TWI825235B - 低噪音閘閥 - Google Patents

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Abstract

一種低噪音閘閥，使閥板的開合動作的一對汽缸，具有缸頭側空氣緩衝機構及缸桿側空氣緩衝機構，缸頭側空氣緩衝機構具有：並聯連結缸頭側壓力室與缸頭側主流路的缸頭側連通路及缸頭側節流流路，及汽缸接近後退行程端時阻斷缸頭側連通路的阻斷機構，缸桿側空氣緩衝機構具有：並聯連結缸桿側壓力室與缸桿側主流路的缸桿側連通路及缸桿側節流流路，及汽缸接近前進行程端時阻斷缸桿側連通路的阻斷機構。

Description

低噪音閘閥
本發明是關於一種低噪音閘閥，安裝在半導體處理裝置的真空室，使用於通過該真空室之閘開口的開合，更詳細而言，有關上述閘開口的開合時的噪音小的低噪音閘閥。
半導體處理裝置是在通過真空室的閘開口的開合，例如使用專利文獻1揭示的閘閥。此閘閥具有閘開口開合的閥板；連結於該閥板的閥軸；及透過該閥軸進行上述閥板開合操作的一對汽缸，藉著該一對汽缸透過上述閥軸使上述閥板升降，以該閥板進行上述閘的開合。
更具體而言，使一對汽缸的活塞前後進退，藉此透過上述閥軸使上述閥板在以下的位置移動，即：該閥板下降的位置且在上述閘開口全開的全開位置；該閥板上升的位置並與上述閘開口相對但未封閉該閘開口的中間位置；及上述閥板朝上述閘開口側移動封閉該閘開口的密閉位置移動。
但是，上述習知的閘閥中，上述閥板位於上述全開位置時，上述活塞是位在前進行程端並與汽缸殼的一方端壁抵接，並且，在上述閥板位於上述密閉位置時，上述活塞是位在後退行程端並與汽缸殼的另一方端壁抵接，因此在上述閥板每重複開合動作時，上述活塞與前進行程端及後退行程端的端壁衝突而會有衝突聲產生的問題。 因此，為了實現減少上述活塞的衝突聲之噪音少的作業環境，期待具備上述衝突聲不易產生的構造之新的閘閥的出現。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2015-215009號
[發明所欲解決之問題]
本發明的課題為提供一種在閥板之閘開口的開合時，利用空氣緩衝效果可有效降低汽缸的活塞與行程端衝突所產生之衝突聲的具有合理設計構造的閘閥。 [用於解決問題的手段]
為解決上述課題，本發明的閘閥，具有：使閘開口開合的閥板；在該閥板連結著前端的閥軸；及透過該閥軸使上述閥板開合動作的驅動機構。 上述驅動機構，具有：上述閥軸可自由位移貫穿的前蓋；夾著上述閥軸彼此平行安裝於該前蓋的左右一對的汽缸；及相對於該一對汽缸進行空氣供排的缸頭側埠及缸桿側埠，上述汽缸，具有：固定於上述前蓋的汽缸殼；自由前進、後退地收容於該汽缸殼的內部的活塞；在該活塞連結基端且前端突出於上述汽缸殼的外部的驅動桿；及形成在上述活塞的一面側及另一面側的缸頭側壓力室及缸桿側壓力室。 上述缸頭側壓力室是通過形成於上述汽缸殼及前蓋的缸頭側主流路與上述缸頭側埠連通，上述缸桿側壓力室是通過形成於上述汽缸殼及前蓋的缸桿側主流路與上述缸桿側埠連通，在上述一對汽缸的驅動桿，透過軸支撐機構支撐著上述閥軸的基端部，構成可藉上述活塞及驅動桿的前進行程，使上述閥板朝著上述閘開口開放的位置移動，藉著上述活塞及驅動桿的後退行程，使上述閥板朝著上述閘開口封閉的位置移動。 又，上述汽缸具有緩和以上述閥板開合閘開口時之衝擊的缸頭側空氣緩衝機構及缸桿側空氣緩衝機構，上述缸頭側空氣緩衝機構，具有：並聯連結上述缸頭側壓力室與缸頭側主流路的缸頭側連通路及缸頭側節流流路，及後退的上述活塞接近後退行程端時阻斷上述缸頭側連通路的阻斷機構，上述缸桿側空氣緩衝機構，具有：並聯連結上述缸桿側壓力室與缸桿側主流路的缸桿側連通路及缸桿側節流流路，及前進的上述活塞接近前進行程端時阻斷上述缸桿側連通路的阻斷機構。
本發明中，上述缸頭側空氣緩衝機構的阻斷機構，也可具有：從上述缸頭側壓力室的端壁朝著該缸頭側壓力室內突出的缸頭側緩衝軸；上述活塞接近後退行程端時使上述缸頭側緩衝軸嵌合地形成在該活塞的凹狀的缸頭側緩衝孔；及密封該缸頭側緩衝孔的內周圍與上述缸頭側緩衝軸的外圍之間的缸頭側緩衝墊圈，在上述缸頭側緩衝軸的內部形成有上述缸頭側連通路，上述缸桿側空氣緩衝機構的阻斷機構，具有：形成於上述缸桿側壓力室之端壁的凹狀的缸桿側緩衝孔；上述活塞接近前進行程端時嵌合於該缸桿側緩衝孔內的缸桿側緩衝軸；及密封該缸桿側緩衝孔的內周圍與上述缸桿側緩衝軸的外圍之間的缸桿側緩衝墊圈，藉上述缸桿側緩衝孔形成上述缸桿側連通路。
此時，上述缸頭側緩衝墊圈雖阻斷從上述缸頭側壓力室朝缸頭側緩衝孔的空氣的流動，但以形成容許從上述缸頭側緩衝孔朝缸頭側壓力室之空氣的流動為佳，上述缸桿側緩衝墊圈雖阻斷從上述缸桿側壓力室朝缸桿側緩衝孔的空氣的流動，但以形成容許從上述缸桿側緩衝孔朝缸桿側壓力室之空氣的流動為佳。
又，本發明中，上述一對汽缸之缸頭側空氣緩衝機構的所有的缸頭側連通路及缸頭側節流流路是與上述缸頭側主流路連通，且上述一對汽缸之缸桿側空氣緩衝機構的所有的缸桿側連通路及缸桿側節流流路是與上述缸桿側主流路連通，藉此，上述一對汽缸的缸頭側空氣緩衝機構彼此及缸桿側空氣緩衝機構彼此為互相同步動作。
另外，本發明中，上述活塞及閥板，以具有：該閥板使上述閘開口全開的全開位置；該閥板雖與上述閘開口相對但未封閉該閘開口的中間位置；及上述閥板將上述閘開口密閉的密閉位置，上述缸頭側空氣緩衝機構的阻斷機構是在上述活塞從上述全開位置經中間位置移動至密閉位置的上述後退行程中，在該活塞到達上述中間位置之前阻斷上述缸頭側連通路，上述缸桿側空氣緩衝機構的阻斷機構是在上述活塞從上述密閉位置經中間位置移動至全開位置的上述前進行程中，該活塞通過上述中間位置之後阻斷上述缸桿側連通路為佳。
