CN102042420B

CN102042420B - 门阀

Info

Publication number: CN102042420B
Application number: CN2010105099617A
Authority: CN
Inventors: 长尾格; 小川浩司; 下田洋己
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2009-10-15
Filing date: 2010-10-15
Publication date: 2013-03-27
Anticipated expiration: 2030-10-15
Also published as: US8382066B2; JP2011085195A; KR101234710B1; US20110089354A1; CN102042420A; JP5365867B2; TWI391591B; KR20110041400A; TW201124656A

Abstract

一种门阀，通过在由气缸操作的驱动底座和固定在与阀板一体的阀轴上的杆部件之间夹装使将该驱动底座和杆部件可位移地连结的连结机构和使上述杆部件倾斜转动的凸轮机构，同时，设置使上述杆部件在阀板的相向位置或全开位置停止的止动部件机构，在由该止动部件机构使杆部件停止在上述相向位置或全开位置后，通过由上述凸轮机构使该杆部件倾斜转动，使上述阀板倾斜，将阀密封件向开口的周围的阀座部或壁面推压。

Description

门阀

技术领域

本发明涉及一种安装在半导体处理装置的真空腔上，用于与该真空腔连通的开口的开闭的门阀。

背景技术

如下述专利文献1、专利文献2所述，在半导体处理装置中，与真空腔连通的开口的开闭使用门阀。此门阀具有开闭上述开口的阀板，在由此阀板封闭上述开口时，在由气缸使该阀板向与开口相向的相向位置移动后，使该阀板倾斜，将阀密封件向开口的周围的阀座部推压，在使上述开口全开时，在使上述阀密封件离开阀座部后，由气缸使上述阀板移动到与上述开口非相向的全开位置而在该位置待机。

在阀板在上述全开位置待机时，该阀板与形成了上述开口的壁相面对，但是，因为在该阀板和壁面之间存在间隙，所以，工艺气体等腐蚀性流体流入此间隙内，由于等离子冲击、析出物的附着等，阀板的表面特别是阀密封件容易受到损伤。因此，必须频繁进行阀板的清扫、阀密封件的更换等。

另一方面，在专利文献3中，公开了能够消除这样的问题的门阀。此门阀以在阀板移动到与开口非相向的全开位置时，通过使该阀板倾斜将阀密封件向壁面推压并成为密封状态的方式构成。由此，因为阀板及阀密封件与腐蚀性流体接触的面积变小，所以，能够减少因等离子冲击、析出物的附着等造成的这些阀板及阀密封件的损伤。

但是，上述专利文献3记载的门阀，因为将多个(三个)气缸组合来进行使阀板向开口的封闭位置和全开位置移动的操作、和使该阀板在上述封闭位置及全开位置倾斜地将阀密封件向阀座部及壁面推压的操作，所以，具有构造及控制系统变得复杂这样的问题。

专利文献1：日本特开2000-356271号公报

专利文献2：日本特开2005-291221号公报

专利文献3：日本特许第3586657号公报

发明内容

本发明的目的是提供一种能够使用一个气缸进行使阀板向封闭位置和全开位置移动的操作和使该阀板在上述封闭位置及全开位置倾斜地将阀密封件向开口的周围的阀座部及壁面推压的操作的结构简单的用于气缸的控制系统也简单的门阀。

为了实现上述目的，根据本发明，提供一种门阀，所述门阀具有对与真空腔连通的开口进行开闭的阀板；设置在该阀板上的阀密封件；与该阀板连结的阀轴；对该阀板进行开闭操作的气缸；夹设在此气缸和上述阀轴之间的动作机构，通过经该动作机构由上述气缸操作阀轴，使上述阀板向与上述开口相向的相向位置、将阀密封件向上述开口的周围的阀座部推压而将该开口关闭的封闭密封位置、与该开口非相向的全开位置、和在该全开位置将阀密封件向形成了上述开口的壁的壁面推压的开放密封位置转移，其特征在于，

