WO2024085527A1 - 게이트 밸브 어셈블리를 포함하는 기판 처리 시스템 - Google Patents

게이트 밸브 어셈블리를 포함하는 기판 처리 시스템 Download PDF

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WO2024085527A1
WO2024085527A1 PCT/KR2023/015687 KR2023015687W WO2024085527A1 WO 2024085527 A1 WO2024085527 A1 WO 2024085527A1 KR 2023015687 W KR2023015687 W KR 2023015687W WO 2024085527 A1 WO2024085527 A1 WO 2024085527A1
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WO
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gate
processing system
substrate processing
valve assembly
sealing member
Prior art date
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PCT/KR2023/015687
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김영수
정청환
최정열
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주식회사 원익아이피에스
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Publication date
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    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
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    • H01L21/67167—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers surrounding a central transfer chamber

Definitions

  • the present invention relates to a substrate processing system, and introduces an adapter that is installed in a detachable structure in an opening, has a sealing member installed to airtightly seal the chamber, and has a structure that allows the sealing member to be easily replaced without changing the layout.
  • a substrate processing system including a gate valve assembly.
  • a semiconductor manufacturing device performs a manufacturing process by including a process chamber that forms a processing space maintained in a process atmosphere at specified pressure and temperature, and the processing space is isolated from the outside while the main manufacturing process is performed.
  • the internal process atmosphere is always maintained uniformly.
  • a typical semiconductor manufacturing device can load or unload wafers for processing by including a load lock chamber installed adjacent to the process chamber in addition to a process chamber in which the process is performed in a vacuum state, and the process chamber and the load lock. It has a structure in which a transfer chamber for wafer transfer is installed between the chambers.
  • Figure 1 is a partial cross-sectional view showing a conventional gate valve.
  • the gate valve used in a conventional vacuum processing device is installed between the first chamber (1) and the second chamber (2), and the gate (2) of the second chamber (2) is moved by lifting and tilting.
  • the valve body 3 which blocks the first chamber 1 and the second chamber 2 from each other by closing the first chamber 2 in close contact with the surrounding outer wall, and lifting and tilting the valve body 3 It consists of a moving module (4) that moves it.
  • the gate valve having the above configuration lowers the valve body 3 by the movement module 4 when transferring a substrate between the first chamber 1 and the second chamber 2 to move the gate 1a, 2a) allows communication with each other.
  • the first chamber 1 or the second chamber 2 may be composed of a transfer chamber and a process chamber, respectively, and substrates are continuously transferred between the transfer chamber and the process chamber.
  • the pressure in the process chamber must be changed to atmospheric pressure while being blocked from the transfer chamber, which is in a vacuum state, by a gate valve.
  • the gate valve is opened to communicate with the transfer chamber.
  • the second chamber 2 which is the process chamber, to a vacuum pressure state
  • the internal space is pumped while the gate 2a is closed with the valve body 3.
  • the gate valve is equipped with a sealing member such as an O-ring to airtightly seal the gate, and when the sealing member is damaged or contaminated or the replacement cycle has arrived, the gate valve is separated from the process chamber (undocking). Therefore, the sealing member is being replaced.
  • a sealing member such as an O-ring to airtightly seal the gate
  • an object is to provide a substrate processing system including a gate valve assembly that can hermetically seal a process chamber and easily replace a sealing member in a short time.
  • the gate valve assembly is installed between the first chamber and the second chamber, and the first gate and the second gate are installed on the first chamber side and the second chamber side, respectively, to face each other to allow the substrate to enter and exit.
  • a housing body with an open surface formed at the top; an adapter unit coupled to a detachable structure along the circumference of the first gate and having an opening; a cover unit coupled to the open surface in a detachable structure; and a valve housing installed on one surface of the adapter unit and including a sealing member in surface contact with the outer wall of the first chamber.
  • the first gate and the second gate have different open areas, the open area of the second gate may be the same as the opening of the adapter, and the first chamber is a process chamber. , the second chamber may be a transfer chamber.
  • the adapter unit includes a first exposed surface formed in a flat structure on an upper surface, a first stepped surface formed in a stepped lower part of the first exposed surface, and the first gate has an inner peripheral surface. It may have a structure including a second step surface formed to be stepped to correspond to the first step surface. And, the adapter unit includes a first installation groove formed in the upper surface of the first exposed surface and a second installation groove formed in the upper surface of the first step surface, and the gate valve assembly includes the first installation groove. It may include a first sealing member installed in the groove and a second sealing member installed in the second installation groove.
  • the adapter unit includes a second exposed surface formed in a flat structure on the upper surface and a first inclined surface connected to the second exposed surface and inclined in a direction toward the end, and the first gate is It may include a second inclined surface inclined in a direction toward the end to correspond to the first inclined surface on the inner peripheral surface, and the adapter unit may include a third installation groove formed in the upper surface of the second exposed surface, and the upper surface of the first inclined surface. and a fourth installation groove formed inside, and the gate valve assembly may include a third sealing member installed in the third installation groove and a fourth sealing member installed in the fourth installation groove.
  • the housing main body may include a receiving groove formed along the circumference of the second gate on the outer wall, and the gate valve assembly may include a fifth sealing member installed in the receiving groove.
  • the housing main body includes a plurality of first fastening holes formed through an inner wall along a circumference of the first gate, and the adapter unit penetrates at a position corresponding to the plurality of first fastening holes. It includes a plurality of second fastening holes, and the adapter unit can be coupled in a detachable structure along the circumference of the first gate using a fastening member fastened to the first fastening hole and the second fastening hole.
  • the cover unit includes a plurality of third fastening holes formed through one side of the circumference, and the housing main body includes a plurality of fourth fastening holes formed in the upper surface of the side wall at positions corresponding to the third fastening holes. It includes a fastening hole, and the cover unit can be coupled to the open surface of the housing body in a detachable structure using a fastening member fastened to the third fastening hole and the fourth fastening hole.
  • the gate valve assembly includes a blade module installed inside the accommodation space of the housing body to open and close the first gate, and a drive module to control the opening and closing of the first gate by raising and lowering the blade module. It can be included.
  • the substrate processing system includes the gate valve assembly described in above, a first chamber coupled to the first gate side of the gate valve assembly, and a second chamber coupled to the second gate side of the gate valve assembly. It may include a chamber.
  • the process chamber can be airtightly sealed.
  • the gate valve can be separated from the process chamber. It is possible to easily replace the sealing member in a short time without the need for undocking.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing part of a conventional gate valve.
  • Figure 2 is a perspective view showing the external appearance of a gate valve assembly according to an embodiment.
  • Figure 3 is a cross-sectional view showing the gate valve assembly according to Example 1.
  • Figure 4 is a state diagram showing a state in which an adapter unit and a cover unit are coupled to the housing body of the gate valve assembly according to Example 1.
