CN111379877A - 低噪声门阀 - Google Patents

Abstract

一种低噪声门阀，使阀板进行开闭动作的一对气缸具有头侧空气缓冲垫机构及杆侧空气缓冲垫机构，头侧空气缓冲垫机构具有将头侧压力室与头侧主流路并列地连结的头侧连通路及头侧节流流路和隔断机构，该头侧连通路及头侧节流流路将头侧压力室与头侧主流路并列地连结，该隔断机构在活塞接近后退行程端时将头侧连通路隔断，杆侧空气缓冲垫机构具有杆侧连通路及杆侧节流流路和隔断机构，该杆侧连通路及杆侧节流流路将杆侧压力室与杆侧主流路并列地连结，该隔断机构在活塞接近前进行程端时将杆侧连通路隔断。

Description

低噪声门阀

技术领域

本发明涉及一种门阀，该门阀安装在半导体处理装置中的真空腔中，用于通往该真空腔的门开口的开闭，更加详细地说，涉及一种开闭上述门开口时的噪声少的低噪声门阀。

背景技术

在半导体处理装置中，通往真空腔的门开口的开闭，例如使用在专利文献1中公开的门阀。此门阀具有对门开口进行开闭的阀板、与该阀板连结的阀轴和经该阀轴对上述阀板进行开闭操作的一对气缸，由该一对气缸经上述阀轴使上述阀板升降，由该阀板对上述门进行开闭。

更加具体地说，通过使上述一对气缸的活塞前进后退，经上述阀轴使上述阀板移动到该阀板处于下降了的位置地使上述门开口成为全开的全开位置；上述阀板处于上升了的位置地与上述门开口相向但未将该门开口封闭的中间位置；和上述阀板移动到上述门开口侧而将该门开口堵塞的密闭位置。

然而，在上述公知的门阀中，当上述阀板处于上述全开位置时，上述活塞处于前进行程端而与缸壳体的一方的端壁抵接，另外，当上述阀板处于上述密闭位置时，上述活塞处于后退行程端而与缸壳体的另一方的端壁抵接，因此，每当上述阀板反复进行开闭动作时，存在上述活塞与前进行程端及后退行程端的端壁碰撞而产生碰撞声这样的问题。

因此，为了使由上述活塞产生的碰撞声减少而实现噪声少的作业环境，希望出现具备难以产生上述碰撞声的构造的新的门阀。

在先技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2015-215009号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的课题是，提供一种在由阀板进行的门开口的开闭时可以利用空气缓冲垫效果有效地使得通过气缸的活塞与行程端碰撞产生的碰撞声降低的具有合理的设计构造的门阀。

为了解决课题的技术手段

为了解决上述课题，本发明是一种低噪声门阀，其中，具有开闭门开口的阀板；将前端与该阀板连结的阀轴；和经该阀轴使所述阀板进行开闭动作的驱动机构，

所述驱动机构具有所述阀轴自由位移地贯通的阀帽；隔着所述阀轴相互平行地安装在该阀帽上的左右一对气缸；和将空气相对于该一对气缸进行供给排出的头侧端口及杆侧端口，所述气缸具有固定在所述阀帽上的缸壳体；前进后退自由地收容在该缸壳体的内部的活塞；将基端与该活塞连结，前端向所述缸壳体的外部突出的驱动杆；和形成在所述活塞的一面侧及另一面侧的头侧压力室及杆侧压力室，

所述头侧压力室通过形成在所述缸壳体及阀帽上的头侧主流路与所述头侧端口连通，所述杆侧压力室通过形成在所述缸壳体及阀帽上的杆侧主流路与所述杆侧端口连通，所述阀轴的基端部经轴支承机构支承在所述一对气缸的驱动杆上，所述阀板由所述活塞及驱动杆的前进行程移动到将所述门开口开放的位置，所述阀板由所述活塞及驱动杆的后退行程移动到将所述门开口封闭的位置，

所述气缸还具有头侧空气缓冲垫机构及杆侧空气缓冲垫机构，该头侧空气缓冲垫机构及杆侧空气缓冲垫机构缓和由所述阀板开闭门开口时的冲击，所述头侧空气缓冲垫机构具有头侧连通路及头侧节流流路和隔断机构，该头侧连通路及头侧节流流路将所述头侧压力室和头侧主流路并列地连结；该隔断机构当后退的所述活塞接近后退行程端时将所述头侧连通路隔断，所述杆侧空气缓冲垫机构具有杆侧连通路及杆侧节流流路和隔断机构，该杆侧连通路及杆侧节流流路将所述杆侧压力室和杆侧主流路并列地连结；该隔断机构当前进的所述活塞接近前进行程端时将所述杆侧连通路隔断。

在本发明中也可以是，所述头侧空气缓冲垫机构的隔断机构具有从所述头侧压力室的端壁向该头侧压力室内突出的头侧缓冲垫轴；以在所述活塞接近后退行程端时所述头侧缓冲垫轴进行嵌合的方式形成在该活塞上的凹状的头侧缓冲垫孔；和将该头侧缓冲垫孔的内周和所述头侧缓冲垫轴的外周之间密封的头侧缓冲垫填料，在所述头侧缓冲垫轴的内部形成了所述头侧连通路，所述杆侧空气缓冲垫机构的隔断机构具有形成在所述杆侧压力室的端壁上的凹状的杆侧缓冲垫孔；在所述活塞接近前进行程端时嵌合在该杆侧缓冲垫孔内的杆侧缓冲垫轴；和将所述杆侧缓冲垫孔的内周和该杆侧缓冲垫轴的外周之间密封的杆侧缓冲垫填料，由所述杆侧缓冲垫孔形成了所述杆侧连通路。

在此情况下，优选为，所述头侧缓冲垫填料被形成为，将从所述头侧压力室朝向头侧缓冲垫孔的空气的流动隔断，但容许从头侧缓冲垫孔朝向头侧压力室的空气的流动，所述杆侧缓冲垫填料被形成为，将从所述杆侧压力室朝向杆侧缓冲垫孔的空气的流动隔断，但容许从杆侧缓冲垫孔朝向杆侧压力室的空气的流动。

另外，在本发明中，所述一对气缸中的头侧空气缓冲垫机构的全部头侧连通路及头侧节流流路与所述头侧主流路连通，所述一对气缸中的杆侧空气缓冲垫机构的全部杆侧连通路及杆侧节流流路与所述杆侧主流路连通，由此，所述一对气缸中的头侧空气缓冲垫机构彼此及杆侧空气缓冲垫机构彼此相互同步地动作。

