KR100629322B1 - 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 LCD 유리기판, 웨이퍼(wafer)등에 사용되는 박리 장비(DRY ASHER) 및 기타 진공기밀용기(ETCHER,CVD등)에 사용되는 게이트 밸브에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대형 LCD 유리기판용 진공기밀용기에 사용되는 기존 게이트 밸브의 구성요소인 밸브 가드(Valve Guard), 주체, 스프링, 스톱퍼, 로울러 등과 같은 다수의 기계적 가동부분이 가드 라인 내에 위치하고 있어 이들로부터 기계적 마모 등에 발생되는 불순물이 대형 LCD 유리기판용 진공기밀용기(ETCHER,CVD등)에 혼입되는 문제점을 개선하고자 베이스 플레이트, 씰 플레이트부, 가이드 블럭, 컨트롤 박스로 구성된 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브를 제공하는데 그 목적이 있다.
박리 장비, 게이트 밸브, 진공기밀용기

Description

밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브{THE GATE VALVE}
도 1은 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 평면도,
도 3은 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 좌측면도,
도 4는 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 우측면도,
도 5는 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 분해사시도,
도 6은 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 구성요소 중 베이스 플레이트의 양측면에 구성된 실린더 및 벨로우즈가 결합된 가이드 블럭을 도시한 일실시예도,
도 7은 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 구성요소 중 씰 플레이트부의 결합구조를 도시한 일실시예도,
도 8은 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 구성요소 중 씰 플레이트부의 하단면 결합구조를 도시한 일실시예도,
도 9는 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 구성요소 중 가이드 블럭의 구성을 도시한 분해사시도,
도 10은 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 구성요소 중 컨트롤 박스의 내부 구성을 도시한 내부 구성도,
도 11은 도 10은 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 구성요소 중 체크밸브의 내부 구성을 도시한 일실시예도,
도 12는 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브 내부로 유입되는 공기(Air)의 흐름을 도시한 일실예도,
도 13은 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 가이드 블럭을 통한 상하 운동과정을 도시한 일실시예도,
도 14는 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 씰 플레이트부가 진공기밀용기를 밀폐하고 차단하는 과정을 도시한 일실시예도.
〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉
10 : 베이스플레이트 20 : 씰플레이트
30 : 가이드블럭 40 : 컨트롤박스
본 발명은 LCD 유리기판, wafer등에 사용되는 박리 장비(DRY ASHER) 및 기타 진공기밀용기(ETCHER,CVD등) 일측에 형성되어 웨이퍼(WAFER) 또는 유리(GLASS)등을 넣고 애싱 공정(ASHING)을 끝내고 다시 꺼낼 때의 이동 출구로, 그 출구를 열고 닫는 기능의 게이트 밸브에 관한 것이다.
일반적으로, LCD기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정의 대부분은 진공상태에서 실시되고, LCD기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정을 실시하는 진공기밀용기에 고진공을 공급하기 위하여 진공펌프가 사용되며, 진공기밀용기와 외부 또는 다른 기밀용기와 격리시키기 위하여 게이트 밸브(gate valve)가 구비된다.
게이트밸브는 진공기밀용기와 외부 또는 다른 기밀용기사이에 설치되는 밸브바디(valve body)와, 개폐를 위한 구동력을 제공하는 실린더(cylinder)와, 실린더의 작동에 의해 이동하는 리프스프링과, 리프스프링의 가압에 의해 밸브바디를 밀폐시키는 한 쌍의 씰 플레이트로 구성된다.
이처럼 종래의 게이트 밸브는 밸브 데스크를 밸브 시트에 누르기 위해, 밸브 가드(valve guard), 밸브바디, 리프스프링, 스톱퍼, 로울러 등과 같은 다수의 기계적 가동부분이 게이트 밸브의 통로 내에 위치하고 있으며, 이들로부터 기계적 마모 등에 의해 발생되는 불순물이 상기 진공기밀용기내로 혼입될 우려가 많은 결점이 있었다.
또한, 씰 플레이트가 진공기밀용기에 밀착된 상태에서 밸브 가드가 내려오면서 오링에 손상을 가하거나, 전원이 끊겨서 에어 공급이 중단되어 밸브 가드가 내려올 경우 씰 플레이트에 부착된 오링에 손상을 가하는 문제점이 발생하였다.
