SU1754442A1 - Вакуумный манипул тор - Google Patents

Abstract

Применение: вакуумна  техника, в частности дл  передачи изделий в вакуумном оборудовании,, Сущность: мани пул тор снабжен каркасом 2, установленным на герметичных шарнирных опорах в корпусе 1„ На каркасе размещены ролики 1В, на которых установлен ползун 3 с захватом Механизм 5 продольного перемещени  ползуна 3 и -механизм 7 зажима захвата снабжены сильфонными вводами вращени  12, у которых входные валы выполнены из шарнирно св занных элементов, размещенных в корпусе 1, а их выходные валы установлены на каркасе ., 3 з.п. й-лн„ 5 илв

Description

Предлагаемое изобретение относитс  к вакуумной технике и предназначено дл  передачи изделий в вакуумных установках , например, установках электронной и ионной спектроскопии, молекул р- но-лучевой элитаксии и других вакуумных технологических установках дл  производства изделий микроэлектроники.

Известен вакуумный передающий манипул тор , содержащий герметичный корпус , ползун с захватом и механизмы перемещени  ползуна и зажима захвата, а также стыковочный узел, расположенный между корпусом и фланцем вакуумной камеры, на которую устанавливаетс  манипул тор (О о

Стыковочный узел обеспечивает регулирование положени  захвата отИосиг тельно внутрикамерных устройств, с которыми взаимодействует передающий

анипул тор.

Основными недостатками манипул тора со стыковочными узлами, расположенными между рабочей вакуумной камерой и корпусом манипул тора,  вл ютс : низка  жесткость конструкции, увеличение габаритов манипул тора (по длине ) особенно при больших размерах перемешаемых изделий и сложность регулировки . Кроме того, известна  конструкци  не обеспечивает регулирование положени  захвата по углу вокруг оси манипул тора без разгерметизации флан- цевого соединени .

Наиболее близким техническим решением к за вл емому  вл етс  манипул тор (2) „

Стыковочный узел в указанном манипул торе выполнен в вире сильфона, герметично соединенного с лвум  фланцами , которые могут бьп% перемещены относительно друг друга благодар  деформации сильфона за счет винтов, ус&

XI

с 

.

Ёь

и

10

J175M

тановленных на коаксиально распольжен- ных выступах одного фланца и упирающихс  в выступы другого Фланца, а также за счет шпилек, вворачиваемых в , один фланец и упирающихс  в другой

Така  конструкци  имеет низкую жесткость , так как весь манипул тор закреплен на шпильках и выступах, расположенных на диаметре, который в 5-10 раз меньше длины манипул тора Низка  жесткость стыковочного узла приводит к возможности по влени  вибраций ползуна при работе механизмов и к потере точности расположени  захвата.

Конструкций затрудн ет воспроизведение положени  захвата после разрегулировки без выверки относительно внут- рикамерного устройства.

Помимо этого наличие стыковочного узла приводит к увеличению габаритов манипул тора по Длине, что особенно ощутимо при необходимости перемещать издели  больших размеров (подложки 0 150 мм и более)„

Регулирование положени  захвата манипул тора относительно внутрикамер- ных устройств с помощью указанного стыковочного узла требует одновременного манипулировани  (ослаблени  и зат гивани ) шестью элементами (три шпильки и три винта) при их взаимном вли нии друг на друга„ Конструкци  - стыковочного узла не обеспечивает воз15

20

25

30

дольного перемещени  ползуна и зажима захвата снабжены сильфонными вводами вращени , причем входные валы сильфон- ных вводов выполнены шарнирными и размещены в корпусе, а выходные валы установлены на каркасео

Шарнирна  опора выполнена в виде штока, на одном конце которого имеет

с  сферическа  п та, вход ща  в гнездо , расположенное на каркасе, а другой конец размещен во втулке, установленной на ос х во Фланце, герметично соединенном с корпусом, причем втулка снабжена регулировочными винтами и упорной гайкой9 размещенной на ее конце , а шток с помощью сильфона герме- i тично соединен с фланцем

Ползун выполнен состо щим из рей

ки, установленной в роликовых опорах.

