TWI439622B - Gate valve and the use of the substrate processing device - Google Patents

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TWI439622B
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Tsutomu Wakamori
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Description

閘閥及使用彼之基板處理裝置
本發明是有關用以開閉基板的搬入出口之閘閥及使用彼之基板處理裝置。
在對半導體晶圓等的基板或液晶基板等的FPD(Flat Panel Display)基板例如進行蝕刻、成膜等所定的處理之基板處理裝置中，具備用以移送基板的基板搬出入口，且具備複數個在關閉基板搬出入口的狀態下使内部形成真空環境的腔室。如此的腔室例如可舉在真空壓環境中進行基板的處理之製程處理室(含反應容器)、在真空壓環境下搬送基板的搬送室、在真空環境與大氣壓環境之間處理基板的加載互鎖(load-lock)室等。
一般，閘閥是如上述般在關閉時使形成真空環境的腔室在氣密狀態下遮斷，在打開時可移送基板之真空閥，使用於開閉腔室的基板搬出入口，或隔開隣接的腔室間者。
具體而言，閘閥是具備形成橫長的長板狀的閥體，使能夠閉塞用以使基板在水平姿勢下搬出入的基板搬出入口，可使用汽缸或油壓汽缸等的促動器來使閥體驅動而開閉基板搬出入口。此情況，使閥體從基板搬送時不會妨礙的位置(例如比基板搬出入口更下方的位置)移動至基板搬出入口，為了密封基板搬出入口而以所定的擠壓力來一邊將閥體推擠至基板搬出入口一邊使閉塞，藉此來關閉基板搬出入口。
如此的閘閥，例如專利文獻1中記載，在設於腔室的側壁之框體内，設置藉由油壓汽缸來昇降的板狀閘基座，以連接桿來轉動自如地連結閘基座與閥體的兩端，構成平行曲柄機構者。藉此，一旦使油壓汽缸驅動來令閥體與閘基座一起上昇，則閥體會抵接於框體的頂部，推出至前方。藉此，只要使昇降用的油壓汽缸驅動，便可邊擠壓邊閉塞基板搬出入口。
可是，像專利文獻1那樣的構成，除了閥體以外，同樣大小的閘基座也必須使昇降，因此該部份油壓汽缸的作動力也需要大。而且，昇降用的油壓汽缸，除了閥體的昇降動作以外，亦進行一邊擠壓閥體一邊閉塞基板搬出入口的動作，因此為了確保密封基板搬出入口所必要的閥體的擠壓力，需要更大作動力的油壓汽缸。
此點例如專利文獻2，3所示般，亦有除了將閥體本身設置成昇降自如，閥體昇降用的汽缸以外，從閥體的背面以開閉用的汽缸的作動力來一邊擠壓閥體一邊閉塞者。藉此，使昇降用的汽缸驅動而令閥體上昇之後，可只使開閉用的汽缸驅動來將閥體推擠至基板搬出入口而閉塞，因此可減輕閥體昇降用的汽缸的負擔。
[專利文獻1]特開平5-196150號公報
[專利文獻2]特開2004-316916號公報
[專利文獻3]特開2005-76845號公報
然而，如上述般藉由驅動有別於昇降用的汽缸另外設置的開閉用的汽缸來將閥體推擠至基板搬出入口者，為了在該狀態下保持閥體，亦需要開閉用的汽缸的作動力。因此，為了將閥體推擠至基板搬出入口而保持閉塞不動，必須持續作動開閉用的汽缸。此點記載於專利文獻1者也是同樣的，為了保持將閥體推擠至基板搬出入口不動，必須持續作動油壓汽缸。
這例如若油壓汽缸或汽缸等的促動器故障或發生停電等而促動器的作動力消失，或因作動媒體(作動氣體，作動軸等)洩漏等而造成促動器的作動力降低，則恐會有因腔室的内側與外側的壓力差而閥體打開之虞。
於是，本發明是有鑑於如此的問題而研發者，其目的是在於提供一種即使令閥體驅動的促動器等驅動手段的作動力消失，還是可保持於將閥體推擠至基板搬出入口的狀態之閘閥及使用彼之基板處理裝置。
為了解決上述課題，若根據本發明的某觀點，則提供一種閘閥，係用以開閉設於腔室的側壁的基板搬出入口之閘閥，其特徵係具備：框體，其係以能夠包圍上述基板搬出入口的方式設於上述腔室的側壁；閥體，其係於上述框體内昇降自如地設置，開閉上述基板搬出入口；昇降驅動手段，其係在對向於上述基板搬出入口的位置與自上述基板搬出入口待避的位置之間使上述閥體昇降；及開閉驅動手段，其係藉由在對向於上述基板搬出入口的位置與一邊擠壓上述基板搬出入口一邊閉塞的位置之間使上述閥體進退的凸輪機構所構成，又，上述凸輪機構係具有：長構件，其係於上述閥體的背面側橫渡上述閥體的長度方向配置，可移動自如地被上述框體支撐；及凸輪，其係隨著上述長構件的動作來擠壓驅動上述閥體，且以上述長構件來接受上述閥體從上述基板搬出入口側所被推回的力量，藉此將上述閥體擠壓保持於上述閉塞位置。
此情況，凸輪例如可為板狀凸輪，或旋轉凸輪。
為了解決上述課題，若根據本發明的別的觀點，則提供一種基板處理裝置，係一邊搬送基板至複數的腔室，一邊對基板進行所定的處理之基板處理裝置，其特徵為：上述各腔室係具備用以開閉設於其側壁的基板搬出入口之閘閥，上述閘閥係具備：框體，其係以能夠包圍上述基板搬出入口的方式設於上述腔室的側壁；閥體，其係於上述框體内昇降自如地設置，開閉上述基板搬出入口；昇降驅動手段，其係在對向於上述基板搬出入口的位置與自上述基板搬出入口待避的位置之間使上述閥體昇降；及開閉驅動手段，其係藉由在對向於上述基板搬出入口的位置與一邊擠壓上述基板搬出入口一邊閉塞的位置之間使上述閥體進退的凸輪機構所構成，又，上述凸輪機構係具有：藉由在上述閥體的背面側橫渡上述閥體的長度方向配置且被上述框體所支撐的長構件來驅動，由此長構件來擠壓驅動上述閥體，且以上述長構件來接受上述閥體從上述基板搬出入口側所被推回的力量，藉此將上述閥體保持於上述閉塞位置之凸輪。
另外，上述腔室是例如為進行基板的處理之處理室，連接至該處理室的搬送室，連接至該搬送室的加載互鎖室。
若根據如此的本發明，則以閥體來閉塞基板搬出入口時，是藉由昇降驅動手段來使閥體上昇至對向於基板搬出入口的位置之後，藉由開閉驅動手段來使長構件作動，藉此隨著長構件的動作，閥體會藉由凸輪機構的凸輪來被推壓驅動。藉此，閥體會前進而一邊擠壓基板搬出入口一邊閉塞，以長構件來接受閥體從基板搬出入口側所被推回的力量，而可將閥體保持於該閉塞位置。藉此，例如即使無驅動長構件的促動器的作動力，還是可將閥體保持於推擠至基板搬出入口的狀態，因此不會有像以往那樣閥體打開的情況。
又，上述凸輪是例如以板狀凸輪所構成，上述凸輪機構係具備：驅動手段，其係例如使滑動自如地被上述框體支撐的上述長構件滑動至與上述閥體的進退方向正交的方向；及閥體驅動用滾輪，其係抵接於上述長構件與上述閥體之間所設置的上述板狀凸輪的凸輪面，而來驅動上述閥體，可將上述長構件的滑動動作變換成上述閥體的進退動作。
此情況，上述板狀凸輪較理想是構成具有：第1凸輪面，其係使上述長構件滑動於一方向，藉此抵接於上述閥體驅動用滾輪來使該閥體驅動用滾輪前進至關閉上述閥體的方向，而一邊擠壓上述基板搬出入口一邊使移動至閉塞的位置；及第2凸輪面，其係以上述長構件來接受上述閥體從上述基板搬出入口側所被推回的力量，藉此將上述閥體保持於上述閉塞位置。
若根據如此的本發明，則以閥體來閉塞基板搬出入口時，是藉由昇降驅動手段來使閥體上昇至對向於基板搬出入口的位置之後，使長構件滑動於一方向，藉此閥體驅動用滾輪會一邊抵接於第1凸輪面一邊使閥體前進，而一面擠壓基板搬出入口一面閉塞。而且，藉由使長構件更滑動，在第2凸輪面藉由閥體驅動用滾輪來使閥體維持一邊擠壓基板搬出入口一邊閉塞閉塞。此時，例如即使無驅動長構件的促動器的作動力，閥體還是可藉由以長構件來接受從基板搬出入口側所被推回的力量而予以保持。
上述板狀凸輪可設於上述長構件的閥體側，上述閥體驅動用滾輪是上述閥體處在對向於上述基板搬出入口的位置時，以能夠對向於上述長構件的方式來設於上述閥體。
又，上述板狀凸輪可設於上述閥體的長構件側，上述閥體驅動用滾輪是上述閥體處在對向於上述基板搬出入口的位置時，以能夠對向於上述閥體的方式來設於上述長構件。
藉由如此配置板狀凸輪及閥體驅動用滾輪，可藉由使長構件滑動來擠壓驅動閥體。
