KR101229324B1 - 게이트 밸브 - Google Patents

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Abstract

본 발명은진공 장비의 배기 라인에 설치되는 게이트 밸브(gate valve)로, 밸브가 배기 라인의 일부를 이루고 이 밸브를 수평 이동시킴으로써 게이트 밸브 내부로 유입되는 공정 오염 물질 및 부산물을 완전히 차단할 수 있으며 배기 효과가 탁월한 게이트 밸브에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 게이트 밸브는, 진공 챔버 배기 라인의 일부가 제거된 상태에서 상기 배기 라인의 제거된 부분에 삽입되어 설치되는 밸브 하우징; 상기 밸브 하우징 내부에 수평 이동가능하게 설치되며, 상기 배기 라인의 제거된 일부를 이루는 연통부와 상기 배기 라인을 차단하는 차단부를 가지는 밸브; 상기 밸브 하우징의 일측에 상기 밸브와 연결되어 설치되며, 상기 밸브를 상기 배기 라인에 직교하는 방향으로 이동시키는 밸브 구동부; 상기 밸브 하우징 내부에 설치되어 상기 밸브의 이동 방향을 안내하는 밸브 이동 안내부; 상기 밸브 내부에 설치되어 상기 밸브를 가열하는 밸브 가열부;를 포함한다.

Description

게이트 밸브{GATE VALVE}
본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 장비의 배기 라인에 설치되는 게이트 밸브(gate valve)로, 밸브가 배기 라인의 일부를 이루고 이 밸브를 수평 이동시킴으로써 게이트 밸브 내부로 유입되는 공정 오염 물질 및 부산물을 완전히 차단할 수 있으며 배기 효과가 탁월한 게이트 밸브에 관한 것이다.
반도체, LCD, LED, 태양전지 등의 정밀 제조 분야에서는 장비 내부의 압력을 대기압 보다 낮게 유지하면서 제조 공정을 진행하는 진공 장비가 많이 사용된다. 이러한 진공 장비에는 진공 장비 내부의 기체를 흡입 배출하여 진공 장비 내부의 압력을 낮게 유지하는 진공 펌프 및 이 진공 펌프와 진공 장비를 연결하는 배기 라인이 설치된다.
그리고 이 배기 라인에는 배기 라인 자체의 개폐를 위하여 게이트 밸브가 설치된다. 종래의 게이트 밸브는 도 1에 도시된 바와 같이, 배기 라인(1)의 중간에 설치되며, 밸브 하우징(10), 밸브(20) 및 밸브 구동부(도면에 미도시)를 포함하여 구성된다.
먼저 밸브(20)는 상기 배기 라인(1)을 가로막아서 차단하는 구성요소이며, 상기 배기 라인(1)에 대하여 직교하는 방향으로 이동한다. 그리고 상기 밸브 하우징(10)은 상기 밸브(20)가 이동하는 경로를 제공하며, 배기 라인(1)에 설치되어 배기 라인을 통하여 배출되는 배기 가스의 외부 유출을 방지하는 역할을 한다. 마지막으로 밸브 구동부는 상기 밸브(20)의 후단에 결합되어 상기 밸브(20)를 구동하는 역할을 한다.
그런데 이러한 구조의 게이트 밸브는 도 1에 도시된 바와 같이, 게이트 밸브 내에서 밸브(20)와 밸브 하우징(10) 사이의 공간이 차단되지 아니하여, 배기 라인(1)을 통하여 배출되는 공정 부산물 또는 오염물질(30)이 상기 밸브 하우징(10) 내부 및 밸브(20) 표면에 쌓이는 문제점이 있다.
이렇게 밸브 하우징(10) 내부나 밸브(20)에 공정 부산물 또는 오염물질(30)이 쌓이면 배브 하우징(10)이나 밸브(20)가 부식되어 구동 불량이 발생하고 잦은 수리가 요구되는 치명적인 문제가 있고, 불필요한 마찰로 인하여 배기 능력이 저하되는 문제점도 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 밸브가 밸브 하우징 내에서 밸브 하우징과 완전히 밀착된 상태를 유지하여 밸브 하우징 내부 및 밸브 표면이 공정 부산물 및 오염물질에 의하여 오염되지 않으며, 밸브 자체에 가열부를 설치하여 온도를 고온으로 유지함으로써 밸브 표면에 접촉된 오염물질이 쌓이지 않는 게이트 밸브를 제공하는 것이다.
