KR20220131163A - 흔들림 방지 기구 부착 게이트 밸브 - Google Patents

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KR20220131163A
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타카시 나가오
히데후미 이케다
Original Assignee
에스엠시 가부시키가이샤
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Abstract

(과제) 밸브판을 개폐 조작할 때의 흔들림을 없애서 동작을 안정시킨다.
(해결 수단) 밸브 샤프트(4)를 에어 실린더(10, 10)에 연결하는 연결 기구(12)에 있어서의 사이드 프레임(21, 21)의 외측면(21a, 21a)과 에어 실린더(10, 10)의 하우징(13, 13)의 내측면(13c, 13c)이 대면하는 대면 부분 및/또는 사이드 프레임(21, 21)의 내측면(21b, 21b)과 센터 프레임(22)의 좌우 양측면(22a, 22a)이 대면하는 대면 부분에 흔들림 방지 기구(36A, 36B)가 설치되고, 이 흔들림 방지 기구(36A, 36B)는 대면하는 2개의 면의 한쪽에 형성된 슬라이딩면(37)과 다른 쪽에 설치된 슬라이딩 부재(38)와, 상기 슬라이딩 부재(38)를 슬라이딩면(37)에 접촉하는 방향으로 압압하는 스프링 기구(39)를 갖는다.

Description

흔들림 방지 기구 부착 게이트 밸브{SHAKE-PREVENTION-MECHANISM-INCLUDING GATE VALVE}
본 발명은 반도체 처리 장치에 있어서의 진공 챔버에 부착되어 상기 진공 챔버의 게이트 개폐에 사용되는 게이트 벨브에 관한 것으로서, 특히, 밸브판의 개폐 동작을 안정화시키기 위한 흔들림 방지 기구를 구비한 게이트 밸브에 관한 것이다.
반도체 처리 장치에 있어서는, 진공 챔버의 게이트 개폐에 특허문헌 1에 개시되어 있는 바와 같은 게이트 밸브가 사용된다. 이 게이트 밸브는 상기 게이트로 통하는 밸브 상자의 개구를 개폐하는 밸브판과, 상기 밸브판에 연결된 밸브 샤프트와, 상기 밸브 샤프트를 통해 상기 밸브판을 개폐 조작하는 조작부를 갖고 있다.
상기 조작부는 상기 밸브 상자의 바닥부에 부착되어 그 중앙부를 상기 밸브 샤프트가 변위 가능하게 관통하는 보닛과, 상기 보닛에 상기 밸브 샤프트를 사이에 두고 서로 평행하게 부착된 2개의 에어 실린더와, 상기 2개의 에어 실린더 사이에 개재하여 상기 2개의 에어 실린더의 로드와 상기 밸브 샤프트를 연결하고, 상기 로드의 진퇴 동작을 상기 밸브 샤프트에 전하는 연결 기구를 갖고 있고, 상기 2개의 에어 실린더에 의해 상기 연결 기구를 통해 상기 밸브 샤프트를 진퇴동(상하동)시킴으로써, 상기 밸브판으로 상기 밸브 상자의 개구를 개폐하는 것이다. 또, 상기 특허문헌 1에 있어서, 상기 연결 기구는 로드 암(24), 캠 프레임(28), 레버 부재(12), 및 압축 스프링(25)으로 이루어진다.
이러한 게이트 밸브에 있어서는, 일반적으로 상기 조작부에 의해 상기 밸브판을 개폐 조작할 때에 상기 2개의 에어 실린더의 하우징과 상기 연결 기구의 캠 프레임과 같은 서로 근접한 상태에서 상대적으로 변위하는 부재 사이에 간극이 있으면, 상기 2개의 에어 실린더의 동기가 제대로 이뤄지지 않음으로써, 상기 연결 기구가 좌우로 흔들려 에어 실린더의 바디에 접촉하고, 상기 밸브 샤프트 및 밸브판이 좌우로 기울거나, 접촉한 부분이 마모하는 등의 문제가 발생하기 쉽다. 이 때문에, 전술한 바와 같은 간극이 있을 경우에는 이 간극을 메움으로써 밸브판의 개폐 동작을 안정화시키는 것이 요구된다.
한편, 특허문헌 2에 개시된 진공용 게이트 밸브는 2개의 에어 실린더의 하우징 본체와, 상기 연결 기구에 닿은 밸브체 개폐 구동체 사이의 간극을 없애기 위해서 상기 밸브체 개폐 구동체의 좌우 양측면에 스러스트 베어링을 부착하고, 이 스러스트 베어링을 상기 하우징 본체의 내측면에 접촉시키게 하고 있다.
그러나 상기 2개의 하우징 본체의 내측면과 상기 밸브체 개폐 구동체의 양측면 사이에 각각 개재하는 간극을, 양쪽의 간극에 정확하게 맞는 두께의 스러스트 베어링에 의해 꽉 메우는 것은 매우 어려우며, 오차에 의한 간극이 생기기 쉽다.