又，上述閥體驅動用滾輪係沿著上述閥體的長度方向來複數配置，且上述板狀凸輪係只設置對應於上述閥體驅動用滾輪的數量，藉由使上述長構件滑動來使上述閥體驅動用滾輪的全部一起驅動而令上述閥體進退，且構成可以上述閥體驅動用滾輪的全部來一邊擠壓上述閥體一邊保持於上述閉塞位置。
藉此，可按照閥體的長度方向的大小來改變閥體驅動用滾輪的數量，因此即使閥體的尺寸大，為了予以密封，還是可在維持以充分的擠壓力擠壓的狀態下保持閥體。
又，以上述長構件能夠擋住自上述閥體所接受的力量(上述閥體從上述基板搬出入口側所被推回的力量)之方式來設置由背面側支撐上述長構件的支撐構件。
如此，藉由使長構件由其背面側來支撐，可由與自閥體接受的力量的方向呈相反的側來支撐，因此長構件可更強力地阻擋從閥體所接受的力量，藉此可在維持更強力地擠壓閥體的狀態下保持閥體。
此情況，上述支撐構件可以設於上述框體的背板或其他腔室的側壁之支撐滾輪所構成，或以設於上述長構件的支撐滾輪所構成。
又，以支撐滾輪來構成支撐構件時，上述支撐滾輪較理想是上述閥體處在一邊擠壓上述基板搬出入口一邊閉塞的位置時，以能夠和上述板狀凸輪及上述閥體驅動用滾輪夾著上述長構件來排列於直線上的方式配置。
藉此，從閥體所接受的力量是經由閥體驅動用滾輪及板狀凸輪來傳達至長構件，可在位於該直線上的相反側的各支撐滾輪經由長構件來直接接受該力量，因此長構件可更強力地阻擋從閥體所接受的力量。藉此可在維持更強力地擠壓閥體的狀態下保持閥體。
又，上述昇降驅動手段係由促動器所構成，該促動器係藉由使活塞桿伸縮來令閥體垂直昇降，上述活塞桿的前端係經由在上述進退方向使上述閥體對該活塞桿滑動自如的閥體滑動機構來從其下方支撐上述閥體。
藉由如此的閥體滑動機構的作用，可與促動器的昇降驅動獨立使閥體開閉驅動於進退方向。因此，有關昇降用的促動器是只要固定於所定的位置即夠，因此可使機構形成極簡單的構成。
為了解決上述課題，若根據本發明的別的觀點，則可提供一種閘閥，係用以開閉設於腔室的側壁的基板搬出入口之閘閥，其特徵係具備：框體，其係以能夠包圍上述基板搬出入口的方式設於上述腔室的側壁；閥體，其係於上述框體内昇降自如地設置，開閉上述基板搬出入口；昇降驅動手段，其係在對向於上述基板搬出入口的位置與自上述基板搬出入口待避的位置之間使上述閥體昇降；及開閉驅動手段，其係藉由在對向於上述基板搬出入口的位置與一邊擠壓上述基板搬出入口一邊閉塞的位置之間使上述閥體進退的凸輪機構所構成，又，上述凸輪機構係具有：長構件，其係於上述閥體的背面側橫渡上述閥體的長度方向配置，可移動自如地被上述框體支撐；凸輪，其係隨著上述長構件的動作來擠壓驅動上述閥體，且以上述長構件來接受上述閥體從上述基板搬出入口側所被推回的力量，藉此將上述閥體擠壓保持於上述閉塞位置；驅動手段，其係使滑動自如地被上述框體支撐的上述長構件滑動至與上述閥體的進退方向正交的方向；閥體驅動用滾輪，其係抵接於上述長構件與上述閥體之間所設置的上述板狀凸輪的凸輪面，而來驅動上述閥體；及框架，其係以能夠包圍上述閥體驅動用滾輪及上述板狀凸輪的方式設置，將上述長構件的滑動動作變換成上述閥體的進退動作。
此情況，上述框架係由上述閥體的背面側取間隙來安裝於上述框體的背板或其他腔室的側壁，上述閥體驅動用滾輪係旋轉自如地安裝於上述框架内所設置的支撐體，上述支撐體係具有突出於上述閥體的背面側的突起部，以上述突起部能夠按照上述閥體驅動用滾輪的作動來從形成於上述框架的孔突沒之方式構成滑動自如，構成可藉由上述突起部來從上述閥體的背面側開閉驅動上述閥體。
若根據如此的本發明，則以閥體來閉塞基板搬出入口時，是藉由昇降驅動手段來使閥體上昇至對向於基板搬出入口的位置之後，藉由開閉驅動手段來使長構件作動，藉此隨著長構件的動作，閥體驅動用滾輪會接觸於板狀凸輪的凸輪面而使閥體擠壓驅動。藉此，閥體會前進而一邊擠壓基板搬出入口一邊閉塞，以長構件來接受閥體從基板搬出入口側所被推回的力量，而可將閥體保持於該閉塞位置。藉此，例如即使無驅動長構件的促動器的作動力，還是可將閥體保持於推擠至基板搬出入口的狀態，因此不會有像以往那樣閥體打開的情況。又，藉由設置包圍閥體驅動用滾輪及板狀凸輪的框架，閥體驅動用滾輪與板狀凸輪的接觸會在框架内進行，所以即使因閥體驅動用滾輪與板狀凸輪的接觸而產生粒子，還是可防止該粒子分散至框架外。
又，亦可以上述長構件能夠擋住自上述閥體所接受的力量之方式來將由上述度尺構件的背面側支撐的支撐構件設置於上述框架内。此支撐構件是例如由設於上述框架内的支撐滾輪所構成。
藉此，因為長構件與從背面支撐的支撐構件的接觸也是在框架内進行，所以即使因接觸而產生粒子，還是可防止該粒子飛散至框架外。
若根據本發明，則可提供一種即使沒有使閥體驅動之促動器等的驅動手段的作動力，還是可將閥體保持於推擠至基板搬出入口的狀態之閘閥及使用彼之基板處理裝置。
以下一邊參照圖面一邊詳細說明有關本發明的較佳實施形態。另外，在本說明書及圖面中，有關實質上具有同一機能構成的構成要素附上同一符號，藉此省略重複說明。
(閘閥)
首先，一邊參照圖面一邊說明有關本發明的實施形態的閘閥。圖1A，圖1B，圖2A～圖2C，圖3A～圖3C，圖4A～圖4C是用以說明本實施形態的閘閥的構成圖。如圖1A，圖1B所示，在本實施形態是舉一具備可開閉腔室100的基板搬出入口112的大小的閥體210，使該閥體210昇降驅動及進退驅動，而來開閉基板搬出入口112之閘閥200為例。
圖1A，圖1B是以通過基板搬出入口的中央附近的水平面來切斷時由上方來看閘閥的剖面圖。圖2A，圖2B，圖2C是以平行於腔室的側壁的垂直面來切斷閘閥時由背面來看閘閥的剖面圖，圖1A所示的A-A剖面圖。圖3A，圖3B，圖3C是以垂直於腔室的側壁的垂直面來切斷閘閥時由側面來看閘閥的剖面圖，圖2B所示的B-B剖面圖。圖4A，圖4B，圖4C是用以說明閘閥的主要部份的動作的立體圖。
圖1A，圖2A，圖3A，圖4A是表示閥體處在對向於基板搬出入口的位置之狀態者，圖1B，圖2B，圖3B，圖4B是表示閥體處在一邊擠壓基板搬出入口112一邊閉塞的位置之狀態者。圖2C，圖3C，圖4C是表示閥體處在自基板搬出入口待避的位置之狀態者。
本實施形態之設置閘閥200的腔室100是形成真空壓環境之可密閉的任意室(含容器)，例如可舉對FPD基板等進行蝕刻，成膜等的所定處理之基板處理裝置的處理室，搬送室，加載互鎖室等。
腔室100是例如圖2C，圖3C，圖4C所示靠近側壁110的上側形成有橫長地延伸於水平方向的基板搬出入口112，可經由此基板搬出入口112利用未圖示的搬送臂等來搬出入例如FPD基板等的基板。
在此，可在腔室100的側壁110安裝包圍基板搬出入口112的周緣之緣框114。藉此，例如即使在基板搬出入口112搬出入玻璃基板等的基板時發生基板破裂，還是可以不會傷及側壁110的方式來進行保護。若未設置緣框114，傷及基板搬出入口112附近的側壁110，則即使以閥體210來閉塞基板搬出入口112，該傷會變成間隙而有時無法保持密閉狀態。此情況必須更換構成腔室100的側壁110的容器本身。
相對的，在側壁110設置緣框114時，即使發生基板破裂傷及緣框114，還是可防止直接傷及側壁110。此情況，雖傷及緣框114，但只要更換緣框114即可，因此不用更換腔室100的容器本身，所以維修也可簡單，可延長腔室100的壽命。
閘閥200是設置於如此的腔室100之形成有基板搬出入口112的側壁110，可藉由閥體210昇降，進退來開閉基板搬出入口112。閥體210是形成可閉塞基板搬出入口112的大小。而且，在閉塞基板搬出入口112時是一邊擠壓基板搬出入口112一邊閉塞。具體而言，將閥體210一邊推擠於基板搬出入口112的周圍壁面一邊閉塞基板搬出入口112而予以密封。
例如在側壁110設置緣框114時，是將閥體210推擠於緣框114的表面(閥體抵接面)，而來閉塞基板搬出入口112。此時，為了提高密封效果，較理想是在與閥體210接觸的緣框114表面以能夠包圍基板搬出入口112的方式設置O型環等的密封構件(未圖示)。
