JP2014092219A - ゲートバルブ - Google Patents
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Abstract
【課題】弁体を昇降させる昇降シリンダの配設位置や、弁開閉機構において当該昇降シリンダが傾動する構成を改善し、全体を小型化し故障をなくしたゲートバルブを提供する。
【解決手段】対向する一対のボディ壁2a,2bに設けた第1、第2の開口3a,3bの一方を選択的に開閉したり双方を開き、また開口から退避できる第1及び第2の弁体を備える。弁体6に連結したシャフト12を、軸線方向移動を許容しない軸受部材14により支持させ、該軸受部材をピボット16により傾動自在に支持させ、ピボットを弁体の退避のための昇降シリンダ18で昇降可能にする。シャフト12の下部に受動ローラを支持させ、受動ローラを介してシリンダ装置30によりシャフトを傾動させる。シリンダ装置は、ハウジングに固定されたピストンロッド31に対して摺動自在で、受動ローラを押圧する押圧板を備える。
【選択図】図2
【解決手段】対向する一対のボディ壁2a,2bに設けた第1、第2の開口3a,3bの一方を選択的に開閉したり双方を開き、また開口から退避できる第1及び第2の弁体を備える。弁体6に連結したシャフト12を、軸線方向移動を許容しない軸受部材14により支持させ、該軸受部材をピボット16により傾動自在に支持させ、ピボットを弁体の退避のための昇降シリンダ18で昇降可能にする。シャフト12の下部に受動ローラを支持させ、受動ローラを介してシリンダ装置30によりシャフトを傾動させる。シリンダ装置は、ハウジングに固定されたピストンロッド31に対して摺動自在で、受動ローラを押圧する押圧板を備える。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体製造装置などの真空チェンバー間、例えば、プロセスチェンバーとトランスファーチェンバーとの間に配置されるゲートバルブに関するものである。
一例として示す特許文献1には、ゲートバルブの弁体用ボディにおける対向する一対のボディ壁に、一方の真空チェンバーに連通させる第1の開口と、他方の真空チェンバーに連通させる第2の開口とが形成され、それぞれの開口を開閉する第1及び第2の弁体を備えた両面弁体の接離移動により、それらの開口を選択的に閉じるようにしたゲートバルブが開示されている。この種のゲートバルブは、一方の真空チェンバーにおける修理等の作業中に他方の真空チェンバー内で動作を継続できように、上記両面弁体を、上記第1及び第2の弁体によりボディ壁における第1及び第2の開口のいずれか一方を閉鎖する一方閉鎖位置と、両開口を開放する両開口位置(中立位置)とに切り換えることができ、また、上記一対のボディ壁における第1及び第2の開口を開放してそれらの開口間で物体を移送するために、両開口に対面する位置から両面弁体を退避させる退避位置にも切り換え可能にするものである。
上記特許文献1等に開示のこの種のゲートバルブにおいては、通常、上記両開口を開閉するための弁開閉機構として、上記両面弁体を取り付けた弁体駆動用のシャフトの延長上に、両面弁体をボディ壁の両開口に対面する位置と両面弁体を該開口対面位置外の退避位置との間で移動させるアクチュエータを設け、また、上記ボディ壁における第1及び第2の開口の開閉は、上記両面弁体がボディ壁の両開口に対面する位置にある状態で、該両面弁体に連結したシャフトを傾動させて、第1または第2の開口を上記両面弁体により選択的に閉じるように構成されるが、かかる構成では次のような問題点がある。
即ち、上記構成では、まず、上記両面弁体に連結したシャフトの延長上に両面弁体の移動用のアクチュエータを設けているので、ゲートバルブの全体的構成が上記シャフトの軸線方向に長くなり、また、上記第1または第2の開口を上記両面弁体により選択的に開閉するに際し、両面弁体に連結したシャフトを、その延長上に設けたアクチュエータと共に傾動させるので、弁開閉機構の構成が大型で複雑化してコスト高となるだけでなく、その傾動に伴って上記アクチュエータが移動するので、少なくとも、該シャフトと共に傾動させるアクチュエータへの圧力空気の給排は可撓チューブを介して行う必要があり、弁開閉機構を収容するハウジング内において、上記シャフトと共に移動するアクチュエータ等を含む弁開閉機構の構造部分と上記可撓チューブとが混在し、故障が生じる可能性が非常に高い構成になる。