  • Figure 5 is a perspective view showing the adapter unit of the gate valve assembly according to Example 1.
  • Figure 6 is a state diagram showing a state in which the housing body, adapter unit, and cover unit of the gate valve assembly according to Example 1 are separated.
  • Figure 7 is a partial cross-sectional view showing the path through which external air flows into the valve housing in the gate valve assembly according to Example 1 (dotted arrow) and the path through which gas inside the process chamber diffuses (arrow).
  • Figure 8 is a state diagram showing a state in which an adapter unit and a cover unit are coupled to the housing body of the gate valve assembly according to Example 2.
  • Figure 9 is a state diagram showing a state in which the housing body, adapter unit, and cover unit of the gate valve assembly according to Example 2 are separated.
  • Figure 10 is a perspective view showing a state in which the second fastening member and the cover unit are separated from the gate valve assembly according to Example 1.
  • Figure 11 is a perspective view showing a state in which the blade module is separated from the gate valve assembly of Figure 10.
  • Figure 12 is a perspective view showing a state in which the first fastening member is separated from the gate valve assembly of Figure 11.
  • Figure 13 is a perspective view showing a state in which the adapter unit is separated from the gate valve assembly of Figure 12.
  • Figure 14 is a configuration diagram showing a substrate processing system according to an embodiment.
  • Figure 2 is a perspective view showing a gate valve assembly according to an embodiment
  • Figure 3 is a cross-sectional view showing a gate valve assembly according to Example 1.
  • the gate valve assembly 10 according to Example 1 includes a valve housing 100 and a blade module 200. and a driving module 300.
  • the valve housing 100 has a structure including a housing body 110, an adapter unit 130, a cover unit 150, and sealing members S1 and S2.
  • the housing body 110 is installed between the first chamber 600 and the second chamber 700, and has a first gate through which a substrate enters and exits the first chamber 600 and the second chamber 700, respectively. 111) and a second gate 113 are formed, and the first gate 111 and the second gate 113 are installed to face each other, and have a structure with an open surface 114 formed at the top.
  • the housing body 110 can accommodate the blade module 200 so that a receiving space is formed inside it to form a structure that can be raised and lowered to the top and bottom.
  • the housing main body 110 has a hexahedral-shaped structure in which four side walls (W) are combined, and has an open upper and lower structure, a cover unit 150 is coupled to the upper surface, and a cover unit 150 is coupled to the lower surface.
  • a structure in which the blade module 200 is inserted and the drive module 300 is coupled can be formed.
  • the housing body 110 has a structure in which first gates 111 and second gates 113 are formed on both side walls, respectively, to allow substrates to enter and exit.
  • the first gate 111 and the second gate 113 have different open areas, and the open area of the second gate 113 may be the same as the opening of the adapter unit 130.
  • the open area of the first gate 111 may be larger than the open area of the second gate 113 to form a space for coupling the adapter unit 130.
  • the adapter unit 130 is coupled in a detachable structure along the circumference of the first gate 111 and has an opening 131 formed therein.
  • the adapter unit 130 may be installed on the side of a process chamber where gas must be discharged or maintained in a vacuum state, and the process chamber may be the first chamber 600.
  • Figure 4 is a state diagram showing an adapter unit and a cover unit coupled to the housing body of the gate valve assembly according to Example 1
  • Figure 5 is a perspective view showing the adapter unit of the gate valve assembly according to Example 1.
  • the housing body 110 may include a plurality of first fastening holes 112 formed along one side of the circumference of the first gate 111 .
  • the adapter unit 130 may include a plurality of second fastening holes 132 formed along one side of the outer peripheral surface at positions corresponding to the plurality of first fastening holes 112.
  • the adapter unit 130 may be coupled in a detachable structure along the circumference of the first gate 111 using a first fastening member (B1) fastened to the first fastening hole and the second fastening hole 132.
  • a representative example of the first fastening member (B1) is a bolt, and the bolt may have various shapes.
  • the housing body 110 and the adapter unit 130 may each have a structure in which a stepped surface or an inclined surface is formed to airtightly seal the first gate 111 and ensure ease of installation.
  • Figure 6 is a state diagram showing a state in which the housing body 110, adapter unit 130, and cover unit 150 of the gate valve assembly according to Example 1 are separated
  • Figure 7 is a gate valve assembly according to Example 1 ( 10) is a partial cross-sectional view showing the path through which external air flows into the valve housing 100 (dotted arrow) and the path through which the gas inside the process chamber diffuses (arrow).
  • the adapter unit 130 has a first exposed surface 133a formed in a flat structure on the upper surface, and a first exposed surface 133a formed in a stepped lower part of the first exposed surface 133a. It may have a structure including a step surface (133b). In addition, at least one of the first gate 111 and the second gate 113 has a structure including a second step surface 115 formed on its inner peripheral surface to be stepped to correspond to the first step surface 133b. You can have it. Accordingly, the first step surface 133b of the adapter unit may be combined in a structure that contacts the second step surface 115.
  • the adapter unit 130 has a first installation groove 134a formed inside the upper surface of the first exposed surface 133a, and a second installation groove 134b formed inside the upper surface of the first step surface 133b.
  • the gate valve assembly 10 includes a first sealing member (S1) installed in the first installation groove (134a) and a second sealing member (S2) installed in the second installation groove (134b). This can prevent gas diffusion and the inflow of external air.
  • the valve housing 100 having the above structure prevents gas or vacuum pressure discharged from the first chamber 600 by the first sealing member S1 from flowing through the coupling portion of the adapter unit 130. Gas inflow can be prevented from flowing through the opening by the seventh sealing member S7 installed on the blade module 200. Additionally, air inflow from the outside can be prevented by the second sealing member S2 and the fifth sealing member S5. Additionally, air can be prevented from flowing in from the cover unit by the sixth sealing member S6.
  • Figure 8 is a state diagram showing the state in which the adapter unit 130' and the cover unit 150 are coupled to the housing body 110' of the gate valve assembly 10' according to Example 2
  • Figure 9 is a state diagram showing the state in which the adapter unit 130' and the cover unit 150 are coupled to the housing body 110' of the gate valve assembly 10' according to Example 2.
  • This is a state diagram showing the state in which the housing body 110', adapter unit 130', and cover unit 150 of the gate valve assembly are separated.
  • the adapter unit 130' has a second exposed surface 135a formed in a flat structure on the upper surface and a first exposed surface 135a connected to the second exposed surface 135a and inclined in a direction toward the end. It may have a structure including an inclined surface 135b. Additionally, the first gate 111 may have a structure including a second inclined surface 116 on the inner peripheral surface inclined in a direction toward the end to correspond to the first inclined surface 135b. Accordingly, the first inclined surface 135b of the adapter unit may be combined in a structure that contacts the second inclined surface 116.