另外，緣框114並非一定要設置。在不設置緣框114時，是將閥體210直接推擠於側壁110的表面(閥體抵接面)而來閉塞基板搬出入口112。此情況，較理想是在與閥體210接觸的側壁110表面以能夠包圍基板搬出入口112的方式設置O型環等的密封構件。另外，密封構件亦可在接觸於該壁面之閥體210的表面以能夠包圍基板搬出入口112的方式設置，而取代設置於基板搬出入口112的周圍的壁面(側壁110的表面或緣框114的表面)。
(閘閥的具體構成例)
其次，說明有關閘閥200的具體構成例。如圖1A，圖2A，圖3A所示，閘閥200是具備略箱狀的框體(外箱)202，其係至少以能夠包圍基板搬出入口112的方式設於腔室100的側壁110。框體202是具有與側壁110平行對面的背板202a，且具有側板202b，202c，頂板202d，底板202e，以該等來包覆側壁110。在框體202的背板202a，為了使經由基板搬出入口112來出入的基板通過，而在對向於基板搬出入口112的位置形成有與基板搬出入口112同樣形狀的開口部203。
閥體210是在框體202内對基板搬出入口112沿著後述的昇降導件來昇降自如地被支撐，且沿著後述的開閉導件來進退自如地被支撐於開閉基板搬出入口112的方向。
閘閥200是具備：昇降驅動手段230，其係使閥體210沿著昇降導件來昇降於對向於基板搬出入口112的位置(所定的上昇位置)與自基板搬出入口112待避的位置(所定的下降位置)之間；及開閉驅動手段250，其係藉由凸輪機構260來使閥體210進退於對向於基板搬出入口112的位置與一邊擠壓基板搬出入口112一邊閉塞的位置之間。
閥體210的昇降導件及開閉導件是例如其次般構成。在此的昇降導件是以能夠垂直地昇降閥體210的方式來引導，開閉導件是以閥體210能夠水平地進退而開閉的方式來引導。具體而言，例如圖1A，圖2A所示，在腔室100的側壁110設有配置於基板搬出入口112的左右，垂直延伸的一對導軌220。在導軌220分別設有可沿著該等滑動的滑塊(slider)222。在各滑塊222分別設有從其背面突出於閥體210的水平進退方向之導棒(支撐棒)224。各導棒224是滑動自如地遊嵌於閥體支撐板212的插入孔212a，該閥體支撐板212是在閥體210的左右從端部突出至外側設置。
若根據如此的構成，則閥體210可沿著導軌220藉由滑塊222移動來垂直地自由昇降。又，閥體210可沿著導棒224在開閉基板搬出入口112的方向水平地自由進退。如此的昇降導件及開閉導件的構成並非限於上述。
上述的導棒224是在閥體支撐板212與滑塊222之間介插有彈壓構件(例如線圈彈簧)226。此彈壓構件226是將閥體210彈壓於與推擠至基板搬出入口112的方向相反的方向(打開的方向)。又，導棒224在其前端設置停止構件224a，使閥體支撐板212不會從導棒224脫落。另外，停止構件224a亦可例如使導棒224的前端擴徑成比插入孔212a更大的方式來構成，或使用停止環等的其他構件來構成。
並且，藉由此停止構件224a來規制閥體210不會離開基板搬出入口112所定的間隔以上。亦即，閥體210是藉由彈壓構件226的彈壓力在以停止構件224a來停止的位置(離開基板搬出入口112最遠的位置)被支撐著，因此可使經常維持離開基板搬出入口112所定的間隔來昇降。藉此，可使閥體210上昇至基板搬出入口112與凸輪機構260之間總是相同的位置。
另外，上述的彈壓構件226亦具有：藉由後述凸輪機構260的作用，閥體驅動用滾輪280一邊抵接於凸輪面(斜面272，平面274)一邊驅動時，彈壓閥體驅動用滾輪280，而使不會離開凸輪面(斜面272，平面274)之作用。藉此，可使閥體驅動用滾輪280沿著凸輪面(斜面272，平面274)驅動，所以可令閥體210的動作安定，且可使閥體210確實地開閉驅動。
(昇降驅動手段)
其次，一邊參照圖面一邊說明有關昇降驅動手段230的具體構成例。昇降驅動手段230是在對向於基板搬出入口112的位置(例如圖2A，圖3A所示的位置)與自基板搬出入口112待避的位置(例如圖2C，圖3C所示的位置)之間沿著導軌220來使閥體210昇降。
具體而言，如圖2A，圖2C(或圖3A，圖3C)所示，昇降驅動手段230是藉由可直線運動的促動器232所構成。此致動器232可舉汽缸或油壓汽缸等，可使活塞桿234伸縮來直線運動，但並非限於此。在此是舉一使用汽缸來構成致動器232時為例。
具體而言，促動器232是形成於底板202e，以能夠從氣密設置的貫通孔204a來插入活塞桿234至框體202内的方式，安裝於框體202的底板202e。然後，以活塞桿234的前端來由下方支撐閥體210，使致動器232僅以所定的衝程來伸縮驅動(上下驅動)活塞桿234，藉此可使閥體210沿著導軌220來昇降移動於垂直方向。另外，在一邊保持框體202内的氣密一邊使活塞桿234伸縮時，是經由未圖示的襯套來插入活塞桿234至貫通孔204a。
活塞桿234的前端是經由設於閥體210下面的中央部位的閥體滑動機構240來支撐閥體210。此閥體滑動機構240是為了對於活塞桿234而言可在進退方向(開閉方向)移動自如地支撐閥體210者。
圖5A，圖5B是表示如此的閥體滑動機構240的構成例。閥體滑動機構是如圖5A所示，在閥體210的下面，藉由螺栓等的鎖緊構件243來安裝框部242。在框部242的底部形成有插入活塞桿234的前端之插入孔242a。
在框部242内，設有對於活塞桿234的前端而言相對性地使閥體210的進退方向的移動成為可能的導體244。具體而言，設於導體244上面的複數個轉動構件245可接觸於閥體210的下面來轉動自如地支撐閥體210。另外，轉動構件245可為球構件或圓柱構件。
在導體244的下面，例如形成有凹陷等的凹部246，可使活塞桿234的前端抵接於此凹部246。具體而言，活塞桿234的前端是上面為曲面的頭部236會經由縮徑部235來連設，此頭部236可進入導體244的凹部246。藉此，導體244是以活塞桿234的前端來支撐。
藉由如此構成，閥體210是經由導體244來以活塞桿234的前端所支撐，閥體210可藉活塞桿234的前端經由導體244來移動於進退方向(開閉方向)。例如當閥體210處在對向於基板搬出入口112的位置時，即使從圖5A所示的位置前進至圖5B所示的位置，因為閥體210可一邊被活塞桿234支撐，一邊移動於導體244上，所以可不用使活塞桿234及導體244進退，僅使閥體210移動於水平方向。
藉由如此的閥體滑動機構240的作用，可與促動器232的昇降驅動獨立使閥體210開閉驅動於進退方向。因此，有關昇降用的促動器232是只要固定於所定的位置即夠，因此可使機構形成極簡單的構成。亦即，可不需要在使閥體210進退驅動時促動器232本身也可進退驅動那樣的機構等複雜的構成。
另外，構成閥體滑動機構240的各部的大小(例如框部242或插入孔242a的大小，導體244或轉動構件245的大小等)，較理想是按照閥體210的水平方向的移動量來決定。並且，在圖5A，圖5B是針對在活塞桿234形成縮徑部235時來進行說明，但亦可不形成縮徑部235。如圖5A，圖5B所示那樣形成縮徑部235，而以縮徑部235的位置能夠配合插入孔242a的位置之方式來配置活塞桿234，藉此可移動閥體210至插入孔242a的内側緣部進入縮徑部235為止，因此該部份可縮小插入孔242a的同時，可增長閥體210的衝程。
(開閉驅動手段)
其次，一邊參照圖面一邊說明有關開閉驅動手段250。開閉驅動手段250是藉由在對向於基板搬出入口112的位置(圖1A，圖2A，圖3A所示的位置)與一邊擠壓基板搬出入口112一邊閉塞的位置(圖1B，圖2B，圖3B所示的位置)之間沿著導棒224來使閥體210進退於開閉方向的凸輪機構260所構成。本實施形態的凸輪機構260是舉一藉由所謂直道凸輪機構來構成時為例。在此是使安裝板狀的凸輪270之長構件261沿著閥體210來滑動於與進退方向正交的方向，而以板狀凸輪270的斜面272來使閥體210移動於進退方向，且以板狀凸輪270的平面274來使閥體210能夠保持於推擠至基板搬出入口112的狀態。
驅動長構件261的驅動手段是以使長構件261滑動之可直線運動的汽缸或油壓汽缸等的促動器252所構成。在此，促動器252是舉一以使活塞桿254伸縮之可直線運動的汽缸所構成時為例。另外，促動器252並非限於該等。
