JP2009097534A - ゲート弁 - Google Patents
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Abstract
【課題】優れたシール性を有するとともに、メンテナンスが容易に行うことができ、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供する。
【解決手段】略箱形状に形成された弁箱本体と、弁箱本体に、その対向する一対の側壁を貫通して形成されたゲート開口部と、一方側の側壁のゲート開口部を開閉する一方側弁板と、他方側の側壁のゲート開口部を開閉する他方側弁板と、一方側弁板を、一方側の側壁のゲート開口部に対して閉止する一方側弁板駆動機構と、他方側弁板を、他方側の側壁のゲート開口部に対して閉止する他方側弁板駆動機構と、一方側弁板を、一方側の側壁のゲート開口部の方向に付勢する一方側弁板付勢機構と、他方側弁板を、他方側の側壁のゲート開口部の方向に付勢する他方側弁板付勢機構とを備える。
【選択図】図３
【解決手段】略箱形状に形成された弁箱本体と、弁箱本体に、その対向する一対の側壁を貫通して形成されたゲート開口部と、一方側の側壁のゲート開口部を開閉する一方側弁板と、他方側の側壁のゲート開口部を開閉する他方側弁板と、一方側弁板を、一方側の側壁のゲート開口部に対して閉止する一方側弁板駆動機構と、他方側弁板を、他方側の側壁のゲート開口部に対して閉止する他方側弁板駆動機構と、一方側弁板を、一方側の側壁のゲート開口部の方向に付勢する一方側弁板付勢機構と、他方側弁板を、他方側の側壁のゲート開口部の方向に付勢する他方側弁板付勢機構とを備える。
【選択図】図３
Description
本発明は、例えば、半導体製造装置など、太陽電池などの薄膜作成装置において、真空室と外部雰囲気との間、真空室相互の間で使用されるゲート弁に関し、特に、複数のゲート開口部を開閉する複数の弁板を有するゲート弁に関する。
シリコンウェハなどの半導体製造、薄膜製造、液晶製造などにおいては、クリーンな環境下、高い真空中で、スパッタリング、プラズマエッチングなどのデバイスの成膜処理が行われている。
これらの製造装置において、例えば、真空室と外部雰囲気との間、真空室相互の間で、各チャンバー間を開放、閉止するために、真空用ゲート弁が使用されている。
ところで、最近では、一度に複数枚のデバイスの成膜処理を行うことにより、生産性を向上するために、複数のゲート開口部を開閉する複数の弁板を有するゲート弁が、特許文献１（特表２００２−５０２９４６号公報）において提案されている。
ところで、最近では、一度に複数枚のデバイスの成膜処理を行うことにより、生産性を向上するために、複数のゲート開口部を開閉する複数の弁板を有するゲート弁が、特許文献１（特表２００２−５０２９４６号公報）において提案されている。
図１４および図１５に示したように、この特許文献１のゲート弁１００では、担体プレート１０２が、チャンバーの側壁１０４に沿って、シリンダーなどの駆動装置１１６の駆動によって、上下方向に移動可能なように、ローラガイド１０６に案内されている。
そして、担体プレート１０２には、複数のパッキンプレート（弁体）１０８を備えており、ブッシュ１１０内をスライドするガイドピン１１２によって、チャンバーの側壁１０４のゲート開口部１１４を開閉するように構成されている。
特表２００２−５０２９４６号公報
特開平１０−１１０８３４号公報
特開平８−４２７１７号公報
しかしながら、このような特許文献１に開示されているような、従来のゲート弁１００では、チャンバーの側壁１０４のゲート開口部１１４を片側のみから、パッキンプレート１０８で開閉するものであるので、複数の開口部を全て確実に閉塞するには不十分であり、チャンバー内の反応ガスが外部に放出されて、外部環境を汚染するおそれがあった。
また、特許文献１のゲート弁１００では、パッキンプレート１０８を駆動させる、駆動装置１１６や、ベローズ１０７で囲われた駆動空間が、真空環境内に位置することになるので、駆動に利用される圧搾空気が、シリンダーのシール材の不具合や、ベローズ１０７の破損などにより、真空環境内にリークしてしまうおそれがあった。
このように、成膜装置において、確実に開口部を閉塞し、チャンバー内の反応ガスが外部に放出されない安全性の高いゲート弁が求められている。
このため、特許文献２（特開平１０−１１０８３４号公報）には、リンクにより対向する二つの開口部を２枚の弁板が閉塞するゲート弁が開示されている。
このため、特許文献２（特開平１０−１１０８３４号公報）には、リンクにより対向する二つの開口部を２枚の弁板が閉塞するゲート弁が開示されている。
すなわち、図１６に示したように、この特許文献２のゲート弁１２０は、弁体１２２のそれぞれの弁板１２４、１２６が、弁棒１２８内の作動ロッド１３０に接続されたリンク部１３２によって、開口部に対して伸縮することによって、開口部の開閉を行うことがで
きるように構成されている。
きるように構成されている。
しかしながら、特許文献２のようなゲート弁１２０では、大開口の開口部を有するゲート弁の場合には、弁板１２４、１２６を均一に押圧しようとすると、リンク部分が複数必要となる。
このため、構造が複雑となり、しかも、複数の弁板を同様に駆動させようとすると、複雑なリンク構造が必要となって、ゲート弁自体が大型化してしまうことになる。
一方、特許文献３（特開平８−４２７１７号公報）には、確実に開口部を閉塞し、チャンバー内の反応ガスが外部に放出されない安全性の高いゲート弁が提案されている。
一方、特許文献３（特開平８−４２７１７号公報）には、確実に開口部を閉塞し、チャンバー内の反応ガスが外部に放出されない安全性の高いゲート弁が提案されている。
すなわち、図１７に示したように、この特許文献３のゲート弁１４０は、開弁状態から閉弁する場合、弁体１４２が、シリンダー１４１により上方向に移動させ、図１８にしたように、ストッパ１４４に突き当って停止して、開口部１４６に位置するようにする。
そして、シリンダー１４１によって、さらにボール保持板１４８が上方に移動され、ボール１５０が、ボール受１５２の円錐形状斜面１５４に当接して、弁体１４２を開口部１４６のシール面１５６に押し付けて、閉弁するように構成されている。
しかしながら、この特許文献３のゲート弁１４０は、弁体１４２をシリンダー１４１により上下に移動する機構、弁体１４２を開口部１４６のシール面１５６に押し付けるためのボール保持板１４８、ボール受１５２などの複雑な構成が必要であり、しかも、複数の弁体１４２を同様に駆動させようとすると、複雑な構造が必要となって、ゲート弁自体が大型化してしまうことになる。
そこで、本発明者は、両側に設置されたチャンバーの開口部を塞ぐ弁体を設け、両側の弁板が開口部を閉鎖し、弁箱内が独立した空間を形成させ、２重シールの構造のゲート弁を鋭意検討した。
しかしながら、従来公知のゲート弁の組み合わせでは、機構上どうしても、面間隔、すなわち、ゲート弁の幅が大きくなってしまい、ゲート弁が大型化してしまう問題があった。
さらに、従来のゲート弁では、高いシール性能を維持するために、弁体に設けられたシール材の交換や、ゲート弁のメンテナンスが重要であり、従来はチャンバーの中からシール材の交換などを行う必要があり、煩雑な作業が必要で、安全性の点からも問題があった。
従って、チャンバーの外側からシール材の交換等でき、メンテナンス作業を容易に行うことができるゲート弁の提供が求められていた。
本発明は、このような現状に鑑み、優れたシール性を有するとともに、メンテナンスが容易に行うことができ、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供することを目的とする。
本発明は、このような現状に鑑み、優れたシール性を有するとともに、メンテナンスが容易に行うことができ、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供することを目的とする。
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明されたものであって、本発明のゲート弁は、
略箱形状に形成された弁箱本体と、
前記弁箱本体に、その対向する一対の側壁を貫通して形成されたゲート開口部と、
前記弁箱本体の内部に設けられ、一方側の側壁のゲート開口部を開閉する一方側弁板と
、
前記弁箱本体の内部に設けられ、他方側の側壁のゲート開口部を開閉する他方側弁板と、