  • the adapter unit 130' has a third installation groove 136a formed inside the upper surface of the second exposed surface 135a, and a fourth installation groove 136b formed inside the upper surface of the first inclined surface 135b.
  • the gate valve assembly 10′ includes a third sealing member S3 installed in the third installation groove 136a and a fourth sealing member S4 installed in the fourth installation groove 136b. Including, it can prevent gas diffusion and the inflow of external air.
  • valve housing 100' having the above structure prevents the gas discharged from the first chamber 600 from flowing through the coupling portion of the adapter unit 130 by the third sealing member S3.
  • gas inflow can be prevented from flowing through the opening by the seventh sealing member S7 installed in the blade module 200.
  • air inflow from the outside can be prevented by the fourth sealing member S4 and the fifth sealing member S5.
  • air can be prevented from flowing in from the cover unit by the sixth sealing member S6.
  • the housing main body 110, 110' includes a receiving groove 118 formed along the circumference of the outer surface of the side wall adjacent to the second gate 111, and the receiving groove 118 includes a fifth sealing member ( S5) can be installed. Accordingly, the inflow of external air can be prevented.
  • the cover unit 150 is coupled to the upper surface of the side wall of the housing main body 110, 110' in a detachable structure, and when separated from the housing main body 110, 110', the upper open surface 114 is opened.
  • the receiving space of the housing body (110, 110') is opened through the upper opening surface (114), allowing the user to handle the adapter unit (130) for separation and installation from the housing body (110, 110').
  • a structure can be formed that allows this.
  • the adapter unit 130 is separated from the housing body 110, and the sealing members (S1, S2, S3, S4) installed between the housing bodies 110, 110' and the adapter units 130, 130' ) can form a structure that easily separates. That is, the gate valve assemblies (10, 10') according to the embodiment can form a structure in which the sealing members (S1, S2, S3, and S4) can be easily replaced without changing the layout.
  • the cover unit 150 may include a plurality of third fastening holes 153 formed through one side of the circumference.
  • the housing main body 110 may include a plurality of fourth fastening holes 117 formed on the upper surface of the wall at positions corresponding to the third fastening holes 153.
  • the cover unit 150 is connected to the upper part of the housing main body 110, 110′ using the second fastening member B2 fastened to the third fastening hole 153 and the fourth fastening hole 117. It can be combined with a detachable structure on all sides.
  • a representative example of the second fastening member B2 may be a bolt, and the bolt may have various shapes.
  • the cover unit 150 may form a structure that prevents external air from entering the receiving space of the valve housing 100, 100′.
  • the cover unit 150 may include an insertion groove 151 formed on one side of the lower surface.
  • the gate valve assembly 10 is installed in the insertion groove 151 and includes a sixth sealing member S6 that is in contact with the upper surface of the wall of the housing body 110, 110′. It is possible to form a structure that prevents the inflow of external air into the 100′) accommodation space.
  • the gate valve assembly 10 is installed inside the receiving space of the housing main body 110, 110′ to open and close any one of the first gate 111 and the second gate 113. It may include a blade module 200 and a drive module 30 that raises and lowers the blade module 200 to control the opening and closing of the first gate 111.
  • the blade module 20 and the drive module 30 may have various typical structures installed in a gate valve.
  • the gate valve assembly (10, 10') allows the inflow of gas or vacuum from the first chamber (600) or the second chamber (700) into the internal accommodation space of the valve housing (100, 100').
  • the valve blade 200 may have a structure including an internal groove (not shown) formed internally on the upper surface.
  • the gate valve assembly 10 may include a seventh sealing member S7 installed in the inner groove, and accordingly, flows from the first chamber 600 to the internal receiving space of the valve housing 100, 100′. It can prevent the inflow of gas or vacuum.
  • the first to seventh sealing members (S1 to S7) may each be manufactured using materials that are elastic and have excellent heat resistance and airtightness, and a representative example is an o-ring.
  • the gate valve assembly according to the above-described embodiment allows for easy replacement of the sealing member in a short time when damage or contamination occurs in the sealing member or when the replacement cycle has arrived.
  • Figure 10 is a perspective view showing a state in which the second fastening member (B2) and the cover unit 150 are separated from the gate valve assembly 10 according to Example 1, and Figure 11 is a perspective view showing the gate valve assembly 10 of Figure 10. It is a perspective view showing the blade module 200 in a separated state, and FIG. 12 is a perspective view showing the first fastening member B1 in a separated state from the gate valve assembly 10 of FIG. 11, and FIG. 13 is a gate of FIG. 12. This is a perspective view showing the adapter unit 130 separated from the housing body 110 of the valve assembly 10.
  • the cover unit 150 is separated from the housing main body 110, and the housing space is opened by removing the cover unit 150.
  • the first fastening member B1 installed inside the housing body 110 is removed, and the adapter unit 130 coupled to the housing body 110 is separated.
  • the first sealing member S1 and the second sealing member S2 attached to the separated adapter unit 130 are respectively replaced, and assembly is performed in the reverse order of the adapter unit 130 separation process.
  • the cover unit 150 can be removed, the inner accommodation space can be accessed through the upper part of the housing body 110, and the adapter unit 130 fastened with a fastening member can be separated. Then, the sealing members S1 and S2 installed on the adapter unit 130 can be replaced, respectively.
  • the gate valve assembly can airtightly seal the process chamber by introducing an adapter unit and a cover unit that form a detachable structure from the housing main body, but the sealing member may be damaged or contaminated, or When the replacement cycle arrives, the sealing member can be easily replaced in a short time without the need to undocking the gate valve from the process chamber.
  • Figure 14 is a configuration diagram showing a substrate processing system according to an embodiment.
  • the substrate processing system includes a first chamber 600 and a second gate coupled to the gate valve assembly and the first gate 111 of the gate valve assembly 10, 10′. It may have a structure including a second chamber 700 coupled to (113). Additionally, the substrate processing system may have a structure in which a transfer robot 800 for wafer transfer is formed and a cleaning chamber 800 is installed.
  • the substrate processing system described above may be a variety of typical systems used for substrate processing such as thin film deposition, cleaning, substrate processing, etc., but is not limited thereto.
  • An adapter unit including a detachable sealing member is installed in the gate valve, so that when the sealing member is worn or contaminated, the sealing member can be replaced by removing only the adapter unit from the gate valve.

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Abstract

본 발명은 게이트 밸브 어셈블리를 포함하는 기판 처리 시스템에 관한 기술이다. 게이트 어셈블리는 하우징 본체, 어댑터 유닛, 커버 유닛 및 밸브 하우징을 포함할 수 있다. 상기 하우징 본체는 제1 장치 및 제2 장치 사이에 위치되고, 상기 제1 장치의 게이트와 마주하는 제 1 게이트 및 상기 제2 장치의 게이트와 마주하는 제2 게이트를 구비하는 측벽들을 포함하고, 상부면이 개방되어 있다. 상기 어댑터 유닛은 상기 제2 게이트와 대응되는 크기의 개구부를 구비하며, 상기 제1 게이트의 둘레의 상기 하우징 본체에 탈부착될 수 있다. 상기 커버 유닛은 상기 하우징 본체의 개방된 상기 상부면을 선택적으로 차폐하도록 탈부착될 수 있다. 상기 밸브 하우징은 상기 어댑터 유닛의 일면에 설치되고 상기 제1 장치의 외벽과 면접촉되는 밸브 하우징을 포함할 수 있다.

