WO2011105737A2 - 게이트 밸브 - Google Patents

게이트 밸브 Download PDF

Info

Publication number
WO2011105737A2
WO2011105737A2 PCT/KR2011/001167 KR2011001167W WO2011105737A2 WO 2011105737 A2 WO2011105737 A2 WO 2011105737A2 KR 2011001167 W KR2011001167 W KR 2011001167W WO 2011105737 A2 WO2011105737 A2 WO 2011105737A2
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
valve
exhaust line
housing
cover
blocking
Prior art date
Application number
PCT/KR2011/001167
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
WO2011105737A3 (ko
Inventor
조길영
최한기
Original Assignee
주식회사 라온테크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 라온테크 filed Critical 주식회사 라온테크
Publication of WO2011105737A2 publication Critical patent/WO2011105737A2/ko
Publication of WO2011105737A3 publication Critical patent/WO2011105737A3/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
    • F16K3/182—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of toggle links
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
    • F16K3/184—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of cams
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like

Definitions

  • the present invention relates to a gate valve, and more particularly, to a gate valve installed in an exhaust line of a vacuum equipment, wherein the valve forms a part of the exhaust line and moves into the gate valve by horizontally moving the valve.
  • the present invention relates to a gate valve that can completely block contaminants and by-products and has an excellent exhaust effect.
  • vacuum equipments are frequently used in the manufacturing process while maintaining the pressure inside the equipment below atmospheric pressure.
  • the vacuum equipment is provided with a vacuum pump for suctioning and discharging gas inside the vacuum equipment to keep the pressure inside the vacuum equipment low and an exhaust line connecting the vacuum pump and the vacuum equipment.
  • the exhaust line is provided with a gate valve for opening and closing of the exhaust line itself.
  • the conventional gate valve is installed in the middle of the exhaust line 1, as shown in FIG. 1, and includes a valve housing 10, a valve 20, and a valve drive unit (not shown).
  • valve 20 is a component that blocks and blocks the exhaust line 1, and moves in a direction orthogonal to the exhaust line 1.
  • the valve housing 10 provides a path through which the valve 20 moves, and serves to prevent an external outflow of the exhaust gas that is installed in the exhaust line 1 and discharged through the exhaust line.
  • the valve driver is coupled to the rear end of the valve 20 to drive the valve 20.
  • the gate valve having such a structure does not block the space between the valve 20 and the valve housing 10 in the gate valve, and thus, a process by-product discharged through the exhaust line 1 or There is a problem that contaminants 30 accumulate on the inside of the valve housing 10 and the surface of the valve 20.
  • the technical problem to be solved by the present invention is to keep the valve in close contact with the valve housing in the valve housing so that the valve housing inside and the surface of the valve is not contaminated by process by-products and contaminants, by installing a heating unit in the valve itself Maintaining the temperature at a high temperature provides a gate valve that does not accumulate contaminants in contact with the valve surface.
  • a gate valve including: a valve housing inserted and installed in a removed portion of the exhaust line in a state in which a part of a vacuum chamber exhaust line is removed; A valve installed horizontally within the valve housing and having a communication portion forming a removed portion of the exhaust line and a shutoff portion blocking the exhaust line; A valve driver connected to the valve at one side of the valve housing and moving the valve in a direction orthogonal to the exhaust line; A valve movement guide part installed inside the valve housing to guide a movement direction of the valve; And a valve heating unit installed inside the valve to heat the valve.
  • the valve housing the housing body having a predetermined space therein the upper or lower surface is opened;
  • a cover coupled to the housing body to form an upper or lower surface of the valve housing;
  • a first communication hole formed through the horizontal plane of the housing main body in a thickness direction and connected to one side of the exhaust line;
  • a second communication hole formed through the horizontal plane of the cover in a thickness direction and connected to the other side of the exhaust line;
  • a first blocking portion contact surface formed by inserting a first o-ring adjacent to the first communicating hole and contacting one surface of the blocking portion in a state in which the communicating portion coincides with the exhaust line;
  • a second O-ring is formed adjacent to the second communication hole and is formed, and the second blocking part contact surface is in contact with the other surface of the blocking part in a state in which the communicating part coincides with the exhaust line.
  • valve the main body side valve in contact with the horizontal plane of the valve housing;
  • cover side valve which is coupled to the main body side valve so as to be spaced apart and in contact with the cover;
  • first link connecting portion rotatably installed at one end of the main body side valve and connected to one end of the valve driving part;
  • second link connection part rotatably installed at one end of the cover side valve and connected to one end of the valve driving part.
  • the gate valve of the present invention is further provided with an inter-valve blocking ring which is provided on a contact surface between the main valve and the cover valve to block a space between the main valve and the cover valve. Despite the up and down movement of the valve and the cover side valve, it is preferable to prevent the process by-products and contaminants from flowing into the valve housing and the valve.
  • the gate valve of the present invention is installed to be spaced apart from each other at a predetermined interval around the communication portion, the first, second contact surface protection ring to surround the communication portion double; and is installed to surround the blocking portion around the blocking portion, the blocking It is preferable that the first and second blocking ring for blocking the space between the valve housing and the valve in the state in addition to the exhaust line.
  • the valve movement guide part includes a first guide part for guiding the main body side valve and a second guide part symmetrically formed with the first guide part and for guiding the cover side valve.
  • the main body valve and the cover valve are the valves at the position where the communication portion coincides with the first and second communication holes and the cutoff portion coincides with the first and second communication holes. It is desirable to have a tight area that guides to be in close contact with the interior of the housing.
  • the valve remains completely in contact with the valve housing in the valve housing at both the open position and the shut off position of the exhaust line so that the valve housing inside and the valve surface are not contaminated by process by-products and contaminants.
  • the heating unit is installed on the valve itself to maintain the temperature at a high temperature, there is an excellent effect that the contaminants contacting the valve surface do not accumulate.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a conventional gate valve structure.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing the structure of a gate valve according to an embodiment of the present invention.
  • FIG 3 is a perspective view of an open state showing a structure of a gate valve according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing the close contact structure between the valve and the valve housing in the open state of the gate valve according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a front view showing the structure of the valve movement guide according to an embodiment of the present invention.
  • FIG 6 is another sectional view showing the structure of the valve housing according to the embodiment of the present invention.
  • the gate valve includes a valve housing 110, a valve 120, a valve driving unit 130, a valve movement guide 140, and a valve heating unit 150. It is composed.
  • the valve housing 110 is a component that is inserted into and installed in the removed portion of the exhaust line 1 in a state where a part of the exhaust line 1 of the vacuum chamber is removed, and the overall appearance of the gate valve according to the present embodiment. To achieve this, it provides a space in which the valve 120, the valve movement guide 140 and the valve heating unit 150 is installed. In particular, the valve housing 110 is inserted into a portion removed from the exhaust line 1 to form a part of the exhaust line, and the structure is completely sealed so that gas discharged through the exhaust line 1 does not leak out. Has
  • the valve housing 110 has a housing main body 112, a cover 114, a first communication hole 111, a second communication hole 113, as shown in FIGS. 2 and 3.
  • the first blocking portion contact surface and the second blocking portion contact surface 114c are configured.
  • the housing main body 112 has a structure having a predetermined space therein with one surface of an upper surface or a lower surface opened.
  • An installation space and a movement space of the valve 120 are provided inside the housing body 112, and a valve movement guide 140 for moving the valve 120 is also installed.
  • the housing body 112 preferably has a structure in which one surface of the upper or lower surface of the housing body 112 is opened for convenience of installation and manufacturing of the valve 120 and the valve movement guide 140.