전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 게이트 밸브는, 진공 챔버 배기 라인의 일부가 제거된 상태에서 상기 배기 라인의 제거된 부분에 삽입되어 설치되는 밸브 하우징; 상기 밸브 하우징 내부에 수평 이동가능하게 설치되며, 상기 배기 라인의 제거된 일부를 이루는 연통부와 상기 배기 라인을 차단하는 차단부를 가지는 밸브; 상기 밸브 하우징의 일측에 상기 밸브와 연결되어 설치되며, 상기 밸브를 상기 배기 라인에 직교하는 방향으로 이동시키는 밸브 구동부; 상기 밸브 하우징 내부에 설치되어 상기 밸브의 이동 방향을 안내하는 밸브 이동 안내부; 상기 밸브 내부에 설치되어 상기 밸브를 가열하는 밸브 가열부;를 포함한다.
본 발명에서 상기 밸브 하우징은, 상면 또는 하면이 개방된 상태로 내부에 일정한 공간을 가지는 하우징 본체; 상기 하우징 본체와 결합되어 상기 밸브 하우징의 상면 또는 하면을 이루는 커버; 상기 하우징 본체의 수평면을 두께 방향으로 관통하여 형성되며, 상기 배기 라인의 일측과 연접되는 제1 연통공; 상기 커버의 수평면을 두께 방향으로 관통하여 형성되며, 상기 배기라인의 타측과 연접되는 제2 연통공; 상기 제1 연통공과 인접하게 제1 오-링이 삽입되어 형성되며, 상기 연통부가 상기 배기 라인과 일치된 상태에서 상기 차단부의 일면과 접촉하는 제1 차단부 접촉면; 상기 제2 연통공과 인접하게 제2 오-링이 삽입되어 형성되며, 상기 연통부가 상기 배기 라인과 일치된 상태에서 상기 차단부의 타면과 접촉하는 제2 차단부 접촉면;을 포함하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 밸브는, 상기 밸브 하우징의 수평면과 접촉하는 본체측 밸브; 상기 본체측 밸브와 간격 변동이 가능하게 결합되며, 상기 커버와 접촉하는 커버측 밸브; 상기 본체측 밸브의 일단에 회동 가능하게 설치되며, 상기 밸브 구동부의 일단과 연결되는 제1 링크 연결부; 상기 커버측 밸브의 일단에 회동 가능하게 설치되며, 상기 밸브 구동부의 일단과 연결되는 제2 링크 연결부;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명의 게이트 밸브에는, 상기 본체측 밸브와 상기 커버측 밸브의 접촉면에 설치되어, 상기 본체측 밸브와 커버측 밸브 사이의 공간을 차단하는 밸브간 차단링이 더 구비되는 것이, 본체측 밸브와 커버측 밸브의 상하 구동에도 불구하고 밸브 하우징 및 밸브 내측으로 공정 부산물 및 오염물질이 유입되는 것을 차단할 수 있어서 바람직하다.
그리고 본 발명의 게이트 밸브에는 상기 연통부 주변에 서로 일정간격 이격되어 설치되며, 상기 연통부를 이중으로 감싸는 제1, 2 접촉면 보호링;과 상기 차단부 주변에 상기 차단부를 감싸도록 설치되며, 상기 차단부가 상기 배기 라인과 일치된 상태에서 상기 밸브 하우징과 상기 밸브 사이의 공간을 차단하는 제1, 2 차단링;이 더 구비되는 것이 바람직하다.