размещенных на каркасе, и каретки, установленной в роликовых опорах, размещенных на рейке, причем рейка и каретка кинематически св заны между ссг

бой с помощью гибкой ленты„

Вакуумный манипул тор снабжен системой автоматического управлени , содержащей датчики исходного и текущего положени  ползуна, датчики крайних положений механизма зажима захвата и расположенный на корпусе манипул тора датчик наличи  издели  в захвате

Расположение корпуса на -фоликах в каркасе, установленном в корпусе на

можности регулировани  по углу вокруг 35 шарнирных опорах, введение сильфонных оси манипул тора о Така  регулировка вводов вращени , допускающих чвозможность перемещени  каркаса относительно корпуса без нарушени  кинематической

св зи и герметичности, применение теосуществл етс  за счет поворота фланца манипул тора относительно фланца камеры при наличии зазоров в соединении , обеспечивающем вакуумное уплотне-40 лескопического ползуна и датчиков, ние, т«е„ при разгерметизации вакуум- обеспечивают: ного соединени  возможность точной юстировки поКр оме того, при регулировке необходи- ложени  ползуна, включа  и поворот мо перемещать весь манипул тор, имею- вокруг продольной оси, относительно щий достаточно большую массу; 45 вакуумной камеры без разгерметизации Целью предполагаемого изобретени  соединени  вакуумного манипул тора и

камеры;

- жесткую Фиксацию каркаса в корпусе после окончани  юстировки за счет 50 закреплени  в опорах, размещенных на корпусе;

 вл ютс   расширение технологических возможностей, изменение габаритов и улучшение условий обслуживани 

Указанна  цель достигаетс  тем, что в вакуумном манипул торе, содержащем герметичный корпус и размещенный - облегчение процесса юстировки за в нем на роликах ползун, кинематичес- счет применени  шарнирных опор; ки св занный с механизмом его продоль- - сокращение габаритов манипул то- ного перемещени , захват, установлен- 55 ра по Ллине за счет применени  телескопического ползуна и исключение силь- фонного котировочного узла, используемого в известных конструкци х;

- возможность работы вакуумного маный на одном конце ползуна и механизм 5ззжйма захвата, ролики расположены на каркасе, установленном на корпусе на шарнирных опорах, а механизмы про

св зи и герметичности, применение телескопического ползуна и датчиков, обеспечивают: возможность точной юстировки понипул тора в автоматизированном или автоматическом режиме благодар  наличию датчиков исходного и текущего положени  ползуна, крайних положений меха- 5 на Фиг. Ь

разрез А-А на Фиг, 1; на фиг, 3 - разрез Б-Б на фиг. 1; на фиг 4 - разрез В-В на фиг, 2; на фиг„ 5 - разрез Г-Г

низма зажима захвата и наличи  издели  в захвате.

Повышение жесткости конструкции манипул тора , точности юстировки полоВакуумный манипул тор состоит из герметичного корпуса 1, каркаса 2, установленного в корпусе 1, ползуна 3, шарнирных опор , механизма пролольножени , сокращение габаритов позвол ет ю го перемещени  5, захвата 6 и механизма зажима захвата 7„

Герметичный корпус 1 снабжен ф ан- удем 8 дл  жесткого герметичного соел нени  с вакуумной рабочей камерой, IS фланцем 9 дл  герметичного соединени  с цилиндрическим колпаком 10, двум  фланцами 11 дл  пристыковки сильйонных вводов вращени  12 и о,л . г- цоми 13 лл  размещени  шарнирных опор

расширить его технологические возможности в части увеличени  размеров транспортируемых изделий, длины хода и точности воспроизводимости положени , т0е„ может использоватьс  в сверхвысоковакуумном оборудовании дл  перемещени  подложек диаметром до 200 мм в вакуумных камерах диаметром до 10ОП мм

Улучшение условий обслуживани  npo- it, а также двум  окнами И, необходи

исходит благодар  упрощению юстировки положени  за счет регулировки )-х шарнирных опор, возможности их фиксации по углу и длине, регулировке угла поворота ползуна манипул тора относительно его оси без разгерметизации вакуумного объема и возможности полной автоматизации операций, выполн емых манипул тором.

Сравнение за вл емого решени  с прототипом свидетельствует о том, что за вл емый манипул тор отличаетс  расположением роликов на каркасе, установленном в корпусе на шарнирных опорах, снабжением механизма продоль- ного перемещени  ползуна и зажима захвата сильфонными вводами вращени , выполнением входных валов с льйонных вводов и размещением входных и выходных валов сильЛонных вводов,,

Таким образом, за вл емый манипул тор удовлетвор ет критерию изобре

тени  новизна.

