KR102206550B1 - 게이트 밸브, 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 게이트 밸브를 제공한다. 인접하는 제1챔버와 제2챔버의 사이에 배치되어 상기 제1챔버의 제1내부 공간과 상기 제2챔버의 제2내부공간을 서로 연통 또는 차단시키는 게이트 밸브는, 버퍼 공간, 상기 버퍼 공간 및 상기 제1내부 공간을 연통시키는 제1개구와 상기 버퍼 공간 및 상기 제2내부 공간을 연통시키는 제2개구가 형성된 하우징과; 상기 제1개구와 상기 제2개구를 개폐하는 밸브 유닛을 포함하되, 상기 밸브 유닛은, 상기 버퍼 공간 내에 위치되어 상기 버퍼 공간 내에서 이동 가능하고, 상기 바디를 관통하는 개방부가 형성된 바디와; 상기 바디를 폐쇄 위치와 개방 위치 간에 이동시키는 구동기를 포함하되, 상기 개방 위치는 상기 개방부가 상기 제1개구 및 상기 제2개구와 중첩되는 위치이고, 상기 폐쇄 위치에서는 상기 개방부가 상기 제1개구 및 상기 제2개구와 중첩되지 않는 위치일 수 있다.

Description

게이트 밸브, 이를 포함하는 기판 처리 장치{A gate valve, and a substrate processing apparatus including the same}
본 발명은 게이트 밸브, 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
유기 발광 소자를 제조하는 방법은 저분자 물질을 진공 중에 증발시켜 제조하는 방법과, 고분자 물질을 용제에 녹여 스핀 코팅(Spin coating)하는 방법이 알려져 있다. 이와 같은 방법 중에서, 고진공에서 박막을 제작하는 저분자 유기 발광 소자 제조 방법의 경우 임의의 형상의 개구부를 가지는 마스크를 기판 앞에서 정렬하여 이 기판에 유기 물질을 증착하여 박막을 제작한다.
도 1은 유기 발광 소자를 제조하는 일반적인 장치를 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(300)는 제1챔버(301), 제2챔버(302), 그리고 게이트 밸브(310)를 포함한다. 제1챔버(301)와 제2챔버(302)는 각각 내부 공간을 가진다. 또한, 제1챔버(301)와 제2챔버(302)에서는 서로 동일하거나 상이한 기판 처리 공정을 수행할 수 있다. 예컨대, 제1챔버(301)와 제2챔버(302) 각각에서는 기판(G)으로 유기 물질을 증착하는 공정을 수행할 수 있다. 또는, 제1챔버(301)에서는 유기 물질을 증착하는 공정을 수행하고, 제2챔버(302)에서는 유기 물질을 증착하는 공정 이외의 공정을 수행할 수 있다. 제1챔버(301)에서의 처리가 완료된 기판(G)은 제2챔버(302)로 반송된다. 이 과정에서, 제1챔버(301)와 제2챔버(302) 사이에 배치된 게이트 밸브(310)는, 제1챔버(301)와 제2챔버(302) 각각에 형성된 개구를 개방한다. 이에, 제1챔버(301)와 제2챔버(302)는 서로 연통 된다. 제1챔버(301)와 제2챔버(302)가 서로 연통되면서, 제1챔버(301)의 내부 공간에 공급된 유기 물질, 기판(G) 처리 중 발생하는 흄(Fume) 등의 오염 물질(P)은 게이트 밸브(310)가 가지는 구성에 부착된다. 그러나, 게이트 밸브(310)는 일반적으로 제1챔버(301)와 제2챔버(302) 사이에 고정되어 설치되어, 게이트 밸브(310)를 따로 분리하는 것이 어렵다. 이에, 게이트 밸브(310)의 구성에 부착된 오염 물질(P)을 세정하는 것이 용이하지 않다.