上述动作机构具有安装在上述气缸的活塞杆上的驱动底座；安装在上述阀轴上的杆部件；将该杆部件和上述驱动底座可相对位移地连结的连结机构；使上述杆部件倾斜转动的凸轮机构；使上述杆部件在阀板的上述相向位置或全开位置停止的止动部件机构，

上述凸轮机构由形成在上述驱动底座上的凸轮槽和安装在上述杆部件上的凸轮从动件形成，此凸轮从动件能够通过上述驱动底座和杆部件的相对位移，在上述凸轮槽内从与该凸轮槽的中央卡合的中间卡合位置向该凸轮槽的一端的第一卡合位置或另一端的第二卡合位置移动，通过其移动使上述杆部件和阀轴及阀板一体倾斜转动，

上述连结机构具有连结工作台；夹设在该连结工作台和上述杆部件之间的杆弹簧；夹设在该连结工作台和上述驱动底座之间的导向弹簧，在上述凸轮从动件处于中间卡合位置时使上述驱动底座和杆部件成为一体状态，在上述凸轮从动件在上述凸轮槽内从中间卡合位置向第一卡合位置或第二卡合位置移动时，通过上述杆弹簧或导向弹簧的变形能够使上述驱动底座和杆部件相对位移，使该杆部件倾斜转动，

上述止动部件机构具有设置在上述杆部件上的第一抵接部件及第二抵接部件、和与上述气缸处于固定关系的第一止动部件及第二止动部件，通过一方的抵接部件和一方的止动部件的抵接，使杆部件在上述相向位置停止，通过另一方的抵接部件和另一方的止动部件的抵接，使杆部件在上述全开位置停止。

在本发明中，在上述驱动底座上，在该驱动底座的移动方向隔开间隔形成了工作台支撑件和底座弹簧支撑件，另外，杆弹簧支撑件以经上述底座弹簧支撑件占据与上述工作台支撑件相反的位置的方式形成在上述杆部件上，在上述工作台支撑件和底座弹簧支撑件之间可位移地配设上述连结工作台，在该连结工作台和上述杆弹簧支撑件之间夹设上述杆弹簧，同时，在上述连结工作台和上述底座弹簧支撑件之间夹设上述导向弹簧。

在本发明中，为了上述连结工作台的导向，将两根平行的导向轴以贯通该连结工作台的方式安装在上述工作台支撑件和底座弹簧支撑件上，以包围各导向轴的方式设置两个呈线圈状的上述导向弹簧。

另外，在本发明中，在上述凸轮从动件在凸轮槽内从中间卡合位置向第一卡合位置移动时，上述连结工作台卡定在驱动底座上，杆弹簧变形，在上述凸轮从动件在凸轮槽内从中间卡合位置向第二卡合位置移动时，上述连结工作台卡定在杆部件上，导向弹簧变形。

在本发明中，在上述气缸的左右两侧，经上述气缸对称地配设了被连结在阀板的两端的两根阀轴和与各阀轴对应的两组动作机构。

本发明的门阀，通过在由气缸操作的驱动底座和安装在阀轴上的杆部件之间，夹装了使用弹簧的连结机构和凸轮机构，同时，设置使杆部件在阀板的相向位置或全开位置停止的止动部件机构，能够使用一个气缸进行使阀板向上述相向位置和全开位置移动的操作、和使该阀板在这些相向位置及全开位置倾斜转动而使阀密封件抵接于开口的周围的阀座部及壁面的操作，其结果，能够使门阀的构造及气缸的控制系统变得简单。

附图说明

图1是省略阀箱及动作部壳体来表示本发明的一实施方式的中间动作状态下的立体图。

图2是图1的局部剖主视图。

图3是图2的右视图。

图4是沿图2的IV-IV线的剖视图。

图5是阀板处于相向位置的动作状态下的右视图。

图6是与图5同样的动作状态下的在与图4同样的位置的剖视图。

图7是阀板处于封闭密封位置的动作状态下的右视图。

图8是与图7同样的动作状态下的在与图4同样的位置的剖视图。

图9是阀板处于全开位置的动作状态下的右视图。

图10是与图9同样的动作状态下的在与图4同样的位置的剖视图。

图11是阀板处于开放密封位置的动作状态下的右视图。

图12是与图11同样的动作状态下的在与图4同样的位置的剖视图。

具体实施方式

为了实施发明的方式

图表示有关本发明的门阀的一实施方式。此门阀是对与半导体处理装置的真空腔70(参见图3)连接、与该真空腔70连通的开口4进行开闭的部件，是在该真空腔70的排气、半导体晶片相对于该真空腔70出入时等开闭上述开口4的部件。此门阀如图1～图4所示，具有与上述真空腔70连接的阀箱1；与该阀箱1的下部连接的动作部壳体2。