Сравнение за вленного решени  не только с прототипом, но и с другими решени ми в данной и смежных област х техники не позволило вы вить в них признаки, отличающие за вл емое реше45

Механизм продольного перемещени  5 состоит из двигател  23, редуктора и сильсЬонного ввода вращени  12„ Кроме того, на валу 25 двигател  23 закреплен диск 26 с отверсти ми 27, необходимый дл  срабатывани  датчика

текущего положени  28 ползуна 3„ i

ГильЛонный ввод, вращени  12 имеет

ние от прототипа Совокупность сущест 50 ВХ°ДНОЙ шарнирный вал 29, расположенный внутри сильйонного узла, состо щего из Лланца 30 и колпачка 31, герметично соединенных сильфоном 32. Один конец входного вала 29 муфтой 33 соединен с валом 3 редуктора , а  ругой конец вала 29 установлен в сферическом подшипнике 35, расположенном в колпачке 31 На цилиндрической части колпачка 31 установлены подшипвенных признаков за вл емого решени   вл етс  новой, неочевидной, обеспечивает достижение положительного эффекта , следовательно, предлагаемый вакуумный манипул тор удовлетвор ет критерию изобретени  существенные отличи  Ч

На фиг„ 1 изображен общий вид вакуумного манипул тора; на фиг. 2 на Фиг. Ь

разрез А-А на Фиг, 1; на фиг, 3 - разрез Б-Б на фиг. 1; на фиг 4 - разрез В-В на фиг, 2; на фиг„ 5 - разрез Г-Г

на Фиг. Ь

Вакуумный манипул тор состоит из герметичного корпуса 1, каркаса 2, установленного в корпусе 1, ползуна 3, шарнирных опор , механизма пролольно5

0

5

0

5

мыми дл  установки датчика 15 исхс(1 ного положени  ползуна 3 и датчика б наличи  издели  в захвате 6. .Патчики 15 и 16 креп тс  на герметичном корпусе 1. Кроме того, в корпусе. 1 предусмотрены фланцы дл  подсоединени  средств получени  и контрол  вакуума (на рис. не показаны)„

Ползун 3 состоит из рейки 17, vc- тановленной в роликовых опорах 18 размещенных на каркасе 2, и каре и

19,установленной в роликовых опт ах

20,размещенных на рейке 17. Р 17 и каретка 19 кинематически св заны между собой с помощью гибкой ленты

21,нат нутой на вращающиес  шкивы 22, закрепленные на концах рейки 17. Концы ленты 21 закреплены на передней части каркаса 2, а середина ленты прикреплена к каретке 19.

Механизм продольного перемещени  5 состоит из двигател  23, редуктора и сильсЬонного ввода вращени  12„ Кроме того, на валу 25 двигател  23 закреплен диск 26 с отверсти ми 27, необходимый дл  срабатывани  датчика

текущего положени  28 ползуна 3„ i

ГильЛонный ввод, вращени  12 имеет

ники 36, вход щие в расточку водила 37, расположенную- на некотором радиусе и под углом к оси вращени . Водило

37посредством шлицевого соединени 

38св зано с выходным валом 39, наход щимс  в зацеплении с рейкой 17 Выходной вал 39 установлен в подшипниках 40,закрепленных на каркасе 2„ Така  конструкци  сильфонного ввода spa-to щени  обеспечивает возможность перемещени  оси выходного вала 39 относительно оси редуктора 24 за счет поворота в шарнире И, наличи  сферического подшипника 35 и деформации сильфо- 15 на 32 „

Шарнирна  опора 4 включает шток 42 со сферической п той 43 на одном конце , втулку 44, установленную на ос х 45 во фланце 46, и сильйон 47, герметично соедин ющий шток 2 и йша- нец 46.

Втулка 44 снабжена двум  регулировочными винтами hi, обеспечивающими ее поворот в ос х 45 и фиксацию, и упорной гайкой 4fi, позвол ющей благодар  деформации сильфона 47 производить перемещение штока 42 вдоль оси втулки 44 Сферическа  п та 43 входит в гнездо 49, закрепленное на каркасе 20

ахват б состоит из двух Г-образ- ных рычагов 50, установленных на ос х 51, одни из плеч которых прижаты пруных на рейке 17 и роликов 66, расположенных на каркасе 2„ Троейк 61 защемлен и образует петлю на эксцентрике 53, а тросик 62 защемлен и образует петлю на барабане 64. Расположение роликов 65, 66 обеспечивает управление захватом 6 при любом вылете ползуна 3 манипул тора.

