KR100574686B1 - 안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브 - Google Patents

안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브 Download PDF

Info

Publication number
KR100574686B1
KR100574686B1 KR1020050092068A KR20050092068A KR100574686B1 KR 100574686 B1 KR100574686 B1 KR 100574686B1 KR 1020050092068 A KR1020050092068 A KR 1020050092068A KR 20050092068 A KR20050092068 A KR 20050092068A KR 100574686 B1 KR100574686 B1 KR 100574686B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
hollow
vacuum
gate valve
opening
closing plate
Prior art date
Application number
KR1020050092068A
Other languages
English (en)
Inventor
손병창
Original Assignee
주식회사 엠아이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 엠아이 filed Critical 주식회사 엠아이
Application granted granted Critical
Publication of KR100574686B1 publication Critical patent/KR100574686B1/ko
Priority to PCT/KR2006/002706 priority Critical patent/WO2007008019A1/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

안티-흡입 백 기능(anti-suck back function)을 갖는 진공 게이트 밸브가 개시된다. 진공 게이트 밸브는 제 1 중공을 갖는 베이스 바디가 포함된다. 메인 바디는 베이스 바디의 한쪽 면에 결합되며 베이스 바디의 제 1 중공과 상응한 제 2 중공을 갖는다. 상부 바디는 베이스 바디의 대향 된 위치의 메인 바디의 다른 쪽 면에 결합되며 메인 바디의 제 2 중공과 상응한 제 3 중공을 갖는다. 개폐 플레이트는 베이스 바디의 제 2 중공에서 수직으로 승강/하강 가능하게 설치되어 상부 바디의 제 3 중공을 폐쇄시킨다. 개폐 플레이트는 진공 펌프의 이상 발생시 베이스 플레이트의 제 1 중공 측과 상부 플레이트의 제 3 중공 측의 압력차로 인해 수직 상승하여 상부 바디의 제 3 중공을 폐쇄시킨다. 이러한 구조로 인하여, 진공 펌프의 고장 및 에러에 따른 반도체 및 LCD 고진공 제품 및 일반 산업용 저진공 제품 등의 제조장치의 진공을 유지시킬 수 있다.
안티-흡입, 백 기능, 진공, 게이트 밸브.