更詳細說明有關如此的凸輪機構260的構成。例如圖1A，圖1B所示，長構件261是構成至少比閥體的長度方向的長度更長，靠框體202的背板202a沿著閥體210的長度方向來配置。長構件261與基板搬出入口112之間是離開當閥體210昇降時不會干擾而可插入的程度。
本實施形態的長構件261是以一體可滑動地構成分別各一個配置於框體202的開口部203的上側及下側的棒狀構件262。藉此，在搬送基板時可防止基板或搬送臂干擾凸輪機構260，且在使閥體210開閉動作時，閥體210不會傾斜，可使對基板搬出入口112水平進退。
具體而言，各棒狀構件262的端部是分別從側板202b，202c突出，在側板202b，202c與各棒狀構件262的接觸部份是分別安裝例如由樹脂所構成的襯套263，而使能夠氣密地滑動。並且，各棒狀構件262的端部，例如從側板202c突出方的端部是分別藉由板狀的連接構件264來固定一體化。促動器252的活塞桿254的前端會被安裝於該連接構件264。藉此，只要以1個促動器252來使該活塞桿254伸縮，便可使各棒狀構件262一體同時滑動。此情況，促動器252是例如經由支撐構件256來安裝於側板202c的外側。
長構件261的各棒狀構件262是藉由從框體202的背板202a的内面突出設置的複數個支撐滾輪290來從框體202的背板202a轉動自如地支撐。圖1A，圖1B是舉支撐滾輪290分別以一定的間隔來各4個地設於各棒狀構件262時為例，但支撐滾輪290的數量或配置位置並非限於此，亦可各1個或各5個以上(例如8個)。又，當長構件261是以1個的棒狀構件來構成時，支撐滾輪290可設置1個或複數個。亦可按照閥體210的長度方向的長度或重量等來調整支撐滾輪290的數量或位置。例如閥體210的長度方向的長度越長越會增加支撐滾輪290的數量，越短越可減少支撐滾輪290的數量。並且，在此的各棒狀構件262雖是舉形成板狀時為例，但並非一定限於此，例如亦可為角筒狀。又，亦可為圓柱狀或圓筒狀。
支撐滾輪290是藉由：抵接於各棒狀構件262的背面而轉動可能的滾輪294，及將該滾輪294安裝於背板202a的内面而予以轉動自如地支撐的支撐體292所構成。而且，在各棒狀構件262的背面，在與滾輪294的抵接部位設置墊板276，保護各棒狀構件262的表面的同時，藉由滾輪294轉動於墊板276的面，可使長構件261的動作更趨於順暢。含如此的各棒狀構件262的長構件261，墊板276，滾輪294可分別使用相同的材料來構成，或者相異的材料來構成。例如長構件261是藉由不鏽鋼(登錄商標)所構成，墊板276及滾輪294是使用樹脂來構成。
另一方面，如圖1A，圖1B，圖2C，圖4C所示，閥體210是在其上面及下面分別設有複數的閥體驅動用滾輪280，各閥體驅動用滾輪280是在滑動長構件261時以能夠抵接於各板狀凸輪270的方式來從閥體210的背面突出至長構件261側。各閥體驅動用滾輪280是設成與支撐滾輪290同數。而且，當閥體210位在對向於基板搬出入口112的位置時，各閥體驅動用滾輪280是以能夠夾著長構件261的各棒狀構件262來對向於各支撐滾輪290的方式配置於閥體210。閥體驅動用滾輪280是藉由：抵接於板狀凸輪270而可轉動的滾輪284，及安裝該滾輪284而予以轉動自如地支撐的支撐體282所構成。
長構件261的各棒狀構件262是在其閥體210側設有用以分別抵接於複數的閥體驅動用滾輪280而使驅動的複數個板狀凸輪270。
板狀凸輪270是具有：作為第1凸輪面的斜面272，其係使長構件261滑動於一方向，藉此抵接於閥體驅動用滾輪280，使該閥體驅動用滾輪280前進行至關閉閥體210的方向，而使移動至一邊擠壓基板搬出入口112一邊閉塞的位置為止；及作為第2凸輪面的平面274，其係使閥體210從基板搬出入口112側所被推回的力量經由閥體驅動用滾輪280及支撐滾輪290來以框體202的背板202a所接受，藉此將閥體210保持於閉塞位置。
板狀凸輪270的斜面272是以能夠沿著長構件261的滑動方向來增加厚度的方式(以閥體驅動用滾輪280能夠慢慢地前進或後退的方式)來傾斜的斜面所構成，板狀凸輪270的平面274是在第1凸輪面形成厚度最大的部位(閥體210一邊擠壓基板搬出入口112一邊閉塞的位置)連續維持該厚度的平面所構成。
板狀凸輪270的斜面272是形成可驅動閥體驅動用滾輪280的斜面，而使在拉伸長構件261的方向滑動時，閥體210會慢慢地前進擠壓基板搬出入口112。此情況，例如圖1A所示，板狀凸輪270的斜面272是形成從板狀凸輪270的平面274往致動器252側慢慢地高度變低的斜面。
另外，板狀凸輪270的斜面272並非限於上述者，亦可在推出長構件261的方向滑動時，以閥體210能夠慢慢地前進擠壓基板搬出入口112的方式形成可驅動閥體驅動用滾輪280的斜面。此情況，雖未圖示，但板狀凸輪270的斜面272是形成從板狀凸輪270的平面274往和致動器252相反的側慢慢地高度變低的斜面。此情況，在推出長構件261的方向滑動時，閥體驅動用滾輪280是抵接於斜面272移動，所以此時長構件261從閥體驅動用滾輪280經由斜面272來接受的力量是為壓縮力作用。因此，依長構件261所受的力量大小，長構件261也會有壓曲之虞，所以必須設計長構件261的形狀或材質，而使長構件261不會壓曲。
相對的，若為圖1A所示那樣的斜面272，則在拉伸長構件261的方向滑動時，閥體驅動用滾輪280是抵接於斜面272來移動，所以此時閥體驅動用滾輪280從斜面272接受的力量是為長構件261的拉伸力作用，壓縮力不會作用，因此可消除長構件261壓曲之虞。
若根據如此的凸輪機構260，則如圖1A，圖3A所示當閥體210位在對向於基板搬出入口112的位置時，使促動器252驅動而令活塞桿254縮短，藉此使長構件261滑動於拉伸的方向(圖1A所示的箭號方向)。於是，各閥體驅動用滾輪280會一起抵接於各板狀凸輪270的斜面272，沿著斜面272來移動於與長構件261的滑動方向垂直的方向(閥體210朝基板搬出入口112前進的方向)。藉此，經由該等各閥體驅動用滾輪280來使閥體210前進移動至關閉基板搬出入口112的方向，抵接於基板地出入口112的周圍來慢慢地推擠。
然後，一旦長構件261被拉伸，則各閥體驅動用滾輪280會一起乘坐於各板狀凸輪270的平面274上。藉此，如圖1B，圖3B所示，閥體210會被保持於推擠至基板搬出入口112的狀態。
如此，閥體210推擠基板搬出入口112時閥體210從基板搬出入口側所被推回的力量(反作用的力量)可經由閥體驅動用滾輪280及支撐滾輪290來以框體202的背板202a所接受。藉此，可將閥體210保持於閉塞位置。因此，在各閥體驅動用滾輪280乘坐於平面274上的狀態下，即使不使促動器252的作動力保持著，還是可將閥體210牢固地保持於擠壓至基板搬出入口112的閉塞位置。
一邊參照圖面一邊詳細說明有關如此將閥體210保持於閉塞位置時的凸輪機構260及閥體210的動作。圖6A～圖6C是用以著眼於1個的板狀凸輪270來說明凸輪機構260及閥體210的動作的擴大圖。首先，若閥體210沿著導軌220從下方的待避位置上昇至對向於基板搬出入口112的位置，則會形成圖6A所示那樣。此時，長構件261是處在初期位置，閥體驅動用滾輪280尚未抵接於板狀凸輪270的斜面272。
接著，若藉由促動器252的作動力來使長構件261拉伸至圖示箭號方向，則如圖6B所示，閥體驅動用滾輪280會抵接於板狀凸輪270的斜面272，然後更沿著斜面272來移動。此時，閥體驅動用滾輪280是藉由彈壓構件226來彈壓至抵接於斜面272的方向，因此不會有離開斜面272的情況，確實地沿著斜面272來移動。藉此，一旦閥體210移動至關閉基板搬出入口112的方向，抵接於基板搬出入口112周圍的壁面(在此是緣框114的壁面)，則會更一邊擠壓該壁面一邊閉塞基板搬出入口112。
若由此狀態再拉伸長構件261，則會像圖6C所示那樣閥體驅動用滾輪280乘坐於板狀凸輪270的平面274上。藉此，閥體210會被保持於一邊擠壓基板搬出入口112周圍的壁面一邊閉塞基板搬出入口112的狀態。
