WO2019022428A1 - 지반 테스트가 가능한 진공 챔버를 구비한 테스트 장치 및 이를 이용한 테스트 방법 - Google Patents

지반 테스트가 가능한 진공 챔버를 구비한 테스트 장치 및 이를 이용한 테스트 방법 Download PDF

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test
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buffer chamber
soil
vacuum
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PCT/KR2018/008070
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조창백
신휴성
유용호
이장근
안호상
정태일
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한국건설기술연구원
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    • G01N2203/022—Environment of the test
    • G01N2203/023—Pressure
    • G01N2203/0234—Low pressure; Vacuum

Definitions

  • the present invention relates to a test apparatus, and more particularly, to a test apparatus that includes a vacuum chamber having a thermal condition and a vacuum condition similar to those of a space environment to provide a soil (ground) And a test method using the test apparatus.
  • the thermal vacuum chamber is a device for testing the suitability of various components of a satellite for a space environment or an extreme environment. It is based on vacuum maintenance in a chamber. For the production of a high temperature and a cryogenic environment, Control performance is required.
  • the thermal vacuum chamber is made of a metal material capable of withstanding high pressure, high temperature and cryogenic temperature, and has a structure in which the inside thereof is sealed to be capable of directing in a high vacuum state.
  • the cryogenic chamber And the temperature can be changed to a high temperature by the operation of the heater installed inside.
  • thermal vacuum chambers simulating conventional space environments were only capable of thermal and vacuum simulations, in order to test equipment in space and where interactions with the ground, such as construction equipment, are important, the soil (ground) must be present in the chamber in which heat and vacuum conditions are simulated .
  • the presence of the soil is very rare, and even if there is the soil, the amount of the chamber is small so that the structure and operation of the chamber are not so different from those of the conventional case, and the reliability of the ground test can not be secured.
  • the soil is contained in a thermal vacuum chamber, the soil is subjected to a baking process at a hot temperature to remove water and gas contained in the soil, and then the soil is put into the chamber. Even when the pre-conditioned soil is put into the chamber, out-gas that can not be separated from the crazy soil is generated during the process of reaching the vacuum. . As a result, there is a problem that the preparation time for the test becomes long, and when the amount of the soil is large, the preparation time for the pre-test is also prolonged proportionally.
  • the ground is brought into contact with the air, and the above-described pretreatment operation is required again. If the pretreatment that requires a long time is repeated every time the chamber containing the ground is opened, there is a problem that the test time becomes very long, and thus the efficiency is greatly reduced.
  • test specimen when the test specimen is placed in a test chamber containing soil and vacuum evacuated, various out-gases from the soil may contaminate the test specimen with the test specimen. In this case, the test purpose can not be achieved, and the reliability of the test performed is greatly reduced.
  • the present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a vacuum chamber having a thermal condition and / or a vacuum condition similar to a space environment, And a test method using the test apparatus.
  • the present invention relates to an apparatus and a method for preventing outflow of air from a soil (ground) by preventing external air from flowing into a ground vacuum chamber when a vacuum chamber is opened to perform a test in a ground vacuum chamber, And a test method using the test apparatus, which can reduce the test time and improve the efficiency.
  • a test apparatus having a vacuum chamber capable of performing a ground test, comprising: a buffer chamber having an entrance through which an inspected object is introduced and a first door opening and closing the entrance; A test chamber partitioned on one side of the buffer chamber and having a connection passage communicating with the buffer chamber; A shutter unit for opening / closing the connection passage; A soil storage unit disposed in the test chamber and containing soil for testing the test object on the ground; And a vacuum generating means for sucking the air in the buffer chamber and the test chamber into a vacuum state.
  • a method of testing a ground object under a vacuum condition using the test apparatus of the present invention includes:
  • the inspected object is charged into the buffer chamber separated from the test chamber, and the tested object is transferred from the test chamber to the buffer chamber to be drawn out from the buffer chamber,
  • the vacuum state of the test chamber can be maintained without being destroyed during the withdrawing process or the replacement of the measuring equipment.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of a test apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a sectional view showing an operation example of the test apparatus shown in Fig.
  • FIG. 3 is a perspective view showing a portion of the test apparatus shown in Fig.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view showing an embodiment of a soil storage unit of a test apparatus according to the present invention.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing another embodiment of the soil storage unit of the test apparatus according to the present invention.
  • 6A to 6D are views sequentially illustrating a procedure of performing a ground test using the test apparatus shown in FIG.
  • FIG. 7 is a perspective view showing a main part of a test apparatus according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a perspective view showing an operation example of a main part of the test apparatus shown in Fig.
  • Figure 9 is a cross-sectional view of a major portion of the test apparatus shown in Figure 7;
  • Figs. 10A to 10C are sectional views showing an operation example of the test apparatus shown in Fig.
  • a test apparatus 1 includes a buffer chamber 10 into which an inspected object T is inserted, a test chamber (not shown) in which a ground test of the inspected object is performed A shutter unit which opens and closes between the buffer chamber 10 and the test chamber 20 and a soil storage unit which is installed inside the test chamber 20 and accommodates the soil S for the ground test of the inspected object T 30, a buffer chamber 10, and a vacuum generating means for evacuating the test chamber 20 to a vacuum state.
  • the buffer chamber 10 is partitioned at one side of the test apparatus 1 and has an opening 11 through which the inspected object T is inserted.
  • the entrance (11) is provided with a first door (15) for opening and closing the entrance (11).
  • the first door 15 may be configured to be identical or similar to a door constructed in a known thermal vacuum chamber and configured to close and close the door 11 while keeping airtight to the door 11.
  • the other side surface of the buffer chamber 10 is opened to communicate with the connection passage 21 formed on one side of the test chamber 20.
  • a test chamber 20 and a test chamber 20 are provided on both sides of the connection passage 21 between the buffer chamber 10 and the test chamber 20 while moving between the buffer chamber 10 and the test chamber 20.
  • the transfer unit may be an industrial multi-joint manipulator or the like, but a transfer conveyor 50 that moves in both directions by a motor (not shown) as in this embodiment can be applied.