进而，在本发明中，优选为，所述活塞及阀板具有该阀板使所述门开口成为全开的全开位置；该阀板与所述门开口相向但不封闭该门开口的中间位置；和该阀板将所述门开口密闭的密闭位置，所述头侧空气缓冲垫机构的隔断机构在所述活塞从所述全开位置经过中间位置移动到密闭位置的所述后退行程中在该活塞到达所述中间位置之前隔断所述头侧连通路，所述杆侧空气缓冲垫机构的隔断机构在所述活塞从所述密闭位置经过中间位置移动到全开位置的所述前进行程中在该活塞通过所述中间位置之后隔断所述杆侧连通路。

在此情况下，优选为，所述头侧空气缓冲垫机构的隔断机构，在所述活塞过了后退行程的中间点而直到到达所述中间位置位置的期间，隔断所述头侧连通路。

另外，优选为，在所述阀帽上设置了空气阻尼器，该空气阻尼器是在所述阀板从全开位置移动到中间位置时所述轴支承机构缓冲性地抵接的空气阻尼器，所述空气阻尼器具有形成在所述阀帽上的阻尼器室；固定性地收容在该阻尼器室的内部的缓冲垫部件；以使基端与所述缓冲垫部件相向并且使前端向所述阀帽的外部突出的姿势滑动自由地收容在所述阻尼器室的内部的阻尼器杆；和形成在该阻尼器杆和所述缓冲垫部件之间的阻尼器压力室，该阻尼器压力室与所述杆侧主流路连通。

另外，也可以在所述气缸上设置了用于将所述阀板锁定在密闭位置的第一锁定机构和用于将所述阀板锁定在全开位置的第二锁定机构。

发明的效果

在本发明的门阀中，在由阀板进行的门开口的开闭时，因为一对气缸的活塞在前进行程及后退行程的双方由空气缓冲垫机构减速，以缓慢的动作缓冲性地与行程端抵接而停止，所以可降低碰撞声的产生。

附图说明

图1是表示本发明涉及的门阀的正面图，是将阀箱局部剖切地表示阀板处于全开位置时的状态的图。

图2是表示图1的沿II-II线的剖视图。

图3是表示上述阀板从图1的状态移动到中间位置时的状态的上述门阀的正面图。

图4是表示图3的沿IV-IV线的剖视图。

图5是表示上述阀板从图3的状态移动到密闭位置时的状态的上述门阀的正面图。

图6是表示图5的沿VI-VI线的剖视图。

图7是将局部示意化地表示一对气缸的构造和空气流路的对该气缸的配置的剖视图。

图8是表示将图7中的一对气缸的一方放大表示的剖视图，是表示上述阀板处于全开位置时的上述气缸的动作位置的图。

图9是表示在图8中的形成在头侧节流流路上的节流部的实际的构造的放大剖视图。

图10是表示上述阀板从图7的状态移动到中间位置时的上述气缸的动作位置的剖视图。

图11是表示上述阀板从图10的状态移动到密闭位置时的上述气缸的动作位置剖视图。

图12是表示将图7中的空气阻尼器部的部分放大表示的主要部分放大图。

图13是表示图2中的沿XIII-XIII线的放大剖视图。

图14是表示图6中的沿XIV-XIV线的放大剖视图。

图15是在本发明涉及的门阀中将在阀板的开闭时产生的噪声与活塞的前进时及后退时的行程关联地表示的线图。

图16是在公知的门阀中将在阀板的开闭时产生的噪声与活塞的前进时及后退时的行程关联地表示的线图。

具体实施方式

如图1至图6所示，本发明涉及的门阀具有具备与未图示的真空处理腔连通的门开口2的空心的阀箱1；收容在该阀箱1内，对上述门开口2进行开闭的阀板3；将上述阀板3固定性地安装在前端的圆柱状的阀轴4；和经该阀轴4使上述阀板3进行开闭动作的驱动机构5。

上述驱动机构5具有上述阀轴4自由位移地贯通的阀帽6；隔着上述阀轴4相互平行地安装于该阀帽6的左右一对气缸7A、7B；从该一对气缸7A、7B分别向下延伸的驱动杆8；和安装在该驱动杆8的前端部的轴支承机构9。

上述轴支承机构9由第一块11和第二块12构成，该第一块11固定在上述驱动杆8的前端部，该第二块12由连结部件13以可相对地位移的方式与该第一块11连结，该连结部件13由弹性体构成，上述阀轴4的基端部固定于该第二块12。

而且，上述门阀通过由上述一对气缸7A、7B使上述驱动杆8前进(下降)及后退(上升)，由上述轴支承机构9使上述阀轴4下降及上升，由此使上述阀板3向全开位置P1、中间位置P2和密闭位置P3移动，该全开位置P1是如图1及图2所示的那样该阀板3处于下降位置地使上述门开口2成为全开的全开位置；该中间位置P2是如图3及图4所示的那样上述阀板3上升而与上述门开口2相向但从该门开口2离开的位置；该密闭位置P3是如图5及图6所示的那样上述阀板3通过将阀密封件14推到上述门开口2的周围的阀座15上将该门开口2密闭的密闭位置。

上述阀板3形成为在左右方向长的大致矩形的板状，在其一方的面的外周部形成了环状的密封槽，由O型圈等的弹性件构成的环状的上述阀密封件14以使其一部分从上述密封槽突出的状态安装在该密封槽内。

另外，上述阀箱1具有相对的前壁1a及后壁1b，在上述前壁1a上开设了上述门开口2，在上述后壁1b中的高度与上述门开口2相同的位置，开设了形状和大小与该门开口2大致相同的后部开口2a。

上述门开口2所与上述阀板3同样地在左右方向长的大致矩形，形成得比该阀板3稍小。而且，在上述前壁1a的内面中的上述门开口2的外周部，以将该门开口2包围的方式设置了由平坦面构成的环状的上述阀座15，通过上述阀密封件14与上述阀板3的移动相伴地与该阀座15接近和离开，开闭该门开口2。

上述阀帽6气密地固定于上述阀箱1的底壁，上述阀轴4以可在形成在上述底壁及阀帽6上的贯通孔16内，以可在该阀轴4的轴线L1方向及与该轴线L1垂直的方向(即，相对于上述阀座15垂直的方向)位移的方式穿插了上述阀轴4。

上述阀轴4与上述贯通孔16相比在阀箱1的外侧，由伴随该阀轴4的向轴线L1方向的移动进行伸缩的筒状的波纹管17覆盖。该波纹管17的一端以包围上述贯通孔16的方式固定于阀帽6的外面上，另一端气密地固定在上述第二块12上。

上述一对气缸7A、7B在隔着上述阀轴4相互相向的位置各设置了一个。这些气缸7A、7B具有呈棱柱状的空心的缸壳体20，在使该缸壳体20的内侧壁20a与上述第一块11的侧面的凸轮框架27相向的状态下，沿轴线L2垂直地固定在上述阀帽6的下面上。因此，上述驱动杆8沿上述轴线L2升降。