또한, 게이트 밸브(310)의 구성에 오염 물질(P)이 다량으로 부착된 경우, 게이트 밸브(310) 자체를 교체해야 한다. 이에, 게이트 밸브(310)의 유지 보수 비용이 증가한다.
본 발명은 게이트 밸브가 오염되는 경우, 게이트 밸브의 유지 보수 작업이 용이한 게이트 밸브, 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 단순한 구조로, 인접한 챔버를 서로 연통 또는 차단시킬 수 있는 게이트 밸브, 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 게이트 밸브를 제공한다. 인접하는 제1챔버와 제2챔버의 사이에 배치되어 상기 제1챔버의 제1내부 공간과 상기 제2챔버의 제2내부공간을 서로 연통 또는 차단시키는 게이트 밸브는, 버퍼 공간, 상기 버퍼 공간 및 상기 제1내부 공간을 연통시키는 제1개구와 상기 버퍼 공간 및 상기 제2내부 공간을 연통시키는 제2개구가 형성된 하우징과; 상기 제1개구와 상기 제2개구를 개폐하는 밸브 유닛을 포함하되, 상기 밸브 유닛은, 상기 버퍼 공간 내에 위치되어 상기 버퍼 공간 내에서 이동 가능하고, 상기 바디를 관통하는 개방부가 형성된 바디와; 상기 바디를 폐쇄 위치와 개방 위치 간에 이동시키는 구동기를 포함하되, 상기 개방 위치는 상기 개방부가 상기 제1개구 및 상기 제2개구와 중첩되는 위치이고, 상기 폐쇄 위치에서는 상기 개방부가 상기 제1개구 및 상기 제2개구와 중첩되지 않는 위치일 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 밸브 유닛은, 상기 개방부의 내측면에 탈착 가능하게 제공되는 오염 방지 부재를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 오염 방지 부재 또는 상기 바디에는 상기 바디와 상기 하우징 사이를 실링하는 실링 유닛이 설치되고, 상기 실링 유닛은, 상기 바디와 상기 하우징의 내측면 사이에 위치되는 실링 부재와; 상기 실링 부재를 상기 하우징의 내측면에 접하도록 힘을 가하는 탄성체를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 실링 부재는, 상기 제1개구와 상기 제2개구가 배열되는 방향에서 바라보고, 상기 바디가 상기 개방 위치에 위치될 때 상기 제1개구 또는 상기 제2개구를 감싸는 링 형상으로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 오염 방지 부재에는 상기 제2개구로부터 멀어지는 방향으로 단차지는 홈들이 형성되고, 상기 탄성체는 상기 홈들에 각각 설치될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 바디에는 상기 제1개구로부터 멀어지는 방향으로 단차지는 홈들이 형성되고, 상기 탄성체는 상기 홈들에 각각 설치될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 오염 방지 부재는, 상기 개방부의 내측면과 대응하는 형상을 가지고, 상부 및 하부가 개방된 통 형상을 가지는 제1오염 방지부와; 상기 제1오염 방지부로부터 외측으로 연장되고, 나사가 관통하는 홀을 가지는 제2오염 방지부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 바디에는 상기 제2오염 방지부가 상기 바디에 조합되도록 상기 제1개구 또는 상기 제2개구에서 멀어지는 방향으로 단차지는 단차부가 형성될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1개구와 상기 제2개구는 서로 마주보고, 크기가 서로 상이하게 제공될 수 있다.
또한, 본 발명은 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 기판을 처리하는 장치는, 상부 챔버; 상기 상부 챔버의 아래에 배치되는 하부 챔버; 상기 상부 챔버와 상기 하부 챔버 사이에 배치되는 게이트 밸브를 구비하되, 상기 상부 챔버는 상기 제1챔버이고, 상기 하부 챔버는 상기 제2챔버일 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 게이트 밸브가 오염되는 경우, 게이트 밸브의 유지 보수 작업이 용이하다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 단순한 구조로, 인접한 챔버를 서로 연통 또는 차단시킬 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 유기 발광 소자를 제조하는 일반적인 장치를 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다.
