SU1274922A2

SU1274922A2 - Манипул тор,работающий в герметизированном объеме

Info

Publication number: SU1274922A2
Application number: SU853916061A
Authority: SU
Inventors: Николай Васильевич Василенко; Александр Андреевич Никитин; Лев Кузьмич Ковалев
Original assignee: Красноярский Политехнический Институт
Priority date: 1985-06-21
Filing date: 1985-06-21
Publication date: 1986-12-07

Abstract

Изобретение относитс к манипул торам , работающим в герметизированном объеме. Цель изобретени - повышение надежности герметизаций. Наружные гибкие диафрагмы 5 и 6 устагг новлены со смещением относительно внутренней гибкой диафрагмы 4 и герметично соединены с упругодеформируемой трубой 1 и стенкой 7 герметизированного объема (камеры), образу компенсирующую герметичную полость, сообщенную каналом 8 с вакуумной контролирующей аппаратурой 9. Это позвол ет сн ть концентрацию напр жений в узлах сопр жений диафрагм 5 и 6 с упругодеформирувмой трубой 1, а также создать разр жение воздуха в полости, компенсирующее перепад давлений в рабочем и нерабочем пространствах манипул тора, воздейству-г 3 (Л И1ЦИХ на гибкие диафрагьвл. Контроль за разр жением воздуха в полости позвол ет своевременно вы вить возможную разгерметизацию манипул тора в случае усталостного разрушени одной КЗ наружных гибких диафрагм.3 ил. /5 ND 1 О N0 to к го 4)41.1

Description

Изобретение относитс к манипул торам , работающим в герметизированном объеме (камере), и может быть использовано, например, в качестве , манипул тора подложки электронографа .

Целью изобретени вл етс повышение надежности герметизации.

На фиг. 1 показано предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 сечение А-А на фиг. 1; на фиг. 3 сечение Б-Б на фиг. 1; на фиг. 4 испытательные механизмы; на фиг,, 5сечение В-В на фиг. 4,

Манипул тор содержит упругодеформируемую трубу 1, котора оДним концом св зана с задающим генератором 2 деформации, а другим - с ведомим валом, (генератором) 3 и закреплена одной внутренней 4 и двум наружньв и 5 и 6 гибкими диафрагмами, которые установлены со смещением относительно внутренней диафраг й 1 4 и герметично соединены с упругодеформируемой трубой 1 и стенкой 7 герметизированного объема (камеры), образу компенсирующую герметичную полость, подключенную каналом 8 к вакуумно-измерительной контролирующей аппаратуре. На стенке 7 защитного герметизированного объема (камеры), со стороны органов управлени манипул тора смонтировано и св зано с концентрирующей герметичной полостью через канал 8 измерительно-сигнализирукщее устройство 9. На внутренней диафрагме 4 внутри упругодеформируемой трубы 1 закреплен сильфон .10, к которому герметично приварен шток 11 поступательного движени в герметизированный объем (камеру).

Привод задающего генератора 2 деформации состоит из подшипниковой опоры 12, закрепленной в корпусе 13, и приводного маховичка 14. Шток 11 имеет возможность перемещатьс поступательно от винта 15 и при помощи шпонки 16 предотвращает 10 от скручивани .

Исполнительный механизм состоит из поворотного кронштейна 17 с подшипниковой опорой 18, смонтированной на кронштейне 19 подиипниковой опоры 20, в которой установлен объек 21, рычага 22, соединенного с одной стороны при помощи шарнирного соединени и шарикоподшипника 23 со штоком . 1 1 , а с другой стороны - с объектом 21, и (дл варианта вращательнопоступательного движени ) кронштейна 24 с закрепленным на нем объектом 21, подшипник 25 которого может перемещатьс по пазу кронштейна 17.

Все устройство смонтировано на стенке 7 защитного герметизированного объема (камеры).

При вращательно-качательном движении объект 21 получает вращение от задающего генератора 2 через упругодеформируемую трубу 1, закрепленную на одной внутренней 4 и двух наружных 5 диафрагмах, ведомый вал 3

и кронштейн 17, а качание его осуществл етс рычагом .22, св занным через подшипник 23 со штоком 11 поступательного движени .

При вращательно-поступательном

движении объект 21 получает поступательное движение от кронштейна 17, св занного со штоком 11. При этом разрежение воздуха в компенсирующей герметичной полости контролируетс

измерительно-сигнализирую11р1М устройством 9, след щим: за необходимой степенью разрежени в компенсирукщей герметичной полости и ее герметиза-. цией.

Разнесение одной внутренней и двух наружных гибких диафрагм друг . относительно друга позвол ет сн ть концентрацию напр жений в узлах сопр жени этих диафрагм с упругодеформируемой трубой и образовать герметичную полость между двум наружными гибкими диафрагмами, а также создать разрежение воздуха в этой полости, компенсирующее перепад давлений в

рабочем и нерабочем пространствах манипул тора„ воздействующих на гибкие диафрагмы герметизирующего элемента . 1

Контроль за разрежением воздуха в этой полости позвол ет своевременно вы вить возможную разгерметизацию манипул тора в случае усталостного разрушени одной из наружных гибких диафрагм.

Claims

Формула изобретени

Манипул тор, работающий в герметизированном объеме, по авт.св. № 274561 , отличающийс

тем, что, с целью повышени надежности герметизации, он снабжен вакуумной контролирующей аппаратурой и