此外，在本实施方式中，上述缸壳体20的上述内侧壁20a兼作用于安装后述的导向辊33a、33b、33c、33d的辊框架。因此，在以下的说明中，有时也将上述内侧壁20a称作“辊框架20a”。但是，此辊框架20a只要存在与上述气缸7A、7B的缸壳体20固定性的关系即可，例如，也能与上述缸壳体20分体地形成而固定在该缸壳体20上。

如从图7明确的那样，在上述一对气缸7A、7B中的一方的气缸7A中的缸壳体20的外侧面上，设置了头侧端口21与杆侧端口22，通过从这些头侧端口21及杆侧端口22向上述一对气缸7A、7B供给和排出压缩空气，上述缸壳体20内的活塞23前进(下降)及后退(上升)，上述驱动杆8前进(下降)及后退(上升)。

此外，至于上述气缸7A、7B的构造及空气流路的配置等，将在后文中详细叙述。

上述轴支承机构9的第一块11，由支承基板26和左右一对上述凸轮框架27构成，该支承基板26架设在上述一对气缸7A、7B的驱动杆8、8的前端部间；该左右一对上述凸轮框架27将基端部固定于该支承基板26，呈向上且与上述轴线L2平行地延伸的板状，该凸轮框架27位于上述第二块12与上述气缸7A、7B的内侧壁20a之间。

上述支承基板26形成为在左右方向长的板状，经上述第二块12配置在与上述阀帽6相反侧，与该阀帽6平行地延伸。另外，在上述支承基板26的与上述第二块12相向的面上形成了凹状的弹簧座28，在该弹簧座28与第二块12之间夹设了构成上述连结部件13的压缩弹簧。因此，在以下的说明中，将上述连结部件称作压缩弹簧13。

另外，上述轴支承机构9的第二块12被固定在上述阀轴4的基端部。该第二块12在正面观察呈大致H形，具有形成在与上述阀帽6面对的端面的中央的第一凹部30；由该第一凹部30的左右两侧壁形成的一对肩部31；和在上述轴线L1方向形成在与上述阀帽6相反侧的端面的中央的第二凹部32。而且，上述阀轴4贯通上述第一凹部30及第二凹部32的中央地固定在上述第二块12上。进而，在上述第一凹部30，固定了将一端固定于上述阀帽6的上述波纹管17的另一端，在上述第二凹部32，固定了将一端固定于上述支承基板26的弹簧座28上的上述压缩弹簧13的另一端。

这样，通过将上述第一块11的支承基板26与上述第二块12由压缩弹簧13进行连结，能使该第二块12相对于上述第一块11在压缩弹簧13的伸缩方向(是阀轴4的轴线L1方向，与上述阀座15的面平行的方向)和与其垂直的方向(与上述阀座15的面垂直的方向)相对地移动。

另外，上述门阀为了使上述阀板3向上述全开位置P1、中间位置P2和密闭位置P3移动，具有平行移动机构和垂直移动机构。

上述平行移动机构用于使上述阀板3从图1及图2的全开位置P1到图3及图4的中间位置P2与上述阀座15平行地移动，由安装在上述缸壳体20的辊框架20a上的多个上述导向辊33a、33b、33c、33d，和形成在上述第一块11的凸轮框架27上的导向槽34构成。

上述导向辊33a、33b、33c、33d在图示的实施方式中设置了4个，该4个导向辊33a、33b、33c、33d在上下方向(与轴线L2平行的方向)配设成一列。

另一方面，上述导向槽34从该凸轮框架27的上端到下端附近，以与上述轴线L2平行的延伸方式形成在上述凸轮框架27的侧面即朝向上述缸壳体20的辊框架20a侧的侧面上。此导向槽34形成为凹槽状，该凹槽状在该凸轮框架27的厚度方向不贯通上述凸轮框架27，具有该凸轮框架27的厚度的2/3左右的深度，该导向槽34的底壁34a(参照图13)是平坦面。

而且，通过上述驱动杆8的上升，上述第一块11与第二块12成为一体地上升，在上述阀板3从上述全开位置P1移动到中间位置P2的情况下，如图2及图4所示，通过预先嵌合在上述导向槽34内的下方的两个导向辊33a、33b在该导向槽34内相对地向下方移动，并且上方的导向辊33c嵌合在上述导向槽34内，防止上述第一块11及第二块12相对于上述缸壳体20倾斜，其结果，上述驱动杆8及阀板3从上述全开位置P1到中间位置P2与上述阀座15平行地上升。

如果上述第一块11与第二块12到达上述中间位置P2，则形成在该第二块12的一对肩部31的抵接部35与隔着上述阀轴4地形成在上述阀帽6的下面上的两个空气阻尼器36抵接，该第二块12在该位置停止。上述抵接部35由以水平轴为中心旋转自由的辊形成。

上述空气阻尼器36用于在上述中间位置P2吸收第二块12与阀帽6的下面抵接时的冲击，兼具由空气缓冲垫产生的冲击吸收功能和由橡胶制的缓冲垫部件产生的冲击吸收功能，并如下述的那样构成。

即，上述空气阻尼器36如图12所示具有形成在上述阀帽6上的阻尼器室40，将向下呈凸形的橡胶制的缓冲垫部件41固定性地收容在该阻尼器室40的内底部，并且呈盖形的缓冲保持件42经密封部件43气密地螺纹连接在上述阻尼器室40的开口部。而且，阻尼器杆44以使该阻尼器杆44的基端面与上述缓冲垫部件41相向并且使该阻尼器杆44的前端部44a从上述缓冲保持件42向下方突出的姿势，经密封部件45前进后退(上下运动)自由地保持在上述缓冲保持件42上。

另外，在上述阻尼器杆44的基端面与上述缓冲垫部件41之间形成了阻尼器压力室46，该阻尼器压力室46通过阻尼器连通路47及杆侧主流路25(参照图7)与上述杆侧端口22连通，在上述驱动杆8上升时，从上述杆侧端口22供给压缩空气。此外，在上述驱动杆8下降时，因为上述杆侧端口22成为排气状态，所以上述阻尼器压力室46也成为排气状态。

上述空气阻尼器36如以下的那样动作。即，如果上述第二块12的肩部31的抵接部35在上述中间位置P2与上述阻尼器杆44的前端部44a抵接，则该阻尼器杆44因冲击而后退，对上述阻尼器压力室46内的空气进行压缩，因此，由此时的空气缓冲垫作用吸收冲击力。然后，上述阻尼器杆44被上述第二块12推压而进一步后退，在与上述缓冲垫部件41抵接的位置停止。此时的冲击力由上述缓冲垫部件41的弹性力吸收。如果上述阻尼器杆与缓冲垫部件41抵接而停止，则上述第二块12也在该位置停止。