  • the cover 114 is coupled to the housing body 112 to cover an open one of the upper or lower surface of the valve housing 110.
  • the cover 114 is made of the same material as the housing main body 112, and is coupled to the housing main body 112 in a completely intimate state using fastening means such as bolts.
  • a nitrogen gas supply port 160 may be further provided on the cover 114.
  • the nitrogen gas supply port 160 is formed so as to supply nitrogen (N2) gas from the outside of the gate valve toward the communicating portion 127 described later.
  • N2 nitrogen
  • the nitrogen gas is supplied toward the communication unit 127 through the nitrogen gas supply port 160 as described above, particles are formed on the wall surface of the communication unit 127 or the like even in an emergency situation in which the heating unit 150 described later does not operate. There is an advantage that can minimize the phenomenon of stacking.
  • the first communication hole 111 is a hole formed to penetrate the horizontal plane of the housing main body 112 in the thickness direction, and is formed to have the same size as the inner diameter of the exhaust line 1 so that It is connected with one side to form a continuous tube in the exhaust line (1).
  • the second communication hole 113 is a part which is in contact with the exhaust line 1 opposite the first communication hole 111, is a hole formed to penetrate the horizontal plane of the cover 114 in the thickness direction.
  • the first blocking portion contact surface is formed by inserting a first o-ring 112a into an inner surface of the housing main body 112 adjacent to the first communication hole 111. It is a surface which contacts one surface of the said interruption
  • the second blocking portion contact surface 114c is formed in the opposite direction to the first blocking portion contact surface to function the same. Specifically, as shown in FIGS. 2 and 4, the second blocking contact surface 114c has a second o-ring 114a formed on the inner surface of the cover 114 adjacent to the second communication hole 113. It is inserted and formed, and the communication part is in contact with the other surface of the blocking part in a state coincided with the exhaust line (1).
  • the valve 120 is installed to be horizontally movable in the valve housing 110, and the communication unit 127 and the communication part constituting the removed part of the exhaust line 1 are formed. It is a component having a block 125 for blocking the exhaust line 1. That is, the valve 120 serves to connect the removed part of the exhaust line 1 so that the exhaust line is opened or close and block a part of the exhaust line.
  • the valve 120 specifically includes the main body side valve 122, the cover side valve 124, the first link connection 128, and the second link connection 126 as shown in FIGS. 2 and 3. It is configured to include.
  • main body side valve 122 and the cover side valve 124 each have a communication part 127 consisting of a communication hole 121 and first contact surface O-rings 122a and 122b, and a blocking surface 123 and a first contact surface.
  • a blocking unit 125 formed of a blocking ring 122c is provided.
  • the body side valve 122 is a component in contact with the horizontal surface of the housing body 112, and blocks or communicates with the first communication hole 111.
  • the cover side valve 124 is coupled to the main body side valve 122 and the main body side valve 122 so as to be able to change the gap, and is in contact with the cover 114. That is, in the present embodiment, the valve 120 is divided into two main body side valves 122 and a cover side side valve 124, each of which is moved by the valve drive unit 130 and communicates with the first body of the housing main body 112. It connects and blocks the ball 111 or serves to connect and block the second communication hole 113 of the cover 114.
  • the inter-valve blocking ring 122d is further provided.
  • the inter-valve shutoff ring 122d is provided at the contact portion between the main body side valve 122 and the cover side valve 124 so that the main body side valve 122 and the cover side valve 124 move up and down, Through this process, by-products or contaminants are prevented from entering the valve housing 110.
  • the main valve 122 and the cover valve 124 are connected to the valve driver 130, respectively.
  • the main valve 122 is connected to the valve driving unit 130 by a first link connecting part 128, and the first link connecting part 128 is connected to the main valve 122.
  • the cover side valve 124 is also rotatably connected to the valve driving unit 130 by the second link connecting portion 126.
  • first and second contact surface protection rings 122a and 122b are installed around the communication part 127 in a double manner.
  • the first and second contact surface protection rings 122a and 122b are provided at the main body side valve 122 and the cover side valve 124, respectively, and are spaced apart from each other by a predetermined interval.
  • a surface protected by the first and second contact surface protection rings 122a and 122b among the inner surfaces of the cover 114 may include the first and second communication holes 125.
  • the first blocking ring 122c plays an important role in preventing process byproducts and contaminants from flowing into the valve housing 110 while the exhaust line 1 is blocked.
  • the blocking ring 122c is protected by the first o-ring 114a in the open position, and is always protected by the first and second contact surface protection rings 122a and 122b in the blocking position.
  • the communicating part and the blocking part of the main body side valve 112 also have the same structure.
  • the second contact surface protection ring 122b may not be installed on the main body side valve 122 or the cover side valve 124, but may be installed on the surface of the housing main body 112 or the surface of the cover 114.
  • the first blocking ring 122c may be formed inside the valve housing 110 when the valve is in the blocking position.
  • the second contact surface protection ring 122b has the advantage of blocking the double.
  • valve driving unit 130 is installed to be connected to the valve 120 at one side of the valve housing 110, and the valve 120 is perpendicular to the exhaust line 1.
  • the valve driving unit 130 may be composed of various power means 134 that can linearly move the valve 120, for example, may be composed of a motor or a cylinder.
  • the distal end 132 of the valve drive unit 130 is rotatably connected to the main valve 122 and the cover valve 124 by the first and second link connecting portions 128 and 126. .
  • the valve movement guide 140 is installed on both side walls of the valve housing 110 so as to face each other to guide the movement direction of the valve 120.
  • the valve movement guide 140 includes a first guide 144 and a second to move the main valve 122 and the cover valve 124, respectively. It is configured to include a guide 142.
  • the first guide portion 144 and the second guide portion 142 is formed symmetrically in the vertical direction, the guide portion formed on the side of the main valve 122 and the cover valve 124, respectively It is coupled with a coupler (not shown in the figure).
  • the main valve 122 and the cover valve 124 may be connected to the valve driver 130 with the guide coupler coupled to the first guide 144 and the second guide 142.
  • the main body side valve 122 and the cover side valve 124 are in close contact with the housing main body 112 and the cover 114 in the open position and the shut off position, and the housing main body 112 in the remaining movement section. And a close contact area between the first guide part 144 and the second guide part 142 so as to be smoothly spaced apart from the cover 114.
  • the close contact areas 142a, 142b, 142c, 144a, 144b, and 144c are formed in three portions of the first guide part 144 and the second guide part 142, respectively, as shown in FIG.
  • the body side valve 122 and the cover side valve 124 are spaced apart from each other as far as possible and completely contact the housing body 112 and the cover 114. .
  • the heating unit 150 is a component installed inside the valve 120 to heat the valve.
  • the gate valve in general, the valve 120 for directly blocking the exhaust line 1 is preferably maintained at the same temperature inside the vacuum equipment.
  • a heating unit 150 is installed inside the valve 120 to directly heat the valve 120. Therefore, there is an advantage in that the temperature of the valve 120 can be directly and accurately adjusted to a high temperature.
  • the gate valve according to the present embodiment may further include a soft pumping line 170.
  • the soft pumping line 170 bypasses the valve 120 and connects the exhaust line 1.
  • the soft pumping line 170 penetrates the valve housing 110 to connect the upper exhaust line and the lower exhaust line.
  • a valve port 180 is further provided at an intermediate portion of the soft pumping line 170 to open and close the soft pumping line 170.
  • the soft pumping line 170 can reduce the burden caused by the sudden pressure change in the operation of opening and closing the exhaust line by using the gate valve, it is possible to achieve a smoother pumping operation.
  • the present invention relates to a gate valve, and more particularly, to a gate valve installed in an exhaust line of a vacuum equipment, wherein the valve forms a part of the exhaust line and moves into the gate valve by horizontally moving the valve.
  • the present invention relates to a gate valve that can completely block contaminants and by-products and has an excellent exhaust effect.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