如此，若根據本實施形態，則當閥體210藉由板狀凸輪270的斜楔作用來使閥體210推擠至基板搬出入口112周圍的壁面時，使自該壁面推回的力量經由閥體驅動用滾輪280及支撐滾輪290來以框體202的背板202a接受，藉此閥體210是在擠壓基板搬出入口112的狀態下，機構性地被保持於基板搬出入口112與框體202的背板202a之間。此情況，各支撐滾輪290，如圖6C所示，當閥體210位在閉塞位置時，是以能夠和各板狀凸輪270的平面274及各閥體驅動用滾輪280夾著長構件261來排列於直線上的方式配置。如此，從閥體210接受的力量會經由各閥體驅動用滾輪280及各板狀凸輪270來傳至長構件261，可在位於該直線上的相反側的各支撐滾輪290經由長構件261來直接接受該力量。藉此，可在維持更強力地擠壓閥體210的狀態下使閥體210保持於閉塞位置。因此，即使不使促動器252的作動力保持著，還是可將閥體210牢固地保持於擠壓至基板搬出入口112的閉塞位置。
如此，若根據本實施形態的閘閥，則不必像以往那樣藉由促動器252的作動力來推擠閥體210。並且，閥體210可按照從框體202的背板202a接受的力量及從基板搬出入口112接受的力量大小來使克服閥體210的重力之類的摩擦力作用，因此即使不作動昇降用的促動器232，還是可支撐著閥體210不使落下。
因此，例如即使因為促動器232，252的故障或供給電力的斷絕而造成致動器232，252不作動，還是不會有導致閥體210打開的情形。並且，有關促動器232，252也不必像以往那樣充分推擠閥體210的程度之大型者。例如有關促動器252是至少可使閥體驅動用滾輪280從板狀凸輪270的斜面272移動至平面274為止的程度之小型者即足夠。又，有關促動器232是至少可使閥體210對抗於其重力來昇降的程度之小型者即足夠。因此，可使閘閥全體小型化。藉此，可大幅度削減製造成本。
又，由於閥體210本身亦可小型輕量化，因此有關促動器232，252也可使用更小型者。另外，如圖6A所示，在使閥體210昇降時，閥體210與閥體驅動用滾輪280是分別使離開基板搬出入口112及板狀凸輪270所定距離的狀態下移動，因此可防止在閥體210的昇降時衝突至基板搬出入口112及板狀凸輪270而破損等。又，為了使閥體210保持於閉塞狀態，不需要促動器232，252的作動力，因此例如以汽缸來構成促動器232，252時可大幅度削減其作動媒體的氣體消耗量。
(閘閥的動作)
其次，一邊參照圖面一邊說明有關本實施形態的閘閥的一連串的動作。在此是將閥體210處在比圖3C，圖4C所示的基板搬出入口112更下方的待避位置時設為閥體210的原位置。
首先，說明有關從閥體210處在待避位置時到一邊擠壓基板搬出入口112一邊閉塞的位置為止驅動時的一連串動作。從圖3C，圖4C所示之下方的待避位置到圖3A，圖4A所示之對向於上方的基板搬出入口112的位置為止，令促動器232作動來使活塞桿234伸長，藉此使閥體210沿著導軌220來上昇。
接著，令促動器252作動來使活塞桿254縮短，藉此令長構件261滑動於拉伸的方向，而使閥體210前進至關閉基板搬出入口112的方向。藉此，如圖3B，圖4B所示，閥體210關閉基板搬出入口112的同時，以一定的擠壓力來一邊推擠基板搬出入口112一邊閉塞，且被保持於該狀態。如此一來，基板搬出入口112會藉由閥體210來閉塞密封，因此之後例如可一面將腔室100減壓至所定的真空壓，一面執行基板的處理。此時，如上述般，閥體210是藉由凸輪機構260的斜楔作用來機構性地保持於框體202的背板202a與基板搬出入口112之間。
其次，說明有關打開基板搬出入口112時的一連串動作。從圖3B，圖4B所示的位置使促動器252作動而令活塞桿254伸長，藉此使長構件261滑動於推出的方向，而令閥體210後退至打開基板搬出入口112的方向。藉此，回到圖3A，圖4A所示的位置。
接著，從圖3A，圖4A所示之對向於上方的基板搬出入口112的位置到圖3C、圖4C所示之下方的待避位置為止，令促動器232作動來使活塞桿234縮短，而使閥體210沿著導軌220下降。藉此，因為基板搬出入口112被開放，閥體210回到初期位置，所以可對腔室100進行基板的搬出入。
就上述實施形態而言，是構成使長構件261在框體202的側板202b，202c滑動自如地支撐的同時，更以長構件261能夠擋住從閥體210所接受的力量之方式以支撐滾輪290來使長構件261也可從其背面側支撐。如此，不僅框體202的側板202b，202c，亦可從背面側以支撐滾輪290來支撐長構件261，因此亦可由與自閥體210接受的力量的方向呈相反的側來支撐，所以長構件261可更強力地擋住從閥體210接受的力量(閥體210從基板搬出入口112側所被推回的力量)。藉此，可在維持更強力地擠壓閥體210的狀態下使閥體210保持於閉塞位置。另外，支撐滾輪290並非一定要設置，亦可僅以框體202的側板202b，202c來滑動自如地支撐長構件261。
另外，支撐滾輪290的配置亦非限於圖1A，圖1B所示者。亦即，圖1A，圖1B所示的凸輪機構260是針對支撐滾輪290設於框體202的背板202a時來進行說明，但並非限於此，支撐滾輪290亦可設於長構件261。
具體而言，例如7A，7B所示的第1變形例那樣，可使支撐滾輪290從長構件261突出至框體202的背板202a，設成可在該背板202a轉動自如。又，墊板276亦可設於背板202a之與支撐滾輪290抵接部位。即使是如此地配置，支撐滾輪290照樣可由背面側來支撐長構件261，而使長構件261能夠擋住自閥體210接受的力量。此情況，各支撐滾輪290是閥體210處在閉塞位置時，以能夠和各板狀凸輪270的平面274及各閥體驅動用滾輪280夾著長構件261來排列於直線上之方式配置為佳。
若根據如此的構成，則如圖7A所示在閥體210處在對向於基板搬出入口112的位置的狀態下，藉由將長構件261拉伸至圖示箭號方向來使閥體210前進。又，藉由將長構件261拉伸至圖示箭號方向，如圖7B所示，閥體驅動用滾輪280會乘坐於板狀凸輪270的平面274上。藉此，閥體210會被保持於一邊擠壓基板搬出入口112周圍的壁面一邊閉塞基板搬出入口112的狀態。
此時，如圖7B所示，各支撐滾輪290是與各板狀凸輪270的平面274及各閥體驅動用滾輪280夾著長構件261來排列於直線上。藉由如此配置各支撐滾輪290，和圖1B所示的情形同樣，可在維持更強力地擠壓閥體210的狀態下使閥體210保持於閉塞位置。
另外，上述實施形態是說明有關適用支撐滾輪290作為從背面側來支撐長構件261的情形時，但並非限於支撐滾輪290，只要是可滑動自如地支撐長構件261即可。
並且，在上述實施形態，如圖1A，圖1B所示，各板狀凸輪270是設置於長構件261的閥體210側，各閥體驅動用滾輪280是閥體210處在對向於基板搬出入口112的位置時，以能夠對向於長構件261的方式來設於閥體120時為例進行說明，但並非限於此。
例如圖8A，圖8B所示的第2變形例那樣，亦可將板狀凸輪270設於閥體210的長構件261側，閥體驅動用滾輪280是閥體210處在對向於基板搬出入口112的位置時，以能夠對向於閥體120的方式來設於長構件261。此情況，各支撐滾輪290是閥體210處在閉塞位置時，以能夠和各板狀凸輪270的平面274及各閥體驅動用滾輪280夾著長構件261來排列於直線上的方式配置為佳。
若根據如此的構成，則如圖8A所示在閥體210處在對向於基板搬出入口112的位置的狀態下，藉由將長構件261拉伸至圖示箭號方向來使閥體210前進。又，藉由將長構件261拉伸至圖示箭號方向，如圖8B所示，閥體驅動用滾輪280會乘坐於板狀凸輪270的平面274上。藉此，閥體210是會被保持於一邊擠壓基板搬出入口112周圍的壁面一邊閉塞基板搬出入口112的狀態。
