SU1668132A1

SU1668132A1 - Вакуумный манипул тор

Info

Publication number: SU1668132A1
Application number: SU884495980A
Authority: SU
Inventors: Николай Александрович Кузнецов; Павел Владимирович Логинов; Анатолий Иванович Шашков
Original assignee: Предприятие П/Я В-8754
Priority date: 1988-10-17
Filing date: 1988-10-17
Publication date: 1991-08-07

Abstract

Изобретение относитс к устройствам вакуумной техники и может использоватьс в вакуумных установках дл передачи изделий из одной вакуумной камеры в другую, например дл передачи подложек в установках электронной и ионной спектроскопии. Целью изобретени вл етс повышение надежности работы за счет увеличени жесткости конструкции. Вакуумный манипул тор состоит из герметического корпуса 1, ползуна 2, выполненного в виде трубы с двум парами продольных параллельных дорожек с выступами между ними, на которых установлены опорные ролики, а также захвата 4 с приводом его зажима и приводом 3 его продольного перемещени . Привод 3 продольного перемещени включает двигатель 19 и зубчато-реечную передачу, рейка 24 которой смонтирована на выступе ползуна 2. Захват 4 выполнен в виде корпуса и двух рычагов 9 и 10, установленных с возможностью поворота на ос х, закрепленных в корпусе захвата 4, и снабженных взаимодействующими друг с другом выступами. При этом рычаг 9 соединен с пружиной 12, прикрепленной к корпусу захвата, а рычаг 10 соединен через ролик 11 с тросиком 29 механизма зажима. Тросик 29 привода зажима расположен сбоку от ползуна 2. 1 з.п.ф-лы, 9 ил.

Description

Б-5

д-д

Фиг. 5

12

Фиг. 4

Фиг. 5

rt

Л

L ттФ

w

Риг.б

JL-S

F4J-vvwwiu г С

(pUZ. 7

Claims

Формула изобретения

1. Вакуумный манипулятор, содержащий герметичный корпус и установленный в нем на опорных роликах ползун, кинематически связанный с приводом его продольного перемещения, включающим двигатель и зубчато-реечную передачу, зубчатое колесо которой связано с двигателем, а также захват, корпус которого установлен на одном конце ползуна, и привод зажима захвата, включающий двигатель, трос, один конец которого закреплен на торце ползуна, проти воположном месту крепления захвата, и три ролика, средний из которых закреплен на выходном элементе двигателя, а два крайних — на герметичном корпусе, отличающийся тем. что, с целью повышения надежности за счет ужесточения конструкции, ползун выполнен в виде трубы с расположенными на ее противоположных сторонах двумя парами продольных параллельных дорожек, и выступами между ними, а опорные ролики установлены с возможностью взаимодействия с продольными параллельными дорожками трубы и с одним из выступов, причем два опорных ролика установлены с возможностью регулировочного перемещения относительно ползуна, а рейка зубчатой передачи привода продольного перемещения ползуна смонтирована на другом выступе, при этом трос привода зажима захвата расположен между двумя продольными параллельными дорожками и связан с торцом ползуна посредством дополнительно введенного натяжного устройства, а захват выполнен в виде корпуса, двух двуплечих рычагов,установленных на корпусе и снабженных выступами, взаимодействующими друг с другом и с дополнительно введенной пружиной, при этом один из этих рычагов связан с корпусом посредством этой пружины, а другой рычаг связан с тросом привода зажима захвата.
2. Манипулятор по π. 1, отличающийся тем, что корпус захвата установлен с возможностью изменения положения по углу относительно оси ползуна.

6-5 д-8

Фиг. 5 ^{ψυ? 4} срйг.5

.L □-------------] =^----р= 4 к. . —— 1 .1---1— π 4FVWWVI «τ'

*5 --------! *|+ ---J—^:-----l-----1—$

Τψ- -η у 1 в е=

Фиг 6

ΙΗΙΗν v vvvMJ

L

η—¹⁼³—— — ......1 2 4—!

-4-