 밸브 플레이트의 무게를 통해 초래된 힘을 적어도 부분적으로 흡수하는데 쓰이고, 즉 적어도 하나의 밸브 플레이트를 받치는데 쓰이며 또는 이때 적어도 드라이브 요소들을 지지하는데 쓰인다.

이로써, 통틀어 볼 때, 상기 지지 유닛을 위해, 지지대들, 드라이브 요소들 및 경우에 따라서는 적어도 하나의 가이드 요소를 포함하는 프레임 구조체가 형성된다. 여러 가지 크기의 진공 밸브들의 여러 가지 크기의 드라이브 요소들을 형성하기 위해, 동일한 드라이브 요소들과, 이러한 것들이 존재하는 한, 동일한 가이드 요소들이 사용될 수 있으며, 경우에 따라서는 상기 지지 유닛의 크기에 따라 여러 가지 개수의, 그리고 추가적으로 상응하여 긴 지지대들이 사용된다. 바람직하게는, 상기 지지대들이 압출 성형된 프로파일들 (extruded profiles) 에 의해 형성되는 경우, 이 압출 성형된 프로파일들은 원하는 길이로 간단히 잘라내질 수 있다. 압출 성형된 프로파일들은, 상기 지지대들을 통해 뻗어 있는 채널 (channel) 들을 제조 시 함께 압출하여 만들 수 있다는 장점을 가지며, 이는 효율적인 제조를 허용한다. 이로써, 통틀어 볼 때, 밸브 개구부들의 여러 가지 세로방향 확장부들을 가진 여러 가지 크기의 진공 밸브들을 위한 지지 유닛들이 실현될 수 있다.

바람직하게는, 상기 제 1 지지대 및 제 2 지지대는 밸브 플레이트 또는 각각의 밸브 플레이트가 놓여 있는 평면에 대해 평행으로 놓여 있는 하나의 공통의 평면에 놓여 있다.

이때, 진공 밸브는 가능한 한 실시형태에 있어서 지지 유닛에 의해 받쳐져 있는 하나의 유일한 밸브 플레이트를 가진다. 다른 가능한 실시형태에 있어서, 밸브 하우징은 제 1 밸브 개구부 및 제 2 밸브 개구부를 구비하며, 상기 밸브 개구부들은 평행하는 축들을 갖고 있고, 그리고 각각 밸브시트에 의해 둘러싸여 있으며, 그리고 지지 유닛에 의해, 마주하고 있는 쪽들에서 제 1 밸브 플레이트 및 제 2 밸브 플레이트가 받쳐지고, 상기 밸브 플레이트들은 그들의 폐쇄위치들에서는 각각의 밸브시트에 밀착하며, 그리고 그들의 개방위치들에서는 각각의 밸브 개구부를 해제한다. 바람직하게는, 상기 지지 유닛의 각각의 드라이브 요소의 실린더 안에는, 바람직하게는 각각 자기 자신의 실린더 공간 안에는, 제 1 피스톤 및 제 2 피스톤이 배치되어 있으며, 이때 제 1 피스톤의 피스톤 로드는 제 1 밸브 플레이트와 연결되어 있고, 제 2 피스톤은 제 2 밸브 플레이트와 연결되어 있다. 이로써, 드라이브 요소들 각각은 두 밸브 플레이트를 이동시키는데 쓰인다. 제 1 밸브 플레이트 및 제 2 밸브 플레이트를 위해 여러 가지 드라이브 요소가 존재하는 것도 가능하며, 상기 드라이브 요소들은 각각 단지 하나의 피스톤을 구비하고, 그의 피스톤 로드는 할당된 밸브 플레이트와 연결되어 있다.

상기 적어도 하나의 밸브 플레이트는 바람직하게는 폭보다 큰 길이를 가진, 바람직하게는 폭보다 적어도 두 배 큰, 특히 바람직하게는 적어도 3 배 큰 직사각형의 실시형태를 가진다. 이때, 적어도 하나의 밸브 플레이트를 지지 유닛과 연결시키기 위한 연결장치들은 밸브 플레이트의 세로방향 연장부 (longitudinal extension) 의 방향으로 서로 간격을 두고 배치되어 있다.

이하, 본 발명의 그 밖의 장점들 및 상세 내용들은 첨부된 도면들에 근거해 설명된다.

도면들에서;
도 1 은 본 발명에 따른 진공 밸브의 실시예의 비스듬한 도면;
도 2 는 진공 밸브의 닫혀져 있는 상태에서, 즉 밸브 플레이트들의 폐쇄위치에서 진공 밸브의 도면;
도 3 은 도 2 의 선 A-A 를 따른 단면;
도 4 는 도 3 의 부분 P 를 확대시킨 도면;
도 5 는 도 2 의 선 B-B 를 따른 단면;
도 6 은 도 2 의 선 J-J 를 따른 단면;
도 7 은 도 6 의 부분 M 을 확대시킨 도면;
도 8 은 밸브 플레이트들의 중간위치에서 진공 밸브의 도면;
도 9 은 도 8 의 선 C-C 를 따른 단면;
도 10 은 도 8 의 선 K-K 를 따른 단면;
도 11 은 도 10 의 부분 N 을 확대시킨 도면;
도 12 는 진공 밸브의 열려 있는 상태에서, 즉 밸브 플레이트들의 개방위치에서 진공 밸브의 도면;
도 13 은 도 12 의 선 D-D 를 따른 단면;
도 14 는 부착된 밸브 플레이트들을 가진 지지 유닛, 및 밸브 로드-드라이브를 가진 밸브 로드의 비스듬한 도면;
도 15 는 도 14 의 부분 Q 를 확대시킨 도면;
도 16 은 밸브 로드 및 밸브 로드-드라이브를 가진 지지 유닛의 비스듬한 도면;
도 17 은 도 16 의 부분 R 을 확대시킨 도면;
도 18 은 연결장치들의 연결 부품들을 가진 드라이브 요소들 중 하나의 분해도;
도 19 은 도 18 에 상응하는, 하지만 다른 시선 각도로부터의 분해도;
도 20 은 연결장치들의 연결 부품들을 가진 드라이브 요소들 중 하나의 도면;
도 21 은 도 20 의 선 U-U 를 따른 단면;
도 22 는 도 20 의 선 V-V 를 따른 단면;
도 23 은 연결장치들의 연결 부품들 및 수용 부품들을 가진 가이드 요소의 분해도;
도 24 는 도 23 에 상응하는, 하지만 다른 시선 각도로부터의 분해도;
도 25 는 연결장치들의 연결 부품들 및 수용 부품들을 가진 가이드 요소의 도면;
도 26 은 도 25 의 선 S-S 를 따른 단면;
도 27 은 지지 유닛, 및 상기 지지 유닛으로부터 떼어내진 밸브 플레이트들의 비스듬한 도면으로서, 이때 앞에 놓여 있는 제 1 밸브 플레이트 중 그에 부착된 수용 부품들만 도시되어 있다;
도 28 은 도 27 의 부분 W 를 확대시킨 도면;
도 29 는 도 27 에 상응하는, 하지만 밸브 플레이트들이 수용 부품들과 함께 연결 부품들의 헤드 섹션들 상으로 밀어져 있는 비스듬한 도면으로서, 이때 비틀려질 수 있는 수용 부품들은 그의 도입위치에 있다;
도 30 은 도 29 의 부분 X 를 확대시킨 도면;
도 31 은 도 29 에 상응하는 도면으로서, 하지만 이때 비틀려질 수 있는 수용 부품들은 그들의 차단위치에 있다;
도 32 는 도 31 의 부분 Y 를 확대시킨 도면;
도 33 은 도 31 의 상태에서의 도 31 의 부품들의 도면이다.
도면들은 여러 가지 축척을 가진다.