한편 본 발명에서 상기 밸브 이동 안내부는, 상기 본체측 밸브를 안내하는 제1 안내부;와 상기 제1 안내부와 대칭되게 형성되며, 상기 커버측 밸브를 안내하는 제2 안내부;를 포함하며,
상기 제1 안내부와 제2 안내부는 상기 연통부가 상기 제1, 2 연통공과 일치하는 위치 및 상기 차단부가 상기 제1, 2 연통공과 일치하는 위치에서는 상기 본체측 밸브 및 상기 커버측 밸브가 상기 밸브 하우징 내부와 밀착되도록 안내하는 밀착 구역을 가지는 것이 바람직하다.
본 발명의 게이트 밸브에 따르면, 밸브가 배기라인의 개방 위치 및 차단 위치 모두에서 밸브 하우징 내에서 밸브 하우징과 완전히 밀착된 상태를 유지하여 밸브 하우징 내부 및 밸브 표면이 공정 부산물 및 오염물질에 의하여 오염되지 않으며, 밸브 자체에 가열부를 설치하여 온도를 고온으로 유지하므로 밸브 표면에 접촉된 오염물질이 쌓이지 않는 탁월한 효과가 있다.
도 1은 종래의 게이트 밸브 구조를 도시하는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 구조를 도시하는 커버를 개방한 상태의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 개방 상태에서의 밸브와 밸브 하우징의 밀착 구조를 도시하는 부분 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 이동 안내부의 구조를 도시하는 정면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 하우징의 구조를 도시하는 다른 방향 단면도이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
본 실시예에 따른 게이트 밸브는 도 2에 도시된 바와 같이, 밸브 하우징(110), 밸브(120), 밸브 구동부(130), 밸브 이동 안내부(140) 및 밸브 가열부(150)를 포함하여 구성된다.
먼저 밸브 하우징(110)은 진공 챔버의 배기 라인(1) 일부가 제거된 상태에서 상기 배기 라인(1)의 제거된 부분에 삽입되어 설치되는 구성요소로서, 본 실시예에 따른 게이트 밸브의 전체적인 외형을 이루고, 그 내부에 상기 밸브(120), 밸브 이동 안내부(140) 및 밸브 가열부(150) 등이 설치되는 공간을 제공한다. 특히 이 밸브 하우징(110)은 상기 배기 라인(1) 중 제거된 일부분에 삽입되어 상기 배기 라인의 일부를 이루며, 배기 라인(1)을 통하여 배출되는 기체가 외부로 유출되지 않도록 완전하게 밀폐된 구조를 가진다.
이를 위하여 본 실시예에 따른 밸브 하우징(110)은 도 2, 3에 도시된 바와 같이, 하우징 본체(112), 커버(114), 제1 연통공(111), 제2 연통공(113), 제1 차단부 접촉면 및 제2 차단부 접촉면(114c)을 포함하여 구성된다. 먼저 하우징 본체(112)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상면 또는 하면 중 어느 일면이 개방된 상태로 내부에 일정한 공간을 가지는 구조를 가진다. 이 하우징 본체(112) 내부에는 밸브(120)의 설치 공간 및 이동 공간이 마련되며, 상기 밸브(120)의 이동을 위한 밸브 이동 안내부(140)도 설치된다. 그리고 전술한 바와 같이, 상기 하우징 본체(112)는 밸브(120) 및 밸브 이동 안내부(140)의 설치 편의 및 제조의 편의를 위하여 그 상면 또는 하면 중 일면이 개방된 구조를 가지는 것이 바람직하다.
다음으로 커버(114)는 상기 하우징 본체(112)와 결합되어 상기 밸브 하우징(110)의 상면 또는 하면 중 개방된 일면을 덮는 구성요소이다. 이 커버(114)는 상기 하우징 본체(112)와 동일한 재질로 이루어지며, 상기 하우징 본체(112)에 볼트 등의 체결수단을 이용하여 완전히 밀착된 상태로 결합된다.