일본 특허공개 2013-96557호 공보 일본 특허공개 2018-71642호 공보
본 발명의 기술적 과제는 밸브 샤프트에 연결된 밸브판을 2개의 에어 실린더를 갖는 조작부에 의해 연결 기구를 통해 개폐 조작하는 게이트 밸브에 있어서, 상기 밸브판을 개폐 조작할 때에 상대적으로 변위하는 부재간의 간극을 없앰으로써, 상기 간극으로 인해 생기는 부재의 흔들림을 없애 상기 밸브판의 개폐 동작을 안정화시키는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 흔들림 방지 기구 부착 게이트 밸브는 밸브 상자의 개구를 개폐하는 밸브판과, 상기 밸브판에 연결된 밸브 샤프트와, 상기 밸브 샤프트를 통해 상기 밸브판을 개폐 조작하는 조작부를 갖고, 상기 조작부는 상기 밸브 샤프트가 변위 가능하게 관통하는 보닛과, 상기 보닛에 상기 밸브 샤프트를 사이에 두고 상기 밸브 샤프트의 중심축과 평행하게 부착된 2개의 에어 실린더와, 상기 2개의 에어 실린더 사이에 개재하여 상기 2개의 에어 실린더의 로드와 상기 밸브 샤프트를 연결하고, 상기 로드의 진퇴 동작을 상기 밸브 샤프트에 전하는 연결 기구를 갖고, 상기 연결 기구는 상기 2개의 에어 실린더의 로드에 연결된 베이스 프레임과, 상기 베이스 프레임에 부착되어 상기 2개의 에어 실린더의 하우징 사이에 배치되고, 상기 하우징을 따라 변위하는 2개의 사이드 프레임과, 상기 밸브 샤프트에 연결되어 상기 2개의 사이드 프레임 사이에 배치되고, 상기 사이드 프레임을 따라 변위하는 센터 프레임을 갖고, 상기 2개의 사이드 프레임의 외측면과 상기 2개의 하우징의 내측면이 각각에 대면하는 2개의 대면 부분, 및 상기 2개의 사이드 프레임의 내측면과 상기 센터 프레임의 좌우 측면이 각각에 대면하는 2개의 대면 부분 중 적어도 하나의 대면 부분에 상기 조작부에서 상기 밸브판을 개폐 조작할 때의 흔들림을 방지하기 위한 흔들림 방지 기구가 하나 또는 복수개 설치되어 있고, 상기 흔들림 방지 기구는 대면하는 2개의 측면의 한쪽에 형성된 슬라이딩면 및 다른 쪽에 설치된 슬라이딩 부재와, 상기 슬라이딩 부재를 상기 슬라이딩면에 접촉하는 방향으로 압압하는 스프링 기구를 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 흔들림 방지 기구는 상기 스프링 기구와 상기 슬라이딩 부재 사이에 개재하여 상기 스프링 기구의 스프링력을 상기 슬라이딩 부재에 전하는 스페이서와, 상기 스페이서를 고정하기 위한 고정 나사를 갖고, 상기 스페이서는 상기 스프링 기구의 스프링력을 상기 슬라이딩 부재에 전하고 상기 슬라이딩 부재를 상기 슬라이딩면에 압착하는 위치에 상기 고정 나사로 고정되어 있어도 된다.
이 경우, 상기 하우징에 수용 구멍이 형성되고, 상기 수용 구멍은 구멍 바닥측의 소경부와, 구멍 입구측의 대경부를 갖고, 상기 소경부 내에 상기 스프링 기구와 상기 스페이서가 수용되고, 상기 대경부 내에 상기 슬라이딩 부재가 수용되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 소경부는 원형을 이루고, 상기 대경부는 상기 중심축 방향으로 가늘고 긴 구멍 형상을 이루고, 상기 스프링 기구는 원환형의 접시 스프링으로 이루어지고, 상기 스페이서는 원기둥 형상을 이루고, 상기 슬라이딩 부재는 상기 중심축 방향으로 가늘고 긴 타원 형상을 하고 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 슬라이딩 부재는 합성 수지로 이루어져 있고, 상기 슬라이딩면에 접촉하는 접촉면을 갖고, 상기 접촉면에 복수개의 그리스 유지 구멍을 갖는 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 상기 흔들림 방지 기구는 상기 2개의 사이드 프레임의 외측면과 2개의 하우징의 내측면이 각각에 대면하는 2개의 대면 부분 중 적어도 한쪽의 대면 부분에 복수개 설치되고, 상기 복수개의 흔들림 방지 기구는 상기 하우징과 사이드 프레임이 상대적으로 변위하는 방향으로 나란히 배치되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 흔들림 방지 기구는 상기 2개의 사이드 프레임의 내측면과 상기 센터 프레임의 좌우 측면이 각각에 대면하는 2개의 대면 부분 중 적어도 한쪽의 대면 부분에 복수개 설치되고, 상기 복수개의 흔들림 방지 기구는 상기 사이드 프레임 및 상기 센터 프레임의 전후 방향의 상이한 위치에 배치되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 밸브판의 개폐 조작 시에 상대적으로 변위하는 부재끼리 대면하는 대면 부분에 흔들림 방지 기구를 설치함과 아울러, 이 흔들림 방지 기구를 상기 대면 부분의 한쪽 측면에 형성된 슬라이딩면 및 다른 쪽 측면에 설치된 슬라이딩 부재와, 상기 슬라이딩 부재를 상기 슬라이딩면에 압착하는 스프링 기구로 구성함으로써, 상기 슬라이딩 부재가 상기 스프링 기구의 스프링력으로 상기 슬라이딩면에 압착되도록 했기 때문에, 상기 대면 부분에 있어서의 양측면간의 간극을 확실히 없애는 것이 가능하게 되어, 그 결과, 상기 간극에 의한 부재의 흔들림을 방지하여 밸브판의 개폐 동작을 안정시킬 수 있었다.
도 1은 본 발명에 따른 게이트 밸브의 일부를 파단하여 나타내는 정면도로서, 밸브판이 개방 위치에 있을 때의 도면이다.
도 2는 도 1의 II-II선을 따른 단면도이다.
도 3은 밸브 상자를 생략한 게이트 밸브의 사시도이다.
도 4는 도 3의 일부를 분해하여 나타내는 사시도이다.
도 5는 밸브판이 중간 위치에 있을 때의 게이트 밸브의 단면도이다.
도 6은 밸브판이 폐쇄 위치에 있을 때의 게이트 밸브의 단면도이다.
도 7은 도 4의 요부를 확대하여 나타내는 사시도이다.
도 8은 도 7의 VIII-VIII선을 따른 단면도이다.
도 9는 연결 기구에 있어서의 센터 프레임의 사시도이다.
도 10은 센터 프레임과 사이드 프레임의 대면 부분에 개재한 흔들림 방지 기구를 나타내는 요부 단면도이다.
도 1 내지 도 10은 본 발명에 따른 흔들림 방지 기구 부착 게이트 밸브를 나타내는 것이다. 이 게이트 밸브는 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 진공 처리 챔버(도시하지 않음)의 게이트에 연통하는 개구(2)를 구비한 밸브 상자(1)와, 상기 밸브 상자(1) 내에 수용되어 상기 개구(2)를 개폐하는 밸브판(3)과, 상기 밸브판(3)에 연결된 밸브 샤프트(4)와, 상기 밸브 샤프트(4)를 통해 상기 밸브판(3)을 개폐 조작하는 조작부(5)를 갖고 있다.