본 발명에 따른 진공 밸브의 실시예는 도면들에 도시되어 있다. 상기 진공 밸브는 평행한 축들 (4, 5) 을 구비하는 제 1 밸브 개구부 (2) 와 제 2 밸브 개구부 (3) 를 가진 밸브 하우징 (1) 을 포함한다. 밸브 개구부들 (2, 3) 은 밸브 하우징 (1) 의 마주하고 있는 벽들에 배치되어 있으며, 서로 일직선으로 정렬되어 있다. 밸브 개구부들 (2, 3) 을 구비하는 상기 벽들은 그들의 서로 향해 있는 내면들에 밸브시트들 (6, 7) 을 가지며, 상기 밸브시트들은 밸브 개구부들 (2, 3) 을 둘러싼다.

밸브 하우징 (1) 의 내부에 놓여 있는 수용 공간 (8) 안에는 지지 유닛 (9) 이 배치되어 있으며, 상기 지지 유닛에 의해 제 1 및 제 2 밸브 플레이트 (10, 11) 가 받쳐져 있다. 밸브 플레이트들 (10, 11) 은 밸브 개구부들 (2, 3) 의 축들 (4, 5) 에 대해 직각으로 있는 평행 평면들에 놓여 있다. 밸브 플레이트들 (10, 11) 은 상기 진공 밸브의 완전히 닫힌 상태에서 밸브 개구부들 (2, 3) 을 밀봉하는데 쓰인다.

상기 지지 유닛 (9) 은 밸브 로드 (valve rod, 12) 에 부착되어 있다. 이를 위해, 도시되어 있는 실시예에서, 수용 공간 (8) 안에 놓여 있는 밸브 로드 (12) 의 단부에는 연결 피스 (connecting piece, 64) 가 고정되어 있으며 (도 16 참조), 상기 연결 피스에는 그의 쪽에서 지지 유닛 (9) 이 고정되어 있고, 특히 하기에서 설명되는 지지 유닛 (9) 의 제 1 지지대 (supporting bar, 19) 가 고정되어 있다. 밸브 로드 (12) 는 밸브 로드-드라이브 (13) 에 의해 그의 세로축의 방향으로 이동될 수 있다. 밸브 로드-드라이브 (13) 는 여기에서는 2 개의 피스톤-실린더 유닛 (14, 15) 에 의해 형성되며, 상기 피스톤-실린더 유닛들 중 실린더들 또는 피스톤 로드 (piston rod) 들은 밸브 하우징 (1) 과 연결되어 있고, 그리고 상기 피스톤 로드들 또는 상기 실린더들은 가로대 (16) 와 연결되어 있으며, 상기 가로대는 그의 쪽에서 밸브 하우징 (1) 의 외부에 놓여 있는 밸브 로드 (12) 의 섹션과, 바람직하게는 밸브 로드 (12) 의 단부와 연결되어 있다. 밸브 로드 (12) 는 밀봉된 리니어 부싱 (linear bushing) 을 통하여 수용 공간 (8) 안으로 안내되어 있다.

다른 방식으로도 형성될 수 있는, 예컨대 단지 하나의 유일한 피스톤-실린더 유닛을 구비할 수 있는 밸브 로드-드라이브 (13) 를 이용해, 밸브 플레이트들 (10, 11) 은, 밸브 플레이트들 (10, 11) 이 밸브 개구부들 (2, 3) 을 바람직하게는 완전히 해제하는 그들의 개방위치들 (도 12 및 도 13 참조) 과, 밸브 플레이트들 (10, 11) 이 밸브 개구부들 (2, 3) 을 덮는 (축들 (4, 5) 의 방향으로 볼 때), 하지만 밸브시트들 (6, 7) 로부터 들어내져 있는 그들의 중간위치들 (도 8 내지 도 11 참조) 사이에서 이동될 수 있다.

밸브 하우징 (1) 안에서 센터링되어 밸브 플레이트들 (10, 11) 을 그들의 개방위치와 그들의 중간위치 사이에서 이동시킬 때 지지 유닛 (9) 을 안내하기 위해 밸브 하우징 (1) 에 대해 지지 유닛 (9) 을 안내하기 위해, 지지 유닛 (9) 에 회전 가능하게 설치된 롤러 (roller, 17) 들이 사용되며, 상기 롤러들은 밸브 하우징 (1) 의 수용 공간 (8) 양쪽에 배치된, 밸브 로드 (12) 에 대해 평행으로 뻗어 있는 그루브 모양의 (groove-shaped) 가이드 레일 (guide rail, 18) 들 안에 뻗어 있다. 정반대의 배열 (즉, 롤러들은 밸브 하우징 (1) 에 회전 가능하게 설치되어 있으며, 그루브 모양의 가이드 레일들은 지지 유닛 (9) 에 배치되어 있다) 도 원칙적으로 가능하다.

2 개 이상의 평행하는 밸브 로드 (12) 가 제공되어 있을 수도 있으며, 상기 밸브 로드들에 지지 유닛 (9) 이 부착되어 있다.

적어도 하나의 밸브 로드 (12) 는 바람직하게는 밸브 개구부들 (2, 3) 의 축들 (4, 5) 에 대해 직각으로 뻗어 있다.

밸브 플레이트들 (10, 11) 과 밸브 개구부들 (2, 3) 은 직사각형으로 형성되어 있으며, 그리고 바람직하게는 폭보다 두 배 이상 큰 길이를 가진다. 이때, 밸브 플레이트들 (10, 11) 과 밸브 개구부들 (2, 3) 의 세로방향 연장부들 (longitudinal extensions) 은 밸브 로드 (12) 에 대해 직각으로 그리고 밸브 개구부들 (2, 3) 의 축들 (4, 5) 에 대해 직각으로 놓여 있다.

지지 유닛 (9) 은 제 1 및 제 2 지지대 (19, 20) 를 구비한다. 서로 평행으로 놓여 있는 지지대들 (19, 20) 은 밸브 개구부들 (2, 3) 의 축들 (4, 5) 에 대해 직각으로 그리고 밸브 로드 (12) 에 대해 직각으로 있으며, 즉 그들은 밸브 개구부들 (2, 3) 의 축들 (4, 5) 에 대해 직각으로 있는, 그리고 밸브 로드 (12) 에 대해 직각으로 있는 세로방향 연장부들을 구비한다. 제 1 및 제 2 지지대 (19, 20) 는 밸브 로드 (12) 의 방향과 관련하여 서로 간격을 두고 있으며, 그리고 이로써 그 사이의 중간 공간 (21) 을 구비한다. 이 중간 공간은 드라이브 요소 (22) 들 및 가이드 요소 (23) 에 의해 가교된다. 드라이브 요소 (22) 들과 가이드 요소 (23) 는 각각 제 1 지지대 (19) 뿐만 아니라 제 2 지지대 (20) 에 고정되어 있으며, 실시예에서는 바로 고정되어 있다. 이러한 방식으로, 지지 유닛 (9) 을 위한 자체 지지 (self-supporting) 프레임 구조체가 형성된다. 제 1 및 제 2 지지대 (19, 20) 에 드라이브 요소 (22) 들과 가이드 요소 (23) 를 바로 고정시키는 대신에, 고정은 그 사이에 놓여 있는 적어도 하나의 부품을 통해서도 수행될 수 있다.