Description

안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브 {VACUUM GATE VALVE HAVING ANTI-SUCK BACK FUNCTION}
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 안티-흡입 백 기능을 갖는 밸브가 제조장치와 진공펌프 사이에 설치된 상태의 도면;
도 2는 도 1에서 보여준 진공 게이트 밸브의 단면도로서, 가스 통로가 개방된 상태의 도면;
도 3은 도 1에서 보여준 진공 게이트 밸브의 단면도로서, 가스 통로가 폐쇄된 상태의 도면;
도 4는 본 발명 및 종래 기술에 따른 진공 게이트 밸브의 시간/압력 비교 그래프; 및
도 5는 본 1에서 보여준 개폐 플레이트의 변형 예를 도시한 도면이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100: 제조 장치 102: 배관 라인
200: 진공 펌프 300: 진공 게이트 밸브
310: 베이스 바디 312: 제 1 중공
314: 가이드 핀 320: 메인 바디
322: 제 2 중공 324: 경사 안내부
330: 상부 바디 332: 제 3 중공
334: 밀폐링 340: 개폐 플레이트
342: 가이드 홈
본 발명은 진공 게이트 밸브에 관한 것으로서, 특히 안티-흡입 백 기능(anti-suck back function)을 갖는 진공 게이트 밸브에 관한 것이다.
반도체 및 LCD 제조장치의 공정챔버 출구 측과 진공펌프 사이에는 배관 및 진공펌프 등 부대설비의 보수, 유지시 배관 라인의 개폐를 위하여 진공 게이트 밸브가 설치된다. 종래의 진공 게이트 밸브의 작동방식으로는, 수동 개폐와 자동개폐로 구분되며, 자동 개폐방식에는 압축 공기 또는 전기 구동 방식이 있다.
진공 게이트 밸브는 진공 챔버나 진공상태하의 프로시스 모듈을 대기와 차단시키는 역할을 한다. 예를 들면 웨이퍼 이송장치, 고진공 펌프 라인 (고진공 터보 펌프 / 확산 펌프와 진공 시스템 사이에 위치) 등에 쓰인다. 특히 CTC 시스템(Cluster Tool Control system)에서는 중앙의 웨이퍼 이송 장비와 프로세스 모듈 사이를 차단하여 각 공정을 독립적으로 수행할 수 있도록 하는 역할을 한다. 주로 실링 역할을 하는 게이트(gate)는 수직 상하 운동을 하며 실링 부위로는 밸브 자체를 대기와 차단하는 몸체 부분의 실(Body Seal Viton O-Ring이나 Cu Gasket형), 수직 상하 운동하는 축이 움직여 밸브가 열리고 닫히는 작동을 한다.
최근 반도체 및 LCD 제조기술 발전에 따른 기판의 대형화에 따라 진공 게이트 밸브가 설치되는 진공 배관의 구경이 커지고 있다. 그러나 진공 펌프 등 부대 설비의 잦은 고장으로 인하여 보수, 유지비용이 증가 될 뿐만 아니라 장비 휴지시간이 증가하여 결국 그로 인한 제조원가 상승 및 생산성이 저하되는 문제가 생긴다. 특히, 진공 펌프의 고장 및 에러 발생시 진공 게이트 밸브의 늦은 대응, 즉 진공 펌프의 고장 신호를 출력하고 그 출력 신호를 입력받은 CPU가 게이트 밸브를 폐쇄시키는 등의 과정에 의해 게이트 밸브의 폐쇄 작동됨으로 인해 신속한 대응이 어려웠었다.
이에 따라, 진공 펌프의 고장 및 에러 발생 즉시 진공 게이트 밸브를 폐쇄시켜 제조 중인 반도체 및 LCD 고진공 제품 및 일반 산업용 저진공 제품 등의 제품 손상을 효과적으로 방지할 수 있는 장치가 요구되었다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 진공 펌프의 고장 발생시 빠른 대응으로 반도체 및 LCD 고진공 제품 및 일반 산업용 저진공 제품 등을 효과적으로 보호할 수 있는 안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브를 제공하는 데 있다.
상기 목적들을 달성하기 위해, 본 발명은
반도체 및 LCD 제조장치의 공정챔버 출구 측과 진공펌프 사이에 제공되어 배관 및 진공펌프 등 부대설비의 보수/유지시 배관 라인을 개폐시키는 진공 게이트 밸브로서,
제 1 중공을 갖는 베이스 바디;
상기 베이스 바디의 한쪽 면에 결합되며 상기 베이스 바디의 제 1 중공과 상응한 제 2 중공을 갖는 메인 바디;
상기 베이스 바디의 대향 된 위치의 상기 메인 바디의 다른 쪽 면에 결합되며 상기 메인 바디의 제 2 중공과 상응한 제 3 중공을 갖는 상부 바디; 및
상기 베이스 바디의 제 2 중공에서 수직으로 승강/하강 가능하게 설치되어 상기 상부 바디의 제 3 중공을 폐쇄시키는 개폐 플레이트를 포함하여 이루어지고,
상기 베이스 바디의 표면 가장 자리에는 적어도 하나 이상의 가이드 핀이 돌출되고, 상기 개폐 플레이트의 이면 가장 자리에는 상기 가이드 핀들이 각각 끼워지는 가이드 홈이 형성되고,
상기 개폐 플레이트는 상기 진공 펌프의 이상 발생시 상기 베이스 플레이트의 제 1 중공 측과 상기 상부 플레이트의 제 3 중공 측의 압력차로 인해 수직 상승하여 상기 상부 바디의 제 3 중공을 폐쇄시키는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브를 제공한다.
바람직하게는, 상기 메인 바디의 제 1 중공의 내벽에는 안내 경사부가 양단에 제공된다.
삭제
바람직하게는, 상기 상부 바디의 이면에는 상기 개폐 플레이트와 접촉되는 부위에 밀폐링이 제공된다.