  • a predetermined test on the inspected object may proceed.
  • the test chamber 20 is divided into one side of the buffer chamber 10 and a connection channel 21 communicating with one side surface of the buffer chamber 10 is opened.
  • the test chamber 20 performs a ground test on the inspected object.
  • An opening 22 communicating with the outside is formed on the other side surface of the test chamber 20 and a second door 25 opening and closing the opening 22 is installed on one side of the opening 22.
  • the second door 25 may be the same as or similar to the door constructed in the known thermal vacuum chamber as in the case of the first door 15.
  • the second door 25 may be in close contact with the opening 22, As shown in Fig.
  • the second door 25 is configured to move to the inside and outside of the test chamber 20 along a door moving frame provided outside the test chamber 20.
  • test object T is conveyed from the conveying conveyor 50 to the test position of the soil storage unit 30 in the test chamber 20 to perform a predetermined test. After the test is completed, (T) to the conveying conveyor (50).
  • the buffer chamber 10 and the test chamber 20 may be provided with a heating device and / or a cooling device so as to perform a performance test on the heat of the inspected object T.
  • the heating device and the cooling device may be a well-
  • the heating device and the cooling device constituted in the thermal vacuum chamber can be adopted as they are.
  • the shutter unit serves to open or close the connection passage 21 to separate or communicate the buffer chamber 10 and the test chamber 20 with each other.
  • the shutter unit includes a shutter plate 40 for opening and closing the connection passage 21 while sliding up and down in the connection passage 21 and a shutter driving unit for moving the shutter plate 40 up and down ).
  • the shutter plate 40 opens and closes the connecting passage 21 while sliding on the inside and outside of the shutter receiving groove 42 formed in the lower portion of the connecting passage 21.
  • a seal member (not shown) such as rubber or silicone is attached to the rim of the shutter plate 40 to maintain airtightness.
  • the shutter driving unit may be constructed by applying a known linear motion system such as a linear motion system, a linear motor system, and the like, which includes a pneumatic cylinder, a motor, and a power transmission mechanism such as a ball screw or a chain.
  • a known linear motion system such as a linear motion system, a linear motor system, and the like, which includes a pneumatic cylinder, a motor, and a power transmission mechanism such as a ball screw or a chain.
  • the soil storage unit 30 is disposed inside the test chamber 20 and houses the soil S for soil test of the inspected object T.
  • the soil storage unit 30 is formed in a box shape having an opened upper surface and is configured to be drawn out of the test chamber 20 through the opening 22 of the test chamber 20.
  • the movement of the soil storage part 30 is guided to the lower part of the test chamber 20 so that the soil storage part 30 can be easily pulled in or out of the test chamber 20 through the opening part 22. [ It is preferable that the slide rail 35 is provided.
  • the depth of soil required may vary depending on the type of test.
  • the amount of soil needs to be minimized according to the test, as the amount of soil will be very high at the time it takes to reach the vacuum.
  • it can be satisfied by varying the shape of the bottom of the container containing the soil.
  • a deep soil is required.
  • the bottom of the soil reservoir 30 It is preferable to form the concave depressed portion 31 or to form the bottom surface of the soil storage portion 30 concave downward as shown in FIG.
  • the bottom surface of the soil storage part 30 may have a cone shape or a dome shape in which the cross-sectional area decreases toward the lower side.
  • the vacuum generating means is configured to force the buffer chamber 10 and the air in the test chamber 20 to be in a vacuum state by forcibly sucking the air in the buffer chamber 10 and the test chamber 20.
  • the vacuum generating means may be constituted by applying the same or similar configuration to the vacuum generating apparatus constituted in a known thermal vacuum chamber.
  • the vacuum generating means may be constituted by a buffer chamber 10 and a test chamber 20, and a vacuum pump 61 for sucking air through the respective suction pipes 62.
  • the suction pipe 62 is connected to the suction pipe 62,
  • the second door 25 of the test chamber 20 is opened, and the soil storage portion 30 containing the soil S is put into the test chamber 20 to fix the soil.
  • the soil S is subjected to a heat treatment through a pre-conditioning process to remove moisture and gas contained in the soil S before being accommodated in the test chamber 20.
  • the second door 25 is closed to seal the opening 22.
  • the first door 15 of the buffer chamber 10 is opened and the inspected object T (for example, drilling equipment for construction) is put into the buffer chamber 10 through the entrance 11 and then the first door 15 15 are closed to seal the entrance 11 of the buffer chamber 10 (see Fig. 6A).
  • the inspected object T for example, drilling equipment for construction
  • the vacuum generating means is operated to vacuum the inside of the buffer chamber 10 and the test chamber 20.
  • the shutter unit When the buffer chamber 10 and the test chamber 20 are evacuated by the vacuum generating means, the shutter unit operates in the forward direction and the shutter plate 40 slides downward and is inserted into the shutter receiving groove 42 , The connecting passage 21 is opened. Then, as shown in Fig. 6B, the conveying conveyor 50 is operated to convey the inspected object T from the buffer chamber 10 to the test chamber 20. Then, as shown in Fig.
  • a test robot detects the inspected object T on the conveying conveyor 50 from the soil on the soil storage portion 30 S) to the specified position to perform the determined test.
  • the shutter unit When the ground test of the inspected object T is completed on the soil S, the shutter unit operates in the forward direction, the shutter plate 40 descends and the connecting passage 21 is opened. As shown in FIG. 6D, The test object T is transferred from the test chamber 20 to the buffer chamber 10 through the test chamber 50.
  • the shutter unit is operated in the reverse direction again so that the shutter plate 40 is lifted to close the connection passage 21, and the test chamber 20 is separated from the buffer chamber 10.
  • the first door 15 of the buffer chamber 10 is opened to take out the inspected object T from the inside of the buffer chamber 10 through the doorway 11 or take measures for the next test, 1 door 15 is closed to isolate the buffer chamber 10 from the outside.
  • the vacuum generating means is operated And the inside of the buffer chamber 10 is again evacuated.
