TW201641860A

TW201641860A - 真空閥

Info

Publication number: TW201641860A
Application number: TW105108428A
Authority: TW
Inventors: Roman Steffen; Christoph Bohm
Original assignee: Vat Holding Ag
Priority date: 2015-03-27
Filing date: 2016-03-18
Publication date: 2016-12-01
Also published as: TWI684722B; CN107429857A; WO2016155976A1; US10184570B2; KR102504622B1; US20180058591A1; CN107429857B; JP6778206B2; JP2018509570A; KR20170129776A

Abstract

一種真空閥，包括一關閉環節(4)、一承載關閉環節(4)之閥桿(9)、一與閥桿(9)剛性連接之滑動部(13)及一驅動馬達(25、26)，該關閉環節在一打開位置與一中間位置間可平行於一縱向調整方向(14)調整，且其在該中間位置與一關閉位置間可平行於一橫向調整方向(15)調整，在該打開位置關閉環節使閥開口(2)敞開，在該中間位置關閉環節遮蔽閥開口(2)但仍由閥座(5)被抬高，而在該關閉位置關閉環節接著於閥座(5)上，該承載關閉環節(4)之閥桿(9)，其係平行於縱向調整方向(14)及平行於橫向調整方向(15)滑動安裝，該驅動馬達(25、26)可使一驅動軸(21、22)對一平行於縱向調整方向(14)之旋轉軸線(23)轉動，用以在打開位置、中間位置及關閉位置間調整關閉環節(4)。驅動軸(21、22)在一第一段具有一縱向滑動曲線傳動器之縱向滑動曲線環節(31)，與縱向滑動曲線傳動器之一縱向滑動作用環節(32)互相作用，用以在打開位置與中間位置間調整關閉環節，且在一第二段具有一橫向滑動曲線傳動器之橫向滑動曲線環節(33、34、43)，與橫向滑動曲線傳動器之一橫向滑動作用環節(35、 36、44)互相作用，用以在中間位置與關閉位置間調整關閉環節。 (圖25)

Description

真空閥

本發明係關於一種真空閥，包括一閥體、一關閉環節、一承載關閉環節之閥桿、一與閥桿剛性連接之滑動部及一驅動馬達，該閥體具有一被一閥座圍繞之閥開口，閥開口有軸線，該關閉環節在一敞開閥開口之打開位置與一中間位置間可平行於一縱向調整方向調整，且在中間位置與一關閉位置間可平行於一橫向調整方向調整，在該中間位置該關閉環節遮蔽閥開口但仍由閥座被抬高，而在該關閉位置關閉環節接著於閥座上，該閥桿安裝成可平行於縱向調整方向及平行於橫向調整方向滑動，該驅動馬達具有一驅動軸，可對一平行於縱向調整方向之旋轉軸線旋轉，用以在打開位置、中間位置及關閉位置間調整關閉環節。

在關閉真空閥時，關閉環節首先在一平行於閥桿之縱向調整方向上由一打開位置滑至一中間位置，在該中間位置該關閉環節遮蔽閥開口，但仍由閥座被抬高，且接著在一對縱向調整方向成角度之橫向調整方向上接坐於閥座上，此種真空閥亦被稱為L-閥。

在L-閥之一種非此類型之構造方式上該閥桿安裝成可對一軸線樞轉，而該軸線對縱向調整方向成直角，俾便能將閥板由其中間位置調整至其關閉位置，並可調整回來。為使閥桿能對軸線樞轉亦可使用槽軌導引(Kulissenführungen)，例如在US 6,237,892 B1、US 7,066,443 B2或US 2012/0258242 A1中所公開者。

在L-閥上，為將關閉關節在中間位置與關閉位置間調整，在一對縱向調整方向成角度，特別是成直角之橫向調整方向上實施一關閉環節之平行滑移，此種L-閥依照一傳統實施形式在一承載關閉環節之承載單元上設有一驅動元件，用以在中間位置與關閉位置間調整關閉環節，而承載單元位於真空閥閥殼體內部，且接設於一由真空閥真空區引出之閥桿上。此類L-閥實施例，例如見於US 6,056,266 A、US 6,899,316 B2及US 7,611,122 B2。