Предлагаемый манипул тор работает следующим образом. Регулировка пространственного положени  вакуумного манипул тора относительно устройств, расположенных внутри рабочей камеры, осуществл етс  с помощью шарнирных опор 4, при этом происходит смещение каркаса 2 относительно герметичного корпуса 1 в горизонтальной и вертикальной плоскост х, а также - поворот вокруг продольной оси„ Регулировка в горизонтальной плоскости осуществл етс  перемещением штока 42 (лиг 4, 5 с помощью упорной гайки 4й, расположенной в резьбовом конце втулки 440 Путем вращени  гаек 40 противоположных опор 4 в одну сторону усилие передаетс  одному из штоков, далее через каркас 2 - противоположному штоку, при этом силь- йюны 47 огтор 4 деформируютс  и проис- 30 ходит смещение каркаса 2 в горизонталь- . ной плоскости. Регулировка положени  в вертикальной плоскости производитс  качанием втулок 44 в ос х 45 с помощью винтов 47: зворачива  один из них и

20

25

жиной 52 к эксцентрику 53 таким обра- 35 выворачива  другой. Изменение угла

наклона втулок 44 противоположных опор в разные стороны от оси приводит к повороту каркаса 2 вокруг своей продольной оси. 40

зом, что при повороте эксцентрика 53 на разжим рычаги 50 расход тс , а при повороте на зажмм - сход тс  под действием пружины 52, при этом обеспечиваетс  самоцентрирование захватываемого издели . Поворот эксцентрика 53 осуществл етс  с помощью тросиковой системы 5 механизма зажима захвата 7. Кроме того, имеетс  паз 55 дл  срабатывани  датчика 15 исходного положени  ползуна 3

Механизм зажима захвата 7 состоит из двигател  5б, редуктора 57, сильфонного ввода вращени  12 и тросиковой системы 54, кроме того, на валу редуктора 57 закреплен диск 59 с отверстием , обеспечивающий срабатывание двух оптических датчиков 5ft крайних положений механизма зажима захва45

Комбинированием регулировочных пе ремещений шарнирных опор 4 производитс  ориентаци  манипул тора в прост ранстве, в определенных пределах, от- носительно внутрикамерных устройств. После регулировки производитс  фиксаци  положени  втулки 44 относительно фланца 46 и упорной гайки 4Я относительно втулки 44о

i

50

Перед установкой издели  в захват б производитс  поворот блрабана 64 на 1РО°, при этом тросики 61, 62, св занные устройствами нат жени  63, передают вращение эксцентрику 53. Эксцентрик 53, поворачива сь, передает усилие

та 7. Тросикова  система 5 i состоит иё5Г-образным рычагам 50 и они, раст ги2-х тросиков 61, 62, св занных устрой-в   пружину 52, раскрываютс  (разжиствами нат жени  63, барабана 64, экс-маютс ), при этом один из датчиков 60

центрика 53, роликов 65, расположен-срабатывает, дава  сигнал в систему

o 5

ных на рейке 17 и роликов 66, расположенных на каркасе 2„ Троейк 61 защемлен и образует петлю на эксцентрике 53, а тросик 62 защемлен и образует петлю на барабане 64. Расположение роликов 65, 66 обеспечивает управление захватом 6 при любом вылете ползуна 3 манипул тора.

Предлагаемый манипул тор работает следующим образом. Регулировка пространственного положени  вакуумного манипул тора относительно устройств, расположенных внутри рабочей камеры, осуществл етс  с помощью шарнирных опор 4, при этом происходит смещение каркаса 2 относительно герметичного корпуса 1 в горизонтальной и вертикальной плоскост х, а также - поворот вокруг продольной оси„ Регулировка в горизонтальной плоскости осуществл етс  перемещением штока 42 (лиг 4, 5 с помощью упорной гайки 4й, расположенной в резьбовом конце втулки 440 Путем вращени  гаек 40 противоположных опор 4 в одну сторону усилие передаетс  одному из штоков, далее через каркас 2 - противоположному штоку, при этом силь- йюны 47 огтор 4 деформируютс  и проис- 0 ходит смещение каркаса 2 в горизонталь- . ной плоскости. Регулировка положени  в вертикальной плоскости производитс  качанием втулок 44 в ос х 45 с помощью винтов 47: зворачива  один из них и