드라이브 요소 (22) 들은 하나의 공통의 직선 상에 놓여 있으며, 상기 드라이브 요소들은 제 1 및 제 2 지지대 (19, 20) 에 대해 평행으로 놓여 있고, 그리고 이 직선을 따라 서로 간격을 두고 배치되어 있다. 가이드 요소 (23) 는 마찬가지로 이 직선 상에 놓여 있다. 하기에서 또한 알 수 있는 바와 같이, 가이드 요소 (23) 는 변경된 실시형태들에서는 생략될 수도 있으며, 또는 두 개 이상의 가이드 요소 (23) 가 존재할 수도 있다.

이웃한 드라이브 요소 (22) 들 사이에 지지 유닛 (9) 은 비어 있는 공간들을 구비하며, 상기 비어 있는 공간들은 지지 유닛 (9) 을 관통한다. 하기에서 보다 상세히 설명되는 적어도 하나의 가이드 요소 (23) 가 존재하면, 가이드 요소 (23) 또는 각각의 가이드 요소 (23) 와, 이웃한 드라이브 요소 (22) 들 사이에는 지지 유닛 (9) 의 비어 있는 공간들이 존재하며, 상기 비어 있는 공간들은 지지 유닛 (9) 을 관통한다.

드라이브 요소 (22) 들은 각각 제 1 및 제 2 실린더 공간들 (25, 26) 을 가진 실린더 (24) 를 포함한다. 제 1 실린더 공간 (25) 안에는, 제 1 밸브 플레이트 (10) 와 연결된 제 1 피스톤 (27) 이 배치되어 있고, 제 2 실린더 공간 안에는, 제 2 밸브 플레이트 (11) 와 연결된 제 2 피스톤 (28) 이 배치되어 있다. 실린더 (24) 들의 구멍들에 의해 형성되는 압축공기 라인들 (29, 30) 을 통해 공급된 압축공기를 이용해, 피스톤들 (27, 28) 은 실린더 공간들 (25, 26) 안에서 이동될 수 있다.

실린더 (24) 들은 각각 실린더 바디 (cylinder body, 31) 를 포함하며, 상기 실린더 바디는 그의 마주하고 있는, 지지 유닛 (9) 에 부착될 수 있는 두 밸브 플레이트 (10, 11) 를 향해 있는 쪽들에서 열려 있고, 이때 실린더 바디 (31) 는 하나의 공통의 직선 상에 놓여 있는, 제 1 및 제 2 실린더 공간 (25, 26) 의 세로축들을 둘러싼다. 2 개의 실린더 커버 (cylinder cover, 32, 33) 는 밀봉되어 실린더 바디 (31) 와 연결되어 있으며, 그리고 이것을, 개구부들은 제외하고, 마주하고 있는 쪽들에서 폐쇄하고, 상기 개구부들을 통해, 피스톤들 (27, 28) 로부터 시작하는 피스톤 로드들 (34, 35) 은 밀봉되어 관통되어 있다. 피스톤 로드들 (34, 35) 은 밸브 개구부들 (2, 3) 의 축들 (4, 5) 에 대해 평행으로 놓여 있다. 실린더 바디 (31) 의 중간벽 (36) 은 실린더 공간들 (25, 26) 을 서로 경계짓는다. 중간벽 (36) 으로부터 양쪽으로 가이드 핀 (guide pin, 37, 38) 이 시작되며, 상기 가이드 핀들은 실린더 공간들 (25, 26) 의 세로축들의 방향으로 뻗어 있고, 즉 그들 안으로 피스톤들 (27, 28) 이 이동 가능한 방향으로 뻗어 있으며, 그리고 상기 가이드 핀들은 피스톤들 (27, 28) 과 피스톤 로드들 (34, 35) 의 중앙 리세스들 (39, 40) 안으로 돌출한다. 이를 통해, 피스톤들 (27, 28) 및 피스톤 로드들 (34, 35) 을 위한 가이드가 형성된다.

실린더 공간들 (25, 26) 을 둘러싸는 실린더 바디 (31) 들의 측면 (41) 들은 마주하고 놓여 오목부들 (42, 43) 을 갖추고 있으며, 상기 오목부들을 통해 지지대들 (19, 20) 이 뻗어 있다. 이 오목부들 (42, 43) 의 영역에서, 지지대들 (19, 20) 은 실린더 바디 (31) 들에 나사결합되어 있다.

드라이브 요소 (22) 들을 이용해, 밸브 플레이트들 (10, 11) 은 밸브 개구부들 (2, 3) 의 축들 (4, 5) 에 대해 평행으로 그들의 중간위치들 (도 8 내지 도 11 참조) 로부터 그들의 폐쇄위치들 (도 2 내지 도 7 참조) 로 이동될 수 있으며, 상기 폐쇄위치들에 있어서 밸브 플레이트들 (10, 11) 은 밸브시트들 (6, 7) 에 내리눌려져 있고, 그리고 이로써 진공 밸브가 닫혀져 있다. 밸브 플레이트들 (10, 11) 의 폐쇄위치들에 있어서, 밸브 플레이트들 (10, 11) 의 탄성 (elastic) 실링링들 (10a, 11a) 은 밸브시트들 (6, 7) 의 밀봉면들에 내리눌려져 있다. 실링링들 (10a, 11a) 을 밸브시트들 (6, 7) 에 배치시키고 밀봉면들을 밸브 플레이트들 (10, 11) 에 배치시키는 것도 가능할 것이다.

밸브 플레이트들 (10, 11) 을 그들의 중간위치들로부터 그들의 폐쇄위치들로 이동시키기 위해, 압축공기 라인 (30) 은 압축공기의 작용을 받고 (그리고 압축공기 라인 (29) 은 환기된다), 그리고 밸브 플레이트들 (10, 11) 을 그들의 폐쇄위치들로부터 그들의 중간위치들로 이동시키기 위해 압축공기 라인 (29) 은 압축공기의 작용을 받는다 (그리고 압축공기 라인 (30) 은 환기된다). 하나의 공통의 압축공기 라인 (29 및/또는 30) 대신에 별도의 압축공기 라인 (29 및/또는 30) 이 두 피스톤 (27, 28) 을 위해 제공되어 있을 수 있으며, 이때 피스톤들 (27, 28) 은 서로 상관없이 이동될 수 있다.

피스톤 로드들 (34, 35) 은 연결장치들을 통하여 밸브 플레이트들 (10, 11) 과 연결되어 있다. 상기 각각의 연결장치는 각각의 피스톤 로드 (34, 35) 와 강성적으로 연결된 연결 부품 (45), 및 각각의 밸브 플레이트 (10, 11) 에 부착된 수용 부품 (46, 46') 을 포함한다. 각각의 연결 부품 (45) 은 넥 섹션 (47), 및 넥 섹션 (47) 에 대해 연결 부품 (45) 의 세로축과 관련하여 밖으로 돌출하는 확대된 헤드 섹션 (48) 을 가진 버섯 모양의 실시형태를 가진다. 각각의 수용 부품 (46, 46') 은 수용 슬롯 (49) 을 가진다. 상기 각각의 연결장치의 연결 부품 (45) 의 넥 섹션 (47) 은 상기 연결장치의 수용 부품 (46, 46') 의 수용 슬롯 (49) 안의 도입 방향 (50) 으로 마지막 위치 안까지 밀어넣어질 수 있다. 수용 슬롯 (49) 의 슬롯 폭은 연결 부품 (45) 의 헤드 섹션 (48) 의 지름보다 작으며, 따라서 헤드 섹션 (48) 은 연결 부품 (45) 의 세로축의 방향으로 수용 슬롯 (49) 밖으로 끌어내질 수 없다.