상기 밸브 상자(1)는 좌우로 가늘고 긴 직사각형의 상자로서, 서로 마주하는 전벽(1a) 및 후벽(1b)을 갖고 있고, 상기 전벽(1a) 및 후벽(1b)에 반도체 웨이퍼 등의 피처리물을 출입시키기 위한 상기 개구(2) 및 개구(6)가 형성되어 있다.
상기 개구(2)는 좌우로 가늘고 긴 직사각형 형상을 이루는 것으로, 상기 전벽(1a)의 내면에는 상기 개구(2)의 주변을 둘러싸는 평면 형상을 한 밸브 시트(2a)가 형성되고, 상기 밸브 시트(2a)에 상기 밸브판(3)에 부착된 밸브 시일(3a)이 압착됨으로써, 상기 개구(2)가 폐쇄된다.
상기 밸브판(3)은 도 3으로부터도 명백한 바와 같이, 그 전면(前面)의 외주부에 환 형상의 시일 홈이 형성되고, 상기 시일 홈 내에 O링 등의 탄성재로 이루어지는 환 형상의 상기 밸브 시일(3a)이 부착되어 있다.
상기 밸브 샤프트(4)는 상기 밸브 상자(1)의 바닥부에 고정된 보닛(7)의 중앙부를 상기 밸브 샤프트(4)의 중심축(L) 방향 및 상기 보닛(7)의 전후 방향으로 변위 가능하도록 관통하고, 상기 밸브 샤프트(4)의 상단부는 상기 밸브판(3)의 바닥면 중앙부에 연결되고, 상기 밸브 샤프트(4)의 하단부는 상기 조작부(5)의 위치까지 연장되어 있고, 후술하는 연결 기구(12)의 센터 프레임(22)에 연결되어 있다.
또한, 상기 보닛(7)과 상기 센터 프레임(22)에는 상기 밸브 샤프트(4)의 외주를 기밀하게 둘러싸는 벨로우즈(8)의 상단부와 하단부가 연결되고, 상기 벨로우즈(8)에 의해 상기 밸브 상자(1)의 내부가 외부로부터 차단되어 있다. 상기 벨로우즈(8)는 상기 밸브 샤프트(4)의 상하동에 의해 신축한다.
상기 조작부(5)는 도 4로부터도 명백한 바와 같이, 플레이트 형상을 한 상기 보닛(7)과, 상기 보닛(7)의 하면에 상기 밸브 샤프트(4)를 사이에 두고 상기 중심축(L)과 평행을 이룸과 아울러 서로 평행하도록 부착된 2개의 에어 실린더(10, 10)와, 상기 2개의 에어 실린더(10, 10) 사이에 개재하여 상기 2개의 에어 실린더(10, 10)의 로드(11, 11)와 상기 밸브 샤프트(4)를 연결하고, 상기 로드(11, 11)의 진퇴 동작을 상기 밸브 샤프트(4)에 전하는 상기 연결 기구(12)를 갖고 있다.
상기 2개의 에어 실린더(10, 10)는 실질적으로 동일 구조를 갖는 것으로, 각 에어 실린더(10)는 사각기둥 형상을 한 중공의 하우징(13)을 갖고, 상기 하우징(13)은 상기 조작부(5)의 전방을 향하는 전면(13a)과, 상기 조작부(5)의 후방을 향하는 배면(13b)과, 상기 밸브 샤프트(4) 측을 향하는 내측면(13c)과, 상기 내측면(13c)의 반대측을 향하는 외측면(13d)을 갖고 있다. 따라서, 2개의 에어 실린더(10, 10)의 상기 내측면(13c, 13c)은 상기 밸브 샤프트(4)를 통해 서로 마주보고 있는 것이 된다.
또한, 상기 로드(11)의 선단부는 상기 에어 실린더(10)의 하우징(13)으로부터 하향으로 연장되고, 상기 로드(11)의 기단부는 상기 하우징(13)에 내장된 피스톤(14)에 연결되고, 상기 하우징(13)의 내부에 상기 피스톤(14)의 상면측에 위치하는 제 1 압력실(15a)과, 상기 피스톤(14)의 하면측에 위치하는 제 2 압력실(15b)이 형성되어 있다.
상기 2개의 에어 실린더(10, 10) 중 한쪽의 에어 실린더(10)에 있어서의 하우징(13)의 외측면(13d)에는 2개의 에어 포트(16a, 16b)가 형성되고, 한쪽의 제 1 에어 포트(16a)가 상기 하우징(13) 및 보닛(7)에 형성된 통과 구멍을 통해 2개의 에어 실린더(10, 10)의 상기 제 1 압력실(15a, 15a)에 연통하고, 다른 쪽의 제 2 에어 포트(16b)가 마찬가지로 상기 하우징(13) 및 보닛(7)에 형성된 다른 통과 구멍을 통해 2개의 에어 실린더(10, 10)의 상기 제 2 압력실(15b, 15b)에 연통하고 있다.
그리고 상기 제 1 에어 포트(16a) 및 제 2 에어 포트(16b)를 통해 2개의 에어 실린더(10, 10)의 상기 제 1 압력실(15a, 15a)과 제 2 압력실(15b, 15b)에 압축 공기를 번갈아 급배함으로써, 상기 2개의 에어 실린더(10, 10)가 동기적으로 동작한다. 구체적으로는, 상기 제 1 에어 포트(16a)를 통해 2개의 에어 실린더(10, 10)의 상기 제 1 압력실(15a, 15a)에 압축 공기를 공급함과 아울러, 상기 제 2 에어 포트(16b)를 통해 2개의 에어 실린더(10, 10)의 상기 제 2 압력실(15b, 15b)의 압축 공기를 외부에 배출하면, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 상기 2개의 에어 실린더(10, 10)의 2개의 로드(11, 11)가 동기하여 하강(전진)함으로써, 상기 연결 기구(12)를 통해 상기 밸브 샤프트(4) 및 밸브판(3)이 상기 개구(2)를 전개(全開)로 하는 개방 위치(A)에 하강한다.