또한 본 실시예에 따른 게이트 밸브에서는 상기 커버(114)에 도 4에 도시된 바와 같이, 질소 가스 공급 포트(160)가 더 구비될 수 있다. 이 질소 가스 공급 포트(160)는 상기 게이트 밸브 외부에서 후술하는 연통부(127) 방향으로 질소(N2) 가스를 공급할 수 있도록 형성된다. 이렇게 질소 가스 공급 포트(160)을 통해서 질소 가스를 상기 연통부(127) 방향으로 공급하면, 후술하는 가열부(150)이 작동하지 않는 비상 상황에서도 상기 연통부(127) 등의 벽면에 파티클이 적층되는 현상을 최소화할 수 있는 장점이 있다.
그리고 상기 제1 연통공(111)은 상기 하우징 본체(112)의 수평면을 두께 방향으로 관통하여 형성되는 구멍이며, 상기 배기 라인(1)의 내경과 같은 크기로 형성되어 상기 배기 라인(1)의 일측과 연접되어 상기 배기 라인(1)에서 연속되는 관 형태를 이룬다. 한편 제2 연통공(113)은 상기 제1 연통공(111) 반대편 배기라인(1)과 접하는 부분으로서, 상기 커버(114)의 수평면을 두께 방향으로 관통하여 형성되는 구멍이다.
그리고 상기 제1 차단부 접촉면은 상기 제1 연통공(111)과 인접하게 상기 하우징 본체(112)의 내면에 제1 오-링(112a)이 삽입되어 형성되며, 상기 연통공(121)이 상기 배기 라인(1)과 일치된 상태에서 상기 차단부의 일면과 접촉하는 면이다. 이 제1 차단부 접촉면은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제1 오-링(112a)에 의하여 차단되어 보호된다. 이렇게 보호된 제1 차단부 접촉면은 상기 차단부를 이루는 면 및 오-링을 오염되지 않고 깨끗한 상태로 유지한다.
한편 상기 제2 차단부 접촉면(114c)은 상기 제1 차단부 접촉면과 반대 방향에 형성되어 동일한 기능을 한다. 구체적으로 이 제2 차단부 접촉면(114c)은 도 2, 4에 도시된 바와 같이, 상기 제2 연통공(113)과 인접하게 상기 커버(114)의 내면에 제2 오-링(114a)이 삽입되어 형성되며, 상기 연통부가 상기 배기 라인(1)과 일치된 상태에서 상기 차단부의 타면과 접촉한다.
다음으로 본 실시예에 따른 게이트 밸브에서 상기 밸브(120)는 상기 밸브 하우징(110) 내부에 수평 이동가능하게 설치되며, 상기 배기 라인(1)의 제거된 일부를 이루는 연통부(127)와 상기 배기 라인(1)을 차단하는 차단부(125)를 가지는 구성요소이다. 즉, 이 밸브(120)는 상기 배기 라인(1)의 제거된 일부를 연결하여 배기 라인이 개방되게 하거나, 배기 라인의 일부를 패쇄하여 차단하는 역할을 한다. 이를 위하여 상기 밸브(120)는 구체적으로 도 2, 3에 도시된 바와 같이, 본체측 밸브(122), 커버측 밸브(124), 제1 링크 연결부(128) 및 제2 링크 연결부(126)를 포함하여 구성된다. 그리고 본체측 밸브(122) 및 커버측 밸브(124)에는 각각 연통공(121)과 제1 접촉면 오-링(122a, 122b)로 이루어지는 연통부(127)와, 차단면(123)과 제1 차단링(122c)로 이루어지는 차단부(125)가 구비된다.
먼저 본체측 밸브(122)는 상기 하우징 본체(112)의 수평면과 접촉하는 구성요소로서, 상기 제1 연통공(111)을 차단하거나 연통한다. 그리고 커버측 밸브(124)는 상기 본체측 밸브(122)의 반대편에 상기 본체측 밸브(122)와 간격 변동이 가능하게 결합되며, 상기 커버(114)와 접촉하는 구성요소이다. 즉, 본 실시예에서 상기 밸브(120)는 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124) 2개로 나누어 구성되며, 각각 밸브 구동부(130)에 의하여 이동하면서 하우징 본체(112)의 제1 연통공(111)을 연결 및 차단하거나 커버(114)의 제2 연통공(113)을 연결 및 차단하는 역할을 한다.