바람직하게는 상기 개폐 플레이트는 상기 상부 바디의 제 3 중공을 향하여 중앙이 돌출되도록 테이퍼져 형성된다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브는, 베이스 바디, 메인바디 및 상부 바디를 결합하여 이루어진 진공 게이트 밸브 내에 가스 통로를 형성하고, 그 가스 통로에는 압력 차에 따라 수직 이동 가능한 개폐 플레이트를 제공한다. 이러한 구조로 인하여, 진공 펌프의 고장에 따른 압력 차에 의해 개폐 플레이트가 자동으로 가스 통로를 폐쇄시킴에 따라 반도체 및 LCD 제조장치의 진공을 유지시켜 생산되는 제품을 보호할 수 있다.
본 발명의 목적 및 장점은 첨부된 도면을 참조로 한 하기의 바람직한 실시 예의 상세한 설명에 의해 더욱 명확해질 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 안티-흡입 백 기능을 갖는 밸브가 진공설비와 진공펌프 사이에 설치된 상태를 보여준다.
도 1을 참조하면, 안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브(300)는 반도체 및 LCD 제조장치(100)(이하, "제조장치"라 칭함)와 진공펌프(200) 사이에 제공되어 배관 및 진공펌프 등 부대설비의 보수/유지시 배관 라인(102)을 개폐시킨다. 여기서, "안티-흡입 백 기능(anti-suck back function)" 이란 진공 펌프(200)의 이상 발생시 그 발생된 압력 차이에 따라 개폐 플레이트(340)가 자동으로 수직 상승하여 상부 바디(330)의 제 3 중공(332)을 폐쇄시키기 위한 기능을 말한다 (추후 설명 될 도 3 참조).
삭제
2는 도 1에서 보여준 진공 게이트 밸브의 단면도로서, 가스 통로가 개방된 상태를 보여준다. 도 3은 도 1에서 보여준 진공 게이트 밸브의 단면도로서, 가스 통로가 폐쇄된 상태를 보여준다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공 게이트 밸브(300)는 메인 바디(320)의 상부 및 하부에 상부 바디(330)와 베이스 바디(310)를 결합하여 이루어진다.
베이스 바디(310)에는 제 1 중공(312)이 수직으로 관통된다.
메인 바디(320)에는 베이스 바디(310)의 제 1 중공(312)과 상응한 제 2 중공(322)이 형성된다. 메인 바디(320)는 베이스 바디(310)의 한쪽 면, 즉 상부 면에 결합된다. 메인 바디(320)의 제 1 중공(312)의 내벽에는 경사 안내부(324)가 양단에 제공되는 것이 바람직하다. 경사 안내부(324)는 제 1 중공(312)의 사방 구석을 따라 형성되어 가스의 흐름을 원활히 안내할 수 있다.
상부 바디(330)는 메인 바디(320)의 제 2 중공(322)과 상응한 제 3 중공(332)이 형성된다. 상부 바디(330)는 베이스 바디(310)의 대향 된 위치가 되도록 메인 바디(320)의 다른 쪽 면, 즉 상부 면에 결합된다.
개폐 플레이트(340)는 베이스 바디(310)의 제 2 중공(322)에서 수직으로 승강/하강 가능하게 설치된다. 개폐 플레이트(340)는 승강/하강 동작에 의해 상부 바디(330)의 제 3 중공(332)을 폐쇄시킨다. 개폐 플레이트(340)의 표면은 평면으로 형성될 수도 있다. 이러한 평면 형상의 개폐 플레이트(340)는 로드 록(Load lock) 공정과 같이 파우더가 생성되지 않는 공정에서 사용될 수 있다.
여기서, 베이스 바디(310)의 제 1 중공(312), 메인 바디(320)의 제 2 중공 (322) 및 상부 바디(330)의 제 3 중공(332)은 서로 일치된 형상을 갖는데, 이들 제 1 중공(312), 제 2 중공(322) 및 제 3 중공(332)은 가스 통로(참조번호 미부여)를 이루게 된다.
상기한 개폐 플레이트(340)는 진공 펌프(200)의 이상 발생시 베이스 플레이트의 제 1 중공(312) 측과 상부 바디(330)의 제 3 중공(332) 측의 압력차로 인해 수직 상승하여 상부 바디(330)의 제 3 중공(332)을 폐쇄시킨다. 개폐 플레이트(340)는 상부 바디(330)의 제 3 중공(332)을 향하여 중앙이 테이퍼져 형성될 수 있다. 이는 제조 장치(100)로부터 밸브 라인(102)을 타고 내려오는 가스가 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같은 화살표의 방향으로 원활히 안내시키는 역할을 수행한다. 이러한 테이퍼진 형상의 개폐 플레이트(340)는 프로세스 공정과 같이 파우더(분말)가 형성되는 공정에서 사용될 수 있다. 이와 같이 테이퍼진 형상을 갖는 개폐 플레이트(340)는 파우더 적층을 최소화하기 위한 것이다.
베이스 바디(310)의 표면 가장 자리에는 적어도 하나 이상의 가이드 핀(314)이 돌출되고, 개폐 플레이트(340)의 이면 가장 자리에는 가이드 핀(314)들이 각각 끼워지는 가이드 홈(342)이 관통된다. 참고로, 도 2에서는 화살표로 표시된 바와 같이 공기 등의 흐름을 따라가다 보면 가이드 핀(314)에 의해 더 이상 진행하지 못하는 것처럼 보이지만, 실제로는 가이드 핀(314)들 사이에 충분한 공간이 확보되어 있어 이를 통해 공기 등이 수월하게 통과될 수 있다. 게다가, 가이드 핀(314)은 진공 펌프(200)에 의해 발생된 압력에 따라 개폐 플레이트(340)가 더 이상 하강하는 것을 방지한다.