한편, 상기 밸브판(3)이 상기 개방 위치(A)에 있는 상태로부터, 상기 제 2 에어 포트(16b)를 통해 2개의 에어 실린더(10, 10)의 상기 제 2 압력실(15b, 15b)에 압축 공기를 공급함과 아울러, 상기 제 1 에어 포트(16a)를 통해 2개의 에어 실린더(10, 10)의 상기 제 1 압력실(15a, 15a)의 압축 공기를 배출하면, 상기 2개의 에어 실린더(10, 10)의 2개의 로드(11, 11)가 동기하여 상승(후퇴)함으로써, 상기 연결 기구(12)를 통해 상기 밸브 샤프트(4) 및 밸브판(3)은 도 5에 나타내는 바와 같이, 상기 밸브판(3)이 상기 밸브 상자(1)의 개구(2)에 간격을 유지하며 대면하고 있지만 아직 상기 개구(2)를 폐쇄하고 있지 않은 상태의 중간 위치(B)를 경유하여, 도 6에 나타내는 바와 같이, 상기 개구(2)를 폐쇄하는 폐쇄 위치(C)까지 변위한다.
다음으로 상기 연결 기구(12)의 구성을 그 작용과 함께 설명한다. 상기 연결 기구(12)는 도 1 내지 도 4에 나타내는 바와 같이, 상기 2개의 에어 실린더(10, 10)의 로드(11, 11)의 선단부간에 걸쳐 놓은 베이스 프레임(20)과, 상기 베이스 프레임(20)의 상면에 기단부가 고정되고, 상기 중심축(L)을 사이에 두고 상기 중심축(L)과 평행함과 아울러 서로 평행하도록 배치된 2개의 사이드 프레임(21, 21)과, 상기 밸브 샤프트(4)의 하단부에 부착되고, 상기 2개의 사이드 프레임(21, 21) 사이에 상기 사이드 프레임(21, 21)에 대하여 상대적으로 변위 가능하게 배치된 상기 센터 프레임(22)과, 상기 센터 프레임(22)과 상기 베이스 프레임(20) 사이에 개재된 코일 형상의 압축 스프링(23)을 갖고 있다.
또, 상기 로드(11, 11)와 베이스 프레임(20)은 도 4에 나타내는 바와 같이, 와셔(24b, 24d) 및 컬러(24c)를 통해 너트(24a)에 의해 연결되어 있다.
상기 2개의 사이드 프레임(21, 21)의 외측면(21a, 21a)은 상기 2개의 에어 실린더(10, 10)의 하우징(13, 13)의 내측면(13c, 13c)에 각각 미소한 간극(G1)을 통해 각각에 대면해 있고, 상기 2개의 에어 실린더(10, 10)의 로드(11, 11)가 상기 밸브판(3)을 상기 개방 위치(A)로부터 상기 중간 위치(B)를 거쳐 상기 폐쇄 위치(C)까지 변위시킴과 더불어, 상기 2개의 사이드 프레임(21, 21)은 상기 하우징(13, 13)의 내측면(13c, 13c)을 따라 도면의 상하 방향으로 변위한다.
상기 2개의 에어 실린더(10, 10)의 상기 하우징(13, 13)의 내측면(13c, 13c)과, 상기 2개의 사이드 프레임(21, 21) 사이에는 각 사이드 프레임(21)이 상기 개방 위치(A)로부터 상기 폐쇄 위치(C)까지 변위할 때에 상기 사이드 프레임(21)을 상기 하우징(13)의 내측면(13c)을 따라 상기 중심축(L)과 평행(도 1의 상하 방향)하게 변위시키기 위한 평행 이동 기구(26)가 각각 형성되어 있다.
상기 평행 이동 기구(26)는 상기 하우징(13)의 내측면(13c)에 상하 방향으로 나란히 부착된 복수개(도면에서는 3개)의 가이드 롤러(27a, 27b, 27c)와, 상기 사이드 프레임(21)에 상하 방향으로 직선적으로 형성된 가이드 홈(28)을 갖고 있다.
상기 3개의 가이드 롤러(27a, 27b, 27c) 중 최하단의 제 1 가이드 롤러(27a) 및 중단의 제 2 가이드 롤러(27b)는 서로 동일한 직경으로서, 상기 가이드 홈(28)의 내부에 감합 가능하고, 최상단의 제 3 가이드 롤러(27c)는 상기 제 1 가이드 롤러(27a) 및 제 2 가이드 롤러(27b)보다 대경인 동시에, 상기 가이드 홈(28)의 홈 폭보다 대경이다.
한편, 상기 가이드 홈(28)은 일정한 홈 폭을 갖고, 상기 가이드 홈(28)의 전면벽(28a) 및 배면벽(28b) 중 배면벽(28b)의 상단부는 상기 사이드 프레임(21)이 중간 위치(B)로부터 폐쇄 위치(C)까지 상승할 때에 대경의 상기 제 3 가이드 롤러(27c)가 충돌하는 것을 방지하기 위해 절제되어 있고, 이 때 상기 제 3 가이드 롤러(27c)는 상기 전면벽(28a)에만 접촉한다.
그러나 상기 3개의 가이드 롤러(27a, 27b, 27c)는 모두 동일한 직경이어도 되고, 이 경우, 상기 가이드 홈(28)의 배면벽(28b)의 상단부는 절제할 필요가 없다.
상기 평행 이동 기구(26)의 작용은 다음과 같다. 즉, 상기 에어 실린더(10, 10)의 로드(11, 11)가 하강하여 밸브판(3)이 도 2의 개방 위치(A)에 있을 때, 각 사이드 프레임(21)도 하강한 위치에 있고, 이 때, 상기 가이드 홈(28) 내에 제 1 가이드 롤러(27a)만이 감합되어 있다.
이 상태로부터, 상기 로드(11, 11)가 상승하여 상기 사이드 프레임(21)이 상승하면, 상기 가이드 홈(28) 내에 상기 제 2 가이드 롤러(27b)도 감합하고, 이들 제 1 가이드 롤러(27a) 및 제 2 가이드 롤러(27b)에 의해 상기 사이드 프레임(21)의 상승이 가이드되기 때문에, 상기 사이드 프레임(21)은 상기 폐쇄 위치(C)에 도달할 때까지 상기 하우징(13)의 내측면(13c)을 따라 상기 중심축(L)과 평행하게 똑바로 상승할 수 있다. 또한, 상기 사이드 프레임(21)이 상기 중간 위치(B)에 도달하면, 상기 제 3 가이드 롤러(27c)가 상기 가이드 홈(28)의 전면벽(28a)에 접촉하기 때문에, 그 후 상기 사이드 프레임(21)은 이 제 3 가이드 롤러(27c)에 의해서도 상승이 가이드된다.