上述垂直移动机构用于使上述阀板3从图3及图4的中间位置P2到图5及图6的密闭位置P3与上述阀座15垂直地移动，如图2、图4及图6所示，由形成在上述第一块11的凸轮框架27上的上下两个凸轮槽50a、50b和安装在上述第二块12上的上下两个凸轮辊51a、51b构成，上方的第一凸轮辊51a与上方的第一凸轮槽50a嵌合，下方的第二凸轮辊51b与下方的第二凸轮槽50b嵌合。

上述第一凸轮槽50a，则其整体中向随着从上述阀帽6侧趋向支承基板26侧而逐渐接近上述阀座15的面的方向倾斜，阀帽6侧的端部朝向该阀帽6开口。

而且，当上述阀板3处于全开位置P1及中间位置P2时，上述第一凸轮辊51a如图2及图4所示位于上述第一凸轮槽50a的上端的第一位置C1。

另一方面，上述第二凸轮槽50b具有与上述第一凸轮槽50a平行的上方区域(阀帽6侧的区域)和向随着从上述阀帽6侧趋向支承基板26侧而逐渐从上述阀座15的面离开的方向倾斜的下方区域(支承基板26侧的区域)，这两个区域相互连结，在上述阀座15的面侧呈凸的曲折形状。

而且，当上述阀板3处于全开位置P1及中间位置P2时，上述第二凸轮辊51b如图2及图4所示位于上述第二凸轮槽50b的上端的第一位置C1。

上述垂直移动机构如下的那样进行动作。即，当上述第二块12在图3及图4所示的中间位置P2停止后，如果上述驱动杆8进一步上升，则上述第一块11一边将压缩弹簧13压缩一边与上述驱动杆8一起上升，因此，形成在上述凸轮框架27上的凸轮槽50a、50b相对于上述凸轮辊51a、51b上升，凸轮辊51a、51b如图6所示移动到上述凸轮槽50a、50b的下端的第二位置C2。因此，上述第二块12与阀板3由上述凸轮辊51a、51b与凸轮槽50a、50b的相互作用相对于上述阀座15垂直地移动，上述阀板3将上述阀密封件14推压到上述阀座15上，占据将上述门开口2封闭的上述密闭位置P3。

此时，上述第二块12在抵接部35与上述空气阻尼器36的阻尼器杆44抵接的状态下相对于该阻尼器杆44位移，但因为上述抵接部35由辊形成，所以通过该辊的旋转，其位移可顺畅地进行。

另一方面，当使上述阀板3从上述密闭位置P3经过中间位置P2驱动到全开位置P1时，通过上述一对气缸7A、7B的驱动杆8下降，进行与上述动作相反的动作。

接着，参照图7～图11对上述一对气缸7A、7B的构造及作用和空气流路的配置等详细地进行说明。

上述一对气缸7A、7B是具有用于缓和由上述阀板3开闭门开口2时的冲击的空气缓冲垫机构的气缸，具有相互相同的内部构造。但是，因为在位于图7的右侧的一方的气缸7A上形成了上述头侧端口21及杆侧端口22，所以关于空气流路的配置稍微不同。

此外，在以下的说明中，与需要相应地将形成了上述头侧端口21及杆侧端口22的一方的气缸7A称作第一气缸7A，将另一方的气缸7B称作第二气缸7B，在不需要将两气缸7A、7B区别地表现的情况下，将二者简称为“气缸7”。在图8、图10、图11中代表性地表示了第一气缸7A。

上述气缸7如在图7及图10中说明的那样具有将一端固定在上述阀帽6上的空心的上述缸壳体20。该缸壳体20的一端(上端)由上述阀帽6气密地堵塞，该缸壳体20的另一端(下端)由经3个O型圈54a、54b、54c气密地插入该缸壳体20内的筒状的套管53堵塞。该套管53由C形环55固定于上述缸壳体20。

在上述缸壳体20的内部，经活塞密封圈56和导向环57在轴线L2方向滑动自由地收容了上述活塞23，上述驱动杆8的基端由连结螺钉58与该活塞23连结，该驱动杆8的前端经轴承部件59和杆密封圈60滑动自由地贯通上述套管53的中心孔的内部，向上述缸壳体20的下方延伸。

在上述活塞23的一面侧，形成了由该活塞23和上述阀帽6划分的头侧压力室61，在该活塞23的另一面侧，形成了由该活塞23与上述套管53划分的杆侧压力室62。因此，上述阀帽6形成了上述头侧压力室61的端壁，上述套管53形成了上述杆侧压力室62的端壁。另外，上述套管53构成了上述缸壳体20的一部分。

在上述头侧压力室61中设置了从上述阀帽6向该头侧压力室61内沿轴线L2突出的圆柱状的头侧缓冲垫轴63。此头侧缓冲垫轴63，通过将经O型圈66气密地安装在上述阀帽6的安装孔64中的安装螺栓65的前端的螺钉部65a拧入该头侧缓冲垫轴63的上端部的螺钉孔63a内，固定在该阀帽6上。而且，在该头侧缓冲垫轴63及上述安装螺栓65的中心，形成了在上述头侧压力室61中开口的头侧连通路67，该头侧连通路67与通往上述头侧端口21的头侧主流路24连通。

另外，在上述阀帽6的内部，以使上述头侧压力室61与头侧主流路24连通的方式形成了具有流路截面面积小的节流部69的头侧节流流路68，该头侧节流流路68与上述头侧连通路67相互并列地配设。

如图9所示，上述头侧节流流路68的节流部69由针阀70形成。此针阀70经O型圈72收容在形成在上述阀帽6上的阀孔71的内部，由前端的针70a形成了上述节流部69。该针阀70也能构成为，通过做成进退自由，可对上述节流部69的流路截面面积进行调整。

但是，上述节流部69也能不是由上述针阀70形成，而是由将截面面积缩窄了的小孔形成。

上述头侧主流路24，如图7及图10所示，具有从上述头侧端口21横穿第一气缸7A的缸壳体20的侧壁而到达环绕在上述套管53的外周的环状流路73的第一部分24a；从该环状流路73在上述缸壳体20的侧壁的内部与轴线L2平行地延伸而到达上述阀帽6的第二部分24b；和从该第二部分24b分支，在上述阀帽6的内部向相互相反的方向延伸的一对第三部分24c、24c，一方的第三部分24c与第一气缸7A的上述头侧连通路67及头侧节流流路68连通，另一方的第三部分24c与第二气缸7B的上述头侧连通路67及头侧节流流路68连通。