前記一方側弁板を、一方側の側壁のゲート開口部に対して閉止する一方側弁板駆動機構と、
前記他方側弁板を、他方側の側壁のゲート開口部に対して閉止する他方側弁板駆動機構と、
前記一方側弁板を、一方側の側壁のゲート開口部に対して閉止した後、一方側弁板を、一方側の側壁のゲート開口部の方向に付勢する一方側弁板付勢機構と、
前記他方側弁板を、他方側の側壁のゲート開口部に対して閉止した後、他方側弁板を、他方側の側壁のゲート開口部の方向に付勢する他方側弁板付勢機構と、
を備えることを特徴とする。
略箱形状に形成された弁箱本体と、
前記弁箱本体に、その対向する一対の側壁を貫通して形成されたゲート開口部と、
前記弁箱本体の内部に設けられ、一方側の側壁のゲート開口部を開閉する一方側弁板と
、
前記弁箱本体の内部に設けられ、他方側の側壁のゲート開口部を開閉する他方側弁板と、
前記一方側弁板を、一方側の側壁のゲート開口部に対して閉止する一方側弁板駆動機構と、
前記他方側弁板を、他方側の側壁のゲート開口部に対して閉止する他方側弁板駆動機構と、
前記一方側弁板を、一方側の側壁のゲート開口部に対して閉止した後、一方側弁板を、一方側の側壁のゲート開口部の方向に付勢する一方側弁板付勢機構と、
前記他方側弁板を、他方側の側壁のゲート開口部に対して閉止した後、他方側弁板を、他方側の側壁のゲート開口部の方向に付勢する他方側弁板付勢機構と、
を備えることを特徴とする。
このように構成することによって、一方側弁板駆動機構、一方側弁板付勢機構によって、一方側弁板が、一方側の側壁のゲート開口部に対して閉止、付勢され、他方側弁板駆動機構、他方側弁板付勢機構によって、他方側弁板が、他方側の側壁のゲート開口部に対して閉止、付勢されるので、確実に開口部を閉塞し、チャンバー内の反応ガスが外部に放出されない安全性の高いゲート弁を得ることができる。
しかも、一方側弁板と他方側弁板が、独立して、一方側弁板駆動機構、一方側弁板付勢機構、ならびに、他方側弁板駆動機構、他方側弁板付勢機構によって駆動されるので、複雑な構造が不要であり、ゲート弁自体が大型化してしまうことがなく、優れたシール性を有するとともに、メンテナンスが容易に行うことができ、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供することができる。
さらに、弁板をゲート開口部の位置に移動する弁板駆動機構と、弁板を、ゲート開口部、すなわち、シール座面の方向に付勢する機構が独立した駆動機構により行われているので、弁板がその背面から、シール座面に対して均一に押圧されることになる。
従って、シール材に均一に荷重がかかり、高いシール性を維持することが可能となる。
さらに、シール材がシール座面に片当たりして、シール材に対してスラスト荷重がかかることがなく、シール材が転動することもないので、シール性が低下することがない。
さらに、シール材がシール座面に片当たりして、シール材に対してスラスト荷重がかかることがなく、シール材が転動することもないので、シール性が低下することがない。
また、例えば、二つの空間（チャンバー）の連結部分に設けることによって、略箱形状に形成された弁箱本体によって、弁箱本体内が独立した空間を形成することができる。
また、この弁箱本体の内部に設けられた、一方側の側壁のゲート開口部を開閉する一方側弁板と、他方側の側壁のゲート開口部を開閉する他方側弁板とによって、２重シールの構造のゲート弁を提供することができる。
また、この弁箱本体の内部に設けられた、一方側の側壁のゲート開口部を開閉する一方側弁板と、他方側の側壁のゲート開口部を開閉する他方側弁板とによって、２重シールの構造のゲート弁を提供することができる。
これによって、優れたシール性を有するとともに、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供することができる。
すなわち、片側の弁板で不具合があり、リークした場合でも他方側のゲート開口部が閉塞しているため、二つの空間を確実に封止することが可能となる。
すなわち、片側の弁板で不具合があり、リークした場合でも他方側のゲート開口部が閉塞しているため、二つの空間を確実に封止することが可能となる。
さらに、一方側弁板と他方側弁板から構成される一対の弁板が、ゲート開口部を閉塞し、弁箱本体内が独立した空間を形成するため、弁箱本体内に、例えば、漏洩検知器を設けることにより、確実に反応ガスのリークを検知することができ、安全性に優れたゲート弁を提供できる。
また、独立した空間を形成する弁箱本体内に、例えば、排気ポートを設けることで、リ
ークした反応生成ガスを廃棄処理経路へ安全に排気することができる。
さらに、独立した空間を形成する弁箱本体内に、例えば、窒素ガス等を導入することで、弁箱本体内の内圧をチャンバー内の内圧より高く設定することで、弁板のゲート開口部への押付け力を高め、シール性能を向上させることが可能となる。
ークした反応生成ガスを廃棄処理経路へ安全に排気することができる。
さらに、独立した空間を形成する弁箱本体内に、例えば、窒素ガス等を導入することで、弁箱本体内の内圧をチャンバー内の内圧より高く設定することで、弁板のゲート開口部への押付け力を高め、シール性能を向上させることが可能となる。
また、本発明のゲート弁は、前記一方側弁板が、回転駆動軸を中心に回転することによって、一方側の側壁のゲート開口部を開閉するように構成されるとともに、
前記他方側弁板が、回転駆動軸を中心に回転することによって、他方側の側壁のゲート開口部を開閉するように構成されていることを特徴とする。
前記他方側弁板が、回転駆動軸を中心に回転することによって、他方側の側壁のゲート開口部を開閉するように構成されていることを特徴とする。
このように構成することによって、回転駆動軸を中心に、弁板がそれぞれ回動して、それぞれのゲート開口部を開閉するので、優れたシール性を有するとともに、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供することができる。
また、本発明のゲート弁は、前記一方側弁板の開閉の際の回転駆動軸と、他方側弁板の開閉の際の回転駆動軸が、相互にゲート開口部を挟んで上下に位置するように構成されていることを特徴とする。
このように一方側弁板の開閉の際の回転駆動軸と、他方側弁板の開閉の際の回転駆動軸が、相互にゲート開口部を挟んで上下に位置するように構成することによって、ゲート開口部を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
また、本発明のゲート弁は、前記弁板駆動機構が、ゲート開口部の短手方向に移動する移動部材によって、弁板をゲート開口部に対して離接する方向に移動させて、ゲート開口部を開閉するように構成されていることを特徴とする。
このようにゲート開口部の短手方向に移動する移動部材によって、弁板を移動させてゲート開口部を開閉するので、複雑な構成とならず、しかも、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
また、本発明のゲート弁は、前記弁板付勢機構が、弁板の長手方向の端部をゲート開口部の方向に付勢するように構成されていることを特徴とする。
このように弁板付勢機構が、弁板の長手方向の端部をゲート開口部の方向に付勢するので、弁板の長手方向の端部が、その背面から、シール座面に対して均一に押圧されることになる。
このように弁板付勢機構が、弁板の長手方向の端部をゲート開口部の方向に付勢するので、弁板の長手方向の端部が、その背面から、シール座面に対して均一に押圧されることになる。
従って、シール材に均一に荷重がかかり、高いシール性を維持することが可能となる。
さらに、シール材がシール座面に片当たりして、シール材に対してスラスト荷重がかかることがなく、シール材が転動することもないので、シール性が低下することがない。
さらに、シール材がシール座面に片当たりして、シール材に対してスラスト荷重がかかることがなく、シール材が転動することもないので、シール性が低下することがない。
また、本発明のゲート弁は、
前記弁板付勢機構が、ゲート開口部の長手方向に沿って移動する付勢部材を備え、
前記付勢部材が、ゲート開口部の長手方向に沿って移動することによって、弁板の長手方向の端部と当接して、弁板の端部をゲート開口部の方向に付勢するように構成されていることを特徴とする。
前記弁板付勢機構が、ゲート開口部の長手方向に沿って移動する付勢部材を備え、
