RU2713999C1 - Манипулятор с вакуумной камерой - Google Patents
Манипулятор с вакуумной камерой Download PDFInfo
- Publication number
- RU2713999C1 RU2713999C1 RU2018127112A RU2018127112A RU2713999C1 RU 2713999 C1 RU2713999 C1 RU 2713999C1 RU 2018127112 A RU2018127112 A RU 2018127112A RU 2018127112 A RU2018127112 A RU 2018127112A RU 2713999 C1 RU2713999 C1 RU 2713999C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- vacuum
- bellows
- vacuum chamber
- manipulator
- control handle
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J1/00—Manipulators positioned in space by hand
- B25J1/02—Manipulators positioned in space by hand articulated or flexible
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J21/00—Chambers provided with manipulation devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкции манипуляторов, работающих в вакууме. Манипулятор с вакуумной камерой содержит исполнительный орган, выполненный с возможностью поступательного и качательного движений посредством механизма ручного привода с рукояткой управления и сильфонами. При этом вакуумная камера выполнена с крышкой, имеющей герметичную полость, соединенную с источником вакуума. На крышке смонтирован упомянутый механизм ручного привода, рукоятка управления которого связана с исполнительным органом, выполненным в виде предметного столика. Сильфоны разделены между собой упомянутой герметичной полостью крышки. Изобретение обеспечивает повышение надежности герметизации вакуумной камеры. 1 ил.
Description
Предлагаемое изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкции манипуляторов, работающих в вакууме.
Известен манипулятор, работающий в герметизированном объеме (см. а.с. №1274922 М. кл. 4 В25J 21/00), содержащий корпус, в котором смонтированы привод поступательного движения исполнительного органа в виде винтового механизма и связывающего его с исполнительным органом штока с сильфонным компенсатором, привод вращательного движения, состоящий из упруго-деформируемой трубы, закрепленной на упругой диафрагме, отделяющей рабочее пространство манипулятора от нерабочего, задающего и ведомого генераторов, привод качательного движения в виде системы рычагов, связанных со штоком и исполнительным органом. Шток с сильфонным компенсатором установлен внутри упруго-деформируемой трубы, закреплен на гибкой диафрагме и снабжен двумя наружными гибкими диафрагмами, расположенными параллельно друг другу и установленными со смещением относительно гибкой диафрагмы упруго-деформируемой трубы, образуя компенсирующую герметичную полость, которая соединена с вакуумной контролирующей аппаратурой.
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому изобретению (прототипом) является манипулятор, работающий в герметизированном объеме (см. книгу М.И. Медникова «Вводы движения в вакуум» М., 1974 г. с. 98-100), выполненный в виде комбинированного сильфонного ввода поступательного и качательного движений, с помощью которого можно передать размещенному в вакуумной камере предметному столику поступательное вертикальное перемещение, горизонтальное перемещение в двух взаимно перпендикулярных направлениях. К фланцу, герметично установленному на вакуумной камере, герметично приварен стакан и диск, к которому приварена гирлянда из двух сильфонов, к которой в нижней ее части приварен опорный стакан, закрепленный на фланце юстировочного механизма, который крепится на плите.
Внутри стакана размещен сильфонный ввод поступательного движения, состоящий из двух последовательно сваренных сильфонов, один из которых приваривается к стакану, а другой закреплен на пробке, в которую ввернуты в вакууме и в атмосфере. Штоки соединены с маховиком передачей винт-гайка.
Таким образом, вертикальные перемещения предметного столик манипулятора осуществляются за счет движения плиты с юстировочным механизмом. Горизонтальные перемещения предметного столика создаются при вращении маховиков.
Цель изобретения - повышение надежности герметизации вакуумной камеры.
Поставленная цель достигается тем, что в вакуумном манипуляторе, содержащем вакуумную камеру с крышкой, исполнительный орган и сильфонный механизм ввода движений в камеру, сильфоны ввода движений разделены между собой герметичной полостью, образованной в крышке вакуумной камеры, которая соединена с источником вакуума.
Разделение сильфонов механизмов ввода движений герметичной полостью и соединение ее с источником вакуума позволит повысить надежность работы манипулятора за счет удаления газонатекания среды через сильфоны, контактирующие с вакуумной средой.
Известен герметичный ввод в вакуумную камеру с образованием между герметизирующими элементами замкнутой полости (см. а.с. №931461 М. кл. 4 В25J 21/00), соединенной с вакуумной контролирующей аппаратурой. Такое техническое решение позволяет контролировать степень герметичности ввода. Соединение полости в заявляемом решении с источником вакуума позволяет повысить надежность герметизации за счет откачки газа через сильфоны, что является новым эффектом. Таким образом, предлагаемое техническое решение обладает признаком «существенные отличия».
На фиг. 1 изображен общий вид предлагаемого манипулятора. На фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1
Вакуумный манипулятор содержит крышку 1 вакуумной камеры, на которой смонтирован механизм ручного привода сильфонного ввода поступательного 2 и качательного 3 движений исполнителного органа 4 (предметного столика), связывающий последний с рукояткой управления 5 манипулятора через крышку 1 вакуумной камеры. Сильфоны 6 и 7 механизма ручного привода сильфонного ввода разделены между собой герметичной полостью 8, образованной в крышке 1 вакуумной камеры и соединенной каналом 9 с вакуумным насосом 9 на чертеже не показан).
Вакуумный манипулятор работает следующим образом.
При поступательном движении исполнительный орган 4 получает перемещение от рукоятки управления 5 привода 2 сильфонного ввода поступательного движения. Сильфоны 6, разделенные между собой полостью 8, герметизируют передачу поступательного движения исполнительному органу 4 и отделяют рабочее пространство манипулятора от (вакуумированный объем) от нерабочего.