수용 부품들 (46, 46') 은 각각 그들이 부착되어 있는 각각의 밸브 플레이트 (10, 11) 를 향해 있는 쪽에 오목부를 구비하며, 상기 오목부를 통해 수용 슬롯 (49) 의 계단형 확장부가 형성된다. 수용 슬롯 (49) 의 이 계단형 확장부 안에는, 그의 넥 섹션 (47) 과 함께 수용 슬롯 (49) 안으로 밀어넣어진 연결 부품의 헤드 섹션 (48) 이 놓여 있다. 이로써, 수용 부품 (46, 46') 이 부착되어 있는 밸브 플레이트 (10, 11) 와 함께 각각의 수용 부품 (46, 46') 을 통해, 각각의 연결 부품 (45) 을 위한 언더컷된 수용 그루브가 형성된다. 이때, 언더컷된 상기 수용 그루브 안으로 밀어넣어진 연결 부품 (45) 의 헤드 섹션 (48) 은 상기 수용 그루브의 언더컷된 영역 안의 연결 부품 (45) 의 마지막 위치에 놓여 있다. 이 수용 그루브들은 본 실시예에서 그러한 것처럼 예컨대 T 그루브들의 형태로 형성되어 있다.

도시되어 있는 실시형태 대신에, 수용 부품들 자체가 언더컷된 수용 그루브들을 갖추고 있는 것도 제공되어 있을 수 있다. 그러면, 상기 수용 그루브를 각각의 수용 부품의 표면에서 한정하는 세로방향 가장자리들은 상기 연결 부품의 상기 넥 섹션을 진입시키기 위한 수용 슬롯을 형성한다.

수용 부품들 (46, 46') 중, (지지대들 (19, 20) 의 세로방향 연장부와 관련하여) 실시예에서 외측에 놓여 있는 둘은 도입위치와 차단위치 사이에서 회전 가능하며, 보다 정확히 말하면 각각 회전축 (80) 둘레로 회전 가능하고, 상기 회전축은 도입 방향 (50) 에 대해 직각으로 있으며, 그리고 수용 부품 (46') 과 연결된 연결 부품 (45) 의 세로축에 대해 평행으로 놓여 있다. 회전축 (80) 은, 연결장치를 통해 지지 유닛 (9) 과 연결된 밸브 플레이트 (10, 11) 가 놓여 있는 평면에 대해 직각으로 있다. 수용 부품 (46') 들의 회전 가능성은 도시되어 있는 실시예에서 장방형 구멍들 (51, 52) 을 통해 달성되며, 상기 장방형 구멍들은 수용 부품 (46') 과 연결된 연결 부품 (45) 의 세로축 둘레로 원호 모양으로 뻗어 있고, 그리고 볼트들 (53, 54) 에 의해 관통되고 (도 27, 28 에만 도시되어 있음), 상기 볼트들은 해당 밸브 플레이트 (10, 11) 안으로 장방형 구멍들 (51, 52) 을 통해 나사결합되어 있다. 각각의 밸브 플레이트 (10, 11) 에서의 회전 가능한 직접적인 설치 대신에, 수용 부품 (46') 들은 각각의 베어링 부품에 회전 가능하게 설치되어 있을 수도 있으며, 상기 베어링 부품은 그의 쪽에서 각각의 밸브 플레이트 (10, 11) 에 고정되어 있다.

남아 있는 수용 부품 (46) 들은 각각의 밸브 플레이트 (10, 11) 와 강성적으로 연결되어 있으며, 이때 그들의 수용 슬롯 (49) 은 서로 평행으로, 그리고 그들의 도입위치들에 있는 수용 부품 (46') 들의 수용 슬롯 (49) 들에 대해 평행으로 놓여 있다. 회전 가능한 수용 부품 (46') 들이 그들의 도입위치들에 있으면, 모든 수용 슬롯 (49) 은 동일한 쪽을 향해 열려 있다 (도 27 및 28 참조). 도입 방향 (50) 은 수용 부품 (46) 들의 수용 슬롯 (49) 들에 대해 평행으로, 그리고 그들의 도입위치들에 있는 수용 부품 (46') 들의 수용 슬롯 (49) 들에 대해 평행으로 놓여 있다. 각각의 밸브 플레이트 (10, 11) 가 지지 유닛 (9) 과 연결되면, 수용 슬롯 (49) 들의 열려 있는 단부들을 통하여 넥 섹션 (47) 들은 수용 슬롯 (49) 들 안으로 수용 부품 (46, 46') 들의 마지막 위치들까지 도입된다 (도 29 및 30 참조). 원칙적으로, 수용 슬롯 (49) 들은 확대된 폭을 가진 영역들을 구비할 수도 있으며, 상기 수용 슬롯들 안으로 헤드 섹션 (48) 은 연결 부품 (45) 들의 세로축의 방향으로, 즉 수용 슬롯 (49) 들의 세로방향 연장부에 대해 직각으로 도입될 수 있는데, 왜냐하면 그 후 수용 슬롯 (49) 들의 세로방향으로 마지막 위치들로 이동되기 위해서이다.

수용 부품 (46, 46') 들의 마지막 위치들에 있어서, 비틀려질 수 있는 수용 부품 (46') 들은 그들의 도입위치로부터 그들의 차단위치로 비틀려진다 (도 31 내지 33 참조). 각각의 수용 부품 (46') 을 비틀기 위해 돌출부 (55) 가 사용되며, 상기 돌출부는 상응하는 비틀림 공구의 맞물림을 위한 맞물림 요소 (56) 들을 구비한다. 각각의 수용 부품 (46') 은 마찰접촉을 통해 그의 차단위치에 유지될 수 있다. 이를 위해, 추가적인 고정 부품들, 예컨대 나사들도 제공되어 있을 수 있다. 실시예에서, 회전 가능한 수용 부품 (46') 은 그의 도입위치와 그의 차단위치 사이에서 90°만큼 회전된다. 보다 큰 또는 보다 작은 회전각도도 원칙적으로 가능하다.

모든 존재하는 수용 부품들을 서로 평행으로 놓여 있는 회전축 (80) 들 둘레로 회전 가능하게 형성하는 것도 가능할 것이다.

회전 가능하지 않은 수용 부품 (46) 들은 각각의 밸브 플레이트 (10, 11) 와 일체로 형성되어 있을 수도 있다.

실린더 바디 (31) 들과 함께, 마주하고 있는 쪽들에서 플렉시블 멤브레인들 (57, 58) 은 탄성 실링링 (63) 들을 이용해 밀봉되어 연결되어 있으며, 보다 정확히 말하면 멤브레인들 (57, 58) 의 외부 둘레의 영역에서 연결되어 있다. 멤브레인들 (57, 58) 은 각각 중앙 개구부를 구비하며, 상기 개구부의 영역에서 상기 멤브레인들은 밀봉되어 각각의 피스톤 로드 (34, 35) 와 연결되어 있다. 이를 위해 실시예에서 각각의 멤브레인 (57, 58) 은 각각의 피스톤 로드 (34, 35) 와 연결된 연결 부품 (45) 에 의해, 멤브레인 (57, 58) 과 피스톤 로드 (34, 35) 사이에 놓여 있는 탄성 실링링 (59) 에 대해 눌려진다 (도 22 참조). 이로써, 멤브레인들 (57, 58) 은 각각 밀봉된 중간 부피 (60, 61) 를 한정한다. 중간 부피들 (60, 61) 은 라인 (62) 을 통하여 (도 21 참조) 대기와 연결되어 있다. 중간 부피들 (60, 61) 은 라인 (62) 을 통하여 진공화될 수 있다 (펌핑 아웃될 수 있다). 존재하는 중간 부피들 (60, 61) 을 근거로, 압축공기의 작용을 받은 실린더 공간들 (25, 26) 은 밸브 하우징 (1) 의 수용 공간 (8) 안에 놓여 있는 진공 밸브의 진공 영역에 대해 바로 밀봉될 필요는 없다.