도 3은 도 2의 게이트 밸브의 모습을 보여주는 단면도이다.
도 4는 도 3의 밸브 유닛과 실링 유닛을 보여주는 사시도이다.
도 5는 도 3의 'A' 영역을 보여주는 단면도이다.
도 6은 도 3의 'B' 영역을 보여주는 단면도이다.
도 7과 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브가 구동하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브에서 오염 방지 부재가 탈착하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 게이트 밸브를 보여주는 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
이하에서는 본 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다. 도 2를 참조하면, 기판 처리 장치는 제1챔버(410), 제2챔버(420), 그리고 게이트 밸브(500)를 포함한다.
제1챔버(410)와 제2챔버(420)는 서로 인접하게 배치될 수 있다. 제1챔버(410)와 제2챔버(420)는 각각 제1내부 공간(411)과 제2내부 공간(421)을 가진다. 제1내부 공간(411)과 제2내부 공간(421)에서는 각각 기판을 처리하는 공정이 수행될 수 있다. 제1챔버(410)와 제2챔버(420)는 서로 동일한 기판 처리 공정을 수행하거나, 서로 상이한 기판 처리 공정을 수행할 수 있다. 예컨대, 제1챔버(410)와 제2챔버(420)에서 기판에 유기 물질을 증착하는 공정을 수행할 수 있다. 이와 달리, 제1챔버(410)에서는 기판에 유기 물질을 증착하는 공정을 수행하고, 제2챔버(420)에서는 기판에 유기 물질을 증착하는 공정 이외의 기판 처리 공정을 수행할 수 있다.
게이트 밸브(500)는 인접하는 제1챔버(410)와 제2챔버(420) 사이에 배치된다. 게이트 밸브(500)는 제1챔버(410)의 제1내부 공간(411)과 제2챔버(420)의 제2내부 공간(421)을 서로 연통 또는 차단시킬 수 있다.
도 3은 도 2의 게이트 밸브의 모습을 보여주는 단면도이다. 도 4는 도 3의 밸브 유닛과 실링 유닛을 보여주는 사시도이다. 도 3과 도 4를 참조하면, 게이트 밸브(500)는 하우징(510), 밸브 유닛(530), 그리고 실링 유닛(550)을 포함할 수 있다.
하우징(510)은 전체적으로 직육면체의 형상을 가질 수 있다. 하우징(510)에는 버퍼 공간(512), 제1개구(514), 그리고 제2개구(516)가 형성된다. 버퍼 공간(512)은 하우징(510)의 내부에 형성될 수 있다. 버퍼 공간(512)에는 후술하는 밸브 유닛(530)의 바디(532)가 위치될 수 있다. 또한, 버퍼 공간(512)은 바디(532)의 직선 이동이 가능한 체적을 가질 수 있다.
제1개구(514)와 제2개구(516)는 버퍼 공간(512)을 제1내부 공간(411) 및 제2내부 공간(412)과 연통 시킬 수 있다. 예컨대, 제1개구(514)는 버퍼 공간(512)과 제1내부 공간(411)을 서로 연통시킬 수 있다. 또한, 제2개구(516)는 버퍼 공간(512)과 제2내부 공간(421)을 서로 연통시킬 수 있다. 즉, 제1개구(514)는 제1챔버(410)에 인접하도록 하우징(510)에 형성될 수 있다. 또한, 제2개구(516)는 제2챔버(420)에 인접하도록 하우징(510)에 형성될 수 있다. 또한, 제1개구(514)와 제2개구(516)는 서로 마주보고, 크기가 서로 상이하게 제공될 수 있다.
밸브 유닛(530)은 제1개구(514)와 제2개구(516)를 개폐할 수 있다. 밸브 유닛(530)은 바디(532), 로드(535), 그리고 구동기(537)를 포함할 수 있다.