본 발명은진공 장비의 배기 라인에 설치되는 게이트 밸브(gate valve)로, 밸브가 배기 라인의 일부를 이루고 이 밸브를 수평 이동시킴으로써 게이트 밸브 내부로 유입되는 공정 오염 물질 및 부산물을 완전히 차단할 수 있으며 배기 효과가 탁월한 게이트 밸브에 관한 것이다.

Description

게이트 밸브
본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 장비의 배기 라인에 설치되는 게이트 밸브(gate valve)로, 밸브가 배기 라인의 일부를 이루고 이 밸브를 수평 이동시킴으로써 게이트 밸브 내부로 유입되는 공정 오염 물질 및 부산물을 완전히 차단할 수 있으며 배기 효과가 탁월한 게이트 밸브에 관한 것이다.
반도체, LCD, LED, 태양전지 등의 정밀 제조 분야에서는 장비 내부의 압력을 대기압 보다 낮게 유지하면서 제조 공정을 진행하는 진공 장비가 많이 사용된다. 이러한 진공 장비에는 진공 장비 내부의 기체를 흡입 배출하여 진공 장비 내부의 압력을 낮게 유지하는 진공 펌프 및 이 진공 펌프와 진공 장비를 연결하는 배기 라인이 설치된다.
그리고 이 배기 라인에는 배기 라인 자체의 개폐를 위하여 게이트 밸브가 설치된다. 종래의 게이트 밸브는 도 1에 도시된 바와 같이, 배기 라인(1)의 중간에 설치되며, 밸브 하우징(10), 밸브(20) 및 밸브 구동부(도면에 미도시)를 포함하여 구성된다.
먼저 밸브(20)는 상기 배기 라인(1)을 가로막아서 차단하는 구성요소이며, 상기 배기 라인(1)에 대하여 직교하는 방향으로 이동한다. 그리고 상기 밸브 하우징(10)은 상기 밸브(20)가 이동하는 경로를 제공하며, 배기 라인(1)에 설치되어 배기 라인을 통하여 배출되는 배기 가스의 외부 유출을 방지하는 역할을 한다. 마지막으로 밸브 구동부는 상기 밸브(20)의 후단에 결합되어 상기 밸브(20)를 구동하는 역할을 한다.
그런데 이러한 구조의 게이트 밸브는 도 1에 도시된 바와 같이, 게이트 밸브 내에서 밸브(20)와 밸브 하우징(10) 사이의 공간이 차단되지 아니하여, 배기 라인(1)을 통하여 배출되는 공정 부산물 또는 오염물질(30)이 상기 밸브 하우징(10) 내부 및 밸브(20) 표면에 쌓이는 문제점이 있다.
이렇게 밸브 하우징(10) 내부나 밸브(20)에 공정 부산물 또는 오염물질(30)이 쌓이면 배브 하우징(10)이나 밸브(20)가 부식되어 구동 불량이 발생하고 잦은 수리가 요구되는 치명적인 문제가 있고, 불필요한 마찰로 인하여 배기 능력이 저하되는 문제점도 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 밸브가 밸브 하우징 내에서 밸브 하우징과 완전히 밀착된 상태를 유지하여 밸브 하우징 내부 및 밸브 표면이 공정 부산물 및 오염물질에 의하여 오염되지 않으며, 밸브 자체에 가열부를 설치하여 온도를 고온으로 유지함으로써 밸브 표면에 접촉된 오염물질이 쌓이지 않는 게이트 밸브를 제공하는 것이다.
전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 게이트 밸브는, 진공 챔버 배기 라인의 일부가 제거된 상태에서 상기 배기 라인의 제거된 부분에 삽입되어 설치되는 밸브 하우징; 상기 밸브 하우징 내부에 수평 이동가능하게 설치되며, 상기 배기 라인의 제거된 일부를 이루는 연통부와 상기 배기 라인을 차단하는 차단부를 가지는 밸브; 상기 밸브 하우징의 일측에 상기 밸브와 연결되어 설치되며, 상기 밸브를 상기 배기 라인에 직교하는 방향으로 이동시키는 밸브 구동부; 상기 밸브 하우징 내부에 설치되어 상기 밸브의 이동 방향을 안내하는 밸브 이동 안내부; 상기 밸브 내부에 설치되어 상기 밸브를 가열하는 밸브 가열부;를 포함한다.
본 발명에서 상기 밸브 하우징은, 상면 또는 하면이 개방된 상태로 내부에 일정한 공간을 가지는 하우징 본체; 상기 하우징 본체와 결합되어 상기 밸브 하우징의 상면 또는 하면을 이루는 커버; 상기 하우징 본체의 수평면을 두께 방향으로 관통하여 형성되며, 상기 배기 라인의 일측과 연접되는 제1 연통공; 상기 커버의 수평면을 두께 방향으로 관통하여 형성되며, 상기 배기라인의 타측과 연접되는 제2 연통공; 상기 제1 연통공과 인접하게 제1 오-링이 삽입되어 형성되며, 상기 연통부가 상기 배기 라인과 일치된 상태에서 상기 차단부의 일면과 접촉하는 제1 차단부 접촉면; 상기 제2 연통공과 인접하게 제2 오-링이 삽입되어 형성되며, 상기 연통부가 상기 배기 라인과 일치된 상태에서 상기 차단부의 타면과 접촉하는 제2 차단부 접촉면;을 포함하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 밸브는, 상기 밸브 하우징의 수평면과 접촉하는 본체측 밸브; 상기 본체측 밸브와 간격 변동이 가능하게 결합되며, 상기 커버와 접촉하는 커버측 밸브; 상기 본체측 밸브의 일단에 회동 가능하게 설치되며, 상기 밸브 구동부의 일단과 연결되는 제1 링크 연결부; 상기 커버측 밸브의 일단에 회동 가능하게 설치되며, 상기 밸브 구동부의 일단과 연결되는 제2 링크 연결부;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명의 게이트 밸브에는, 상기 본체측 밸브와 상기 커버측 밸브의 접촉면에 설치되어, 상기 본체측 밸브와 커버측 밸브 사이의 공간을 차단하는 밸브간 차단링이 더 구비되는 것이, 본체측 밸브와 커버측 밸브의 상하 구동에도 불구하고 밸브 하우징 및 밸브 내측으로 공정 부산물 및 오염물질이 유입되는 것을 차단할 수 있어서 바람직하다.