이때, 상기 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124)가 서로 결합되는 부분에는, 도 2, 4에 도시된 바와 같이, 밸브간 차단링(122d)이 더 구비되는 것이 바람직하다. 이 밸브간 차단링(122d)은 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124)의 접촉 부분에 설치되어 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124)가 상하 이동하면서도 그 사이의 접촉면을 통하여 공정 부산물 또는 오염물질이 밸브 하우징(110) 내부로 침입하는 것을 방지한다.
그리고 상기 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124)는 각각 밸브 구동부(130)와 연결된다. 이때 상기 본체측 밸브(122)는 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 링크 연결부(128)에 의하여 밸브 구동부(130)와 연결되는데, 이 제1 링크 연결부(128)는 상기 본체측 밸브(122)의 일단 및 상기 밸브 구동부의 말단(132)에 회동 가능하게 설치된다. 따라서 상기 본체측 밸브(122)가 상기 밸브 이동 안내부(140)를 따라서 상하 방향으로 이동하더라도 무리없이 밸브 구동부(130)의 동력을 전달할 수 있다. 마찬가지로 상기 커버측 밸브(124)도 제2 링크 연결부(126)에 의하여 상기 밸브 구동부(130)에 대하여 회동가능하게 연결된다.
또한 상기 본체측 밸브(122) 및 커버측 밸브(124)에는 다수개의 오-링이 설치된다. 먼저 연통부(127) 주위에는 이중으로 제1, 2 접촉면 보호링(122a, 122b)이 설치된다. 이 제1, 2 접촉면 보호링(122a, 122b)은 본체측 밸브(122) 및 커버측 밸브(124)에 각각 설치되며, 서로 일정간격 이격되어 설치된다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 커버(114)의 내면 중 상기 제1, 2 접촉면 보호링(122a, 122b)에 의하여 보호되는 면은 상기 차단부(125)가 상기 제1, 2 연통공(111, 113)을 차단하는 위치일때, 상기 제1 차단링(122c)이 접촉하는 부분이다. 본 실시예에서 상기 제1 차단링(122c)은 상기 배기 라인(1)이 차단되는 상태에서 밸브 하우징(110) 내부로 공정 부산물 및 오염물질이 유입되는 것을 방지하는 중요한 역할을 하는데, 상기 제1 차단링(122c)은 개방 위치에서 상기 제1 오-링(114a)에 의하여 보호되며, 차단 위치에서는 상기 제1, 2 접촉면 보호링(122a, 122b)에 의하여 보호되므로 항상 깨끗한 상태를 유지할 수 있다. 마찬가지로 본체측 밸브(112)의 연통부 및 차단부도 동일한 구조를 가진다.
한편 상기 제2 접촉면 보호링(122b)는 본체측 밸브(122) 또는 커버측 밸브(124)에 설치되지 않고, 하우징 본체(112)의 면이나 커버(114)의 면에 설치될 수도 있다. 이렇게 제2 접촉면 보호링(122b)가 하우징 본체(112)나 커버(114)의 면에 설치되는 경우에는, 밸브가 차단위치에 있을 때 밸브 하우징(110) 내부를 상기 제1 차단링(122c)와 제2 접촉면 보호링(122b)가 이중으로 차단하는 장점이 있다.
다음으로 본 실시예에서 상기 밸브 구동부(130)는 상기 밸브 하우징(110)의 일측에 상기 밸브(120)와 연결되어 설치되며, 상기 밸브(120)를 상기 배기 라인(1)에 직교하는 방향으로 이동시키는 구성요소이다. 이 밸브 구동부(130)는 상기 밸브(120)를 직선 운동시킬 수 있는 다양한 동력 수단(134)으로 구성될 수 있으며, 예를 들어 모터나 실린더 등으로 구성될 수 있다. 이 밸브 구동부(130)의 말단(132)은 전술한 바와 같이, 상기 본체측 밸브(122) 및 커버측 밸브(124)와 제1, 2 링크 연결부(128, 126)에 의하여 회동가능하게 연결된다.