그리고, 이처럼 손상된 오링만을 교체할 경우, 씰 플레이트와 연계된 구성요소를 일일이 분해해서 조립해야 하므로, 작업시간이 많이 걸리고 장비의 가동율이 현저하게 저하시키는 원인이 되었다.
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 이러한 진공기밀용기에 불순물이 유입되는 것을 방지함으로써 진공기밀용기가 안정하게 진공상태를 유지토록 하며, 오링이 외압에 의해 손상되는 것을 방지하며, 그 손상된 오링을 쉽게 교체할 수 있도록 한 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브를 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브는 반도체 박리 장비(DRY ASHER) 및 LCD 플라즈마 박리 장비 등에 쓰이는 진공기밀용기에 부착되도록 후면 일측에 가이드 핀(11)이 돌출되어 형성되고, 상단 가로방향으로 진공기밀용기의 밀폐 유지 및 해제를 위한 씰 플레이트부(20)와 짝을 이루는 밀폐홈(12)이 형성된 베이스 플레이트(10)와,
그 베이스 플레이트(10)에 형성된 밀폐홈과 짝을 이루며 제1 씰 플레이트(21)가 형성되고, 그 제1 씰 플레이트(21) 후단 일측의 씰 플레이트 리어(SEAL PLate REAR)(22)에 부착된 제1 벨로우즈(23) 및 박형 실린더(24)들의 구동(PUSH 또는 PULL)에 의해 와이퍼 및 유리(GLASS)를 챔버(진공용기)에 반입 및 반출시키는 씰 플레이트부(20)와,
씰 플레이트부(20)에 부착되어 결합된 다수개의 제1 벨로우즈(23) 및 박형 실린더(24) 타측과 연결되도록 장방형의 T-브랜치(31)가 형성되고, 그 T-브랜치(31) 양측에 제2 벨로우즈(32)가 형성되어 씰 플레이트부(20)를 상·하로 구동시키는 가이드 블럭(30)과,
상기 베이스 플레이트(10) 하단부에 부착되어 외부로 유입되는 공압을 조절해서 가이드 블럭(30)의 양측에 형성된 실린더(14)를 구동시키거나, 그 실린더의 구동속도를 조절하는 컨트롤 박스(40)로 구성됨으로서 달성된다.
이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 사시도에 관한 것이고, 도 2는 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 정면도에 관한 것이며, 도 3은 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 좌측면도에 관한 것이고, 도 4는 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 우측면도에 관한 것이며, 도 5는 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 분해사시도에 관한 것이다.
본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브는 베이스 플레이트, 씰 플레이트부, 가이드 블럭, 컨트롤 박스로 구성된다.
먼저, 본 발명에 따른 베이스 플레이트(10)에 관해 설명하기로 한다.
베이스 플레이트(10)는 반도체 박리 장비(DRY ASHER) 및 LCD 플라즈마 박리 장비에 쓰이는 챔버(진공용기)에 부착되도록 후면 일측에 가이드 핀이 돌출되어 형성되고, 상단 가로방향에는 챔버(진공용기)의 밀폐 유지 및 해제를 위한 씰 플레이트부(20)와 짝을 이루는 밀폐홈(12)이 형성되어 구성된다.
그리고, 베이스 플레이트(10)는 렌치 볼트(WRENCH BOLT)에 의해 상단면쪽으로는 상단 플레이트(Top Plate)(10a)와 연결되고, 하단면쪽으로는 하단 플레이트(Bottom Plate)(10b)와 연결되며, 양측면쪽으로 좌측(Left) 커버(10c)와, 우측(Right) 커버(10d)가 연결된다.
여기서, 본 발명에서는 우측(Right) 커버(10d) 상단 일측에 업 센서(Up Sensor)(10d-1)를 부착하여 가이드 블럭(30)이 일정한 높이에 올라가면 업 센서(10d-1)를 통해 감지하여 씰 플레이트부(20)에 부착된 박형 실린더(24)의 푸쉬(PUSH) 동작에 에어가 공급되어 챔버(진공용기)(100)를 안전하게 밀폐시킬 수가 있다.