그리고 본 발명의 게이트 밸브에는 상기 연통부 주변에 서로 일정간격 이격되어 설치되며, 상기 연통부를 이중으로 감싸는 제1, 2 접촉면 보호링;과 상기 차단부 주변에 상기 차단부를 감싸도록 설치되며, 상기 차단부가 상기 배기 라인과 일치된 상태에서 상기 밸브 하우징과 상기 밸브 사이의 공간을 차단하는 제1, 2 차단링;이 더 구비되는 것이 바람직하다.
한편 본 발명에서 상기 밸브 이동 안내부는, 상기 본체측 밸브를 안내하는 제1 안내부;와 상기 제1 안내부와 대칭되게 형성되며, 상기 커버측 밸브를 안내하는 제2 안내부;를 포함하며,
상기 제1 안내부와 제2 안내부는 상기 연통부가 상기 제1, 2 연통공과 일치하는 위치 및 상기 차단부가 상기 제1, 2 연통공과 일치하는 위치에서는 상기 본체측 밸브 및 상기 커버측 밸브가 상기 밸브 하우징 내부와 밀착되도록 안내하는 밀착 구역을 가지는 것이 바람직하다.
본 발명의 게이트 밸브에 따르면, 밸브가 배기라인의 개방 위치 및 차단 위치 모두에서 밸브 하우징 내에서 밸브 하우징과 완전히 밀착된 상태를 유지하여 밸브 하우징 내부 및 밸브 표면이 공정 부산물 및 오염물질에 의하여 오염되지 않으며, 밸브 자체에 가열부를 설치하여 온도를 고온으로 유지하므로 밸브 표면에 접촉된 오염물질이 쌓이지 않는 탁월한 효과가 있다.
도 1은 종래의 게이트 밸브 구조를 도시하는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 구조를 도시하는 커버를 개방한 상태의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브의 개방 상태에서의 밸브와 밸브 하우징의 밀착 구조를 도시하는 부분 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 이동 안내부의 구조를 도시하는 정면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 하우징의 구조를 도시하는 다른 방향 단면도이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
본 실시예에 따른 게이트 밸브는 도 2에 도시된 바와 같이, 밸브 하우징(110), 밸브(120), 밸브 구동부(130), 밸브 이동 안내부(140) 및 밸브 가열부(150)를 포함하여 구성된다.
먼저 밸브 하우징(110)은 진공 챔버의 배기 라인(1) 일부가 제거된 상태에서 상기 배기 라인(1)의 제거된 부분에 삽입되어 설치되는 구성요소로서, 본 실시예에 따른 게이트 밸브의 전체적인 외형을 이루고, 그 내부에 상기 밸브(120), 밸브 이동 안내부(140) 및 밸브 가열부(150) 등이 설치되는 공간을 제공한다. 특히 이 밸브 하우징(110)은 상기 배기 라인(1) 중 제거된 일부분에 삽입되어 상기 배기 라인의 일부를 이루며, 배기 라인(1)을 통하여 배출되는 기체가 외부로 유출되지 않도록 완전하게 밀폐된 구조를 가진다.
이를 위하여 본 실시예에 따른 밸브 하우징(110)은 도 2, 3에 도시된 바와 같이, 하우징 본체(112), 커버(114), 제1 연통공(111), 제2 연통공(113), 제1 차단부 접촉면 및 제2 차단부 접촉면(114c)을 포함하여 구성된다. 먼저 하우징 본체(112)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상면 또는 하면 중 어느 일면이 개방된 상태로 내부에 일정한 공간을 가지는 구조를 가진다. 이 하우징 본체(112) 내부에는 밸브(120)의 설치 공간 및 이동 공간이 마련되며, 상기 밸브(120)의 이동을 위한 밸브 이동 안내부(140)도 설치된다. 그리고 전술한 바와 같이, 상기 하우징 본체(112)는 밸브(120) 및 밸브 이동 안내부(140)의 설치 편의 및 제조의 편의를 위하여 그 상면 또는 하면 중 일면이 개방된 구조를 가지는 것이 바람직하다.
다음으로 커버(114)는 상기 하우징 본체(112)와 결합되어 상기 밸브 하우징(110)의 상면 또는 하면 중 개방된 일면을 덮는 구성요소이다. 이 커버(114)는 상기 하우징 본체(112)와 동일한 재질로 이루어지며, 상기 하우징 본체(112)에 볼트 등의 체결수단을 이용하여 완전히 밀착된 상태로 결합된다.
또한 본 실시예에 따른 게이트 밸브에서는 상기 커버(114)에 도 4에 도시된 바와 같이, 질소 가스 공급 포트(160)가 더 구비될 수 있다. 이 질소 가스 공급 포트(160)는 상기 게이트 밸브 외부에서 후술하는 연통부(127) 방향으로 질소(N2) 가스를 공급할 수 있도록 형성된다. 이렇게 질소 가스 공급 포트(160)을 통해서 질소 가스를 상기 연통부(127) 방향으로 공급하면, 후술하는 가열부(150)이 작동하지 않는 비상 상황에서도 상기 연통부(127) 등의 벽면에 파티클이 적층되는 현상을 최소화할 수 있는 장점이 있다.
그리고 상기 제1 연통공(111)은 상기 하우징 본체(112)의 수평면을 두께 방향으로 관통하여 형성되는 구멍이며, 상기 배기 라인(1)의 내경과 같은 크기로 형성되어 상기 배기 라인(1)의 일측과 연접되어 상기 배기 라인(1)에서 연속되는 관 형태를 이룬다. 한편 제2 연통공(113)은 상기 제1 연통공(111) 반대편 배기라인(1)과 접하는 부분으로서, 상기 커버(114)의 수평면을 두께 방향으로 관통하여 형성되는 구멍이다.