此時，上述缸頭側空氣緩衝機構的阻斷機構是以在上述活塞通過上述後退行程的中間點並到達上述中間位置的期間阻斷上述缸頭側連通路為佳。 並且，以在上述前蓋設有上述閥板從全開位置移動至中間位置時，緩衝性抵接於上述軸支撐機構的空氣減震器，上述空氣減震器，具有：形成於上述前蓋的減震器室；固定式收容在該減震器室的內部的緩衝構件；在上述減震器室的內部，以使得基端與上述緩衝構件相對且前端突出於上述前蓋的外部的姿勢可自由滑動收容的減震器桿；及形成在該減震器桿與上述緩衝構件之間的減震器壓力室，該減震器壓力室是與上述缸桿側主流路連通為佳。
並且，以在上述汽缸設有將上述閥板鎖定於全開位置用的第1鎖定機構，及將上述閥板鎖定於密閉位置用的第2鎖定機構為佳。 [發明效果]
在本發明的閘閥中，藉閥板進行閘開口的開合時，一對汽缸的活塞在前進行程及後退行程的兩方，被以空氣緩衝機構減速而在行程端緩慢地動作緩衝抵接後停止，因而降低緩衝聲的產生。
如圖1至圖6表示，本發明相關的閘閥，具有：具備與未圖示之真空處理室連通的閘開口2的中空的閥箱1；收容於該閥箱1內使上述閘開口2開合的閥板3；前端固定地安裝著上述閥板3的圓柱型的閥軸4；及透過該閥軸4進行上述閥板3開合動作的驅動機構5。
上述驅動機構5具有：上述閥軸4可自由位移貫穿的前蓋6；夾著上述閥軸4彼此平行安裝於該前蓋6的左右一對的汽缸7A、7B；及從該一對汽缸7A、7B分別向下延伸的驅動桿8；及安裝在該驅動桿8的前端部的軸支撐機構9。
上述軸支撐機構9是由：固定於上述驅動桿8之前端部的第1組塊11，及以彈性體所構成之連結構件13可相對位移地連結於該第1組塊11的第2組塊12所構成，在該第2組塊12固定上述閥軸4的基端部。
並且，上述閘閥是以上述一對汽缸7A、7B使上述驅動桿8前進(下降)及後退(上升)，藉此以上述軸支撐機構9使得上述閥軸4下降及上升，藉以使上述閥板3在以下位置移動，即：如圖1及圖2表示，該閥板3位在下降位置使上述閘開口2全開的全開位置P1；如圖3及圖4表示，使該閥板3上升而與上述閘開口2相對但從該閘開口2離開的中間位置P2；及如圖5及圖6表示，該閥板3將閥封件14朝著上述閘開口2周圍的閥座15推壓藉此密閉該閘開口2的密閉位置P3。
上述閥板3是形成左右方向長的大致矩形的板狀，在其一方的面的外圍部形成有環狀的密封槽，在該密封槽內，將O環等的彈性材所構成的環狀的上述閥封件14，以使其一部分從上述密封槽突出的狀態裝設。
又，上述閥箱1具有相對的前壁1a及後壁1b，在上述前壁1a開設有上述閘開口2，在與上述後壁1b的上述閘開口2相同的高度位置，開設有與該閘開口2大致同形狀且同樣大的後部開口2a。
上述閘開口2是與上述閥板3同樣以左右方向長的大致矩形，形成比該閥板3稍微小。並且，在上述前壁1a的內面的上述閘開口2的外圍部，以包圍該閘開口2的方式，設有由平坦面所構成的環狀的上述閥座15，上述閥封件14伴隨著上述閥板3的移動與該閥座15接觸分離，使該閘開口2開合。
將上述前蓋6氣密地固定於上述閥箱1的底壁，在形成於上述底壁及前蓋6的貫穿孔16內，將上述閥軸4在該閥軸4的軸線L1方向及與該軸線L1的垂直方向(亦即，相對於上述閥座15的垂直方向)可位移地插穿。
上述閥軸4比上述貫穿孔16更在閥箱1的外側，被伴隨著該閥軸4朝軸線L1方向的移動而伸縮的筒狀的波紋管17所包覆。該波紋管17的一端是以圍繞著上述貫穿孔16的方式固定於前蓋6的外面，另一端是氣密地固定於上述第2組塊12。
上述一對汽缸7A、7B是在隔著上述閥軸4彼此相對的位置分別設置一個。該等汽缸7A、7B具有成角柱形的中空的汽缸殼20，使該汽缸殼20的內側壁20a與上述第1組塊11側面的凸輪架27相對的狀態，沿著軸線L2垂直固定於上述前蓋6的下面。因此，上述驅動桿8沿著上述軸線L2升降。
並且，本實施形態中，上述汽缸殼20的上述內側壁20a兼作為安裝後述之導輥33a、33b、33c、33d用的滾筒架。因此，以下的說明中，也有稱上述內側壁20a 為「滾筒架20a」。但是，該滾筒架20a只要與上述汽缸7A、7B的汽缸殼20處於固定的關係即可，例如，也可與上述汽缸殼20另體形成固定於該汽缸殼20。
從圖7也可明確得知，在上述一對汽缸7A、7B之中一方的汽缸7A的汽缸殼20的外側面，設有缸頭側埠21與缸桿側埠22，從該等缸頭側埠21及缸桿側埠22朝上述一對汽缸7A、7B進行壓縮空氣的供排，藉以使上述汽缸殼20內的活塞23前進(下降)及後退(上升)，可使得上述驅動桿8前進(下降)及後退(上升)。
並且，針對上述汽缸7A、7B的構造及空氣流路的配置等，在後面加以詳細說明。
上述軸支撐機構9的第1組塊11是以架設在上述一對汽缸7A、7B的驅動桿8、8的前端部間的支撐基板26，及在該支撐基板26固定基端部形成向上且與上述軸線L2平行延伸之板狀的左右一對的上述凸輪架27所構成，該凸輪架27是位在上述第2組塊12與上述汽缸7A、7B的內側壁20a之間。
上述支撐基板26是形成左右長形的板狀，透過上述第2組塊12配置在與上述前蓋6的相反側，並與該前蓋6平行延伸。並且，在與上述支撐基板26的上述第2組塊12相對的面，形成有凹狀的彈簧座28，在該彈簧座28與第2組塊12之間，隔設有構成上述連結構件13的壓縮彈簧。因此，以下的說明中，稱上述連結構件為壓縮彈簧13。
