KR100707309B1 - 도어 어셈블리 - Google Patents

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KR100707309B1
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Abstract

본 발명에 따르면, 도어 어셈블리는 도어와 상기 도어를 개폐하는 도어 장치 및 상기 도어 장치의 오작동을 방지할 수 있는 안전 유닛을 포함한다. 상기 안전 유닛은 상기 도어를 개폐하는 이송 암 상에 설치된 고정쇠와, 상기 고정쇠에 인접하여 상기 고정쇠가 기설정된 범위를 이탈하는 것을 방지할 수 있는 걸쇠를 이용한다. 상기 걸쇠는 작동여부에 따라 제1위치 또는 제2위치에 위치하며, 상기 걸쇠가 상기 제2위치에 위치하는 경우 상기 고정쇠의 이동을 방해하여 상기 도어 장치의 오작동을 방지할 수 있다.
도어, 안전 유닛, 고정쇠, 걸쇠

Description

도어 어셈블리{door assembly}
도 1a는 종래의 도어 어셈블리에 의하여 챔버가 개방된 상태를 보여주는 도면;
도 1b는 종래의 도어 어셈블리에 의하여 챔버가 폐쇄된 상태를 보여주는 도면;
도 2a는 본 발명에 따른 도어 어셈블리에 의하여 챔버가 개방된 상태를 보여주는 도면;
도 2b는 본 발명에 따른 도어 어셈블리에 의하여 챔버가 폐쇄된 상태를 보여주는 도면;
도 3a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도어 어셈블리에 의하여 챔버가 개방된 상태를 보여주는 도면;
도 3b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도어 어셈블리에 의하여 챔버가 폐쇄된 상태를 보여주는 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10, 100 : 도어 어셈블리 20, 120 : 챔버
30, 130 : 도어 장치 31, 131 : 도어
34, 134 : 이송 암 35, 135 : 구동 실린더
42, 142 : 제1공급라인 44, 144 : 제2공급라인
46, 146 : 밸브 50, 150 : 제어기
136 : 고정쇠 160 : 안전 유닛
162 : 걸쇠
본 발명은 반도체를 제조하는 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 챔버를 개폐하는 도어 어셈블리에 관한 것이다.
반도체는 일반적으로 막 형성, 패턴 형성, 금속 배선 형성 등을 위한 일련의 단위 공정들을 순차적으로 수행함으로써 제조된다. 상기 단위 공정은 일반적으로 진공이 유지된 공정 챔버의 내부에서 진행된다. 이러한 진공상태가 유지된 공정 챔버의 내부로 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하기 위해서 저진공이 유지된 상태에서 공정이 진행될 웨이퍼 카세트를 일시적으로 보관하는 로드락 챔버를 이용한다. 상기 로드락 챔버 일측에는 도어를 설치하여 공정을 진행하는 프로세서 설비의 진공 상태를 유지해 주며, 상기 도어를 개방하여 선행공정이 완료된 웨이퍼 카세트를 상기 로드락 챔버에 투입시킨다.
상기 로드락 챔버의 도어 어셈블리에는 에어 실린더의 상승 및 하강 운동을 이용하는 장치가 있다.
이하, 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1a는 종래의 도어 어셈블리(10)에 의하여 챔버(20)가 개방된 상태를 보여주는 도면이며, 도 1b는 종래의 도어 어셈블리(10)에 의하여 챔버(20)가 폐쇄된 상태를 보여주는 도면이다.
도어 어셈블리(10)는 챔버(20)의 일측에 형성된 통로를 개폐하기 위한 도어(31)와, 도어(31)를 개폐하는 도어 장치(30)를 포함한다. 도어(31)의 개폐는 이송 암(34)에 연결된 구동 실린더(35) 내의 가압판(33)의 이동에 의하여 이루어진다.
먼저, 제어기(50)로부터 개방신호를 받은 밸브(46)는 제1공급라인(42)을 개방하며, 제2공급라인(44)을 폐쇄한다. 제1공급라인(42)이 개방되면 에어탱크(49) 내의 에어는 제1공급라인(42)을 통하여 구동 실린더(35) 내의 개방영역(47)에 공급된다. 개방영역(47)에 에어가 공급되면 폐쇄영역(48)에 비하여 개방영역(47)의 압력이 높아지므로, 가압판(33)이 아래로 이동하며 이송 암(34)과 도어(31)가 함께 아래로 이동하여 챔버(20)는 개방된다.
