KR940008683B1 - 현미경 지지기구 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

현미경 지지기구

제1도는 본 발명의 일실시예를 도시하는 사시도.

제2도는 정면도.

제3도는 평면도.

제4도는 우측면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

2 : 지지점축 3, 4 : 요동판

8 : 현미경 부착축 11, 12 : 타이밍 풀리

13 : 타이밍 벨트 32 : 현미경

[산업상의 이용분야]

본 발명은 가공부품의 표면을 보기위한 현미경을 지지하는 현미경지지기구에 관한 것이다.

[종래의 기술]

예를 들면 본딩장치에 있어서는 가공부품인 반도체부품의 본딩상태를 관찰하기 위하여 장치의 고정부에 부착된 현미경지지기구에 현미경이 부착되어 왔다.

종래, 현미경지지기구는 예를 들면 일본국 특공평 2-58775호 공보에 개시되어 있따. 이 구조는 현미경을 수동으로 반도체 부품의 보내기 방향과 평행으로 이동가능 및 반도체부품의 보내기방향과 직각 방향으로 이동가능하게 설치하고 있다.

그런데, 상기 현미경 지지기구에 있어서는 반도체부품을 직접눈으로 관찰 또는 본딩부의 근방의 장치부분을 조정하는 경우에는 현미경이 방해가 되므로 현미경을 본딩부의 전방에서 퇴피시킬 필요가 있다.

이 때문에 상기 종래기술에 있어서는 현미경 지지기구전체가 지지점축을 중심으로 회전운동하도록 되어있다.

[발명이 해결하려고 하는 과제]

상기 종래기술은 현미경지지기구가 단지 지지점 축을 중심으로하여 회전운동하는 구조이므로, 현미경을 본딩부의 자기앞에서부터 지지점축을 중심으로 퇴피시켰을 경우 이 회전각만큼 현미경도 회전운동하여 자세가 바뀐다.

그런데, 본딩부의 자기앞을 넓게 열기 위하여서는 현미경지지기구를 약 90도 회전운동시킬 필요가 있다.

그러나 예를 들면 본딩장치와 같이, 현미경을 회피방향으로 회전운동시킨 경우에 있어서 측방에 본딩 장치의 장치부재가 설치되어 있는, 것은 현미경이 맞닿으므로, 현미경지지기구를 90도 회전운동시킬 수가 없다.

이 때문에 현미경 지지기구에 고정하는 현미경의 손잡이를 느슨하게하고, 현미경의 자세를 수정하면서 현미경 지지기구를 회전이동시킬 필요가 있고 현미경을 본딩부(관찰부)의 자기앞에서 신속히 퇴피시킬수가 없다라는 문제가 있다.

본 발명의 목적은 현미경을 신속히 퇴피시킬수가 있는 현미경지지기구를 제공하는 것에 있다.

[과제를 해결하기 위한 수단]

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은 지지점축과 그 지지점축을 중심으로 회전가능하게 일단부측이 지지된 요동판과 상기 지지점측에 고정된 풀리와 상기 요동판의 타단측에 회전이 자유롭게 지지된 현미경 부착축과 그 현미경 부착축에 고정된 풀리와 상기 2개의 풀리에 걸어감는 벨트를 구비하고 상기 현미경 부착축에 현미경을 부착한 것을 특징으로 한다.

[작용]

지지점축을 중심으로 회전운동하는 요동판을 회전운동시켜도, 지지점축에 고정된 풀리는 회전운동하지 않는다. 따라서 요동판을 회전운동시키면 벨트는 요동판에 속도비 1 :1로 연동하기 때문에 다른 풀리에 고정된 현미경 부착축은 요동판의 회전운동각만큼 요동판에 대하여 회전운동한다.

이 때문에 요동판의 회전운동에도 불구하고 현미경의 자세는 회동운동의 전후에서 변하지 않는다.

이와같이 현미경의 자세는 변하지 않으므로 관찰부의 자기앞쪽에 장치부재가 설치된 것에 있어서도 그 장치부재에 맞닿는 경우가 없다. 즉, 요동판을 회전운동시키는 동작만으로 족하고 현미경을 신속히 퇴피시킬 수가 있다.

[실시예]

이하 본 발명의 일실시예를 도면에 의하여 설명한다.

그자 형상을 한 고정몸체(1)에는 지지점축(2)이 고정되어 있다. 지지점축(2)에는 고정몸체(1)의 내측부에 상하로 2개의 요동판(3, 4)의 일단측이 각각 플랜지에 부착된 슬리브베어링(5, 6)를 사이에 두고 회전 자유롭게 지지되어 있고, 요동판(3, 4)의 타단은 고정판(7)에 일체로 고정되어 있다. 요동판(3, 4)의 타단측에는 현미경 부착축(8)이 플랜지에 부착된 슬리브 베어링(9, 10)을 통하여 회전 자유롭게 지지되어 있다.

상기 지지점축(2) 및 현미경 부착축(8)에는 요동판(3, 4) 사이에 각각 타이밍 풀리(11, 12)가 고정되어 있고, 타이밍 풀리(11, 12)에는 타이밍벨트(13)가 걸어 감겨져 있다. 또 타이밍 벨트(13)에 장력을 부여하기 위하여 요동판(4)에는 타이밍벨트(13)에 압접하도록 텐션로울러(14, 15)가 회전자유로이 지지되어 잇다.