上述阀箱1呈方形的箱形，在相对的前后的壁1a及1b上形成与上述真空腔70连通的横向长的矩形的开口4和开口5，在该阀箱1的内部，收容了开闭前方的壁1a的开口4的横向长的矩形的阀板6。而且，在上述前方的壁1a的内面上，以包围上述开口4的方式形成矩形或长圆形的阀座部7，在上述阀板6的前面上，安装了抵接于该阀座部7而关闭上述开口4的矩形或长圆形的阀密封件8。

另外，在上述阀板6的上端部形成连通孔6a，在该阀板6待机在使上述开口4成为全开的位置的情况下，上述开口4和开口5通过此连通孔6a无障碍地连通。但是，此连通孔6a不一定是必要的，即使阀板6没有形成此连通孔6a的上端部也没关系。

在上述阀板6的左右两端部连结着两根阀轴10的上端，该阀轴10的下端部以可倾斜转动的方式贯通上述阀箱1的底壁1c和动作部壳体2的上端的罩板2a，一直延伸至该动作部壳体2的内部。

在上述动作部壳体2的内部，做成下述结构，即，配设了单一的气缸11和夹设在该气缸11与上述两根阀轴10之间的两组动作机构12，由上述单一的气缸11经两组动作机构12操作两根阀轴10，由此，上述阀板6占据与上述开口4相向的相向位置(图5、图6)、将阀密封件8向阀座部7推压而将上述开口4封闭的封闭密封位置(图7、图8)、作为与上述开口4非相向的位置的全开位置(图9、图10)、和在该全开位置将阀密封件8向阀箱1的前方的壁1a的壁面9推压的开放密封位置(图11、图12)。

另外，在门阀的实际操作中，在由阀板6关闭了开口4的情况下，该阀板6从图11、图12的开放密封位置依次向图9、图10的全开位置、图5、图6的相向位置、图7、图8的封闭密封位置动作，在开放开口4的情况下，向与之相反的顺序动作，但是，为了便于说明，本门阀的结构的说明如图1～图4所示，对阀板6处于中间动作位置的情况进行说明。

上述气缸11具有呈棱柱状的缸体15、该缸体15的内部的活塞16、与该活塞16连结的活塞杆17，活塞杆17以向下伸缩的姿势垂直地固定在上述罩板2a的下面上，在该气缸11的左右两侧的位置经该气缸11对称地配设了上述两根阀轴10和两组动作机构12。因此，上述气缸11的中心轴线L和门阀的中心轴线一致。

上述动作机构12具有与上述气缸11的活塞杆17连结并与该活塞杆17一起移动的驱动底座20；固定在上述阀轴10上并与该阀轴10一起移动的杆部件21；以能够相对位移的方式将该杆部件21和上述驱动底座20连结的连结机构22；使上述杆部件21倾斜转动的凸轮机构23；使上述杆部件21停止在上述阀板6的相向位置或全开位置的止动部件机构24。

上述驱动底座20是由将中央部连结在上述活塞杆17上且左右均匀地延伸的一张板状的部件20A构成的部件，此部件20A的右半部形成右侧的动作机构12的驱动底座20，左半部形成左侧的动作机构12的驱动底座20。

另外，上述杆部件21由呈U字形的一个部件21A形成，此部件21A在活塞杆17自由贯通该部件的水平的底板的中央的孔的状态下以沿上述缸体15的侧面位移的方式被配设在上述驱动底座20与罩板2a之间。而且，该部件21A的右半部形成右侧的动作机构12的杆部件21，左半部形成左侧的动作机构12的杆部件21。上述杆部件21在其侧面具有轴安装部26，在此轴安装部26的位置上由螺母27固定在上述阀轴10的下端。