다음으로, 제어기(50)로부터 폐쇄신호를 받은 밸브(46)는 제2공급라인(44)을 개방하며, 제1공급라인(42)을 폐쇄한다. 제2공급라인(44)이 개방되면 에어탱크(49) 내의 에어는 제2공급라인(44)을 통하여 구동 실린더(35) 내의 폐쇄영역(48)에 공급된다. 폐쇄영역(48)에 에어가 공급되면 개방영역(47)에 비하여 폐쇄영역(48)의 압력이 높아지므로, 가압판(33)이 위로 이동하며 이송 암(34)과 도어(31)가 함께 위로 이동하여 챔버(20)는 폐쇄된다.
이와 같이 제어기(50)의 개방/폐쇄 신호에 따라 밸브(46)가 제1공급라인(42)과 제2공급라인(44) 중 어느 하나를 개방하고 다른 하나를 폐쇄하여 단 하나의 공 기공급라인을 통해서 에어가 공급되어야 하며, 구동 실린더(35) 내의 개방영역(47) 또는 폐쇄영역(48) 중 어느 하나의 영역에만 에어가 공급되어야 한다. 그러나 폐쇄된 어느 하나의 공기공급라인에서 누출(leak)이 발생한 경우에는 개방신호에도 폐쇄영역(48)에 에어가 공급될 수 있으며, 폐쇄신호에도 개방영역(47)에 에어가 공급될 수 있다.
특히, 챔버(20)에 웨이퍼를 로딩하거나 언로딩하기 위하여 로봇(도시안됨)이 이동하는 경우에는 밸브(46)가 폐쇄된다. 즉, 개방신호일 때 밸브(46)는 제1공급라인(42)을 개방하여 개방영역(47)에 에어를 공급하여야 하나, 로봇이 이동하는 경우에는 로봇 및 도어(31)의 파손방지를 위하여 제1공급라인(42)을 폐쇄한다. 또한, 폐쇄신호일 때 밸브(46)는 제2공급라인(44)을 개방하여 폐쇄영역(48)에 에어를 공급하여야 하나, 로봇이 이동하는 경우에는 상기한 이유로 제2공급라인(44)을 폐쇄한다.
따라서, 상술한 바와 같이 누출(leak)로 인하여 개방신호에서 폐쇄영역(48)에 에어가 공급되며, 폐쇄신호에서 개방영역(47)에 에어가 공급되는 현상이 발생할 수 있다. 이로 인하여 개방신호에서 도어(31)가 다시 폐쇄되거나 폐쇄신호에서 다시 개방되는 역현상이 발생할 수 있다. 그 결과 로봇이 이동하는 상황에서 도어(31)를 개방하거나 폐쇄하여 로봇과 도어(31)가 충돌할 수 있으며, 로봇 및 도어(31)가 파손될 우려가 있다.
본 발명의 목적은 에어의 누출(leak)로 인하여 도어의 개폐가 역전되는 현상 을 방지할 수 있는 도어 어셈블리를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 로봇의 이동시 도어의 이동으로 인하여 로봇과 도어가 파손되는 결과를 미연에 방지할 수 있는 도어 어셈블리를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적들은 다음의 상세한 설명과 첨부한 도면으로부터 보다 명확해질 것이다.
본 발명에 따르면, 도어 어셈블리는 챔버의 일측에 형성된 통로를 개폐하여 상기 챔버 내부를 외부로부터 밀폐하는 도어와, 상기 도어를 개폐하는 도어 장치와, 상기 도어가 개방 또는 폐쇄된 상태에서 상기 도어 장치의 오작동으로 인하여 상기 도어가 폐쇄 또는 개방되는 것을 방지할 수 있는 안전 유닛을 포함한다.