다음으로 밸브 이동 안내부(140)는 상기 밸브 하우징(110) 내부 양 측벽에 서로 마주 보도록 설치되어 상기 밸브(120)의 이동 방향을 안내하는 구성요소이다. 본 실시예에서 이 밸브 이동 안내부(140)는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124)를 각각 이동시키기 위하여 제1 안내부(144) 및 제2 안내부(142)를 포함하여 구성된다. 이때, 상기 제1 안내부(144)와 제2 안내부(142)는 상하 방향으로 대칭되게 형성되며, 상기 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124)의 측면에 각각 형성되어 있는 안내부 결합구(도면에 미도시)와 결합된다. 따라서 상기 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124)는 상기 안내부 결합구가 상기 제1 안내부(144) 및 제2 안내부(142)에 결합된 상태로 상기 밸브 구동부(130)에 의하여 수평 이동하게 된다. 따라서 상기 제1 안내부(144) 및 제2 안내부(142)의 모양에 따라 상하 구동을 동시에 하게 된다.
본 실시예에서는 상기 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124)가 개방 위치 및 차단 위치에서는 상기 하우징 본체(112) 및 커버(114)와 밀착되고, 나머지 이동 구간에서는 상기 하우징 본체(112) 및 커버(114)와 이격되어 원할하게 이동할 수 있도록 상기 제1 안내부(144) 및 제2 안내부(142)에 밀착 구역이 구비된다. 이 밀착 구역(142a, 142b, 142c, 144a, 144b, 144c)은 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 안내부(144) 및 제2 안내부(142)에서 각각 3 부분에 형성되며, 각 밀착 구역(142a, 142b, 142c, 144a, 144b, 144c)에서는 상기 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124)가 서로 최대한 이격되어 상기 하우징 본체(112)및 커버(114)에 완전하게 밀착된다.
그리고 상기 가열부(150)는 상기 밸브(120) 내부에 설치되어 상기 밸브를 가열하는 구성요소이다. 일반적으로 진공 장비 내에서는 공정의 원활한 진행을 위하여 100℃ 이상의 온도로 가열된 상태가 유지된다. 그런데 이러한 진공 장비 내에서 사용된 공정 가스가 상기 배기 라인(1)을 통하여 배기 되면서 상기 게이트 밸브에서 갑자기 온도가 낮아지는 경우에는 상기 게이트 밸브에 공정 부산물 및 오염물질이 급격하게 쌓이게 된다. 따라서 상기 게이트 밸브 특히, 배기라인(1)을 직접 차단하는 밸브(120)는 진공 장비 내부의 온도와 동일하게 유지되는 것이 바람직하다. 이를 위하여 본 실시예에 따른 게이트 밸브에서는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 밸브(120) 내부에 가열부(150)를 설치하여 밸브(120)를 직접 가열한다. 따라서 상기 밸브(120)의 온도를 직접적으로 정확하게 고온으로 조절할 수 있는 장점이 있다.
또한 본 실시예에 따른 게이트 밸브에는 도 6에 도시된 바와 같이, 소프트 펌핑(soft pumping) 라인(170)이 더 구비되는 것이 바람직하다. 이 소프트 펌핑 라인(170)은 상기 밸브(120)를 우회하여 상기 배기 라인(1)을 연결하는 통로이다. 구체적으로 이 소프트 펌핑 라인(170)은 상기 밸브 하우징(110)을 관통하여 상측 배기라인과 하측 배기라인을 연결한다. 그리고 소프트 펌핑 라인(170)의 중간 부분에는 밸브 포트(180)이 더 구비되어 상기 소프트 펌핑 라인(170)을 개폐하게 된다. 이 소프트 펌핑 라인(170)에 의하여 게이트 밸브를 이용하여 배기라인을 개폐하는 동작에서 급격한 압력 변화에 의한 부담을 줄일 수 있으며, 더 부드러운 펌핑 동작을 달성할 수 있다.