在WO 2010/034046 A1、US 7,762,527 B2及WO 2014/075757 A1公開之L-閥中，其在中間位置及關閉位置間實施關閉環節之一線性滑移，其中不僅將關閉環節在打開位置及中間位置間調整之驅動器，亦且將關閉環節在中間位置及關閉位置間調整之驅動器，皆設於真空之外部。承載關閉環節之閥桿既可在縱向調整方向，亦可在橫向調整方向平行滑動。在WO 2014/075757 A1所示之真空閥中，在真空外部將一傳送部接設於閥桿上，該傳送部被桿形導引部在縱向調整方向上滑動導引，而桿形導引部在對縱向調整方向成直角之橫向調整方向上可滑動。負責在橫向調整方向推滑桿形導引部及閥桿者，係一氣壓活塞-缸-單元，其作用在桿形導引部上。負責在縱向調整方向推滑閥桿者，亦係一氣壓活塞-缸-單元，其作用在傳送部上。

一種前述類型之真空閥見於EP 2 749 798 A1。其中使用一驅動馬達打開及關閉真空閥，該馬達轉動一形式為一心軸構造之驅動軸，其旋轉軸線平行於縱向調整方向。靠心軸轉動在縱向調整方向上被調整之調整環節經由一斜向連接，特別是一斜面導引或一平行四邊形導引，與一滑動部連接，該滑動部本身與閥桿剛性連接，該連接係在真空區外。滑動部經由一導引，特別是槽軌導引，在一第一位置及一第二位置間平行於一縱向調整方向，且在一第二位置及一第三位置間平行於橫向調整方向被滑動導引。在滑動部之第一、第二及第三位置上該關閉環節採取其打開位置、中間位置、及關閉位置。除傳動環節外，為將驅動力由驅動馬達傳遞至閥桿，在此真空閥上設置構造相對耗繁之導引元件，特別是以槽軌導引形式，俾便在縱向調整方向及橫向調整方向導引運動。

本發明之目的在於，提出一種前述類型之有利之真空閥，其以有利方式達到關閉環節平行於縱向調整方向(在打開位置與中間位置之間)及平行於橫向調整方向(在中間位置與關閉位置之間)之運動。本發明之此目的係藉由一種具有申請專利範圍第1項之特徵之真空閥而達成。

本發明之真空閥中，用以打開及關閉真空閥之該被驅動馬達轉動之驅動軸在一第一段具有一縱向滑動曲線傳動器之縱向滑動曲線環節。為在打開位置及中間位置間調整關閉環節，此與一縱向滑動曲線傳動器之縱向滑動作用環節 (Eingriffsglied)互相作用。驅動軸在一第二段具有一橫向滑動曲線傳動器之橫向滑動曲線環節。此與一橫向滑動曲線傳動器之橫向滑動作用環節互相作用，用以在中間位置與關閉位置間調整關閉環節。縱向滑動曲線傳動器之縱向滑動作用環節與一滑動部，該滑動部與閥桿剛性連接，以在縱向調整方向上(亦即平行於縱向調整方向)不可滑動之方式連接。橫向滑動曲線傳動器之橫向滑動作用環節與滑動部以在橫向調整方向上(亦即平行於橫向調整方向)不可滑動之方式連接。

因而由驅動軸不僅構成一曲線傳動器之曲線環節，用以平行於縱向調整方向滑動關閉環節，亦且構成一曲線傳動器之曲線環節，用以平行於橫向調整方向滑動關閉環節。經由此，容許一種有利之平行於縱向調整方向及平行於橫向調整方向之閥桿運動導引及關閉環節運動之導引。

由關閉環節打開位置出發，可經由至少一驅動軸在關閉轉動方向之轉動使縱向滑動曲線傳動器之縱向滑動作用環節平行於縱向調整方向滑動，並攜帶滑動部，及將關閉環節由打開位置向中間位置方向滑動。由關閉環節中間位置出發，可經由至少一驅動軸在關閉轉動方向之轉動使橫向滑動曲線傳動器之橫向滑動作用環節平行於橫向調整方向滑動，並攜帶滑動部，及將關閉環節由中間位置向關閉位置方向滑動。

閥桿平行於縱向調整方向及平行於橫向調整方向之可滑動裝設(Lagerung)可有利地經由與閥桿剛性連接之滑動部平行於此方向之一可滑動之裝設實施。

在一可能之實施例中，可為此至少設一滑動部之縱向線性導引，該導引在平行於縱向調整方向上滑動裝設滑動部。此至少一滑動部之縱向線性導引可進一步經由至少一橫向線性導引平行於橫向調整方向滑動裝設。該至少一縱向滑動曲線傳動器之縱向滑動作用環節以及至少一橫向滑動曲線傳動器之橫向滑動作用環節在此處可直接設於滑動部上。