상기 도어 장치는 상기 도어를 고정하는 도어 홀더와, 일측에 상기 도어 홀더를 장착하여 상기 도어를 개폐하는 이송 암과, 상기 이송 암의 타측에 설치되며 그 내부에는 외부로부터 공급받은 공기에 의하여 상하로 이동가능하여 상기 이송 암을 구동할 수 있는 가압판을 구비하는 구동 실린더와, 상기 가압판의 상부에 위치하는 개방영역에 공기를 공급하여 상기 가압판을 하강시키는 제1공급라인과, 상기 가압판의 하부에 위치하는 폐쇄영역에 공기를 공급하여 상기 가압판을 상승시키는 제2공급라인과, 상기 제1공급라인과 상기 제2공급라인을 선택적으로 개방하거나 폐쇄할 수 있는 밸브와, 상기 밸브를 작동할 수 있는 제어기를 포함할 수 있다.
상기 안전 유닛은, 상기 이송 암 상에 고정되는 적어도 하나의 고정쇠와, 상기 고정쇠에 인접하며 상기 고정쇠가 기설정된 범위를 이탈하는 것을 방지할 수 있 는 적어도 하나의 걸쇠와, 상기 걸쇠를 구동하는 구동부를 포함할 수 있다.
상기 걸쇠는 작동 전에는 제1위치에 위치하며, 작동 후에는 제2위치에 위치할 수 있다.
상기 제1위치는 상기 걸쇠가 상기 고정쇠의 이동경로 상에서 벗어나 있어 상기 고정쇠의 이동을 방해할 수 없는 상태이며, 상기 제2위치는 상기 걸쇠가 상기 고정쇠의 이동경로 상에 위치하여 상기 고정쇠의 이동을 방해할 수 있는 상태일 수 있다.
상기 걸쇠는 상기 도어가 폐쇄된 상태에서 상기 고정쇠의 이동을 방해할 수 있는 제1걸쇠와, 상기 도어가 개방된 상태에서 상기 고정쇠의 이동을 방해할 수 있는 제2걸쇠를 포함할 수 있다.
상기 제1걸쇠는 상기 제2위치에 있을 때 상기 고정쇠의 하부에 위치하며, 상기 제2걸쇠는 상기 제2위치에 있을 때 상기 고정쇠의 상부에 위치할 수 있다.
상기 고정쇠는 상기 도어가 개방된 상태에서 상기 걸쇠에 의하여 이동을 방해받을 수 있는 제1고정쇠와, 상기 도어가 개방된 상태에서 상기 걸쇠에 의하여 이동을 방해받을 수 있는 제2고정쇠를 포함할 수 있다.
상기 도어가 개방된 상태에서 상기 걸쇠가 상기 제2위치에 있을 때 상기 걸쇠는 상기 제1고정쇠의 상부에 위치하며, 상기 도어가 폐쇄된 상태에서 상기 걸쇠가 상기 제2위치에 있을 때 상기 걸쇠는 상기 제2고정쇠의 하부에 위치할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도 2a 내지 도 3b를 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석돼서는 안 된다. 본 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.
도 2a는 본 발명에 따른 도어 어셈블리(100)에 의하여 챔버(120)가 개방된 상태를 보여주는 도면이며, 도 2b는 본 발명에 따른 도어 어셈블리(100)에 의하여 챔버(120)가 폐쇄된 상태를 보여주는 도면이다.
도 2a에 도시한 바와 같이, 도어 어셈블리(100)는 챔버(120)의 일측에 형성된 통로를 개폐하기 위한 도어(131)와, 도어(131)를 개폐하는 도어 장치(130)를 포함한다.
도어 장치(130)는 도어(131)를 고정하는 도어 홀더(132)와, 일측에 도어 홀더(132)를 장착하여 도어(131)를 개폐하는 이송 암(134)과, 이송 암(134)의 타측에 설치되어 이송 암(134)을 구동하기 위한 구동 실린더(135)를 포함한다.
구동 실린더(135)는 공기에 의하여 작동하는 에어 실린더이며, 구동 실린더(135) 내에는 외부로부터 공급받은 공기에 의하여 상하로 움직이는 가압판(133)이 구비된다. 가압판(133)은 이송 암(134)과 연결되므로, 가압판(133)과 함께 이송 암(134)도 이동한다.