本発明の技術的課題は、ゲートバルブの全体的構成が上記シャフトの軸線方向に長くなるのは、上記両面弁体に連結したシャフトの延長上に該両面弁体の昇降移動用のアクチュエータを設けている弁開閉機構の構成に起因することから、該アクチュエータの配設位置を上記全体的構成の長大化に影響しない位置に配設するようにし、また、一対の開口を上記両面弁体により選択的に開閉するに際して、弁開閉機構を構成するアクチュエータが傾動する構成を排除し、それによって、アクチュエータへの圧力空気の給排を行う可撓チューブをハウジング内に配設する必要をなくしたゲートバルブを提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明によれば、弁体用ボディにおける対向する一対のボディ壁に、真空チェンバーに連通させるべき第1の開口と第2の開口とを設け、それぞれの開口を開閉する第1及び第2の弁体を備えた両面弁体の接離移動により、上記第1及び第2の開口を選択的に閉鎖可能にすると共に、上記一対のボディ壁における第1及び第2の開口を共に開放して、両開口に対面する位置から両面弁体を退避させる退避位置にも切り換え移動可能にした弁開閉機構を備えるゲートバルブにおいて、上記弁開閉機構を収容するハウジング内で、上記両面弁体に連結したシャフトをその軸線方向移動を許容しない軸受部材により支持させると共に、該軸受部材を、上記シャフトが弁体用ボディ内において対向する上記一対の開口を結ぶ方向に傾動するように、水平配置のピボットにより傾動自在に支持させ、上記ハウジング内において、上記シャフトの下端に上記ピボットの軸線に平行する軸線をもつ受動ローラを支持させると共に、該受動ローラを介して上記シャフトを傾動させる方向に押圧する傾動用のシリンダ装置を備え、上記傾動用のシリンダ装置は、上記ハウジングに固定されたピストンロッドに対して摺動自在としたシリンダボディに、上記受動ローラに対応させて、該ローラの両側に接する押圧板を備え、該シリンダボディ内の複数のピストン室に選択的に圧力空気を給排して上記シリンダボディを移動させることにより、上記押圧板を3位置に保持可能とし、該3位置における上記受動ローラの位置決めにより、上記第1または第2の弁体を上記第1及び第2の開口の一方を選択的に閉じる一方閉位置及び両開口を開いた中立位置に移動可能とし、上記ピボットをその昇降駆動により両面弁体が上記開口に対面する位置と上記退避位置との間で移動させる昇降シリンダを、上記傾動用のシリンダ装置よりも上位において上記シャフトに沿う位置に該シャフトに対し平行に配設したことを特徴とするゲートバルブが提供される。
本発明にかかるゲートバルブの好ましい実施形態においては、上記シリンダ装置を、上記ハウジングに固定されたピストンロッドに、シリンダボディ内の第1ピストン室に嵌入した小径ピストンを固定すると共に、該小径ピストンにロッド部が当接する遊動可能な大径ピストンを、上記第1ピストン室に隣接する第2ピストン室に収容することにより構成し、上記第1及び第2ピストン室における各ピストンのロッド側を第1の圧力室、各反対側を第2の圧力室として、上記第1ピストン室における第2圧力室に圧力空気を供給すると共に、少なくとも第1ピストン室の第1圧力室の圧力空気を排出して、ハウジングに固定されたピストンロッドが最長突出状態になる位置までシリンダボディを移動させることにより、上記第1の弁体が第1の開口を閉じ、また、上記第1ピストン室における第1圧力室に圧力空気を供給すると共に、第2ピストン室の第2圧力室の圧力空気を排出して、ハウジングに固定されたピストンロッドが最短突出状態になるまでシリンダボディを移動させることにより、上記第2の弁体が第2の開口を閉じ、更に、上記第2ピストン室における第2圧力室及び第1ピストン室の第1圧力室に圧力空気を供給することにより、第2ピストン室における大径のピストンがそのロッド部を第1ピストン室にストッパとして突出させ、第1ピストン室の小径ピストンが該ストッパに当接することにより、上記第1及び第2の弁体がいずれの開口をも閉じない中立位置にあるように、両面弁体を移動させるものとして構成される。
本発明の他の好ましい実施形態においては、上記各圧力室の各ポートを、上記シリンダボディに固定的に設けた配管ブロック内を通して圧力空気の給排源に接続したものとして構成される。
以上に詳述した本発明のゲートバルブによれば、両面弁体に連結したシャフトの延長上に該両面弁体の昇降移動用のアクチュエータを設けることなく、該アクチュエータの配設位置を全体的構成の長大化に影響しない位置に配設し、また、開閉しようとする第1及び第2の開口を上記両面弁体により選択的に開閉するに際して、両面弁体を昇降させるアクチュエータが傾動する構成を排除し、それによって、アクチュエータへの圧力空気の給排を行う可撓チューブをハウジング内に配設する必要をなくしたゲートバルブを得ることができる。
