KR100448174B1 - 슬릿밸브 - Google Patents

슬릿밸브 Download PDF

Info

Publication number
KR100448174B1
KR100448174B1 KR10-2003-0071906A KR20030071906A KR100448174B1 KR 100448174 B1 KR100448174 B1 KR 100448174B1 KR 20030071906 A KR20030071906 A KR 20030071906A KR 100448174 B1 KR100448174 B1 KR 100448174B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
main shaft
valve
wafer movement
slit valve
wafer
Prior art date
Application number
KR10-2003-0071906A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20040004195A (ko
Inventor
지종우
Original Assignee
주식회사 에스티에스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에스티에스 filed Critical 주식회사 에스티에스
Priority to KR10-2003-0071906A priority Critical patent/KR100448174B1/ko
Publication of KR20040004195A publication Critical patent/KR20040004195A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100448174B1 publication Critical patent/KR100448174B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

웨이퍼 이동통로 주위에 배치되는 밀봉재의 배치구조를 개선하여 이동통로를 밀폐하는 밀봉재의 손상을 방지하고 밸브구동부에 장착되는 인디케이트장치로 작동상태를 확인할 수 있는 슬릿밸브에 관한 것이다. 이러한 슬릿밸브의 밸브하우징에는 웨이퍼 이동통로가 형성되고 밸브하우징에 위치하는 블레이드어셈블리가 웨이퍼 이동통로를 개폐하며 메인샤프트는 블레이드어셈블리에 결합된다. 밸브구동부는 메인 샤프트에 결합되어 블레이드어셈블리를 이동통로 입구면에 평행한 방향 및 수직한 방향으로 순차적으로 동작시키며 록킹부는 블레이드어셈블리로 하여금 웨이퍼 이동통로의 밀폐를 유지시킨다. 밸브구동부 및 메인 샤프트가 웨이퍼 이동통로 입구면에 평행한 방향으로 이동하면 메인 샤프트에 연결되는 블레이드어셈블리는 이동통로 입구 정면에 위치하고, 블레이드어셈블리가 이동 통로 정면에 위치한 후 일단은 메인 샤프트에 결합되고 타단은 밸브구동부의 동작부에 결합되는 링크가 회전운동을 하여 블레이드어셈블리는 웨이퍼 이동 통로를 밀폐하게 된다.