그리고, 챔버(100)에 웨이퍼 및 유리(GLASS)를 반입 또는 반출시 씰 플레이트부(20)에 부착된 박형 실린더(24)의 풀(PULL) 동작에 에어가 공급되어 씰 플레이트(20)가 챔버(100)와 떨어진 후 양 실린더(14)의 다운(DOWN) 동작에 에어가 공급되어 가이드 블럭(30)이 우측 커버(10d) 하단 일측에 부착된 다운 센서(Down Sensor)(10d-2)가 감지될 때까지 내려오게 할 수 있다.
상기 우측커버(10d)에 부착된 업 센서(10d-1) 및 다운 센서(10d-2)는 좌측 커버(10c)에 부착된 업 센서(10c-1) 및 다운 센서(10c-2)도 구성될 수가 있다,
상기 좌측(Left) 커버(10c)와, 우측(Right) 커버(10d)의 후면에는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 게이트 밸브의 열림(OPEN) 및 닫힘(CLOSE)의 확인을 외부에서 육안으로 확인할 수 있는 표시부(Indicator)(10c-3, 10d-3)가 형성된다.
한편, 도 5에 도시된 바와 같이 베이스 플레이트(10)의 밀폐홈(12) 양측으로 가이드 블럭(30)의 상하 이동의 기준이 되는 샤프트(Shaft)(13)가 구성되고, 그 샤프트 측면(13)으로 실린더(14)가 연결되어 구성된다.
여기서, 실린더(14)는 도 6에 도시한 바와 같이 실린더 로드 상단부(140)와, 실린더 헤드부(150)에 실린더의 이동을 구속하는 스톱퍼(Stopper)(14a)가 형성되고, 그 실린더 로드 상단부(140)의 스톱퍼(Stopper)(14a) 하단 일측에 가이드 블럭(30)의 상(UP), 하(DOWN) 구동시 실린더(14)에 가해지는 충격을 완화시키는 소버(SORBOR)(14b)가 부착되어 형성되며, 실린더 헤드부(150) 일측과 하단부(150-1) 일측에 실린더 이동시 발생되는 파티클을 배기하는 배기포트(14c)가 각각 형성된다. 그리고, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 스톱퍼(Stopper)(14a) 하단에 'ㄱ'자형 이음부(160)가 연결되고, 도 5에 도시된 바와 같이 'ㄱ'자형 이음부(160)의 측면에 형성된 렌츠 볼트(Wrench Bolt)(160-1)에 의해 가이드 블럭(30)의 양측면에 형성된 제2 벨로우즈(32)와 결합된 가이드 블럭(30)이 연결된다.
그리고, 도 11에 도시된 바와 같이 실린더(14)의 업(UP)으로 들어가는 에어라인(170)에 체크 밸브(14d)가 설치됨으로서, 전원이 끊겨 에어 공급이 중단되어 가이드 블럭(30)이 내려갈 경우 제1 씰 플레이트(21)에 부착된 박스형상의 오링(210)에 손상을 가하는 문제점을 해결할 수가 있다.
한편, 도 5에서 도시한 바와 같이 실린더(14)와 연결된 가이드 블럭(30)의 이동방향(상하)쪽으로 케이블 및 공압 호스의 구동성과, 그 케이블 및 공압 호스를 보호하기 위한 케이블베어(CableVeyor)(34a)가 베이스 플레이트(10)에 부착됨으로서, 가이드 블럭이 이동시 케이블 및 공압 호스가 벗겨지거나 뒤틀림, 적임, 단선이 되는 것을 방지할 수 있는 좋은 효과가 있다.
다음으로, 씰 플레이트부(20)는 진공기밀용기의 밀폐 유지 및 해제를 위한 제1 씰 플레이트(21)가 장방형의 박스형상으로 형성되고, 그 제1 씰 플레이트(21) 후면에 씰 플레이트 리어(SEAL PLATE REAR)(22)가 형성되며, 그 씰 플레이트 리어(SEAL PLATE REAR)(22)에 다수개의 제1 벨로우즈(23) 및 박형 실린더(24)가 부착되어 형성됨으로서, 제1 벨로우즈(23) 및 박형 실린더(24)들의 구동(PUSH 또는 PULL)에 의해 웨이퍼 및 유리(GLASS)를 챔버(진공용기)(100)에 반입 및 반출시키도록 한다.