한편, 상기 센터 프레임(22)은 정면에서 봤을 때의 형상이 H자형을 하고 있고, 좌우 측면(22a, 22a)을 갖고, 이 좌우 측면(22a, 22a)이 상기 2개의 사이드 프레임(21, 21)의 내측면(21b, 21b)에 미소한 간극(G2)을 통해 각각에 대면해 있고, 상기 센터 프레임(22)의 중심부에 상기 밸브 샤프트(4)의 기단부가 부착되어 있다. 또한, 상기 센터 프레임(22)의 상단면에는 상기 보닛(7)의 하면의 스토퍼(7a)에 접촉하는 롤러로 이루어지는 접촉부(30)가 형성되어 있다. 그리고 상기 센터 프레임(22)은 상기 로드(11, 11)가 상승하여 상기 밸브판(3)이 상기 개방 위치(A)로부터 상기 폐쇄 위치(C)까지 변위하는 행정 중에서, 상기 중간 위치(B)까지는 상기 베이스 프레임(20), 사이드 프레임(21, 21), 및 상기 압축 스프링(23)과 일체가 되어 상승하지만, 상기 중간 위치(B)에서 상기 접촉부(30)가 상기 보닛(7)의 스토퍼(7a)에 접촉함으로써, 상기 센터 프레임(22)은 이 중간 위치(B)에 정지한다.
그 후, 상기 로드(11, 11)가 더욱 상승하면, 상기 베이스 프레임(20) 및 사이드 프레임(21, 21)이 상기 압축 스프링(23)을 압축하면서 더욱 상승하기 때문에, 상기 센터 프레임(22)은 상기 센터 프레임(22)과 상기 사이드 프레임(21, 21)에 형성된 캠 기구(31)의 작용에 의해, 상기 폐쇄 위치(C)를 향해 상기 중심축(L)에 수직인 방향으로 변위하고, 상기 밸브 샤프트(4)를 통해 상기 밸브판(3)을 상기 개구(2)에 압착하여 상기 개구(2)를 폐쇄한다.
상기 캠 기구(31)는 상기 센터 프레임(22)의 좌우 측면(22a, 22a)에 각각 상하 2개씩 부착된 캠 롤러(32, 32)와, 상기 2개의 사이드 프레임(21, 21)에 각각 상하 2개씩 형성된 캠 홈(33, 33)을 갖고, 상기 캠 홈(33, 33) 내에 상기 캠 롤러(32, 32)가 각각에 감합되어 있다.
상기 캠 홈(33, 33)은 상하 방향으로 곧은 홈이 아니라, 부분적으로 좌우 방향으로 경사져 있기 때문에, 상기 사이드 프레임(21) 및 상기 캠 홈(33, 33)이 상기 센터 프레임(22) 및 캠 롤러(32, 32)에 대하여 상기 중간 위치(B)로부터 상기 폐쇄 위치(C)까지 상승할 때에 상기 캠 홈(33, 33)의 경사를 따라 상기 캠 롤러(32, 32)가 도 5의 우방향으로 밀려 움직여지고, 상기 센터 프레임(22)도 상기 캠 롤러(32, 32)와 동일한 방향으로 변위한다. 그 결과, 상기 밸브 샤프트(4) 및 밸브판(3)이 상기 중간 위치(B)로부터 상기 폐쇄 위치(C)까지 변위하고, 상기 밸브판(3)이 상기 밸브 상자(1)의 개구(2)에 압착되어 상기 개구(2)를 폐쇄한다. 이 때 상기 밸브판(3)에 작용하는 반력은 상기 밸브판(3)으로부터 밸브 샤프트(4), 센터 프레임(22), 및 사이드 프레임(21)을 통해 상기 가이드 롤러(27a, 27b, 27c)에 의해 받아진다.
상기 에어 실린더(10, 10)의 로드(11, 11)를 하강시켜서 상기 밸브판(3)을 상기 폐쇄 위치(C)로부터 개방 위치(A)까지 변위시킬 때는 전술한 경우와 반대의 동작이 행해진다.
또한, 상기 게이트 밸브에는 도 4 및 도 7 내지 도 10에 나타내는 바와 같이, 상기 조작부(5)에서 상기 밸브판(3)을 개폐 조작할 때에 상대적으로 변위하는 부재끼리 대면하는 대면 부분에 대면하는 부재간에 개재하는 간극에 의한 흔들림을 방지하기 위한 흔들림 방지 기구(36A, 36B)가 설치되어 있다. 도시한 예에서는 상기 에어 실린더(10, 10)의 하우징(13, 13)과 상기 사이드 프레임(21, 21)이 대면하는 대면 부분에 복수개의 흔들림 방지 기구(36A)가 개재됨과 아울러, 상기 사이드 프레임(21, 21)과 상기 센터 프레임(22)이 대면하는 대면 부분에도 복수개의 흔들림 방지 기구(36B)가 개재되어 있다.
상기 흔들림 방지 기구(36A)는 도 4, 도 7 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 상기 2개의 하우징(13, 13)의 내측면(13c, 13c)과, 상기 2개의 사이드 프레임(21, 21)의 외측면(21a, 21a)이 각각에 대면하는 2개의 대면 부분에 각각 배치되어 있고, 이 흔들림 방지 기구(36A)에 의해 상기 사이드 프레임(21, 21)이 상기 하우징(13, 13)을 따라 상기 개방 위치(A)로부터 폐쇄 위치(C)까지 변위할 때의 상기 사이드 프레임(21, 21)의 좌우 방향으로의 흔들림, 즉, 상기 간극(G1)(도 1 참조)의 크기가 변화하는 방향으로의 흔들림이 방지된다.
도시한 예에서는 한쪽의 에어 실린더(10)의 하우징(13)의 내측면(13c)과 한쪽의 사이드 프레임(21)의 외측면(21a)의 대면 부분, 및, 다른 쪽의 에어 실린더(10)의 하우징(13)의 내측면(13c)과 다른 쪽의 사이드 프레임(21)의 외측면(21a)의 대면 부분에 각각 2개의 흔들림 방지 기구(36A, 36A)가 설치되어 있다.