바디(532)는 버퍼 공간(512) 내에 위치한다. 바디(532)는 전체적으로 직육면체의 형상을 가질 수 있다. 바디(532)에는 바디(532)를 관통하는 개방부(533)가 형성될 수 있다. 개방부(533)는 바디(532)의 상면 및 하면을 관통하여 형성될 수 있다. 개방부(533)는 개방 위치에서 제1개구(514), 그리고 제2개구(516)와 중첩될 수 있다. 또한, 개방부(533)는 폐쇄 위치에서 제1개구(514), 그리고 제2개구(516)와 중첩되지 않을 수 있다. 여기서 개방 위치는 제1개구(514)와 제2개구(516)가 배열되는 방향에서 바라볼 때, 개방부(533)가 제1개구(514)와 제2개구(516)와 중첩되는 위치일 수 있다. 즉, 바디(532)가 개방 위치에 위치되는 경우, 제1챔버(410)의 제1내부 공간(411)과 제2챔버(420)의 제2내부 공간(421)은 서로 연통될 수 있다. 또한, 폐쇄 위치는 제1개구(514)와 제2개구(516)가 배열되는 방향에서 바라볼 때, 개방부(533)가 제1개구(514)와 제2개구(516)와 중첩되지 않는 위치일 수 있다. 즉, 바디(532)가 폐쇄 위치에 위치되는 경우, 제1챔버(410)의 제1내부 공간(411)과 제2챔버(420)의 제2내부 공간(421)은 서로 차단 될 수 있다.
또한, 바디(532)에는 단차부(534)가 형성될 수 있다. 단차부(534)는 후술하는 오염 방지 부재(540)가 바디(532)에 조합될 수 있도록 단차질 수 있다. 단차부(534)는 제1개구(514) 또는 제2개구(516)에서 멀어지는 방향으로 단차질 수 있다. 예컨대, 도 3과 도 4에 도시된 바와 같이, 단차부(534)는 제1개구(514)로부터 멀어지는 방향으로 단차질 수 있다. 후술하는 오염 방지 부재(540)는 개방부(533)의 내측면과 단차부(534)의 내측면에 접하면서, 바디(532)에 결합될 수 있다.
로드(535)는 바디(532)와 결합된다. 로드(535)는 축 형상을 가질 수 있다. 로드(535)는 구동기(537)로부터 구동력을 전달받는다. 로드(535)는 구동기(537)로부터 전달받은 구동력을 바디(532)에 전달할 수 있다. 이에, 구동기(537)는 버퍼 공간(512)에 위치된 바디(532)를 직선 이동시킬 수 있다. 구동기(537)는 다양한 예로 변형될 수 있다. 예컨대, 구동기(537)는 로드(535)에 공압, 유압 등을 제공하는 공지의 장치로 제공될 수 있다. 또한, 구동기(537)는 스텝 모터 등으로 제공되어 바디(532)의 이동을 정밀하게 조절할 수 있다.
오염 방지 부재(540)는 바디(532)에 결합될 수 있다. 오염 방지 부재(540)는 바디(532)에 탈착 가능하게 제공될 수 있다. 오염 방지 부재(540)는 내식성이 큰 재질로 제공될 수 있다. 예컨대, 오염 방지 부재(540)는 니켈(Ni) 및/또는 크롬(Cr)을 포함하는 강으로 제공될 수 있다. 오염 방지 부재(540)는 스테인리스를 포함하는 재질로 제공될 수 있다.
오염 방지 부재(540)는 제1오염 방지부(541)와 제2오염 방지부(542)를 포함할 수 있다. 제1오염 방지부(541)는 상부 및 하부가 개방된 통 형상으로 제공될 수 있다. 제1오염 방지부(541)는 개방부(533)의 내측면과 대응하는 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 개방부(533)가 사각의 형상을 가지는 경우 제1오염 방지부(541)는 상부 및 하부가 개방된 사각의 통 형상으로 제공될 수 있다. 오염 방지 부재(540)가 바디(532)에 결합되면 제1오염 방지부(541)는 개방부(533)의 내측면과 접할 수 있다.