另外，在上述活塞23的内部，沿轴线L1形成了在上述头侧压力室61中开口的凹状的头侧缓冲垫孔74，在该头侧缓冲垫孔74的开口端，设置了头侧缓冲垫填料75。上述头侧缓冲垫孔74，在上升的上述活塞23过了上升行程的中间点而接近上升行程端时，通过上述头侧缓冲垫轴63经上述头侧缓冲垫填料75嵌合在该头侧缓冲垫孔74内，将上述头侧连通路67从头侧压力室61隔断，起到空气缓冲垫的效果。

上述头侧缓冲垫填料75是对密封具有方向性的唇形的填料，以将其密封唇朝向成如下的姿势安装在上述活塞23上，即，将从上述头侧压力室61朝向头侧缓冲垫孔74的空气的流动隔断，但容许从该头侧缓冲垫孔74朝向上述头侧压力室61的空气的流动。

上述头侧缓冲垫轴63的前端部63b，形成为呈渐渐尖细的圆锥状，以便容易嵌合在上述头侧缓冲垫填料75的内部。

而且，由上述头侧缓冲垫轴63、上述头侧缓冲垫孔74、上述头侧缓冲垫填料75、上述头侧连通路67和上述头侧节流流路68形成了头侧空气缓冲垫机构。

另外，由上述头侧缓冲垫轴63、头侧缓冲垫孔74和头侧缓冲垫填料75形成了用于将上述头侧连通路67从头侧压力室61隔断的隔断机构。

与此相对，在上述气缸7的杆侧压力室62侧，在上述套管53的内部，沿上述轴线L2形成了在上述杆侧压力室62中开口的凹状的杆侧缓冲垫孔78，上述驱动杆8在该杆侧缓冲垫孔78的中心延伸，该杆侧缓冲垫孔78由杆侧主流路25与上述杆侧端口22连通。

上述杆侧主流路25具有从上述杆侧端口22横穿上述第一气缸7A的缸壳体20的侧壁地到达环绕上述套管53的外周的环状流路79的第一部分25a；和从该环状流路79在上述套管53的内部延伸而到达上述杆侧缓冲垫孔78的第二部分25b，通过此杆侧缓冲垫孔78与上述第一气缸7A的杆侧压力室62连通。因此，上述杆侧缓冲垫孔78可以说是将上述杆侧主流路25与杆侧压力室62连结的杆侧连通路。

另外，为了使上述杆侧端口22与第二气缸7B的杆侧压力室62连通，上述杆侧主流路25具有从上述第一气缸7A的环状流路79在该第一气缸7A的缸壳体20的侧壁的内部与轴线L2平行地延伸而到达上述阀帽6的第三部分25c；在该阀帽6的内部向横向延伸的第四部分25d；从该第四部分25d在上述第二气缸7B的缸壳体20的侧壁的内部沿轴线L2向下延伸并通往环绕套管53的外周的环状流路79的第五部分25e；和在上述套管53的内部将上述环状流路79与杆侧缓冲垫孔78连结的第六部分25f，并通过上述杆侧缓冲垫孔78与上述第二气缸7B的杆侧压力室62连通。另外，上述第四部分25d与上述空气阻尼器36的阻尼器连通路47也连通。

另外，在上述第一气缸7A及第二气缸7B中的上述套管53的内部，形成了具有流路截面面积小的节流部81的杆侧节流流路80，该杆侧节流流路80将上述杆侧压力室62与杆侧缓冲垫孔78连接。因此，上述杆侧节流流路80在上述杆侧主流路25和杆侧压力室62之间与上述杆侧缓冲垫孔78(杆侧连通路)并列地连接。

在图示的例子中，上述杆侧节流流路80的节流部81由针阀82形成。该针阀82经O型圈84与轴线L2平行地收容在形成在上述套管53上的阀孔83的内部，由前端的针82a形成了上述节流部81。该针阀82也能构成为，通过做成进退自由，能对上述节流部81的流路截面面积进行调整。

但是，上述节流部81也能不是由上述针阀82形成，而是由将截面面积缩窄了的小孔形成。

另外，在上述气缸7A、7B的上述活塞23上，在与上述驱动杆8连结的部分上，与该驱动杆8相比形成了大径的杆侧缓冲垫轴85，在上述杆侧缓冲垫孔78的开口端，安装了杆侧缓冲垫填料86。

上述杆侧缓冲垫轴85，在下降的上述活塞23通过下降行程的中间点而接近下降行程端时，通过经上述杆侧缓冲垫填料86嵌合在上述杆侧缓冲垫孔78内，将该杆侧缓冲垫孔78从杆侧压力室62隔断，起到空气缓冲垫的效果，上述杆侧缓冲垫轴85的前端部85a形成为渐渐尖细的圆锥状，以便其嵌合顺畅地进行。

上述杆侧缓冲垫填料86是对密封具有方向性的唇形的填料，以使其密封唇朝向成如下的姿势安装在上述杆侧缓冲垫孔78中，即，将从上述杆侧压力室62朝向杆侧缓冲垫孔78的空气的流动隔断，但容许从杆侧缓冲垫孔78朝向杆侧压力室62的空气的流动。

而且，由上述杆侧缓冲垫轴85、上述杆侧缓冲垫孔78(杆侧连通路)、上述杆侧缓冲垫填料86和上述杆侧节流流路80形成了杆侧空气缓冲垫机构。

另外，由上述杆侧缓冲垫轴85、杆侧缓冲垫孔78和杆侧缓冲垫填料86形成了用于将上述杆侧连通路从杆侧压力室62隔断的隔断机构。

接着，对上述一对气缸7A、7B的动作进行说明。此外，在图8、图10、图11中表示了第一气缸7A的动作状态，但其动作在第二气缸7B中也同样。

在图7及图8中，表示了上述阀板3处于图1的全开位置P1时的上述气缸7A、7B的动作状态。此时，上述头侧端口21处于供气状态，杆侧端口22处于排气状态。因此，来自上述头侧端口21的空气从头侧主流路24，通过头侧缓冲垫轴63的内部的头侧连通路67和头侧节流流路68供给到各气缸7A、7B的头侧压力室61，另外，气缸7A、7B的杆侧压力室62内的空气从上述杆侧缓冲垫孔78(杆侧连通路)和杆侧节流流路80通过杆侧主流路25从上述杆侧端口22排出。