在一備選之實施例中，可設至少一縱向線性導引，該線性導引滑動裝設一平行於縱向調整方向之機架。滑動部可進一步相對於機架在平行於橫向調整方向上被滑動裝設。該至少一縱向滑動曲線傳動器之縱向滑動作用環節在此處可有利地設於機架上，而滑動部相對於機架在縱向調整方向被保持成不可滑動。直接設置在滑動部上亦屬可想而知及可行。該至少一橫向滑動曲線傳動器之橫向滑動作用環節可直接設於滑動部上。

為將關閉環節既在一由中間位置向關閉位置之方向運動，亦在相反方向運動，驅動軸之第二段可有利地具有第一及第二橫向滑動曲線環節，其構成一雙重(Double)曲線盤，且其與第一及第二橫向滑動作用環節互相作用，該第一及第二橫向滑動作用環節與滑動部以不可在橫向調整方向滑動之方式連接。以此方式在平行於橫向調整方向之雙向構成一強迫導引。一種如此之強迫導引亦可例如經由橫向滑動作用環節之一槽導引構成。另一方面該橫向滑動曲線傳動器亦可僅具有單一曲線盤，該與此互相作用之橫向滑動作用環節藉由一彈簧按壓在其外表面上。

縱向滑動曲線環節構成之曲線有利地具有一無導程段，且當關閉環節採取中間位置時，縱向滑動作用環節位於此段。當縱向滑動作用環節位於此段時，驅動軸之轉動不產生閥桿平行於縱向調整方向之滑動，但縱向滑動作用環節仍可經由橫向滑動曲線傳動器相對於縱向滑動曲線環節對橫向調整方向滑動。

縱向滑動曲線傳動器特別係一圓柱曲線傳動器(Zylinderkurvengetriebe)。

在一有利實施例中，真空閥進一步具有一固定調整裝置，能阻斷驅動軸對旋轉軸線之轉動。經由此，驅動馬達之操作介質失效時，該操作介質特別係由電能構成，將達到驅動軸轉動位置之固定及隨之關閉環節位置之固定，特別係在關閉位置或在打開位置時之固定。

在本發明一有利設計中，存在第一及第二驅動軸，由各別驅動馬達或一共同驅動馬達對互相平行之旋轉軸線驅動，且各在一第一段具有一縱向滑動曲線傳動器之縱向滑動曲線環節，其各與一縱向滑動曲線傳動器之縱向滑動作用環節互相作用，且在一第二段各具有一橫向滑動曲線傳動器之橫向滑動曲線環節，其各與橫向滑動曲線傳動器之一橫向滑動作用環節互相作用。

本發明之設計容許一種簡單之關閉環節在閥座上按壓力之操縱與控制，可將此按壓力調至不同值。例如當無壓差存在時，彈性密封環之負荷可因而降低，可優化將關閉環節對閥座密封之彈性密封環之使用壽命。