상기 제1 씰 플레이트(21)는 전면 모서리 둘레를 따라 박스형상의 오링(210)이 부착되어 설치됨으로써, 챔버(100)내로 누수(Leak)차단 및 기밀 유지가 되도록 한다.
그리고, 제1 씰 플레이트(21)와 씰 피엘 리어(SEAL PL REAR)(22)는 도 7에서 도시한 바와 같이 결합시 더브 테일(220) 구조로 결합되어 제1 씰 플레이트 교체시 작업속도를 향상 시킬 수 있고, 도 8에 도시한 바와 같이 제1 씰 플레이트(21)와 씰 플레이트 리어(SEAL PLATE REAR)(22) 결합 부위에 씰 플레이트 해체 지그를 별 도로 구성함으로서 제1 씰 플레이트(21)와 씰 플레이트 리어(SEAL PLATE REAR)(22)를 손쉽게 해체 할 수가 있다.
한편, 상기 박형 실린더(24)는 도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이 일측에 풀(PULL) 동작 감지 센서(24a)를 부착하고, 그 풀(PULL) 동작 감지 센서(24a)가 감지될 경우에만 양 실린더(14)의 다운(DOWN) 동작에 에어가 공급되어 가이드 블럭(30)이 안전하게 내려오도록 구동시킴으로서, 오작동으로 인해 씰 플레이트부(20)가 챔버(100)에 밀착된 상태에서 가이드 블럭(30)이 내려오면 오링(210)에 손상을 가하는 것을 방지할 수가 있다.
다음으로 가이드 블럭(30)은 씰 플레이트부(20)에 부착되어 결합된 다수개의 제1 벨로우즈(23) 및 박형 실린더(24) 타측과 연결되도록 장방형의 T-브랜치(31)가 형성되고, 그 T-브랜치(31) 양측에 제2 벨로우즈(32)가 형성되어 씰 플레이트부(20)를 상·하로 구동시킨다.
상기 T-브렌치(31)는 도 9에서 도시한 바와 같이 씰 플레이트부(20)에 부착되어 결합된 다수개의 제1 벨로우즈(23) 및 박형 실린더(24) 타측과 연결되도록 5~20Cm 간격으로 다수개의 박형 실린더 삽입홈(31a) 및 벨로우즈 연결용 볼 부쉬(Ball Bush)(31b)가 형성된다.
그리고, T-브렌치(31)의 양측에 형성된 요홈 이음부(31c) 쪽으로, 상하면에 볼 부쉬(Ball Bush)(32a-1)가 형성된 'ㅏ'자형 연결부(32a)가 삽입되어 연결되고, 그 'ㅏ'자형 연결부(32a)의 상하면에 형성된 볼 부쉬(Ball Bush)(32a-1)에 볼 부쉬 커버(Ball Bush Cover)(32b, 32c)가 연결되며, 그 볼 부쉬 커버(Ball Bush Cover)(32b, 32c)에 제2 벨로우즈(32)가 연결된다.
한편, 도 6에 도시한 바와 같이 'l'자형 연결부(34b-1)와 베이스 플레이트(10)가 접촉되는 부위에 케이블베어(CableVeyor)(34b)가 부착됨으로서, 가이드 블럭(30)이 이동시 케이블 및 공압 호스가 벗겨지거나 뒤틀림, 적임, 단선이 되는 것을 방지할 수 있는 좋은 효과가 있다.
또한, 가이드 블럭(30)은 도 7에 도시한 바와 같이 하단면에 벨로우즈 내부의 파티클을 배기시키기 위한 배기 포트(35)가 구성되고, 그 배기 포트(35) 일측에 실린더 구동 공압을 여러 갈래로 나누기 위한 공압 분기관(36)이 구성된다.
그리고, 가이드 블럭(30)은 도 8에 도시한 바와 같이 상단면에 제1 씰 플레이트(21)와 씰 플레이트 리어(SEAL PLATE REAR)(22)의 해체를 용이하게 하도록 씰 플레이트 해체 지그(230)가 설치된다.