구동 실린더(135)의 내부는 가압판(133)을 기준으로 상부에는 개방영역(147)이 정의되며, 하부에는 폐쇄영역(148)이 정의된다.
개방영역(147)에는 제1공급라인(142)이 연결되며, 제1공급라인(142)을 통하 여 개방영역(147)에 공기를 공급하면 개방영역(147)의 압력이 폐쇄영역(148)에 비하여 높아지므로 가압판(133)은 하강하며, 도어(131)를 개방할 수 있다.
폐쇄영역(148)에는 제2공급라인(144)이 연결되며, 제2공급라인(144)을 통하여 폐쇄영역(148)에 공기를 공급하면 폐쇄영역(148)의 압력이 개방영역(147)에 비하여 높아지므로 가압판(133)은 상승하며, 도어(131)를 페쇄할 수 있다.
도 2a에 도시한 바와 같이, 에어 탱크(149)는 개방영역(147)과 폐쇄영역 (148)에 공급되는 공기의 공급원 역할을 하며, 에어 탱크(149)와 연결된 공급라인(145)은 제1공급라인(142)과 제2공급라인(144)으로 분기된다.
제1공급라인(142)과 제2공급라인(144)으로 분기되는 지점에는 밸브(146)가 설치된다. 본 실시예에서 사용된 밸브(146)는 삼방향 밸브(three way valve)로써, 공급라인(145)을 통하여 공급된 공기의 소통 여부를 제어하기 위한 것으로, 공기가 제1공급라인(142)으로 공급될 것인지 아니면 제2공급라인(144)으로 공급될 것인지를 결정한다.
그러나, 본 실시예와 달리 에어 탱크(149)는 서로 분리된 제1공급라인(142)및 제2공급라인(144)과 연결될 수 있으며, 각각의 공급라인에 각가의 공급라인을 개폐할 수 있는 별개의 밸브가 설치될 수도 있다.
밸브(146)에는 필요에 따라 밸브(146)의 개폐를 조절할 수 있는 제어기(150)가 연결된다.
본 발명의 요지인 안전 유닛(160)은 이송 암(134) 상에 고정되는 고정쇠(136)와, 고정쇠(136)에 인접하는 걸쇠(162)와, 걸쇠(162)를 구동하는 구동부(164) 를 포함한다.
고정쇠(136)는 이송 암(134)의 운동을 제어하기 위한 것으로, 이송 암(134)의 운동 방향과 수직하도록 설치되어 이송 암(134)으로부터 돌출된 바(bar) 모양의 형상을 갖는다.
걸쇠(162)는 고정쇠(136)의 운동을 제어하기 위한 것으로, 고정쇠(136)와 평행하도록 설치되어 바(bar) 모양의 형상을 갖는다. 걸쇠(162)는 구동부(164)에 의하여 작동하며, 작동여부에 따라 수평방향으로 이동이 가능하다.
걸쇠(162)의 작동 전 상태는 구동부(164)에 인접한 상태로 제1상태로 정의한다. 걸쇠(162)는 이송 암(134)이 운동함에 따라 고정쇠(136)가 그리는 이동경로로부터 벗어나 있다. 따라서, 걸쇠(162)는 고정쇠(136)의 이동을 방해할 수 없으며, 고정쇠(136)는 이송 암(134)과 함께 자유롭게 이동할 수 있다.
걸쇠(162)의 작동 후 상태는 구동부(164)로부터 이격된 상태로 제2상태로 정의한다. 걸쇠(162)는 이송 암(134)이 운동함에 따라 고정쇠(136)가 그리는 이동경로 상에 있다. 따라서, 걸쇠(162)는 고정쇠(136)의 이동을 방해할 수 있으며, 고정쇠(136)는 이송 암(134)과 함께 자유롭게 이동할 수 없다.
도 2a 및 도 2b에 도시한 바와 같이, 걸쇠(162)는 도어(131)가 개방된 상태에서 고정쇠(136)의 이동을 방해할 수 있는 제2걸쇠(162b)와, 도어(131)가 폐쇄된 상태에서 고정쇠(136)의 이동을 방해할 수 있는 제1걸쇠(162a)를 포함한다.