此時，如圖8B所示，各支撐滾輪290是與各板狀凸輪270的平面274及各閥體驅動用滾輪280夾著長構件261來排列於直線上。藉由如此配置各支撐滾輪290，和圖1B所示的情形同樣，可在維持更強力地擠壓閥體210的狀態下使閥體210保持於閉塞位置。又，此情況，例如圖9A，圖9B所示的第3變形例那樣，在長構件261不僅各閥體驅動用滾輪280，亦可設置各支撐滾輪290。此情況，各支撐滾輪290較理想是配置成夾著長構件261來與各閥體驅動用滾輪280排列於直線上。
若根據如此的構成，則如圖9A所示在閥體210處在對向於基板搬出入口112的位置的狀態下，藉由將長構件261拉伸至圖示箭號方向來使閥體210前進。又，藉由將長構件261拉伸至圖示箭號方向，如圖9B所示，閥體驅動用滾輪280會乘坐於板狀凸輪270的平面274上。藉此，閥體210會被保持於一邊擠壓基板搬出入口112周圍的壁面一邊閉塞基板搬出入口112的狀態。
此時，如圖9B所示，各支撐滾輪290是與各板狀凸輪270的平面274及各閥體驅動用滾輪280夾著長構件261來排列於直線上。藉由如此配置各支撐滾輪290，和圖1B所示的情形同樣，可在維持更強力地擠壓閥體210的狀態下使閥體210保持於閉塞位置。
可是，就上述實施形態而言，在驅動長構件261來開閉閥體210時，由於閥體驅動用滾輪280與板狀凸輪270是一邊接受來自閥體210的力量一邊接觸，因此依所接受的力量大小或閥體驅動用滾輪280及板狀凸輪270的材質，恐有該等接觸而產生粒子飛散至周邊之虞。在支撐滾輪290與接觸的墊板276之間同樣也會有產生粒子之虞。於是，例如圖10A，圖11A，圖12A所示的第4變形例那樣，可用框架300來分別包圍各閥體驅動用滾輪280及各支撐滾輪290，該框架300是構成可使長構件261與板狀凸輪270及墊板276一起插入。
一邊參照圖10A～圖10C，圖11A，圖11B，圖12A，圖12B，一邊更具體說明如此的第4變形例的閘閥。圖10A～圖10C是用以著眼於1個的板狀凸輪270來說明凸輪機構260與閥體210的動作的擴大圖。圖11A，圖11B是表示第4變形例的閘閥全體的概略構成的橫剖面圖，圖12A，圖12B是其縱剖面圖。圖11A，圖12A是閥體210處在對向於基板搬出入口112的位置時的圖，圖11B，圖12B是閥體210處在一邊擠壓基板搬出入口112一邊閉塞的位置時的圖。
如圖10A所示，第4變形例的閥體驅動用滾輪280及支撐滾輪290是設於略箱狀的框架300内。框架300是以能夠和閥體210之間空出間隙的方式來安裝於背板202a。長構件261是與板狀凸輪270及墊板276一起插入至形成於框架300的兩端部之孔303，304，可在閥體驅動用滾輪280與支撐滾輪290之間滑動。
支撐滾輪290是將滾輪294轉動自如地安裝於框架300内的背板202a側所被固定的支撐體292來構成。相對的，閥體驅動用滾輪280是將滾輪284轉動自如地安裝於框架300内的閥體210側所被滑動自如地安裝的支撐體282。
亦即，第4變形例的支撐體282是被安裝於框架300内的閥體210側的一對導棒302所滑動自如地支撐。在此的支撐體282是具有突出至閥體210側(滾輪284的相反側)的突起部282a，藉由支撐體282前後滑動，此突起部282a可從形成於框架300的孔306突沒。
如此一來，藉由滾輪284在板狀凸輪270上接觸滾動，支撐體282會前進至閥體210側。藉此，由突起部282a未自框架300突出之圖10A，圖11A，圖12A所示的狀態變成突起部282a自框架300突出之圖10C，圖11B，圖12B所示的狀態，可擠壓閥體210來予以閉塞。如此，第4變形例是突起部282a會接觸於閥體210來使開閉驅動於進退方向。另外，支撐體282亦可藉由設於框架300内之未圖示的線圈彈簧或板彈簧等的彈壓構件來彈壓至背板2側。藉此，可利用彈壓構件的彈壓力來使支撐體282後退。
一邊參照圖10A～圖10C一邊詳細說明有關如此構成的第4變形例的動作。首先，若閥體210沿著導軌220從下方的待避位置上昇至對向於基板搬出入口112的位置，則會形成圖10A所示那樣。此時，長構件261是處在初期位置，閥體驅動用滾輪280尚未抵接於板狀凸輪270的斜面272，突起部282a也未從框架300突出。
接著，若藉由促動器252的作動力來使長構件261拉伸至圖示箭號方向，則如圖10B所示，閥體驅動用滾輪280會抵接於板狀凸輪270的斜面272，然後更沿著斜面272來移動。藉此，突起部282a也從框架300突出而抵接於閥體210，更擠壓閥體210來移動至關閉基板搬出入口112的方向。然後，一旦閥體210抵接於基板搬出入口112周圍的壁面(在此是緣框114的壁面)，則會更一邊擠壓該壁面一邊閉塞基板搬出入口112。
若由此狀態再拉伸長構件261，則會像圖10C所示那樣閥體驅動用滾輪280乘坐於板狀凸輪270的平面274上。藉此，閥體210會被保持於一邊擠壓基板搬出入口112周圍的壁面一邊閉塞基板搬出入口112的狀態。
如此，根據第4變形例也可與上述的實施形態或其他的變形例同樣，當閥體210推擠基板搬出入口112時，閥體210從基板搬出入口側所被推回的力量(反作用的力量)可經由突起部282a，閥體驅動用滾輪280，支撐滾輪290來以框體202的背板202a所接受。藉此，可將閥體210保持於閉塞位置。因此，就各閥體驅動用滾輪280乘坐於平面274上的狀態而言，即使不使促動器252的作動力保持著，還是可將閥體210牢固地保持於擠壓至基板搬出入口112的閉塞位置。
又，若根據第4變形例，則因為閥體驅動用滾輪280與板狀凸輪270的接觸，支撐滾輪290與墊板276的接觸是在各個的框架300内進行，所以即使因該等的接觸而產生粒子，還是可防止飛散至框架300之外。
(閘閥的適用例)
其次，一邊參照圖面一面說明有關上述本發明的各實施形態的閘閥的具體適用例。在此是舉適用於多腔室型的FPD基板處理裝置時的具體例。圖13是表示FPD基板處理裝置的概略構成的方塊圖。圖13所示的FPD基板處理裝置400是具備共通搬送室410，該共通搬送室410是收容具備搬送基板的搬送臂之搬送機器人(未圖示)，在其周圍設置有複數的處理室420A，420B，420C及加載互鎖室430。該等共通搬送室410，各處理室420A，420B，420C，加載互鎖室430是分別構成上述那樣形成真空壓環境之可密閉的腔室。
就圖13所示的FPD基板處理裝置400而言，共通搬送室410及其周圍的各處理室420A，420B，420C，加載互鎖室430是分別經由本實施形態的閘閥200來連接。另外，在用以從加載互鎖室430的大氣壓側的搬送臂來搬出入基板的基板搬出入口也可設置閘閥200。
另外，像各處理室420A，420B，420C與共通搬送室410之間，加載互鎖室430與共通搬送室410之間等那樣，在形成真空環境的2個腔室間設置閘閥200時，亦可例如圖14所示般，以閘閥200的開口部203能夠配置於其他腔室100的基板搬出入口112的位置之方式，將其他腔室100的側壁110安裝於閘閥200的框體202的背板202a。
並且，在2個腔室100間設置閘閥200時，亦可例如圖15所示，框體202省略其背板202a而以圖2A所示的側板202b，202C，頂板202d，底板202e來包圍各腔室100間。此情況，各支撐滾輪290亦可如圖15所示設於其他腔室100的側壁110，或雖未圖示，但亦可將各支撐滾輪290設於長構件261，將墊板設於其他腔室100的側壁110。
又，其他例如圖16所示，亦可將閘閥200分別設於各腔室100的側壁110，以能夠在一方的閘閥200的開口部203的位置配置另一方的閘閥200的開口部203之方式，安裝配置各框體202的背板202a。
以上是一邊參照圖面一邊說明有關本發明的較佳實施形態，但當然本發明並非限於該例。只要是該當業者，便可在申請專利範圍所記載的範疇内思及各種的變更例或修正例，當然該等亦隸屬本發明的技術範圍。
例如上述實施形態是說明有關以板狀凸輪來構成使閥體擠壓驅動或擠壓保持的凸輪時，但並非限於此，亦可以旋轉凸輪來構成。此情況，例如長構件可旋轉自如地被框體支撐，在長構件固定旋轉凸輪。而且，亦可藉由使長構件旋轉來令旋轉凸輪驅動，而以該旋轉凸輪的凸輪面來使閥體擠壓驅動或擠壓保持。
 [產業上的利用可能性]