그리고 상기 제1 차단부 접촉면은 상기 제1 연통공(111)과 인접하게 상기 하우징 본체(112)의 내면에 제1 오-링(112a)이 삽입되어 형성되며, 상기 연통공(121)이 상기 배기 라인(1)과 일치된 상태에서 상기 차단부의 일면과 접촉하는 면이다. 이 제1 차단부 접촉면은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제1 오-링(112a)에 의하여 차단되어 보호된다. 이렇게 보호된 제1 차단부 접촉면은 상기 차단부를 이루는 면 및 오-링을 오염되지 않고 깨끗한 상태로 유지한다.
한편 상기 제2 차단부 접촉면(114c)은 상기 제1 차단부 접촉면과 반대 방향에 형성되어 동일한 기능을 한다. 구체적으로 이 제2 차단부 접촉면(114c)은 도 2, 4에 도시된 바와 같이, 상기 제2 연통공(113)과 인접하게 상기 커버(114)의 내면에 제2 오-링(114a)이 삽입되어 형성되며, 상기 연통부가 상기 배기 라인(1)과 일치된 상태에서 상기 차단부의 타면과 접촉한다.
다음으로 본 실시예에 따른 게이트 밸브에서 상기 밸브(120)는 상기 밸브 하우징(110) 내부에 수평 이동가능하게 설치되며, 상기 배기 라인(1)의 제거된 일부를 이루는 연통부(127)와 상기 배기 라인(1)을 차단하는 차단부(125)를 가지는 구성요소이다. 즉, 이 밸브(120)는 상기 배기 라인(1)의 제거된 일부를 연결하여 배기 라인이 개방되게 하거나, 배기 라인의 일부를 패쇄하여 차단하는 역할을 한다. 이를 위하여 상기 밸브(120)는 구체적으로 도 2, 3에 도시된 바와 같이, 본체측 밸브(122), 커버측 밸브(124), 제1 링크 연결부(128) 및 제2 링크 연결부(126)를 포함하여 구성된다. 그리고 본체측 밸브(122) 및 커버측 밸브(124)에는 각각 연통공(121)과 제1 접촉면 오-링(122a, 122b)로 이루어지는 연통부(127)와, 차단면(123)과 제1 차단링(122c)로 이루어지는 차단부(125)가 구비된다.
먼저 본체측 밸브(122)는 상기 하우징 본체(112)의 수평면과 접촉하는 구성요소로서, 상기 제1 연통공(111)을 차단하거나 연통한다. 그리고 커버측 밸브(124)는 상기 본체측 밸브(122)의 반대편에 상기 본체측 밸브(122)와 간격 변동이 가능하게 결합되며, 상기 커버(114)와 접촉하는 구성요소이다. 즉, 본 실시예에서 상기 밸브(120)는 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124) 2개로 나누어 구성되며, 각각 밸브 구동부(130)에 의하여 이동하면서 하우징 본체(112)의 제1 연통공(111)을 연결 및 차단하거나 커버(114)의 제2 연통공(113)을 연결 및 차단하는 역할을 한다.
이때, 상기 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124)가 서로 결합되는 부분에는, 도 2, 4에 도시된 바와 같이, 밸브간 차단링(122d)이 더 구비되는 것이 바람직하다. 이 밸브간 차단링(122d)은 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124)의 접촉 부분에 설치되어 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124)가 상하 이동하면서도 그 사이의 접촉면을 통하여 공정 부산물 또는 오염물질이 밸브 하우징(110) 내부로 침입하는 것을 방지한다.
그리고 상기 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124)는 각각 밸브 구동부(130)와 연결된다. 이때 상기 본체측 밸브(122)는 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 링크 연결부(128)에 의하여 밸브 구동부(130)와 연결되는데, 이 제1 링크 연결부(128)는 상기 본체측 밸브(122)의 일단 및 상기 밸브 구동부의 말단(132)에 회동 가능하게 설치된다. 따라서 상기 본체측 밸브(122)가 상기 밸브 이동 안내부(140)를 따라서 상하 방향으로 이동하더라도 무리없이 밸브 구동부(130)의 동력을 전달할 수 있다. 마찬가지로 상기 커버측 밸브(124)도 제2 링크 연결부(126)에 의하여 상기 밸브 구동부(130)에 대하여 회동가능하게 연결된다.
또한 상기 본체측 밸브(122) 및 커버측 밸브(124)에는 다수개의 오-링이 설치된다. 먼저 연통부(127) 주위에는 이중으로 제1, 2 접촉면 보호링(122a, 122b)이 설치된다. 이 제1, 2 접촉면 보호링(122a, 122b)은 본체측 밸브(122) 및 커버측 밸브(124)에 각각 설치되며, 서로 일정간격 이격되어 설치된다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 커버(114)의 내면 중 상기 제1, 2 접촉면 보호링(122a, 122b)에 의하여 보호되는 면은 상기 차단부(125)가 상기 제1, 2 연통공(111, 113)을 차단하는 위치일때, 상기 제1 차단링(122c)이 접촉하는 부분이다. 본 실시예에서 상기 제1 차단링(122c)은 상기 배기 라인(1)이 차단되는 상태에서 밸브 하우징(110) 내부로 공정 부산물 및 오염물질이 유입되는 것을 방지하는 중요한 역할을 하는데, 상기 제1 차단링(122c)은 개방 위치에서 상기 제1 오-링(114a)에 의하여 보호되며, 차단 위치에서는 상기 제1, 2 접촉면 보호링(122a, 122b)에 의하여 보호되므로 항상 깨끗한 상태를 유지할 수 있다. 마찬가지로 본체측 밸브(112)의 연통부 및 차단부도 동일한 구조를 가진다.