又，上述軸支撐機構9的第2組塊12被固定於 上述閥軸4的基端部。該第2組塊12在正面顯示為大致H形，具有：形成於鄰接上述前蓋6之端面中央的第1凹部30；藉著該第1凹部30的左右兩側壁所形成的一對肩部31；及在上述軸線L1方向形成於上述前蓋6相反側之端面中央的第2凹部32。並且，將上述閥軸4貫穿上述第1凹部30及第2凹部32的中央並固定於上述第2組塊12。另外，在上述第1凹部30固定一端固定於上述前蓋6之上述波紋管17的另一端，在上述第2凹部32固定一端固定於上述支撐基板26的彈簧座28之上述壓縮彈簧13的另一端。
如上述，以壓縮彈簧13連結上述第1組塊11的支撐基板26與上述第2組塊12，藉以使該第2組塊12可相對於上述第1組塊11，在壓縮彈簧13的伸縮方向(閥軸4的軸線L1方向並與上述閥座15的面平行的方向)，及與此垂直的方向(與上述閥座15的面垂直的方向)相對地移動。
又，上述閘閥具有平行移動機構與垂直移動機構以使得上述閥板3在上述全開位置P1與中間位置P2與密閉位置P3移動。
上述平行移動機構是將上述閥板3與上述閥座15平行地從圖1及圖2的全開位置P1移動至圖3及圖4的中間位置P2，以安裝於上述汽缸殼20之滾筒架20a的複數的上述導輥33a、33b、33c、33d及形成於上述第1組塊11之凸輪架27的導槽34所構成。
上述導輥33a、33b、33c、33d在圖示的實施形態中設有4個，將該4個導輥33a、33b、33c、33d成一列 配設於上下方向(與軸線L2平行的方向)。
另一方面，上述導槽34是在上述凸輪架27的側面，即朝上述汽缸殼20的滾筒架20a側的側面，從該凸輪架27的上端與上述軸線L2平行延伸地形成至下端附近。此導槽34並非在上述凸輪架27的厚度方向貫穿該凸輪架27，而是形成為具有該凸輪架27的厚度之2/3左右深度的凹槽狀，該導槽34的底壁34a(參閱圖13)為平坦面。
並且，藉上述驅動桿8的上升使上述第1組塊11與第2組塊12成為一體而上升，上述閥板3從上述全開位置P1移動至中間位置P2的場合，如圖2及圖4表示，使預先嵌合於上述導槽34內的下方2個導輥33a、33b在該導槽34內相對地向下方移動，並將上方的導輥33c嵌合於導槽34內，藉此防止上述第1組塊11及第2組塊12相對於上述汽缸殼20的傾倒，其結果，使上述驅動桿8及閥板3從上述全開位置P1到中間位置P2為止，與上述閥座15平行地上升。
上述第1組塊11與第2組塊12到達上述中間位置P2時，形成於該第2組塊12的一對肩部31的抵接部35抵接於在上述前蓋6的下面隔著上述閥軸4形成有2個的空氣減震器36，該第2組塊12在其位置停止。上述抵接部35是以水平軸為中心以自由旋轉的滾筒所形成。
上述空氣減震器36是用於在上述中間位置P2吸收第2組塊12抵接於前蓋6的下面時的衝擊，兼具有藉空氣緩衝的衝擊吸收功能，及橡膠製之緩衝構件的衝擊吸收功能，如以下所構成。
亦即，上述空氣減震器36是如圖12表示，具有形成於上述前蓋6的減震室40，在該減震室40的內底部，固定收容有向下成凸形的橡膠製的緩衝構件41，並在上述減震室40的開口部，透過密封構件43氣密地栓著有成蓋形的減震架42。並且，在上述減震架42，減震桿44是將該減震桿44的基端面與上述緩衝構件41相對，並以使該減震桿44的前端部44a從上述減震架42向下方突出的姿勢，透過密封構件45保持成可前後進退(上下動作)。
又，在上述減震桿44的基端面與上述緩衝構件41之間，形成有減震壓力室46，該減震壓力室46是通過減震連通路47及缸桿側主流路25(參閱圖7)與上述缸桿側埠22連通，在上述驅動桿8上升時，從上述缸桿側埠22供應壓縮空氣。並且，在上述驅動桿8下降時，上述缸桿側埠22成為排氣狀態，因此上述減震壓力室46也成為排氣狀態。
上述空氣減震器36是如以下進行動作。亦即，上述第2組塊12的肩部31的抵接部35在上述中間位置P2抵接於上述減震桿44的前端部44a時，該減震桿44被衝擊而後退，使上述減震壓力室46內的空氣壓縮，因此衝擊力被當時的空氣緩衝作用所吸收。之後，上述減震桿44被上述第2組塊12推壓而進一步後退，在抵接於上述緩衝構件41的位置停止。此時的衝擊力，被上述緩衝構件41的彈性力所吸收。使上述減震桿抵接於緩衝構件41停止時，上述第2組塊12也在其位置停止。
上述垂直移動機構是使上述閥板3從圖3及圖4圖的中間位置P2至圖5及圖6的密閉位置P3與上述閥座15垂直地移動，如圖2、圖4及圖6表示，以形成於上述第1塊組11的凸輪架27的上下2個凸輪槽50a、50b，及安裝於上述第2組塊12的上下2個凸輪輥51a、51b所構成，在上方的第1凸輪槽50a嵌合上方的第1凸輪輥51a，在下方的第2凸輪槽50b嵌合下方的第2凸輪輥51b。
上述第1凸輪槽50a在其整體中，隨著從上述前蓋6側朝向支撐基板26側緩緩接近上述閥座15的面接近的方向傾斜，使前蓋6側的端部朝著該前蓋6開口。 並且，上述閥板3位於全開位置P1及中間位置P2時，上述第1凸輪輥51a是如圖2及圖4表示，位在上述第1凸輪槽50a上端的第1位置C1。
另一方面，上述第2凸輪槽50b具有：與上述第1凸輪槽50a成平行的上方區域(前蓋6側的區域)，及隨著從上述前蓋6朝向支撐基板26側緩緩地從上述閥座15的面離開的方向傾斜的下方區域(支撐基板26側的區域)，形成使得該等2個區域彼此連結朝上述閥座15的面側成為凸出的彎曲形狀。 並且，上述閥板3位於全開位置P1及中間位置P2時，上述第2凸輪輥51b是如圖2及圖4表示，位在上述第2凸輪槽50b上端的第1位置C1。