図面は、本発明に係るゲートバルブの実施の一例を示している。このゲートバルブは、半導体製造装置などの真空チェンバー間、例えば、プロセスチェンバーとトランスファーチェンバーとの間等に配置して使用するもので、弁体用ボディ1における対向する一対の平行するボディ壁2a,2bに、上記真空チェンバー等に連通させるべき第1の開口3aと第2の開口3bとが設けられ、それぞれの開口3a,3bを内側から開閉する第1及び第2の弁体7a,7bを備えた両面弁体6が、該弁体用ボディ1の内部において開口3a,3bに向けて接離移動可能に配設されている。
上記第1及び第2の弁体7a,7bを備えた両面弁体6は、上記弁体用ボディ1の下位に位置するハウジング10(図1参照)内に収容された弁開閉機構により、シャフト12を介して駆動されるもので、該両面弁体6に連結されたシャフト12は、該両面弁体6における第1及び第2の弁体7a,7bにより、上記第1及び第2の開口3a,3bを選択的に閉鎖可能にすると共に、該第1及び第2の開口3a,3bを共に開放する中立位置、更に、図2に及び図6示すように、両開口3a,3bを開放したうえでそれらの開口に対面する位置から両面弁体6を下方に退避させた退避位置にも切り換え移動可能に形成している。
図4及び図5の各(a)は、第1の弁体7aが第1の開口3aを閉じた状態を、図4及び図5の各(b)は、第2の弁体7bが第2の開口3bを閉じた状態を、また、図4及び図5の各(c)は、第1及び第2の弁体7a,7bが第1及び第2の開口3a,3bを開放した中立位置にある状態を示している。また、図6は、両面弁体6が第1及び第2の開口3a,3bを開放したうえで、それらの開口に対面する位置から両面弁体6を下方の退避位置に退避させた状態を示している。
上記弁開閉機構を収容するハウジング10内においては、上記両面弁体6に連結したシャフト12を、その軸線方向移動を許容しない軸受部材14により支持させると共に、該軸受部材14を、弁体用ボディ1内において対向する一対の開口3a,3bを結ぶ方向に上記シャフト12が傾動するように、水平配置のピボット16により、一対の昇降シリンダ18のロッド19で昇降駆動される支持部材15に傾動自在に支持させている。上記昇降シリンダ18は、前記弁体用ボディ1と、弁開閉機構を収容する上記ハウジング10との間に設けた連結板9に固定したものである。
また、上記ハウジング10内においては、上記シャフト12の下端に上記ピボット16の軸線に平行する軸線をもつ受動ローラ21(図4〜図6)を支持させると共に、該受動ローラ21を介して上記シャフト12を傾動させる方向に押圧する傾動用のシリンダ装置30(図2、図3及び図5)を備えている。上記受動ローラ21を設けたシャフト12の下端は、図4と図6の対比から分かるように、前記両面弁体6が前記弁体用ボディ1における開口3a,3bに対面する位置から下方に退避する距離だけ、ハウジング10の下部に下降する余裕が必要であり、この距離は前記昇降シリンダ18のストロークに等しいものである。
上記ピボット16を、その昇降駆動により両面弁体6が上記開口3a,3bに対面する位置と上記退避位置との間で移動させるために、該ピボット16を昇降させる一対の昇降シリンダ18を、上記傾動用のシリンダ装置30よりも上位において上記シャフト12に沿う位置に、該シャフト12に対して平行に配設した構成、より具体的には、上記昇降シリンダ18を弁体用ボディ1とハウジング10との間の連結板9に設けた構成は、上記シャフト12の軸線の延長上にそれを昇降させるためのアクチュエータを設ける場合に比して、装置全体の縦方向長さを著しく短縮できる点で有効なものであり、しかも、傾動用のシリンダ装置30よりも上位において上記シャフト12に沿う位置において、該シャフト12に対して平行になるように昇降シリンダ18を配設した構成は、ゲートバルブにおける弁体用ボディ1と傾動用のシリンダ装置30の間の空間を利用して全体を小型化するために有効なものである。
上記傾動用のシリンダ装置30は、図5から分かるように、上記ハウジング10の内面に固定して突設された一対のピストンロッド31,31に対して摺動自在としたシリンダボディ40を備えている。このシリンダボディ40は、図2及び図3に示すように、ハウジング10に設けた一対のガイドロッド24,24により上記ピストンロッド31の軸線方向にガイドされるものである。また、このシリンダボディ40には、上記シャフト12における上記受動ローラ21に対応させて、該ローラ21の両側に接する一対の押圧板41,42を備えている。なお、上記押圧板41,42は、図6に示すようにシャフト12が下動している場合には、ローラ21を押圧してシャフト12を傾動させることがないので、ローラ21の両側に接する位置にある必要はない。