제2오염 방지부(542)는 제1오염 방지부(541)로부터 외측으로 연장될 수 있다. 제2오염 방지부(542)는 제1오염 방지부(541)의 높이 방향과 수직한 방향으로 외측으로 연장될 수 있다. 제2오염 방지부(542)는 바디(532)에 형성된 단차부(534)와 대응하는 형상을 가질 수 있다. 오염 방지 부재(540)가 바디(532)에 결합되면 제2오염 방지부(542)는 단차부(534)의 내측면과 접할 수 있다. 또한, 제2오염 방지부(542)에는 홀(543)이 형성될 수 있다. 오염 방지 부재(540)를 바디(532)에 결합시키는 나사가 홀(543)을 관통할 수 있다.
실링 유닛(550)은 바디(532)와 하우징(510) 사이를 실링할 수 있다. 실링 유닛(550)은 버퍼 공간(512)에 위치되는 바디(532)와 하우징(510)의 내측면 사이에 이격된 공간을 실링할 수 있다. 실링 유닛(550)은 제1실링 유닛(551)과 제2실링 유닛(556)을 포함할 수 있다. 제1실링 유닛(551)은 오염 방지 부재(540)에 설치될 수 있다. 제2실링 유닛(556)은 바디(532)에 설치될 수 있다.
도 5는 도 3의 'A' 영역을 보여주는 단면도이다. 도 5를 참조하면, 제1실링 유닛(551)은 오염 방지 부재(540)에 설치될 수 있다. 제1실링 유닛(551)은 제1탄성체(553), 그리고 제1실링 부재(554)를 포함할 수 있다.
제1실링 부재(554)는 제1개구(514)와 제2개구(516)가 배열되는 방향에서 바라보고, 바디(532)가 개방 위치에 위치될 때 제2개구(516)를 감싸는 링 형상으로 제공될 수 있다.
제1실링 부재(554)는 탄성을 가지는 재질로 제공될 수 있다. 예컨대, 제1실링 부재(554)는 고무를 포함하는 재질로 제공될 수 있다. 제1탄성체(553)는 오염 방지 부재(540)에 설치될 수 있다. 예컨대, 오염 방지 부재(540)에는 제2개구(516)로부터 멀어지는 방향으로 단차지는 홈이 형성될 수 있다. 오염 방지 부재(540)에 형성된 홈은 복수로 제공될 수 있다. 또한 오염 방지 부재(540)에 형성된 홈 서로 이격될 수 있다. 제1탄성체(553)는 오염 방지 부재(540)에 형성된 홈에 각각 설치될 수 있다. 제1탄성체(553)는 제1실링 부재(554)와 접하도록 제공될 수 있다. 이에, 제1탄성체(553)는 제1실링 부재(554)가 하우징(510)의 내측면에 접하도록 힘을 가할 수 있다.
도 6은 도 3의 'B' 영역을 보여주는 단면도이다. 도 6을 참조하면, 제2실링 유닛(556)은 바디(532)에 설치될 수 있다. 제2실링 유닛(556)은 제2탄성체(558), 그리고 제2실링 부재(559)를 포함할 수 있다.
제2실링 부재(559)는 제1개구(514)와 제2개구(516)가 배열되는 방향에서 바라보고, 바디(532)가 개방 위치에 위치될 때 제1개구(514)를 감싸는 링 형상으로 제공될 수 있다.