Description

게이트 밸브 어셈블리를 포함하는 기판 처리 시스템
본 발명은 기판 처리 시스템에 관한 것으로, 개구부에 탈부착 가능한 구조로 설치되고, 실링 부재가 설치되어 챔버를 기밀하게 밀폐할 수 있고, 레이아웃의 변경 없이 실링 부재를 손쉽게 교체할 수 있는 구조의 어댑터를 도입한 게이트 밸브 어셈블리를 포함하는 기판 처리 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조장치는 압력과 온도 지정된 상태의 공정 분위기로 유지되는 처리 공간을 형성하는 공정 챔버를 포함하여 제조 공정을 수행하며, 상기 처리 공간을 외부와 격리시켜 주된 제조 공정이 수행되는 동안 처리 공간의 내부 공정 분위기를 항상 균일하게 유지시키도록 하고 있다.
특히, 통상적인 반도체 제조장치는 진공상태로 공정이 수행되는 공정 챔버 이외에도 공정 챔버와 인접하게 설치되는 로드락 챔버를 포함하여 가공을 위한 웨이퍼를 로딩 또는 언로딩하도록 할 수 있으며, 공정 챔버와 로드락 챔서 사이에는 웨이퍼 이송을 위한 이송 챔버 등이 설치되는 구조를 갖는다.
도 1은 종래의 게이트 밸브를 나타낸 일부 단면도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 진공처리장치에 사용되는 게이트밸브는 제1 챔버(1)와 제2 챔버(2) 사이에 설치되며, 승강 및 경사이동에 의하여 제2 챔버(2)의 게이트(2a) 주변의 외벽과 밀착되어 제1 챔버(2)를 닫음으로써 제1 챔버(1)와 제2 챔버(2)를 서로 차단시키는 밸브본체(3)와, 밸브본체(3)를 승강 및 경사이동시키는 이동모듈(4)로 구성된다.
상기와 같은 구성을 가지는 게이트밸브는 제1 챔버(1)와 제2 챔버(2) 사이에서 기판을 이송하고자 하는 경우에 이동모듈(4)에 의하여 밸브본체(3)를 하강시켜 게이트(1a, 2a)가 서로 소통될 수 있게 한다. 상기와 같이 제1 챔버(1) 또는 제2 챔버(2)가 각각 반송챔버 및 공정챔버로 구성될 수 있으며, 반송챔버 및 공정챔버 사이에는 지속적으로 기판의 이송이 이루어진다.
이때 공정챔버는 외부에서 기판이 반입될 때에는 게이트밸브에 의하여 진공압 상태에 있는 반송챔버와 차단된 상태에서 압력이 대기압으로 변화되어야 하며, 반송챔버 내로 기판이 이송될 때에는 외부와 차단한 상태에서 반송챔버의 압력, 즉 진공압으로 변화된 후에 게이트밸브가 개방되어 반송챔버와 소통된다. 그리고 공정챔버인 제2 챔버(2)가 진공압 상태로 변화시키기 위해서는 게이트(2a)를 밸브본체(3)로 닫은 상태에서 내부공간을 펌핑을 하게 된다.
상기 게이트 밸브는, 게이트를 기밀하게 밀폐시킬 수 있도록 오링 등과 같은 실링 부재가 설치되며, 상기 실링 부재에 손상 또는 오염이 발생하거나, 교체 주기가 도래한 경우 상기 게이트 밸브를 공정 챔버에서 분리(undocking)하여 실링 부재를 교체하도록 하고 있다. 이때, 상기와 같은 구조를 갖는 게이트 밸브는 공정챔버와 반송챔버 사이에 게이트 밸브가 결합된 상태로 하나의 시스템으로 구성되기에 게이트 밸브를 분리시키기 위해서는 공정챔버 자체를 들어내야만 분리가 가능하다.
하지만, 상기와 같은 분리를 통한 실링 부재의 교체는 장시간이 소요되며, 작업 난이도가 높다는 문제가 있어 이를 보완할 수 있는 방법에 대한 연구가 필요하다.
일 실시예에 따르면, 공정 챔버를 기밀하게 실링할 수 있으면서도, 단시간에 실링 부재의 손쉬운 교체가 가능한 게이트 밸브 어셈블리를 포함하는 기판 처리 시스템을 제공하고자 하는 것이다.
실시예에 따른 게이트 밸브 어셈블리는, 제1 챔버 및 제2 챔버 사이에 설치되고, 상기 제1 챔버 측과 상기 제2 챔버 측에 각각 제1 게이트 및 제2 게이트가 서로 마주보도록 설치되어 기판이 출입되며, 상부에 개방면이 형성된 하우징 본체; 상기 제1 게이트의 둘레를 따라 탈부착 가능한 구조로 결합되고, 개구부가 형성된 어댑터 유닛; 상기 개방면에 탈부착 가능한 구조로 결합되는 커버 유닛; 및 상기 어댑터 유닛의 일면에 설치되고 상기 제1 챔버의 외벽과 면접촉되는 실링 부재를 포함하는 밸브 하우징을 포함하는 구조를 갖는다.