한편 상기 제2 접촉면 보호링(122b)는 본체측 밸브(122) 또는 커버측 밸브(124)에 설치되지 않고, 하우징 본체(112)의 면이나 커버(114)의 면에 설치될 수도 있다. 이렇게 제2 접촉면 보호링(122b)가 하우징 본체(112)나 커버(114)의 면에 설치되는 경우에는, 밸브가 차단위치에 있을 때 밸브 하우징(110) 내부를 상기 제1 차단링(122c)와 제2 접촉면 보호링(122b)가 이중으로 차단하는 장점이 있다.
다음으로 본 실시예에서 상기 밸브 구동부(130)는 상기 밸브 하우징(110)의 일측에 상기 밸브(120)와 연결되어 설치되며, 상기 밸브(120)를 상기 배기 라인(1)에 직교하는 방향으로 이동시키는 구성요소이다. 이 밸브 구동부(130)는 상기 밸브(120)를 직선 운동시킬 수 있는 다양한 동력 수단(134)으로 구성될 수 있으며, 예를 들어 모터나 실린더 등으로 구성될 수 있다. 이 밸브 구동부(130)의 말단(132)은 전술한 바와 같이, 상기 본체측 밸브(122) 및 커버측 밸브(124)와 제1, 2 링크 연결부(128, 126)에 의하여 회동가능하게 연결된다.
다음으로 밸브 이동 안내부(140)는 상기 밸브 하우징(110) 내부 양 측벽에 서로 마주 보도록 설치되어 상기 밸브(120)의 이동 방향을 안내하는 구성요소이다. 본 실시예에서 이 밸브 이동 안내부(140)는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124)를 각각 이동시키기 위하여 제1 안내부(144) 및 제2 안내부(142)를 포함하여 구성된다. 이때, 상기 제1 안내부(144)와 제2 안내부(142)는 상하 방향으로 대칭되게 형성되며, 상기 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124)의 측면에 각각 형성되어 있는 안내부 결합구(도면에 미도시)와 결합된다. 따라서 상기 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124)는 상기 안내부 결합구가 상기 제1 안내부(144) 및 제2 안내부(142)에 결합된 상태로 상기 밸브 구동부(130)에 의하여 수평 이동하게 된다. 따라서 상기 제1 안내부(144) 및 제2 안내부(142)의 모양에 따라 상하 구동을 동시에 하게 된다.
본 실시예에서는 상기 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124)가 개방 위치 및 차단 위치에서는 상기 하우징 본체(112) 및 커버(114)와 밀착되고, 나머지 이동 구간에서는 상기 하우징 본체(112) 및 커버(114)와 이격되어 원할하게 이동할 수 있도록 상기 제1 안내부(144) 및 제2 안내부(142)에 밀착 구역이 구비된다. 이 밀착 구역(142a, 142b, 142c, 144a, 144b, 144c)은 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 안내부(144) 및 제2 안내부(142)에서 각각 3 부분에 형성되며, 각 밀착 구역(142a, 142b, 142c, 144a, 144b, 144c)에서는 상기 본체측 밸브(122)와 커버측 밸브(124)가 서로 최대한 이격되어 상기 하우징 본체(112)및 커버(114)에 완전하게 밀착된다.
그리고 상기 가열부(150)는 상기 밸브(120) 내부에 설치되어 상기 밸브를 가열하는 구성요소이다. 일반적으로 진공 장비 내에서는 공정의 원활한 진행을 위하여 100℃ 이상의 온도로 가열된 상태가 유지된다. 그런데 이러한 진공 장비 내에서 사용된 공정 가스가 상기 배기 라인(1)을 통하여 배기 되면서 상기 게이트 밸브에서 갑자기 온도가 낮아지는 경우에는 상기 게이트 밸브에 공정 부산물 및 오염물질이 급격하게 쌓이게 된다. 따라서 상기 게이트 밸브 특히, 배기라인(1)을 직접 차단하는 밸브(120)는 진공 장비 내부의 온도와 동일하게 유지되는 것이 바람직하다. 이를 위하여 본 실시예에 따른 게이트 밸브에서는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 밸브(120) 내부에 가열부(150)를 설치하여 밸브(120)를 직접 가열한다. 따라서 상기 밸브(120)의 온도를 직접적으로 정확하게 고온으로 조절할 수 있는 장점이 있다.
또한 본 실시예에 따른 게이트 밸브에는 도 6에 도시된 바와 같이, 소프트 펌핑(soft pumping) 라인(170)이 더 구비되는 것이 바람직하다. 이 소프트 펌핑 라인(170)은 상기 밸브(120)를 우회하여 상기 배기 라인(1)을 연결하는 통로이다. 구체적으로 이 소프트 펌핑 라인(170)은 상기 밸브 하우징(110)을 관통하여 상측 배기라인과 하측 배기라인을 연결한다. 그리고 소프트 펌핑 라인(170)의 중간 부분에는 밸브 포트(180)이 더 구비되어 상기 소프트 펌핑 라인(170)을 개폐하게 된다. 이 소프트 펌핑 라인(170)에 의하여 게이트 밸브를 이용하여 배기라인을 개폐하는 동작에서 급격한 압력 변화에 의한 부담을 줄일 수 있으며, 더 부드러운 펌핑 동작을 달성할 수 있다.
본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 장비의 배기 라인에 설치되는 게이트 밸브(gate valve)로, 밸브가 배기 라인의 일부를 이루고 이 밸브를 수평 이동시킴으로써 게이트 밸브 내부로 유입되는 공정 오염 물질 및 부산물을 완전히 차단할 수 있으며 배기 효과가 탁월한 게이트 밸브에 관한 것이다.

