CN210978536U - 真空阀门及气相沉积设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示了真空阀门及气相沉积设备，其中所述真空阀门包括阀体，所述阀体的至少一侧板上形成有阀口，所述阀体的内腔中设置有阀芯，所述阀芯连接位于所述阀体外部并可驱动其上的第一密封圈与阀口正对的第一气缸，所述第一密封圈连接驱动其朝向或背向所述阀口移动的且位于密封室中的第二气缸。本方案设计精巧，通过使第一气缸位于阀体外及使第二气缸位于密封室内，从而可以有效的避免真空环境对气缸的要求，同时可以有效的避免气缸漏气、油污等可能对真空腔内环境的污染，有利于保证有效的沉积条件。

Description

真空阀门及气相沉积设备

技术领域

本实用新型涉及气相沉积领域，尤其是真空阀门及气相沉积设备。

背景技术

气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层。

气相沉积设备是进行沉积的主要场所，在沉积过程中，需在一定的真空环境下进行，因此，各种沉积设备通过阀门进行真空腔的密封或进行不同腔体之间的隔断，但是常规的阀体，如各种插板阀，一般以气缸作为动力源，常规的气缸在真空环境中难以困难，需要专门的在真空中使用的气缸，对气缸的要求提高，增加了成本；同时气缸使用过程中常会出现漏气的情况以及气缸内部存在各种油污等，容易影响真空环境。

实用新型内容

本实用新型的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种真空阀门及使用该真空阀门的气相沉积设备。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

真空阀门，包括阀体，所述阀体的至少一侧板上形成有阀口，所述阀体的内腔中设置有阀芯，所述阀芯连接位于所述阀体外部并可驱动其上的第一密封圈与阀口正对的第一气缸，所述第一密封圈连接驱动其朝向或背向所述阀口移动的且位于密封室中的第二气缸。

优选的，所述的真空阀门中，所述阀体包括具有长方体腔体的槽体及上盖，所述槽体及上盖之间设置有第二密封圈。

优选的，所述的真空阀门中，所述第一气缸的气缸轴位于阀体外且柔性连接传动轴的一端，所述传动轴的另一端固定在阀芯上。

优选的，所述的真空阀门中，传动轴的外周套装有位于阀体内的第一波纹管。

优选的，所述的真空阀门中，所述传动轴的内腔具有流道，其上下两端设置有与所述流道连通的外接头、内接头，所述外接头位于阀体外部，所述内接头位于密封室内部。

优选的，所述的真空阀门中，所述密封圈固定于固定座上，所述固定座位于所述密封室的外部且通过一密封件连接所述第二气缸，所述密封件通过轴密封固定于所述密封室的内部，其伸缩头可伸出到所述密封室的外部并连接第二气缸的气缸轴。

优选的，所述的真空阀门中，所述阀体上设置有管道接口，所述管道接口可相对所述阀体上的密封套滑动，其一端延伸到所述阀体外，另一端延伸到密封室内。

优选的，所述的真空阀门中，所述管道接口的外周套设有第二波纹管，所述第二波纹管的一端固定于密封套的底面，另一端固定于密封室外壁。

优选的，所述的真空阀门中，所述密封圈为硅胶圈。

气相沉积设备，包括上述任一的真空阀门。

本实用新型技术方案的优点主要体现在：

本方案设计精巧，通过使第一气缸位于阀体外及使第二气缸位于密封室内，从而可以有效的避免真空环境对气缸的要求，同时可以有效的避免气缸漏气、油污等可能对真空腔内环境的污染，有利于保证有效的沉积条件。

波纹管的设置有效的避免气缸油污对阀体内的污染，保证了阀体内的洁净度。

管道接头的双层设计提供了双通道，可以同时连接两条管道，应用更加灵活。

第一密封圈采用硅胶，相对于常规的氟橡胶，质地更为柔软，易于保证密封的可靠性。

连接轴采用中空结构，从而可以在其上设置接头，为冷却提供了通道，不需要额外设置冷却管道，既简化了结构，同时为设备冷却创造了便利的条件。

附图说明

图 1 是本实用新型的真空阀门的立体图；

图 2 是本实用新型的真空阀门隐去阀体的一侧板的主视图；

图 3是本实用新型的真空阀门隐去阀体的剖视图；

图4是本实用新型的真空阀门隐去阀体的立体图；

图5是本实用新型的真空阀门的端面剖视图；

图6是图3中A区域的放大图；

图7是图3中B区域的放大图。

具体实施方式

本实用新型的目的、优点和特点，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本实用新型技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本实用新型要求保护的范围之内。