일 실시예에 따르면, 상기 제1 게이트 및 제2 게이트는 개방 면적이 서로 상이하고, 상기 제2 게이트의 개방 면적은 상기 어댑터의 개구부와 면적이 동일할 수 있으며, 상기 제1 챔버는 공정 챔버이고, 상기 제2 챔버는 반송 챔버일 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 어댑터 유닛은 상부면에 평탄한 구조로 형성되는 제1 노출면과, 상기 제1 노출면의 하부로 단차지게 형성되는 제1 단차면을 포함하고, 상기 제1 게이트는 내주면에 상기 제1 단차면과 대응되도록 단차지게 형성되는 제2 단차면을 포함하는 구조를 가질 수 있다. 그리고, 상기 어댑터 유닛은 상기 제1 노출면의 상면에 내입 형성된 제1 설치홈과, 상기 제1 단차면의 상면에 내입 형성된 제2 설치홈을 포함하며, 상기 게이트 밸브 어셈블리는, 상기 제1 설치홈에 설치되는 제1 실링 부재 및 상기 제2 설치홈에 설치되는 제2 실링 부재를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 어댑터 유닛은 상부면에 평탄한 구조로 형성되는 제2 노출면과 상기 제2 노출면과 연결되고 끝단을 향하는 방향으로 경사지는 제1 경사면을 포함하고, 상기 제1 게이트는 내주면에 제1 경사면과 대응되도록 끝단을 향하는 방향으로 경사지는 제2 경사면을 포함할 수 있고, 상기 어댑터 유닛은 상기 제2 노출면의 상면에 내입 형성된 제3 설치홈과, 상기 제1 경사면의 상면에 내입 형성된 제4 설치홈을 포함하며, 상기 게이트 밸브 어셈블리는, 상기 제3 설치홈에 설치되는 제3 실링 부재 및 상기 제4 설치홈에 설치되는 제4 실링 부재를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 하우징 본체는 외측벽에 상기 제2 게이트의 둘레를 따라 형성되는 수용홈을 포함하고, 상기 게이트 밸브 어셈블리는, 상기 수용홈에 설치되는 제5 실링 부재를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 하우징 본체는 내측벽에 상기 제1 게이트의 둘레를 따라 관통 형성되는 복수 개의 제1 체결공을 포함하고, 상기 어댑터 유닛은 상기 복수 개의 제1 체결공과 대응되는 위치에 관통 형성된 복수 개의 제2 체결공을 포함하며, 상기 어댑터 유닛은 상기 제1 체결공과 제2 체결공에 체결되는 체결부재를 이용해 상기 제1 게이트의 둘레를 따라 탈부착 가능한 구조로 결합할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 커버 유닛은 둘레 일측을 따라 관통 형성되는 복수 개의 제3 체결공을 포함하고, 상기 하우징 본체는 측벽 상부면에 상기 제3 체결공과 대응되는 위치에 내입 형성된 복수 개의 제4 체결공을 포함하며, 상기 커버 유닛은 상기 제3 체결공과 제4 체결공에 체결되는 체결부재를 이용해 상기 하우징 본체의 개방면에 탈부착 가능한 구조로 결합할 수 있다.
또한, 실시예에 따른 게이트 밸브 어셈블리는, 상기 하우징 본체의 수용 공간 내부에 설치되어 상기 제1 게이트를 개폐하는 블레이드 모듈, 상기 블레이드 모듈을 승하강시켜 상기 제1 게이트의 개폐를 조절하는 구동 모듈을 포함할 수 있다.
한편, 실시예에 따른 기판 처리 시스템은, 상기에 기재된 에 기재된 게이트 밸브 어셈블리, 상기 게이트 밸브 어셈블리의 제1 게이트 측에 결합되는 제1 챔버 및 상기 게이트 밸브 어셈블리의 제2 게이트 측에 결합되는 제2 챔버를 포함할 수 있다.
하우징 본체에서 탈부착 가능한 구조를 형성하는 어댑터 유닛과 커버 유닛을 도입하여 공정 챔버를 기밀하게 실링할 수 있으면서도, 실링 부재에 손상 또는 오염이 발생하거나, 교체 주기가 도래한 경우 게이트 밸브를 공정 챔버에서 분리(undocking)할 필요 없이 단시간에 실링 부재의 손쉬운 교체가 가능하다.
도 1은 종래 게이트 밸브의 일부를 나타낸 단면도이다.
도 2는 실시예에 따른 게이트 밸브 어셈블리의 외형을 나타낸 사시도이다.
도 3은 실시예 1에 따른 게이트 밸브 어셈블리를 나타낸 단면도이다.
도 4는 실시예 1에 따른 게이트 밸브 어셈블리의 하우징 본체에 어댑터 유닛과 커버 유닛이 결합한 상태를 나타낸 상태도이다.
도 5는 실시예 1에 따른 게이트 밸브 어셈블리의 어댑터 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 6은 실시예 1에 따른 게이트 밸브 어셈블리의 하우징 본체, 어댑터 유닛과 커버 유닛을 분리한 상태를 나타낸 상태도이다.
도 7은 실시예 1에 따른 게이트 밸브 어셈블리에서 밸브 하우징으로 외부 공기가 유입되는 경로(점선 화살표)와 공정 챔버 내부의 가스가 확산(화살표)되는 경로를 표시한 부분 단면도이다.
도 8은 실시예 2에 따른 게이트 밸브 어셈블리의 하우징 본체에 어댑터 유닛과 커버 유닛이 결합한 상태를 나타낸 상태도이다.
도 9는 실시예 2에 따른 게이트 밸브 어셈블리의 하우징 본체, 어댑터 유닛과 커버 유닛을 분리한 상태를 나타낸 상태도이다.
도 10은 실시예 1에 따른 게이트 밸브 어셈블리에서 제2 체결 부재 및 커버 유닛을 분리한 상태를 나타낸 사시도이다.
도 11은 도 10의 게이트 밸브 어셈블리에서 블레이드 모듈을 분리한 상태를 나타낸 사시도이다.
도 12는 도 11의 게이트 밸브 어셈블리에서 제1 체결 부재를 분리한 상태를 나타낸 사시도이다.
도 13은 도 12의 게이트 밸브 어셈블리에서 어댑터 유닛을 분리한 상태를 나타낸 사시도이다.
도 14는 실시예에 따른 기판 처리 시스템을 나타낸 구성도이다.
도 2는 실시예에 따른 게이트 밸브 어셈블리를 나타낸 사시도이고, 도 3은 실시예 1에 따른 게이트 밸브 어셈블리를 나타낸 단면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하여, 실시예 1에 따른 게이트 밸브 어셈블리(10)를 예로들어 설명하면, 실시예 1에 따른 게이트 밸브 어셈블리(10)는, 밸브 하우징(100), 블레이드 모듈(200) 및 구동 모듈(300)을 포함하는 구조를 갖는다.
상기 밸브 하우징(100)은, 하우징 본체(110), 어댑터 유닛(130), 커버 유닛(150) 및 실링 부재(S1, S2)를 포함하는 구조를 갖는다.
상기 하우징 본체(110)는, 제1 챔버(600) 및 제2 챔버(700) 사이에 설치되며, 제1 챔버(600) 및 제2 챔버(700) 측에 각각 기판이 출입되는 제1 게이트(111) 및 제2 게이트(113)가 형성되며 상기 제1 게이트(111) 및 제2 게이트(113)가 서로 마주보도록 설치되며, 상부에 개방면(114)이 형성된 구조를 갖는다.
상기 하우징 본체(110)는, 내부에 수용공간이 형성되어 상부 및 하부로 승하강 가능한 구조를 형성할 수 있도록 블레이드 모듈(200)을 수용할 수 있다. 상기 하우징 본체(110)는 4개의 측벽(W)이 결합된 육면체 형상의 구조를 가지고, 상부 및 하부가 각각 개방된 구조를 가지며, 상부면에 커버 유닛(150)이 결합되고, 하부면을 통해 블레이드 모듈(200)이 내입되고, 구동 모듈(300)이 결합되는 구조를 형성할 수 있다.