Description

슬릿밸브{Slit valve}
본 발명은 반도체 제조공정에서 웨이퍼의 이동통로를 개폐하기 위한 슬릿밸브에 관한 것이며, 특히 웨이퍼 이동통로 주위에 배치되는 밀봉재의 배치구조를 개선함으로써 웨이퍼 이동통로를 밀폐하는 밀봉재의 손상을 방지하며, 인디케이트장치를 장착하여 밸브구동부의 동작상태를 가시적으로 확인 할 수 있는 슬릿밸브에 관한 것이다.
도 9a 및 9b에는 종래의 슬릿밸브가 개략적으로 도시되어 있다.
도 9a 및 9b를 참조하면, 종래의 슬릿밸브는 주로 게이트하우징(50) 및 게이트하우징(50)에 형성된 웨이퍼 이동통로(70)를 개폐하기 위한 게이트 개폐장치(60)를 포함한다.
게이트 개폐장치(60)는 게이트(61), 게이트 구동 실린더(62) 및 원통형 본체(64)를 구비하며 게이트하우징(50)에 결합된다.
웨이퍼 이동통로(70)의 열린 단부에 직접적으로 접촉하여 개폐시키는 게이트(61)의 선단부 및 단이진 하부에는 오(O)형 밀봉재(63a,63b)가 각각 배치된다. 이때, 오(O)형 밀봉재(63a,63b)는 기밀을 유지하는 기능을 수행한다.
그런데, 상기와 같은 구조의 슬릿밸브는 공정작업을 할 때 파손된 웨이퍼가 오(O)형 밀봉재(63a, 63b)를 손상시킬 수 있고, 많은 횟수의 슬릿밸브 구동으로 인하여 게이트 구동 실린더(62)의 정렬이 틀어질 수 있으며, 오(O)형 밀봉재(63a, 63b)를 접착시키는 접착제와 화학 약품이 화학 반응하여 발생한 유독 가스에 의해 웨이퍼 불량이 야기될 수 있다.
상기와 같은 문제 발생시, 기존의 슬릿밸브는 밸브 전체를 교체해야 되므로, 밸브 부품 교체시간이 오래 걸리고 부품 교체 비용도 많이 들게 된다. 또한 밸브의 개폐여부가 가시적으로 확인 하기 어렵다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 반도체 제조공정에서 웨이퍼의 이동통로를 개폐하기 위한슬릿밸브에 형성된 웨이퍼 이동통로 주위에 배치되는 밀봉재의 배치구조를 개선함으로써, 웨이퍼 이동통로를 밀폐하는 밀봉재의 손상을 방지하고 부품의 내구성을 향상시키며 부품의 파손으로 인한 슬릿밸브 부품 교체 시간 및 부품 교체 비용을 줄이기 위한 것이다.
본 발명의 다른 목적은 밸브구동부에 인디케이트장치를 장착함으로써 슬릿밸브의 동작 상태를 가시적으로 확인할 수 있는 인디케이트장치를 통합시킨 슬릿밸브를 제공하는데 있다.
도 1은 본 고안에 따른 사각 슬릿밸브의 정면도,
도 2는 도 1의 종단면도,
도 3은 도 2에 도시된 제 1하우징 브라켓의 부분 확대 종단면도,
도 4는 도 2에 도시된 슬릿밸브의 부분 확대 종단면도,
도 5는 도 1에 도시된 "A" 부분이 확대도,
도 6a a및 도 6b는 도 2에 도시된 블레이드와 메인 샤프트의 작동상태도,
도 7은 도 1의 밸브구동부에 인디케이트부가 장착된 정면도,
도 8은 도 1의 인디케이트판넬 부분을 나타낸 도면, 그리고
도 9a 및 9b는 종래기술에 따른 슬릿밸브의 작동상태를 나타낸 종단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호설명>
50 : 게이트하우징 60 : 게이트 개폐장치
61 : 게이트 62 : 게이트 구동 실린더
63a, 63b, 112 ; 오(O)형 밀봉재
64 : 본체 70 : 웨이퍼 이동통로
110 : 제 1하우징 브라켓 111 : 제 1웨이퍼 이동통로
120: 제 2하우징 브라켓 130 : 밸로우즈
140 : 밀봉어댑터 141 : 제 2웨이퍼 이동통로
142, 151 : 홈 150 : 블레이드
160 : 판스프링 200 : 메인 샤프트
250 : 피스톤 251 : 피스톤샤프트