在安装在上述罩板2a上的筒状的支承部件29和安装在阀轴10上的环状的支承部件30上，以包围该阀轴10的一部分的方式连结着伸缩自由的波纹管31的两端，上述阀箱1的内部和动作部壳体2的内部由此波纹管31相互隔断，使阀箱1内的工艺气体不会流入动作部壳体2的内部。

为了形成上述凸轮机构23，在上述驱动底座20上，在从其端部开始稍许内侧即靠近中心轴线L侧的位置，固定了沿上述杆部件21的外面在中心轴线L方向(驱动底座20的移动方向)延伸的凸轮板34，在该凸轮板34上，形成了在中央折弯成く字形的形式的凸轮槽35。

与此相对，在上述杆部件21的下端部的外侧面上，固定了贯通上述凸轮槽35并水平延伸至上述驱动底座20的端部附近的凸轮轴36，在此凸轮轴36的中间位置，旋转自由地安装了由辊构成的凸轮从动件37，此凸轮从动件37与上述凸轮槽35卡合。此凸轮从动件37在维持上述驱动底座20和杆部件21保持一定的位置关系不变地不相对位移的状态(一体状态)时，占据与上述凸轮槽35的中央卡合的中间卡合位置A，若上述驱动底座20和杆部件21相对位移，则能够从上述中间卡合位置A向凸轮槽35的一端的第一卡合位置B或另一端的第二卡合位置C移动。而且，通过此凸轮从动件37的移动，上述杆部件21和阀轴10及阀板6沿上述凸轮槽35的倾斜面一体倾斜转动，该阀板6占据上述封闭密封位置(图8)或开放密封位置(图12)。

另外，为了构成上述连结机构22，在上述驱动底座20的端部形成了工作台支撑件40，同时，在上述凸轮板34的上端部外侧面上，与上述工作台支撑件40平行地固定了板状的底座弹簧支撑件41，在这些工作台支撑件40和底座弹簧支撑件41之间，以能够沿两根平行的导向轴43位移的方式配设了呈板状的连结工作台42。上述导向轴43与中心轴线L平行地配设，上下端被固定在上述工作台支撑件40和底座弹簧支撑件41上，贯通上述连结工作台42。另外，在上述连结工作台42的上面上，固定了倒槽形的卡定部件44，上述凸轮轴36的端部进入此卡定部件44的倒槽的内部。

另一方面，在上述杆部件21的轴安装部26上形成了杆弹簧支撑件45，此杆弹簧支撑件45经上述底座弹簧支撑件41占据了与上述工作台支撑件40相反侧的位置。而且，在此杆弹簧支撑件45和上述连结工作台42的卡定部件44之间，在贯通形成在底座弹簧支撑件41上的孔41a的状态下呈压缩状态地夹设了呈线圈状的一个杆弹簧47，另外，在上述连结工作台42和上述底座弹簧支撑件41之间，以包围上述导向轴43的方式呈压缩状态地夹设了呈线圈状的两个导向弹簧48。

上述连结工作台42通常由上述杆弹簧47和导向弹簧48的加载力向驱动底座20的工作台支撑件40推压，由此，维持上述驱动底座20和杆部件21保持相互一定的位置关系不变地不相对位移的一体状态。此时，上述凸轮从动件37占据了凸轮槽35中央的中间卡合位置A。另外，连结工作台42的卡定部件44处于从上方与凸轮轴36接触的状态，但是，没有达到由该凸轮轴36升起而使连结工作台42从上述工作台支撑件40浮起的程度。