Claims (7)

  1. 진공 챔버 배기 라인의 일부가 제거된 상태에서 상기 배기 라인의 제거된 부분에 삽입되어 설치되는 밸브 하우징;
    상기 밸브 하우징 내부에 수평 이동가능하게 설치되며, 상기 배기 라인의 제거된 일부를 이루는 연통부와 상기 배기 라인을 차단하는 차단부를 가지는 밸브;
    상기 밸브 하우징의 일측에 상기 밸브와 연결되어 설치되며, 상기 밸브를 상기 배기 라인에 직교하는 방향으로 이동시키는 밸브 구동부;
    상기 밸브 하우징 내부에 설치되어 상기 밸브의 이동 방향을 안내하는 밸브 이동 안내부;
    상기 밸브 내부에 설치되어 상기 밸브를 가열하는 밸브 가열부;를 포함하는 게이트 밸브.
  2. 제1항에 있어서, 상기 밸브 하우징은,
    상면 또는 하면 중 어느 일면이 개방된 상태로 내부에 일정한 공간을 가지는 하우징 본체;
    상기 하우징 본체와 결합되어 상기 밸브 하우징의 상면 또는 하면 중 개방된 일면을 덮는 커버;
    상기 하우징 본체의 수평면을 두께 방향으로 관통하여 형성되며, 상기 배기 라인의 일측과 연접되는 제1 연통공;
    상기 커버의 수평면을 두께 방향으로 관통하여 형성되며, 상기 배기라인의 타측과 연접되는 제2 연통공;
    상기 제1 연통공과 인접하게 상기 하우징 본체의 내면에 제1 오-링이 삽입되어 형성되며, 상기 연통부가 상기 배기 라인과 일치된 상태에서 상기 차단부의 일면과 접촉하는 제1 차단부 접촉면;
    상기 제2 연통공과 인접하게 상기 커버의 내면에 제2 오-링이 삽입되어 형성되며, 상기 연통부가 상기 배기 라인과 일치된 상태에서 상기 차단부의 타면과 접촉하는 제2 차단부 접촉면;을 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  3. 제1항에 있어서, 상기 밸브는,
    상기 밸브 하우징의 수평면과 접촉하는 본체측 밸브;
    상기 본체측 밸브와 간격 변동이 가능하게 결합되며, 상기 커버와 접촉하는 커버측 밸브;
    상기 본체측 밸브의 일단에 회동 가능하게 설치되며, 상기 밸브 구동부의 일단과 연결되는 제1 링크 연결부;
    상기 커버측 밸브의 일단에 회동 가능하게 설치되며, 상기 밸브 구동부의 일단과 연결되는 제2 링크 연결부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 본체측 밸브와 상기 커버측 밸브의 접촉면 사이에 설치되어, 상기 본체측 밸브와 커버측 밸브 사이의 공간을 차단하는 밸브간 차단링이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 연통부 주변에 서로 일정간격 이격되어 설치되며, 상기 연통부를 이중으로 감싸는 제1, 2 접촉면 보호링;
    상기 차단부 주변에 상기 차단부를 감싸도록 설치되며, 상기 차단부가 상기 배기 라인과 일치된 상태에서 상기 밸브 하우징과 상기 밸브 사이의 공간을 차단하는 제1, 2 차단링;을 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  6. 제1항에 있어서, 상기 밸브 이동 안내부는,
    상기 본체측 밸브를 안내하는 제1 안내부;와,
    상기 제1 안내부와 대칭되게 형성되며, 상기 커버측 밸브를 안내하는 제2 안내부;를 포함하며,
    상기 제1 안내부와 제2 안내부는 상기 연통부가 상기 제1, 2 연통공과 일치하는 위치 및 상기 차단부가 상기 제1, 2 연통공과 일치하는 위치에서는 상기 본체측 밸브 및 상기 커버측 밸브가 상기 밸브 하우징 내부와 밀착되도록 안내하는 밀착 구역을 가지는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 밸브를 우회하여 상기 배기 라인의 제거된 부분을 연결하며, 상기 배기 라인을 통하여 배출되는 배기 가스의 일부가 배기되는 소프트 펌핑 라인이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
PCT/KR2011/001167 2010-02-25 2011-02-23 게이트 밸브 WO2011105737A2 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100017218A KR101229324B1 (ko) 2010-02-25 2010-02-25 게이트 밸브
KR10-2010-0017218 2010-02-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2011105737A2 true WO2011105737A2 (ko) 2011-09-01
WO2011105737A3 WO2011105737A3 (ko) 2012-01-05