一方、上記シリンダボディ40内には、以下に詳述するように、上記一対のピストンロッド31,31のそれぞれに対応させた各2対のピストン室44,45を備え、それらのピストン室44,45に選択的に圧力空気を給排して上記シリンダボディ40をピストンロッド31の軸線方向に移動させることにより、上記押圧板41,42及び前記受動ローラ21を介して、前記シャフト12を、図5の(a)〜(c)に示す3位置に位置保持可能に形成している。上記シリンダ装置30による上記受動ローラ21の3位置の位置決めにより、上記第1または第2の弁体7a,7bを、上記第1及び第2の開口3a,3bの一方を選択的に閉じる一方閉位置(図4の(a)及び(b)参照)、及び両開口3a,3bを開いた中立位置(図4の(c)参照)に移動可能にすることができる。
ここで、図5を参照して上記シリンダ装置30の構成及び作用について説明すると、該シリンダ装置30は、上記ハウジング10の内面に固定された一対のピストンロッド31に、それぞれ、シリンダボディ40内の第1ピストン室44に嵌入した小径ピストン32を固定すると共に、該小径ピストン32にロッド部34が当接する遊動可能な大径ピストン35を、上記第1ピストン室44に隣接する第2ピストン室45に収容することにより構成している。
上記シリンダ装置30の動作について説明すると、上記第1及び第2ピストン室44,45における各ピストン32,35のロッド側を第1の圧力室44a,45a、各反対側を第2の圧力室44b,45bとして、上記第1ピストン室44における第2の圧力室44bに圧力空気を供給すると共に、少なくとも第1ピストン室44の第1圧力室44aの圧力空気を排出して、ハウジング10に固定されたピストンロッド31が最長突出状態になる位置までシリンダボディ40を移動させることにより、図4及び図5の各(a)に示すような状態になり、シャフト12の受動ローラ21が押圧板42による押圧を受けてシャフトを傾動させ、中心が図4(a)に鎖線Cで示す中立位置にあったシャフト12が鎖線Dで示す位置まで傾動し、その結果、両面弁体6における上記第1の弁体7aが第1の開口3aを閉じることになる。
また、上記シリンダ装置30の第1ピストン室44における第1圧力室44aに圧力空気を供給すると共に、第2ピストン室45の第2圧力室45bの圧力空気を排出して、ハウジング10に固定されたピストンロッド31が最短突出状態になるまでシリンダボディ40を移動させることにより、図4及び図5の各(b)に示すような状態になって、中心が図4(b)に鎖線Cで示す中立位置にあったシャフト12が鎖線Dで示す位置まで傾動して、上記第2の弁体7bが第2の開口3bを閉じるようになる。
更に、上記シリンダ装置30の上記第2ピストン室45における第2圧力室45b及び第1ピストン室44の第1圧力室44aに圧力空気を供給することにより、第2ピストン室45における大径のピストン35がそのロッド部34を第1ピストン室44にストッパとして突出させ、第1ピストン室44の小径ピストン32が該ストッパに当接することにより、上記シャフト12が中立位置を取るようになり、上記第1及び第2の弁体7a,7bがいずれの開口3a,3bをも閉じない中立位置にあるように、両面弁体6が保持される。
図7は、上記ゲートバルブにおける両面弁体6の昇降シリンダ18、及びシャフト傾動用のシリンダ装置30に対する圧力空気の給排系の構成を示すもので、上述したゲートバルブの各部の構成に対応する部分に他図と同一の符号を付している。これらの給排系を構成する上記各圧力室の各ポートに対する配管のうち、上記昇降シリンダ18についてのものは、該昇降シリンダ18自体がハウジング10内で移動しないものであることから、可撓チューブを介して行う必要がなく、また、シリンダ装置30についても、その給排系が全てシリンダボディ40から導出されるので、該シリンダボディ40に配管ブロック50を設けてそこに給排系をまとめることにより、弁開閉機構を収容するハウジング10内に可撓チューブを設ける必要がなくなり、給排系の処理を故障のない安定的なものとして構成することができる。
なお、図7中の51,52は、上記配管ブロック50に組み込まれたシリンダ装置30の駆動制御用バルブ、53は昇降シリンダ18の駆動制御用バルブ、54,55は給排系の動作の安全を図るためのパイロットチェックバルブを示している。