다음으로 컨트롤 박스(40)는 상기 베이스 플레이트(10) 하단부에 부착되어 외부로 유입되는 공압을 조절해서 가이드 블럭(30)의 양측에 형성된 실린더(14)를 구동시키거나, 그 실린더(14)의 구동속도를 조절하는 것으로, 이는 도 4에서 도시한 바와 같이 외측면 일측에 각종 신호선 및 전원선의 연결 및 해제를 위한 컨넥터(2)가 형성되고, 그 컨넥터(2) 일측에 압축공기가 유입되고 배출되도록 하는 압축공기 연결 포트(3)가 형성된다.
그리고, 도 10에서 도시한 바와 같이 컨트롤 박스(40) 내부에는 공압 호스와 연결되는 벌크 헤드(41)가 외부의 압축공기 연결포트(3)와 연결되는 부위에 구성되고, 그 벌크 헤드(41) 일측에는 공압의 압력 표시 및 압력을 조절하는 에어 유니트(42)가 구성되며, 그 에어 유니트(42) 일측에 실린더(14) 및 박형 실린더(24)의 구동 속도를 조절하는 속도 조절 밸브인 솔레노이드 밸브(43)가 구성되고, 그 솔레노이드 밸브(43) 일측에 실린더 구동용 밸브를 제어하는 제1 전자 밸브(44)가 구성되며, 컨트롤 박스(40) 내부 벽면 일측에 형성된 곳에 박형 실린더 구동용 밸브를 제어하는 제2 전자 밸브(45)가 구성된다.
상기 실린더 구동용 밸브를 제어하는 제1 전자 밸브의 출력부와, 박형 실린더 구동용 밸브를 제어하는 제2 전자 밸브의 출력부에는 스피드 콘(Speed Con)(46a, 46b)이 부착되어 공기의 흐르는 양을 조절함으로서 실린더(14) 및 박형 실린더(24)의 움직이는 속도를 조절을 통해 동기 제어를 할 수가 있다.
이하 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브의 구체적인 동작과정을 설명하기로 한다.
도 12에 도시된 바와 같이 컨트롤 박스(40) 측면에 형성된 컨넥터(2)에 전원이 공급되면 압축공기 연결 포트(3)를 통해 압축공기가 유입된다. 이렇게 유입된 압축공기는 컨트롤 박스 내부의 벌크 헤드(41)를 통해 에어 유니트(42)로 공급되고, 에어 유니트(42)에서는 공급된 압력을 조절하여 솔레노이드 밸브(43)를 동작시킨다. 이때 솔레노이드 밸브(43)는 제1 전자밸브(44)의 스피드 콘(46a)과 제2 전자 밸브(45)의 스피드 콘(46b)을 통하여 1차 분배를 한 후 바닥 튜브 블럭(Bottom Tube Block)(47)을 거쳐 실린더(14) 및 박형 실린더(24)에 분배된다.
먼저, 외부와 진공기밀용기를 밀폐시키기 위해서 가이드 블럭(30)의 양 실린더(14)의 업(UP)으로 들어가는 에어라인(170)에 에어(Air)를 동일하게 넣어줌으로서 도 13에 도시된 바와 같이 가이드 블럭(30)을 동시에 올릴 수 있도록 한다. 이때 가이드 블럭(30)이 일정한 높이에 올라가면 우측 커버(Right Cover)(10d)에 부착된 업 센서(Up Sensor)(10d-1)가 감지가 되고, 이와 동시에 씰 플레이트부(20)에 부착된 박형 실린더(24) 푸쉬(PUSH) 동작에 에어(Air)가 공급되어 도 14에 도시된 바와 같이 챔버(100)를 밀폐시키는 동작을 하게 된다.
한편, 반도체 박리 장비(DRY ASHER) 또는 LCD 유리기판용 진공기밀용기 에 웨이퍼 또는 유리(GLASS)를 반입 또는 반출할 경우 씰 플레이트부(20)에 부착된 박형 실린더(24)의 풀(PULL) 동작 감지 센서(24a)에 의해 풀(PULL) 동작이 감지되어 풀(PULL) 동작에 에어(Air)가 공급된다. 이때 도 14에 도시된 바와 같이 밀폐된 씰 플레이트부(20)가 진공기밀용기와 떨어지게 된다. 그리고, 가이드 블럭(20) 양 실린더(14)의 다운(DOWN) 동작에 에어(Air)가 공급되어 도 12에 도시된 바와 같이 가이드 블럭(20)이 우측 커버(Right Cover)(10d)에 부착된 다운 센서(Down Sensor)(10d-2)가 감지될 때까지 내려오게 된다.