260 : 에어실린더 261 : 슬라이드홈
270 : 무빙유닛 280 : 링크
290 : 롤베어링 300 : 록킹블럭
301 : 돌출부 302, 304 : 걸림부
303 : 록킹블럭하우징 305 : 코일스프링
306 : 잠금부 310 : 록킹브라켓
311 : 골 350 : 인디케이트샤프트
360 : 인디케이트판넬 361 : 센서
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 슬릿밸브는,
웨이퍼 이동 통로가 형성된 밸브하우징, 밸브하우징에 위치하여 웨이퍼 이동 통로를 개방하고 폐쇄하는 블레이드어셈블리, 블레이드어셈블리에 결합된 메인 샤프트 및 메인 샤프트를 웨이퍼 이동 통로의 입구면과 평행한 방향으로 이동시켜 블레이드어셈블리로 하여금 웨이퍼 이동 통로의 정면에 위치시키는 1단계 동작 및 메인 샤프트를 웨이퍼 이동 통로의 입구면과 수직한 방향으로 이동시켜 블레이드어셈블리로 하여금 웨이퍼 이동 통로를 폐쇄시키는 2단계 동작을 순차적으로 수행하는 밸브구동부를 포함한다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 슬릿밸브는,
밸브구동부의 동작에 따라 위치 이동이 되도록 설치된 인디케이트샤프트 및 인디케이트샤프트가 관통하는 홀이 형성되고 제 2하우징 브라켓의 외부에 현재 위치를 표시하는 눈금이 보이도록 장착되는 인디케이트판넬을 포함한다.
상기 슬릿 밸브는 밸브구동부가 2단계 동작을 순차적으로 수행함으로써 블레이드어셈블리가 웨이퍼 이동통로를 개방 및 폐쇄하는 동작을 하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예들을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1및 도 2에는 본 고안의 바람직한 실시 예에 따른 슬릿밸브가 도시 되어 있다.
도 1및 도2에 도시된 바와 같이, 슬릿밸브는 제 1웨이퍼 이동통로(111)를 구비한 제 1하우징 브라켓(110), 제 2하우징 브라켓(120), 밀봉어댑터(140), 메인 샤프트(200), 블레이드(150), 판스프링(160), 에어실린더(260), 피스톤(250), 피스톤샤프트(251), 무빙유닛(270), 록킹블럭(300)을 포함한다.
먼저, 제 1하우징 브라켓(110)은 2하우징 브라켓(120)과 분리 가능하게 결합되며 블레이드어셈블리가 위치한다. 그리고 제 1하우징 브라켓(110)에 형성된 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 내측면에는 밀봉어댑터(140)가 분리 가능하게 장착된다.
밀봉어댑터(140)는 중심에 제 2 웨이퍼 이동통로(141)가 형성된 결합부를 갖는다. 제 2 웨이퍼 이동통로(141)의 외측입구 주위에는 폐곡선 형태의 입구보다 바닥이 더 넓게 형성되는 홈(142) 및 홈(142)에 삽입되는 오(O)형 밀봉재(112)가 배치된다.
메인 샤프트(200)는 제 1하우징 브라켓(110)과 제 2하우징 브라켓(120) 사이에서 연장되고, 롤베어링(290)은 메인 샤프트(200)의 중앙영역에 위치하고 메인샤프트의 회전운동을 원활히 하도록 슬라이드홈(261)에 슬라이드 되도록 삽입된다.
또한, 제 1하우징 브라켓(110)과 제 2하우징 브라켓(120) 결합 부분의 메인 샤프트(200) 둘레에 설치된 벨로우즈(130)는 제 1하우징 브라켓(110)과 제 2하우징 브라켓(120)을 밀폐시킨다.
제 1웨이퍼 하우징 브라켓(110)에 위치하는 블레이드어셈블리는 제 1웨이퍼 이동통로(111)를 개방 및 폐쇄하는 블레이드(150) 및 판스프링(160)을 구비한다.