상기 하우징 본체(110)는, 기판이 출입될 수 있도록 양측벽에 제1 게이트(111) 및 제2 게이트(113)가 각각 형성된 구조를 갖는다. 이때, 상기 제1 게이트(111) 및 제2 게이트(113)는 개방 면적이 서로 상이하고, 상기 제2 게이트(113)의 개방 면적은 상기 어댑터 유닛(130)의 개구부와 면적이 동일할 수 있다. 상기 제1 게이트(111)의 개방 면적은 상기 어댑터 유닛(130)이 결합되기 위한 공간을 형성하기 위해 제2 게이트(113)의 개방 면적 대비 넓을 수 있다.
상기 어댑터 유닛(130)은, 상기 제1 게이트(111)의 둘레를 따라 탈부착 가능한 구조로 결합되고, 개구부(131)가 형성된 구조를 갖는다.
특히, 상기 어댑터 유닛(130)은 가스가 배출되거나 진공 상태를 유지해야만 하는 공정 챔버 측에 설치될 수 있으며, 상기 공정 챔버는 제1 챔버(600)일 수 있다.
도 4는 실시예 1에 따른 게이트 밸브 어셈블리의 하우징 본체에 어댑터 유닛과 커버 유닛이 결합한 상태를 나타낸 상태도이고, 도 5는 실시예 1에 따른 게이트 밸브 어셈블리의 어댑터 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 하우징 본체(110)는 상기 제1 게이트(111)의 둘레 일측을 따라 관통 형성되는 복수 개의 제1 체결공(112)을 포함할 수 있다. 상기 어댑터 유닛(130)은 외주면 둘레 일측을 따라 상기 복수 개의 제1 체결공(112)과 대응되는 위치에 관통 형성된 복수 개의 제2 체결공(132)을 포함할 수 있다. 상기 어댑터 유닛(130)은 상기 제1 체결공과 제2 체결공(132)에 체결되는 제1 체결부재(B1)를 이용해 상기 제1 게이트(111)의 둘레를 따라 탈부착 가능한 구조로 결합될 수 있다. 상기 제1 체결부재(B1)는 볼트(bolt)를 대표적인 예로 들 수 있으며, 상기 볼트는 다양한 형상을 갖는 것을 활용할 수 있다.
또한, 상기 하우징 본체(110) 및 어댑터 유닛(130)은 각각 제1 게이트(111)를 기밀하게 실링하고, 설치의 용이성을 확보할 수 있도록 단차면 또는 경사면이 형성된 구조를 가질 수 있다.
도 6은 실시예 1에 따른 게이트 밸브 어셈블리의 하우징 본체(110), 어댑터 유닛(130)과 커버 유닛(150)을 분리한 상태를 나타낸 상태도이고, 도 7은 실시예 1에 따른 게이트 밸브 어셈블리(10)에서 밸브 하우징(100)으로 외부 공기가 유입되는 경로(점선 화살표)와 공정 챔버 내부의 가스가 확산(화살표)되는 경로를 표시한 부분 단면도이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 상기 어댑터 유닛(130)은 상부면에 평탄한 구조로 형성되는 제1 노출면(133a)과, 상기 제1 노출면(133a)의 하부로 단차지게 형성되는 제1 단차면(133b)을 포함하는 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 제1 게이트(111) 및 제2 게이트(113) 중 적어도 어느 하나는 내주면에 상기 제1 단차면(133b)과 대응되도록 단차지게 형성되는 제2 단차면(115)을 포함하는 구조를 가질 수 있다. 이에 따라, 어댑터 유닛의 제1 단차면(133b)은 제2 단차면(115)과 접촉되는 구조로 결합될 수 있다.
또한, 상기 어댑터 유닛(130)은 상기 제1 노출면(133a)의 상면에 내입 형성된 제1 설치홈(134a)과, 상기 제1 단차면(133b)의 상면에 내입 형성된 제2 설치홈(134b)을 포함하는 구조를 가질 수 있다. 실시예에 따른 게이트 밸브 어셈블리(10)는, 상기 제1 설치홈(134a)에 설치되는 제1 실링 부재(S1) 및 상기 제2 설치홈(134b)에 설치되는 제2 실링 부재(S2)를 포함하여 가스 확산 방지 및 외부 공기의 유입을 방지할 수 있다.
상기와 같은 구조를 갖는 밸브 하우징(100)은 제1 실링 부재(S1)에 의해 제1 챔버(600)로부터 배출되는 가스 또는 진공압이 어댑터 유닛(130)의 결합 부위를 통해 유입되는 것을 방지할 수 있고, 블레이드 모듈(200)에 설치된 제7 실링 부재(S7)에 의해 개구부를 통해 가스(Gas inflow)가 유입되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 제2 실링 부재(S2) 및 제5 실링 부재(S5)에 의해 외부에서 공기가 유입(Air inflow)되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 제6 실링 부재(S6)에 의해 커버 유닛으로부터 공기가 유입되는 것을 방지할 수 있다.
도 8은 실시예 2에 따른 게이트 밸브 어셈블리(10′)의 하우징 본체(110′)에 어댑터 유닛(130′)과 커버 유닛(150)이 결합한 상태를 나타낸 상태도이고, 도 9는 실시예 2에 따른 게이트 밸브 어셈블리의 하우징 본체(110′), 어댑터 유닛(130′)과 커버 유닛(150)을 분리한 상태를 나타낸 상태도이다.
일 실시예에 따르면, 상기 어댑터 유닛(130′)은 상부면에 평탄한 구조로 형성되는 제2 노출면(135a)과 상기 제2 노출면(135a)과 연결되고 끝단을 향하는 방향으로 경사지는 제1 경사면(135b)을 포함하는 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 제1 게이트(111)는 내주면에 제1 경사면(135b)과 대응되도록 끝단을 향하는 방향으로 경사지는 제2 경사면(116)을 포함하는 구조를 가질 수 있다. 이에 따라, 어댑터 유닛의 제1 경사면(135b)은 제2 경사면(116)과 접촉되는 구조로 결합될 수 있다.
또한, 상기 어댑터 유닛(130′)은 상기 제2 노출면(135a)의 상면에 내입 형성된 제3 설치홈(136a)과, 상기 제1 경사면(135b)의 상면에 내입 형성된 제4 설치홈(136b)을 포함하는 구조를 가질 수 있다. 실시예에 따른 게이트 밸브 어셈블리(10′)는, 상기 제3 설치홈(136a)에 설치되는 제3 실링 부재(S3) 및 상기 제4 설치홈(136b)에 설치되는 제4 실링 부재(S4)를 포함하여 가스 확산 방지 및 외부 공기의 유입을 방지할 수 있다.