1‧‧‧閥體

2‧‧‧閥開口

3‧‧‧軸線

4‧‧‧關閉環節

5‧‧‧閥座

6‧‧‧密封環

7‧‧‧內部空間

8‧‧‧開口

9‧‧‧閥桿

10‧‧‧縱軸

11‧‧‧折疊伸縮管

12‧‧‧連接件

13‧‧‧滑動部

14‧‧‧縱向調整方向

15‧‧‧橫向調整方向

16‧‧‧縱向導引桿

17‧‧‧導引套筒

18‧‧‧橫向導引桿

19‧‧‧導引套筒

20‧‧‧承載體

21‧‧‧驅動軸

22‧‧‧驅動軸

23‧‧‧旋轉軸線

24‧‧‧滾動軸承

25‧‧‧驅動馬達

26‧‧‧驅動馬達

27‧‧‧齒輪

28‧‧‧齒輪

29‧‧‧齒輪

30‧‧‧齒輪

31‧‧‧縱向滑動曲線環節

31a‧‧‧段

31b‧‧‧段

32‧‧‧縱向滑動作用環節

32a‧‧‧插銷

32b‧‧‧滾子

33‧‧‧第一橫向滑動曲線環節

34‧‧‧第二橫向滑動曲線環節

35‧‧‧第一橫向滑動作用環節

35a‧‧‧承載體

35b‧‧‧滾子

35c‧‧‧軸銷

36‧‧‧第二橫向滑動作用環節

37‧‧‧穿通孔

38‧‧‧關閉轉向

39‧‧‧關閉轉向

40‧‧‧固定調整裝置

41‧‧‧齒輪

42‧‧‧支拄部

43‧‧‧橫向滑動曲線環節

43a‧‧‧導引槽

44‧‧‧橫向滑動作用環節

45‧‧‧機架

46‧‧‧橫向導引桿

47‧‧‧導引套筒

本發明之其餘優點與細節將在以下根據圖式詳細說明。圖中顯示：圖1及圖2 一斜視圖及本發明真空閥一實施例在關閉環節處於打開位置時之一視圖；圖3至圖8 圖2中沿切線AA、BB、CC、DD、EE及FF之截面圖；圖9及圖10 一斜視圖及真空閥在關閉環節處於中間位置時之視圖；圖11至圖15 圖10中沿切線GG、HH、II、JJ及KK之截面圖；圖16 圖12中沿切線LL之一截面圖；圖17及圖18 一斜視圖及真空閥在關閉環節處於關閉位置時之視圖；圖19至圖23 圖18中沿切線MM、NN、OO、PP及QQ之截面圖；圖24及圖25 由不同視線方向所見之分解圖；圖26 單元之一斜視圖，該單元包括關閉環節、閥桿及滑動部；圖27 具有縱向滑動作用環節及橫向滑動作用環節之滑動部之一分解圖；圖28 驅動單元之一分解圖，其中包括驅動馬達、傳動部及固定調整裝置；圖29 橫向滑動曲線傳動器之一備選實施例；圖30 另一實施例之斜視圖；圖31 根據此另一實施例之真空閥部件之一分解圖。

本發明真空閥之一實施例顯示於圖1至圖28中。

該真空閥具有一閥體1，其具有一壁部，壁部具有一閥開口2，閥開口具有一軸線3。閥開口2在真空閥之關閉狀態被一特別是板狀構造之關閉環節4關閉，關閉時關閉環節採取其關閉位置。關閉環節4在關閉位置時被按壓在一閥座5上，該閥座在面向關閉環節4之側包圍閥開口2。在真空閥之打開狀態關閉環節4放開閥開口2，且關閉環節4採取其打開位置。關閉環節4在關閉位置與打開位置間之調整係通過一中間位置，在該中間位置上，由閥開口2之軸線3方向觀之，關閉環節遮蔽閥開口2，亦即位於閥座5對面，但仍由閥座5被抬高(=保持距離)。

為在關閉環節4之關閉位置在關閉環節4與具有閥開口2之閥體1之壁部間密封，使用一設於關閉環節4上之彈性密封環6(例如由FKM或FFKM製成)，且閥座5具有一密封面，密封環6按壓在該密封面上。密封環6基本亦可設於密封座上，且按壓在關閉環節4之一密封面上。

閥體1在實施例中設計成殻體式，故亦可稱為閥殻體，關閉環節4設於閥體1之一內部空間7中。此閥體1之內部空間7構成真空閥之一真空區(=一區域，在其中可為真空)。閥體1 在另一壁部具有另一開口8，使得一穿越通道由閥體1構成。此穿越通道在實施例中在軸線3方向直線延伸。

閥體1在實施例中另具有一被蓋部45關閉之孔，此孔使維護工作簡單。但此孔與蓋部45亦可省去。

閥體1可連接在一真空設備之其他部分上，例如真空室及/或管線。閥體1之內部空間7經由閥開口2在關閉環節4之打開位置與真空設備一第一部份之內部空間連接，且內部空間7經由開口8與真空設備另一部份之內部空間連接。

真空閥基本亦可設計成所謂之置入物，閥體1在真空閥之操作狀態在一真空室之內部空間設於真空室之一壁部，且對該壁部密封，使得閥開口2與真空室壁部之一開口對齊。是則真空閥具有開口8之對立壁部即可省去。關閉環節4亦即設於真空閥之一真空區內。

關閉環節4由一閥桿9承載，在實施例中係經由一連接件12，該連接件一側固定於閥桿上，另一側固定於關閉環節上。閥桿經由閥體1之一開口被導引出真空閥之真空區，其在其縱軸10方向及在一對其縱軸成直角之方向上可活動。為此目的在實施例中使用一折疊伸縮管(Faltenbalg)11。其他方式之真空管道(Vakuumdurchführung)在此處基本亦屬可用，例如其他方式之伸縮管或一線性管道，其自身在對管道方向成直角之方向上相對於閥體安裝成可密封滑動。