도어(131)가 폐쇄된 상태에서 제1걸쇠(162a)가 제2위치에 있을 때 제1걸쇠(162a)는 고정쇠(136)의 하부에 위치하며, 도어(131)가 개방된 상태에서 제2걸쇠 (162b)가 제2위치에 있을 때 제2걸쇠(162b)는 고정쇠(136)의 상부에 위치한다.
제1걸쇠(162a)와 제2걸쇠(162b)는 고정쇠(136)의 이동을 방해함으로써, 도어(131)가 각각 폐쇄 또는 개방된 상태에서 도어 장치(130)의 오작동에 의하여 도어(131)가 개방 또는 폐쇄되는 현상을 방지하는 역할을 한다. 제1걸쇠(162a)와 제2걸쇠(162b) 간의 간격은 도어(131)의 변위량, 각각 고정쇠(136)와 걸쇠(162)의 두께를 고려하여 상술한 역할을 수행할 수 있도록 유지하여야 한다.
도 3a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도어 어셈블리에 의하여 챔버가 개방된 상태를 보여주는 도면이며, 도 3b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도어 어셈블리에 의하여 챔버가 폐쇄된 상태를 보여주는 도면이다.
도 3a에 도시한 바와 같이, 본 실시예에서 안전 유닛(160)은 두 개의 고정쇠(136a, 136b)와 하나의 걸쇠(162)를 포함한다.
고정쇠(136)는 도어(131)가 개방된 상태에서 걸쇠(162)에 의하여 이동을 방해받을 수 있는 제1고정쇠(136a)와, 도어(131)가 폐쇄된 상태에서 걸쇠(162)에 의하여 이동을 방해받을 수 있는 제2고정쇠(136b)를 포함한다.
도어(131)가 개방된 상태에서 걸쇠(162)가 제2위치에 있을 때 걸쇠(162)는 제1고정쇠(136a)의 상부에 위치하며, 도어(131)가 폐쇄된 상태에서 걸쇠(162)가 제2위치에 있을 때 걸쇠(162)는 제2고정쇠(136b)의 하부에 위치한다.
제1고정쇠(136a)와 제2고정쇠(136b)는 걸쇠(162)를 통하여 이송 암(134)의 이동을 방해함으로써, 도어(131)가 각각 폐쇄 또는 개방된 상태에서 도어 장치(130)의 오작동에 의하여 도어(131)가 개방 또는 폐쇄되지 않도록 하는 역할을 한 다. 제1고정쇠(136a)와 제2고정쇠(136b) 간의 간격은 도어(131)의 변위량, 각각 고정쇠(136)와 걸쇠(162)의 두께를 고려하여 상술한 역할을 수행할 수 있도록 유지하여야 한다.
이하, 상술한 구성을 갖는 본 발명의 도어 어셈블리(100)의 작동을 상세히 설명한다.
먼저, 제어기(150)로부터 개방신호를 받은 밸브(146)는 제1공급라인(142)을 개방하며, 제2공급라인(144)을 폐쇄한다. 제1공급라인(142)이 개방되면 에어탱크(149) 내의 에어는 제1공급라인(142)을 통하여 구동 실린더(135) 내의 개방영역(147)에 공급된다. 개방영역(147)에 에어가 공급되면 폐쇄영역(148)에 비하여 개방영역(147)의 압력이 높아지므로, 가압판(133)이 아래로 이동하며 이송 암(134)과 도어(131)가 함께 아래로 이동하여 도어(131)는 개방된다.
이때 로봇(도시안됨)이 챔버(120)를 향하여 이동하면 제어기(150)는 밸브(146)를 작동하여 제1공급라인(142)을 폐쇄한다. 제1공급라인(142)이 폐쇄되면 상기한 바와 같이, 제2공급라인(144)에서 발생한 누출(leak)은 폐쇄영역(148)에 에어를 공급하므로 폐쇄영역(148)의 압력이 개방영역(147)의 압력보다 높아진다. 따라서, 가압판(133)이 위로 이동하며 이송 암(134)과 도어(131)가 함께 위로 이동하는 역전현상이 일어난다.