上述垂直移動機構是如下述動作。亦即，上述第2組塊12在圖3及圖4表示的中間位置P2停止之後，使上述驅動桿8進一步上升時，上述第1組塊11一邊進行壓縮彈簧13的壓縮並與上述驅動桿8一起上升，因此使得形成在上述凸輪架27的凸輪槽50a、50b相對於上述凸輪輥51a、51b上升，凸輪輥51a、51b是如圖6表示，移動至上述凸輪槽50a、50b下端的第2位置C2。因此，上述第2組塊12與閥板3藉著上述凸輪輥51a、51b與凸輪槽50a、50b的相互作用而相對於上述閥座15垂直移動，上述閥板3將上述閥封件14推壓至上述閥座15占據封閉上述閘開口2的上述密閉位置P3。
此時，上述第2組塊12雖是在抵接部35抵接於上述空氣減震器36的減震桿44的狀態相對於該減震桿44位移，但上述抵接部35是以滾筒所形成，因此可藉著該輥筒的旋轉順利地進行其位移。
另一方面，從上述密閉位置P3經中間位置P2至全開位置P1驅動上述閥板3時，藉著使上述一對汽缸7A、7B的驅動桿8下降，進行與上述動作相反的動作。
接著，針對上述一對汽缸7A、7B的構造及作用與空氣流路的配置等，參閱圖7-圖11詳細說明。
上述一對汽缸7A、7B是具有緩和以上述閥板3進行閘開口2開合時之衝擊的空氣緩衝機構，因此具有彼此相同的內部構造。但是，在位於圖7右側之一方的汽缸7A形成有上述缸頭側埠21及缸桿側埠22，因此關於空氣流路的配置有若干不同。
並且，以下的說明中，根據需要，稱形成有 上述缸頭側埠21及缸桿側埠22之一方的汽缸7A為第1汽缸7A，稱另一方的汽缸7B為第2汽缸7B，在沒有區別兩汽缸7A、7B來表現的必要的場合，僅稱兩者為「汽缸7」。在圖8、圖10、圖11代表性表示第1汽缸7A。
上述汽缸7是如以圖7及圖10表示，在上述前蓋6具有固定一端的中空的上述汽缸殼20。該汽缸殼20的一端(上端)是藉上述前蓋6氣密地封閉，該汽缸殼20的另一端(下端)是透過3個O環54a、54b、54c氣密地插入該汽缸殼20內之筒狀的軸環53所封閉。該軸環53是以C型環55固定於上述汽缸殼20。
在上述汽缸殼20的內部，透過活塞封件56與導環57在軸線L2方向自由滑動地收容上述活塞23，在該活塞23以連結螺絲58連結上述驅動桿8的基端，該驅動桿8的前端是透過軸承構件59與桿封件60自由滑動地貫穿上述軸環53的中心孔的內部，向上述汽缸殼20的下方延伸出。
在上述活塞23的一面側形成有以上述活塞23與上述前蓋6所區劃的缸頭側壓力室61，在該活塞23的另一面側形成有以該活塞23與上述軸環53所區劃的缸桿側壓力室62。因此，上述前蓋6是形成上述缸頭側壓力室61的端壁，上述軸環53是形成上述缸桿側壓力室62的端壁。又，上述軸環53是構成上述汽缸殼20的一部分。
上述缸頭側壓力室61設有從上述前蓋6朝該缸頭側壓力室61內沿著軸線L2突出的圓柱形的缸頭側緩衝軸63。該缸頭側緩衝軸63是將透過O環66氣密安裝於上述前蓋6的安裝孔64之安裝螺栓65前端的螺紋部65a鎖入該缸頭側緩衝軸63上端部的螺孔63a內，藉此固定於該前蓋6。並且，在該缸頭側緩衝軸63及上述安裝螺栓65的中心，形成有在上述缸頭側壓力室61開口的缸頭側連通路67，該缸頭側連通路67與通過上述缸頭側埠21的缸頭側主流路24連通。
並且，在上述前蓋6的內部形成具有流路剖面積小的節流部69的缸頭側節流流路68連通上述缸頭側壓力室61與缸頭側主流路24，該缸頭側節流流路68與上述缸頭側連通路67是彼此並聯配設。
如圖9表示，上述缸頭側節流流路68的節流部69是以針閥70所形成。此針閥70是透過O環72收容於形成在上述前蓋6的閥孔71的內部，以前端的針70a形成上述節流部69。該針閥70為可自由進退動作，藉此構成可調整上述節流部69的流路剖面積。 但是，上述節流部69並非僅以上述針閥70形成，也可以剖面積小的小孔形成。
缸頭側主流路24是如圖7及圖10表示，具有：從上述缸頭側埠21，橫跨第1汽缸7A的汽缸殼20的側壁到捲繞上述軸環53外圍之環狀流路73的第1部分24a；從該環狀流路73，在上述汽缸殼20的側壁的內部與軸線L2平行延伸到達上述前蓋6的第2部分24b；及從該第2部分24b分支在上述前蓋6的內部彼此逆向延伸的一對的第3部分24c、24c，一方的第3部分24c是與第1汽缸7A的上述缸頭側連通路67及缸頭側節流流路68連通，另一方的第3部分24c是與第2汽缸7B的上述缸頭側連通路67及缸頭側節流流路68連通。
又，在上述活塞23的內部，在上述缸頭側壓力室61開口的凹狀的缸頭側緩衝孔74是沿著軸線L1形成，在該缸頭側緩衝孔74的開口端，設有缸頭側緩衝墊圈75。上述缸頭側緩衝孔74在上升的上述活塞23經過上升行程的中間點並接近上升行程端時，上述缸頭側緩衝軸63透過上述缸頭側緩衝墊圈75嵌合於該缸頭側緩衝孔74內，可藉此從缸頭側壓力室61阻斷上述缸頭側連通路67有效地空氣緩衝。
上述缸頭側緩衝墊圈75是在密封上具有方向性的唇形的墊圈，該唇雖阻斷從上述缸頭側壓力室61朝缸頭側緩衝孔74之空氣的流動，但是以朝著容許從該缸頭側緩衝孔74向上述缸頭側壓力室61之空氣流動的姿勢，安裝於上述活塞23。 上述缸頭側緩衝軸63的前端部63b是以容易嵌合於上述缸頭側緩衝墊圈75的內部的方式，形成前端逐漸變尖的圓錐形。
並且，藉上述缸頭側緩衝軸63、上述缸頭側緩衝孔74、上述缸頭側緩衝墊圈75、上述缸頭側連通路67及缸頭側節流流路68，形成缸頭側緩衝機構。 又，藉上述缸頭側緩衝軸63、缸頭側緩衝孔74及缸頭側緩衝墊圈75，形成有從缸頭側壓力室61阻斷上述缸頭側連通路67用的阻斷機構。
相對於此，上述汽缸7的缸桿側壓力室62側，在上述軸環53的內部，在上述缸桿側壓力室62開口的凹狀的缸桿側緩衝孔78是沿著上述軸線L2形成，上述驅動桿8在該缸桿側緩衝孔78的中心延伸，使該缸桿側緩衝孔78藉著缸桿側主流路25連通至上述缸桿側埠22。