前記付勢部材が、ゲート開口部の長手方向に沿って移動することによって、弁板の長手方向の端部と当接して、弁板の端部をゲート開口部の方向に付勢するように構成されていることを特徴とする。
このように、付勢部材が、ゲート開口部の長手方向に沿って移動することによって、弁
板の長手方向の端部と当接して、弁板の端部をゲート開口部の方向に付勢するので、複雑な構成とならず、しかも、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
板の長手方向の端部と当接して、弁板の端部をゲート開口部の方向に付勢するので、複雑な構成とならず、しかも、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
また、本発明のゲート弁は、前記弁板付勢機構が、弁板の長手方向の両端部をゲート開口部の方向に付勢するように構成されていることを特徴とする。
このように構成することによって、弁板の長手方向の両端部が、その背面から、シール座面に対して均一に押圧されることになる。
このように構成することによって、弁板の長手方向の両端部が、その背面から、シール座面に対して均一に押圧されることになる。
従って、シール材に均一に荷重がかかり、高いシール性を維持することが可能となる。
さらに、シール材がシール座面に片当たりして、シール材に対してスラスト荷重がかかることがなく、シール材が転動することもないので、シール性が低下することがない。
さらに、シール材がシール座面に片当たりして、シール材に対してスラスト荷重がかかることがなく、シール材が転動することもないので、シール性が低下することがない。
また、本発明のゲート弁は、前記弁箱本体が、一方側の側壁部分と、他方側の側壁部分とに分離可能に構成されていることを特徴とする。
このように構成することによって、弁箱本体が、一方側の側壁部分と、他方側の側壁部分とに分離可能であるので、メンテナンスの際に、弁箱本体を分離することによって、それぞれの弁板が露出されるので、チャンバーの外側から確実にシール材や弁板を交換可能で、ゲート弁の不具合を確認できるなど、メンテナンスが容易になる。
このように構成することによって、弁箱本体が、一方側の側壁部分と、他方側の側壁部分とに分離可能であるので、メンテナンスの際に、弁箱本体を分離することによって、それぞれの弁板が露出されるので、チャンバーの外側から確実にシール材や弁板を交換可能で、ゲート弁の不具合を確認できるなど、メンテナンスが容易になる。
また、本発明のゲートバルブは、前記一方側の側壁のゲート開口部が、複数個形成されるとともに、前記一方側の側壁のゲート開口部に対応して、前記他方側の側壁のゲート開口部が、複数個形成されていることを特徴とする。
このように構成することによって、例えば、半導体製造装置など、太陽電池などの薄膜作成装置において、一度に複数枚のデバイスの成膜処理を行うことにより、生産性を向上することができる。
また、本発明のゲート弁は、前記一方側弁板と、他方側弁板とが、相互に独立に駆動可能に構成されていることを特徴とする。
このように構成することによって、一方側弁板と、他方側弁板とが、相互に独立に駆動可能であるので、ゲート開口部を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
このように構成することによって、一方側弁板と、他方側弁板とが、相互に独立に駆動可能であるので、ゲート開口部を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
また、本発明のゲート弁は、前記一方側の側壁のゲート開口部が複数個形成されるとともに、この複数個のゲート開口部に対応して、複数個の一方側弁板が設けられ、
前記一方側の側壁のゲート開口部に対応して、前記他方側の側壁のゲート開口部が複数個形成されるとともに、この複数個のゲート開口部に対応して、複数個の他方側弁板が設けられていることを特徴とする。
前記一方側の側壁のゲート開口部に対応して、前記他方側の側壁のゲート開口部が複数個形成されるとともに、この複数個のゲート開口部に対応して、複数個の他方側弁板が設けられていることを特徴とする。
このように構成することによって、例えば、半導体製造装置など、太陽電池などの薄膜作成装置において、一度に複数枚のデバイスの成膜処理を行うことにより、生産性を向上することができる。
本発明によれば、一方側弁板駆動機構、一方側弁板付勢機構によって、一方側弁板が、一方側の側壁のゲート開口部に対して閉止、付勢され、他方側弁板駆動機構、他方側弁板付勢機構によって、他方側弁板が、他方側の側壁のゲート開口部に対して閉止、付勢されるので、確実に開口部を閉塞し、チャンバー内の反応ガスが外部に放出されない安全性の
高いゲート弁を得ることができる。
高いゲート弁を得ることができる。
しかも、一方側弁板と他方側弁板が、独立して、一方側弁板駆動機構、一方側弁板付勢機構、ならびに、他方側弁板駆動機構、他方側弁板付勢機構によって駆動されるので、複雑な構造が不要であり、ゲート弁自体が大型化してしまうことがなく、優れたシール性を有するとともに、メンテナンスが容易に行うことができ、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供することができる。
さらに、弁板をゲート開口部の位置に移動する弁板駆動機構と、弁板を、ゲート開口部、すなわち、シール座面の方向に付勢する機構が独立した駆動機構により行われているので、弁板がその背面から、シール座面に対して均一に押圧されることになる。
従って、シール材に均一に荷重がかかり、高いシール性を維持することが可能となる。
さらに、シール材がシール座面に片当たりして、シール材に対してスラスト荷重がかかることがなく、シール材が転動することもないので、シール性が低下することがない。
さらに、シール材がシール座面に片当たりして、シール材に対してスラスト荷重がかかることがなく、シール材が転動することもないので、シール性が低下することがない。
また、例えば、二つの空間（チャンバー）の連結部分に設けることによって、略箱形状に形成された弁箱本体によって、弁箱本体内が独立した空間を形成することができる。
また、この弁箱本体の内部に設けられた、一方側の側壁のゲート開口部を開閉する一方側弁板と、他方側の側壁のゲート開口部を開閉する他方側弁板とによって、２重シールの構造のゲート弁を提供することができる。
また、この弁箱本体の内部に設けられた、一方側の側壁のゲート開口部を開閉する一方側弁板と、他方側の側壁のゲート開口部を開閉する他方側弁板とによって、２重シールの構造のゲート弁を提供することができる。
これによって、優れたシール性を有するとともに、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供することができる。
すなわち、片側の弁板で不具合があり、リークした場合でも他方側のゲート開口部が閉塞しているため、二つの空間を確実に封止することが可能となる。
すなわち、片側の弁板で不具合があり、リークした場合でも他方側のゲート開口部が閉塞しているため、二つの空間を確実に封止することが可能となる。
さらに、一方側弁板と他方側弁板から構成される一対の弁板が、ゲート開口部を閉塞し、弁箱本体内が独立した空間を形成するため、弁箱本体内に、例えば、漏洩検知器を設けることにより、確実に反応ガスのリークを検知することができ、安全性に優れたゲート弁を提供できる。
また、独立した空間を形成する弁箱本体内に、例えば、排気ポートを設けることで、リークした反応生成ガスを廃棄処理経路へ安全に排気することができる。
さらに、独立した空間を形成する弁箱本体内に、例えば、窒素ガス等を導入することで、弁箱本体内の内圧をチャンバー内の内圧より高く設定することで、弁板のゲート開口部への押付け力を高め、シール性能を向上させることが可能となる。
さらに、独立した空間を形成する弁箱本体内に、例えば、窒素ガス等を導入することで、弁箱本体内の内圧をチャンバー内の内圧より高く設定することで、弁板のゲート開口部への押付け力を高め、シール性能を向上させることが可能となる。
また、本発明によれば、ゲート開口部の短手方向に移動する移動部材によって、弁板を移動させてゲート開口部を開閉するので、複雑な構成とならず、しかも、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
また、本発明によれば、弁板付勢機構が、弁板の長手方向の端部、特に、両端部を、ゲート開口部の方向に付勢するので、弁板の長手方向の端部が、その背面から、シール座面に対して均一に押圧されることになる。