如果为了从该状态使上述阀板3移动到图5及图6的密闭位置P3，使上述头侧端口21成为排气状态并且使上述杆侧端口22成为供气状态，则来自上述杆侧端口22的空气通过杆侧主流路25流入杆侧缓冲垫孔78后，将杆侧缓冲垫填料86推开，在自由流动的状态下流入杆侧压力室62内，另外，上述头侧压力室61内的空气从头侧缓冲垫轴63的内部的头侧连通路67通过头侧主流路24在自由流动的状态下从上述头侧端口21排出，因此，上述活塞23不减速地上升。

此时，来自杆侧缓冲垫孔78的空气通过上述杆侧节流流路80也流入上述杆侧压力室62，但其量是一点点，另外，上述头侧压力室61内的空气通过上述头侧节流流路68也向头侧主流路24排出，但其量是一点点。

如果上述活塞23上升，则上述阀板3经过图3及图4所示的中间位置P2移动到图5及图6所示的密闭位置P3。在图10中表示了上述阀板3到达上述中间位置P2时的气缸7的动作状态。此时的上述活塞23的位置是过了上升行程的中间点而接近上升行程端的位置，此时上述头侧缓冲垫轴63已经嵌合在上述头侧缓冲垫孔74内。另外，上述杆侧缓冲垫轴85处于从杆侧缓冲垫孔78完全拔出的状态。因此，上述头侧压力室61与头侧连通路67的连接被隔断，该头侧压力室61内的空气通过上述头侧节流流路68在流量被限制的状态下排出。

另外，在上述中间位置P2，如上述的那样，上述轴支承机构9的第二块12与上述空气阻尼器36抵接而停止在该位置，但此时，因为来自上述杆侧端口22的空气通过杆侧主流路25供给到该空气阻尼器36，所以空气缓冲垫发挥作用，吸收上述第二块12碰撞该空气阻尼器36时的冲击。

如果在上述阀板3即活塞23即将到达上述中间位置P2之前，上述头侧压力室61的空气在流量被限制的状态下排出，则上述活塞23的速度由空气缓冲垫效果减速，此后，该活塞23以缓慢的速度上升到图11所示的密闭位置P3。而且，在此密闭位置P3，上述活塞23与上述头侧压力室61的端壁即上述阀帽6的下面缓冲性地抵接而停止。此位置是上述活塞23的上升行程端。此时，上述活塞23因为在减速了的状态下与上述室壁抵接，所以可抑制因其抵接而产生的碰撞声、振动等。

另外，当使上述阀板3从上述密闭位置P3朝向上述全开位置P1移动时，使上述头侧端口21成为供气状态，并且使上述杆侧端口22成为排气状态。此时，来自上述头侧端口21的空气从头侧主流路24通过头侧缓冲垫轴63的内部的头侧连通路67流入头侧缓冲垫孔74的内部，然后，将头侧缓冲垫填料75推开，在自由流动的状态下流入头侧压力室61内，另外，上述杆侧压力室62内的空气从杆侧缓冲垫孔78通过杆侧主流路25，在自由流动的状态下从杆侧端口22排出，因此，上述活塞23不减速地下降。

而且，当上述活塞23经图10的中间位置P2进一步下降并经过下降行程的中间点后，如果上述杆侧缓冲垫轴85嵌合在杆侧缓冲垫孔78内，则上述杆侧压力室62与杆侧缓冲垫孔78的连接被隔断，因此，该杆侧压力室62内的空气通过杆侧节流流路80在流量被限制的状态下排出。因此，上述活塞23的速度由空气缓冲垫效果减速，然后，该活塞23以缓慢的速度下降到图8所示的全开位置P1，在该全开位置P1，与上述杆侧压力室62的端壁即上述套管53的上面缓冲性地抵接而停止。此位置是上述活塞23的下降行程端。此时，上述活塞23因为在被减速的状态下与上述套管53抵接，所以可抑制因其抵接而产生的碰撞声、振动等。

这样，上述门阀通过在上述气缸7A、7B上设置头侧空气缓冲垫机构和杆侧空气缓冲垫机构，使上述活塞23的速度在接近上升行程端及下降行程端时由空气缓冲垫效果减速，由此，使上述活塞23在上升行程端及下降行程端的双方缓冲性地停止，因此，在上述阀板3开闭门开口2时，上述活塞23与头侧压力室61及杆侧压力室62的端壁碰撞时的冲击被缓和，可抑制与该冲击相伴的噪声的产生。

此外，在由上述空气缓冲垫机构进行的活塞23的上升行程端及下降行程端的减速动作，在一对气缸7A、7B的双方同步地进行。

图15是表示则上述实施方式的门阀中的上述活塞23的行程与噪声的关系的线图。此图是如下的图，即，使上述活塞23从作为下降(前进)行程端的全开位置P1经过中间位置P2上升到作为上升(后退)行程端的密闭位置P3，然后，在经过一定时间后，对使上述活塞23从上述密闭位置P3经过中间位置P2下降到作为下降行程端的上述全开位置P1时的与活塞的行程相伴地产生的噪声进行测定，将其结果作为线图进行表示。

作为比较例，在图16中表示了不具备空气缓冲垫机构的公知的门阀的活塞行程与噪声的关系的线图。可以知道，在此比较例中，活塞在上升行程端(密闭位置P3)与头侧压力室的端壁碰撞时的碰撞声a和在下降行程端(全开位置P1)与杆侧压力室的端壁碰撞时的碰撞声b非常大，与此相对，在图15中，上述碰撞声a、b显著地降低。

另外，可以知道，在上述活塞23的上升行程中，在上述中间位置P2的附近，由轴支承机构9的第二块12与阀帽6碰撞时的碰撞声、推测为由凸轮辊51a、51b在凸轮槽50a、50b内移动时产生的接触声等产生的噪声c、推测为在上述活塞23的下降行程中在上述中间位置P2的附近由上述凸轮辊51a、51b在凸轮槽50a、50b内移动时产生的接触声产生的噪声d，在图16的比较例子中也非常大，与此相对，在图15中，显著地降低。

另外，在上述门阀中的一对气缸7A、7B的缸壳体20上，如在图7、图8、图10、图11中示意地表示的那样，设置了用于将上述阀板3锁定在全开位置P1的第一锁定机构91和用于将上述阀板3锁定在密闭位置P3的第二锁定机构92。这第一锁定机构91和第二锁定机构92以沿轴线L2上下邻接的方式配设在上述缸壳体20的辊框架20a上，上述第一锁定机构91与上述第二锁定机构92相比配置在上方位置，即靠阀帽6的位置。

上述第一锁定机构91，如图13及图14所示，具有相对于上述凸轮框架27进退自由地支承在上述辊框架20a上的锁定活塞93。该锁定活塞93具有基端侧的活塞部94和前端侧的卡定轴部95，上述活塞部94经活塞密封件97滑动自由地收容在形成在上述辊框架20a上的活塞室96内，上述卡定轴部95经轴部密封件100和衬套101进退自由地进入被固定在上述辊框架20a上的锁定盖98的导向孔99内。上述卡定轴部95的直径小于上述活塞部94的直径，另外，该卡定轴部95的前端，与被上述轴部密封件100及衬套101导向的部分相比被进行了细径化。