상기 흔들림 방지 기구(36A)는 상기 사이드 프레임(21)의 외측면(21a)에 형성된 평탄한 슬라이딩면(37)과, 상기 하우징(13)의 내측면(13c)에 설치된 슬라이딩 부재(38)와, 상기 슬라이딩 부재(38)를 상기 슬라이딩면(37)에 접촉하는 방향으로 압압하는 스프링 기구(39)와, 상기 스프링 기구(39)와 상기 슬라이딩 부재(38) 사이에 개재하는 스페이서(40)를 갖고 있다.
상기 슬라이딩 부재(38), 스페이서(40), 및 스프링 기구(39)는 상기 하우징(13)의 내측면(13c)에 형성된 수용 구멍(41) 내에 수용되어 있다. 상기 수용 구멍(41)은 구멍 바닥측의 소경부(41a)와, 구멍 입구측의 대경부(41b)를 갖고, 상기 소경부(41a)는 원형을 이루고, 상기 대경부(41b)는 상기 중심축(L) 방향으로 가늘고 긴 구멍 형상을 이루고 있고, 상기 대경부(41b)의 깊이는 상기 소경부(41a)의 깊이보다 얕다. 그리고 상기 소경부(41a) 내에 원환형의 접시 스프링으로 이루어지는 상기 스프링 기구(39)와, 짧은 원기둥 형상을 한 상기 스페이서(40)가 수용되고, 상기 대경부(41b) 내에 판 형상을 한 상기 슬라이딩 부재(38)가 수용되어 있다.
상기 슬라이딩 부재(38)는 슬라이딩성이 뛰어난 합성 수지로 형성하는 것이 바람직하고, 또한, 상기 슬라이딩 부재(38)의 외면 즉 상기 슬라이딩면(37)에 접촉하는 접촉면(38a)에 그리스를 충전하여 유지시키기 위한 그리스 유지 구멍(42)이 상기 슬라이딩 부재(38)의 길이 방향으로 복수개(도시예에서는 2개)가 나란히 형성되어 있는 것이 바람직하다.
그러나 상기 슬라이딩 부재(38)는 금속으로 형성할 수도 있다. 이 경우, 상기 스페이서(40)도 금속제로 함으로써, 이들 슬라이딩 부재(38)와 스페이서(40)를 일체로 형성할 수 있다.
상기 2개의 흔들림 방지 기구(36A, 36A)는 상기 사이드 프레임(21)의 외측면(21a)이 상기 하우징(13)의 내측면(13c)과 항상 대면하는 부분, 즉, 상기 사이드 프레임(21)이 도 1의 개방 위치(A)에 하강했을 때에도 상기 하우징(13)의 내측면(13c)과 대면하는 부분에 상기 사이드 프레임(21)과 상기 하우징(13)이 상대적으로 변위하는 방향인 상하 방향으로 나란히 배치되어 있다.
또한, 상기 하우징(13)의 전면(13a)에는 상기 흔들림 방지 기구(36A)의 상기 스페이서(40)와 대응하는 위치에 나사 구멍(44)이 형성되고, 상기 나사 구멍(44) 내에 상기 스페이서(40)를 고정하기 위한 고정 나사(43)가 공구에 의한 회전 조작으로 진퇴동 가능하게 부착되어 있다. 이 고정 나사(43)는 육각 구멍이 형성된 나사로서, 다음과 같이 조작된다.
우선, 상기 조작부(5)의 조립에 있어서 상기 연결 기구(12)를 상기 2개의 에어 실린더(10, 10) 사이에 배치할 때에는 상기 슬라이딩 부재(38)를 상기 수용 구멍(41) 내에 강하게 밀어 넣음으로써, 상기 스페이서(40)를 통해 상기 스프링 기구(39)(접시 스프링)를 편평 상태로 강하게 누르고, 그 상태에서 상기 고정 나사(43)를 죄어 상기 스페이서(40)를 그 위치에 고정한다. 이에 따라, 상기 수용 구멍(41)으로부터 돌출하는 슬라이딩 부재(38)의 돌출량이 적어지기 때문에, 상기 연결 기구(12)를 상기 2개의 에어 실린더(10, 10) 사이에 원활하게 배치할 수 있다.
또, 상기 스페이서(40)의 측면의 일부에 평면부를 형성하고, 이 평면부의 위치에 상기 고정 나사(43)의 선단을 접촉시키게 할 수도 있다.
다음으로, 상기 연결 기구(12)의 배치가 종료되면, 상기 고정 나사(43)를 일단 풀러서 상기 스프링 기구(39)를 복원시킨다. 그렇게 함으로써, 상기 스프링 기구(39)의 스프링력에 의해 상기 스페이서(40)를 통해 상기 슬라이딩 부재(38)가 눌러져, 상기 슬라이딩 부재(38)의 접촉면(38a)이 상기 사이드 프레임(21)의 슬라이딩면(37)에 접촉하기 때문에, 상기 에어 실린더(10)의 하우징(13)의 내측면(13c)과 상기 사이드 프레임(21) 사이의 간극(G1)은 상기 슬라이딩 부재(38)에 의해 메워지게 된다. 그리하여 상기 고정 나사(43)를 다시 죄어 상기 스페이서(40)를 그 위치에 고정함으로써, 상기 슬라이딩 부재(38)를, 상기 슬라이딩 부재(38)와 상기 사이드 프레임(21) 사이의 간극(G1)이 정확하게 0이 되는 위치에 고정할 수 있으며, 그 상태로 상기 게이트 밸브는 사용된다.
한편, 상기 흔들림 방지 기구(36B)는 도 1, 도 9 및 도 10으로부터 알 수 있는 바와 같이, 상기 센터 프레임(22)의 좌우 측면(22a, 22a)과, 상기 2개의 사이드 프레임(21, 21)의 내측면(21b, 21b)이 각각에 대면하는 대면 부분에 각각 복수개 배치되어 있고, 이 흔들림 방지 기구(36B)에 의해 상기 사이드 프레임(21, 21)과 상기 센터 프레임(22)이 상기 중간 위치(B)로부터 폐쇄 위치(C)까지 상대적으로 변위할 때의 흔들림이 방지된다.