블레이드(150)는 제 1하우징 브라켓(110)과 접하는 면에 폐곡선 형태로 입구보다 바닥이 더 넓게 형성되는 홈(151) 및 홈(151)에 삽입되는 오(O)형 밀봉재(112)가 배치된다.
판스프링(160)은 메인 샤프트(200) 선단부에 장착되고 블레이드(150) 와 메인 샤프트(200)를 연결하며 제 1 웨이퍼 이동통로(111)의 입구면에 수직한 방향의 가압력에 대하여 탄성력을 발생시킨다.
제 2하우징 브라켓(120)에 위치하는 밸브구동부는 피스톤(250), 피스톤샤프트(251), 에어실린더(260), 무빙유닛(270)및 링크(280)를 포함한다.
에어실린더(260)는 공기의 압력으로 구동되는 피스톤(250) 및 피스톤(250)에 결합되고 제 1웨이퍼 이동통로(111) 입구면과 평행하게 이동하는 피스톤샤프트(251)를 갖는다.
무빙유닛(270)은 피스톤샤프트(251)와 결합하고 제 1 웨이퍼 이동통로(111)의 입구면과 평행한 방향으로 직선운동을 한다.
링크(280)는 일단은 무빙유닛(270)에 결합되고 타단은 메인 샤프트(200)에결합된다. 메인 샤프트(200)를 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면과 평행한 방향으로 이동시켜 블레이드(150)를 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 정면에 위치시킬 때 링크(280)는 무빙유닛(270)의 동력을 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면과 평행한 방향으로 메인 샤프트(200)에 전달하고 메인 샤프트(200)를 통로의 입구면과 수직한 방향으로 이동시킨다. 그리고 블레이드(150)가 제 1웨이퍼 이동통로(111)를 폐쇄할 때 무빙유닛(270)의 동력을 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면과 수직한 방향으로 메인 샤프트(200)에 전달한다.
무빙유닛(270)에는 록킹블럭(300)이 장착된다. 록킹블럭(300)은 일단에 입구 반경을 좁히는 제 1걸림부(304)가 형성된 원통형의 록킹블럭하우징(303), 록킹브라켓(310)에 형성된 골(311)에 걸리는 록베어링, 록베어링을 탄성력으로 지지하는 코일스프링(305) 및 코일스프링(305)이 록킹블럭하우징(303)의 개방된 단부로 이탈하지 않도록 록킹블럭하우징(303)에 장착되는 잠금부(306)를 구비한다.
록베어링은 제 1걸림부(304)에 걸리는 제 2 걸림부(302) 및 록킹브라켓(310)에 걸리는 돌출부(301)를 구비한다.
인디케이트장치는 밸브구동부의 동작에 따라 위치 이동이 되도록 밸브구동부에 설치된 인디케이트샤프트(350), 제 2하우징 브라켓(120) 외부에 인디케이트샤프트(350)가 관통하는 홀을 가지고 장착되는 인디케이트판넬(360) 및 인디케이트판넬(360)에 장착되어 인디케이트샤프트(350)의 위치를 측정하는 센서를 포함한다.
인디케이트판넬(360)에는 인디케이트샤프트(350)가 관통하여 이동할 수 있는제 1홀 (362)이 형성되고 제 1홀(362)의 주위에 현재 위치를 표시하는 눈금이 기록된다.
이하에서는 상기와 같은 구성을 갖는 슬릿밸브의 작용을 설명한다.
먼저, 슬릿밸브의 메인 샤프트(200)가 블레이드(150)를 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면과 평행한 방향으로 이동시켜 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 정면에 위치시키는 1단계 동작을 도 1, 도2를 참조하여 설명한다.