이 때, 본 발명에 따른 도어 어셈블리(100)는 안전 유닛(160)을 작동한다. 제어기(150)는 밸브(146)를 통하여 제1공급라인(142)을 폐쇄함과 동시에 안전 유닛(160)으로 신호를 보낸다.
신호를 수신한 안전유닛(160)은 도 2a에 도시한 바와 같이 구동부(164)를 통하여 제2걸쇠(162b)를 제1위치에서 제2위치로 이동한다. 제2걸쇠(162b)가 제2위치로 이동하면, 제2걸쇠(162b)는 고정쇠(136)의 상부에 위치한다. 따라서, 공기 누출로 인하여 폐쇄영역(148)에 에어가 공급되더라도 제2걸쇠(162b)에 의하여 고정쇠(136)가 상승할 수 없으므로 도어(131)가 폐쇄되는 역전현상을 방지할 수 있다.
로봇의 작동이 종료된 이후에는 제어기(150)의 신호에 따라 밸브(146)가 제2공급라인(144)을 개방하게 되고, 제어기(150)로부터 신호를 받은 구동부(164)는 제2걸쇠(162b)를 제2위치에서 제1위치로 이동하여 작동 전 상태를 유지한다.
본 발명은 도 2a에 도시한 것과 달리, 도 3a와 같이 나타날 수 있다. 도 3a에서는 상술한 바와 같이 걸쇠(162)가 제1고정쇠(136a)의 상부에 위치함으로써 역전현상을 방지할 수 있다.
다음으로, 제어기(150)로부터 폐쇄신호를 받은 밸브(146)는 제2공급라인(144)을 개방하며, 제1공급라인(142)을 폐쇄한다. 제2공급라인(144)이 개방되면 에어탱크(149) 내의 에어는 제2공급라인(144)을 통하여 구동 실린더(135) 내의 폐쇄영역(148)에 공급된다. 폐쇄영역(148)에 에어가 공급되면 개방영역(147)에 비하여 폐쇄영역(148)의 압력이 높아지므로, 가압판(133)이 위로 이동하며 이송 암(134)과 도어(131)가 함께 위로 이동하여 챔버(120)는 폐쇄된다.
마찬가지로, 제어기(150)가 밸브(146)를 작동하여 제2공급라인(144)을 폐쇄하면 제1공급라인(142)에서 발생한 누출(leak)은 개방영역(147)에 에어를 공급하므로 개방영역(147)의 압력이 폐쇄영역(148)의 압력보다 높아진다. 따라서, 가압판 (133)이 아래로 이동하며 이송 암(134)과 도어(131)가 함께 아래로 이동하는 역전현상이 일어난다.
따라서, 상기한 바와 같이 제어기(150)가 밸브(146)를 통하여 제2공급라인(144)을 폐쇄함과 동시에 안전 유닛(160)으로 신호를 보내면 신호를 수신한 안전 유닛(160)은 도 2b에 도시한 바와 같이 제1걸쇠(162a)를 제1위치에서 제2위치로 이동한다. 제2위치로 이동한 제1걸쇠(162a)는 고정쇠(136)의 하단에 접촉하여 도어(131)가 이동하지 않도록 고정한다. 따라서, 누출로 인하여 개방영역(147)에 에어가 공급되더라도 도어(131)가 하강하는 역전현상을 방지할 수 있다.
제어기(150)의 신호에 따라 밸브(146)가 제1공급라인(142)을 개방한 때에는 밸브(146)로부터 신호를 받은 안전 유닛(160)은 제1걸쇠(162a)를 제2위치에서 제1위치로 이동한다.
본 발명은 도 2b에 도시한 것과 달리, 도 3b와 같이 나타날 수 있다. 도 3b에서는 상술한 바와 같이 걸쇠(162)가 제2고정쇠(136b)의 하부에 위치함으로써 역전현상을 방지할 수 있다.
본 실시예에서 사용된 도어 장치(130)는 다양한 종류의 챔버에 적용할 수 있으나, 로드락 챔버에 사용되는 것이 가장 바람직하다.