지지 유닛 (9) 은 추가적으로 가이드 요소 (23) 를 포함하며, 상기 가이드 요소는 지지대들 (19, 20) 의 세로방향 연장부와 관련하여 중앙 영역에 배치되어 있다. 이때, 가이드 요소 (23) 는 지지대들 (19, 20) 사이의 중간 공간 (21) 을 가교하며, 그리고 제 1 지지대 (19) 뿐만 아니라 제 2 지지대 (20) 에 고정되어 있다. 이로써, 상기 가이드 요소는 지지 유닛 (9) 의 프레임 구조에 기여하며, 그리고 이로써 지지 유닛 (9) 의 전체적인 안정성에 기여한다.

가이드 요소 (23) 는 하우징 (65) 을 포함하며, 상기 하우징은 마주하고 있는 쪽들에서, 지지 유닛 (9) 에 부착될 수 있는 두 밸브 플레이트 (10, 11) 쪽으로 열려 있다. 상기 하우징의 내부 공간 (66) 을 이 쪽들을 향해 밀봉시키기 위해, 플렉시블 멤브레인들 (67, 68) 이 제공되어 있으며, 상기 멤브레인들은 그들의 외부 둘레 가장자리의 영역에서 탄성 실링링 (69) 들을 이용해 밀봉되어 하우징 (65) 과 연결되어 있다.

멤브레인들 (67, 68) 은 중앙 개구부들을 구비하며, 상기 개구부들을 통해 연결 피스들 (70, 71) 이 관통되어 있다. 멤브레인들 (67, 68) 은 그들의 중앙 개구부들 둘레의 영역에서 각각의 멤브레인 (67, 68) 과 각각의 연결 피스 (70, 71) 사이에 놓여 있는 실링링 (72) 들을 이용해 밀봉되어 연결되어 있다.

연결 피스들 (70, 71) 은 밸브 플레이트들 (10, 11) 과 연결되어 있으며, 보다 정확히 말하면 마찬가지로 이미 설명된 연결장치들을 통하여 연결되어 있다. 이를 위해, 실시예에서 연결 부품 (45) 들은 연결 피스들 (70, 71) 에 고정되어 있으며, 이때 멤브레인들 (67, 68) 은 연결 부품 (45) 들에 의해 실링링 (72) 들에 대해 눌려진다. 연결 피스들 (70, 71) 에 고정된 연결 부품 (45) 들에게는, 각각 각각의 밸브 플레이트 (10, 11) 에 부착된 수용 부품 (46) 이 할당되어 있다. 밸브 플레이트들 (10, 11) 과 지지 유닛 (9) 을 연결할 때, 연결 피스들 (70, 71) 에 고정된 연결 부품 (45) 들의 넥 섹션 (47) 들은 수용 부품 (46) 들의 수용 슬롯 (49) 들 안으로 도입된다.

이 연결장치들은 실시예에서 각각의 밸브 플레이트 (10, 11) 에 강성적으로 부착된 수용 부품 (46) 들을 가진다. 하나 또는 다수의 가이드 요소 (23) 가 도입위치와 차단위치 사이에서 비틀려질 수 있는 수용 부품 (46') 들을 가진 연결장치들을 통하여 각각의 밸브 플레이트 (10, 11) 와 연결되어 있는 실시예들도 가능하다.

각각의 연결 피스 (70, 71) 는 2 개의 가이드 로드 (73) 와 강성적으로 연결되어 있으며, 상기 가이드 로드들은 하우징 (65) 의 내부 공간 (66) 안에 이동 가능하게 설치되어 있다. 이를 위해, 하우징 (65) 의 덮개는 안으로 돌출하는 돌출부 (74) 들을 구비하며, 상기 돌출부들은 가이드 로드 (73) 들을 수용하는 가이드 부시 (guide bush, 75) 들을 가진다. 가이드 로드 (73) 들과 가이드 부시 (75) 들은 드라이브 요소 (22) 들의 피스톤 로드들 (34, 35) 에 대해 평행으로 놓여 있다. 가이드 로드 (73) 들의 이동 가능한 안내는 도시되어 있는 것과 다른 방식으로도 형성되어 있을 수 있다.

실시예에서 존재하는 4 개의 가이드 로드 (73) (밸브 플레이트 (10, 11) 당 2 개) 는 하우징 (65) 의 둘레 방향으로 서로 간격을 둔 위치들에서 이동 가능하게 안내되어 있다.

하우징 (65) 은 마주하고 있는 쪽들에서, 내부 공간 (66) 의 세로축을 둘러싸는 그의 덮개면 안의 오목부들 (76, 77) 을 가진다. 지지대들 (19, 20) 은 이 오목부들 (76, 77) 을 통해 뻗어 있으며, 그리고 이 오목부들의 영역에서 지지대들 (19, 20) 은 하우징 (65) 에 나사결합되어 있다.

가이드 요소 (23) 를 통해, 지지 유닛 (9) 과 연결된 밸브 플레이트들 (10, 11) 은 이동 가능하게 안내되며, 보다 정확히 말하면 그들의 각각의 중간위치와 그들의 각각의 마지막 위치 사이에서의 그들의 운동 방향으로 안내된다. 가이드 요소 (23) 를 통하여, 각각의 밸브 플레이트 (10, 11) 의 무게의 적어도 일부가 흡수될 수 있다.

밀봉된 내부 공간 (66) 은 이것 안으로 통하는 라인 (line, 78) 을 통하여 환기되며, 상기 라인은 하우징 (65) 을 통한 보어에 의해 형성된다. 그 대신에, 내부 공간 (66) 은 이 라인 (78) 을 통하여 진공화되어 있을 수도 있다 (펌핑 아웃되어 있을 수도 있다). 이로써, 특히 슬라이딩된 가이드 로드 (73) 들의 운동을 통해, 내부 공간 (66) 안에 형성된 입자들은, 진공 밸브의 진공 영역 안에 도달하지 않는다.

지지대들 (19, 20) 의 세로방향 연장부와 관련하여 중앙에 놓여 있는 가이드 요소 (23) 에 대해 추가적으로 또는 이것 대신에, 지지대들 (19, 20) 의 세로방향 연장부와 관련하여 중앙 영역의 외부에 놓여 있는 하나 또는 다수의 가이드 요소 (23) 가 존재할 수도 있으며, 상기 가이드 요소들은 상기 설명된 방식으로 형성되어 있다. 각각의 가이드 요소 (23) 는 어느 정도 내부 공간 (66) 안에 이동 가능하게 설치된 가이드 로드 (73) 들을 구비할 수도 있다. 두 밸브 플레이트 (10, 11) 를 위한 별도의 가이드 요소들이 존재할 수도 있으며, 상기 가이드 요소들에 의해 각각 밸브 플레이트들 (10, 11) 중 단지 하나만 이동 가능하게 안내된다. 연결 피스들 (70, 71) 은 생략될 수도 있고, 그리고 가이드 로드 (73) 들은 바로 연결 부품 (45) 들과 연결되어 있을 수 있거나 또는 이것과 일체로 형성되어 있을 수 있다.