上述缸桿側主流路25，具有：從上述缸桿側埠22，橫跨第1汽缸7A的汽缸殼20的側壁到捲繞上述軸環53外圍之環狀流路79的第1部分25a；從該環狀流路79在上述環軸53的內部延伸到達上述缸桿側緩衝孔78的第2部分25b，通過此缸桿側緩衝孔78與上述第1汽缸7A的缸桿側壓力室62連通。因此上述缸桿側緩衝孔78可稱為連結上述缸桿側主流路25與缸桿側壓力室62的缸桿側連通路。
又，將上述缸桿側埠22連通於第2汽缸7B的缸桿側壓力室62，因此上述缸桿側主流路25具有：從上述第1汽缸7A的環狀流路79，在該第1汽缸7A的汽缸殼20側壁的內部與軸線L2平行延伸並到達上述前蓋6的第3部分25c；在該前蓋6的內部橫向延伸的第4部分25d；從該第4部分25d在上述第2汽缸7B的汽缸殼20側壁的內部沿著軸線L2向下延伸，通過捲繞於軸環53外圍的環狀流路79的第5部分25e；及在上述軸環53的內部連結上述環狀流路79與缸桿側緩衝孔78的第6部分25f，通過上述缸桿側緩衝孔78與上述第2汽缸7B的缸桿側壓力室62連通。並且，上述第4部分25d也和上述空氣減震器36的減震連通路47連通。
又，在上述第1汽缸7A及第2汽缸7B的上述軸環53的內部，形成具有流路剖面積小的節流部81的缸桿側節流流路80，該缸桿側節流流路80連接上述缸桿側壓力室62與缸桿側緩衝孔78。因此，上述缸桿側節流流路80在上述缸桿側主流路25與缸桿側壓力室62之間，與上述缸桿側緩衝孔78(缸桿側連通路)形成並聯連通。
在圖示的例缸桿側節流流路80的節流部81是以針閥82所形成。該針閥82是透過O環84與軸線L2平行地被收容於形成在上述軸環53的閥孔83的內部，以前端的針82a形成節流部81。該針閥82為可自由進退動作，藉此構成可調整上述節流部81的流路剖面積。 但是，上述節流部81並非僅以上述針閥82形成，也可以剖面積小的小孔形成。
又，在上述汽缸7A、7B的上述活塞23連結著上述驅動桿8的部分，形成有比該驅動桿8大徑的缸桿側緩衝軸85，在上述缸桿側緩衝孔78的開口端，安裝有缸桿側緩衝墊圈86。 上述缸桿側緩衝軸85是在下降的上述活塞23通過下降行程的中間點而接近下降行程端時，在上述缸桿側緩衝孔78內透過上述缸桿側緩衝墊圈86嵌合，藉此從缸桿側壓力室62阻斷該缸桿側緩衝孔78有效地空氣緩衝，上述缸桿側緩衝軸85的前端部85a是形成前端逐漸變尖的圓錐形以順利進行其嵌合。
上述缸桿側緩衝墊圈86是在密封上具有方向性的唇形的墊圈，該唇雖阻斷從上述缸桿側壓力室62朝缸桿側緩衝孔78之空氣的流動，但是以朝著容許從該缸桿側緩衝孔78向上述缸桿側壓力室62之空氣流動的姿勢，安裝於上述缸桿側緩衝孔78。
並且，藉上述缸桿側緩衝軸85、上述缸桿側緩衝孔78(缸桿側連通路)、上述缸桿側緩衝墊圈86及上述缸桿側節流流路80，形成缸桿側空氣緩衝機構。
又，藉上述缸桿側緩衝軸85、缸桿側緩衝孔78及缸桿側緩衝墊圈86，形成有從缸桿側壓力室62阻斷上述缸桿側連通路用的阻斷機構。
接著，針對上述一對的汽缸7A、7B的動作說明。並且，圖8、圖10、圖11雖表示第1汽缸7A的動作狀態，但是其動作在第2汽缸7B中也相同。
圖7及圖8表示上述閥板3位於圖1之全開位置P1時的上述汽缸7A、7B的動作狀態。此時，上述缸頭側埠21成為供氣狀態，缸桿側埠22是成為排氣狀態。因此，來自上述缸頭側埠21的空氣是從缸頭側主流路24通過缸頭側緩衝軸63內部的缸頭側連通路67與缸頭側節流流路68供應至各汽缸7A、7B的缸頭側壓力室61，並且，汽缸7A、7B之缸桿側壓力室62內的空氣是從上述缸桿側緩衝孔78(缸桿側連通路)與缸桿側節流流路80通過缸桿側主流路25，從上述缸桿側埠22排出。
由此狀態，上述閥板3移動至圖5及圖6的密閉位置P3，使上述缸頭側埠21成為排氣狀態，並使得上述 缸桿側埠22成為供氣狀態時，來自上述缸桿側埠22的空氣通過缸桿側主流路25流入缸桿側緩衝孔78之後，推開缸桿側緩衝墊圈86以自由流動的狀態流入缸桿側壓力室62內，並且，上述缸頭側壓力室61內的空氣從缸頭側緩衝軸63內部的缸頭側連通路67通過缸頭側主流路24，從上述缸頭側埠21被以自由流動狀態排出，因而使上述活塞23不減速地上升。
此時，來自缸桿側緩衝孔78的空氣雖也通過上述缸桿側節流流路80流入上述缸桿側壓力室62，但其量僅是些微，並且，上述缸頭側壓力室61內的空氣雖也通過上述缸頭側節流流路68排出至缸頭側主流路24，但其量僅是些微。
上述活塞23上升時，上述閥板3經過圖3及圖4表示的中間位置P2移動至圖5及圖6表示的密閉位置P3。圖10表示上述閥板3到達上述中間位置P2時的汽缸7的動作狀態。此時的上述活塞23的位置是經過上升行程的中間點接近上升行程端的位置，此時上述缸頭側緩衝軸63是已嵌合於上述缸頭側緩衝孔74內。並且，上述缸桿側緩衝軸85是處於從缸桿側緩衝孔78完全脫離的狀態。因此，阻斷上述缸頭側壓力室61與缸頭側連通路67的連接，該缸頭側壓力室61內的空氣是通過上述缸頭側節流流路68以限制流量的狀態排出。
又，上述中間位置P2是如上述，上述軸支撐機構9的第2組塊12雖抵接上述空氣減震器36停止在其位置，但此時，將來自上述缸桿側埠22的空氣通過缸桿側主流路25供應該空氣減震器36，啟動空氣緩衝作用，吸收上述第2組塊12對於該空氣減震器36衝突時的衝擊。
在上述閥板3即活塞23到達上述中間位置P2瞬間前，以流量限制上述缸頭側壓力室61的空氣的狀態排出時，藉空氣緩衝效果使上述活塞23的速度減速，在此之後，該活塞23以緩慢的速度上升至圖11表示的密閉位置P3。並且，在此密閉位置P3，上述活塞23緩衝性抵接停止在上述缸頭側壓力室61的端壁即上述前蓋6的下面。此位置為上述活塞23的上升行程端。此時，上述活塞23是以減速的狀態抵接於上述室壁，因此可抑制其抵接所產生的衝突聲或振動等。