제2실링 부재(559)는 탄성을 가지는 재질로 제공될 수 있다. 예컨대, 제2실링 부재(559)는 고무를 포함하는 재질로 제공될 수 있다. 제2탄성체(558)는 바디(532)에 설치될 수 있다. 예컨대, 바디(532)에는 제1개구(514)로부터 멀어지는 방향으로 단차지는 홈이 형성될 수 있다. 바디(532)에 형성된 홈은 복수로 제공될 수 있다. 또한 바디(532)에 형성된 홈 서로 이격될 수 있다. 제2탄성체(558)는 바디(532)에 형성된 홈에 각각 설치될 수 있다. 제2탄성체(558)는 제2실링 부재(559)와 접하도록 제공될 수 있다. 이에, 제2탄성체(558)는 제2실링 부재(559)가 하우징(510)의 내측면에 접하도록 힘을 가할 수 있다.
도 7과 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브가 구동하는 모습을 보여주는 도면이다. 도 7은 밸브 유닛(530)의 바디(532)가 개방 위치에 위치되는 모습을 보여주고, 도 8은 밸브 유닛(530)의 바디(532)가 폐쇄 위치에 위치되는 모습을 보여준다. 도 7과 도 8을 참조하면, 밸브 유닛(530)의 바디(532)는 구동기(537)로부터 전달받는 구동력에 의해 버퍼 공간(512) 내에서 직선 이동할 수 있다. 이에, 바디(532)는 개방 위치와 폐쇄 위치 사이를 이동할 수 있다.
개방 위치는 제1개구(514)와 제2개구(516)가 배열되는 방향에서 바라볼 때, 개방부(533)가 제1개구(514)와 제2개구(516)와 중첩되는 위치일 수 있다. 또한, 폐쇄 위치는 제1개구(514)와 제2개구(516)가 배열되는 방향에서 바라볼 때, 개방부(533)가 제1개구(514)와 제2개구(516)와 중첩되지 않는 위치일 수 있다. 바디(532)가 개방 위치에 위치되는 경우, 제1챔버(410)의 제1내부 공간(411)과 제2챔버(420)의 제2내부 공간(411)은 서로 연통 될 수 있다. 바디(532)가 폐쇄 위치에 위치되는 경우, 제1챔버(410)의 제1내부 공간(411)과 제2챔버(420)의 제2내부 공간(421)은 서로 차단 될 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브에서 오염 방지 부재가 탈착하는 모습을 보여주는 도면이다. 게이트 밸브(500)의 밸브 유닛(530)이 개방 위치에 위치되면, 제1챔버(410)의 제1내부 공간(411)과 제2챔버(420)의 제2내부 공간(421)은 서로 연통 된다. 이 경우, 제1챔버(410)에 공급된 유기 물질, 기판을 처리하면서 발생되는 흄(Fume) 등의 오염 물질이 오염 방지 부재(540)에 부착될 수 있다. 오염 방지 부재(540)에 오염 물질 등이 부착되면, 도 9에 도시된 바와 같이 오염 방지 부재(540)를 바디(532)로부터 분리할 수 있다. 분리된 오염 방지 부재(540)는 세정을 거쳐 다시 바디(532)에 결합될 수 있다. 또한, 분리된 오염 방지 부재(540)의 세정이 어려운 경우 새로운 오염 방지 부재(540)가 바디(532)에 결합될 수 있다.
챔버 사이가 연통된 경우에 챔버에서 유출되는 오염 물질은 게이트 밸브에 부착된다. 이에, 기판에 대한 처리가 계속되면 게이트 밸브에 부착된 오염 물질로 인하여 게이트 밸브의 유지 보수가 요구된다. 그러나, 일반적인 게이트 밸브는 챔버 사이에 고정되어 설치되기 때문에, 게이트 밸브를 분리하여 세정하는 것이 용이하지 않다.
또한, 오염 물질이 게이트 밸브에 다량으로 부착되면 게이트 밸브의 교체가 요구된다. 그러나, 일반적인 게이트 밸브에서는 오염 물질이 게이트 밸브에 직접적으로 부착되기 때문에 게이트 밸브의 구성 자체를 교환해야 한다. 이러한 게이트 밸브의 구성을 교체하는 작업은 복잡하고, 게이트 밸브가 오염되지 않는 부분까지 함께 교체해야 하므로 결국 교체 비용이 증가한다.