공기의 압력에 의해 구동하는 피스톤(250)이 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면과 평행한 방향으로 상승하면, 피스톤(250)에 결합되는 피스톤샤프트(251) 및 피스톤샤프트(251) 하단부에 결합되는 무빙유닛(270)은 상승하게 된다.
무빙유닛(270)이 상승하면, 일단이 무빙유닛(270)에 결합되고 타단이 메인 샤프트(200)에 결합되는 링크(280)는 무빙유닛(270)의 동력을 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면과 평행한 방향으로 메인 샤프트(200)에 전달하고, 무빙유닛(270)의 동력을 전달 받은 메인 샤프트(200) 및 메인 샤프트(200)와 연결되어 있는 블레이드(150)는 상승한다.
메인 샤프트(200)의 중앙영역에 장착되고 슬라이드홈(261)에 삽입된 롤베어링(290)은 메인 샤프트(200)와 함께 상승하고, 롤베어링(290)이 슬라이드홈(261)의 닫힌 쪽에 걸리면 블레이드(150)는 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 정면에 위치하여 정지한다.
다음으로, 슬릿밸브의 메인 샤프트(200)를 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면과 수직한 방향으로 회전시켜 블레이드(150)가 제 1웨이퍼 이동통로(111)를 밀폐시키는 2단계 동작을 도1, 도 2, 도 4, 도 5, 도 6a, 도 6b를 참조하여 설명한다.
블레이드(150)가 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 정면에 위치한 후 무빙유닛(270)이 상승하면 링크(280)는 반시계방향으로 회전하고 링크(280)로부터 무빙유닛(270)의 동력을 전달 받은 메인 샤프트(200)는 시계 방향으로 회전하게 된다.
메인 샤프트(200)가 회전하면 메인 샤프트(200)에 결합되어 있는 블레이드(150)는 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면에 수직한 방향으로 이동하여 제 1웨이퍼 이동통로(111)를 밀폐시키는 작동을 하게 된다.
블레이드(150)가 제 1웨이퍼 이동통로 (111)를 밀폐하면 무빙유닛(270)에 장착된 록킹블럭(300)은 록킹브라켓(310)의 골(311)에 걸려 무빙유닛(270)을 정지시켜 블레이드(150)로 하여금 제 1웨이퍼 이동통로(111)를 밀폐시키는 상태를 유지한다.
블레이드(150)가 밸브하우징의 제 1웨이퍼 이동통로(111)를 밀폐하는 경우 블레이드(150) 위쪽에 형성된 홈(151)에 삽입된 오(O)형 밀봉재(112)가 제 1하우징 브라켓(110)에 먼저 접촉하게 된다. 이때, 블레이드(150) 위쪽의 홈(151)에 삽입된 오(O)형 밀봉재(112)에 뒤틀림 현상이 생기게 된다. 블레이드(150)와 메인 샤프트(200) 사이에 장착된 판스프링(160)은 블레이드(150)에 뒤틀림을 제거하는 탄성력을 주어 홈(151)에 삽입된 오(O)형 밀봉재(112)를 보호한다.
그리고, 무빙유닛(270)의 록킹블럭(300)은 록킹브라켓(310)의 골(311)에 돌출부(301)가 걸리고 무빙유닛(270)에 장착된 블레이드(150)는 제 1웨이퍼이동통로(111)를 개방하지않고 진공을 유지하게 된다.
또한, 인디케이트샤프트(350)는 인디케이트판넬(360)의 제 1홀(362)을 관통하여 밸브구동부의 동작에 따라 움직이며 슬릿밸브의 폐쇄를 표시하게 된다.