  • the inspected object T is introduced into the buffer chamber 10 separated from the test chamber 20, and the inspected object T having been tested is taken out from the buffer chamber 10 So that the vacuum state of the test chamber 20 can be maintained without being destroyed in the process of inserting and withdrawing the inspected object T or replacing the measuring equipment. Therefore, it is not necessary to carry out the pre-treatment of the soil S contained in the soil storage section 30 in the test chamber 20 again, thereby shortening the test time and greatly improving the test efficiency.
  • the buffer chamber 10, the test chamber 20, the soil storage unit 30, the shutter unit, the vacuum generating means, and the like may be integrated into one test apparatus 1 as in the above embodiment,
  • the test chamber 20, the soil storage unit 30, the shutter unit, the vacuum generating means, and the like are configured as one module so that the test chamber 20 can be connected to the existing thermal vacuum chamber to perform the ground test,
  • the module may be detachably coupled to the buffer chamber 10.
  • the inspected object T passes through the connecting passage 21 (Not shown) on the edge of the shutter plate 40 accommodated in the shutter receiving groove 42 when the shutter plate 40 is moved to the buffer chamber 10 and the test chamber 20 may be contaminated.
  • the passage 21 is closed, the airtightness can not be maintained and the test can not be performed.
  • a sealing plate 17 on which the inspected object T is placed in the buffer chamber 10 of the test apparatus 1 is attached to the lower surface of the connecting passage 21 So that the upper end of the shutter receiving groove 42 is hermetically closed while the sealing plate 17 slides from the buffer chamber 10 to the test chamber 20 along the lower surface of the connecting passage 21
  • the sealing material of the edge of the shutter plate 40 is contaminated when the inspected object T is transferred from the buffer chamber 10 to the test chamber 20 or from the test chamber 20 to the buffer chamber 10 .
  • the sealing plate 17 is fixed to the lower end of the first door 15 which opens and closes the entrance 11 of the buffer chamber 10 so as to be horizontally moved together with the first door 15, And is slidable horizontally on the movable plate 16,
  • the movable plate 16 is provided with a linear motion system for horizontally reciprocating the sealing plate 17 with respect to the movable plate 16.
  • the linear motion system includes a known linear motion system such as a pneumatic cylinder, a linear motor, a ball screw and a motor, a power transmitting mechanism including a plurality of pulleys and belts, a motor, a power transmitting mechanism including a rack shaft and a pinion gear, Can be applied.
  • the test apparatus 1 of the second embodiment thus constituted operates as follows.
  • the first door 15 and the movable plate 16 are drawn out to the outside of the buffer chamber 10 as shown in FIG. 10B, the first door 15 and the movable plate 16 are slid into the buffer chamber 10 to put the inspected object T in the buffer chamber 10, Thereby sealing the chamber 10.
  • the inside of the buffer chamber 10 is evacuated, and then the shutter plate 40 is lowered to move to the inside of the shutter receiving groove 42 to open the connecting passage 21.
  • the sealing plate 17 is horizontally slid with respect to the movable plate 16 to convey the inspected object T to the inside of the test chamber 20.
  • the upper end of the shutter receiving groove 42 in which the shutter plate 40 is accommodated is hermetically closed by the sealing plate 17. Therefore, when the inspected object T is moved into the test chamber 20, it is possible to prevent foreign substances or outgas from contacting the sealing material of the shutter plate 40 through the upper end of the shutter receiving groove 42, Can be prevented.
  • the shutter plate 40 is slid along the lower surface of the opened connecting passage 21 and the shutter receiving recess 42 is opened when the inspected object T which has been tested in the test chamber 20 is transferred into the buffer chamber 10. [ The shutter plate 40 can be prevented from being contaminated.
  • the present invention can be applied to a device industry capable of performing a vacuum ground test for a construction equipment and the like by creating a vacuum or an extreme environment such as a space.

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Abstract

본 발명은 우주 환경과 유사한 열 조건 및/또는 진공 조건을 갖춘 진공 챔버 내에 토양(지반)을 마련하여 우주 환경에서 건설장비나 테스트 시편 등의 지반 테스트를 효율적으로 수행할 수 있도록 한 테스트 장치 및 이를 이용한 테스트 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 지반 테스트가 가능한 진공 챔버를 구비한 테스트 장치는, 피검사물이 투입되는 출입구와 상기 출입구를 개폐하는 제1도어가 구비되어 있는 버퍼챔버와; 상기 버퍼챔버의 일측에 분리되게 구획되며, 버퍼챔버와 연통되는 연결통로가 형성되어 있는 테스트챔버와; 상기 연결통로를 개폐하는 셔터유닛과; 상기 테스트챔버 내부에 배치되며, 피검사물의 테스트를 위한 토양이 수용된 토양저장부와; 상기 버퍼챔버와 테스트챔버 내의 공기를 흡입하여 진공 상태로 만드는 진공발생수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

지반 테스트가 가능한 진공 챔버를 구비한 테스트 장치 및 이를 이용한 테스트 방법
본 발명은 테스트 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 우주 환경과 유사한 열 조건 및 진공 조건을 갖춘 진공 챔버 내에 토양(지반)을 마련하여 우주 환경에서 건설장비 등의 지반 테스트를 수행할 수 있도록 한 진공 챔버를 구비한 테스트 장치 및 이를 이용한 테스트 방법에 관한 것이다.
열 진공 챔버는 인공위성의 각종 부품이 우주환경 또는 극한 환경에 대한 적정성을 시험하기 위한 장치로, 챔버 내의 진공 유지를 기본으로 하며, 고온 및 극저온 환경의 연출을 위하여 일정시간동안 승온 및 강온에 대한 온도제어 성능이 요구된다.
이에 열 진공 챔버는 고압과 고온 및 극저온에 견딜 수 있는 금속 재질로 이루어지며, 그 내부가 밀폐되어 고진공 상태의 연출이 가능한 구조로 이루어지고, 액화질소(LN2) 등과 같은 극저온 냉매의 유입을 통해 극저온 환경을 유지시켜주며, 내부에 설치된 히터의 동작에 의해 고온으로 온도를 변화시킬 수 있도록 이루어진다.