而且，因为上述驱动底座20和杆部件21维持着一体状态不变地由气缸11向上述相向位置或全开位置移动，若在杆部件21由止动部件机构24停止在该位置后，驱动底座20进一步移动，则凸轮槽35相对于凸轮从动件37位移，所以，该凸轮从动件37向上述第一卡合位置B或第二卡合位置C相对移动。在此情况下，因为在通过驱动底座20(凸轮槽35)向上方的移动，上述凸轮从动件37从中间卡合位置A向凸轮槽35下端的第一卡合位置B移动时，上述连结工作台42卡定于驱动底座20不变地与该驱动底座20一体移动，所以，杆弹簧47被压缩。另外，因为在通过驱动底座20(凸轮槽35)向下方的移动，上述凸轮从动件37从中间卡合位置A向凸轮槽35上端的第二卡合位置C移动时，上述连结工作台42的卡定部件44卡定于凸轮轴36，该连结工作台42卡定于杆部件21，所以，该连结工作台42也停止在该位置，导向弹簧48被压缩。

上述止动部件机构24由在杆部件21上在该杆部件21的移动方向隔开间隔设置的第一抵接部件51及第二抵接部件52和以与气缸11的缸体15呈固定关系的方式配设的第一止动部件53及第二止动部件54形成。

上述第一抵接部件51及第二抵接部件52由辊形成，第一抵接部件51配设在杆部件21的上部侧，第二抵接部件52配设在杆部件21的下部侧。

与此相对，上述第一止动部件53及第二止动部件54呈上述辊能够嵌合的那样的凹状，上述第一止动部件53设置在罩板2a的下面上，第二止动部件54形成在缸体15的侧面上。

而且，上述第一抵接部件51抵接于第一止动部件53的位置是阀板6的相向位置，另外，上述第二抵接部件52抵接于第二止动部件54的位置是阀板6的全开位置，在这些位置上，上述杆部件21停止移动。

在上述驱动底座20和杆部件21上，设置了用于在这些驱动底座20和杆部件21处于一体状态的情况下使杆部件21不倾斜的姿势控制机构25。此姿势控制机构25由固定在上述凸轮板34的上端的槽板57和安装在上述杆部件21的侧面上的卡定销58形成。

在上述槽板57上，从其上端向下方切出了卡定槽59，该卡定槽59的槽宽在上端部局部地变得狭窄，在除此以外的部分中变得宽阔。

上述卡定销58在上述驱动底座20和杆部件21处于一体状态的情况下，卡合于上述卡定槽59的上端的槽宽狭窄的部分上，由此，防止上述杆部件21的倾斜，若上述驱动底座20和杆部件21相对位移，则通过在上述卡定槽59内向槽宽宽阔的部分移动或脱离该卡定槽59，容许上述杆部件21的倾斜。即，在驱动底座20朝向封闭密封位置向上方移动时，上述卡定销58在上述卡定槽59内向槽宽宽阔的部分移动，在驱动底座20朝向开放密封位置向下方移动时，上述卡定销58占据从上述卡定槽59向上方拔出的位置。

另外，为了向处于上述气缸11的内部的活塞16的两侧的第一及第二两个压力室61a、61b进行压缩空气的供排，与各压力室61a、61b单独连通的第一及第二两根导管62a、62b从缸体15向下延伸，在该导管62a、62b的下端安装了端口板63。此端口板63是兼作上述动作部壳体2的底板的部件，在侧面具有第一及第二两个端口64a、64b，同时，在内部具有与该端口64a、64b连通的两个流路，此流路与上述导管62a、62b单独连通。而且，通过对上述两个端口64a、64b交替地供排压缩空气，上下地驱动上述活塞16来操作阀板6。

在具有上述结构的门阀中，图2～图4表示从第一端口64a通过第一导管62a向气缸11的第一压力室61a内供给压缩空气，同时，从第二导管62b通过第二端口64b将第二压力室61b内的空气向外部排出，由此，活塞杆17上升，阀板6从图12的开放密封位置趋向于图8的封闭密封位置的途中的中间动作状态。此时，上述驱动底座20和杆部件21由连结机构22维持一体状态，上述凸轮机构23的凸轮从动件37处于中间卡合位置A，上述止动部件机构24的第一抵接部件51及第二抵接部件52和第一止动部件53及第二止动部件54均处于非抵接的状态，上述姿势控制机构25的卡定销58卡合于上述卡定槽59的上端的槽宽狭窄的部分上，防止了上述杆部件21的倾斜。

