JPH04273137A - 顕微鏡支持機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は加工部品の表面を見るた
めの顕微鏡を支持する顕微鏡支持機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ボンデイング装置においては、
加工部品である半導体部品のボンデイング状態を観察す
るために、装置の固定部に取り付けられた顕微鏡支持機
構に顕微鏡が取り付けられている。

【０００３】従来、顕微鏡支持機構として、例えば特公
平２ー５８７７５号公報に示すものが知られている。こ
の構造は、顕微鏡を手動で半導体部品の送り方向と平行
に移動可能及び半導体部品の送り方向と直角方向に移動
可能に設けてなる。

【０００４】ところで、上記顕微鏡支持機構においては
、半導体部品を直接目で観察又はボンデイング部の近傍
の装置部分を調整する場合には、顕微鏡が邪魔になるの
で、顕微鏡をボンデイング部の前方より退避させる必要
がある。このため、上記従来技術においては、顕微鏡支
持機構全体が支点軸を中心として回動するようになって
いる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、顕微
鏡支持機構が単に支点軸を中心として回動する構造であ
るので、顕微鏡をボンデイング部の手前より支点軸を中
心として退避させた場合、この回転角だけ顕微鏡も回動
して姿勢が変わる。

【０００６】ところで、ボンデイング部の手前を広く開
けるためには、顕微鏡支持機構を約９０度回動させる必
要がある。しかし、例えばボンデイング装置のように、
顕微鏡を退避方向に回動させた場合における側方にボン
デイング装置の装置部材が設けられているものは、顕微
鏡が当たるので、顕微鏡支持機構を９０度回動させるこ
とができない。このため、顕微鏡支持機構に固定する顕
微鏡のノブを緩め、顕微鏡の姿勢を修正しながら顕微鏡
支持機構を回動させる必要があり、顕微鏡をボンデイン
グ部（観察部）の手前より迅速に退避させることができ
ないという問題があった。

【０００７】本発明の目的は、顕微鏡を迅速に退避させ
ることができる顕微鏡支持機構を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、支点軸と、この支点軸を中心として
回転可能に一端部側が支承された揺動板と、前記支点軸
に固定されたプーリと、前記揺動板の他端側に回転自在
に支承された顕微鏡取付け軸と、この顕微鏡取付け軸に
固定されたプーリと、前記２個のプーリに掛け渡された
ベルトとを備え、前記顕微鏡取付け軸に顕微鏡を取り付
けたことを特徴とする。

【０００９】

【作用】支点軸を中心として回動する揺動板を回動させ
ても支点軸に固定されたプーリは回動しない。従って、
揺動板を回動させると、ベルトは揺動板に速比１：１で
連動するため、他のプーリに固定された顕微鏡取付け軸
は、揺動板の回動角だけ揺動板に対して回動する。この
ため、揺動板の回動にもかかわらず、顕微鏡の姿勢は回
動の前後で変わることがない。

【００１０】このように、顕微鏡の姿勢は変わらないの
で、観察部の手前の側方に装置部材が設けられたものに
おいても、該装置部材に当たることがない。即ち、揺動
板を回動させる動作のみでよいので、顕微鏡を迅速に退
避させることができる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図により説明する
。コ字状をした固定枠体１には、支点軸２が固定されて
いる。支点軸２には、固定枠体１の内側部に上下に２個
の揺動板３、４の一端側がそれぞれフランジ付スリーブ
ベアリング５、６を介して回転自在に支承されており、
揺動板３、４の他端は、固定板７で一体に固定されてい
る。揺動板３、４の他端側には、顕微鏡取付け軸８がフ
ランジ付スリーブベアリング９、１０を介して回転自在
に支承されている。前記支点軸２及び顕微鏡取付け軸８
には、揺動板３、４間にそれぞれタイミングプーリ１１
、１２が固定され、タイミングプーリ１１、１２にはタ
イミングベルト１３が掛け渡されている。またタイミン
グベルト１３にテンションを付与するために、揺動板４
にはタイミングベルト１３に圧接するようにテンション
ローラ１４、１５が回転自在に支承されている。