在真空區外在閥桿9上剛性固定一滑動部13。該滑動部13在實施例中設計成多件式構造，藉由一安裝設施(Lagereinrichtung)平行於一縱向調整方向14及平行於一對縱向調整方向14成直角之橫向調整方向15滑動安裝。經由滑動部13平行於縱向調整方向14之一滑動，閥桿9及因而關閉環節4平行於縱向調整方向14滑動。關閉環節4在打開位置及中間位置間之調整係經由滑動部13平行於縱向調整方向14一如此之滑動實施。

閥桿9及關閉環節4平行於橫向調整方向15之滑動係經由滑動部13平行於橫向調整方向15之調整實現。關閉環節4在中間位置及關閉位置間之調整係經由滑動部13平行於橫向調整方向15一如此之滑動實施。

閥桿9之縱軸10平行於縱向調整方向14，經由此，有利地容許閥桿9被簡單引出真空區。

閥開口2之軸線3平行於橫向調整方向15，且閥座5位於一對此成直角之平面上，經由此有利地達到關閉環節4在閥座5上之一平行坐設。但輕微偏離如此之平行坐設基本可以容忍。

用於平行於縱向調整方向14及平行於橫向調整方向15滑動安裝滑動部13之安裝設施(Lagereinrichtung)在所示之實施例中包括縱向導引桿16，其穿過在滑動部13中之開口，其中設置導引套筒17，構成一滑動導引。例如存在二設於閥桿9兩側之縱向導引桿16。縱向導引桿16平行於縱向調整方向14，且自身平行於橫向調整方向15被滑動導引。為此在實施例中橫向導引桿18穿過設於縱向導引桿16兩端部區之開口進入縱向導引桿16，桿內設有導引套筒19，構成一滑動導引。橫向導引桿平行於橫向調整方向15，且接設在一與閥體1剛性連接之承載體20上。

縱向導引桿16連同滑動部13構成滑動導引之部件共同構成滑動部13之縱向線性導引，其係依照軸導引方式構成。亦可設置至少一以其他方式構成之縱向線性導引，用以平行於縱向調整方向14滑動安裝滑動部13，例如一軌道導引或一槽軌導引。在一軌道導引上可設置導引軌道，滑動導引機架(機架係滑動部之部件)。在一槽軌導引上可設置導引軌道，其由長孔、槽或浮凸構成，且對應之作用元件沿此導引軌道被滑動導引。

若不用滑動導引，亦可設置一滾動導引。

橫向導引桿8連同用以沿橫向導引桿18滑動安裝縱向導引桿16之部件共同構成橫向線性導引，其在實施例中係按照軸導引方式構成。亦可設置至少一以其他方式構成之橫向線性導引，用以平行於橫向調整方向15滑動導引安裝滑動部13，例如一軌道導引或一槽軌導引。

若不用滑動導引，亦可設置一滾動導引。

驅動軸21、22與滑動部13共同作用，俾便將滑動部13平行於縱向調整方向14及平行於橫向調整方向15運動。設於閥桿9對面側之驅動軸21、22各對一平行於縱向調整方向14之旋轉軸線23旋轉安裝。此旋轉安裝在實施例中係經由對承載體20之滾動軸承24為之。

使用驅動馬達25、26使驅動軸21、22對其旋轉軸線23轉動。各驅動軸21、22被驅動馬達25、26之驅動係經由一傳動器，在實施例中該傳動器包括齒輪27、28、29及30。

驅動馬達25、26係電動機，例如直流電機，無刷或有刷，或亦為同步電機、異步電機或步進馬達。若使用直流電機、同步電機，或異步電機，驅動馬達25、26之同步可由一控制器(圖中未顯示)通過適當感測器(圖中未顯示)，例如轉速計或霍爾感測器(Hallsensor)為之。若使用步進馬達，驅動馬達25、26之同步可由給定相同步級數而控制及/或亦可設置適當之感測器用於同步化。

若不使用電力驅動馬達25、26基本亦可使用他種驅動馬達，使驅動軸21、22能對旋轉軸線23轉動，例如氣壓或油壓馬達，若使用多於一驅動軸21、22且若使用分離之馬達驅動驅動軸，則驅動軸之轉動需適當同步化。