구체적으로, 상기와 같은 구조를 갖는 밸브 하우징(100′)은 제3 실링 부재(S3)에 의해 제1 챔버(600)로부터 배출되는 가스가 어댑터 유닛(130)의 결합 부위를 통해 유입되는 것을 방지할 수 있고, 블레이드 모듈(200)에 설치된 제7 실링 부재(S7)에 의해 개구부를 통해 가스(Gas inflow)가 유입되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 제4 실링 부재(S4) 및 제5 실링 부재(S5)에 의해 외부에서 공기가 유입(Air inflow)되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 제6 실링 부재(S6)에 의해 커버 유닛으로부터 공기가 유입되는 것을 방지할 수 있다.
상기 하우징 본체(110, 110′)는 제2 게이트(111)와 인접하는 측벽의 외부면에 둘레를 따라 형성되는 수용홈(118)을 포함하고, 상기 수용홈(118)에는 제5 실링 부재(S5)가 설치될 수 있다. 이에 따라, 외부 공기의 유입을 방지할 수 있다.
한편, 상기 커버 유닛(150)은, 상기 하우징 본체(110, 110′)의 측벽 상부면에 탈부착 가능한 구조로 결합되며, 상기 하우징 본체(110, 110′)로부터 분리되면 상부 개방면(114)을 개방하여 하우징 본체(110, 110′)의 수용공간이 상부 개방면(114)을 통해 개방되어 어댑터 유닛(130)을 하우징 본체(110, 110′)로부터 분리 및 설치를 위한 핸들링을 사용자가 수행할 수 있도록 하는 구조를 형성할 수 있다. 이에 따라, 어댑터 유닛(130)을 하우징 본체(110)로부터 분리하고, 하우징 본체(110, 110′) 및 어댑터 유닛(130, 130′)의 사이에 설치되는 실링 부재(S1, S2, S3, S4)를 손쉽게 분리하는 구조를 형성할 수 있다. 즉, 실시예에 따른 게이트 밸브 어셈블리(10, 10′)는 레이아웃의 변경없이 실링 부재(S1, S2, S3, S4)를 손쉽게 교체할 수 있는 구조를 형성할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 커버 유닛(150)은 둘레 일측을 따라 관통 형성되는 복수 개의 제3 체결공(153)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 하우징 본체(110)는 벽체 상부면에 상기 제3 체결공(153)과 대응되는 위치에 내입 형성된 복수 개의 제4 체결공(117)을 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 커버 유닛(150)은 상기 제3 체결공(153)과 제4 체결공(117)에 체결되는 제2 체결부재(B2)를 이용해 상기 하우징 본체(110, 110′)의 상부 개방면에 탈부착 가능한 구조로 결합될 수 있다. 상기 제2 체결부재(B2)는 볼트(bolt)를 대표적인 예로 들 수 있으며, 상기 볼트는 다양한 형상을 갖는 것을 활용할 수 있다.
아울러, 상기 커버 유닛(150)은 상기 밸브 하우징(100, 100′)의 수용 공간 내부로 외부의 공기 유입을 방지하는 구조를 형성할 수 있다. 이를 위해, 상기 커버 유닛(150)은 하면 일측에 내입 형성되는 삽입홈(151)을 포함할 수 있다. 상기 게이트 밸브 어셈블리(10)는, 상기 삽입홈(151)에 설치되고, 상기 하우징 본체(110, 110′)의 벽체 상부면과 접촉되는 제6 실링 부재(S6)를 포함하여 밸브 하우징(100, 100′)의 수용 공간 내부로 외부의 공기 유입을 방지하는 구조를 형성할 수 있다.
한편, 실시예에 따른 게이트 밸브 어셈블리(10)는, 상기 하우징 본체(110, 110′)의 수용 공간 내부에 설치되어 상기 제1 게이트(111) 및 제2 게이트(113) 중 어느 하나를 개폐하는 블레이드 모듈(200), 상기 블레이드 모듈(200)을 승하강시켜 상기 제1 게이트(111)의 개폐를 조절하는 구동 모듈(30)을 포함할 수 있다.
상기 블레이드 모듈(20) 및 구동 모듈(30)은 게이트 밸브에 설치되는 통상적인 다양한 구조를 갖는 것을 도입할 수 있다.
특히, 실시예에 따른 게이트 밸브 어셈블리(10, 10′)는, 제1 챔버(600) 또는 제2 챔버(700)에서 밸브 하우징(100, 100′)의 내부 수용공간으로 가스 또는 진공의 유입을 방지할 수 있도록 상기 밸브 블레이드(200)는 상면에 내입 형성되는 내입홈(미도시)을 포함하는 구조를 가질 수 있다. 상기 게이트 밸브 어셈블리(10)는, 상기 내입홈에 설치되는 제7 실링 부재(S7)를 포함할 수 있으며, 이에 따라, 제1 챔버(600에서 밸브 하우징(100, 100′)의 내부 수용공간으로 가스 또는 진공의 유입을 방지할 수 있다.
상기 제1 내지 제7 실링 부재(S1 내지 S7)는, 각각 탄성이 있고, 내열성과 기밀성 등이 우수한 소재를 이용해 제조한 것을 사용할 수 있으며, 오링(o-ring)을 대표적인 예로 들 수 있다.
상기한 바와 같은 실시예에 따른 게이트 벨브 어셈블리는 실링 부재에 손상 또는 오염이 발생하거나, 교체 주기가 도래한 경우 단시간에 실링 부재의 손쉬운 교체가 가능하다.
도 10은 실시예 1에 따른 게이트 밸브 어셈블리(10)에서 제2 체결 부재(B2) 및 커버 유닛(150)을 분리한 상태를 나타낸 사시도이고, 도 11은 도 10의 게이트 밸브 어셈블리(10)에서 블레이드 모듈(200)을 분리한 상태를 나타낸 사시도이며, 도 12는 도 11의 게이트 밸브 어셈블리(10)에서 제1 체결 부재(B1)를 분리한 상태를 나타낸 사시도이고, 도 13은 도 12의 게이트 밸브 어셈블리(10)의 하우징 본체(110)에서 어댑터 유닛(130)을 분리한 상태를 나타낸 사시도이다.
도 10 내지 도 13을 참고하고, 실시예 1을 예로 들어 설명하면, 먼저, 하우징 본체(110)로부터 커버 유닛(150)을 분리하고, 커버 유닛(150)의 분리에 의해 수용 공간이 개방된 하우징 본체(110)의 하부에 설치되는 블레이드 모듈(200)을 제거한다. 다음, 하우징 본체(110)의 내부에 설치된 제1 체결 부재(B1)를 제거하고, 하우징 본체(110)와 결합된 어댑터 유닛(130)을 분리한다. 분리한 어댑터 유닛(130)에 부착된 제1 실링 부재(S1)와 제2 실링 부재(S2)를 각각 교체하고, 어댑터 유닛(130) 분리 과정의 역순으로 조립을 수행한다.