本發明是可適用於開閉腔室的基板搬出入口之閘閥及使用彼之基板處理裝置。
100．．．腔室
110．．．側壁
112．．．基板搬出入口
114．．．緣框
200．．．閘閥
202．．．框體
202a．．．背板
202b、202c．．．側板
202d．．．頂板
202e．．．底板
203．．．開口部
204a．．．貫通孔
210．．．閥體
212．．．閥體支撐板
212a．．．插入孔
220．．．導軌
222．．．滑塊
224．．．導棒
224a．．．停止構件
226．．．彈壓構件
230．．．昇降驅動手段
232．．．昇降用的促動器
252．．．開閉用的促動器
234．．．活塞桿
235．．．縮徑部
236．．．頭部
240．．．閥體滑動機構
242．．．框部
242a．．．插入孔
243．．．鎖緊構件
244．．．導體
245．．．轉動構件
246．．．凹部
250．．．開閉驅動手段
252．．．致動器
254．．．活塞桿
256．．．支撐構件
260．．．凸輪機構
261．．．長構件
262．．．棒狀構件
263．．．襯套
264．．．連接構件
270．．．板狀凸輪
272．．．斜面
274．．．平面
276．．．墊板
280．．．閥體驅動用滾輪
282．．．支撐體
282a．．．突起部
284．．．滾輪
290．．．支撐滾輪
292．．．支撐體
294．．．滾輪
300．．．框架
302．．．導棒
303、304、306．．．孔
400．．．FPD基板處理裝置
410．．．共通搬送室
420A、420B、420C．．．處理室
430．．．加載互鎖室
圖1A是表示本發明的實施形態之閘閥的概略構成的橫剖面圖，閥體處在對向於基板搬出入口的位置時的圖。
圖1B是表示同實施形態之閘閥的概略構成的橫剖面圖，閥體處在一邊擠壓基板搬出入口一邊閉塞的位置時的圖。
圖2A是表示同實施形態之閘閥的概略構成的縱剖面圖，閥體處在對向於基板搬出入口的位置時的圖。
圖2B是表示同實施形態之閘閥的概略構成的縱剖面圖，閥體處在一邊擠壓基板搬出入口一邊閉塞的位置時的圖。
圖2C是表示同實施形態之閘閥的概略構成的縱剖面圖，閥體處在待避位置時的圖。
圖3A是表示同實施形態之閘閥的概略構成的縱剖面圖，閥體處在對向於基板搬出入口的位置時的圖。
圖3B是表示同實施形態之閘閥的概略構成的縱剖面圖，閥體處在一邊擠壓基板搬出入口一邊閉塞的位置時的圖。
圖3C是表示同實施形態之閘閥的概略構成的縱剖面圖，閥體處在待避位置時的圖。
圖4A是表示同實施形態之閘閥的主要部份的動作的立體圖，閥體處在對向於基板搬出入口的位置時的圖。
圖4B是表示同實施形態之閘閥的主要部份的動作的立體圖，閥體處在一邊擠壓基板搬出入口一邊閉塞的位置時的圖。
圖4C是表示同實施形態之閘閥的主要部份的動作的立體圖，閥體處在待避位置時的圖。
圖5A是表示同實施形態之閥體滑動機構的構成例的縱剖面圖，閥體處在對向於基板搬出入口的位置時的圖。
圖5B是表示同實施形態之閥體滑動機構的構成例的縱剖面圖，閥體處在一邊擠壓基板搬出入口一邊閉塞的位置時的圖。
圖6A是用以說明同實施形態之凸輪機構的動作的橫剖面圖，閥體處在對向於基板搬出入口的位置時的圖。
圖6B是用以說明同實施形態之凸輪機構的動作的橫剖面圖，閥體處在往基板搬出入口開始移動的位置時的圖。
圖6C是用以說明同實施形態之凸輪機構的動作的橫剖面圖，閥體位在一邊擠壓基板搬出入口一邊閉塞的位置時的圖。
圖7A是表示本發明的實施形態之閘閥的第1變形例的概略構成的橫剖面圖，閥體位在對向於基板搬出入口的位置時的圖。
圖7B是表示第1變形例之閘閥的概略構成的橫剖面圖，閥體位在一邊擠壓基板搬出入口一邊閉塞的位置時的圖。
圖8A是表示本發明的實施形態之閘閥的第2變形例的概略構成的橫剖面圖，閥體位在對向於基板搬出入口的位置時的圖。
圖8B是表示第2變形例之閘閥的概略構成的橫剖面圖，閥體位在一邊擠壓基板搬出入口一邊閉塞的位置時的圖。
圖9A是表示本發明的實施形態之閘閥的第3變形例的概略構成的橫剖面圖，閥體位在對向於基板搬出入口的位置時的圖。
圖9B是表示第3變形例之閘閥的概略構成的橫剖面圖，閥體位在一邊擠壓基板搬出入口一邊閉塞的位置時的圖。
圖10A是表示本發明的實施形態之閘閥的第4變形例的概略構成的部份擴大圖，閥體位在對向於基板搬出入口的位置時的圖。
圖10B是表示第4變形例之閘閥的概略構成的部份擴大圖，閥體處在往基板搬出入口開始移動的位置時的圖。
圖10C是表示第4變形例之閘閥的概略構成的部份擴大圖，閥體位在一邊擠壓基板搬出入口一邊閉塞的位置時的圖。
圖11A是表示第4變形例之閘閥的概略構成的橫剖面圖，閥體位在對向於基板搬出入口的位置時的圖。
圖11B是表示第4變形例之閘閥的概略構成的橫剖面圖，閥體位在一邊擠壓基板搬出入口一邊閉塞的位置時的圖。
圖12A是表示第4變形例之閘閥的概略構成的縱剖面圖，閥體位在對向於基板搬出入口的位置時的圖。
圖12B是表示第4變形例之閘閥的概略構成的縱剖面圖，閥體位在一邊擠壓基板搬出入口一邊閉塞的位置時的圖。
圖13是用以說明適用同實施形態的閘閥之基板處理裝置的概略構成的圖。
圖14是用以說明同實施形態的閘閥的第1適用例的剖面圖。
圖15是用以說明同實施形態的閘閥的第2適用例的剖面圖。
圖16是用以說明同實施形態的閘閥的第3適用例的剖面圖。
100．．．腔室
110．．．側壁
112．．．基板搬出入口
114．．．緣框
200．．．閘閥
202．．．框體
202a．．．背板
202b、202c．．．側板
203．．．開口部
210．．．閥體
212．．．閥體支撐板
212a．．．插入孔
220．．．導軌
222．．．滑塊
224．．．導棒
224a．．．停止構件
226．．．彈壓構件
250．．．開閉驅動手段
252．．．開閉用的促動器
252．．．致動器
254．．．活塞桿
256．．．支撐構件
260．．．凸輪機構
261．．．長構件
262．．．棒狀構件
270．．．板狀凸輪
272．．．斜面
274．．．平面
276．．．墊板
280．．．閥體驅動用滾輪
282．．．支撐體
284．．．滾輪
290．．．支撐滾輪
292．．．支撐體
294．．．滾輪

Claims (14)

  1. 一種閘閥，係用以開閉設於腔室的側壁的基板搬出入口之閘閥，其特徵係具備：框體，其係以能夠包圍上述基板搬出入口的方式設於上述腔室的側壁；閥體，其係於上述框體內昇降自如地設置，開閉上述基板搬出入口；昇降驅動手段，其係在對向於上述基板搬出入口的位置與自上述基板搬出入口待避的位置之間使上述閥體昇降；及開閉驅動手段，其係藉由在對向於上述基板搬出入口的位置與一邊擠壓上述基板搬出入口一邊閉塞的位置之間使上述閥體進退的凸輪機構所構成，又，上述凸輪機構係具有：長構件，其係於上述閥體的背面側橫渡上述閥體的長度方向配置，可移動自如地被上述框體支撐；及凸輪，其係隨著上述長構件的動作來擠壓驅動上述閥體，且以上述長構件來接受上述閥體從上述基板搬出入口側所被推回的力量，藉此將上述閥體擠壓保持於上述閉塞位置，上述凸輪為板狀凸輪，上述凸輪機構係具備：驅動手段，其係使滑動自如地被上述框體支撐的上述長構件滑動至與上述閥體的進退方向正交的方向；及 閥體驅動用滾輪，其係抵接於上述長構件與上述閥體之間所設置的上述板狀凸輪的凸輪面，而來驅動上述閥體，將上述長構件的滑動動作變換成上述閥體的進退動作，上述板狀凸輪係設於上述長構件的閥體側，上述閥體驅動用滾輪，係上述閥體處在對向於上述基板搬出入口的位置時，以能夠對向於上述長構件的方式來設於上述閥體。