亦可僅使用單一驅動馬達，其經由適當之傳動元件，例如一齒帶，將二驅動軸21、22對其各旋轉軸線23轉動。同樣地，若各驅動軸使用自己專屬之驅動馬達，則一如此方式之機械性同步化係屬可想而知及可行。

為將滑動部13及因而閥桿9及關閉環節4平行於縱向調整方向14滑動，使關閉環節4在打開位置與中間位置間調整，使用縱向滑動曲線傳動器。此曲線傳動器包括一縱向滑動曲線環節31及一縱向滑動作用環節32，前者構成於各驅動軸21、22在縱向延伸之一第一段，後者設於滑動部13上，與一各該縱向滑動曲線環節31互相作用。在實施例中此由一固定於滑動部13中之插銷32a構成，其上旋轉安裝一滾子32b，可對一對旋轉軸線23成直角之軸線轉動。該滾子32b基本亦可省略，而係使用一插銷，該插銷可被滑動導引在縱向滑動曲線環節31中。

縱向滑動曲線環節31由一槽構成，對驅動軸21、22之周緣螺線形延伸。滾子32b齧入此槽中，可在槽腹上滾動，或一插銷取代滾子齧入槽中。亦可用一浮凸曲線取代此槽曲線，一對應構造之作用環節與浮凸曲線互相作用。一各該縱向滑動曲線環節31與跟此互相作用之縱向滑動作用環節32共同構成一圓柱曲線傳動器。

由縱向滑動曲線環節31構成之曲線額外具有段31a，在此段上其具有一對縱向調整方向14之導程(Steigung)，此外其另具有一無導程之段31b。當縱向滑動作用環節32與段31a齧合時，驅動軸21、22之轉動產生一縱向滑動作用環節32平行於縱向調整方向14之滑動。當縱向滑動作用環節32與段31b齧合時，驅動軸21、22之轉動不產生任何縱向滑動作用環節32平行於縱向調整方向14之滑動。當關閉環節4在其由打開位置向中間位置之方向調整，抵達調整路徑終點上之中間位置時，縱向滑動作用環節32抵達無導程之段31b。

由縱向滑動曲線環節31構成之曲線在段31a延伸過有導程之部分，在實施例中環繞驅動軸21、22周緣小於360°。例如此段31a延伸涵蓋曲線具有導程(對縱向調整方向14)之部分，其延伸在180°至320°。為將關閉環節4由打開位置調整至中間位置，各驅動軸21、22之轉動必須小於360°。例如各驅動軸21、22之此轉角在180°至320°之範圍內。

為使滑動部13及閥桿9與關閉環節4平行於橫向調整方向15滑動，俾便在中間位置及關閉位置間調整關閉環節4，使用橫向滑動曲線傳動器。一橫向滑動曲線傳動器在實施例中包括一第一及一第二橫向滑動曲線環節33、34，其構建於各驅動軸21、22之縱向延伸方向之一第二段。設於滑動部13上之第一及第二橫向滑動作用環節35、36與第一及第二橫向滑動曲線環節33、34互相作用。

第一及第二橫向滑動-曲線環節33、34係設計成曲線盤形式，其外表面與橫向滑動作用環節35、36互相作用，而橫向滑動曲線環節33、34之外表面在與橫向滑動作用環節35、36互相作用之區域改變其在旋轉軸線23周緣方向之距離。橫向滑動曲線環節33、34亦可稱為凸輪盤。

第一橫向滑動曲線環節33與第一橫向滑動作用環節35互相作用，將關閉環節4由中間位置調整至關閉位置。第二橫向滑動曲線環節34與第二橫向滑動作用環節36互相作用，將關閉環節4由關閉位置調整至中間位置。

將處於關閉位置之關閉環節4按壓在閥座5上之按壓力係經由第一橫向滑動曲線環節33與第一橫向滑動作用環節35之間傳遞，在其間存在一滾動接觸。為此第一橫向滑動作用環節35具有一滾子35b，其藉由一承載體35a及一被保持在承載體35a上之軸銷35c對一平行於旋轉軸線23之軸旋轉安裝。然而在第一橫向滑動曲線環節33與第一橫向滑動作用環節35之間亦可為滑動接觸。在所示之實施例中，在第二橫向滑動曲線環節34與第二橫向滑動作用環節36間存在一滑動接觸。然而在此二部件間亦可設計成滾動接觸。

因而第一及第二橫向滑動作用環節35、36構成一雙重曲線盤。但亦可僅設置單一曲線盤，與一單一作用環節互相作用，而曲線環節與作用環節間之接觸被一彈簧保持，能夠在平行於橫向調整方向之雙向進行調整。該彈簧可例如向打開方向作用。