도시한 예에서는 한쪽의 사이드 프레임(21)의 내측면(21b)과 상기 센터 프레임(22)의 한쪽 측면(22a)의 대면 부분, 및, 다른 쪽의 사이드 프레임(21)의 내측면(21b)과 상기 센터 프레임(22)의 다른 쪽 측면(22a)의 대면 부분에 각각 3개의 흔들림 방지 기구(36B)가 서로의 위치를 상기 센터 프레임(22)의 전후 방향으로 어긋나게 한 상태로 배치되어 있다.
상기 흔들림 방지 기구(36B)는 상기 흔들림 방지 기구(36A)와 실질적으로 동일한 구성을 갖는 것으로, 상기 사이드 프레임(21)의 내측면(21b)에 형성된 평탄한 슬라이딩면(37)과, 상기 센터 프레임(22)의 측면(22a)에 설치된 슬라이딩 부재(38)와, 상기 슬라이딩 부재(38)를 상기 슬라이딩면(37)에 접촉하는 방향으로 압압하는 스프링 기구(39)와, 상기 스프링 기구(39)와 상기 슬라이딩 부재(38) 사이에 개재하는 스페이서(40)를 갖고 있고, 상기 슬라이딩 부재(38), 스페이서(40), 및 스프링 기구(39)는 상기 센터 프레임(22)의 측면(22a)에 형성된 수용 구멍(41) 내에 수용되어 있다.
또, 상기 흔들림 방지 기구(36B)의 슬라이딩 부재(38)에는 상기 흔들림 방지 기구(36A)의 슬라이딩 부재(38)에 형성되어 있는 그리스 유지 구멍(42)이 형성되어 있지 않지만, 이러한 그리스 유지 구멍(42)을 형성할 수도 있다.
이와 같이 하여, 상기 에어 실린더(10, 10)의 하우징(13, 13)의 내측면(13c, 13c)과 상기 사이드 프레임(21, 21)의 외측면(21a, 21a)의 대면 부분, 및, 상기 사이드 프레임(21, 21)의 내측면(21b, 21b)과 상기 센터 프레임(22)의 측면(22a, 22a)의 대면 부분에 상기 흔들림 방지 기구(36A, 36B)를 각각 설치함으로써, 상기 조작부(5)에서 밸브판(3)을 개폐 조작할 때에 상기 사이드 프레임(21, 21) 및 센터 프레임(22)의 좌우 방향으로의 흔들림을 확실히 없애서 상기 밸브판(3)의 개폐 동작을 안정화시킬 수 있다.
또, 전술한 실시형태에서는 상기 스페이서(40)를 상기 스프링 기구(39)로부터의 스프링력을 상기 슬라이딩 부재(38)에 전하고 상기 슬라이딩 부재(38)를 상기 슬라이딩면(37)에 압착하는 위치에 상기 고정 나사(43)로 고정하고 있지만, 상기 스페이서(40)를 상기 고정 나사(43)로 고정하지 않고, 상기 고정 나사(43)를 푼 상태로 유지해둠으로써, 상기 스프링 기구(39)의 스프링력이 상기 스페이서(40)를 통해 상기 슬라이딩 부재(38)에 항상 작용하고 있는 상태로 할 수도 있다. 이 경우, 상기 고정 나사(43)는 진동이나 충격 등에 의해 탈락하지 않도록 해 두는 것이 필요하며, 경우에 따라서는 상기 고정 나사(43)를 생략할 수도 있다.
또한, 도시한 실시형태에서는 2개의 에어 실린더(10, 10)의 하우징(13, 13)의 내측면(13c, 13c)과 2개의 사이드 프레임(21, 21)의 외측면(21a, 21a)의 대면 부분에 각각 복수개의 흔들림 방지 기구(36A)를 설치함과 아울러, 2개의 사이드 프레임(21, 21)의 내측면(21b, 21b)과 센터 프레임(22)의 좌우 측면(22a, 22a)의 대면 부분에 각각 복수개의 흔들림 방지 기구(36B)를 설치하고 있지만, 상기 흔들림 방지 기구(36A 및 36B)를 각 대면 부분에 각각 하나만 설치하는 것도, 상기 흔들림 방지 기구(36A)만 또는 상기 흔들림 방지 기구(36B)만을 설치하는 것도 가능하다.
혹은 한쪽의 에어 실린더(10)의 하우징(13)의 내측면(13c)과 한쪽의 사이드 프레임(21)의 외측면(21a) 사이의 간극이 무시할 수 있을 정도로 작은 경우에는 다른 쪽의 에어 실린더(10)의 하우징(13)의 내측면(13c)과 다른 쪽의 사이드 프레임(21)의 외측면(21a)의 대면 부분에만 하나 또는 복수개의 흔들림 방지 기구(36A)를 설치해도 된다.
마찬가지로, 한쪽의 사이드 프레임(21)의 내측면(21b)과 센터 프레임(22)의 한쪽 측면(22a)의 대면 부분의 간극이 무시할 수 있을 정도로 작은 경우에도 다른 쪽의 사이드 프레임(21)의 내측면(21b)과 센터 프레임(22)의 다른 쪽 측면(22a)의 대면 부분에만 하나 또는 복수개의 흔들림 방지 기구(36B)를 설치해도 된다.
또한, 상기 흔들림 방지 기구(36A, 36B)의 스프링 기구(39)는 도시한 예에서는 접시 스프링으로 형성되어 있지만, 코일 스프링이나 고무 탄성체에 의해 형성할 수도 있고, 혹은 압축 공기를 사용할 수도 있다.
또한, 상기 흔들림 방지 기구(36A)에 있어서는, 상기 수용 구멍(41), 스프링 기구(39), 스페이서(40) 및 슬라이딩 부재(38)가 상기 하우징(13)에 형성되고, 상기 슬라이딩면(37)이 상기 사이드 프레임(21)에 형성되어 있지만, 그 반대로 상기 수용 구멍(41), 스프링 기구(39), 스페이서(40) 및 슬라이딩 부재(38)가 상기 사이드 프레임(21)에 형성되고, 상기 슬라이딩면(37)이 상기 하우징(13)에 형성되어 있어도 된다.
상기 흔들림 방지 기구(36B)에 있어서도 마찬가지로, 상기 수용 구멍(41), 스프링 기구(39), 스페이서(40) 및 슬라이딩 부재(38)가 상기 사이드 프레임(21)에 형성되고, 상기 슬라이딩면(37)이 상기 센터 프레임(22)에 형성되어 있어도 된다.