1 弁体用ボディ
2a,2b ボディ壁
3a 第1の開口
3b 第2の開口
6 両面弁体
7a 第1の弁体
7b 第2の弁体
9 連結板
10 ハウジング
12 シャフト
14 軸受部材
16 ピボット
18 昇降シリンダ
21 受動ローラ
30 シリンダ装置
31 ピストンロッド
40 シリンダボディ
41,42 押圧板
2a,2b ボディ壁
3a 第1の開口
3b 第2の開口
6 両面弁体
7a 第1の弁体
7b 第2の弁体
9 連結板
10 ハウジング
12 シャフト
14 軸受部材
16 ピボット
18 昇降シリンダ
21 受動ローラ
30 シリンダ装置
31 ピストンロッド
40 シリンダボディ
41,42 押圧板
Claims (3)
- 弁体用ボディにおける対向する一対のボディ壁に、真空チェンバーに連通させるべき第1の開口と第2の開口とを設け、それぞれの開口を開閉する第1及び第2の弁体を備えた両面弁体の接離移動により、上記第1及び第2の開口を選択的に閉鎖可能にすると共に、上記一対のボディ壁における第1及び第2の開口を共に開放して、両開口に対面する位置から両面弁体を退避させる退避位置にも切り換え移動可能にした弁開閉機構を備えるゲートバルブにおいて、
上記弁開閉機構を収容するハウジング内で、上記両面弁体に連結したシャフトをその軸線方向移動を許容しない軸受部材により支持させると共に、該軸受部材を、上記シャフトが弁体用ボディ内において対向する上記一対の開口を結ぶ方向に傾動するように、水平配置のピボットにより傾動自在に支持させ、
上記ハウジング内において、上記シャフトの下端に上記ピボットの軸線に平行する軸線をもつ受動ローラを支持させると共に、該受動ローラを介して上記シャフトを傾動させる方向に押圧する傾動用のシリンダ装置を備え、
上記傾動用のシリンダ装置は、上記ハウジングに固定されたピストンロッドに対して摺動自在としたシリンダボディにおける上記受動ローラに対応させて、該ローラの両側に接する押圧板を備え、該シリンダボディ内の複数のピストン室に選択的に圧力空気を給排して上記シリンダボディを移動させることにより、上記押圧板を3位置に保持可能とし、該3位置における上記受動ローラの位置決めにより、上記第1または第2の弁体を上記第1及び第2の開口の一方を選択的に閉じる一方閉位置及び両開口を開いた中立位置に移動可能とし、
上記ピボットをその昇降駆動により両面弁体が上記開口に対面する位置と上記退避位置との間で移動させる昇降シリンダを、上記傾動用のシリンダ装置よりも上位において上記シャフトに沿う位置に該シャフトに対し平行に配設した、
ことを特徴とするゲートバルブ。 - 上記シリンダ装置を、上記ハウジングに固定されたピストンロッドに、シリンダボディ内の第1ピストン室に嵌入した小径ピストンを固定すると共に、該小径ピストンにロッド部が当接する遊動可能な大径ピストンを、上記第1ピストン室に隣接する第2ピストン室に収容することにより構成し、
上記第1及び第2ピストン室における各ピストンのロッド側を第1の圧力室、各反対側を第2の圧力室として、上記第1ピストン室における第2圧力室に圧力空気を供給すると共に、少なくとも第1ピストン室の第1圧力室の圧力空気を排出して、ハウジングに固定されたピストンロッドが最長突出状態になる位置までシリンダボディを移動させることにより、上記第1の弁体が第1の開口を閉じ、また、上記第1ピストン室における第1圧力室に圧力空気を供給すると共に、第2ピストン室の第2圧力室の圧力空気を排出して、ハウジングに固定されたピストンロッドが最短突出状態になるまでシリンダボディを移動させることにより、上記第2の弁体が第2の開口を閉じ、更に、上記第2ピストン室における第2圧力室及び第1ピストン室の第1圧力室に圧力空気を供給することにより、第2ピストン室における大径のピストンがそのロッド部を第1ピストン室にストッパとして突出させ、第1ピストン室の小径ピストンが該ストッパに当接することにより、上記第1及び第2の弁体がいずれの開口をも閉じない中立位置にあるように、両面弁体を移動させるものとした、
ことを特徴とする請求項1に記載のゲートバルブ。 - 上記各圧力室の各ポートを、上記シリンダボディに固定的に設けた配管ブロック内を通して圧力空気の給排源に接続した、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のゲートバルブ。
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