0

5

наклона втулок 44 противоположных опор в разные стороны от оси приводит к повороту каркаса 2 вокруг своей продольной оси. 0

5

Комбинированием регулировочных пе ремещений шарнирных опор 4 производитс  ориентаци  манипул тора в прост ранстве, в определенных пределах, от- носительно внутрикамерных устройств. После регулировки производитс  фиксаци  положени  втулки 44 относительно фланца 46 и упорной гайки 4Я относительно втулки 44о

i

50

Перед установкой издели  в захват б производитс  поворот блрабана 64 на 1РО°, при этом тросики 61, 62, св занные устройствами нат жени  63, передают вращение эксцентрику 53. Эксцентрик 53, поворачива сь, передает усилие

5Г-образным рычагам 50 и они, раст гиуправлени  о том, что захват разжат. После установки издели  механизм зажима захвата 7 поворачивает барабан 6 | и св занный с ним тросиками 61, 62 эксцентрик 53 в исходное положение, рычаги 50 под действием пружины 52 прижимаютс  к эксцентрику 53, поворачива сь на ос х 51, и зажимают изделие , при этом срабатывает другой дат-J чик 60, дава  сигнал о том, что захват зажат.

Перемещение издели  в рабочую камеру и обратно осуществл етс  с помощью механизма продольного перемеще-{5 юстировки, улучшить услови  обслужи НИР 5- Вращение от двигател  7-3 через редуктор 2 | и муЛту 3 передаетс  входному шарнирному валу 29 сильйонно- го ввода вращени  1, палее чере  вовани , обеспечить возможность работ г в автоматизированном режиме, что, с конечном итоге, позволит поьша-п ь про изводительность вакуумного оборудотдило 37 - выходному валу 39, закреп- 20 ни . ленному в подшипниках (0 на каркасе и кинематически св занному с рейкой 17о Рейк  17 перемещаетс  в роликовых опорах 1Я, при этом происходит перемещение нат нутой на шкивы 22 гибкой5 ф о D ленты 21, концы которой закреплены на каркасе 2, а середина прикреплена к заднему концу каретки 19, что заставл ет последнюю перемещатьс  в роликовых опорах 20 „tO Таким образом, величина перемещени , рейки 17 относительно кэокаса 2 равна величине перемещени  каретки 19 относительно рейки 17, при этом обща 

вани , обеспечить возможность работ в автоматизированном режиме, что, с конечном итоге, позволит поьша-п ь пр изводительность вакуумного оборудот

В этом и заключаетс  технико-экон мическа  эфйективность предлагаемого изобретени  о

мула изобрет ени 

Claims (1)

1, Вакуумный манипул тор, содержа щий герметичный корпус с Лланцем дл  креплени  к рабочей камере, р-зм щенный в корпусе ползун, кинемати зе ки св занный с механизмом его пр л ного перемещени , захват, устан ЭЛРН ный на одном конце ползуна, механизм

зажима захвата и систему управлени , длина тросиков 61, 62 остаетс  постс н-,. 0 т

- «СГ- 5

нои благодар  роликам Ь5, расположенным нэ каретке 19, что позрол ет производить управление захватом Ь при любом положении рейки 17 и каретки 19

При работе механизма продольного Q перемещени  5 происходит вращение закрепленного на валу 25 двигател  23 диска 26 с отверсти ми 27, при этом датчик 28 текущего положени  посто нно выдает сигналы в систему управлени  что позвол ет определ ть текущее положение каретки 19.

отличающийс  тем, что, с целью расширени  технологических воз можностей, уменьшени  габаритов и ул шени  условий обслуживани , он снабж установленным в корпусе на шарнирных опорах каркасом с роликами, в которы установлен ползун, а механизмы продо ного перемещени  ползуна и зажима за вата снабжены сильЛонными вводами вр щени , причем входные валы сильйонных

вводов выполнены из шарнирно св занных элементов и размещены в корпусе, а выходные валы установлены на каркасе .