【００１２】前記顕微鏡取付け軸８には、ロック板２０
の一端側が固定されており、ロック板２０の他端は固定
枠体１のコ字状部１ａの溝に挿入されている。固定枠体
１にはロック板２０の上面に位置するように当て板２１
が固定され、当て板２１に対応して固定枠体１にはロッ
クねじ２２が螺合されている。従って、ロックねじ２２
を締め付けると、当て板２１はロック板２０に圧接され
、ロック板２０、即ち顕微鏡取付け軸８は固定される。 またロックねじ２２を緩めると、当て板２１はロック板
２０の押圧を解除するので、ロック板２０、即ち顕微鏡
取付け軸８を自由に移動させることができる。

【００１３】このように構成された顕微鏡支持機構は、
例えばボンデイング装置（図示せず）のボンデイング部
３０の近傍における固定部３１に前記固定枠体１４が固
定される。そして、顕微鏡取付け軸８に顕微鏡３２の顕
微鏡ホルダ３３をノブ３４によって固定して用いる。

【００１４】前記ボンデイング部３０には、リードフレ
ーム４０に当接してリードフレーム４０を加熱するヒー
トブロック４１が図示しない手段により上下動可能に設
けられている。ヒートブロック４１の両側には、リード
フレーム４０を案内するガイドレール４２、４３が配設
されており、リードフレーム４０はガイドレール４２、
４３に沿って図示しない手段で間欠的に図４において紙
面に垂直な方向に送られる。また図示しないが、ボンデ
イング部３０の上方には、リードフレーム４０をヒート
ブロック４１に押し付ける押さえ板が駆動手段により上
下動可能に設けられている。

【００１５】次に作用について説明する。図３及び図４
は、ボンデイング状態を観察する状態を示し、顕微鏡３
２はボンデイング部３０の前方の上方に位置されている
。そこで、顕微鏡３２をボンデイング部３０の前方より
退避させる場合には、ロックねじ２２を緩め、顕微鏡３
２又は揺動板３、４を手で手前に引くと、揺動板３、４
は支点軸２を中心として矢印Ａ方向に回動する。この場
合、タイミングプーリ１１は支点軸２に固定され、支点
軸２は固定枠体１に固定されているので、揺動板３、４
を回動させてもタイミングプーリ１１は回動しない。 そこで、前記のように揺動板３、４が矢印Ａ方向に回動
すると、タイミングベルト１３は揺動板３、４に速比１
：１で連動するため、揺動板３、４の回動角だけ揺動板
３、４に対し相対的に回動する。このため、揺動板３、
４を回動させてもタイミングプーリ１２の姿勢は変わら
ない。即ち、タイミングプーリ１２には顕微鏡取付け軸
８が取り付けられ、顕微鏡取付け軸８には顕微鏡３２が
取り付けられているので、顕微鏡３２は図３に２点鎖線
で示すようにその姿勢は変わらなく、ボンデイング部３
０の手前より退避される。

【００１６】このように、顕微鏡３２の姿勢は変わらな
いので、ボンデイング部３０（観察部）の手前の側方に
装置部材が設けられたものにおいても、該装置部材に当
たることがない。即ち、揺動板３、４を回動させる動作
のみでよいので、顕微鏡３２を迅速に退避させることが
できる。なお、上記実施例においては、タイミングベル
ト１３を用いた場合について説明したが、チエーンでも
よく、また普通のベルトでもよい。しかし、タイミング
ベルト１３を用いた方が好ましい。

【００１７】

【発明の効果】本発明によれば、観察部の手前より顕微
鏡を迅速に退避させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す斜視図である。

【図２】正面図である。

【図３】平面図である。

【図４】右側面図である。

【符号の説明】

２　　　　支点軸 ３、４　　揺動板 ８　　　　顕微鏡取付け軸 １１、１２　　タイミングプーリ １３　　タイミングベルト ３２　　顕微鏡

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　支点軸と、この支点軸を中心として回
   転可能に一端部側が支承された揺動板と、前記支点軸に
   固定されたプーリと、前記揺動板の他端側に回転自在に
   支承された顕微鏡取付け軸と、この顕微鏡取付け軸に固
   定されたプーリと、前記２個のプーリに掛け渡されたベ
   ルトとを備え、前記顕微鏡取付け軸に顕微鏡を取り付け
   たことを特徴とする顕微鏡支持機構。