在真空閥之打開狀態關閉環節4採取打開位置，由此打開狀態開始關閉真空閥時，驅動軸21、22在各關閉轉向38、39轉動。在實施例中驅動軸21、22之關閉轉向相反。但驅動軸21、22之關閉轉向38、39亦可同向。

在關閉環節4之打開位置，在縱向調整方向14上，第一橫向滑動作用環節35對第一橫向滑動曲線環節33保持距離，且第二橫向滑動作用環節36對第二橫向滑動曲線環節34保持距離。直到關閉環節4由打開位置至中間位置之調整路徑接近終點，第一橫向滑動作用環節35才與第一橫向滑動曲線環節33達到重疊(在縱向調整方向14上)，且第二橫向滑動作用環節36與第二橫向滑動曲線環節34達到重疊(在縱向調整方向14上)。驅動軸21、22在各關閉轉向38、39繼續轉動，關閉環節4在縱向調整方向14上不再發生調整，這是由於縱向滑動作用環節32已進入縱向滑動曲線環節31曲線之無導程段31b區域。在此驅動軸21、22在各關閉轉向38、39之繼續轉動中，第一橫向滑動曲線環節33平行於橫向調整方向15推滑第一橫向滑動作用環節35，造成關閉環節4由中間位置滑至關閉位置，且按壓在閥座5上。

當在關閉環節4之關閉位置，驅動軸21、22在與關閉轉向38、39相反之一打開轉向轉動，則第二橫向滑動曲線環節34首先平行於橫向調整方向15推滑第二橫向滑動作用環節36，使關閉環節4由關閉位置調整至中間位置。如先前提過，可不用第二橫向滑動曲線環節34及第二橫向滑動作用環節36，而改為至少設置一彈簧，在驅動軸21、22之此轉動中，將縱向滑動作用環節32保持在接觸在縱向滑動曲線環節31上之狀態，且將關閉環節4 由關閉位置推滑至中間位置。在驅動軸21、22朝打開轉向之繼續轉動中，縱向滑動作用環節32抵達縱向滑動曲線環節31之曲線段31a，在段31a中存在對縱向調整方向14之導程，產生關閉環節4由中間位置至打開位置之調節。

在另一可能之改進中，省去第一橫向滑動曲線環節33及第一橫向滑動作用環節35，至少一關閉彈簧將第二橫向滑動作用環節36保持成接觸在第二橫向滑動曲線環節34上，且當驅動軸21、22向關閉轉向轉動時，關閉環節4由中間位置調整至關閉位置。

當縱向滑動作用環節32位於無導程之段31b，縱向滑動曲線環節31亦可平行於橫向調整方向15對縱向滑動作用環節32相對滑動。為此在此方向在驅動軸21、22及被驅動軸穿過之滑動部13之穿通孔37間設置適當餘隙s，見圖6。

在中間位置，在關閉位置，及在兩者之間之所有位置上，至少一橫向滑動作用環節35、36與所配屬之一橫向滑動曲線環節33、34齧合。

可想而知且可行者係，縱向滑動曲線環節之無導程段31b省去，在關閉環節4由打開位置至中間位置之關閉路徑終點時，縱向滑動作用環節32與縱向滑動曲線環節脫離齧合。例如縱向滑動曲線環節31可僅在段31a具有延伸之浮凸曲線，縱向滑動作用環節32被向打開方向作用之彈簧按壓在浮凸曲線之一側腹上，而滑動部13在關閉環節4抵達中間位置時藉由一卡合機構(Verrastungsmechanismus)在抗拒一彈簧作用之滑動情況下被保持(但此時可在橫向調整方向15滑動)，且此卡合機構 (Rastmechanismus)只在關閉環節由關閉位置返回至中間位置時才解除。

閥桿9在縱向調整方向14上延伸超過滑動部13所在之區域，至一由關閉環節4離開之指向。閥桿9在縱向延伸之此段，較佳在其遠離關閉環節4之端部區，在關閉環節4之關閉位置上支拄在一固定保持在閥體上之支拄部42。支拄部42位於在橫向調整方向15上閥桿9之同側，如同閥座5。經由閥桿9之此支拄，作用在滑動部13之導引設施上之力矩降低，較佳至少基本消除(當滑動部13位於閥桿9中間，此係為較佳者)。支拄部42有利地設計成彈性，以具有一類似密封環6之彈性為佳。