在方案的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。并且，在方案的描述中，以操作人员为参照，靠近操作者的方向为近端，远离操作者的方向为远端。

下面结合附图对本实用新型揭示的真空阀门进行阐述，如附图1、附图2所示，其包括阀体1，所述阀体1的至少一侧板上形成有阀口11，具体来看，所述阀体1包括具有长方体腔体的槽体12及上盖13，所述槽体12的两个长侧板上分别形成一圆角矩形的阀口11，所述槽体12的槽口的端面上形成有密封圈固定槽14，所述密封圈固定槽内设置有第二密封圈，所述上盖13为矩形并覆盖所述槽体的槽口，从而所述槽体12及上盖13之间通过第二密封圈密封。

如附图2、附图3所示，所述阀体1的内腔中设置有阀芯2，所述阀芯2连接位于所述阀体1外部并可驱动其上的第一密封圈21与阀口11正对的第一气缸3，所述第一密封圈21连接驱动其朝向或背向所述阀口11移动的且位于密封室22中的第二气缸23。

如附图4所示，所述密封室22优选包括两个组装成一中空长方体的壳体221、222，它们通过螺栓连接且相对的端面处通过密封圈（图中未示出）密封，所述第一密封圈21优选为硅胶圈，相对于常规的氟橡胶，硅胶圈的质地更软，能够更好的形变，从而保证密封的可靠性。

如附图4、附图5所示，所述阀芯2还包括与密封室22紧邻的固定座24，所述固定座24朝向所述阀口11的端面处凹设有一安装槽241，所述第一密封圈21固定于所述安装槽241内，所述固定座24的另一面处设置有所述密封室22且其与延伸到所述密封室22外的一组密封件25的伸缩头251连接。

如附图5所示，所述密封件25包括限位套252及可在其内滑动的伸缩头251，所述伸缩头251的外壁与所述限位套252的内壁密封，且所述限位套252通过一轴密封26固定在所述密封室22的内壁处，所述伸缩头251的一端连接所述第二气缸23的气缸轴，其另一端可在第二气缸23的驱动下伸出到所述密封室22的外部，从而，第二气缸23可以推动整个固定座24朝所述阀口11方向移动并使第一密封圈与阀口外围的阀体内壁贴合，从而实现阀口11的密封。

如附图2所示，所述阀芯2由两个第一气缸3驱动，当然也可以是更多个，如附图7所示，所述第一气缸3固定在所述上盖13上的安装座10上，并且，为了避免真空环境对第一气缸3的影响，使所述第一气缸3的气缸轴31位于阀体1外部，并且所述气缸轴31柔性连接传动轴5的一端，所述传动轴5的另一端固定在阀芯2上。

具体来看，如附图7所示，所述气缸轴31的末端设置有一连接头20，所述连接头20为凸台状且其朝向所述传动轴5的端面201为圆弧面，所述连接头20上设置有由上套301和下套302组合成的轴连接件30，所述轴连接件30的连接孔中连接所述传动轴5，所述传动轴5穿过所述上盖13上设置的密封组件40上的通孔，所述传动轴5的下端固定在所述阀芯2的密封室22处，所述传动轴5的外周套装有位于阀体内的第一波纹管6，所述第一波纹管6的一端与密封组件连接，其另一端与密封室22上的密封盘50连接。

并且，如附图2所示，为了保证阀芯移动的平稳性，在所述阀芯2的两端分别设置有导向块60，每个所述导向块60可滑动地套装在一导向柱70外周。

进一步，为了有效的给第二气缸23提供气源，同时保证整体的密封性，如附图2、附图6所示，所述传动轴5的内腔具有流道51，其上下两端设置有与所述流道连通的外接头52、内接头53，所述外接头52位于所述阀体1外部，所述内接头53延伸到所述密封室内，所述外接头接接外部的高压气源，所述内接头53接第二气缸23，从而可以有效的为第二气缸23供气或供油；当然，在其他实施例中，也可以将两个内接头通过管道连接，一个外接头接进水管，一个外接头接出水管，从而可以实现冷却液的循环实现水冷。