종래의 우주 환경을 모사한 열 진공 챔버는 주로 열과 진공 모사만 가능하였으나, 우주에서 건설장비 등 지반과 상호작용이 중요한 장비를 테스트하기 위해서는 열과 진공 환경이 모사된 챔버 안에 토양(지반)이 있어야 한다.
그런데 종래의 열 진공 챔버의 경우, 토양이 있는 경우는 매우 드물고, 토양이 있는 경우에도 적은 양이어서 챔버의 구조와 작동이 종래의 경우와 크게 다르지 않아 지반 테스트의 신뢰성을 확보할 수 없었다.
그러나 많은 양의 지반을 열진공챔버에 포함하는 경우, 진공에 도달하는 과정에서 지반에서 나오는 아웃가스(out-gas)가 상당히 많아 진공을 달성하고 유지하는데 어려움이 있으나, 이에 대한 고려가 없었다.
토양에는 수분, 기체 등이 포함되어 있기 때문에 토양을 열 진공 챔버에 포함하는 경우에는 토양을 뜨거운 온도에서 굽는(baking) 과정을 거쳐서 토양에 포함되어 있는 수분과 기체를 제거한 후 챔버에 넣게 된다. 이렇게 전처리(pre-conditioning)된 토양을 챔버에 넣어도 진공에 도달하는 과정에서 미쳐 토양에서 분리되지 못한 아웃가스(out-gas)가 발생하게 되는데 이러한 아웃가스로 인해 목표로 하는 진공에 도달하는데 많은 시간이 걸리게 된다. 이에 따라 테스트를 준비하는 시간이 길어지는 문제가 있고, 토양의 양이 많아지면 사전 테스트 준비 기간도 이에 비례하여 길어지게 된다.
또한 진공 챔버 내에서 테스트 시편을 교체하거나 측정 장비 교체 등의 이유로 지반을 포함한 챔버를 개방하면 지반이 공기와 접촉하면서 전술한 것과 같은 전처리 작업을 다시 해야 하는 문제가 생긴다. 지반이 포함된 챔버를 열 때마다 장시간이 소요되는 사전처리작업을 다시해야 한다면 테스트 시간이 매우 길어지는 문제가 발생하기 때문에 효율이 대폭 저하되는 문제가 있다.
또한 테스트 시편을 토양이 포함된 테스트 챔버에 넣고 진공 배기하는 경우, 토양에서 나오는 여러 가지의 아웃가스(out-gas)가 테스트 시편에 붙어서 테스트 시편을 오염시킬 수 있다. 이러한 경우 테스트 목적을 달성할 수 없으며, 수행된 테스트에 대한 신뢰도가 크게 저하된다.
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 우주 환경과 유사한 열 조건 및/또는 진공 조건을 갖춘 진공 챔버 내에 토양(지반)을 마련하여 우주 환경에서 건설장비나 테스트 시편 등의 지반 테스트를 효율적으로 수행할 수 있도록 한 테스트 장치 및 이를 이용한 테스트 방법을 제공함에 있다.
특히 본 발명은 지반 진공 챔버 내에서 테스트를 수행한 후 테스트 시편이나 장비의 교체를 하기 위하여 진공 챔버를 개방할 때 지반 진공 챔버 내로 외부의 공기가 유입되지 않도록 하여 토양(지반)에서의 아웃가스 발생을 억제하고, 테스트 시간을 단축하고 효율을 향상시킬 수 있는 테스트 장치 및 이를 이용한 테스트 방법을 제공함에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 지반 테스트가 가능한 진공 챔버를 구비한 테스트 장치는, 피검사물이 투입되는 출입구와 상기 출입구를 개폐하는 제1도어가 구비되어 있는 버퍼챔버와; 상기 버퍼챔버의 일측에 분리되게 구획되며, 버퍼챔버와 연통되는 연결통로가 형성되어 있는 테스트챔버와; 상기 연결통로를 개폐하는 셔터유닛과; 상기 테스트챔버 내부에 배치되며, 피검사물을 지반 상에서 테스트하기 위한 토양이 수용된 토양저장부와; 상기 버퍼챔버와 테스트챔버 내의 공기를 흡입하여 진공 상태로 만드는 진공발생수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기한 본 발명의 테스트 장치를 이용하여 피검사물을 진공 상태 하에서 지반 테스트하는 방법은,
(S1) 테스트챔버 내에 토양이 수용된 토양저장부를 투입하는 단계;
(S2) 버퍼챔버의 제1도어를 열어서 출입구를 통해 피검사물을 버퍼챔버 내부로 투입한 후 제1도어를 닫는 단계;
(S3) 진공발생수단으로 버퍼챔버와 테스트챔버 내부를 진공 상태로 만드는 단계;
(S4) 셔터유닛이 정방향으로 동작하여 연결통로를 개방하고, 피검사물을 버퍼챔버에서 테스트챔버로 이송하는 단계;
(S5) 셔터유닛이 역방향으로 동작하여 연결통로를 폐쇄하는 단계;
(S6) 테스트챔버 내부에서 피검사물을 토양에서 정해진 테스트를 수행하는 단계;
(S7) 셔터유닛이 정방향으로 동작하여 연결통로를 개방하고, 피검사물을 테스트챔버에서 버퍼챔버로 이송하는 단계;
(S8) 셔터유닛이 역방향으로 동작하여 연결통로를 폐쇄하는 단계;
(S9) 버퍼챔버의 제1도어를 열어서 출입구를 통해 피검사물을 버퍼챔버 내부에서 외부로 인출하는 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 테스트챔버와 분리된 버퍼챔버 내부에 피검사물을 투입하고, 테스트가 완료된 피검사물을 테스트챔버에서 버퍼챔버로 이송하여 버퍼챔버에서 인출할 수 있도록 구성되어 있으므로, 피검사물의 투입과 인출 과정 또는 측정 장비의 교체 과정에서 테스트챔버의 진공 상태가 파기되지 않고 그대로 유지될 수 있게 된다.