상부 바디(330)의 이면에는 개폐 플레이트(340)와 접촉되는 부위에 오링과 같은 밀폐 링(334)이 제공된다. 즉, 밀폐 링(334)은 개폐 플레이트(340)와 신축 가능하게 접촉되어 밀폐력을 유지한다. 여기서, 도 2 및 도 3에서는 단지 밀폐 링(334)이 하나만 설치된 것을 보여주고 있지만 밀폐력을 향상시키기 위해 다수의 밀폐 링(334)을 적용할 수도 있다.
상기와 같은 구조를 가지는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브의 작용을 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
다시 도 1 내지 도 3을 참조하면, 반도체 및 LCD 제조를 위한 제조장치(100)의 진공을 유지하도록 진공 펌프(200)를 작동시킨다. 제조 장치(100) 내의 공기 등은 진공 게이트 밸브(300)의 가스 통로를 경유하여 진공 펌프(200)로 흡입된다. 다시 말해, 제조 장치(100) 내의 공기 등은 상부 바디(330)의 제 3 중공(332), 메인 바디(320)의 제 2 중공(322) 및 베이스 바디(310)의 제 1 중공(312)의 순서로 통과되어 진공 펌프(200)의 방향으로 흐른다. 이는 도 2에서 공기 등의 흐름은 화살표로 표시된다.
이때에는 개폐 플레이트(340)가 메인 바디(320)의 제 2 중공(322) 내에서 수평 위치되어 있다. 즉, 개폐 플레이트(340)가 상부 바디(330)의 제 3 중공(332)을 폐쇄하고 있지 않기 때문에 공기 등은 진공 게이트 밸브(300)를 통과하여 진공 펌프(200)의 방향으로 이동되는 상태이다. 특히, 도 2와 도 3에서와 같이 개폐 플레이트(340)는 중앙부위가 상부로 돌출된 테이퍼진 형상을 갖기 때문에 제조 장치 (100)의 방향으로부터 내려온 공기 등은 개폐 장치(100)의 테이퍼진 부분에 부딪혀 쉽게 이동될 수 있다. 즉, 공기 등은 개폐 플레이트(340)의 테이퍼진 부분에 부딪혀 가장 자리 부위로 용이하게 이동되다가, 메인 바디(320)의 경사 안내부(324)에 부딪혀 안내 이송되기 때문에 진공 펌프(200)의 방향을 향하여 용이한 흐름을 갖게 된다.
이 과정에서, 진공 펌프(200)의 에러나 다운(down) 발생시, 미세한 입자(particle)의 역류 현상으로 인한 웨이퍼(wafer)나 제조 장치(100) 내의 제품에 이상이 발생될 우려가 발생된다. 이를 보다 구체적으로 설명하면, 진공 게이트 밸브(300)의 입구 측, 즉 제조장치(100)의 챔버(도시 안 됨)측은 진공 상태가 그대로 유지되는 한편, 진공 게이트 밸브(300)의 출구 측, 즉 진공 펌프(200) 측은 대기압 상태로 변환된다.
이 순간, 상기한 압력 차이에 의해 개폐 플레이트(340)는 메인 바디(320)의 제 2 중공(322)으로부터 상부 바디(330)의 제 3 중공(332)을 폐쇄시켜 제조장치(100)의 진공 상태가 유지되도록 한다. 이때, 개폐 플레이트(340)는 상부 바디(330)의 이면에 접촉되나, 상부 바디(330)에 제공된 밀폐 링(334)에 의해 밀폐력은 크게 향상된다. 또한, 개폐 플레이트(340)의 이면은 중앙이 제 3 중공(332)의 방향으로 오목하게 들어간 테이퍼진 형태이기 때문에 개폐 플레이트(340)의 하부로부터 받은 압력을 많이 받게 된다. 이에 따라 개폐 플레이트(340)는 신속하게 이동되어 상부 바디(330)의 제 3 중공(332)을 페쇄하게 된다.
여기서, 개폐 플레이트(340)는 가장 자리에 관통된 가이드홈(342)에 베이스 바디(310)의 상면에 세워 설치된 가이드 핀(314)이 끼워진다. 즉, 개폐 플레이트(340)가 수직으로 상승 또는 하강할 때, 베이스 바디(310)의 가이드 핀(314)에 끼워진 상태에서 안내되기 때문에 측방 향으로 움직임이 방지될 수 있다.
결과적으로, 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브가 종래 기술에 따른 진공 게이트 밸브 보다 우수함을 보여주는 도면으로서, 도 4는 본 발명 및 종래 기술에 따른 진공 게이트 밸브의 시간/압력 비교 그래프이다. 이에 도시된 바와 같이, 시간이 대략 2000초에서 진공 펌프(200)를 정지시키면, 본 발명의 압력 변동 폭이 종래 기술에서 보다 훨씬 적다. 이는 본 발명의 진공 게이트 밸브(300)가 진공 펌프(200)의 고장 발생시 훨씬 빠르게 대응하여 가스 통로를 폐쇄한다는 것을 의미한다. 따라서 본 발명의 진공 게이트 밸브(300)가 종래 기술에 비해 훨씬 우수하다는 것을 알 수 있다.
이상에서 언급한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브에 따르면, 진공 펌프의 에러 및 고장 등의 이상 발생시 진공 게이트 밸브의 하부, 즉 진공 펌프 측은 진공 상태에서 대기압 상태로 변환되는 반면, 진공 게이트 밸브의 상부, 즉 제조 장치 측은 여전히 진공 상태이기 때문에 급격한 상압이 발생된다. 이에 따라, 메인 바디의 제 2 중공 내에서 개폐 플레이트는 수직 상승되어 상부 바디의 제 3 중공을 폐쇄함으로써 반도체 및 LCD의 제조 장치의 진공을 유지함에 따라 제조 중인 반도체 및 LCD 고진공 제품 및 일반 산업용 저진공 제품 등의 손상을 방지할 수 있는 유용한 발명이다.
이상에서는, 본 발명을 상기한 실시 예를 들어 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 이에 제한되는 것이 아니고, 해당기술 분야의 숙련된 당업자는 통상의 지식의 범위 내에서 그 변형이나 개량이 가능하다.