그러나, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 밸브 유닛(530)의 바디(532)에는 개방부(533)가 형성되고, 개방부(533)에는 오염 방지 부재(540)가 탈부착 가능하게 제공된다. 즉, 본 발명은 게이트 밸브(500)의 구성 중 오염 물질이 집중적으로 부착될 수 있는 영역에 오염 방지 부재(540)를 설치한다. 또한, 오염 방지 부재(540)가 바디(532)와 탈부착 가능하게 제공된다. 이에, 챔버로부터 유입되는 오염 물질이 오염 방지 부재(540)에 부착되면, 오염 방지 부재(540)만을 분리하여 세정을 수행할 수 있다. 이에 유지 보수 단계에서 게이트 밸브(500)에 부착된 오염 물질을 용이하게 세정할 수 있다. 또한, 오염 물질이 부착되지 않는 게이트 밸브(500)의 구성의 교체가 요구되지 않게 되므로, 게이트 밸브(500)의 유지 보수 비용을 절감할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 게이트 밸브(500)가 가지는 바디(532)에 개방부(533)가 형성된다. 이에, 게이트 밸브(500)가 가지는 바디(532)의 직선 운동만으로 인접하는 챔버의 내부 공간을 연통 또는 차단할 수 다. 즉, 일반적인 게이트 밸브(500)의 경우 인접하는 챔버의 내부 공간을 연통 또는 차단하기 위하여 복잡한 구성이 요구된다. 그러나, 본 발명의 일 실시 예에 의하면 바디(532)에 개방부(533)가 형성되어, 이러한 챔버 내부 공간의 연통 또는 차단을 단순한 구성으로 수행할 수 있다. 이에 게이트 밸브(500)의 제작 비용을 절감할 수 있다.
상술한 예에서는, 제1챔버(410)와 제2챔버(420)가 지면에 대하여 수평한 방향으로 배치되는 것을 예로 들어 도시하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 도 10에 도시된 바와 같이 제1챔버(410a)는 상부 챔버일 수 있고, 제2챔버(420b)는 제1챔버(410a)의 아래에 배치되는 하부 챔버일 수 있다. 또한, 제1챔버(410a)와 제2챔버(420b) 사이에는 게이트 밸브(500a)가 배치될 수 있다. 제1챔버(410a), 제2챔버(420b), 그리고 게이트 밸브(500a)의 구성, 작용 및 효과는 상술한 내용과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략한다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 게이트 밸브를 보여주는 도면이다. 도 11을 참조하면, 바디(532)가 폐쇄 위치에 있고 제1개구(514)와 제2개구(516)가 배열되는 방향에서 바라볼 때, 바디(532)가 제1개구(514) 및 제2개구(516)와 중첩되는 영역에 오염 물질이 부착되는 것을 방지하는 오염 방지 플레이트(546)를 더 포함할 수 있다. 오염 방지 플레이트(546)는 바디(532)의 일측면과 타측면에 각각 제공될 수 있다. 오염 방지 플레이트(546)는 바디(532)의 외측면에 나사 결합되어 탈부착이 가능하도록 제공될 수 있다. 또한, 바디(532)가 폐쇄 위치에 있을 때, 챔버 내의 오염 물질이 로드(535)가 위치된 버퍼 공간(512)으로 유입되는 것을 방지하기 위하여, 제3실링 유닛(560)을 더 포함할 수 있다. 제3실링 유닛(560)은 로드(535)에 인접한 바디(532)의 가장자리 영역에 설치될 수 있다. 제3실링 유닛(560)은 상술한 제1실링 유닛(551) 또는 제2실링 유닛(556)과 유사한 방식으로 바디(532)에 결합될 수 있다.
이상에서 실시예를 통해 본 발명을 설명하였으나, 위 실시예는 단지 본 발명의 사상을 설명하기 위한 것으로 이에 한정되지 않는다. 통상의 기술자는 전술한 실시예에 다양한 변형이 가해질 수 있음을 이해할 것이다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구범위의 해석을 통해서만 정해진다.