При качательном движении исполнительный орган получает движение от рукоятки 5 привода сильфонного ввода качательного 3 движения. Сильфоны 7, разделенные между собой полостью 8 герметизируют передачу качательного движения исполнительному органу 4.
Газонатекание в полость 8 через сильфоны ликвидируется путем откачки его вакуумным насосом через канал 9.
Таким образом, использование предполагаемого изобретения позволяет значительно повысить герметичность и, тем самым, надежность ввода движений в вакуумную камеру, что позволит более качественно выполнять в камере технологические операции.
Claims (1)
- Манипулятор с вакуумной камерой, содержащий исполнительный орган, выполненный с возможностью поступательного и качательного движений посредством механизма ручного привода с рукояткой управления и сильфонами, отличающийся тем, что вакуумная камера выполнена с крышкой, имеющей герметичную полость, соединенную с источником вакуума, при этом на крышке смонтирован упомянутый механизм ручного привода, рукоятка управления которого связана с исполнительным органом, выполненным в виде предметного столика, при этом сильфоны разделены между собой упомянутой герметичной полостью крышки.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2018127112A RU2713999C1 (ru) | 2018-07-23 | 2018-07-23 | Манипулятор с вакуумной камерой |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2018127112A RU2713999C1 (ru) | 2018-07-23 | 2018-07-23 | Манипулятор с вакуумной камерой |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2713999C1 true RU2713999C1 (ru) | 2020-02-11 |
Family
ID=69625660
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2018127112A RU2713999C1 (ru) | 2018-07-23 | 2018-07-23 | Манипулятор с вакуумной камерой |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2713999C1 (ru) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1274922A2 (ru) * | 1985-06-21 | 1986-12-07 | Красноярский Политехнический Институт | Манипул тор,работающий в герметизированном объеме |
SU1604609A1 (ru) * | 1989-01-20 | 1990-11-07 | Научно-производственное объединение "Сибцветметавтоматика" | Манипул тор, работающий в герметизированном объеме |
SU1668132A1 (ru) * | 1988-10-17 | 1991-08-07 | Предприятие П/Я В-8754 | Вакуумный манипул тор |
WO1992005922A1 (en) * | 1990-09-27 | 1992-04-16 | Genmark Automation | Vacuum elevator |
SU1754442A1 (ru) * | 1990-12-25 | 1992-08-15 | Научно-Исследовательский Технологический Институт Министерства Электронной Промышленности Ссср | Вакуумный манипул тор |
RU2691173C1 (ru) * | 2018-01-09 | 2019-06-11 | Александр Андреевич Никитин | Вакуумный манипулятор |
-
2018
- 2018-07-23 RU RU2018127112A patent/RU2713999C1/ru active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1274922A2 (ru) * | 1985-06-21 | 1986-12-07 | Красноярский Политехнический Институт | Манипул тор,работающий в герметизированном объеме |
SU1668132A1 (ru) * | 1988-10-17 | 1991-08-07 | Предприятие П/Я В-8754 | Вакуумный манипул тор |
SU1604609A1 (ru) * | 1989-01-20 | 1990-11-07 | Научно-производственное объединение "Сибцветметавтоматика" | Манипул тор, работающий в герметизированном объеме |
WO1992005922A1 (en) * | 1990-09-27 | 1992-04-16 | Genmark Automation | Vacuum elevator |
SU1754442A1 (ru) * | 1990-12-25 | 1992-08-15 | Научно-Исследовательский Технологический Институт Министерства Электронной Промышленности Ссср | Вакуумный манипул тор |
RU2691173C1 (ru) * | 2018-01-09 | 2019-06-11 | Александр Андреевич Никитин | Вакуумный манипулятор |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
МЕДНИКОВ М.И. Вводы движения в вакуум, М., Машиностроение, 1974, сс.98-100, рис.42. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7731151B2 (en) | Pendulum vacuum gate valve | |
CN1232892C (zh) | 流速控制装置 | |
RU2006141599A (ru) | Многоцилиндровый насос с гидроприводом | |
RU2713999C1 (ru) | Манипулятор с вакуумной камерой | |
RU2691173C1 (ru) | Вакуумный манипулятор | |
RU2009107505A (ru) | Конструкция уплотнительного узла для гидро- или пневмопривода | |
TW201634852A (zh) | 在真空室之室壁上關閉一室開口之門 | |
CN105386966A (zh) | 微型隔膜泵 | |
US3387566A (en) | Fluid operated prime mover | |
CN103295943B (zh) | 基板输送装置和使用该基板输送装置的半导体制造装置 | |
CN202254767U (zh) | 高温回转窑筒体专用密封装置 | |
RU2691168C1 (ru) | Вакуумный манипулятор | |
US679898A (en) | Means for sealing parts of machinery. | |
RU2688075C1 (ru) | Манипулятор, работающий в герметизированном объёме | |
CN202946714U (zh) | 一种气动隔膜阀 | |
CN2872230Y (zh) | 一种带有压力调节装置的冷机 | |
SU1274922A2 (ru) | Манипул тор,работающий в герметизированном объеме | |
US3086528A (en) | Intermittent vacuum regulator | |
RU2020107981A (ru) | Манипулятор, работающий в герметизированном объеме | |
US905973A (en) | Mechanical production of high vacuums. | |
US4080183A (en) | Radial flow scrubber | |
CN219774832U (zh) | 一种新型大口径调节阀 | |
RU2705166C1 (ru) | Манипулятор, работающий в герметизированном объеме | |
US1958689A (en) | Pump | |
RU2020117522A (ru) | Манипулятор, работающий в герметизированном объеме |