밸브 플레이트들 (10, 11) 이 드라이브 요소 (22) 들의 피스톤들 (27, 28) 및/또는 피스톤 로드들 (34, 35) 의 이동 가능한 가이드들을 통해 홀로 충분히 이동 가능하게 안내 및 지지될 수 있는 경우에는, 추가적인 가이드 요소 (23) 들이 생략될 수도 있다.

연결장치들을 통한 지지 유닛 (9) 과 밸브 플레이트들 (10, 11) 과의 연결은 밸브 플레이트들 (10, 11) 의 열팽창이 충분히 흡수될 수 있도록 되어 있다. 진공 제조공정의 실행시, 지지 유닛 (9) 에 대한 상응하는 온도차이를 가진 밸브 플레이트들 (10, 11) 의 경우에 따라서는 너무 강한 가열이 생길 수 있다. 밸브 플레이트들 (10, 11) 의 열팽창을 흡수하기 위해, 연결장치들은 지지대들 (19, 20) 의 세로방향 연장부의 방향으로 충분한 여유공간 (clearance) 을 가진다. 이때, 연결장치들 중 하나, 예컨대 지지대들 (19, 20) 의 세로방향 연장부와 관련하여 중앙에 놓여 있는 연결장치는, 지지대들 (19, 20) 의 세로방향 연장부의 방향과 관련하여 본질적으로 여유공간 없이 형성되어 있을 수 있고 (예컨대 0.5 mm 미만의, 바람직하게는 0.3 mm 미만의 여유공간을 가질 수 있다), 그리고 다른 연결장치들은 지지대들 (19, 20) 의 세로방향 연장부의 두 방향으로 여유공간을 가지며, 상기 여유공간은 본질적으로 여유공간이 없는 연결장치로부터의 간격이 증가함과 함께 증가한다 (예컨대 2 mm 보다 많이). 지지대들 (19, 20) 의 세로방향 연장부의 여러 가지 위치에 놓여 있으며 가장 작은 여유공간과 가장 큰 여유공간을 가지는 연결장치 사이의, 지지대들 (19, 20) 의 세로방향 연장부와 관련된 여유공간 안의 차이는 바람직하게는 적어도 계수 5 에 달하며, 이때 예컨대 차이는 계수 20 의 범위에 놓여 있을 수 있다.

이때, 예컨대 실링링 (10a, 11a) 을 교체하기 위해 밸브 플레이트들 (10, 11) 중 하나의 정비가 실행되어야 하면, 밸브 플레이트들 (10, 11) 중 다른 것은 그의 폐쇄위치에 머물러 있을 수 있고, 그리고 진공하에 있는 진공챔버를 밀봉할 수 있다. 이때, 존재하는 압력차이는 수용 공간 (8), 및 다른 밸브 플레이트를 통해 차단 가능한 진공 챔버가 환기되어 있으면, 그리고 이 상태에서 압축공기 라인 (29) 이 환기되면, 이 밸브 플레이트를 폐쇄위치에 유지시킬 수 있다. 이를 위해, 롤러 (17) 들을 가진 지지 유닛 (9) 의 안내는 그의 중앙 위치로부터의 지지 유닛 (9) 의 충분한 이동을 허용할 수 있으며, 예컨대 롤러 (17) 들의 탄성을 통해 허용할 수 있다. 피스톤들 (27, 28) 이 개별적으로 제어될 수 있도록, 두 피스톤 (27, 28) 을 위한 별도의 압축공기 라인 (29) 들이 제공되어 있는 것도 가능하다.

압축공기 라인들 (29, 30) 은 지지대 (19) 안의 채널 (channel) 들과 연결되어 있으며, 상기 채널들은 연결 피스 (64) 안의 채널들을 통하여 밸브 로드 (12) 안의 채널들과 연결되어 있고, 상기 채널들을 통해 압축공기가 공급될 수 있다 (밸브 하우징의 외부에 놓여 있는 밸브 로드 (12) 의 영역 안의 압축공기 라인들의 상응하는 연결부들은 도면들에서 편의상 생략되어 있다).

라인 (78) 은 지지대 (19) 안의 채널과 연결되어 있으며, 상기 채널은 연결 피스 (64) 안의 채널을 통하여 밸브 로드 (12) 안의 채널과 연결되어 있고, 상기 채널은 밸브 하우징의 외부에 놓여 있는 밸브 로드의 영역에서 외부 공간과 연결되어 있으며, 또는 밸브 하우징의 외부에 놓여 있는 밸브 로드 (12) 의 영역은 펌프에 연결된 펌핑 아웃 라인 (pumping-out line) 과 연결되어 있다.

하우징 (65) 의 내부 공간 (66) 은 하우징 (65) 안의 보어에 의해 형성된 라인 (79) 을 통하여 제 2 지지대 (20) 안의 채널과 연결되어 있고, 제 2 지지대 (20) 안의 이 채널은 라인 (62) 과 연결되어 있다. 이러한 방식으로, 중간 부피들 (60, 61) 의 환기 또는 펌핑 아웃이 수행된다.

밸브 하우징 (1) 의 수용 공간 (8) 은 밸브 하우징 (1) 을 통해 수용 공간 (8) 안으로 안내하는 보어에 의해 형성될 수 있는, 도면들에서 알아볼 수 없는 라인을 통하여 진공화될 수 있고 (=펌핑 아웃될 수 있고) 그리고 환기될 수 있다. 이를 통해, 밸브 플레이트들 (10, 11) 이 대기압력의 자릿수에 있는 압력차이에 대해 그들의 폐쇄위치로부터 그들의 중간위치로 이동되어야 하는 것이 가능해질 수 있다.

도시되어 있는 실시예에서, 마주하고 있는 쪽들에 측면으로 드라이브 요소 (22) 들의 피스톤 로드들 옆에 각각 정확히 하나의 지지대 (19, 20) 가 존재하며, 따라서 통틀어 정확히 2 개의 지지대 (19, 20) 가 존재한다. 원칙적으로, 적어도 한쪽에서 측면으로 피스톤 로드들의 옆에 또는 양쪽에서 측면으로 피스톤 로드들의 옆에 1개보다 많은 지지대 (19, 20) 가 존재하는 것도 가능하며, 이때 각각의 지지대는 바람직하게는 모든 드라이브 요소 (22) 와, 존재하는 경우에는, 모든 가이드 요소 (23) 와 강성적으로 연결되어 있다.

본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서, 도시되어 있는 실시예의 여러 가지 그 밖의 변경이 가능하다. 즉, 예컨대 연결장치들과 관련하여 정반대의 형성이 가능하며, 상기 형성에 있어서 연결 부품 (45) 들은 밸브 플레이트들 (10, 11) 에 고정되어 있고, 수용 부품들 (46. 46') 은 피스톤 로드들 (34, 35) 과 연결되어 있으며 또는 - 적어도 회전 가능하지 않은 수용 부품 (46) 들은 - 이것들과 일체로 형성되어 있다. 또한, 이 정반대의 배열은 연결장치들 중 단지 하나의 부품만을 위해 제공되어 있을 수도 있다. 적어도 하나의 가이드 요소 (23) 를 위해서도, 존재하는 경우, 유사한 방식으로 이러한 정반대의 배열이 제공되어 있을 수 있다.