従って、シール材に均一に荷重がかかり、高いシール性を維持することが可能となる。
さらに、シール材がシール座面に片当たりして、シール材に対してスラスト荷重がかかることがなく、シール材が転動することもないので、シール性が低下することがない。
さらに、シール材がシール座面に片当たりして、シール材に対してスラスト荷重がかかることがなく、シール材が転動することもないので、シール性が低下することがない。
また、本発明によれば付勢部材が、ゲート開口部の長手方向に沿って移動することによって、弁板の長手方向の端部と当接して、弁板の端部をゲート開口部の方向に付勢するので、複雑な構成とならず、しかも、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
また、弁箱本体が、一方側の側壁部分と、他方側の側壁部分とに分離可能であるので、メンテナンスの際に、弁箱本体を分離することによって、それぞれの弁板が露出されるので、チャンバーの外側から確実にシール材や弁板を交換可能で、ゲート弁の不具合を確認できるなど、メンテナンスが容易になる。
さらに、一方側弁板と、他方側弁板とが、相互に独立に駆動可能であるので、ゲート開口部を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。
図１は、本発明のゲート弁の内部機構を示す断面図、図２は、図１のゲート弁のＡ方向の端面図、図３は、図１のゲート弁の作動状態を説明する弁開状態の縦断面図、図４は、図１のゲート弁の作動状態を説明する弁閉状態の縦断面図、図５は、図１のゲート弁の作動状態を説明する弁開状態から弁閉状態までの部分拡大縦断面図、図６は、図１のゲート弁の作動状態における付勢機構を説明する付勢前の状態を示す概略図、図７は、図１のゲート弁の作動状態における付勢機構を説明する付勢後の状態を示す概略図、図８は、図７のＢ部分の部分拡大図、図９は、付勢部材８０の拡大正面図、図１０は、連結部３２（３６）の拡大図である。
図１は、本発明のゲート弁の内部機構を示す断面図、図２は、図１のゲート弁のＡ方向の端面図、図３は、図１のゲート弁の作動状態を説明する弁開状態の縦断面図、図４は、図１のゲート弁の作動状態を説明する弁閉状態の縦断面図、図５は、図１のゲート弁の作動状態を説明する弁開状態から弁閉状態までの部分拡大縦断面図、図６は、図１のゲート弁の作動状態における付勢機構を説明する付勢前の状態を示す概略図、図７は、図１のゲート弁の作動状態における付勢機構を説明する付勢後の状態を示す概略図、図８は、図７のＢ部分の部分拡大図、図９は、付勢部材８０の拡大正面図、図１０は、連結部３２（３６）の拡大図である。
図１〜図４において、符号１０は、全体で本発明のゲート弁を示している。
図１〜図４に示したように、ゲート弁１０は、略箱形状に形成された弁箱本体１２を備えており、この弁箱本体１２には、その対向する一対の側壁１４、１６を貫通するように、横長の略矩形形状のゲート開口部１８、２０が、複数個上下に一定間隔離間して相互に対応するように形成されている。
図１〜図４に示したように、ゲート弁１０は、略箱形状に形成された弁箱本体１２を備えており、この弁箱本体１２には、その対向する一対の側壁１４、１６を貫通するように、横長の略矩形形状のゲート開口部１８、２０が、複数個上下に一定間隔離間して相互に対応するように形成されている。
また、弁箱本体１２の内部には、空間１１が形成されており、この空間１１内に、これらのゲート開口部１８、２０に対応して、一方側の側壁１４のゲート開口部１８を開閉する横長の略矩形形状の一方側弁板２２と、他方側の側壁１６のゲート開口部２０を開閉する横長の略矩形形状の他方側弁板２４とを備えている。
そして、図示しないが、図３の矢印Ｂで示したように、弁箱本体１２は、一方側の側壁１４の側壁部分２６と、他方側の側壁１６の側壁部分２８とに分離可能に構成されている。
また、図１、図３、図４に示したように、一方側の側壁１４のゲート開口部１８を開閉する一方側弁板２２は、ゲート開口部１８の下方の位置に、弁箱本体１２の長手方向にわたって、軸受け部材１３によって、回転可能に装着された回転駆動軸３０に、連結部３２を介して固定されている。
これにより、一方側弁板２２が、回転駆動軸３０を中心に回転することによって、一方側の側壁１４のゲート開口部１８を開閉するように構成されている。
一方、図３、図４に示したように、他方側の側壁１６のゲート開口部２０を開閉する他
方側弁板２４は、ゲート開口部２０の上方の位置に、弁箱本体１２の長手方向にわたって、軸受け部材１３によって、回転可能に装着された回転駆動軸３４に、連結部３６を介して固定されている。
一方、図３、図４に示したように、他方側の側壁１６のゲート開口部２０を開閉する他
方側弁板２４は、ゲート開口部２０の上方の位置に、弁箱本体１２の長手方向にわたって、軸受け部材１３によって、回転可能に装着された回転駆動軸３４に、連結部３６を介して固定されている。
これにより、他方側弁板２４が、回転駆動軸３４を中心に回転することによって、他方側の側壁１６のゲート開口部２０を開閉するように構成されている。
すなわち、一方側弁板２２の開閉の際の回転駆動軸３０と、他方側弁板２４の開閉の際の回転駆動軸３４が、相互にゲート開口部１８、２０を挟んで上下に位置するように構成されている。
すなわち、一方側弁板２２の開閉の際の回転駆動軸３０と、他方側弁板２４の開閉の際の回転駆動軸３４が、相互にゲート開口部１８、２０を挟んで上下に位置するように構成されている。
また、弁板２２、２４の形状は、弁箱本体１２のゲート開口部１８、２０の形状に応じて、このゲート開口部１８、２０を、確実に閉止することができる形状であれば、特に限定されるものではない。
さらに、図８に示したように、弁板２２、２４には、回転することによって、ゲート開口部１８、２０と当接する側に、ゲート開口部１８、２０を取り囲むような形状に、シール溝が設けられ、このシール溝に無端状のシール材１５が装着されている。
なお、シール材は、弁板２２、２４の側でなく、弁板２２が当接する弁箱本体１２のシール座面側に装着されていてもよい。
図１、図２、図３に示したように、一方側弁板２２を回転駆動する回転駆動軸３０には、リンク部材４０の一端部がそれぞれ固定されており、これらのリンク部材４０の他端部に、ピボットピン４２を介して、移動部材４４が連結されている。
図１、図２、図３に示したように、一方側弁板２２を回転駆動する回転駆動軸３０には、リンク部材４０の一端部がそれぞれ固定されており、これらのリンク部材４０の他端部に、ピボットピン４２を介して、移動部材４４が連結されている。
また、この移動部材４４の上端部には、リンク部材４６の一端部がリンク結合されているとともに、このリンク部材４６の他端部に、ピボットピン４８を介して、弁箱本体１２の上部に配置されたシリンダー装置５０の駆動軸５２が連結されている。
また、同様に、図２、図３に示したように、他方側弁板２４を回転駆動する回転駆動軸３４には、リンク部材６０の一端部がそれぞれ固定されており、これらのリンク部材６０の他端部に、ピボットピン６２を介して、移動部材６４が連結されている。
また、この移動部材６４の上端部には、リンク部材６６の一端部がリンク結合されているとともに、このリンク部材６６の他端部に、ピボットピン６８を介して、弁箱本体１２の上部に配置されたシリンダー装置７０の駆動軸７２が連結されている。
さらに、図１に示したように、一方側の側壁１４のゲート開口部１８の上方近傍に、弁箱本体１２の長手方向にわたって、一方側の付勢用駆動軸７４が、軸受け部材７６を介して装着されている。また、この一方側の付勢用駆動軸７４の一端が、弁箱本体１２の一端側に配置されたシリンダー装置７８の駆動軸に連結されている。
そして、この付勢用駆動軸７４には、付勢部材８０が固着されており、シリンダー装置７８が作動することによって、付勢部材８０が、ゲート開口部１８の長手方向に沿って移動することができるように構成されている。
この付勢部材８０は、図９に示したように、略コマ形状であって、両端の円錐形状部８０ａと中央部分の平坦部分８０ｂとから構成されている。
一方、図１０に示したように、連結部３２は、回転駆動軸３０が固定される軸孔３２ａと、一方側弁板２２を、図示しないネジ部材で固定するネジ孔３２ｂが形成されている。そして、連結部３２は、一方側、すなわち、一方側弁板２２が固定される側の端部に、テ