Claims (6)

  1. 반도체 및 LCD 등의 제조장치와 진공펌프 사이에 제공되어 배관 및 진공펌프 등 부대설비의 보수/유지시 배관 라인을 개폐시키는 진공 게이트 밸브로서,
    제 1 중공을 갖는 베이스 바디;
    상기 베이스 바디의 한쪽 면에 결합되며 상기 베이스 바디의 제 1 중공과 상응한 제 2 중공을 갖는 메인 바디;
    상기 베이스 바디의 대향 된 위치의 상기 메인 바디의 다른 쪽 면에 결합되며 상기 메인 바디의 제 2 중공과 상응한 제 3 중공을 갖는 상부 바디; 및
    상기 베이스 바디의 제 2 중공에서 수직으로 승강/하강 가능하게 설치되어 상기 상부 바디의 제 3 중공을 폐쇄시키는 개폐 플레이트를 포함하여 이루어지고,
    상기 베이스 바디의 표면 가장 자리에는 적어도 하나 이상의 가이드 핀이 돌출되고, 상기 개폐 플레이트의 이면 가장 자리에는 상기 가이드 핀들이 각각 끼워지는 가이드 홈이 관통되고,
    상기 개폐 플레이트는 상기 진공 펌프의 이상 발생시 상기 베이스 플레이트의 제 1 중공 측과 상기 상부 플레이트의 제 3 중공 측의 압력차로 인해 수직 상승하여 상기 상부 바디의 제 3 중공을 폐쇄시키는 것을 특징으로 하는 안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서, 상기 메인 바디의 제 1 중공의 내벽에는 안내 경사부가 양단에 제공된 것을 특징으로 하는 안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 상부 바디의 이면에는 상기 개폐 플레이트와 접촉되는 부위에 밀폐 링이 적어도 하나 이상 제공되는 것을 특징으로 하는 안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 개폐 플레이트는 상기 상부 바디의 제 3 중공을 향하여 중앙이 돌출되도록 테이퍼져 형성되는 것을 특징으로 하는 안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 개폐 플레이트의 표면은 평면인 것을 특징으로 하는 안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브.
KR1020050092068A 2005-07-08 2005-09-30 안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브 KR100574686B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/KR2006/002706 WO2007008019A1 (en) 2005-07-08 2006-07-10 Vacuum gate valve having anti-suck back function