제1챔버 : 410
제2챔버 : 420)
게이트 밸브 : 500
하우징 : 510
밸브 유닛 : 530
오염 방지 부재 : 540
실링 유닛 : 550

Claims (10)

  1. 인접하는 제1챔버와 제2챔버의 사이에 배치되어 상기 제1챔버의 제1내부 공간과 상기 제2챔버의 제2내부공간을 서로 연통 또는 차단시키는 게이트 밸브에 있어서,
    버퍼 공간, 상기 버퍼 공간 및 상기 제1내부 공간을 연통시키는 제1개구와 상기 버퍼 공간 및 상기 제2내부 공간을 연통시키는 제2개구가 형성된 하우징과;
    상기 제1개구와 상기 제2개구를 개폐하는 밸브 유닛을 포함하되,
    상기 밸브 유닛은,
    상기 버퍼 공간 내에 위치되어 상기 버퍼 공간 내에서 이동 가능하고, 개방부가 형성된 바디와;
    상기 바디를 폐쇄 위치와 개방 위치 간에 이동시키는 구동기를 포함하되,
    상기 개방 위치는 상기 개방부가 상기 제1개구 및 상기 제2개구와 중첩되는 위치이고,
    상기 폐쇄 위치에서는 상기 개방부가 상기 제1개구 및 상기 제2개구와 중첩되지 않는 위치이고,
    상기 밸브 유닛은,
    상기 개방부의 내측면에 탈착 가능하게 제공되는 오염 방지 부재를 더 포함하고,
    상기 오염 방지 부재 또는 상기 바디에는 상기 바디와 상기 하우징 사이를 실링하는 실링 유닛이 설치되고,
    상기 실링 유닛은,
    상기 바디와 상기 하우징의 내측면 사이에 위치되는 실링 부재와;
    상기 실링 부재를 상기 하우징의 내측면에 접하도록 힘을 가하는 탄성체를 더 포함하는 게이트 밸브.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 실링 부재는,
    상기 제1개구와 상기 제2개구가 배열되는 방향에서 바라보고, 상기 바디가 상기 개방 위치에 위치될 때 상기 제1개구 또는 상기 제2개구를 감싸는 링 형상으로 제공되는 게이트 밸브.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 오염 방지 부재에는 상기 제2개구로부터 멀어지는 방향으로 단차지는 홈들이 형성되고,
    상기 탄성체는 상기 홈들에 각각 설치되는 게이트 밸브.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 바디에는 상기 제1개구로부터 멀어지는 방향으로 단차지는 홈들이 형성되고,
    상기 탄성체는 상기 홈들에 각각 설치되는 게이트 밸브.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 오염 방지 부재는,
    상기 개방부의 내측면과 대응하는 형상을 가지고, 상부 및 하부가 개방된 통 형상을 가지는 제1오염 방지부와;
    상기 제1오염 방지부로부터 외측으로 연장되고, 나사가 관통하는 홀을 가지는 제2오염 방지부를 포함하는 게이트 밸브.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 바디에는 상기 제2오염 방지부가 상기 바디에 조합되도록 상기 제1개구 또는 상기 제2개구에서 멀어지는 방향으로 단차지는 단차부가 형성되는 게이트 밸브.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1개구와 상기 제2개구는 서로 마주보고, 크기가 서로 상이하게 제공되는 게이트 밸브.
  10. 상부 챔버;
    상기 상부 챔버의 아래에 배치되는 하부 챔버;
    상기 상부 챔버와 상기 하부 챔버 사이에 배치되는 제1항 및 제4항 내지 제6항 중 어느 하나의 게이트 밸브를 구비하되,
    상기 상부 챔버는 상기 제1챔버이고,
    상기 하부 챔버는 상기 제2챔버인 기판 처리 장치.
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