여기서, 가이드 블럭(20) 양 실린더(14)의 다운(DOWN) 동작에 에어(Air)가 공급되는 시점은 박형 실린더(24) 일측에 부착된 풀(PULL) 동작 감지 센서(14a)가 감지될 경우에만 양 실린더(14)의 다운(DOWN) 동작에 에어가 공급되어 가이드 블럭 (20)이 안전하게 내려오게 된다.
이상과 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 게이트 밸브의 리크를 방지함으로써 공정용 진공기밀용기가 진공상태를 유지하여 안정된 반도체 또는 LCD 유리기판 제조공정을 실시토록 하며, 게이트밸브가 개방시 무리한 힘이 가해지지 않도록 함으로써 오링 등이 쉽게 파손되는 것을 방지한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브는 제1 씰플레이트와 씰 플레이트 리어(Seal Plate Rear)로 나뉘어져 있어서 장시간 사용시 제1 씰플레이트의 오링이 마모될 경우 제1 씰 플레이트만 분리하여 손쉽게 교체할 수 있고, 가이드블럭에 제2 벨로우즈가 부착되고, 실린더 및 박형 실린더에 배기 포트가 구성됨으로서 기계적 마모에 의해 발생되는 불순물이 진공기밀용기에 들어가는 것을 방지할 수 있는 좋은 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 반도체 박리 장비(DRY ASHER) 및 LCD 플라즈마 박리 장비 등에 쓰이는 진공기밀용기에 부착되도록 후면 일측에 가이드 핀(11)이 돌출되어 형성되고, 상단 가로방향으로 진공기밀용기의 밀폐 유지 및 해제를 위한 씰 플레이트부(20)와 짝을 이루는 밀폐홈(12)이 형성된 베이스 플레이트(10)와,
    그 베이스 플레이트(10)에 형성된 밀폐홈과 짝을 이루며 제1 씰 플레이트(21)가 형성되고, 그 제1 씰 플레이트(21) 후단 일측의 씰 플레이트 리어(SEAL PLate REAR)(22)에 부착된 제1 벨로우즈(23) 및 박형 실린더(24)들의 구동(PUSH 또는 PULL)에 의해 와이퍼 및 유리(GLASS)를 챔버(진공용기)(100)에 반입 및 반출시키는 씰 플레이트부(20)와,
    씰 플레이트부(20)에 부착되어 결합된 다수개의 제1 벨로우즈(23) 및 박형 실린더(24) 타측과 연결되도록 장방형의 T-브랜치(31)가 형성되고, 그 T-브랜치(31) 양측에 제2 벨로우즈(32)가 형성되어 씰 플레이트부(20)를 상·하로 구동시키는 가이드 블럭(30)과,
    상기 베이스 플레이트(10) 하단부에 부착되어 외부로 유입되는 공압을 조절해서 가이드 블럭(30)의 양측에 형성된 실린더(14)를 구동시키거나, 그 실린더의 구동속도를 조절하는 컨트롤 박스(40)로 구성되는 것을 특징으로 하는 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브.
  2. 제 1 항에 있어서, 베이스 플레이트(10)는 상단 내부 일측에 업 센서(10c-1, 10d-1)가 부착되고, 하단 내부 일측에 다운 센서(10c-2, 10d-2)가 부착된 좌측(Left) 커버(10c) 및 우측(Right) 커버(10d)가 양측면으로 연결되어 구성되는 것을 특징으로 하는 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브.
  3. 제2항에 있어서, 좌측(Left) 커버(10a) 및 우측(Right) 커버(10b)는 후면 일측에 게이트 밸브의 열림(OPEN) 및 닫힘(CLOSE)의 확인을 외부에서 육안으로 확인할 수 있는 표시부(Indicator)(10c-3, 10d-3)가 형성되어 구성되는 것을 특징으로 하는 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브.