다음으로, 슬릿밸브의 메인 샤프트(200)를 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면과 수직한 방향으로 회전시켜 블레이드(150)가 제 1웨이퍼 이동통로(111)를 개방시키는 1단계 동작을 도1, 도 2, 도 4, 도 5, 도 6a, 도 6b를 참조하여 설명한다.
공기의 압력에 의해 구동하는 피스톤(250)이 제 1웨이퍼 이동통로 (111)의 입구면과 평행한 방향으로 하강하게 될 경우 피스톤(250)에 결합되는 피스톤샤프트(251) 및 피스톤샤프트(251)에 결합되는 무빙유닛(270)은 하강한다.
무빙유닛(270)이 하강하게 될 경우 일단이 무빙유닛(270)에 결합되고 타단이 메인 샤프트(200)에 결합되는 링크(280)는 시계방향으로 회전하고 무빙유닛(270)의 동력을 전달받은 메인 샤프트(200)는 반시계 방향으로 회전하게 된다.
메인 샤프트(200)가 회전하면 메인 샤프트(200)에 결합되어 있는 블레이드(150)는 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면에 수직한 방향으로 이동하여 제 1웨이퍼 이동통로(111)를 개방하고 제 1웨이퍼 이동통로(111) 입구면의 정면에 위치하게 된다.
블레이드(150)가 제 1웨이퍼 이동통로(111)를 개방하면 무빙유닛(270)에 장착되는 록킹블럭(300)은 록킹브라켓(310)의 골(311)에서 이탈하게 된다.
다음으로, 슬릿밸브의 메인 샤프트(200)를 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면과 평행한 방향으로 이동시켜 블레이드(150)를 제 1하우징 브라켓(110) 내부에 위치시키고 제 1웨이퍼 이동통로(111)를 완전 개방하는 2단계 동작을 도 1, 도 2를 참조하여 설명한다.
블레이드(150)가 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면 정면에 위치한 후 무빙유닛(270)이 하강하게 되면 일단이 무빙유닛(270)에 결합되고 타단이 메인 샤프트(200)에 결합되는 링크(280)는 무빙유닛(270)의 동력을 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면과 평행한 방향으로 메인 샤프트(200)에 전달하게 된다.
무빙유닛(270)의 동력을 전달 받은 메인 샤프트(200)는 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면과 평행한 방향으로 하강하게 된다.
피스톤(250)이 에어실린더(105)의 하단에 이르면 밸브구동부는 정지하게 된다.
그리고 인디케이트샤프트(350)는 인디케이트판넬(360)의 제 1홀(362)을 관통하여 밸브구동부의 동작에 따라 움직이며 슬릿밸브의 개방을 표시하게 된다.
밀봉어댑터(140) 및 오(O)형 밀봉재(112)를 교환하려면, 제 1하우징 브라켓(110)의 밀봉어댑터(140)와 제 1하우징 브라켓(110)을 결합하는 체결수단을 분리한 후 밀봉어댑터(140) 및 오(O)형 밀봉재(112)를 교체하고 제 1하우징 브라켓(110)과 밀봉어댑터(140)를 체결수단으로 결합하면 된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 슬릿밸브는 L자 형태의 2단계 동작을 함으로써 파손된 웨이퍼에 의하여 블레이드어셈블리에 장착되어 있는 밀봉재가 손상되는 것을 방지할 수 있게 된다. 다음으로 밸브하우징의 분리가 가능하여 밸브의 부품이 파손될 경우 슬릿밸브 부품 교체 시간 및 슬릿밸브 부품 교체 비용을 줄일 수 있게 된다. 다음으로 밸브구동부에 인디케이트장치를 장착 함으로써 밸브의 동작상태를 가시적으로 확인할 수있게 된다.