若气缸11的活塞杆17从上述图2-图4的状态通过相对于第一压力室61a而言的压缩空气的进一步的供给而上升，则如图5及图6所示，杆部件21的上端的第一抵接部件51抵接于第一止动部件53，该杆部件21停止在该位置。因此，固定在该杆部件21上的阀轴10及阀板6也同样停止，阀板6占据与开口4相向的相向位置。

但是，因为在上述杆部件21停止后，驱动底座20通过活塞杆17仍旧继续上升，所以，如图7及图8所示，经卡定于该驱动底座20上的连结工作台42，杆弹簧47被压缩，同时，该驱动底座20的凸轮槽35相对于上述杆部件21的凸轮从动件37向上方位移。通过此凸轮槽35的位移，上述凸轮从动件37从中间卡合位置A向该凸轮槽35下端的第一卡合位置B相对移动，通过此凸轮从动件37的移动，上述杆部件21和阀轴10及阀板6成为一体，沿凸轮槽35的倾斜面倾斜转动，该阀板6的阀密封件8被推压到阀座部7上，该阀板6占据封闭密封位置。

另外，因为在上述姿势控制机构25中，卡定槽59与上述驱动底座20一起向上方位移，所以，上述杆部件21的卡定销58在该卡定槽59内向下方移动，向槽宽宽阔的部分移动，容许该杆部件21的倾斜转动。

接着，在从上述图7及图8的封闭密封位置将上述开口4开放时，从第二端口64b通过第二导管62b向气缸11的第二压力室61b内供给压缩空气，同时，从第一导管62a将第一压力室61a内的空气通过第一端口64a向外部排出。由此，首先如上述图5及图6所示，因为依靠活塞杆17的下降力和被压缩的上述杆弹簧47的弹性复原力，上述驱动底座20下降，凸轮槽35也与其一起下降，所以，上述凸轮从动件37在凸轮槽35内从第一卡合位置B向中间卡合位置A转移，与此相伴，上述杆部件21和阀轴10及阀板6的倾斜被解除，阀密封件8离开阀座部7，阀板6占据相向位置。另外，上述驱动底座20和杆部件21通过连结机构22成为一体状态，上述卡定销58与卡定槽59的上端的槽宽狭窄的部分卡合。

而且，若活塞杆17从上述状态继续下降，则经过图3及图4所示的动作状态，如图9及图10所示，杆部件21的下方的第二抵接部件52抵接于第二止动部件54，该杆部件21停止在此位置。因此，阀轴10及阀板6也与该杆部件21一起停止，该阀板6在离开开口4的位置占据与该开口4非相向的全开位置。另外，通过连结工作台42上的卡定部件44从上方卡定于凸轮轴36，该连结工作台42的下降也在该位置停止。

但是，因为上述驱动底座20通过活塞杆17仍旧继续下降，所以，如图11及图12所示，该驱动底座20的底座弹簧支撑件41和上述连结工作台42之间的导向弹簧48被压缩，同时，该驱动底座20的凸轮槽35相对于上述杆部件21的凸轮从动件37向下方位移。通过此凸轮槽35的位移，上述凸轮从动件37从中间卡合位置A向该凸轮槽35上端的第二卡合位置C相对移动，通过此凸轮从动件37的移动，上述杆部件21和阀轴10及阀板6成为一体，沿凸轮槽35的倾斜面倾斜转动，该阀板6的阀密封件8被推压到阀箱1的壁1a的内壁面9上，该阀板6占据开放密封位置。

另外，因为在上述姿势控制机构25中，上述卡定槽59与驱动底座20一起向下方位移，所以，上述杆部件21的卡定销58从该卡定槽59向外部脱离，容许上述杆部件21的倾斜转动。