После установки пространственного положени  манипул тора возможно возникновение перекоса и несоосности осей выходного вала 39 и барабана относительно осей редукторов 2k и 57 механизма продольного перемещени  5 и механизма зажима захвата 7, соответст50

вводов выполнены из шарнирно св занных элементов и размещены в корпусе а выходные валы установлены на карка се.

2, Манипул тор по п. отличающийс  тем, что на корпусе выполнены дополнительные фланцы, а кажда  шарнирна  опора каркаса выпол нена в виде втулки со штоком, на одном конце которого имеетс  сферичесеенно . Перекос и несоосность компен- 55 ка  п та, вход ща  е гнездо, дополсируотс  изменением угла оЈ между звень ми шарнирного вала 29 сильфон- ного ввода вращени  12, что позвол ет

осуществл ть передачу вращени „ Изменение угла ей происходит за счет перекоса колец сферического подшипника 35, расположенного в колпачке 31, а также за счет перемещени  шарнирного вала 29 относительно внутреннего кольца подшипника 36 и деформации сильфо- на 32.

Использование предлагаемого манипул тора дл  передачи изделий в вакуумных установках позволит по сравнению с прототипом увеличить размеры передаваемых изделий, повысить точность их

ни . ф о D

вани , обеспечить возможность работ г в автоматизированном режиме, что, с конечном итоге, позволит поьша-п ь производительность вакуумного оборудотни . ф о D

В этом и заключаетс  технико-экономическа  эфйективность предлагаемого изобретени  о

мула изобрет ени 

ни . ф о D

1, Вакуумный манипул тор, содержащий герметичный корпус с Лланцем дл  креплени  к рабочей камере, р-зме- щенный в корпусе ползун, кинемати зеки св занный с механизмом его пр ль- ного перемещени , захват, устан ЭЛРН- ный на одном конце ползуна, механизм

зажима захвата и систему управлени , 0 т

отличающийс  тем, что, с целью расширени  технологических возможностей , уменьшени  габаритов и улучшени  условий обслуживани , он снабжен установленным в корпусе на шарнирных опорах каркасом с роликами, в которых установлен ползун, а механизмы продольного перемещени  ползуна и зажима захвата снабжены сильЛонными вводами вра щени , причем входные валы сильйонных

вводов выполнены из шарнирно св занных элементов и размещены в корпусе, а выходные валы установлены на каркасе .

2, Манипул тор по п. отличающийс  тем, что на корпусе выполнены дополнительные фланцы, а кажда  шарнирна  опора каркаса выпол- нена в виде втулки со штоком, на одном конце которого имеетс  сферичес ка  п та, вход ща  е гнездо, дополнительно выполненное на каркасе,4 причем втулка шарнирно установлена на до полнительном Аланце, снабжена регули11

ровочными винтами и упорной гайкой, размещенной на ее конце, а шток с по175W .2 / ... 12 .

собой с помощью дополнительно введенной гибкой ленты0 . .

.мощ ью дополнительного сйльфбна герметично соединен с дополнительным флан- 5 цем„ - .

3 Манипул тор по п„ 1, о т л и - чающийс  тем, что пЬлзун выполнен в виде рейки, имеющей ролико- вые опоры, и каретки, установленной в ш роликовых опорах рейки, причем рейка vt каретка кинематически св зана мееду

0 Манипул тор по п„ 1

, о т л и - ч а ю щ и и с   тем, что система управлени  содержит датчики исходного и текущего положений ползуна, датчики крайних положений механизма зажима захвата, а также и расположенный на корпусе датчик наличи  издели  в захвате . .-, . . ..

26

0 Манипул тор по п„ 1

, о т л и - ч а ю щ и и с   тем, что система управлени  содержит датчики исходного и текущего положений ползуна, датчики крайних положений механизма зажима захвата, а также и расположенный на корпусе датчик наличи  издели  в захвате . .-, . . ..

20

А V: }0 2 SZ

S3 &

Pt/2. /

wtftt

Фщ,3

гз

1-8

У f f- v

J-JL

-r-r

43 47 42 46 fS &

4$

(pui.f

Составитель i едактор (И.Шмакова Техред М. Моргентал Кррректор Н.Гунько

Г3аказ 2937 -Тираж - Подписное

ВНИИПИ Государственного 1сомитета по изобретени м и открыти м при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат Патент, г.Ужгород, ул. Гагарина,101

w