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20050061642 2005-07-08
KR1020050061642 2005-07-08

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100574686B1 true KR100574686B1 (ko) 2006-04-27

Family

ID=37180923

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050092068A KR100574686B1 (ko) 2005-07-08 2005-09-30 안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR100574686B1 (ko)
CN (1) CN101228614A (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100768885B1 (ko) 2006-09-27 2007-10-22 주식회사 엠아이 자동 안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브
KR100823543B1 (ko) * 2007-08-21 2008-04-21 주식회사 엠아이 디엘씨 코팅 처리된 진공 게이트 밸브

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100768885B1 (ko) 2006-09-27 2007-10-22 주식회사 엠아이 자동 안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브
KR100823543B1 (ko) * 2007-08-21 2008-04-21 주식회사 엠아이 디엘씨 코팅 처리된 진공 게이트 밸브

Also Published As

Publication number Publication date
CN101228614A (zh) 2008-07-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6164664A (en) Kinematic coupling compatible passive interface seal
US7682462B2 (en) Cluster tool process chamber having integrated high pressure and vacuum chambers
JP2002536597A (ja) 可膨張性スリットバルブ及び可膨張性ゲートバルブ
JP6050521B2 (ja) スライド逆圧遮断バルブ
KR100574686B1 (ko) 안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브
KR102202570B1 (ko) 밸브 장치 및 유동 제어 방법
KR100629322B1 (ko) 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브
US20070075288A1 (en) Gate valve
KR102174139B1 (ko) 진자식 게이트 밸브
KR101301057B1 (ko) 웨이퍼 처리장치
KR100446455B1 (ko) 진공 게이트밸브
KR100768885B1 (ko) 자동 안티-흡입 백 기능을 갖는 진공 게이트 밸브
WO2007008019A1 (en) Vacuum gate valve having anti-suck back function
KR200195123Y1 (ko) 반도체용 공정챔버의 진공차단밸브장치
KR102131284B1 (ko) 도어 교체형 게이트 밸브 시스템
TWI585323B (zh) 止逆閥及防止氣體回沖的系統
KR102218020B1 (ko) 역압 차단 밸브
KR100974856B1 (ko) 로드락 챔버
KR20070069902A (ko) 수소 퍼지 장치를 가지는 반도체 장치 제조 장비
KR20060098486A (ko) 체크밸브
KR102207154B1 (ko) 게이트 밸브
KR102127189B1 (ko) 도어 교체형 게이트 밸브 시스템
KR100211657B1 (ko) 반도체 제조용 공정챔버의 로드 로크 진공장치
KR100707309B1 (ko) 도어 어셈블리
KR20230068631A (ko) 게이트 밸브 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
O035 Opposition [patent]: request for opposition
O132 Decision on opposition [patent]
O074 Maintenance of registration after opposition [patent]: final registration of opposition
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130422

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140404

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150408

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160406

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170412

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180412

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190410

Year of fee payment: 14