모든 피스톤 로드 및 경우에 따라서는 존재하는 모든 가이드 로드 (직접적으로 또는 연결 피스 (70) 들을 통하여) 를 밸브 플레이트들 (10, 11) 과 연결시키기 위해, 존재하는 드라이브 요소 (22) 들 및 경우에 따라서는 존재하는 가이드 요소 (23) 들의 개수에 따라, 더 많은 또는 더 적은 연결장치가 존재할 수 있다. 도시되어 있는 실시예에서, 외부에 배치된 두 연결장치는 수용 부품 (46') 들을 구비한다. 그 대신에 또는 추가적으로, 드라이브 요소 (22) 들 및/또는 경우에 따라서는 존재하는 가이드 요소 (23) 들 중 적어도 하나의 다른 것은 (그의 수용 부품 (46') 은 회전 가능하다) 연결장치를 통하여 각각의 밸브 플레이트 (10, 11) 와 연결되어 있을 수 있다. 이때, 통틀어 단지 하나의 유일한 수용 부품 (46') 이 존재할 수도 있으며, 상기 수용 부품은 예컨대 중앙 가이드 요소 (23) 에게 또는 그 대신 제공되어 있는 중앙 드라이브 요소 (22) 에게 할당되어 있고, 반면 모든 다른 수용 부품 (46) 은 비틀려질 수 없다. 바람직하게는, 적어도 2 개의 회전 가능한 수용 부품 (46') 이 존재한다.

멤브레인들 (57, 58 및/또는 67, 68) 대신에, 강성 부품들이 존재할 수도 있으며, 상기 강성 부품들을 통해 피스톤 로드들 (34, 35) 또는 연결 피스들 (70, 71) 이 밀봉되게 관통되어 있고, 예컨대 슬라이딩 부싱 유형의 각각의 실링링을 이용해 또는 벨로스 부싱 유형의 각각의 벨로스를 이용해 관통되어 있다.

본 발명에 따른 진공 밸브는 단지 하나의 유일한 밸브 플레이트를 구비할 수도 있으며, 상기 밸브 플레이트는 연결장치들을 통하여 지지 유닛과 연결되어 있다. 개방위치로부터 폐쇄위치로의 적어도 하나의 밸브 플레이트의 이동은 도시된 것과 다른 방식으로도 수행될 수 있다. 즉, 예컨대 지지 유닛 자체는 드라이브 요소들 없이 형성되어 있을 수 있다. 그의 중간위치와 그의 폐쇄위치 사이에서 상기 적어도 하나의 밸브 플레이트의 이동은 예컨대 플런저들을 통해 수행될 수 있으며, 상기 플런저들은 피스톤-실린더 유닛들에 의해 작동되고, 상기 피스톤-실린더 유닛들은 밸브 하우징에 배치되어 있다. 다른 가능한 형성들에 있어서, 지지 유닛, 및 상기 지지 유닛에 부착된 적어도 하나의 밸브 플레이트를 이동시키기 위해, 상기 지지 유닛이 부착되어 있는 적어도 하나의 밸브 로드는 평행으로 이동될 수 있거나 또는 선회축 둘레로 선회될 수 있다.

1 : 밸브 하우징 2 : 제 1 밸브 개구부
3 : 제 2 밸브 개구부 4 : 축
5 : 축 6 : 밸브시트
7 : 밸브시트 8 : 수용 공간
9 : 지지 유닛 10 : 제 1 밸브 플레이트
10a : 실링링 11 : 제 2 밸브 플레이트
11a : 실링링 12 : 밸브 로드
13 : 밸브 로드-드라이브 14 : 피스톤-실린더 유닛
15 : 피스톤-실린더 유닛 16 : 가로대
17 : 롤러 18 : 가이드 레일
19 : 제 1 지지대 20 : 제 2 지지대
21 : 중간 공간 22 : 드라이브 요소
23 : 가이드 요소 24 : 실린더
25 : 제 1 실리더 공간 26 : 제 2 실린더 공간
27 : 제 1 피스톤 28 : 제 2 피스톤
29 : 압축공기 라인 30 : 압축공기 라인
31 : 실리더 바디 32 : 실린더 커버
33 : 실린더 커버 34 : 피스톤 로드
35 : 피스톤 로드 36 : 중간벽
37 : 가이드 핀 38 : 가이드 핀
39 : 리세스 40 : 리세스
41 : 측면 42 : 오목부
43 : 오목부 45 : 연결 부품
46, 46' : 수용 부품 47 : 넥 섹션
48 : 헤드 섹션 49 : 수용 슬롯
50 : 도입 방향 51 : 장방형 구멍
52 : 장방형 구멍 53 : 볼트
54 : 볼트 55 : 돌출부
56 : 맞물림 요소 57 : 멤브레인
58 : 멤브레인 59 : 실링링
60 : 중간 부피 61 : 중간 부피
62 ; 라인 63 : 실링링
64 : 연결 피스 65 : 하우징
66 : 내부 공간 67 : 멤브레인
68 : 멤브레인 69 : 실링링
70 : 연결 피스 71 : 연결 피스
72 : 실링링 73 : 가이드 로드
74 : 돌출부 75 : 가이드 부시
76 : 오목부 77 : 오목부
78 : 라인 79 : 라인
80 : 회전축