在所示之實施例中針對各驅動軸21、22進一步設置一固定調整裝置40，可阻斷驅動軸21、22之轉動。例如當關閉環節4位於關閉位置時，驅動軸21、22之轉動可被阻斷。當驅動馬達25、26之操作介質失效時，此操作介質在實施例中係電能，真空閥之關閉狀態即被固定。固定調整裝置40在實施例中具有一齒輪41，該齒輪與傳動器之一齒輪28齧合。固定調整裝置40之一阻斷環節可由驅動馬達25、26之操作介質抗拒一彈簧之力對一與齒輪41連接之軸(Welle)保持距離，而在操作介質失效時被該彈簧按壓在該軸上。在圖中並未繪出這些細節。關閉環節4因而可在驅動馬達25、26之操作介質失效時，被固定在其當時所採取之位置上。

一種如此之固定調整裝置亦可直接與被驅動馬達驅動之馬達軸互相作用。

基本亦可存在多於二個被至少一驅動馬達驅動之驅動軸21、22或僅存在單一之被一驅動馬達驅動之驅動軸。若僅存在單一驅動軸，則此有利地在一對縱向調整方向14成直角且對橫向調整方向15成直角之方向上位於關閉環節4中間(亦即在實施例中在閥桿9之前或之後)，使得關閉環節4在閥座5上之按壓力可施加於中間。

若不用單一閥桿9則亦可設置二或多根平行之閥桿9，共同承載關閉環節4。

該至少一驅動馬達亦可直接驅動該至少一驅動軸，無需一中間串連之傳動器。

所示實施例之不同之其他修改，皆屬可想而知且可行，然皆仍在本發明之範疇內。

圖29顯示一可能之橫向滑動曲線傳動器或任一橫向滑動曲線傳動器修改設計。橫向滑動曲線環節43此處係設計成一盤形式，具有一導引槽43a，當關閉環節4在縱向調整方向14被推滑至中間位置及關閉位置(及所有兩者之間之位置)時，該橫向滑動作用環節44齧入導引槽中。橫向滑動作用環節44可由一插銷構成，或一其上旋轉裝設一滾子之插銷構成。

在關閉環節由中間位置向打開位置滑動時，橫向滑動作用環節44再度與橫向滑動曲線環節43脫離齧合。

圖30與圖31顯示另一實施例。除以下說明者不同外，其設計與圖1至圖28中之實施例相同，此外且針對圖1至圖28中之實施例所作之說明對圖30及圖31中之實施例亦成立，所說明之可能之修改亦同樣成立。

在圖1至圖28中之實施例中，滑動部13經由平行於縱向調整方向14之導引與平行於橫向調整方向15之導引連接，而在圖30及圖31之實施例中，該滑動部13經由平行於橫向調整方向15之導引與平行於縱向調整方向14之導引連接。

此處縱向導引桿16相對於承載體20固定，且一機架45沿縱向導引桿16平行於縱向調整方向14被滑動導引。縱向導引桿16連同沿此被被導引之機架45之導引元件構成縱向線性導引。機架45本身平行於橫向調整方向15導引滑動部13。為此在此處設置對應之橫向線性導引。在圖30及圖31之實施例中此由與機架45剛性連接、平行於橫向調整方向15之橫向導引桿46構成，滑動部13之導引套筒47被其滑動導引。滑動部13相對於機架45以不可在縱向調整方向14上滑動之方式被保持。

亦可設置至少一以其他方式構成之縱向線性導引及/或橫向線性導引。

與縱向滑動曲線環節31齧合之縱向滑動作用環節在此實施例中係設於機架45上。在圖30及圖31中無法看見此縱向滑動作用環節，但完全可比照在圖1至圖28中之實施例構成。

橫向滑動作用環節35、36如同圖1至圖28中之實施例設於滑動部13上，而此處二橫向滑動作用環節具有對軸銷旋轉安裝之滾子。

經由圖30及圖31中之設計，可構建一平行於縱向調整方向及橫向調整方向14、15非常穩定之滑動部13之導引。

在關閉環節在中間位置與關閉位置間之調整上，在此實施例中並無機架運動，且因而無縱向滑動作用環節(其位於各縱向滑動曲線環節31之無導程段31b)平行於橫向調整方向之運動。縱向滑動曲線環節直接設於滑動部13上在此實施例中亦屬可想而知及可行。