另外，在形成在上述活塞部94的端面上的凹部102与上述活塞室96的底壁之间夹设了锁定弹簧103，上述锁定活塞93总是由该锁定弹簧103向上述卡定轴部95的前端从上述导向孔99突出的方向加载。

进而，在上述活塞密封件97与上述轴部密封件100之间形成了锁定解除用压力室104，该锁定解除用压力室104经锁定解除用连通路105与上述杆侧主流路25连通。具体地说，设置在上述第一气缸7A上的第一锁定机构91的锁定解除用压力室104，如图7及图10所示，经上述锁定解除用连通路105与上述杆侧主流路25的第三部分25c连通，设置在上述第二气缸7B上的第一锁定机构91的锁定解除用压力室104，如图7所示，经上述锁定解除用连通路105与上述杆侧主流路25的第五部分25e连通。

另一方面，上述第二锁定机构92除了一部分结构以外实际上具有与上述第一锁定机构91相同的结构。因此，对构成此第二锁定机构92的各要素，赋予在对构成上述第一锁定机构91的各要素赋予了的符号上附加了“a”的符号，并省略其详细的说明。

上述第二锁定机构92与上述第一锁定机构91不同的第一点是，该第二锁定机构92的锁定解除用压力室104a经锁定解除用连通路105a与头侧主流路24连通。具体地说，设置在上述第一气缸7A上的第二锁定机构92的锁定解除用压力室104a，如图7及图10所示，经上述锁定解除用连通路105a与上述头侧主流路24的第二部分24b连通，设置在述第二气缸7B上的第二锁定机构92的锁定解除用压力室104a，如图7所示，经上述锁定解除用连通路105a与从上述头侧主流路24的第三部分24c分支而在第二气缸7B的缸壳体20的侧壁的内部沿轴线L2方向延伸的第四部分24d连通。

另外，上述第二锁定机构92及上述第一锁定机构91不同的第二点是，锁定活塞93a的卡定轴部95a的前端未被进行细径。

接着，对上述第一锁定机构91及第二锁定机构92的动作进行说明。

如图1、图2及图7所示，当上述阀板3处于全开位置P1时，即，当上述气缸7A、7B的活塞23及驱动杆8处于下降端时，上述头侧端口21处于供气状态，上述杆侧端口22处于排气状态。因此，上述第一锁定机构91的锁定解除用压力室104，因为与上述杆侧端口22连通，所以处于排气状态，上述第二锁定机构92的锁定解除用压力室104a，因为与上述头侧端口21连通，所以处于供气状态。

因此，如图13所示，上述第一锁定机构91的锁定活塞93被上述锁定弹簧103推着而前进到锁定位置，上述卡定轴部95的前端与形成在上述凸轮框架27的导向槽34的上端部的卡定部34b卡定。其结果，因为上述凸轮框架27即第一块11成为与上述缸壳体20的辊框架20a卡定的状态，其上升被阻止，所以上述阀板3被锁定在上述全开位置P1。

另一方面，上述第二锁定机构92的锁定活塞93a由空气的作用压缩锁定弹簧103a而后退，占据了非锁定位置。

如果为了从该状态使上述阀板3移动到图5及图6的密闭位置P3，使上述头侧端口21成为排气状态，并且使上述杆侧端口22成为供气状态，则上述第一锁定机构91的锁定解除用压力室104成为供气状态，上述第二锁定机构92的锁定解除用压力室104a成为排气状态。

因此，上述第一锁定机构91的锁定活塞93，如在图14中由实线所示的那样，通过一边由空气的作用压缩锁定弹簧103一边后退，占据从上述卡定部34b离开的非锁定位置，可使上述凸轮框架27即第一块11上升。

另一方面，上述第二锁定机构92的锁定活塞93a，如在图14中由点划线所示的那样，被上述锁定弹簧103a推着前进，成为上述卡定轴部95a的前端以可沿上述凸轮框架27的导向槽34在上下方向相对地移动的方式与该导向槽34的平坦的底壁34a抵接的状态。此时，上述卡定轴部95a的前端未与上述凸轮框架27卡定。

而且，如果上述阀板3由上述气缸7A、7B的作用上升到密闭位置P3，如图14所示，形成在上述导向槽34的底壁上的卡定孔34c上升到上述锁定活塞93a的位置，则因为该锁定活塞93a被锁定弹簧103a推着前进，卡定轴部95a的前端嵌合在上述卡定孔34c内而卡定，所以该锁定活塞93a占据锁定位置。其结果，因为上述凸轮框架27即第一块11成为相对于上述缸壳体20的辊框架20a卡定的状态，其下降被阻止，所以上述阀板3被锁定在上述密闭位置P3。

另外，当使上述阀板3从上述密闭位置P3移动到全开位置P1时，如上述的那样，上述头侧端口21及第二锁定机构92的锁定解除用压力室104a成为供气状态，并且上述杆侧端口22及第一锁定机构91的锁定解除用压力室104成为排气状态。

因此，上述第二锁定机构92的锁定活塞93a通过一边由空气的作用压缩锁定弹簧103a一边后退，占据从上述卡定孔34c拔出了的非锁定位置，可使上述第一块11下降。

另一方面，上述第一锁定机构91的锁定活塞93由锁定弹簧103的加载力前进，成为上述卡定轴部95的前端以可沿上述凸轮框架27的导向槽34在上下方向相对地移动的方式与该导向槽34的平坦的底壁34a抵接的状态。此时，上述卡定轴部95的前端未与上述凸轮框架27卡定。

而且，如果上述阀板3由上述气缸7A、7B的作用下降到全开位置P1，上述凸轮框架27的导向槽34的上端的上述卡定部34b下降到上述第一锁定机构91的锁定活塞93的位置，则如图13所示，通过该锁定活塞93被锁定弹簧103推着前进，卡定轴部95的前端与上述卡定部34b卡定，上述阀板3被锁定在全开位置P1。

于是，通过构成为在一对气缸7A、7B上设置上述第一锁定机构91及第二锁定机构92，由此第一锁定机构91及第二锁定机构92将上述阀板3锁定在全开位置P1和密闭位置P3，即使在供给到上述气缸7A、7B的空气的压力变动或空气的相对于该气缸7A、7B的供给被隔断的情况下，也能防止上述阀板3的意外的位移等，安全性优异。