즉, 실시예에 따른 게이트 밸브 어셈블리는, 커버 유닛(150)을 제거하고, 하우징 본체(110)의 상부를 통해 내부 수용공간으로 접근이 가능하며, 체결 부재로 체결된 어댑터 유닛(130)을 분리한 다음, 어댑터 유닛(130)에 설치된 실링 부재(S1, S2)를 각각 교체할 수 있다.
상기한 바와 같은 실시예에 따른 게이트 밸브 어셈블리는, 하우징 본체에서 탈부착 가능한 구조를 형성하는 어댑터 유닛과 커버 유닛을 도입하여 공정 챔버를 기밀하게 실링할 수 있으면서도, 실링 부재에 손상 또는 오염이 발생하거나, 교체 주기가 도래한 경우 게이트 밸브를 공정 챔버에서 분리(undocking)할 필요 없이 단시간에 실링 부재의 손쉬운 교체가 가능하다.
도 14는 실시예에 따른 기판 처리 시스템을 나타낸 구성도이다.
도 14를 참조하면, 실시예에 따른 기판 처리 시스템은 상기 게이트 밸브 어셈블리와 상기 게이트 벨브 어셈블리(10, 10′)의 제1 게이트(111) 측에 결합되는 제1 챔버(600) 및 제2 게이트(113)에 결합되는 제2 챔버(700)를 포함하는 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 기판 처리 시스템은 웨이퍼 이송을 위한 이송 로봇(800)이 형성된 구조를 가질 수 있으며, 세정 챔버(800)가 설치된 구조를 가질 수도 있다.
상기와 같은 기판 처리 시스템은 박막 증착, 세정, 기판 가공 등과 같은 기판 처리를 위해 사용되는 통상적인 다양한 형태의 시스템일 수 있으며, 이에 제한받는 것은 아니다.
게이트 밸브에, 탈부착 가능한 실링 부재를 포함하는 어댑터 유닛을 설치하여, 실링 부재 마모 또는 오염시, 어댑터 유닛만을 상기 게이트 밸브에서 분리하여 상기 실링 부재를 교체할 수 있다.

Claims (13)

  1. 게이트 어셈블리를 포함하는 기판 처리 시스템으로서,
    상기 게이트 어셈블리는,
    제1 장치 및 제2 장치 사이에 설치되고, 상기 제1 장치 측과 상기 제2 장치 측에 각각 기판이 출입되는 제1 게이트 및 제2 게이트가 서로 마주보도록 설치되며, 상부에 개방면이 형성된 하우징 본체;
    상기 제1 게이트의 둘레를 따라 탈부착 가능한 구조로 결합되고, 개구부가 형성된 어댑터 유닛;
    상기 개방면에 탈부착 가능한 구조로 결합되는 커버 유닛; 및
    상기 어댑터 유닛의 일면에 설치되고 상기 제1 장치의 외벽과 면접촉되는 실링 부재를 포함하는 밸브 하우징을 포함하는 기판 처리 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 게이트 및 제2 게이트는 개방 면적이 서로 상이하고, 상기 제2 게이트의 개방 면적은 상기 어댑터의 개구부와 면적이 동일한 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 장치는 공정 챔버이고, 상기 제2 장치는 반송 챔버인 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 어댑터 유닛은 일면에 평탄한 구조로 형성되는 제1 노출면과, 상기 제1 노출면의 하부로 단차지게 형성되는 제1 단차면을 포함하고,
    상기 제1 게이트는 내주면에 상기 제1 단차면과 대응되도록 단차지게 형성되는 제2 단차면을 포함하는 기판 처리 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 어댑터 유닛은 상기 제1 노출면의 상면에 내입 형성된 제1 설치홈과, 상기 제1 단차면의 상면에 내입 형성된 제2 설치홈을 포함하며,
    상기 게이트 밸브 어셈블리는,
    상기 제1 설치홈에 설치되는 제1 실링 부재 및 상기 제2 설치홈에 설치되는 제2 실링 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 어댑터 유닛은 상부면에 평탄한 구조로 형성되는 제2 노출면과 상기 제2 노출면과 연결되고 끝단을 향하는 방향으로 경사지는 제1 경사면을 포함하고,
    상기 제1 게이트는 내주면에 상기 제1 경사면과 대응되도록 끝단을 향하는 방향으로 경사지는 제2 경사면을 포함하는 기판 처리 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 어댑터 유닛은 상기 제2 노출면의 상면에 내입 형성된 제3 설치홈과, 상기 제1 경사면의 상면에 내입 형성된 제4 설치홈을 포함하며,
    상기 게이트 밸브 어셈블리는,
    상기 제3 설치홈에 설치되는 제3 실링 부재 및 상기 제4 설치홈에 설치되는 제4 실링 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 하우징 본체는 외측벽에 상기 제2 게이트의 둘레를 따라 형성되는 수용홈을 포함하고,
    상기 게이트 밸브 어셈블리는,
    상기 수용홈에 설치되는 제5 실링 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 하우징 본체는 내측벽에 상기 제1 게이트의 둘레를 따라 관통 형성되는 복수 개의 제1 체결공을 포함하고,
    상기 어댑터 유닛은 상기 복수 개의 제1 체결공과 대응되는 위치에 관통 형성된 복수 개의 제2 체결공을 포함하며,
    상기 어댑터 유닛은 상기 제1 체결공과 제2 체결공에 체결되는 체결부재를 이용해 상기 제1 게이트의 둘레를 따라 탈부착 가능한 구조로 결합되는 기판 처리 시스템.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 커버 유닛은 상면에 둘레를 따라 관통 형성된 복수 개의 제3 체결공을 포함하고,
    상기 하우징 본체는 측벽 상부면에 상기 제3 체결공과 대응되는 위치에 내입 형성된 복수 개의 제4 체결공을 포함하며,
    상기 커버 유닛은 상기 제3 체결공과 제4 체결공에 체결되는 체결부재를 이용해 상기 하우징 본체의 개방면에 탈부착 가능한 구조로 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 커버 유닛은 하면 일측에 내입 형성되는 삽입홈을 포함하고,
    상기 게이트 밸브 어셈블리는,
    상기 삽입홈에 설치되고, 상기 하우징 본체의 측벽 상부면과 면접촉되는 제6 실링 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 게이트 밸브 어셈블리는,
    상기 하우징 본체의 수용 공간 내부에 설치되어 상기 제1 게이트를 개폐하는 블레이드 모듈, 상기 블레이드 모듈을 승하강시켜 상기 제1 게이트의 개폐를 조절하는 구동 모듈을 포함하는 기판 처리 시스템.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 밸브 블레이드는 일면에 둘레를 따라 내입 형성되는 내입홈을 포함하고,
    상기 게이트 밸브 어셈블리는,
    상기 내입홈에 설치되는 제7 실링 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
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