又，在上述閥板3從上述密閉位置P3朝上述全開位置P1移動時，使上述缸頭側埠21成為供氣狀態，並使得上述缸桿側埠22成為排氣狀態。此時，來自上述缸頭側埠21的空氣從缸頭側主流路24，通過缸頭側緩衝軸63內部的缸頭側連通路67流入缸頭側緩衝孔74的內部之後，推開缸頭側緩衝墊圈75以自由流動的狀態流入缸頭側壓力室61內，並且，上述缸桿側壓力室62內的空氣是從缸桿側緩衝孔78通過缸桿側主流路25從缸桿側埠22以自由流動的狀態排出，因此上述活塞23不減速地下降。
並且，上述活塞23經由圖10的中間位置P2進一步下降，通過下降行程的中間點之後，上述缸桿側緩衝軸85嵌合於缸桿側緩衝孔78內時，阻斷上述缸桿側壓力室62與缸桿側緩衝孔78的連接，因此該缸桿側壓力室62內的空氣是通過缸桿側節流流路80以限制流量的狀態排出。因此，藉緩衝效果將上述活塞23的速度減速，在此以後，該活塞23至圖8表示的全開位置P1以緩慢的速度下降，在該全開位置P1，緩衝性抵接停止在上述缸桿側壓力室62的端壁即上述軸環53的上面。此位置為上述活塞23的下降行程端。此時，上述活塞23是以減速的狀態抵接於上述軸環53，因此可抑制其抵接所產生的衝突聲或振動等。
如上述，上述閘閥是在上述汽缸7A、7B設置缸頭側空氣緩衝機構與缸桿側空氣緩衝機構，藉著在上升行程端及下降行程端接近時藉空氣緩衝效果將上述活塞23的速度減速，藉此，使上述活塞23緩衝性地停止在上升行程端及下降行程端的兩方，因此在上述閥板3進行閘開口2的開合時，緩和上述活塞23與缸頭側壓力室61及缸桿側壓力室62之端壁衝突時的衝擊，抑制伴隨該衝擊之噪音的產生。 並且，藉上述空氣緩衝機構之活塞23的上升行程端及下降行程端的減速動作是在一對汽缸7A、7B的雙方同步進行。
圖15是表示上述實施形態之閘閥與上述活塞23的行程與噪音的關係的線圖。該圖是測量上述活塞23從下降(前進)行程端的全開位置P1，經中間位置P2，上升至上升(後退)行程端的密閉位置P3之後，在經過一定時間後，使上述活塞23從上述密閉位置P3，經中間位置P2，下降至下降行程端的上述全開位置P1時之伴隨活塞的行程所產生的噪音，以其結果為線圖表示。
作為比較例，在圖16表示不具備空氣緩衝機構的習知閘閥之表示活塞行程與噪音的關係的線圖。此比較例中，相對於活塞在上升行程端(密閉位置P3)與缸頭側壓力室的端壁衝突時的衝突聲a及在下降行程端(全開位置P1)與缸桿側壓力室的端壁衝突時的衝突聲b為非常地大，圖15中，可得知上述衝突聲a、b有顯著地降低。
又，針對上述活塞23的上升行程中，在上述中間位置P2的附近，根據軸支撐機構9的第2組塊12與前蓋6衝突時的衝突聲，或凸輪輥51a、51b在凸輪槽50a、50b內移動時產生的接觸聲等所推測的噪音c，或針對上述活塞23的下降行程中，在上述中間位置P2的附近，根據上述凸輪輥51a、51b在凸輪槽50a、50b內移動時產生的接觸聲所推測的噪音d，在圖16的比較例中也非常地大，圖15中，可得知有顯著地降低。
又，在上述閘閥的一對汽缸7A、7B的汽缸殼20，如圖7、圖8、圖10、圖11模式地表示，設有將上述閥板3鎖定於全開位置P1用的第1鎖定機構91，及將上述閥板3鎖定於密閉位置P3用的第2鎖定機構92。該等第1鎖定機構91與第2鎖定機構92是在上述汽缸殼20的滾筒架20a，沿著軸線L2配設成上下鄰接，上述第1鎖定機構91是配置在比上述第2鎖定機構92上方位置，即前蓋6附近的位置。
上述第1鎖定機構91是如圖13及圖14表示，上述滾筒架20a具有可相對於上述凸輪架27自由進退動作支撐的閉鎖活塞93。該閉鎖活塞93具有基端側的活塞部94與前端側的卡止軸部95，上述活塞部94是透過活塞密封97自由滑動地收容在形成於上述滾筒架20a的活塞室96內，上述卡止軸部95是透過軸部密封100與套管101自由進退移動地進入固定於上述滾筒架20a之鎖定蓋98的導孔99內。上述卡止軸部95的直徑比上述活塞部94的直徑小，並且，該卡止軸部95的前端是比上述軸部密封100及套管101所引導的部分細徑化。
又，在形成於上述活塞部94端面的凹部102與上述活塞室96的底壁之間，隔設有鎖簧103，藉著該鎖簧103將上述閉鎖活塞93經常地朝著上述卡止軸部95的前端從上述導孔99突出的方向彈推。
另外，在上述活塞密封97與上述軸部密封100之間，形成有鎖定解除用壓力室104，該鎖定解除用壓力室104是透過鎖定解除用連通路105與上述缸桿側主流路25連通。具體而言，設置在上述第1汽缸7A的第1鎖定機構91的鎖定解除用壓力室104是如圖7及圖10表示，透過上述鎖定解除用連通路105與上述缸桿側主流路25的第3部分25c連通，設置在上述第2汽缸7B的第1鎖定機構91的鎖定解除用壓力室104是如圖7表示，透過上述鎖定解除用連通路105與上述缸桿側主流路25的第5部分25e連通。
另一方面，上述第2鎖定機構92除去部分的構成與上述第1鎖定機構91具有實質相同的構成。因此，對構成此第2鎖定機構92的各元件在賦予構成上述第1鎖定機構91的各元件的符號附上附加有「a」的符號，省略其詳細的說明。