Claims (17)

  1. 제 1 웨이퍼 이동통로(111)가 형성된 제 1 하우징 브라켓(110) 및 상기 제 1 하우징 브라켓(110)과 별도로 형성된 제 2 하우징 브라켓(120)을 구비하는 밸브하우징;
    상기 제 1 하우징 브라켓(110)과 상기 제 2 하우징 브라켓(120) 사이에서 연장된 메인 샤프트(200);
    상기 메인 샤프트(200)의 선단부에 위치하고, 상기 제 1 웨이퍼 이동통로(111)를 개폐하기 위한 블레이드어셈블리; 및
    상기 메인 샤프트(200)를 상기 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면과 평행한 방향으로 이동시켜 상기 블레이드어셈블리를 상기 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 정면에 위치시키는 1단계 동작 및 상기 메인 샤프트(200)를 상기 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면과 수직한 방향으로 이동시켜 상기 블레이드어셈블리로 하여금 상기 제 1웨이퍼 이동통로(111)를 폐쇄시키도록 하는 2단계 동작을 순차적으로 수행하는 밸브구동부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 제 1 하우징 브라켓(110)의 상기 제 1웨이퍼 이동통로(111) 주위에는 상기 제 1웨이퍼 이동통로(111) 주위를 밀폐하기 위한 밀봉 어댑터(140)가 배치되는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 밀봉어댑터(140)는,
    중심에 제 2 웨이퍼 이동통로(141)가 형성된 결합부;
    상기 제 2 웨이퍼 이동통로(141)의 외측 입구 가장자리를 따라 폐곡선형태로 형성된 홈(142); 및
    상기 홈(142)에 삽입되는 오(O)형 밀봉재(112); 를 구비하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 홈(142)은,
    입구보다 바닥이 더 넓게 형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 메인 샤프트(200)의 중심영역에는 롤베어링(290)이 구비되며, 상기 롤베어링(290)은 상기 메인 샤프트(200)의 회전 운동을 지원하고 상기 밸브구동구의 동작부에 형성된 슬라이드홈(261)에 슬라이드 되도록 삽입되는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 제 2하우징 브라켓(120)과 상기 제 1하우징 브라켓(110) 결합부의 메인 샤프트(200) 둘레에는 상기 제 1하우징 브라켓(110)과 상기 제 2하우징 브라켓(120)을 밀폐시키기는 벨로우즈(130)가 설치되는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 블레이드어셈블리는,
    상기 메인 샤프트(200)의 선단부에 결합되어 상기 제 1 웨이퍼 이동 통로(111)를 개방 및 폐쇄하는 블레이드(150); 및
    상기 메인 샤프트(200) 선단부에 장착되어 상기 메인 샤프트(200)와 상기 블레이드(150)를 연결하고 상기 제 1 웨이퍼 이동통로(111)의 입구와 수직한 방향의 가압력에 대하여 탄성력을 발생하는 판스프링(160); 을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 블레이드(150)에서,
    상기 제 1하우징 브라켓(110)과 접하는 면에 폐곡선 형태의 홈(151)이 형성되고, 상기 홈(151)에는 상기 오(O)형 밀봉재(112)가 삽입되는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 홈(151)은,
    입구보다 바닥이 더 넓게 형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  10. 제 1항에 있어서, 상기 밸브구동부는,
    공기의 압력에 의해 구동하는 피스톤(250);
    상기 피스톤(250)에 결합되고 상기 제 1웨이퍼 이동통로(111) 입구면과 평행하게 이동하는 피스톤샤프트(251);
    상기 피스톤(250)을 지지하며 상기 피스톤(250)을 상기 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면에 평행한 방향으로 구동할 수 있도록 하는 에어실린더(260);
    상기 피스톤샤프트(251)에 결합되어 상기 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면과 평행한 방향으로 직선 운동하는 무빙유닛(270); 및
    일단이 상기 무빙유닛(270)에 결합되고, 타단이 상기 메인 샤프트(200)에 결합되며, 상기 제 1단계동작시 상기 무빙유닛(270)의 동력을 상기 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면과 평행한 방향으로 상기 메인 샤프트(200)에 전달하고, 상기 제 2단계동작시 상기 무빙유닛(270)의 동력을 상기 제 1웨이퍼 이동통로(111)의 입구면과 수직한 방향으로 상기 메인 샤프트(200)에 전달하는 링크(280); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  11. 제 10항에 있어서, 상기 슬라이드홈(261)은,
    상기 에어실린더(260)에 상기 메인 샤프트(200)의 이동방향과 평행하게 형성되고 일단이 닫힌 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  12. 제 1항에 있어서, 상기 슬릿밸브는,
    상기 블레이드어셈블리가 상기 제 1웨이퍼 이동통로(111)를 밀폐시키는 상태를 유지하기 위한 록킹부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  13. 제 12항에 있어서, 상기 록킹부는,
    상기 블레이드어셈블리를 동작시키는 상기 밸브구동부의 동작부에 장착되는 1이상의 록킹블럭(300); 및
    상기 제 2하우징 브라켓(120)의 내부에 장착 되고, 상기 블레이드어셈블리가 상기 제 1웨이퍼 이동통로(111)를 폐쇄한 상태에서 상기 록킹블럭(300)을 정지시키는 소정의 제동력을 발생시키는 록킹브라켓(310);을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  14. 제 13항에 있어서, 상기 록킹블럭(300)은,
    일단에 입구 반경을 좁히는 제 1걸림부(304)가 형성되는 원통형의 록킹블럭하우징(303);
    상기 제 1걸림부(304)에 걸리는 제 2 걸림부(302) 및 상기 록킹브라켓(310)에 형성되는 골(311)에 걸리는 돌출부(301)를 가지는 록베어링;
    상기 록베어링을 탄성력으로 지지하는 코일스프링(305); 및
    상기 코일스프링(305)이 상기 록킹블럭하우징(303)의 개방된 단부로이탈하지 않도록 상기 록킹블럭하우징(303)에 장착되는 잠금부(306);를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  15. 제 1항에 있어서, 상기 밸브구동부의 동작 상태를 표시하기 위한 인디케이트장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  16. 제 15항에 있어서, 상기 인디케이트장치는,
    상기 밸브구동부의 동작에 따라 위치 이동이 되도록 설치된 인디케이트샤프트(350); 및
    상기 인디케이트샤프트(350)가 관통하는 제 1홀(362)이 형성되어 있고 상기 제 1홀(362) 주위에 현재 위치를 표시하는 눈금이 기록되고 상기 제 2하우징 브라켓(120)의 외부에 눈금이 보이도록 장착된 인디케이트판넬(360); 을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
  17. 제 16항에 있어서, 상기 인디케이트판넬(360)은 상기 제 1홀(362)에 장착되고 상기 인디케이트샤프트(350)의 위치를 측정하는 1이상의 센서(361)를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브.
KR10-2003-0071906A 2003-10-15 2003-10-15 슬릿밸브 KR100448174B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2003-0071906A KR100448174B1 (ko) 2003-10-15 2003-10-15 슬릿밸브