본 발명에 의하면 에어의 누출(leak)로 인하여 도어의 개폐가 역전되는 현상을 방지할 수 있다.
본 발명에 의하면 로봇의 이동시 도어의 작동으로 인하여 로봇과 도어가 파 손되는 결과를 미연에 방지할 수 있다.

Claims (9)

  1. 도어 어셈블리에 있어서,
    챔버의 일측에 형성된 통로를 개폐하여 상기 챔버 내부를 외부로부터 밀폐하는 도어와;
    상기 도어를 개폐하는 도어 장치와;
    상기 도어가 개방 또는 폐쇄된 상태에서 상기 도어 장치의 오작동으로 인하여 상기 도어가 폐쇄 또는 개방되는 것을 방지할 수 있는 안전 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 어셈블리.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 도어 장치는,
    상기 도어를 고정하는 도어 홀더와;
    일측에 상기 도어 홀더를 장착하여 상기 도어를 개폐하는 이송 암과;
    상기 이송 암의 타측에 설치되며, 그 내부에는 외부로부터 공급받은 공기에 의하여 상하로 이동가능하여 상기 이송 암을 구동할 수 있는 가압판을 구비하는 구동 실린더와;
    상기 가압판의 상부에 위치하는 개방영역에 공기를 공급하여 상기 가압판을 하강시키는 제1공급라인과;
    상기 가압판의 하부에 위치하는 폐쇄영역에 공기를 공급하여 상기 가압판을 상승시키는 제2공급라인과;
    상기 제1공급라인과 상기 제2공급라인을 선택적으로 개방하거나 폐쇄할 수 있는 밸브와;
    상기 밸브를 작동할 수 있는 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 어셈블리.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 안전 유닛은,
    상기 이송 암 상에 고정되는 적어도 하나의 고정쇠와;
    상기 고정쇠에 인접하며, 상기 고정쇠가 기설정된 범위를 이탈하는 것을 방지할 수 있는 적어도 하나의 걸쇠와;
    상기 걸쇠를 구동하는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 어셈블리.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 걸쇠는 작동 전에는 제1위치에 위치하며, 작동 후에는 제2위치에 위치하는 것을 특징으로 하는 도어 어셈블리.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1위치는 상기 걸쇠가 상기 고정쇠의 이동경로 상에서 벗어나 있어 상 기 고정쇠의 이동을 방해할 수 없는 작동 전 상태이며,
    상기 제2위치는 상기 걸쇠가 상기 고정쇠의 이동경로 상에 위치하여 상기 고정쇠의 이동을 방해할 수 있는 작동 후 상태인 것을 특징으로 하는 도어 어셈블리.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 걸쇠는,
    상기 도어가 폐쇄된 상태에서 상기 고정쇠의 이동을 방해할 수 있는 제1걸쇠와;
    상기 도어가 개방된 상태에서 상기 고정쇠의 이동을 방해할 수 있는 제2걸쇠를 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 어셈블리.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 도어가 폐쇄된 상태에서 상기 제1걸쇠가 상기 제2위치에 있을 때 상기 제1걸쇠는 상기 고정쇠의 하부에 위치하며,
    상기 도어가 개방된 상태에서 상기 제2걸쇠가 상기 제2위치에 있을 때 상기 제2걸쇠는 상기 고정쇠의 상부에 위치하는 것을 특징으로 하는 도어 어셈블리.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 고정쇠는,
    상기 도어가 개방된 상태에서 상기 걸쇠에 의하여 이동을 방해받을 수 있는 제1고정쇠와;
    상기 도어가 개방된 상태에서 상기 걸쇠에 의하여 이동을 방해받을 수 있는 제2고정쇠를 포함하는 것을 특징으로 하는 도어 어셈블리.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 도어가 개방된 상태에서 상기 걸쇠가 상기 제2위치에 있을 때 상기 걸쇠는 상기 제1고정쇠의 상부에 위치하며,
    상기 도어가 폐쇄된 상태에서 상기 걸쇠가 상기 제2위치에 있을 때 상기 걸쇠는 상기 제2고정쇠의 하부에 위치하는 것을 특징으로 하는 도어 어셈블리.
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