Claims

진공 밸브로서,
- 축들 (4, 5) 을 구비하는, 그리고 밸브시트 (valve seat, 6, 7) 에 의해 둘러싸여 있는 적어도 하나의 밸브 개구부 (valve opening, 2, 3) 를 가진 밸브 하우징 (valve housing, 1),
- 적어도 하나의 밸브 플레이트 (10, 11) 로서, 상기 밸브 플레이트가 상기 밸브 개구부 (2, 3) 를 해제하는 개방위치와 상기 밸브 플레이트가 상기 밸브시트 (6, 7) 에 밀착하는 폐쇄위치 사이에서 이동가능한, 상기 적어도 하나의 밸브 플레이트, 및
- 상기 적어도 하나의 밸브 플레이트 (10, 11) 를 받치고 있는 지지 유닛 (9) 을 포함하는 진공 밸브에 있어서,
상기 적어도 하나의 밸브 플레이트 (10, 11) 는 적어도 2 개의 연결장치를 통하여 상기 지지 유닛 (9) 과 연결되어 있으며, 상기 연결장치들은 각각, 넥 섹션 (neck section, 47), 및 확대된, 상기 넥 섹션 (47) 에 대해 돌출하는 헤드 섹션 (head section, 48) 을 가지는 연결 부품 (45), 및 수용 부품 (46, 46') 을 구비하고, 상기 수용 부품은 각각 수용 슬롯 (49) 을 가지며, 상기 수용 슬롯 안으로, 상기 연결 부품 (45) 의 상기 넥 섹션 (47) 은 상기 연결 부품 (45) 의 마지막 위치 안까지 도입 가능하고, 그리고 상기 수용 슬롯은, 적어도 상기 연결 부품 (45) 이 그의 마지막 위치에 있는 수용 슬롯 (49) 의 영역에서, 슬롯 폭의 방향으로 측정된 상기 연결 부품 (45) 의 상기 헤드 섹션 (48) 의 지름보다 작은 슬롯 폭을 가지며, 상기 연결 부품 (45) 이 상기 수용 슬롯 (49) 들 밖으로 이탈하는 것을 저지하기 위해, 상기 연결장치들의 수용 부품들 중 적어도 하나의 수용 부품 (46') 은 회전축 (80) 둘레로, 관련 상기 연결 부품 (45) 이 그의 넥 섹션 (47) 과 함께 마지막 위치까지 상기 수용 슬롯 (49) 안으로 도입가능한 도입위치로부터 차단위치로 회전 가능한 것을 특징으로 하는, 진공 밸브.
제 1 항에 있어서,
상기 밸브 플레이트 또는 각각의 상기 밸브 플레이트 (10, 11) 는 적어도 2 개의 연결장치를 통하여 상기 지지 유닛 (9) 과 연결되어 있으며, 상기 연결장치들에 있어서 상기 수용 부품 (46') 은 각각 회전축 (80) 둘레로 상기 도입위치와 상기 차단위치 사이에서 회전 가능하고, 상기 회전축 (80) 들은 서로 평행으로 놓여 있는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 연결장치들은 상기 적어도 하나의 밸브 플레이트의 세로방향 연장부 (longitudinal extension) 의 방향에 있어서 서로 간격을 두고 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 밸브 플레이트 또는 상기 밸브 플레이트들 (10, 11) 각각은 적어도 3 개의 상기 연결장치를 통하여 상기 지지 유닛 (9) 과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브.
제 4 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 밸브 플레이트 (10, 11) 의 세로방향 연장부의 방향과 관련하여 양쪽 외측에 놓여 있는 상기 연결장치들의 상기 수용 부품 (46') 들은 각각 회전축 (80) 둘레로 상기 도입위치와 상기 차단위치 사이에서 회전 가능한 것을 특징으로 하는, 진공 밸브.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 밸브 플레이트 (10, 11) 는 상기 개방위치로부터, 상기 적어도 하나의 밸브 플레이트 (10, 11) 가 상기 적어도 하나의 밸브 개구부 (2, 3) 를 덮는, 하지만 상기 밸브시트 (6, 7) 로부터 들어내져 있는 중간위치 (intermediate position) 를 거쳐 상기 폐쇄위치로 이동 가능한 것을 특징으로 하는, 진공 밸브.
제 6 항에 있어서,
상기 지지 유닛 (9) 은 드라이브 요소 (drive element, 22) 들을 포함하며, 상기 드라이브 요소들에 의해 상기 적어도 하나의 밸브 플레이트 (10, 11) 는 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 이동 가능하고, 그리고 상기 드라이브 요소들은 각각, 적어도 하나의 실린더 공간 (25, 26) 을 구비하는 실린더 (24), 및 피스톤 로드 (piston rod, 34, 35) 를 가지며 실린더 공간 (25, 26) 안에 배치된 적어도 하나의 피스톤 (27, 28) 을 포함하며, 피스톤 로드들 (34, 35) 은 각각 상기 연결장치들 중 하나를 통하여 상기 밸브 플레이트와 또는 상기 밸브 플레이트들 (10, 11) 중 하나와 연결되어 있는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 밸브 하우징 (1) 은 평행하는 축들 (4, 5) 을 구비하는, 그리고 각각 상기 밸브시트 (6, 7) 에 의해 둘러싸여 있는 상기 제 1 밸브 개구부 (2) 및 상기 제 2 밸브 개구부 (3) 를 구비하며, 그리고 상기 지지 유닛 (9) 에 의해 상기 제 1 밸브 플레이트 (10) 및 상기 제 2 밸브 플레이트 (11) 가 받쳐져 있고, 상기 밸브 플레이트들은 각각, 상기 밸브 플레이트들 (10, 11) 이 각각의 상기 밸브 개구부 (2, 3) 를 해제하는 개방위치와 상기 밸브 플레이트들 (10, 11) 이 각각의 상기 밸브시트 (6, 7) 에 밀착하는 중간위치 사이에서 이동 가능하며, 그리고 상기 밸브 플레이트들은 각각 적어도 2 개의 연결장치를 통하여 상기 지지 유닛 (9) 과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브.
제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
상기 지지 유닛 (9) 은 적어도 하나의 제 1 지지대 (19) 및 제 2 지지대 (20) 를 구비하며, 상기 지지대들과 상기 드라이브 요소 (22) 들의 실린더 (24) 들은 강성적으로 연결되어 있고, 상기 실린더 (24) 들은 각각, 상기 제 1 지지대 (19) 와 상기 제 2 지지대 (20) 사이에 놓여 있는 중간 공간을 가교하며, 상기 지지대들은 마주하고 있는 쪽들에 측면으로 상기 드라이브 요소 (22) 들의 피스톤 로드들 (34, 35) 옆에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브.
제 9 항에 있어서,
상기 지지대들 (19, 20) 은 상기 밸브 개구부들 (2, 3) 의 축들 (4, 5) 에 대해 직각으로 있는 세로방향 연장부들 (longitudinal extensions) 을 구비하는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브.
제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,
상기 지지 유닛 (9) 은 적어도 하나의 밸브 로드 (valve rod, 12) 에 부착되어 있으며, 상기 밸브 로드는 상기 제 1 밸브 플레이트 (10) 및 제 2 밸브 플레이트 (11) 를 상기 개방위치와 상기 중간위치 사이에서 이동시키기 위해 밸브 로드-드라이브 (13) 에 의해 상기 밸브 로드 (12) 의 세로축의 방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는, 진공 밸브.
제 11 항에 있어서,
상기 지지대들 (19, 20) 은 상기 적어도 하나의 밸브 로드 (12) 의 세로방향 연장부에 대해 직각으로 있는 세로방향 연장부들을 구비하는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브.
제 7 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 연결장치들을 통하여 피스톤 로드들 (34, 35) 을 상기 밸브 플레이트들 (10, 11) 과 연결시키기 위해, 상기 각각의 연결장치의 연결 부품 (45) 은 각각의 상기 피스톤 로드 (34, 35) 에 고정되어 있거나 또는 이것과 일체로 형성되어 있으며, 그리고 각각의 상기 연결장치의 관련 수용 부품 (46, 46') 은 각각의 상기 밸브 플레이트 (10, 11) 에 부착되어 있거나 또는 이것과 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브.
제 6 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지 유닛 (9) 은 추가적으로 적어도 하나의 가이드 요소 (guide element, 23) 를 구비하며, 상기 가이드 요소는 하우징 (65), 및 상기 하우징 (65) 으로부터 이동 가능하게 안내된 적어도 하나의 가이드 로드 (73) 를 포함하고, 상기 가이드 로드는 상기 밸브 플레이트와 또는 상기 밸브 플레이트들 (10, 11) 중 하나와 연결되어 있으며, 상기 가이드 요소 (23) 는 밀봉된 내부 공간 (66) 을 구비하고, 상기 내부 공간은 상기 하우징 (65) 에 의해, 그리고 상기 적어도 하나의 밸브 개구부 (2, 3) 의 축들 (4, 5) 의 방향과 관련하여 마주하고 있는 쪽들에서 플렉시블 멤브레인들 (67, 68) 에 의해 한정되어 있으며, 그리고 상기 내부 공간 안에는 상기 적어도 하나의 가이드 로드 (73) 가 이동 가능하게 설치되어 있고, 그리고 상기 내부 공간은 라인 (line, 78) 을 통하여 대기와 연결되어 있거나 또는 진공화되어 있는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브.
제 14 항에 있어서,
상기 하우징 (65) 은 제 1 지지대 (19) 및 제 2 지지대 (20) 에 고정되어 있으며, 그리고 상기 제 1 지지대 (19) 와 상기 제 2 지지대 (20) 사이에 놓여 있는 중간 공간 (21) 을 가교하는 것을 특징으로 하는, 진공 밸브.