따라서 테스트챔버 내의 토양저장부에 수용된 토양의 전처리 작업을 다시 수행할 필요가 없어지게 되므로 테스트 시간을 단축하고, 테스트 효율을 대폭 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 장치의 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 테스트 장치의 작동례를 나타낸 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 테스트 장치의 일부분을 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 테스트 장치의 토양저장부의 일 실시예를 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 테스트 장치의 토양저장부의 다른 실시예를 나타낸 단면도이다.
도 6a 내지 도 6d는 도 1에 도시된 테스트 장치를 이용하여 지반 테스트를 수행하는 과정을 순차적으로 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 테스트 장치의 주요 부분을 나타낸 사시도이다.
도 8은 도 7에 도시된 테스트 장치의 주요 부분에 대한 작동례를 나타낸 사시도이다.
도 9는 도 7에 도시된 테스트 장치의 주요 부분에 대한 횡단면도이다.
도 10a 내지 도 10c는 도 7에 도시된 테스트 장치의 작동례를 나타낸 단면도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 테스트 장치 및 테스트 방법의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 장치(1)는, 피검사물(T)의 투입되는 버퍼챔버(10)와, 피검사물의 지반 테스트가 수행되는 테스트챔버(20), 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20) 사이를 개폐하는 셔터유닛, 테스트챔버(20) 내부에 설치되며 피검사물(T)의 지반 테스트를 위한 토양(S)이 수용된 토양저장부(30), 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20) 내부를 진공 상태로 만드는 진공발생수단을 포함한 구성으로 이루어진다.
상기 버퍼챔버(10)는 테스트 장치(1)의 일측에 구획되며, 일측면에 피검사물(T)이 투입되는 출입구(11)가 개방되게 형성된다. 그리고, 상기 출입구(11)에는 출입구(11)를 개폐하는 제1도어(15)가 구비되어 있다. 상기 제1도어(15)는 공지의 열 진공 챔버에 구성되는 도어와 동일 또는 유사하게 구성될 수 있으며, 출입구(11)에 기밀을 유지하면서 밀착되어 출입구(11)를 폐쇄할 수 있도록 구성된다.
상기 버퍼챔버(10)의 다른 일측면은 상기 테스트챔버(20)의 일측면에 형성된 연결통로(21)와 연통되도록 개방되게 형성된다. 상기 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20) 사이의 연결통로(21) 양측에는 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20) 사이를 이동하면서 피검사물을 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20)로 이송하는 이송유닛이 설치된다. 상기 이송유닛은 산업용 다관절 매니퓰레이터 등을 적용할 수도 있으나, 이 실시예에서와 같이 모터(미도시)에 의해 양방향으로 운동하는 이송컨베이어(50)를 적용할 수 있다.
상기 버퍼챔버(10)에서는 피검사물(T)이 테스트챔버(20)로 투입되기 전에 대기하거나, 피검사물의 지반 테스트를 수행할 필요가 없는 경우에는 피검사물에 대한 소정의 테스트가 진행될 수 있다.
상기 테스트챔버(20)는 상기 버퍼챔버(10)의 바로 일측에 분리되게 구획되며, 버퍼챔버(10)의 일측면과 연통되는 연결통로(21)가 개방되게 형성되어 있다. 상기 테스트챔버(20)는 피검사물에 대한 지반 테스트를 수행한다.
상기 테스트챔버(20)의 다른 일측면에는 외부와 연통된 개구부(22)가 형성되고, 상기 개구부(22)의 일측에는 개구부(22)를 개폐하는 제2도어(25)가 설치된다. 상기 제2도어(25)는 제1도어(15)와 마찬가지로 공지의 열 진공 챔버에 구성되는 도어와 동일 또는 유사하게 구성될 수 있으며, 개구부(22)에 기밀을 유지하면서 밀착되어 개구부(22)를 폐쇄할 수 있도록 구성된다. 상기 제2도어(25)는 테스트챔버(20)의 외부에 마련된 도어 이동프레임을 따라 테스트챔버(20)의 내외측으로 이동할 수 있도록 구성된다.
도면에 도시하지는 않았으나, 상기 테스트챔버(20) 내부에는 피검사물(T)을 이송컨베이어(50)에서 토양저장부(30)의 테스트 위치로 이송하여 테스트를 정해진 수행하고, 테스트가 완료된 후 피검사물(T)을 이송컨베이어(50)로 이송하는 테스트 로봇이 구성될 수 있다.
상기 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20)에는 피검사물(T)의 열에 대한 성능 테스트를 수행할 수 있도록 가열장치 및/또는 냉각장치가 구비될 수 있으며, 이러한 가열장치 및 냉각장치는 공지의 열 진공 챔버에 구성된 가열장치 및 냉각장치를 그대로 채용하여 구성할 수 있다.
상기 셔터유닛은 상기 연결통로(21)를 개폐하여 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20)를 상호 분리시키거나 연통시키는 작용을 한다. 이 실시예에서 상기 셔터유닛은 상기 연결통로(21)에 상하로 슬라이딩하면서 연결통로(21)를 개폐하는 셔터플레이트(40)와, 상기 셔터플레이트(40)를 상하로 이동시키는 셔터구동부(미도시)를 포함한 구성으로 이루어진다.
상기 셔터플레이트(40)는 상기 연결통로(21)의 하부에 형성되어 있는 셔터수용홈(42)의 내외측으로 슬라이딩하면서 연결통로(21)를 개폐한다. 상기 셔터플레이트(40)의 테두리 부분에는 기밀을 유지하기 위한 고무나 실리콘 등의 실링재(미도시)가 장착된다.
상기 셔터구동부는 공압실린더, 모터와 볼스크류 또는 체인 등의 동력전달기구로 이루어진 선형 운동 시스템, 리니어모터 시스템 등 공지의 선형 운동 시스템을 적용하여 구성할 수 있다.
상기 토양저장부(30)는 상기 테스트챔버(20) 내부에 배치되며, 피검사물(T)의 지반 테스트를 위한 토양(S)이 수용되어 있다. 상기 토양저장부(30)는 상부면이 개방된 박스 형태로 되어 상기 테스트챔버(20)의 개구부(22)를 통해 테스트챔버(20)의 외부로 인출될 수 있도록 구성된다.