上述第2鎖定機構92與上述第1鎖定機構91不同的第1點是該第2鎖定機構92的鎖定解除用壓力室104a透過鎖定解除用連通路105a與缸頭側主流路24連通的點。具體說明時，設置在上述第1汽缸7A的第2鎖定機構92的鎖定解除用壓力室104a是如圖7及圖10表示，透過上述鎖定解除用連通路105a與上述缸頭側主流路24的第2部分24b連通，設置在上述第2汽缸7B的第2鎖定機構92的鎖定解除用壓力室104a是如圖7表示，透過上述鎖定解除用連通路105a與從上述缸頭側主流路24的第3部分24c分支並在第2汽缸7B的汽缸殼20側壁的內部朝軸線L2方向延伸的第4部分24d連通。
又，上述第2鎖定機構92與上述第1鎖定機構91不同的第2點是未使得閉鎖活塞93a之卡止軸部95a的前端細徑化。
接著，說明上述第1鎖定機構91及第2鎖定機構92的動作。
如圖1、圖2及圖7表示，上述閥板3位於全開位置P1時，亦即，上述汽缸7A、7B的活塞23及驅動桿8位在下降端時，上述缸頭側埠21成為供氣狀態，上述缸桿側埠22成為排氣狀態。因此，上述第1鎖定機構91的鎖定解除用壓力室104是與上述缸桿側埠22連通而成為排氣狀態，上述 第2鎖定機構92的鎖定解除用壓力室104a是與上述缸頭側埠21連通而成為供氣狀態。
因此，如圖13表示，上述第1鎖定機構91的閉鎖活塞93被向上述鎖簧103推壓而朝著鎖定位置前進，上述卡止軸部95的前端卡止於形成在上述凸輪架27之導槽34上端部的卡止部34b。其結果，上述凸輪架27即第1組塊11是形成卡止於上述汽缸殼20之滾筒架20a的狀態而阻止其上升，因此上述閥板3被鎖定於上述全開位置P1。
另一方面，上述第2鎖定機構92的閉鎖活塞93a是藉著空氣的作用壓縮鎖簧103a後退，占據非鎖定位置。
由此狀態，為了朝圖5及圖6的密閉位置P3移動上述閥板3，使上述缸頭側埠21成為排氣狀態，並使得上述缸桿側埠22成為供氣狀態時，上述第1鎖定機構91的鎖定解除用壓力室104成為供氣狀態，上述第2鎖定機構92的鎖定解除用壓力室104a成為排氣狀態。
因此，上述第1鎖定機構91的閉鎖活塞93是如圖14以實線表示，藉空氣的作用一邊壓縮鎖簧103並後退，占據從上述卡止部34b遠離的非鎖定位置，可藉此進行上述凸輪架27即第1組塊11的上升。
另一方面，上述第2鎖定機構92的閉鎖活塞93a是如圖14以虛線表示，被上述鎖簧103a推壓前進，使上述卡止軸部95a的前端，成為可沿著導槽34上下方向相對移動地抵接於上述凸輪架27的導槽34之平坦底壁34a的狀態。此時，上述卡止軸部95a的前端未卡止於上述凸輪架27。
並且，藉上述汽缸7A、7B的作用使上述閥板3上升至密閉位置P3，如圖14表示，形成於上述導槽34的底壁的卡止孔34c上升來到上述閉鎖活塞93a的位置時，該閉鎖活塞93a被鎖簧103a推壓前進，將卡止軸部95a的前端嵌合卡止於上述卡止孔34c內，因此該閉鎖活塞93a占據鎖定位置。其結果，上述凸輪架27即第1組塊11成為相對於上述汽缸殼20之滾筒架20a卡止的狀態而阻止其下降，因此上述閥板3被鎖定於上述密閉位置P3。
又，上述閥板3從上述密閉位置P3朝著全開位置P1移動時，如上述，上述缸頭側埠21及第2鎖定機構92的鎖定解除用壓力室104a成為供氣狀態，且上述缸桿側埠22及第1鎖定機構91的鎖定解除用壓力室104是成為排氣狀態。 因此，上述第2鎖定機構92的閉鎖活塞93a藉著空氣的作用一邊壓縮鎖簧103a並後退，占據從上述卡止孔34c脫離的非鎖定位置，可藉此進行上述第1組塊11的下降。
另一方面，上述第1鎖定機構91的閉鎖活塞93是藉鎖簧103的彈推力前進，使上述卡止軸部95的前端成為沿著導槽34沿著上下方向可相對移動地抵接於上述凸輪架27的導槽34之平坦底壁34a的狀態。此時，上述卡止軸部95的前端未卡止於上述凸輪架27。
並且，上述閥板3藉上述汽缸7A、7B的作用下降至全開位置P1，使上述凸輪架27的導槽34上端的上述卡止部34b下降至上述第1鎖定機構91的閉鎖活塞93的位置時，如圖13表示，該閉鎖活塞93被鎖簧103推壓前進，將卡止軸部95的前端卡止於上述卡止部34b，藉此將上述閥板3鎖定於全開位置P1。
如此一來，在一對汽缸7A、7B設置第1鎖定機構91及第2鎖定機構92，構成以此第1鎖定機構91及第2鎖定機構92將上述閥板3鎖定於全開位置P1與密閉位置P3，藉此即使供應上述汽缸7A、7B之空氣的壓力變動，或阻斷對該汽缸7A、7B之空氣的供應的場合，仍可防止因上述閥板3難以意料的位移等，具優異的安全性。
2:閘開口 3:閥板 4:閥軸 5:驅動機構 6:前蓋 7A,7B:汽缸 8:驅動桿 9:軸支撐機構 20:汽缸殼 21:缸頭側埠 22:缸桿側埠
23:活塞
24:缸頭側主流路
25:缸桿側主流路
36:空氣減震器
40:減震室
41:緩衝構件
44:減震桿
46:減震壓力室
61:缸頭側壓力室
62:缸桿側壓力室
63:缸頭側緩衝軸
67:缸頭側連通路
68:缸頭側節流流路
74:缸頭側緩衝孔
75:缸頭側緩衝墊圈
78:缸桿側緩衝孔(缸桿側連通路)
80:缸桿側節流流路
85:缸桿側緩衝軸
86:缸桿側緩衝墊圈
91:第1鎖定機構
92:第2鎖定機構
P1:全開位置
P2:中間位置
P3:密閉位置