또한, 상기 게이트 밸브는 상기 밸브 샤프트(4) 및 밸브판(3)이 개방 위치(A)로부터 중간 위치(B)까지는 평행 이동 기구(26)의 작용으로 중심축(L)에 대하여 평행하게 이동하고, 상기 중간 위치(B)로부터 폐쇄 위치(C)까지는 수직 이동 기구(31)의 작용으로 상기 중심축(L)에 대하여 수직으로 이동하지만, 본 발명은 상기 밸브 샤프트(4) 및 밸브판(3)이 상기 개방 위치(A) 또는 중간 위치(B)로부터 폐쇄 위치(C)를 향해 비스듬히 변위하는 타입의 게이트 밸브에도 적용할 수 있다.
1 밸브 상자
2 개구
3 밸브판
4 밸브 샤프트
5 조작부
7 보닛
10 에어 실린더
11 로드
12 연결 기구
13 하우징
13c 내측면
20 베이스 프레임
21 사이드 프레임
21a 외측면
21b 내측면
22 센터 프레임
22a 측면
36A, 36B 흔들림 방지 기구
37 슬라이딩면
38 슬라이딩 부재
38a 접촉면
39 스프링 기구
40 스페이서
41 수용 구멍
41a 소경부
41b 대경부
42 그리스 유지 구멍
43 고정 나사
L 중심축

Claims (7)

  1. 밸브 상자의 개구를 개폐하는 밸브판과, 상기 밸브판에 연결된 밸브 샤프트와, 상기 밸브 샤프트를 통해 상기 밸브판을 개폐 조작하는 조작부를 갖고,
    상기 조작부는 상기 밸브 샤프트가 변위 가능하게 관통하는 보닛과, 상기 보닛에 상기 밸브 샤프트를 사이에 두고 상기 밸브 샤프트의 중심축과 평행하게 부착된 2개의 에어 실린더와, 상기 2개의 에어 실린더 사이에 개재하여 상기 2개의 에어 실린더의 로드와 상기 밸브 샤프트를 연결하고, 상기 로드의 진퇴 동작을 상기 밸브 샤프트에 전하는 연결 기구를 갖고,
    상기 연결 기구는 상기 2개의 에어 실린더의 로드에 연결된 베이스 프레임과, 상기 베이스 프레임에 부착되어 상기 2개의 에어 실린더의 하우징 사이에 배치되고, 상기 하우징을 따라 변위하는 2개의 사이드 프레임과, 상기 밸브 샤프트에 연결되어 상기 2개의 사이드 프레임 사이에 배치되고, 상기 사이드 프레임을 따라 변위하는 센터 프레임을 갖고,
    상기 2개의 사이드 프레임의 외측면과 상기 2개의 하우징의 내측면이 각각에 대면하는 2개의 대면 부분, 및, 상기 2개의 사이드 프레임의 내측면과 상기 센터 프레임의 좌우 측면이 각각에 대면하는 2개의 대면 부분 중 적어도 하나의 대면 부분에 상기 조작부에서 상기 밸브판을 개폐 조작할 때의 흔들림을 방지하기 위한 흔들림 방지 기구가 하나 또는 복수개 설치되어 있고,
    상기 흔들림 방지 기구는 대면하는 2개의 측면의 한쪽에 형성된 슬라이딩면 및 다른 쪽에 설치된 슬라이딩 부재와, 상기 슬라이딩 부재를 상기 슬라이딩면에 접촉하는 방향으로 압압하는 스프링 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 흔들림 방지 기구 부착 게이트 밸브.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 흔들림 방지 기구는 상기 스프링 기구와 상기 슬라이딩 부재 사이에 개재하여 상기 스프링 기구의 스프링력을 상기 슬라이딩 부재에 전하는 스페이서와, 상기 스페이서를 고정하기 위한 고정 나사를 갖고, 상기 스페이서는 상기 스프링 기구의 스프링력을 상기 슬라이딩 부재에 전하고 상기 슬라이딩 부재를 상기 슬라이딩면에 압착하는 위치에 상기 고정 나사로 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 흔들림 방지 기구 부착 게이트 밸브.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 하우징에 수용 구멍이 형성되고, 상기 수용 구멍은 구멍 바닥측의 소경부와, 구멍 입구측의 대경부를 갖고, 상기 소경부 내에 상기 스프링 기구와 상기 스페이서가 수용되고, 상기 대경부 내에 상기 슬라이딩 부재가 수용되어 있는 것을 특징으로 하는 흔들림 방지 기구 부착 게이트 밸브.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 소경부는 원형을 이루고, 상기 대경부는 상기 중심축 방향으로 가늘고 긴 구멍 형상을 이루고,
    상기 스프링 기구는 원환형의 접시 스프링으로 이루어지고, 상기 스페이서는 원기둥 형상을 이루고, 상기 슬라이딩 부재는 상기 중심축 방향으로 가늘고 긴 타원 형상을 하고 있는 것을 특징으로 하는 흔들림 방지 기구 부착 게이트 밸브.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 슬라이딩 부재는 합성 수지로 이루어져 있고, 상기 슬라이딩면에 접촉하는 접촉면을 갖고, 상기 접촉면에 복수개의 그리스 유지 구멍을 갖는 것을 특징으로 하는 흔들림 방지 기구 부착 게이트 밸브.
  6. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 흔들림 방지 기구는 상기 2개의 사이드 프레임의 외측면과 2개의 하우징의 내측면이 각각에 대면하는 2개의 대면 부분 중 적어도 한쪽의 대면 부분에 복수개 설치되고, 상기 복수개의 흔들림 방지 기구는 상기 하우징과 사이드 프레임이 상대적으로 변위하는 방향으로 나란히 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 흔들림 방지 기구 부착 게이트 밸브.
  7. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 흔들림 방지 기구는 상기 2개의 사이드 프레임의 내측면과 상기 센터 프레임의 좌우 측면이 각각에 대면하는 2개의 대면 부분 중 적어도 한쪽의 대면 부분에 복수개 설치되고, 상기 복수개의 흔들림 방지 기구는 상기 사이드 프레임 및 상기 센터 프레임의 전후 방향의 상이한 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 흔들림 방지 기구 부착 게이트 밸브.

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