상기 토양저장부(30)가 상기 개구부(22)를 통해 테스트챔버(20)의 내외측으로 쉽게 인입 또는 인출될 수 있도록 하기 위하여 테스트챔버(20)의 하부에 토양저장부(30)의 이동을 안내하는 슬라이드레일(35)이 설치되는 것이 바람직하다.
한편 지반 테스트를 수행할 때, 테스트의 종류에 따라 요구되는 토양의 깊이가 다양할 수 있다. 그러나 토양의 양이 많아지면 진공에 도달하는데까지 걸리는 시간에 매우 많이 소요되기 때문에 토양의 양을 테스트에 따라 최소화할 필요가 있다. 토양의 사용을 최소화하면서 테스트의 요구조건을 맞추기 위하여, 토양을 담는 용기 바닥의 모양을 다양하게 함으로써 이를 만족시킬 수 있다. 예를 들어, 토양을 파는 드릴 장비 테스트를 위해서는 깊은 토양이 필요한데, 토양의 사용을 최소화 하면서 충분한 깊이의 테스트를 수행하기 위해서 도 4에 도시한 것과 같이 토양저장부(30)의 바닥면에 하측으로 오목한 함몰부(31)를 형성하거나, 도 5에 도시한 것과 같이 토양저장부(30)의 바닥면을 하측으로 오목하게 형성하는 것이 바람직하다. 이 때 토양저장부(30)의 바닥면은 하측으로 갈수록 단면적이 줄어드는 콘(cone) 형상 또는 돔(dome) 형상을 가질 수 있다.
상기 진공발생수단은 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20) 내부의 공기를 강제로 흡입하여 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20) 내부를 진공상태로 만들 수 있도록 구성된다. 이러한 진공발생수단은 공지의 열 진공 챔버에 구성되는 진공발생장치의 구성을 동일 또는 유사하게 적용하여 구성할 수 있는데, 예를 들어 도 3에 도시한 것과 같이 각각 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20)에 개별적으로 연결되는 흡입배관(62)과, 각각의 흡입배관(62)을 통해 공기를 흡입하는 진공펌프(61) 등으로 구성될 수 있다.
상기한 바와 같은 구성을 갖는 테스트 장치를 이용하여 테스트를 수행하는 방법에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저 테스트챔버(20)의 제2도어(25)를 열고, 토양(S)이 수용된 토양저장부(30)를 테스트챔버(20) 내에 투입하여 정위치시킨다. 이 때, 상기 토양(S)은 테스트챔버(20) 내에 수용되기 전에 전처리(pre-conditioning) 공정을 통해 가열 처리되어 토양(S)에 포함되어 있는 수분과 기체가 제거된 것이다. 상기 테스트챔버(20)에 토양저장부(30)가 투입되면, 제2도어(25)가 닫히면서 개구부(22)를 밀폐한다.
이어서 버퍼챔버(10)의 제1도어(15)를 열어서 출입구(11)를 통해 피검사물(T)(예를 들어 건설용 드릴장비)을 버퍼챔버(10) 내부로 투입한 후 제1도어(15)를 닫아서 버퍼챔버(10)의 출입구(11)를 밀폐한다(도 6a 참조).
이 때, 테스트챔버(20)와 버퍼챔버(10) 사이의 연결통로(21)를 셔터플레이트(40)에 의해 분리된 상태이다.
상술한 것과 같이 버퍼챔버(10) 내부로 피검사물(T)이 투입되면, 진공발생수단을 작동시켜 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20) 내부를 진공 상태로 만든다.
진공발생수단에 의해 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20) 내부가 진공 상태로 되면, 셔터유닛이 정방향으로 동작하여 셔터플레이트(40)가 하측으로 슬라이딩하면서 셔터수용홈(42) 내측으로 삽입되고, 연결통로(21)가 개방된다. 이어서, 도 6b에 도시한 것과 같이 이송컨베이어(50)가 작동하여 피검사물(T)을 버퍼챔버(10)에서 테스트챔버(20)로 이송한다.
피검사물(T)이 테스트챔버(20) 내부로 이동하면, 도 6c에 도시한 것과 같이 셔터유닛이 역방향으로 동작하여 셔터플레이트(40)가 상승하여 연결통로(21)를 폐쇄하게 된다.
이와 같이 테스트챔버(20) 내부로 피검사물(T)이 투입되고 진공 상태로 되면, 테스트 로봇(미도시)이 이송컨베이어(50) 상의 피검사물(T)을 토양저장부(30) 상의 토양(S)의 지정된 위치로 이송하여 정해진 테스트를 수행한다.
토양(S) 위에서 피검사물(T)의 지반 테스트가 완료되면, 셔터유닛이 정방향으로 동작하여 셔터플레이트(40)가 하강하면서 연결통로(21)가 개방되고, 도 6d에 도시한 것과 같이 이송컨베이어(50)를 통해 피검사물(T)이 테스트챔버(20)에서 버퍼챔버(10)로 이송된다.
이어서 다시 셔터유닛이 역방향으로 동작하여 셔터플레이트(40)가 상승하여 연결통로(21)가 폐쇄되고, 테스트챔버(20)는 버퍼챔버(10)와 분리된 상태가 된다.
이 상태에서 버퍼챔버(10)의 제1도어(15)를 열어서 출입구(11)를 통해 피검사물(T)을 버퍼챔버(10) 내부에서 외부로 인출하거나 다음 테스트를 위한 조치를 취한 후 다시 제1도어(15)를 닫아서 버퍼챔버(10)를 외부로부터 격리시킨다. 상기 제1도어(15)를 열어서 출입구(11)를 개방하게 되면 외부 공기가 버퍼챔버(10) 내로 유입되어 진공 상태가 파기되므로 제1도어(15)를 다시 닫은 다음에는 진공발생수단을 작동시켜 버퍼챔버(10) 내부를 다시 진공 상태로 만들어준다.