ーパー面３２ｃが形成され、他方側の端部に、テーパー面３２ｄが形成されている。
一方、図１０に示したように、連結部３２は、回転駆動軸３０が固定される軸孔３２ａと、一方側弁板２２を、図示しないネジ部材で固定するネジ孔３２ｂが形成されている。そして、連結部３２は、一方側、すなわち、一方側弁板２２が固定される側の端部に、テ
ーパー面３２ｃが形成され、他方側の端部に、テーパー面３２ｄが形成されている。
このように構成することによって、後述するが、図６に示したように、一方側弁板２２を、ゲート開口部１８に対して閉止した後、シリンダー装置７８を駆動させて、図７（Ｃ）の矢印Ｅに示したように、付勢用駆動軸７４を、シリンダー装置７８の方向、すなわち、図７（C）において右方向に移動させることによって、付勢部材８０が、ゲート開口部
１８の長手方向に沿って、右方向に移動する。
１８の長手方向に沿って、右方向に移動する。
これにより、付勢部材８０の円錐形状部８０ａが、連結部３２のテーパー面３２ｃ、３２ｄと当接することによって、一方側弁板２２を、ゲート開口部１８の方向に移動させる。
さらに、付勢部材８０の平坦部分８０ｂが、連結部３２のテーパー面３２ｃ、３２ｄと当接することによって、一方側弁板２２を、ゲート開口部１８の方向に付勢するようになっている。
なお、この場合、この実施例のゲート弁１０では、最も上方に位置する付勢部材８０では、一方側弁板２２の上端部を、ゲート開口部１８の方向に付勢している。
これにより、一方側弁板２２の上下両端部を、ゲート開口部１８の方向に付勢するようになっている。
これにより、一方側弁板２２の上下両端部を、ゲート開口部１８の方向に付勢するようになっている。
なお、上記の説明では、一方側の側壁１４のゲート開口部１８の上方近傍に設けられた、一方側の付勢用駆動軸７４、付勢部材８０、シリンダー装置７８について説明したが、図示しないが、他方側の側壁１６のゲート開口部２０の下方近傍にも同様に、付勢用駆動軸７４、付勢部材８０、シリンダー装置７８が設けられている。
また、図１０の括弧で示したように、連結部３６は、回転駆動軸３４が固定される軸孔３６ａと、他方側弁板２４を、図示しないネジ部材で固定するネジ孔３６ｂが形成されている。そして、連結部３６は、他方側、すなわち、他方側弁板２４が固定される側の端部に、テーパー面３６ｃが形成され、他方側の端部に、テーパー面３６ｄが形成されている。
これにより、付勢部材８０の円錐形状部８０ａが、連結部３６のテーパー面３６ｃ、３６ｄと当接することによって、一方側弁板２２を、ゲート開口部１８の方向に移動させる。
さらに、付勢部材８０の平坦部分８０ｂが、連結部３６のテーパー面３６ｃ、３６ｄと当接することによって、一方側弁板２４を、ゲート開口部１８の方向に付勢するようになっている。
なお、この場合、この実施例のゲート弁１０では、最も下方に位置する付勢部材８０では、他方側弁板２４の下端部を、ゲート開口部２０の方向に付勢している。
これにより、他方側弁板２４の上下両端部を、ゲート開口部２０の方向に付勢するようになっている。
これにより、他方側弁板２４の上下両端部を、ゲート開口部２０の方向に付勢するようになっている。
このように構成される本発明のゲート弁の作動について、以下に、図５〜図７に基づいて説明する。
先ず、本発明のゲート弁１０を、図示しないが、例えば、二つの空間（チャンバー）の連結部分に設ける。
先ず、本発明のゲート弁１０を、図示しないが、例えば、二つの空間（チャンバー）の連結部分に設ける。
そして、図３、図４、図５（Ａ）〜（Ｅ）に示したように、シリンダー装置５０を駆動して、駆動軸５２を上昇させることによって、リンク部材４６を介して、移動部材４４を上昇させる。この移動部材４４の上昇により、リンク部材４０が矢印の方向に回動する。
なお、図５〜図７は、説明の便宜上、他方側弁板２４などの機構を省略している。
これにより、リンク部材４０の一端に固定された回転駆動軸３０が、リンク部材４０と同じ方向に回転し、回転駆動軸３０に固定された連結部３２を介して、図５（Ａ）〜（Ｅ）に示したように、一方側弁板２２を、回転駆動軸３０を中心に、矢印Ｃで示したように、反時計方向に略９０°回転させて、ゲート開口部１８の方向に回動させることによって、図４、図５（Ｅ）に示したように、一方側弁板２２が、ゲート開口部１８を閉止した状態とする。
これにより、リンク部材４０の一端に固定された回転駆動軸３０が、リンク部材４０と同じ方向に回転し、回転駆動軸３０に固定された連結部３２を介して、図５（Ａ）〜（Ｅ）に示したように、一方側弁板２２を、回転駆動軸３０を中心に、矢印Ｃで示したように、反時計方向に略９０°回転させて、ゲート開口部１８の方向に回動させることによって、図４、図５（Ｅ）に示したように、一方側弁板２２が、ゲート開口部１８を閉止した状態とする。
この状態では、予め、図６に示したように、シリンダー装置７８が駆動して駆動軸が伸びた状態で、一方側の付勢用駆動軸７４が、シリンダー装置７８と離反する方向、すなわち、図６（C）において、矢印Ｄで示したように、左方向に移動しており、付勢部材８０
が、ゲート開口部１８の長手方向に沿って、左方向に移動して、一方側弁板２２のゲート開口部１８の方向への付勢状態が解除された状態となっている。
が、ゲート開口部１８の長手方向に沿って、左方向に移動して、一方側弁板２２のゲート開口部１８の方向への付勢状態が解除された状態となっている。
すなわち、付勢部材８０の円錐形状部８０ａ、平坦部分８０ｂが、連結部３２のテーパー面３２ｃ、テーパー面３２ｄとの当接が解除された状態となっている。
この状態から、図７に示したように、シリンダー装置７８を駆動させて、図７（Ｃ）の矢印Ｅに示したように、付勢用駆動軸７４を、シリンダー装置７８の方向、すなわち、図７（C）において右方向に移動させることによって、付勢部材８０が、ゲート開口部１８
の長手方向に沿って、右方向に移動する。
この状態から、図７に示したように、シリンダー装置７８を駆動させて、図７（Ｃ）の矢印Ｅに示したように、付勢用駆動軸７４を、シリンダー装置７８の方向、すなわち、図７（C）において右方向に移動させることによって、付勢部材８０が、ゲート開口部１８
の長手方向に沿って、右方向に移動する。
これにより、図８に示したように、付勢部材８０の円錐形状部８０ａが、連結部３２のテーパー面３２ｃ、３２ｄと当接することによって、一方側弁板２２を、ゲート開口部１８の方向に移動さる。さらに、付勢部材８０の平坦部分８０ｂが、連結部３２のテーパー面３２ｃ、３２ｄと当接することによって、一方側弁板２２を、ゲート開口部１８の方向に付勢するようになっている。
一方、図３、図４に示したように、シリンダー装置７０を駆動して、駆動軸７２を下降させることによって、リンク部材６０を介して、移動部材６４を下降させる。この移動部材６４の下降により、リンク部材６０が矢印の方向に回動する。
これにより、リンク部材６０の一端に固定された回転駆動軸３４が、リンク部材６０と同じ方向に回転し、回転駆動軸３４に固定された連結部３６を介して、図３、図４に示したように、他方側弁板２４を、回転駆動軸３４を中心に、矢印Ｇで示したように、時計方向に略９０°回転させて、ゲート開口部２０の方向に回動させることによって、図３、図４に示したように、他方側弁板２４が、ゲート開口部２０を閉止した状態とする。
この状態では、上記のように一方側弁板２２について説明したように、シリンダー装置７８が駆動して駆動軸が伸びた状態で、付勢用駆動軸７４が、シリンダー装置７８と離反する方向に移動しており、付勢部材８０が、ゲート開口部２０の長手方向に沿って、シリンダー装置７８と離反する方向に移動して、他方側弁板２４のゲート開口部２０の方向への付勢状態が解除された状態となっている。
すなわち、付勢部材８０の円錐形状部８０ａ、平坦部分８０ｂが、連結部３６のテーパー面３６ｃ、テーパー面３６ｄとの当接が解除された状態となっている。
この状態から、シリンダー装置７８を駆動させて、付勢用駆動軸７４を、シリンダー装
置７８の方向に移動させることによって、付勢部材８０が、ゲート開口部２０の長手方向に沿って、シリンダー装置７８の方向に移動する。
この状態から、シリンダー装置７８を駆動させて、付勢用駆動軸７４を、シリンダー装
置７８の方向に移動させることによって、付勢部材８０が、ゲート開口部２０の長手方向に沿って、シリンダー装置７８の方向に移動する。
これにより、付勢部材８０の円錐形状部８０ａが、連結部３６のテーパー面３６ｃ、３６ｄと当接することによって、他方側弁板２４を、ゲート開口部２０の方向に移動させる。