由于设备使用时处于高温状态，因此需要对阀体进行冷却，优选的，如附图2、附图6所示，在所述阀体上设置有管道接口7，所述管道接口7包括内管71、外管72及管帽73，所述内管71的下端延伸到所述外管72外部且它们通过所述管帽73组装为一体，所述管帽73具有与所述内管71的孔连通的通孔，所述外管72的侧壁处具有两个共轴的接头74，所述接头74与内管71和外管72之间的间隙75连通；所述外管72插接在所述阀体1上的密封套9中且可相对所述密封套9滑动。并且，所述管道接口7的一端延伸到所述阀体1外，其位于该端的接头74位于阀体1外部，所述管道接口7的另一端延伸到密封室22内，从而通过管道接头7可以连接冷却液供液管路；当然，在其他实施例中，所述管道接头7可以连接气源或液压油供应管道等，且其通过管道连接第二气缸，从而驱动第二气缸工作。

进一步，为了避免气缸的油污、空气等造成阀体1内的真空污染，如附图6所示，在所述管道接口7的外周套设有第二波纹管8，所述第二波纹管8的一端固定于密封套9的底面，另一端固定于密封室22的外壁处密封件80上。

使用本方案的真空阀门时，当需要关闭阀门时，所述第一气缸3启动驱动阀芯2整体向所述阀口11方向移动，当阀芯2上的第一密封圈21与阀口11正对时，所述第二气缸启动，推动所述第一密封圈21向阀口11方向移动至第一密封圈21与阀体1的内壁贴合，实现密封。反之，当需要打开阀门时，反向驱动第一气缸3和第二气缸即可，此处不作赘述。

本方案进一步揭示了一种气相沉积设备，包括上述的真空阀门，当然所述气相沉积设备还包括真空腔、溅射源、电源等结构，此处为已知技术，并不是本方案的重点不作赘述。

本实用新型尚有多种实施方式，凡采用等同变换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.真空阀门，其特征在于：包括阀体（1），所述阀体（1）的至少一侧板上形成有阀口（11），所述阀体（1）的内腔中设置有阀芯（2），所述阀芯（2）连接位于所述阀体（1）外部并可驱动其上的第一密封圈（21）与阀口（11）正对的第一气缸（3），所述第一密封圈（21）连接驱动其朝向或背向所述阀口（11）移动的且位于密封室（22）中的第二气缸（23）。

2.根据权利要求1所述的真空阀门，其特征在于：所述阀体（1）包括具有长方体腔体的槽体（12）及上盖（13），所述槽体（12）及上盖（13）之间设置有第二密封圈。

3.根据权利要求1所述的真空阀门，其特征在于：所述第一气缸（3）的气缸轴（31）位于阀体（1）外且柔性连接传动轴（5）的一端，所述传动轴（5）的另一端固定在阀芯（2）上。

4.根据权利要求3所述的真空阀门，其特征在于：所述传动轴（5）的外周套装有位于阀体内的第一波纹管（6）。

5.根据权利要求3所述的真空阀门，其特征在于：所述传动轴（5）具有流道（51），其上下两端设置有与所述流道连通的外接头（52）及内接头（53），所述外接头位于阀体外部，所述内接头位于密封室内部。

6.根据权利要求1-5任一所述的真空阀门，其特征在于：所述第一密封圈（21）固定于固定座（24）上，所述固定座（24）位于所述密封室（22）的外部且通过一密封件（25）连接所述第二气缸（23），所述密封件（25）通过轴密封（26）固定于所述密封室（22）的内部，其伸缩头（251）可伸出到所述密封室（22）的外部并连接第二气缸（23）的气缸轴。

7.根据权利要求1-5任一所述的真空阀门，其特征在于：所述阀体（1）上设置有管道接口（7），所述管道接口（7）可相对所述阀体（1）上的密封套（9）滑动，其一端延伸到所述阀体（1）外，另一端延伸到密封室（22）内。

8.根据权利要求7所述的真空阀门，其特征在于：所述管道接口（7）的外周套设有第二波纹管（8），所述第二波纹管（8）的一端固定于密封套（9）的底面，另一端固定于密封室外壁。

9.根据权利要求1所述的真空阀门，其特征在于：所述第一密封圈为硅胶圈。

10.气相沉积设备，其特征在于：包括权利要求1-9任一所述的真空阀门。

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