전술한 것과 같이 본 발명에 따르면, 테스트챔버(20)와 분리된 버퍼챔버(10) 내부에 피검사물(T)을 투입하고, 테스트가 완료된 피검사물(T)을 버퍼챔버(10)에서 인출하도록 구성되어 있으므로, 피검사물(T)의 투입과 인출 과정 또는 측정 장비의 교체 과정에서 테스트챔버(20)의 진공 상태가 파기되지 않고 그대로 유지될 수 있게 된다. 따라서 테스트챔버(20) 내의 토양저장부(30)에 수용된 토양(S)의 전처리 작업을 다시 수행할 필요가 없어지게 되므로 테스트 시간을 단축하고, 테스트 효율을 대폭 향상시킬 수 있게 된다.
또한 토양(S)을 이용한 지반 테스트를 수행할 필요가 없을 경우에는 바로 버퍼챔버(10)에 측정 장비를 투입하여 소정의 테스트를 수행할 수 있으므로 피검사물의 종류와 요구 성능에 따라 다양한 종류의 테스트를 수행할 수 있다.
한편 전술한 실시예에와 같이 하나의 테스트 장치(1)에 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20), 토양저장부(30), 셔터유닛, 진공발생수단 등이 통합되어 구성될 수 있으나, 기존의 열 진공 챔버에 테스트챔버(20)를 연결하여 지반 테스트를 수행할 수 있도록 테스트챔버(20)와 토양저장부(30)와 셔터유닛, 진공발생수단 등을 하나의 모듈로 구성하고, 상기 모듈이 버퍼챔버(10)에 착탈 가능하게 결합되도록 할 수도 있을 것이다.
또한 전술한 실시예에서 상기 셔터플레이트(40)가 하측으로 슬라이딩하여 셔터수용홈(42) 내측으로 삽입되고 연결통로(21)가 개방될 때, 피검사물(T)이 연결통로(21)를 통해서 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20)로 이동할 때 셔터수용홈(42) 내측에 수용된 셔터플레이트(40) 테두리의 실링재(미도시)가 오염될 수 있고, 이 경우 셔터플레이트(40)가 연결통로(21)를 폐쇄했을 때 기밀 유지가 안되어 테스트를 수행할 수 없는 경우가 발생할 수 있다.
이를 방지하기 위하여, 도 7 내지 도 9에 도시한 것과 같이 테스트 장치(1)의 버퍼챔버(10)에 피검사물(T)이 놓여지는 실링플레이트(17)가 연결통로(21)의 하부면을 통해 슬라이딩 가능하게 설치되어, 실링플레이트(17)가 연결통로(21)의 하부면을 따라 버퍼챔버(10)에서 테스트챔버(20)로 슬라이딩하면서 셔터수용홈(42)의 상단부를 기밀하게 폐쇄하고, 이로써 피검사물(T)을 버퍼챔버(10)에서 테스트챔버(20)로, 또는 테스트챔버(20)에서 버퍼챔버(10)로 이송할 때 셔터플레이트(40) 테두리의 실링재가 오염되는 현상을 방지할 수 있다.
이 실시예의 테스트장치(1)에서 상기 실링플레이트(17)는 버퍼챔버(10)의 출입구(11)를 개폐하는 제1도어(15)의 하단부에 고정되어 제1도어(15)와 함께 수평이동하는 가동플레이트(16)에 수평하게 슬라이딩 가능하게 설치된다.
상기 가동플레이트(16)에는 가동플레이트(16)에 대해 실링플레이트(17)를 수평 왕복 이동시키기 위한 선형운동 시스템이 구성된다. 상기 선형운동 시스템은 공압 실린더, 리니어모터, 볼스크류 및 모터, 복수의 풀리와 벨트를 포함하는 동력전달기구 및 모터, 래크기어와 피니언기어를 포함하는 동력전달기구 및 모터 등 공지의 선형운동 시스템을 적용하여 구성할 수 있다.
이와 같이 구성된 두번째 실시예의 테스트장치(1)는 다음과 같이 작동한다.
도 10a에 도시한 것과 같이 제1도어(15) 및 가동플레이트(16)가 버퍼챔버(10)의 외부로 인출된 상태에서 가동플레이트(16) 상부면의 실링플레이트(17) 상에 피검사물(T)을 안착하고, 도 10b에 도시한 것과 같이 제1도어(15)와 가동플레이트(16)를 버퍼챔버(10) 내측으로 슬라이딩시켜 버퍼챔버(10) 내에 피검사물(T)을 투입하고 버퍼챔버(10)를 밀폐한다.
이 상태에서 버퍼챔버(10) 내부를 진공 상태로 만든 다음, 셔터플레이트(40)를 하강시켜 셔터수용홈(42) 내측으로 이동시켜 연결통로(21)를 개방한다.
그런 다음, 도 10c에 도시한 것과 같이 실링플레이트(17)를 가동플레이트(16)에 대해 수평하게 슬라이딩시켜 피검사물(T)을 테스트챔버(20) 내측으로 이송한다. 이 때 셔터플레이트(40)가 수용된 셔터수용홈(42)의 상단부가 실링플레이트(17)에 의해 기밀하게 폐쇄된다. 따라서 피검사물(T)을 테스트챔버(20) 내로 이동할 때 셔터수용홈(42)의 상단부를 통해 셔터플레이트(40)의 실링재에 이물질이나 아웃가스가 접촉되는 것을 방지하여 피검사물(T)의 오염을 방지할 수 있다.
테스트챔버(20)에서 테스트가 완료된 피검사물(T)을 버퍼챔버(10) 내로 이송할 때에도 셔터플레이트(40)가 개방된 연결통로(21)의 하부면을 따라 슬라이딩하여 셔터수용홈(42)의 상단부를 폐쇄하게 되므로 셔터플레이트(40)가 오염되는 것을 방지할 수 있다.
이상에서 본 발명은 실시예를 참조하여 상세히 설명되었으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기에서 설명된 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 부가 및 변형이 가능할 것임은 당연하며, 이와 같은 변형된 실시 형태들 역시 아래에 첨부한 특허청구범위에 의하여 정하여지는 본 발명의 보호 범위에 속하는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 발명은 우주와 같은 진공 또는 극한 환경을 조성하여 건설장비 등에 대한 진공 지반 테스트를 수행할 수 있는 장치 산업에 이용할 수 있다.