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2003-0071906A KR100448174B1 (ko) 2003-10-15 2003-10-15 슬릿밸브

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040004195A KR20040004195A (ko) 2004-01-13
KR100448174B1 true KR100448174B1 (ko) 2004-09-13

Family

ID=37315003

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2003-0071906A KR100448174B1 (ko) 2003-10-15 2003-10-15 슬릿밸브

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100448174B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102668022A (zh) * 2010-01-18 2012-09-12 普利西斯株式会社 门阀

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100714249B1 (ko) 2007-03-29 2007-05-07 주식회사 에스티에스 구동이 개선된 사각형 진공 게이트 밸브

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102668022A (zh) * 2010-01-18 2012-09-12 普利西斯株式会社 门阀

Also Published As

Publication number Publication date
KR20040004195A (ko) 2004-01-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4689752B2 (ja) 駆動機構の改善された方形真空ゲートバルブ
US8915020B2 (en) Device for sealingly closing a room opening
US8733734B2 (en) Gate valve
JP5080169B2 (ja) 真空バルブ
CN101375136B (zh) 双腔节流装置隔离阀
TW200424465A (en) Gate valve apparatus
KR100448174B1 (ko) 슬릿밸브
KR101494307B1 (ko) 다양한 형태의 진공장치에 설치가 가능한 진공 게이트밸브
EP2058566A1 (en) Valve device
KR101732113B1 (ko) 진공 공정용 아이솔레이션 밸브
US20070034822A1 (en) Protection structure for rod seal member of two-port valve
US20100301207A1 (en) Mass Spectrometer
KR100520727B1 (ko) 사각 게이트 진공밸브
KR100289466B1 (ko) 버퍼모듈 일체형 게이트 밸브
KR101804523B1 (ko) 틈새 차단기능을 구비한 폴딩도어
US7469717B2 (en) Fail safe shutter for use with a cross-stack monitor
KR200446927Y1 (ko) 방독면의 마이크단자용 밀폐커버
KR20050015191A (ko) 반도체 설비용 진자 밸브
KR100884256B1 (ko) 진공 라인용 개폐 밸브
WO2010136825A1 (en) Detachable and replaceable ion source for a mass spectrometer
SU1274922A2 (ru) Манипул тор,работающий в герметизированном объеме
JP2541116B2 (ja) 真空ゲ―トバルブ
KR101758802B1 (ko) 게이트 밸브의 프로텍션 장치
CN211573250U (zh) 气密门
KR102548525B1 (ko) 공기 압축기용 체크밸브

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
G15R Request for early opening
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120830

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130830

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140902

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150902

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160818

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180903

Year of fee payment: 15

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190902

Year of fee payment: 16