[圖1]為本發明相關之閘閥的正面圖，閥板位在全開位置時的狀態，將閥箱的一部分截斷表示的圖。 [圖2]是沿著圖1的II-II線的剖面圖。 [圖3]是表示上述閥板從圖1的狀態移動至中間位置時的狀態之上述閘閥的正面圖。 [圖4]是沿著圖3的IV-IV線的剖面圖。 [圖5]是表示上述閥板從圖3的狀態移動至密閉位置時的狀態之上述閘閥的正面圖。 [圖6]是沿著圖5的VI-VI線的剖面圖。 [圖7]是將一對汽缸的構造與相對於該汽缸之空氣流路的配置，以部分模式化表示的剖面圖。 [圖8]是放大表示圖7之一對汽缸的一方的剖面圖，表示上述閥板位於全開位置時之上述汽缸的動作位置的圖。 [圖9]是表示形成在圖8的缸頭側節流流路的節流部之實際構造的放大剖面圖。 [圖10]是表示上述閥板從圖7的狀態移動至中間位置時之上述汽缸的動作位置的剖面圖。 [圖11]是表示上述閥板從圖10的狀態移動至密閉位置時之上述汽缸的動作位置的剖面圖。 [圖12]是放大表示圖7中之空氣減震器部的部分的主要部放大圖。 [圖13]是沿著圖2中的XIII-XIII線的放大剖面圖。 [圖14]是沿著圖6中的XIV-XIV線的放大剖面圖。 [圖15]是表示本發明相關的閘閥中，在閥板的開合時產生的噪音與活塞之前進時及後退時的行程關連的線圖。 [圖16]是表示習知的閘閥中，在閥板的開合時產生的噪音與活塞之前進時及後退時的行程關連的線圖。
1:閥箱
2:閘開口
2a:後部開口
3:閥板
4:閥軸
5:驅動機構
6:前蓋
7A,7B:汽缸
8:驅動桿
9:軸支撐機構
11:第1組塊
12:第2組塊
13:壓縮彈簧
14:閥封件
17:波紋管
20:汽缸殼
20a:滾筒架
21:缸頭側埠
22:缸桿側埠
26:支撐基板
27:凸輪架
31:肩部
33a,33b:導輥
35:抵接部
36:空氣減震器
P1:全開位置
L1,L2:軸線

Claims (7)

  1. 一種低噪音閘閥，其特徵為，具有：使閘開口開合的閥板；在該閥板連結著前端的閥軸；及透過該閥軸使上述閥板開合動作的驅動機構，上述驅動機構，具有：上述閥軸可自由位移貫穿的前蓋；夾著上述閥軸彼此平行安裝於該前蓋的左右一對的汽缸；及相對於該一對汽缸進行空氣供排的缸頭側埠及缸桿側埠，上述汽缸，具有：固定於上述前蓋的汽缸殼；自由前進、後退地收容於該汽缸殼的內部的活塞；在該活塞連結基端且前端突出於上述汽缸殼的外部的驅動桿；及形成在上述活塞的一面側及另一面側的缸頭側壓力室及缸桿側壓力室，上述缸頭側壓力室是通過形成於上述汽缸殼及前蓋的缸頭側主流路與上述缸頭側埠連通，上述缸桿側壓力室是通過形成於上述汽缸殼及前蓋的缸桿側主流路與上述缸桿側埠連通，在上述一對汽缸的驅動桿，透過軸支撐機構支撐著上述閥軸的基端部，構成可藉上述活塞及驅動桿的前進行程，使上述閥板從密閉上述閘開口的密閉位置，經過雖與上述閘開口相對但未封閉該閘開口的中間位置，而朝著使上述閘開口全開的全開位置移動，藉著上述活塞及驅動桿的後退行程，使上述閥板從上述全開位置，經過上述中間位置，而朝著上述密閉位置移動， 上述汽缸，並具有緩和以上述閥板開合閘開口時之衝擊的缸頭側空氣緩衝機構及缸桿側空氣緩衝機構，上述缸頭側空氣緩衝機構，具有：並聯連結上述缸頭側壓力室與缸頭側主流路的缸頭側連通路及缸頭側節流流路，及後退的上述活塞接近後退行程端時阻斷上述缸頭側連通路的阻斷機構，該阻斷機構是在上述活塞的上述後退行程中，上述閥板到達上述中間位置之前阻斷上述缸頭側連通路，上述缸桿側空氣緩衝機構，具有：並聯連結上述缸桿側壓力室與缸桿側主流路的缸桿側連通路及缸桿側節流流路，及前進的上述活塞接近前進行程端時阻斷上述缸桿側連通路的阻斷機構，該阻斷機構是在上述活塞的上述前進行程中，上述閥板通過上述中間位置之後阻斷上述缸桿側連通路，在上述前蓋設有上述閥板從上述全開位置到達上述中間位置時，緩衝性抵接於上述軸支撐機構的空氣減震器，上述空氣減震器，具有：形成於上述前蓋的減震室；在上述減震室的內部，以使得前端突出於上述前蓋的外部的姿勢可自由滑動收容的減震桿；及與上述缸桿側主流路連通、且吸收上述減震桿的衝擊力的減震壓力室。
  2. 如請求項1記載的低噪音閘閥，其中，上述缸頭側空氣緩衝機構的阻斷機構，具有：從上述缸頭側壓力室的端壁朝著該缸頭側壓力室內突出的缸頭側緩衝軸；上述活塞接近後退行程端時使上述缸頭側緩衝軸嵌合 地形成在該活塞的凹狀的缸頭側緩衝孔；及密封該缸頭側緩衝孔的內周圍與上述缸頭側緩衝軸的外圍之間的缸頭側緩衝墊圈，在上述缸頭側緩衝軸的內部形成有上述缸頭側連通路，上述缸桿側空氣緩衝機構的阻斷機構，具有：形成於上述缸桿側壓力室之端壁的凹狀的缸桿側緩衝孔；上述活塞接近前進行程端時嵌合於該缸桿側緩衝孔內的缸桿側緩衝軸；及密封上述缸桿側緩衝孔的內周圍與該缸桿側緩衝軸的外圍之間的缸桿側緩衝墊圈，藉上述缸桿側緩衝孔形成上述缸桿側連通路。
  3. 如請求項2記載的低噪音閘閥，其中，上述缸頭側緩衝墊圈雖阻斷從上述缸頭側壓力室朝缸頭側緩衝孔的空氣的流動，但形成可容許從缸頭側緩衝孔朝缸頭側壓力室之空氣的流動，上述缸桿側緩衝墊圈雖阻斷從上述缸桿側壓力室朝缸桿側緩衝孔的空氣的流動，但形成可容許從缸桿側緩衝孔朝缸桿側壓力室之空氣的流動。
  4. 如請求項1記載的低噪音閘閥，其中，上述一對汽缸之缸頭側空氣緩衝機構的所有的缸頭側連通路及缸頭側節流流路是與上述缸頭側主流路連通，且上述一對汽缸之缸桿側空氣緩衝機構的所有的缸桿側連通路及缸桿側節流流路是與上述缸桿側主流路連通，藉此，上述一對汽缸的缸頭側空氣緩衝機構彼此及缸桿側空氣緩衝機構彼此為互相同步動作。
  5. 如請求項1記載的低噪音閘閥，其中，上述缸頭側空氣緩衝機構的阻斷機構是在上述活塞通過上述後退行程的中間點並到達上述中間位置的期間阻斷上述缸頭側連通路。
  6. 如請求項1記載的低噪音閘閥，其中，上述空氣減震器具有固定式收容在該減震室的內部的緩衝構件；上述減震桿是以基端與上述緩衝構件相對之方式收容；上述減震壓力室是形成在該減震桿與上述緩衝構件之間。
  7. 如請求項1記載的低噪音閘閥，其中，在上述汽缸設有將上述閥板鎖定於密閉位置用的第1鎖定機構，及將上述閥板鎖定於全開位置用的第2鎖定機構。
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