さらに、付勢部材８０の平坦部分８０ｂが、連結部３６のテーパー面３６ｃ、３６ｄと当接することによって、他方側弁板２４のを、ゲート開口部２０の方向に付勢するようになっている。
この状態で、二つの空間（チャンバー）内で、スパッタリング、プラズマエッチングなどのデバイスの成膜処理が行われる。
このような成膜処理が行われた後、図６に示したように、シリンダー装置７８が駆動して駆動軸が伸びた状態として、一方側の付勢用駆動軸７４を、シリンダー装置７８と離反する方向、すなわち、図６（C）において、矢印Ｄで示したように、左方向に移動させて
、付勢部材８０が、ゲート開口部１８の長手方向に沿って、左方向に移動して、一方側弁板２２のゲート開口部１８の方向への付勢状態が解除された状態とする。
このような成膜処理が行われた後、図６に示したように、シリンダー装置７８が駆動して駆動軸が伸びた状態として、一方側の付勢用駆動軸７４を、シリンダー装置７８と離反する方向、すなわち、図６（C）において、矢印Ｄで示したように、左方向に移動させて
、付勢部材８０が、ゲート開口部１８の長手方向に沿って、左方向に移動して、一方側弁板２２のゲート開口部１８の方向への付勢状態が解除された状態とする。
すなわち、付勢部材８０の円錐形状部８０ａ、平坦部分８０ｂが、連結部３２のテーパー面３２ｃ、テーパー面３２ｄとの当接が解除された状態とする。
同様に、シリンダー装置７８が駆動して駆動軸が伸びた状態として、他方側の付勢用駆動軸７４が、シリンダー装置７８と離反する方向に移動しており、付勢部材８０を、ゲート開口部２０の長手方向に沿って、シリンダー装置７８と離反する方向に移動させて、他方側弁板２４のゲート開口部２０の方向への付勢状態が解除された状態とする。
同様に、シリンダー装置７８が駆動して駆動軸が伸びた状態として、他方側の付勢用駆動軸７４が、シリンダー装置７８と離反する方向に移動しており、付勢部材８０を、ゲート開口部２０の長手方向に沿って、シリンダー装置７８と離反する方向に移動させて、他方側弁板２４のゲート開口部２０の方向への付勢状態が解除された状態とする。
すなわち、付勢部材８０の円錐形状部８０ａ、平坦部分８０ｂが、連結部３６のテーパー面３６ｃ、テーパー面３６ｄとの当接が解除された状態とする。
この状態から、図４、図３、図５（Ｅ）〜（Ａ）に示したように、シリンダー装置５０を駆動して、駆動軸５２を下降させることによって、リンク部材４６を介して、移動部材４４を下降させる。この移動部材４４の下降により、リンク部材４０が矢印と反対の方向に回動する。
この状態から、図４、図３、図５（Ｅ）〜（Ａ）に示したように、シリンダー装置５０を駆動して、駆動軸５２を下降させることによって、リンク部材４６を介して、移動部材４４を下降させる。この移動部材４４の下降により、リンク部材４０が矢印と反対の方向に回動する。
これにより、リンク部材４０の一端に固定された回転駆動軸３０が、リンク部材４０と同じ方向に回転し、回転駆動軸３０に固定された連結部３２を介して、図５（Ｅ）〜（Ａ）に示したように、一方側弁板２２を、回転駆動軸３４を中心に、矢印Ｃと反対方向に、時計方向に略９０°回転させて、ゲート開口部１８から離反する方向に回動させることによって、図３、図５（Ａ）に示したように、一方側弁板２２が、ゲート開口部１８を開放した状態とする。
一方、図４、図３に示したように、シリンダー装置７０を駆動して、駆動軸７２を上昇させることによって、リンク部材６０を介して、移動部材６４を上昇させる。この移動部材６４の上昇により、リンク部材６０が矢印と反対の方向に回動する。
これにより、リンク部材６０の一端に固定された回転駆動軸３４が、リンク部材６０と同じ方向に回転し、回転駆動軸３４に固定された連結部３６を介して、図４、図３に示したように、他方側弁板２４を、回転駆動軸３４を中心に、矢印Ｇと反対方向に、反時計方向に略９０°回転させて、ゲート開口部２０から離反する方向に回動させることによって、図３、図４に示したように、他方側弁板２４が、ゲート開口部２０を開放した状態とする。
これによって、成膜処理が行われたデバイスを、二つの空間（チャンバー）の間を、開放されたゲート開口部１８、２０を介して、移動することができる。
そして、このようなデバイスの移動が終了した後、図示しないが、上記とは逆の作動を行えばよい。
そして、このようなデバイスの移動が終了した後、図示しないが、上記とは逆の作動を行えばよい。
すなわち、図３、図４、図５（Ａ）〜（Ｅ）に示したように、シリンダー装置５０を駆動して、駆動軸５２を上昇させることによって、リンク部材４６を介して、移動部材４４を上昇させる。この移動部材４４の上昇により、リンク部材４０が矢印の方向に回動する。
これにより、リンク部材４０の一端に固定された回転駆動軸３０が、リンク部材４０と同じ方向に回転し、回転駆動軸３０に固定された連結部３２を介して、図５（Ａ）〜（Ｅ）に示したように、一方側弁板２２を、回転駆動軸３４を中心に、矢印Ｃで示したように、反時計方向に略９０°回転させて、ゲート開口部１８の方向に回動させることによって、図４、図５（Ｅ）に示したように、一方側弁板２２が、ゲート開口部１８を閉止した状態とする。
一方、図７に示したように、シリンダー装置７８を駆動させて、図７（Ｃ）の矢印Ｅに示したように、付勢用駆動軸７４を、シリンダー装置７８の方向、すなわち、図７（C）
において右方向に移動させることによって、付勢部材８０が、ゲート開口部１８の長手方向に沿って、右方向に移動する。
において右方向に移動させることによって、付勢部材８０が、ゲート開口部１８の長手方向に沿って、右方向に移動する。
これにより、付勢部材８０の円錐形状部８０ａが、連結部３２のテーパー面３２ｃ、３２ｄと当接することによって、一方側弁板２２を、ゲート開口部１８の方向に移動させる。
さらに、付勢部材８０の平坦部分８０ｂが、連結部３２のテーパー面３２ｃ、３２ｄと当接することによって、一方側弁板２２を、ゲート開口部１８の方向に付勢する。
一方、図３、図４に示したように、シリンダー装置７０を駆動して、駆動軸７２を下降させることによって、リンク部材６０を介して、移動部材６４を下降させる。この移動部材６４の下降により、リンク部材６０が矢印の方向に回動する。
一方、図３、図４に示したように、シリンダー装置７０を駆動して、駆動軸７２を下降させることによって、リンク部材６０を介して、移動部材６４を下降させる。この移動部材６４の下降により、リンク部材６０が矢印の方向に回動する。
これにより、リンク部材６０の一端に固定された回転駆動軸３４が、リンク部材６０と同じ方向に回転し、回転駆動軸３４に固定された連結部３６を介して、図３、図４に示したように、他方側弁板２４を、回転駆動軸３４を中心に、矢印Ｇで示したように、時計方向に略９０°回転させて、ゲート開口部２０の方向に回動させることによって、図３、図４に示したように、他方側弁板２４が、ゲート開口部２０を閉止した状態とすれば良い。
以上のようなサイクルを繰り返すことによって、開弁、閉弁作動を実施することができる。
さらに、メンテナンスの際には、弁箱本体１２が、一方側の側壁部分２６と、他方側の側壁部分２８とに分離可能であるので、一方側の側壁部分と、他方側の側壁部分の結合を解除して、図示しないが、チャンバーを離反する方向に移動させて、弁箱本体１２を分離することによって、それぞれの弁板が露出され、チャンバーの外側から確実にシール材や弁板２２、２４を交換可能で、ゲート弁１０の不具合を確認できる。
さらに、メンテナンスの際には、弁箱本体１２が、一方側の側壁部分２６と、他方側の側壁部分２８とに分離可能であるので、一方側の側壁部分と、他方側の側壁部分の結合を解除して、図示しないが、チャンバーを離反する方向に移動させて、弁箱本体１２を分離することによって、それぞれの弁板が露出され、チャンバーの外側から確実にシール材や弁板２２、２４を交換可能で、ゲート弁１０の不具合を確認できる。
このように構成される本発明のゲート弁１０によれば、シリンダー装置５０、駆動軸５２、リンク部材４６、移動部材４４、回転駆動軸３０、リンク部材４０、連結部３２などから構成される一方側弁板駆動機構、ならびに、一方側の付勢用駆動軸７４、付勢部材８
０、シリンダー装置７８、付勢部材８０の円錐形状部８０ａ、平坦部分８０ｂ、連結部３２のテーパー面３２ｃ、テーパー面３２ｄから構成される一方側弁板付勢機構によって、一方側弁板２２が、一方側の側壁１４のゲート開口部１８に対して閉止、付勢される。