[규칙 제26조에 의한 보정 26.07.2018]　
Deleted by the applicant

Claims (15)

  1. 피검사물(T)이 투입되는 출입구(11)와 상기 출입구(11)를 개폐하는 제1도어(15)가 구비되어 있는 버퍼챔버(10)와;
    상기 버퍼챔버(10)의 일측에 분리되게 구획되며, 버퍼챔버(10)와 연통되는 연결통로(21)가 형성되어 있는 테스트챔버(20)와;
    상기 연결통로(21)를 개폐하는 셔터유닛과;
    상기 테스트챔버(20) 내부에 배치되며, 피검사물을 지반 상에서 테스트하기 위한 토양(S)이 수용된 토양저장부(30)와;
    상기 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20) 내의 공기를 흡입하여 진공 상태로 만드는 진공발생수단;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 지반 테스트가 가능한 진공 챔버를 구비한 테스트 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 연결통로(21)를 통해 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20) 사이를 이동하면서 피검사물을 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20)로 이송하는 이송유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 지반 테스트가 가능한 진공 챔버를 구비한 테스트 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 테스트챔버(20)의 일측에 외부와 연통된 개구부(22)가 형성되고, 상기 개구부(22)의 일측에는 개구부(22)를 개폐하는 제2도어(25)가 설치된 것을 특징으로 하는 지반 테스트가 가능한 진공 챔버를 구비한 테스트 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 토양저장부(30)는 상기 제2도어(25)가 개방되었을 때 상기 개구부(22)를 통해 인출 및 인입 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 지반 테스트가 가능한 진공 챔버를 구비한 테스트 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 테스트챔버(20)의 하부에 상기 토양저장부(30)를 개구부(22)의 내외측으로 안내하는 슬라이드레일(35)이 설치된 것을 특징으로 하는 지반 테스트가 가능한 진공 챔버를 구비한 테스트 장치.
  6. 제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 토양저장부(30)의 바닥면은 하측으로 오목하게 형성된 것을 특징으로 하는 지반 테스트가 가능한 진공 챔버를 구비한 테스트 장치.
  7. 제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 토양저장부(30)의 바닥면에는 하측으로 오목한 함몰부(31)가 형성된 것을 특징으로 하는 지반 테스트가 가능한 진공 챔버를 구비한 테스트 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 셔터유닛은 상기 연결통로(21)에 상하로 슬라이딩하면서 연결통로(21)를 개폐하는 셔터플레이트(40)와, 상기 셔터플레이트(40)를 상하로 이동시키는 셔터구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 지반 테스트가 가능한 진공 챔버를 구비한 테스트 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 연결통로(21)의 하부에 상기 셔터플레이트(40)가 삽입되는 셔터수용홈(42)이 형성된 것을 특징으로 하는 지반 테스트가 가능한 진공 챔버를 구비한 테스트 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 버퍼챔버(10)의 하부면에 연결통로(21)의 하부면을 통해 수평하게 슬라이딩하도록 설치되어, 피검사물(T)을 버퍼챔버(10)에서 테스트챔버(20)로, 또는 테스트챔버(20)에서 버퍼챔버(10)로 이송하면서 상기 셔터수용홈(42)의 상단부를 폐쇄하는 실링플레이트(17)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 지반 테스트가 가능한 진공 챔버를 구비한 테스트 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제1도어(15)의 하단부에 고정되어 제1도어(15)와 함께 수평이동하는 가동플레이트(16)를 더 포함하며,
    상기 실링플레이트(17)는 상기 가동플레이트(16)에 수평하게 슬라이딩 가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 지반 테스트가 가능한 진공 챔버를 구비한 테스트 장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 테스트챔버(20)와 토양저장부(30)와 셔터유닛과 진공발생수단은 하나의 모듈로 이루어져, 버퍼챔버(10)에 착탈 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 지반 테스트가 가능한 진공 챔버를 구비한 테스트 장치.
  13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 따른 테스트 장치를 이용하여 피검사물을 테스트하는 방법으로서,
    (S1) 테스트챔버(20) 내에 토양(S)이 수용된 토양저장부(30)를 투입하는 단계;
    (S2) 버퍼챔버(10)의 제1도어(15)를 열어서 출입구(11)를 통해 피검사물(T)을 버퍼챔버(10) 내부로 투입한 후 제1도어(15)를 닫는 단계;
    (S3) 진공발생수단으로 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20) 내부를 진공 상태로 만드는 단계;
    (S4) 셔터유닛이 정방향으로 동작하여 연결통로(21)를 개방하고, 피검사물(T)을 버퍼챔버(10)에서 테스트챔버(20)로 이송하는 단계;
    (S5) 셔터유닛이 역방향으로 동작하여 연결통로(21)를 폐쇄하는 단계;
    (S6) 테스트챔버(20) 내부에서 피검사물(T)을 토양(S)에서 정해진 테스트를 수행하는 단계;
    (S7) 셔터유닛이 정방향으로 동작하여 연결통로(21)를 개방하고, 피검사물(T)을 테스트챔버(20)에서 버퍼챔버(10)로 이송하는 단계;
    (S8) 셔터유닛이 역방향으로 동작하여 연결통로(21)를 폐쇄하는 단계;
    (S9) 버퍼챔버(10)의 제1도어(15)를 열어서 출입구(11)를 통해 피검사물(T)을 버퍼챔버(10) 내부에서 외부로 인출하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 (S1) 단계를 수행하기 전에 토양을 가열하여 토양에 포함되어 있는 수분과 기체를 제거하는 전처리(pre-conditioning) 단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 테스트 방법.
  15. 제13항에 있어서, 상기 (S3) 단계를 수행할 때 셔터유닛이 연결통로(21)를 폐쇄하여 버퍼챔버(10)와 테스트챔버(20)를 분리한 상태에서 진공 상태로 만드는 것을 특징으로 하는 테스트 방법.
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