而且，在从上述图11及图12的开放密封位置将上述开口4关闭时，使相对于气缸11的第一及第二压力室61a、61b而言的压缩空气的供排关系相反。由此，首先因为依靠活塞杆17的上升力和被压缩的上述导向弹簧48的弹性复原力，上述驱动底座20上升，凸轮槽35也与其一起上升，所以，上述凸轮从动件37在凸轮槽35内从第二卡合位置C向中间卡合位置A转移，与此相伴，上述杆部件21和阀轴10及阀板6的倾斜被解除，阀密封件8离开壁1a的壁面9，阀板6如图9及图10所示，占据全开位置。另外，通过上述连结底座抵接于驱动底座20的工作台支撑件40，该驱动底座20和杆部件21成为一体状态，上述卡定销58与卡定槽59的上端的槽宽狭窄的部分卡合。

而且，通过活塞杆17从上述状态继续上升，动作机构12经由图3及图4的动作状态，以阀板6向封闭密封位置转移的方式动作。

这样，根据上述实施方式，通过在由气缸11操作的驱动底座20与安装在阀轴10上的杆部件21之间夹装由弹簧47、48及连结工作台42构成的连结机构22和凸轮机构23，同时，设置使上述杆部件21在阀板6的相向位置或全开位置停止的止动部件机构24，能够使用一个气缸11进行使上述阀板6从开放密封位置向封闭密封位置转移或向与之相反的方向转移的操作。因此，与使用多个气缸的以往制品相比，能够做成门阀的结构简单，气缸的控制系统也简单的制品。

在上述实施方式中，门阀具有阀箱1，在此阀箱1的内部收容了阀板6，但是，这样的阀箱1不一定是必要的，仅保留与该阀箱1的前方的壁1a相当的壁，去掉该阀箱1的后方的壁1b和左右的壁及上部的壁也没有关系。这样构成的门阀能够适合于用于使半导体晶片出入真空腔的开口的开闭。另外，能够与需要相应地省略形成了上述阀板6的上端部的流通孔6a的部分这点与上述的实施方式的情况相同。

Claims

1.一种门阀，所述门阀具有对与真空腔连通的开口进行开闭的阀板；设置在该阀板上的阀密封件；与该阀板连结的阀轴；对该阀板进行开闭操作的气缸；夹设在此气缸和上述阀轴之间的动作机构，由上述气缸经该动作机构操作阀轴，由此，使上述阀板向与上述开口相向的相向位置、将阀密封件向上述开口的周围的阀座部推压而将该开口关闭的封闭密封位置、与该开口非相向的全开位置、和在该全开位置将阀密封件向形成了上述开口的壁的壁面推压的开放密封位置转移，其特征在于，

2.如权利要求1所述的门阀，其特征在于，在上述驱动底座上，在该驱动底座的移动方向隔开间隔形成了工作台支撑件和底座弹簧支撑件，另外，杆弹簧支撑件以经上述底座弹簧支撑件占据与上述工作台支撑件相反的位置的方式形成在上述杆部件上，在上述工作台支撑件和底座弹簧支撑件之间可位移地配设上述连结工作台，在该连结工作台和上述杆弹簧支撑件之间夹设上述杆弹簧，同时，在上述连结工作台和上述底座弹簧支撑件之间夹设上述导向弹簧。

3.如权利要求2所述的门阀，其特征在于，为了上述连结工作台的导向，将两根平行的导向轴以贯通该连结工作台的方式安装在上述工作台支撑件和底座弹簧支撑件上，以包围各导向轴的方式设置两个呈线圈状的上述导向弹簧。

4.如权利要求1至3中的任一项所述的门阀，其特征在于，在上述凸轮从动件在凸轮槽内从中间卡合位置向第一卡合位置移动时，上述连结工作台卡定在驱动底座上，杆弹簧变形，在上述凸轮从动件在凸轮槽内从中间卡合位置向第二卡合位置移动时，上述连结工作台卡定在杆部件上，导向弹簧变形。

5.如权利要求1至3中的任一项所述的门阀，其特征在于，在上述气缸的左右两侧，经上述气缸对称地配设了被连结在阀板的两端的两根阀轴和与各阀轴对应的两组动作机构。

6.如权利要求4所述的门阀，其特征在于，在上述气缸的左右两侧，经上述气缸对称地配设了被连结在阀板的两端的两根阀轴和与各阀轴对应的两组动作机构。