０、シリンダー装置７８、付勢部材８０の円錐形状部８０ａ、平坦部分８０ｂ、連結部３２のテーパー面３２ｃ、テーパー面３２ｄから構成される一方側弁板付勢機構によって、一方側弁板２２が、一方側の側壁１４のゲート開口部１８に対して閉止、付勢される。
また、シリンダー装置７０、駆動軸７２、リンク部材６０、移動部材６４、回転駆動軸３４、リンク部材６０、連結部３６などから構成される他方側弁板駆動機構、ならびに、他方側の付勢用駆動軸７４、付勢部材８０、シリンダー装置７８、付勢部材８０の円錐形状部８０ａ、平坦部分８０ｂ、連結部３６のテーパー面３６ｃ、テーパー面３６ｄから構成される他方側弁板付勢機構によって、他方側弁板２４が、他方側の側壁１６のゲート開口部２０に対して閉止、付勢される。
従って、これにより、確実に開口部１８、２０を閉塞し、チャンバー内の反応ガスが外部に放出されない安全性の高いゲート弁を得ることができる。
しかも、一方側弁板２２と他方側弁板２４が、独立して、一方側弁板駆動機構、一方側弁板付勢機構、ならびに、他方側弁板駆動機構、他方側弁板付勢機構によって駆動されるので、複雑な構造が不要であり、ゲート弁自体が大型化してしまうことがなく、優れたシール性を有するとともに、メンテナンスが容易に行うことができ、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供することができる。
しかも、一方側弁板２２と他方側弁板２４が、独立して、一方側弁板駆動機構、一方側弁板付勢機構、ならびに、他方側弁板駆動機構、他方側弁板付勢機構によって駆動されるので、複雑な構造が不要であり、ゲート弁自体が大型化してしまうことがなく、優れたシール性を有するとともに、メンテナンスが容易に行うことができ、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供することができる。
さらに、弁板をゲート開口部の位置に移動する弁板駆動機構と、弁板を、ゲート開口部、すなわち、シール座面の方向に付勢する機構が独立した駆動機構により行われているので、弁板がその背面から、シール座面に対して均一に押圧されることになる。
従って、シール材に均一に荷重がかかり、高いシール性を維持することが可能となる。
さらに、シール材がシール座面に片当たりして、シール材に対してスラスト荷重がかかることがなく、シール材が転動することもないので、シール性が低下することがない。
さらに、シール材がシール座面に片当たりして、シール材に対してスラスト荷重がかかることがなく、シール材が転動することもないので、シール性が低下することがない。
また、例えば、二つの空間（チャンバー）の連結部分に設けることによって、略箱形状に形成された弁箱本体１２によって、弁箱本体１２内が独立した空間１１を形成することができる。
また、この弁箱本体１２の内部に設けられた、一方側の側壁１４のゲート開口部１８を開閉する一方側弁板２２と、他方側の側壁１６のゲート開口部２０を開閉する他方側弁板２４とによって、２重シールの構造のゲート弁を提供することができる。
これによって、優れたシール性を有するとともに、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供することができる。
すなわち、片側の弁板で不具合があり、リークした場合でも他方側のゲート開口部が閉塞しているため、二つの空間を確実に封止することが可能となる。
すなわち、片側の弁板で不具合があり、リークした場合でも他方側のゲート開口部が閉塞しているため、二つの空間を確実に封止することが可能となる。
さらに、一方側弁板２２と他方側弁板２４から構成される一対の弁板２２、２４が、ゲート開口部１８、２０を閉塞し、弁箱本体１２内が独立した空間１１を形成するため、弁箱本体１２内に、例えば、漏洩検知器を設けることにより、確実に反応ガスのリークを検知することができ、安全性に優れたゲート弁を提供できる。
また、独立した空間１１を形成する弁箱本体１２内に、例えば、排気ポートを設けることで、リークした反応生成ガスを廃棄処理経路へ安全に排気することができる。
さらに、独立した空間１１を形成する弁箱本体１２内に、例えば、窒素ガス等を導入することで、弁箱本体１２内の内圧をチャンバー４２、４４内の内圧より高く設定することで、弁板２２、２４のゲート開口部１８、２０への押付け力を高め、シール性能を向上さ
せることが可能となる。
さらに、独立した空間１１を形成する弁箱本体１２内に、例えば、窒素ガス等を導入することで、弁箱本体１２内の内圧をチャンバー４２、４４内の内圧より高く設定することで、弁板２２、２４のゲート開口部１８、２０への押付け力を高め、シール性能を向上さ
せることが可能となる。
また、一方側弁板２２の開閉の際の回転駆動軸３０を中心とした回転方向と、他方側弁板２４の開閉の際の回転駆動軸３４を中心とした回転方向とが、相互に同じ回転方向であるので、ゲート開口部１８、２０を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
また、一方側弁板２２の開閉の際の回転駆動軸３０と、他方側弁板２４の開閉の際の回転駆動軸３４が、相互にゲート開口部１８、２０を挟んで上下に位置するように構成されているので、ゲート開口部を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
また、弁箱本体１２が、一方側の側壁部分２６と、他方側の側壁部分２８とに分離可能であるので、メンテナンスの際に、弁箱本体１２を分離することによって、それぞれの弁板２２、２４が露出されるので、チャンバー４２、４４の外側から確実にシール材や弁板２２、２４を交換可能で、ゲート弁の不具合を確認できるなど、メンテナンスが容易になる。
さらに、一方側弁板２２と、他方側弁板２４とが、相互に独立に駆動可能であるので、ゲート開口部１８、２０を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
また、一方側の側壁１４のゲート開口部１８に対応して、他方側の側壁１６のゲート開口部２０が複数個形成されるとともに、この複数個のゲート開口部１８、２０に対応して、複数個の弁板２２、２４が設けられているので、例えば、半導体製造装置など、太陽電池などの薄膜作成装置において、一度に複数枚のデバイスの成膜処理を行うことにより、生産性を向上することができる。
なお、上記の実施例では、一方側弁板２２を、ゲート開口部１８の下方の位置に回転可能に固定するとともに、他方側弁板２４を、ゲート開口部２０の上方の位置に回転可能に固定したが、逆に、図１１に示したように、一方側弁板２２を、ゲート開口部１８の上方の位置に回転可能に固定するとともに、他方側弁板２４を、ゲート開口部２０の下方の位置に回転可能に固定することも可能である。
さらに、図１２に示したように、一方側弁板２２を、ゲート開口部１８の上方の位置に回転可能に固定するとともに、他方側弁板２４を、ゲート開口部２０の上方の位置に回転可能に固定することも、また、逆に、図１３に示したように、一方側弁板２２を、ゲート開口部１８の下方の位置に回転可能に固定するとともに、他方側弁板２４を、ゲート開口部２０の下方の位置に回転可能に固定することも可能である。
このように構成することによっても、一方側弁板２２と、他方側弁板２４とが、相互に独立に駆動可能であれば、ゲート開口部１８、２０を開閉する際に、弁板同士が干渉することがないので、ゲート弁の面間隔、すなわち、ゲート弁の幅を狭くすることができ、全体としてコンパクトなゲート弁を提供することが可能である。
以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、例えば、上記実施例では、真空ゲート弁に用いる場合について説明したが、その
他の用途のゲート弁として用いることも可能であるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
他の用途のゲート弁として用いることも可能であるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
１０ ゲート弁
１１ 空間
１２ 弁箱本体
１３ 軸受け部材
１４ 側壁
１５ シール材
１６ 側壁
１８ ゲート開口部
２０ ゲート開口部
２２ 一方側弁板
２４ 他方側弁板
２６ 側壁部分
２８ 側壁部分
３０ 回転駆動軸
３２ 連結部
３２ａ 軸孔
３２ｂ ネジ孔
３２ｃ テーパー面
３２ｄ テーパー面
３４ 回転駆動軸
３６ 連結部
３６ａ 軸孔
３６ｂ ネジ孔
３６ｃ テーパー面
３６ｄ テーパー面