  4. 제1항에 있어서, 실린더(14)는 실린더 로드 상단부(140)와, 실린더 헤드부(150)에 실린더의 이동을 구속하는 스톱퍼(Stopper)(14a)가 형성되고, 그 실린더 로드 상단부(140)의 스톱퍼(Stopper)(14a) 하단 일측에 가이드 블럭의 상(UP), 하(DOWN) 구동시 실린더에 가해지는 충격을 완화시키는 소버(SORBOR)(14b)가 부착되어 형성되며, 실린더 헤드부 일측(150)과 하단부 일측(150-1)에 실린더 이동시 발생되는 파티클을 배기하는 배기포트(14c)가 형성되는 것을 특징으로 하는 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브.
  5. 제4항에 있어서, 실린더(14)는 업(UP)으로 들어가는 에어라인에 체크 밸브(14d)가 설치되는 것을 특징으로 하는 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브.
  6. 제1항에 있어서, 제1 씰 플레이트(21)는 전면 모서리 둘레를 따라 박스형상으로 오링(210)이 부착되어 설치되는 것을 특징으로 하는 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브.
  7. 제1항에 있어서, 박형 실린더(24)는 일측에 풀(PULL) 동작 감지 센서(24a)를 부착하고, 그 풀(PULL) 동작 감지 센서(24a)가 감지될 경우에만 양 실린더(14)의 다운(DOWN) 동작에 에어가 공급되어 가이드 블럭(20)이 안전하게 내려오도록 구성되는 것을 특징으로 하는 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브.
  8. 제1항에 있어서, 제1 씰 플레이트(21) 및 씰 플레이트 리어 (SEAL PLATE REAR)(22)는 결합시 더브테일(220) 구조로 결합되어 구성되는 것을 특징으로 하는 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브.
  9. 제1항에 있어서, 가이드 블럭(30)은 'ㅣ'자형 연결부(34b-1)와 베이스 플레이트(10)가 접촉되는 부위에 케이블베어(CableVeyor)(34b)가 부착되어 구성되는 것을 특징으로 하는 밀폐 및 차단이 우수한 게이트 밸브.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101123671B1 (ko) * 2010-05-20 2012-03-20 주식회사 에이티에스엔지니어링 게이트 밸브
KR101123670B1 (ko) * 2009-07-07 2012-03-21 주식회사 에이티에스엔지니어링 게이트 밸브
KR101216604B1 (ko) 2010-05-20 2012-12-31 주식회사 에이티에스엔지니어링 게이트 밸브
KR101320419B1 (ko) 2011-10-20 2013-10-22 (주)선린 진공 설비의 게이트 밸브
CN103591365A (zh) * 2012-08-17 2014-02-19 Vat控股公司 阀
KR101600876B1 (ko) * 2014-10-08 2016-03-09 주식회사 토르 씰링확인이 가능한 슬릿밸브
US10738896B2 (en) 2017-02-15 2020-08-11 Vat Holding Ag Vacuum valve

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4938250A (en) 1989-06-20 1990-07-03 Salina Vortex Corp. Gate valve with particle clearing action
JP2005252184A (ja) 2004-03-08 2005-09-15 Nippon Valqua Ind Ltd 真空用ゲート弁のシールプレートおよびこれに用いられるシール部材

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4938250A (en) 1989-06-20 1990-07-03 Salina Vortex Corp. Gate valve with particle clearing action
JP2005252184A (ja) 2004-03-08 2005-09-15 Nippon Valqua Ind Ltd 真空用ゲート弁のシールプレートおよびこれに用いられるシール部材

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101123670B1 (ko) * 2009-07-07 2012-03-21 주식회사 에이티에스엔지니어링 게이트 밸브
KR101123671B1 (ko) * 2010-05-20 2012-03-20 주식회사 에이티에스엔지니어링 게이트 밸브
KR101216604B1 (ko) 2010-05-20 2012-12-31 주식회사 에이티에스엔지니어링 게이트 밸브
KR101320419B1 (ko) 2011-10-20 2013-10-22 (주)선린 진공 설비의 게이트 밸브
CN103591365A (zh) * 2012-08-17 2014-02-19 Vat控股公司 阀
CN103591365B (zh) * 2012-08-17 2017-06-20 Vat 控股公司 阀
KR101600876B1 (ko) * 2014-10-08 2016-03-09 주식회사 토르 씰링확인이 가능한 슬릿밸브
US10738896B2 (en) 2017-02-15 2020-08-11 Vat Holding Ag Vacuum valve

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