상기 현미경 부착축(8)에는 로크판(20)의 일단측이 고정되어 있고, 로크판(20)의 타단은 고정몸체(1)의 그자 상부(1a)의 홈이 삽입되어 있다. 고정몸체(1)에는 로크판(20)의 상면에 위치하도록 닿는판(21)이 고정되고, 닿는판(21)에 대응하여 고정몸체(1)에는 로크나사(22)가 나사맞춤되어 있다. 따라서 로크나사(22)를 죄면 닿는판(21)는 로크판(20)에 압접되고, 로크판(20), 즉 현미경 부착축(8)은 고정된다. 또 로크나사(22)를 느슨하게 하면, 닿는판(21)은, 로크판(20)의 누름을 해제함으로, 로크판(20), 즉 현미경 부착축(8)을 자유로이 이동시킬수가 있다.

이와같이 구성된 현미경 지지기구는 예를 들면 본딩장치(도시하지 않음)의 본딩부(30)의 근방에 있어서 고정부(31)에 상기 고정몸체(14)가 고정된다. 그리고 현미경 부착측(8)에 현미경(32)의 현미경홀더(33)를 손잡이(34)에 의하여 고정하여 사용한다.

상기 본딩부(30)에는 리이드프레임(40)에 맞닿아서 리이드 프레임(40)을 가열하면 히트블록(41)이 도시하지 않는 수단에 의하여 상하동 가능하게 설치되어 있다. 히트블록(41)의 양측에는 리이드프레임(40)을 안내하는 가이드 레일(42, 43)이 배열설치되어 있고 리이드프레임(40)은 가이드 레일(42)(43)에 따라 도시하지 않는 수단으로 간헐적으로 제4도에 있어서 지면에 수직한 방향을 보내어진다. 또 도시하지 않았지만, 본딩부(30)의 상방에는 리이드프레임(40)을 히트블록(41)에 가압하는 누름판이 구동수단에 의하여 상하동 가능하게 설치되어 있다.

다음에는 작용에 대하여 설명한다.

제3도 및 제4도는 본딩상태를 관찰하는 상태를 도시하고 있고, 현미경(32)은 본딩부(30)의 전방의 상방에 위치되어 있다. 여기서 현미경(32)은 본딩부(30)의 전방으로부터 퇴피시키는 경우에는 로크나사(22)를 느슨하게 하고 현미경(32) 또는 요동판(3, 4)을 손으로 자기앞으로 끌면, 요동판(3, 4)은 지지점축(2)을 중심으로하여 화살표 A방향으로 회전 운동한다.

이경우, 다이밍풀리(11)는 지지점축(2)에 고정되고, 지지점축(2)은 고정몸체(1)에 고정되어 있으므로 요동판(3, 4)을 회전운동시켜도 타이밍풀리(11)는 회전 운동하지 않는다.

여기서 상기와 같이 요동판(3, 4)이 화살표 A방향으로 회전운동하면, 타이밍 벨트(13)는 요동판(3, 4)에 속도비 1 : 1로 연동하기 때문에 요동판(3, 4)의 회전운동각만큼 요동판(3, 4)에 대하여 상대적으로 회전운동한다.

이 때문에 요동판(3, 4)을 회전운동시켜도 타이밍풀리(12)의 자세는 변하지 않는다. 즉 타이밍풀리(12)에는 현미경부착축(8)이 부착되고, 현미경 부착축(8)에는 현미경(92)이 부착되어 있으므로 현미경(32)에는 제3도에 2점 쇄선으로 표시하는 바와 같이 그 자세는 변하지 않고, 본딩부(30)의 자기압에서 퇴피된다.

이와같이 현미경(32)의 자세는 변하지 않으므로 본딩부(30)(관찰부)의 자기 앞의 측방에 장치부재가 설치된 것에 있어서는 그 장치부재에 닿는일은 없다. 즉, 요동판(3, 4)을 회전운동시키는 동작만으로 좋으므로 현미경(32)을 신속히 퇴피시킬수가 있다. 더욱, 상기 실시에에 있어서는 타이밍 벨트(13)을 사용한 경우에 대하여 설명하였지만 체인도 좋고, 또 보통의 벨트도 좋다. 그러나 타이밍벨트(13)을 사용하는 편이 바람직하다.

[발명의 효과]

본 발명에 의하면 관찰부의 자기앞에서 현미경을 신속히 퇴피시킬수가 있다.

Claims (1)

1. 지지점축과 이 지지점축을 중심으로 하여 회전 가능하게 일단부측이 지지된 요동판과, 상기 지지점측에 고정된 풀리와 상기 요동판의 타단측에 회전 자유롭게 지지된 현미경 부착축과, 이 현미경 부착축에 고정된 풀리와 상기 2개의 풀리에 걸어감겨진 벨트를 구비하고 있으며 상기 현미경 부착축에 현미경을 부착하는 것을 특징으로 하는 현미경 지지기구.