  2. 一種閘閥，係用以開閉設於腔室的側壁的基板搬出入口之閘閥，其特徵係具備：框體，其係以能夠包圍上述基板搬出入口的方式設於上述腔室的側壁；閥體，其係於上述框體內昇降自如地設置，開閉上述基板搬出入口；昇降驅動手段，其係在對向於上述基板搬出入口的位置與自上述基板搬出入口待避的位置之間使上述閥體昇降；及開閉驅動手段，其係藉由在對向於上述基板搬出入口的位置與一邊擠壓上述基板搬出入口一邊閉塞的位置之間使上述閥體進退的凸輪機構所構成，又，上述凸輪機構係具有：長構件，其係於上述閥體的背面側橫渡上述閥體的長度方向配置，可移動自如地被上述框體支撐；及 凸輪，其係隨著上述長構件的動作來擠壓驅動上述閥體，且以上述長構件來接受上述閥體從上述基板搬出入口側所被推回的力量，藉此將上述閥體擠壓保持於上述閉塞位置，上述凸輪為板狀凸輪，上述凸輪機構係具備：驅動手段，其係使滑動自如地被上述框體支撐的上述長構件滑動至與上述閥體的進退方向正交的方向；及閥體驅動用滾輪，其係抵接於上述長構件與上述閥體之間所設置的上述板狀凸輪的凸輪面，而來驅動上述閥體，將上述長構件的滑動動作變換成上述閥體的進退動作，上述板狀凸輪係設於上述閥體的長構件側，上述閥體驅動用滾輪，係上述閥體處在對向於上述基板搬出入口的位置時，以能夠對向於上述閥體的方式來設於上述長構件。
  3. 一種閘閥，係用以開閉設於腔室的側壁的基板搬出入口之閘閥，其特徵係具備：框體，其係以能夠包圍上述基板搬出入口的方式設於上述腔室的側壁；閥體，其係於上述框體內昇降自如地設置，開閉上述基板搬出入口；昇降驅動手段，其係在對向於上述基板搬出入口的位 置與自上述基板搬出入口待避的位置之間使上述閥體昇降；及開閉驅動手段，其係藉由在對向於上述基板搬出入口的位置與一邊擠壓上述基板搬出入口一邊閉塞的位置之間使上述閥體進退的凸輪機構所構成，又，上述凸輪機構係具有：長構件，其係於上述閥體的背面側橫渡上述閥體的長度方向配置，可移動自如地被上述框體支撐；及凸輪，其係隨著上述長構件的動作來擠壓驅動上述閥體，且以上述長構件來接受上述閥體從上述基板搬出入口側所被推回的力量，藉此將上述閥體擠壓保持於上述閉塞位置，上述凸輪為板狀凸輪，上述凸輪機構係具備：驅動手段，其係使滑動自如地被上述框體支撐的上述長構件滑動至與上述閥體的進退方向正交的方向；及閥體驅動用滾輪，其係抵接於上述長構件與上述閥體之間所設置的上述板狀凸輪的凸輪面，而來驅動上述閥體，將上述長構件的滑動動作變換成上述閥體的進退動作，上述閥體驅動用滾輪係沿著上述閥體的長度方向來複數配置，且上述板狀凸輪係只設置對應於上述閥體驅動用滾輪的數量， 藉由使上述長構件滑動來使上述閥體驅動用滾輪的全部一起驅動而令上述閥體進退，且構成可以上述閥體驅動用滾輪的全部來一邊擠壓上述閥體一邊保持於上述閉塞位置。
  4. 一種閘閥，係用以開閉設於腔室的側壁的基板搬出入口之閘閥，其特徵係具備：框體，其係以能夠包圍上述基板搬出入口的方式設於上述腔室的側壁；閥體，其係於上述框體內昇降自如地設置，開閉上述基板搬出入口；昇降驅動手段，其係在對向於上述基板搬出入口的位置與自上述基板搬出入口待避的位置之間使上述閥體昇降；及開閉驅動手段，其係藉由在對向於上述基板搬出入口的位置與一邊擠壓上述基板搬出入口一邊閉塞的位置之間使上述閥體進退的凸輪機構所構成，又，上述凸輪機構係具有：長構件，其係於上述閥體的背面側橫渡上述閥體的長度方向配置，可移動自如地被上述框體支撐；及凸輪，其係隨著上述長構件的動作來擠壓驅動上述閥體，且以上述長構件來接受上述閥體從上述基板搬出入口側所被推回的力量，藉此將上述閥體擠壓保持於上述閉塞位置，上述凸輪為板狀凸輪， 上述凸輪機構係具備：驅動手段，其係使滑動自如地被上述框體支撐的上述長構件滑動至與上述閥體的進退方向正交的方向；及閥體驅動用滾輪，其係抵接於上述長構件與上述閥體之間所設置的上述板狀凸輪的凸輪面，而來驅動上述閥體，將上述長構件的滑動動作變換成上述閥體的進退動作，以上述長構件能夠擋住自上述閥體所接受的力量之方式來設置由背面側支撐上述長構件的支撐構件。
  5. 如申請專利範圍第4項之閘閥，其中，上述支撐構件係由設於上述框體的背板或其他腔室的側壁之支撐滾輪所構成。
  6. 如申請專利範圍第4項之閘閥，其中，上述支撐構件係由設於上述長構件的支撐滾輪所構成。
  7. 如申請專利範圍第4項之閘閥，其中，上述支撐構件係由支撐滾輪所構成，上述支撐滾輪，係上述閥體處在一邊擠壓上述基板搬出入口一邊閉塞的位置時，以能夠和上述板狀凸輪及上述閥體驅動用滾輪夾著上述長構件來排列於直線上的方式配置。
  8. 一種閘閥，係用以開閉設於腔室的側壁的基板搬出入口之閘閥，其特徵係具備：框體，其係以能夠包圍上述基板搬出入口的方式設於 上述腔室的側壁；閥體，其係於上述框體內昇降自如地設置，開閉上述基板搬出入口；昇降驅動手段，其係在對向於上述基板搬出入口的位置與自上述基板搬出入口待避的位置之間使上述閥體昇降；及開閉驅動手段，其係藉由在對向於上述基板搬出入口的位置與一邊擠壓上述基板搬出入口一邊閉塞的位置之間使上述閥體進退的凸輪機構所構成，又，上述凸輪機構係具有：長構件，其係於上述閥體的背面側橫渡上述閥體的長度方向配置，可移動自如地被上述框體支撐；及凸輪，其係隨著上述長構件的動作來擠壓驅動上述閥體，且以上述長構件來接受上述閥體從上述基板搬出入口側所被推回的力量，藉此將上述閥體擠壓保持於上述閉塞位置，上述昇降驅動手段係由促動器所構成，該促動器係藉由使活塞桿伸縮來令閥體垂直昇降，上述活塞桿的前端係經由在上述進退方向使上述閥體對該活塞桿滑動自如的閥體滑動機構來從其下方支撐上述閥體。
  9. 一種基板處理裝置，係一邊搬送基板至複數的腔室，一邊對基板進行所定的處理之基板處理裝置，其特徵為： 上述各腔室係具備用以開閉設於其側壁的基板搬出入口之閘閥，上述閘閥係具備：框體，其係以能夠包圍上述基板搬出入口的方式設於上述腔室的側壁；閥體，其係於上述框體內昇降自如地設置，開閉上述基板搬出入口；昇降驅動手段，其係在對向於上述基板搬出入口的位置與自上述基板搬出入口待避的位置之間使上述閥體昇降；及開閉驅動手段，其係藉由在對向於上述基板搬出入口的位置與一邊擠壓上述基板搬出入口一邊閉塞的位置之間使上述閥體進退的凸輪機構所構成，又，上述凸輪機構係具有：藉由在上述閥體的背面側橫渡上述閥體的長度方向配置且被上述框體所支撐的長構件來驅動，由此長構件來擠壓驅動上述閥體，且以上述長構件來接受上述閥體從上述基板搬出入口側所被推回的力量，藉此將上述閥體保持於上述閉塞位置之凸輪。
  10. 如申請專利範圍第9項之基板處理裝置，其中，上述腔室為：進行基板的處理之處理室，連接至該處理室的搬送室，連接至該搬送室的加載互鎖室。
  11. 一種閘閥，係用以開閉設於腔室的側壁的基板搬出入口之閘閥，其特徵係具備：框體，其係以能夠包圍上述基板搬出入口的方式設於 上述腔室的側壁；閥體，其係於上述框體內昇降自如地設置，開閉上述基板搬出入口；昇降驅動手段，其係在對向於上述基板搬出入口的位置與自上述基板搬出入口待避的位置之間使上述閥體昇降；及開閉驅動手段，其係藉由在對向於上述基板搬出入口的位置與一邊擠壓上述基板搬出入口一邊閉塞的位置之間使上述閥體進退的凸輪機構所構成，又，上述凸輪機構係具有：長構件，其係於上述閥體的背面側橫渡上述閥體的長度方向配置，可移動自如地被上述框體支撐；凸輪，其係隨著上述長構件的動作來擠壓驅動上述閥體，且以上述長構件來接受上述閥體從上述基板搬出入口側所被推回的力量，藉此將上述閥體擠壓保持於上述閉塞位置；驅動手段，其係使滑動自如地被上述框體支撐的上述長構件滑動至與上述閥體的進退方向正交的方向；閥體驅動用滾輪，其係抵接於上述長構件與上述閥體之間所設置的上述凸輪的凸輪面，而來驅動上述閥體；及框架，其係以能夠包圍上述閥體驅動用滾輪及上述板狀凸輪的方式設置，將上述長構件的滑動動作變換成上述閥體的進退動作。
  12. 如申請專利範圍第11項之閘閥，其中，上述框架 係由上述閥體的背面側取間隙來安裝於上述框體的背板或其他腔室的側壁，上述閥體驅動用滾輪係旋轉自如地安裝於上述框架內所設置的支撐體，上述支撐體係具有突出於上述閥體的背面側的突起部，以上述突起部能夠按照上述閥體驅動用滾輪的作動來從形成於上述框架的孔突沒之方式構成滑動自如，構成可藉由上述突起部來從上述閥體的背面側開閉驅動上述閥體。
  13. 如申請專利範圍第12項之閘閥，其中，以上述長構件能夠擋住自上述閥體所接受的力量之方式來將由上述度尺構件的背面側支撐的支撐構件設置於上述框架內。
  14. 如申請專利範圍第13項之閘閥，其中，上述支撐構件係由設於上述框架內的支撐滾輪所構成。
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