Family

ID=44507361

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2011/001167 WO2011105737A2 (ko) 2010-02-25 2011-02-23 게이트 밸브

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR101229324B1 (ko)
WO (1) WO2011105737A2 (ko)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107575641A (zh) * 2017-10-10 2018-01-12 深圳市大成精密设备有限公司 一种先导式真空阀门
US10100936B2 (en) 2015-04-24 2018-10-16 Flowserve Management Company Parallel slide gate valves and related methods
AT521891A1 (de) * 2018-11-23 2020-06-15 Vat Holding Ag Ventil
DE102019128228A1 (de) * 2019-10-18 2021-04-22 Vat Holding Ag Anordnung mit einem Ventil
US11092247B2 (en) * 2017-10-13 2021-08-17 Laon Tmd Co., Ltd. Valve assembly

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101356579B1 (ko) * 2013-02-04 2014-02-03 주식회사 비에스에이 컴팩트형 감압장치
KR102206550B1 (ko) * 2019-03-25 2021-01-25 주식회사 에이씨엔 게이트 밸브, 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR102490651B1 (ko) * 2022-08-18 2023-01-20 주식회사 미래보 반도체 공정 시 발생하는 반응부산물 포집 장치의 신속 교체를 통한 공정 정지 로스 감축 시스템
KR102498115B1 (ko) * 2022-12-06 2023-02-09 주식회사 미래보 반도체 공정 시 발생하는 반응부산물 포집 장치의 신속 교체를 통한 공정 정지 로스 감축 시스템

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200292558Y1 (ko) * 2002-07-22 2002-10-25 정인열 슬라이딩식 개폐판을 갖는 개폐기구
KR100779241B1 (ko) * 2006-11-02 2007-11-23 주식회사 비츠로테크 양면 진공 게이트 밸브

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0320188A (ja) * 1989-06-16 1991-01-29 Hitachi Ltd ゲートバルブ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200292558Y1 (ko) * 2002-07-22 2002-10-25 정인열 슬라이딩식 개폐판을 갖는 개폐기구
KR100779241B1 (ko) * 2006-11-02 2007-11-23 주식회사 비츠로테크 양면 진공 게이트 밸브

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10100936B2 (en) 2015-04-24 2018-10-16 Flowserve Management Company Parallel slide gate valves and related methods
EP3086006B1 (en) * 2015-04-24 2019-03-20 Flowserve Management Company Parallel slide gate valves and related methods
CN107575641A (zh) * 2017-10-10 2018-01-12 深圳市大成精密设备有限公司 一种先导式真空阀门
CN107575641B (zh) * 2017-10-10 2023-12-29 深圳市大成精密设备股份有限公司 一种先导式真空阀门
US11092247B2 (en) * 2017-10-13 2021-08-17 Laon Tmd Co., Ltd. Valve assembly
AT521891A1 (de) * 2018-11-23 2020-06-15 Vat Holding Ag Ventil
DE102019128228A1 (de) * 2019-10-18 2021-04-22 Vat Holding Ag Anordnung mit einem Ventil
WO2021073838A1 (de) 2019-10-18 2021-04-22 Vat Holding Ag Anordnung mit einem ventil

Also Published As

Publication number Publication date
KR101229324B1 (ko) 2013-02-05
WO2011105737A3 (ko) 2012-01-05
KR20110097395A (ko) 2011-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2011105737A2 (ko) 게이트 밸브
US20130153806A1 (en) Two way gate valve and substrate processing system having the same
WO2011028006A2 (ko) 영구자석의 극성 변화와 극성간의 상호 작용을 이용한 밸브
WO2011087190A1 (ko) 도어밸브
JP2007049147A (ja) プラズマ処理装置
KR100863706B1 (ko) 진공처리장치의 게이트밸브 및 그를 가지는 진공처리장치
WO2019074340A1 (ko) 밸브 조립체
WO2013051877A2 (ko) 챔버간 역압 방지수단을 구비한 진공 처리장치
WO2003029742A1 (fr) Four a levitation electrostatique
JP2014020552A (ja) 傾斜駆動を用いるゲートバルブ
KR102497381B1 (ko) 글로브박스가 구비되는 고온진공 인라인 열처리 시스템
KR200488447Y1 (ko) 진공 및 실린더 통합 제어용 모듈
US8272826B2 (en) Substrate processing apparatus
WO2024085527A1 (ko) 게이트 밸브 어셈블리를 포함하는 기판 처리 시스템
JP2589293Y2 (ja) 流体配管装置
KR102150065B1 (ko) 마그넷 커플링 타입 게이트 밸브 시스템
JP2638736B2 (ja) 配線配管ユニット
KR100938245B1 (ko) 2단계 동작 셔터 모듈 및 이를 포함하는 반도체 제조 장비
KR101608595B1 (ko) 자성 유체 씰
CN115854103A (zh) 一种双气缸二位五通阀
KR102127189B1 (ko) 도어 교체형 게이트 밸브 시스템
JP2535007Y2 (ja) 流体配管装置
WO2017007128A1 (ko) 다이아프램 펌프 어셈블리
KR20190143118A (ko) 도어 교체형 게이트 밸브 시스템
CN212155999U (zh) 一种煤化工锁斗球阀分体式气路控制单元

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 11747627

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

32PN Ep: public notification in the ep bulletin as address of the adressee cannot be established

Free format text: NOTING OF LOSS OF RIGHTS PURSUANT TO RULE 112(1) EPC (EPO FORM 1205A DATED 19/12/2012)

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 11747627

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2