４０ リンク部材
４２ ピボットピン
４４ 移動部材
４６ リンク部材
４８ ピボットピン
５０ シリンダー装置
５２ 駆動軸
６０ リンク部材
６２ ピボットピン
６４ 移動部材
６６ リンク部材
６８ ピボットピン
７０ シリンダー装置
７２ 駆動軸
７４ 付勢用駆動軸
７６ 軸受け部材
７８ シリンダー装置
８０ 付勢部材
８０ａ 円錐形状部
８０ｂ 平坦部分
１００ ゲート弁
１０２ 担体プレート
１０４ 側壁
１０６ ローラガイド
１０７ ベローズ
１０８ パッキンプレート
１１０ ブッシュ
１１２ ガイドピン
１１４ ゲート開口部
１１６ 駆動装置
１２０ ゲート弁
１２２ 弁体
１２４、１２６ 弁板
１２８ 弁棒
１３０ 作動ロッド
１３２ リンク部
１４０ ゲート弁
１４１ シリンダー
１４２ 弁体
１４４ ストッパ
１４６ 開口部
１４８ ボール保持板
１５０ ボール
１５２ ボール受
１５４ 円錐形状斜面
１５６ シール面
１１ 空間
１２ 弁箱本体
１３ 軸受け部材
１４ 側壁
１５ シール材
１６ 側壁
１８ ゲート開口部
２０ ゲート開口部
２２ 一方側弁板
２４ 他方側弁板
２６ 側壁部分
２８ 側壁部分
３０ 回転駆動軸
３２ 連結部
３２ａ 軸孔
３２ｂ ネジ孔
３２ｃ テーパー面
３２ｄ テーパー面
３４ 回転駆動軸
３６ 連結部
３６ａ 軸孔
３６ｂ ネジ孔
３６ｃ テーパー面
３６ｄ テーパー面
４０ リンク部材
４２ ピボットピン
４４ 移動部材
４６ リンク部材
４８ ピボットピン
５０ シリンダー装置
５２ 駆動軸
６０ リンク部材
６２ ピボットピン
６４ 移動部材
６６ リンク部材
６８ ピボットピン
７０ シリンダー装置
７２ 駆動軸
７４ 付勢用駆動軸
７６ 軸受け部材
７８ シリンダー装置
８０ 付勢部材
８０ａ 円錐形状部
８０ｂ 平坦部分
１００ ゲート弁
１０２ 担体プレート
１０４ 側壁
１０６ ローラガイド
１０７ ベローズ
１０８ パッキンプレート
１１０ ブッシュ
１１２ ガイドピン
１１４ ゲート開口部
１１６ 駆動装置
１２０ ゲート弁
１２２ 弁体
１２４、１２６ 弁板
１２８ 弁棒
１３０ 作動ロッド
１３２ リンク部
１４０ ゲート弁
１４１ シリンダー
１４２ 弁体
１４４ ストッパ
１４６ 開口部
１４８ ボール保持板
１５０ ボール
１５２ ボール受
１５４ 円錐形状斜面
１５６ シール面
Claims (11)
- 略箱形状に形成された弁箱本体と、
前記弁箱本体に、その対向する一対の側壁を貫通して形成されたゲート開口部と、
前記弁箱本体の内部に設けられ、一方側の側壁のゲート開口部を開閉する一方側弁板と、
前記弁箱本体の内部に設けられ、他方側の側壁のゲート開口部を開閉する他方側弁板と、
前記一方側弁板を、一方側の側壁のゲート開口部に対して閉止する一方側弁板駆動機構と、
前記他方側弁板を、他方側の側壁のゲート開口部に対して閉止する他方側弁板駆動機構と、
前記一方側弁板を、一方側の側壁のゲート開口部に対して閉止した後、一方側弁板を、一方側の側壁のゲート開口部の方向に付勢する一方側弁板付勢機構と、
前記他方側弁板を、他方側の側壁のゲート開口部に対して閉止した後、他方側弁板を、他方側の側壁のゲート開口部の方向に付勢する他方側弁板付勢機構と、
を備えることを特徴とするゲート弁。 - 前記一方側弁板が、回転駆動軸を中心に回転することによって、一方側の側壁のゲート開口部を開閉するように構成されるとともに、
前記他方側弁板が、回転駆動軸を中心に回転することによって、他方側の側壁のゲート開口部を開閉するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載のゲート弁。 - 前記一方側弁板の開閉の際の回転駆動軸と、他方側弁板の開閉の際の回転駆動軸が、相互にゲート開口部を挟んで上下に位置するように構成されていることを特徴とする請求項２に記載のゲート弁。
- 前記弁板駆動機構が、ゲート開口部の短手方向に移動する移動部材によって、弁板をゲート開口部に対して離接する方向に移動させて、ゲート開口部を開閉するように構成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のゲート弁。
- 前記弁板付勢機構が、弁板の長手方向の端部をゲート開口部の方向に付勢するように構成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のゲート弁。
- 前記弁板付勢機構が、ゲート開口部の長手方向に沿って移動する付勢部材を備え、
前記付勢部材が、ゲート開口部の長手方向に沿って移動することによって、弁板の長手方向の端部と当接して、弁板の端部をゲート開口部の方向に付勢するように構成されていることを特徴とする請求項５に記載の記載のゲート弁。 - 前記弁板付勢機構が、弁板の長手方向の両端部をゲート開口部の方向に付勢するように構成されていることを特徴とする請求項５から６のいずれかに記載のゲート弁。
- 前記弁箱本体が、一方側の側壁部分と、他方側の側壁部分とに分離可能に構成されていることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のゲート弁。
- 前記一方側弁板と、他方側弁板とが、相互に独立に駆動可能に構成されていることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載のゲート弁。
- 前記一方側の側壁のゲート開口部が、複数個形成されるとともに、
前記一方側の側壁のゲート開口部に対応して、前記他方側の側壁のゲート開口部が、複
数個形成されていることを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載のゲート弁。 - 前記一方側の側壁のゲート開口部が複数個形成されるとともに、この複数個のゲート開口部に対応して、複数個の一方側弁板が設けられ、
前記一方側の側壁のゲート開口部に対応して、前記他方側の側壁のゲート開口部が複数個形成されるとともに、この複数個のゲート開口部に対応して、複数個の他方側弁板が設けられていることを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載のゲート弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007266973A JP2009097534A (ja) | 2007-10-12 | 2007-10-12 | ゲート弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007266973A JP2009097534A (ja) | 2007-10-12 | 2007-10-12 | ゲート弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009097534A true JP2009097534A (ja) | 2009-05-07 |
Family
ID=40700732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007266973A Withdrawn JP2009097534A (ja) | 2007-10-12 | 2007-10-12 | ゲート弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2009097534A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101095509B1 (ko) | 2009-06-04 | 2011-12-19 | 주식회사 에스에프에이 | 박막 태양전지 제조용 화학 기상 증착 장치 |
-
2007
- 2007-10-12 JP JP2007266973A patent/JP2009097534A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101095509B1 (ko) | 2009-06-04 | 2011-12-19 | 주식회사 에스에프에이 | 박막 태양전지 제조용 화학 기상 증착 장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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