1 : 배기 라인 110 : 밸브 하우징
120 : 밸브 130 : 밸브 구동부
140 : 밸브 이동 안내부 150 : 밸브 가열부
160 : 질소 가스 공급 포트 170 : 소프트 펌핑 라인

Claims (7)

  1. 진공 챔버 배기 라인의 일부가 제거된 상태에서 상기 배기 라인의 제거된 부분에 삽입되어 설치되는 밸브 하우징;
    상기 밸브 하우징 내부에 수평 이동가능하게 설치되며, 상기 배기 라인의 제거된 일부를 이루는 연통부와 상기 배기 라인을 차단하는 차단부를 가지는 밸브;
    상기 밸브 하우징의 일측에 상기 밸브와 연결되어 설치되며, 상기 밸브를 상기 배기 라인에 직교하는 방향으로 이동시키는 밸브 구동부;
    상기 밸브 하우징 내부에 설치되어 상기 밸브의 이동 방향을 안내하는 밸브 이동 안내부;
    상기 밸브 내부에 설치되어 상기 밸브를 가열하는 밸브 가열부;를 포함하며, 상기 밸브 하우징은,
    상면 또는 하면 중 어느 일면이 개방된 상태로 내부에 일정한 공간을 가지는 하우징 본체;
    상기 하우징 본체와 결합되어 상기 밸브 하우징의 상면 또는 하면 중 개방된 일면을 덮는 커버;
    상기 하우징 본체의 수평면을 두께 방향으로 관통하여 형성되며, 상기 배기 라인의 일측과 연접되는 제1 연통공;
    상기 커버의 수평면을 두께 방향으로 관통하여 형성되며, 상기 배기라인의 타측과 연접되는 제2 연통공;
    상기 제1 연통공과 인접하게 상기 하우징 본체의 내면에 제1 오-링이 삽입되어 형성되며, 상기 연통부가 상기 배기 라인과 일치된 상태에서 상기 차단부의 일면과 접촉하는 제1 차단부 접촉면;
    상기 제2 연통공과 인접하게 상기 커버의 내면에 제2 오-링이 삽입되어 형성되며, 상기 연통부가 상기 배기 라인과 일치된 상태에서 상기 차단부의 타면과 접촉하는 제2 차단부 접촉면;을 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 밸브는,
    상기 밸브 하우징의 수평면과 접촉하는 본체측 밸브;
    상기 본체측 밸브와 간격 변동이 가능하게 결합되며, 상기 커버와 접촉하는 커버측 밸브;
    상기 본체측 밸브의 일단에 회동 가능하게 설치되며, 상기 밸브 구동부의 일단과 연결되는 제1 링크 연결부;
    상기 커버측 밸브의 일단에 회동 가능하게 설치되며, 상기 밸브 구동부의 일단과 연결되는 제2 링크 연결부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 본체측 밸브와 상기 커버측 밸브의 접촉면 사이에 설치되어, 상기 본체측 밸브와 커버측 밸브 사이의 공간을 차단하는 밸브간 차단링이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 연통부 주변에 서로 일정간격 이격되어 설치되며, 상기 연통부를 이중으로 감싸는 제1, 2 접촉면 보호링;
    상기 차단부 주변에 상기 차단부를 감싸도록 설치되며, 상기 차단부가 상기 배기 라인과 일치된 상태에서 상기 밸브 하우징과 상기 밸브 사이의 공간을 차단하는 제1, 2 차단링;을 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  6. 제3항에 있어서, 상기 밸브 이동 안내부는,
    상기 본체측 밸브를 안내하는 제1 안내부;와,
    상기 제1 안내부와 대칭되게 형성되며, 상기 커버측 밸브를 안내하는 제2 안내부;를 포함하며,
    상기 제1 안내부와 제2 안내부는 상기 연통부가 상기 제1, 2 연통공과 일치하는 위치 및 상기 차단부가 상기 제1, 2 연통공과 일치하는 위치에서는 상기 본체측 밸브 및 상기 커버측 밸브가 상기 밸브 하우징 내부와 밀착되도록 안내하는 밀착 구역을 가지는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 밸브를 우회하여 상기 배기 라인의 제거된 부분을 연결하며, 상기 배기 라인을 통하여 배출되는 배기 가스의 일부가 배기되는 소프트 펌핑 라인이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
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