符号的说明：

2：门开口

3：阀板

4：阀轴

5：驱动机构

6：阀帽

7A、7B：气缸

8：驱动杆

9：轴支承机构

20：缸壳体

21：头侧端口

22：杆侧端口

23：活塞

24：头侧主流路

25：杆侧主流路

36：空气阻尼器

40：阻尼器室

41：缓冲垫部件

44：阻尼器杆

46：阻尼器压力室

61：头侧压力室

62：杆侧压力室

63：头侧缓冲垫轴

67：头侧连通路

68：头侧节流流路

74：头侧缓冲垫孔

75：头侧缓冲垫填料

78：杆侧缓冲垫孔(杆侧连通路)

80：杆侧节流流路

85：杆侧缓冲垫轴

86：杆侧缓冲垫填料

91：第一锁定机构

92：第二锁定机构

P1：全开位置

P2：中间位置

P3：密闭位置。

Claims (8)

1.一种低噪声门阀，其特征在于，具有开闭门开口的阀板；将前端与该阀板连结的阀轴；和经该阀轴使所述阀板进行开闭动作的驱动机构，

所述驱动机构具有所述阀轴自由位移地贯通的阀帽；隔着所述阀轴相互平行地安装在该阀帽上的左右一对气缸；和将空气相对于该一对气缸进行供给排出的头侧端口及杆侧端口，

所述气缸具有固定在所述阀帽上的缸壳体；前进后退自由地收容在该缸壳体的内部的活塞；将基端与该活塞连结，前端向所述缸壳体的外部突出的驱动杆；和形成在所述活塞的一面侧及另一面侧的头侧压力室及杆侧压力室，

所述头侧压力室通过形成在所述缸壳体及阀帽上的头侧主流路与所述头侧端口连通，所述杆侧压力室通过形成在所述缸壳体及阀帽上的杆侧主流路与所述杆侧端口连通，

所述阀轴的基端部经轴支承机构支承在所述一对气缸的驱动杆上，所述阀板由所述活塞及驱动杆的前进行程移动到将所述门开口开放的位置，所述阀板由所述活塞及驱动杆的后退行程移动到将所述门开口封闭的位置，

所述气缸还具有头侧空气缓冲垫机构及杆侧空气缓冲垫机构，该头侧空气缓冲垫机构及杆侧空气缓冲垫机构缓和由所述阀板开闭门开口时的冲击，

所述头侧空气缓冲垫机构具有头侧连通路及头侧节流流路和隔断机构，该头侧连通路及头侧节流流路将所述头侧压力室和头侧主流路并列地连结；该隔断机构当后退的所述活塞接近后退行程端时将所述头侧连通路隔断，

所述杆侧空气缓冲垫机构具有杆侧连通路及杆侧节流流路和隔断机构，该杆侧连通路及杆侧节流流路将所述杆侧压力室和杆侧主流路并列地连结；该隔断机构当前进的所述活塞接近前进行程端时将所述杆侧连通路隔断。

2.如权利要求1所述的门阀，其特征在于，

所述头侧空气缓冲垫机构的隔断机构具有从所述头侧压力室的端壁向该头侧压力室内突出的头侧缓冲垫轴；以在所述活塞接近后退行程端时所述头侧缓冲垫轴进行嵌合的方式形成在该活塞上的凹状的头侧缓冲垫孔；和将该头侧缓冲垫孔的内周和所述头侧缓冲垫轴的外周之间密封的头侧缓冲垫填料，在所述头侧缓冲垫轴的内部形成了所述头侧连通路，

所述杆侧空气缓冲垫机构的隔断机构具有形成在所述杆侧压力室的端壁上的凹状的杆侧缓冲垫孔；在所述活塞接近前进行程端时嵌合在该杆侧缓冲垫孔内的杆侧缓冲垫轴；和将所述杆侧缓冲垫孔的内周和该杆侧缓冲垫轴的外周之间密封的杆侧缓冲垫填料，由所述杆侧缓冲垫孔形成了所述杆侧连通路。

3.如权利要求2所述的门阀，其特征在于，

所述头侧缓冲垫填料被形成为，将从所述头侧压力室朝向头侧缓冲垫孔的空气的流动隔断，但容许从头侧缓冲垫孔朝向头侧压力室的空气的流动，

所述杆侧缓冲垫填料被形成为，将从所述杆侧压力室朝向杆侧缓冲垫孔的空气的流动隔断，但容许从杆侧缓冲垫孔朝向杆侧压力室的空气的流动。

4.如权利要求1所述的门阀，其特征在于，所述一对气缸中的头侧空气缓冲垫机构的全部头侧连通路及头侧节流流路与所述头侧主流路连通，所述一对气缸中的杆侧空气缓冲垫机构的全部杆侧连通路及杆侧节流流路与所述杆侧主流路连通，由此，所述一对气缸中的头侧空气缓冲垫机构彼此及杆侧空气缓冲垫机构彼此相互同步地动作。

5.如权利要求1～4中的任一项所述的门阀，其特征在于，

所述活塞及阀板具有该阀板使所述门开口成为全开的全开位置；该阀板与所述门开口相向但不封闭该门开口的中间位置；和该阀板将所述门开口密闭的密闭位置，

所述头侧空气缓冲垫机构的隔断机构在所述活塞从所述全开位置经过中间位置移动到密闭位置的所述后退行程中在该活塞到达所述中间位置之前隔断所述头侧连通路，

所述杆侧空气缓冲垫机构的隔断机构在所述活塞从所述密闭位置经过中间位置移动到全开位置的所述前进行程中在该活塞通过所述中间位置之后隔断所述杆侧连通路。

6.如权利要求5所述的门阀，其特征在于，所述头侧空气缓冲垫机构的隔断机构，在所述活塞过了后退行程的中间点而直到到达所述中间位置位置的期间，隔断所述头侧连通路。

7.如权利要求5所述的门阀，其特征在于，

在所述阀帽上设置了空气阻尼器，该空气阻尼器是在所述阀板从全开位置移动到中间位置时所述轴支承机构缓冲性地抵接的空气阻尼器，

所述空气阻尼器具有形成在所述阀帽上的阻尼器室；固定性地收容在该阻尼器室的内部的缓冲垫部件；以使基端与所述缓冲垫部件相向并且使前端向所述阀帽的外部突出的姿势滑动自由地收容在所述阻尼器室的内部的阻尼器杆；和形成在该阻尼器杆和所述缓冲垫部件之间的阻尼器压力室，该阻尼器压力室与所述杆侧主流路连通。

8.如权利要求5所述的门阀，其特征在于，在所述气缸上设置了用于将所述阀板锁定在密闭位置的第一锁定机构和用于将所述阀板锁定在全开位置的第二锁定机构。

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