WO2013122311A1 - 기판 처리 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 상부가 개방되며, 일측에 기판이 출입하는 통로가 형성되는 하부챔버;상기 하부챔버의 내부에 설치되어 기설정된 중심을 기준으로 둘레에 고정배치되며, 공정진행시 상부에 상기 기판이 각각 놓여지는 복수의 서셉터들;상기 중심에 설치되어 상기 중심을 기준으로 회전가능한 회전부재;상기 회전부재에 각각 연결되어 상기 회전부재와 함께 회전하며, 상기 기판이 각각 놓여지는 하나 이상의 안착면을 각각 가지는 복수의 홀더들; 및상기 회전부재에 연결되며, 상기 회전부재를 구동하여 상기 홀더들 중 어느 하나를 상기 통로에 대응되는 전달위치로 이동하는 구동모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 모듈.
- 제1항에 있어서,상기 구동모듈은 상기 회전부재를 승강하여 상기 홀더들을 수용높이 및 로딩높이로 전환하며,상기 홀더들은,상기 수용높이에서 상기 서셉터들보다 높게 위치하며,상기 로딩높이에서 각각의 상기 안착면이 상기 서셉터의 상부면보다 낮게 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 모듈.
- 제2항에 있어서,상기 홀더들은 상기 수용높이에 놓인 상태에서 상기 전달위치로 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 모듈.
- 제2항에 있어서,상기 홀더는,상기 하부챔버의 외측을 향해 개방되며, 중심각이 180도 이상인 원호 형상의 포크; 및상기 포크에 연결되어 상기 포크의 내측을 향해 돌출되며, 상기 안착면을 제공하는 하나 이상의 지지팁을 구비하며,상기 서셉터는 상부에 위치한 상기 홀더가 상기 로딩높이로 전환시 상기 지지팁이 삽입되는 하나 이상의 삽입홈을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 모듈.
- 제4항에 있어서,상기 서셉터는,히팅 플레이트; 및상기 히팅플레이트의 상부에 위치하며, 상기 기판이 놓여지는 지지면을 가지는 커버를 구비하며,상기 삽입홈은 상기 지지면의 가장자리에 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 모듈.
- 제1항에 있어서,상기 서셉터들 및 상기 홀더들은 상기 중심을 기준으로 등각을 이루도록 배치되며,상기 서셉터들의 개수는 상기 홀더들의 개수와 동일한 것을 특징으로 하는 기판 처리 모듈.
- 제6항에 있어서,상기 서셉터들 중 어느 하나는 상기 통로에 대응되도록 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 모듈.
- 제1항에 있어서,상기 하부챔버는 하부벽의 가장자리를 따라 형성된 복수의 배기포트들을 가지며,상기 배기포트들은 상기 서셉터들의 외측에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 모듈.
- 제1항에 있어서,상기 기판 처리 모듈은,상기 하부챔버의 상부에 연결되며, 상기 중심에 대응되는 개구를 가지는 상부챔버;하부가 개방된 형상이며, 상기 하부가 상기 상부챔버의 상기 개구에 연결되는 실린더;상기 실린더에 연결되며, 외부로부터 공급된 공정가스를 상기 실린더의 내부에 공급하는 가스공급포트; 및상기 실린더를 감싸며, 상기 실린더의 내부에 전계를 형성하는 안테나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 모듈.
- 제1항에 있어서,상기 하부챔버는 상기 서셉터들에 각각 대응되는 복수의 개구들을 가지며,상기 기판 처리 모듈은,각각의 상기 개구 상에 설치되며, 상부면으로부터 함몰된 버퍼공간 및 상기 버퍼공간에 연결되는 복수의 분사홀들을 각각 가지는 샤워헤드들; 및상기 샤워헤드의 상부에 각각 설치되어 상기 버퍼공간을 외부로부터 차단하며, 외부로부터 공급된 공정가스를 상기 버퍼공간에 공급하는 가스공급포트를 각각 가지는 상부챔버들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 모듈.
- 외부로부터 이송된 기판이 놓여지며, 내부가 진공 상태 및 대기압 상태로 전환되는 로드록 챔버;상기 기판에 대한 공정이 이루어지는 기판 처리 모듈; 및상기 로드록 챔버와 상기 기판 처리 모듈 사이에 배치되며, 상기 로드록 챔버와 상기 기판 처리 모듈 사이에서 상기 기판을 이송하는 기판 이송 로봇을 구비하는 기판 이송 모듈을 포함하되,상기 기판 처리 모듈은,상부가 개방되며, 일측에 기판이 출입하는 통로가 형성되는 하부챔버;상기 하부챔버의 내부에 설치되어 기설정된 중심을 기준으로 둘레에 고정배치되며, 공정진행시 상부에 상기 기판이 각각 놓여지는 복수의 서셉터들;상기 중심에 설치되어 상기 중심을 기준으로 회전가능한 회전부재;상기 회전부재에 각각 연결되어 상기 회전부재와 함께 회전하며, 상기 기판이 각각 놓여지는 하나 이상의 안착면을 각각 가지는 복수의 홀더들; 및상기 회전부재에 연결되며, 상기 회전부재를 구동하여 상기 홀더들 중 어느 하나를 상기 통로에 대응되는 전달위치로 이동하는 구동모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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