JP3462461B2 - エアクッション機構付きリニアアクチュエーター - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基台に内蔵した２
組のエアシリンダ−機構を同期的に動作させて該基台上
のスライドテーブルを直線的に動作させるリニアアクチ
ュエーターに関するものであり、更に詳しくは、上記ス
ライドテーブルをストローク端に緩衝的に停止させるた
めの手段を備えたリニアアクチュエーターに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】例えば特開平１０−６１６１１号公報に
開示されているように、基台に２組のエアシリンダ−機
構を内蔵し、これらのエアシリンダ−機構を同期的に動
作させて該基台上のスライドテーブルを直線的に往復動
作させるようにしたリニアアクチュエーターは、既に公
知である。

【０００３】このようなリニアアクチュエーターにおい
ては、スライドテーブルをストローク端に緩衝的に停止
させるために、各種の緩衝機構が付設されている。例え
ば、基台の側面にばねで弾発されたダンパーを設け、こ
のダンパーに、スライドテーブルの側面に設けた当接子
をストローク端で当接させるものなどである。

【０００４】しかしながら、公知のリニアアクチュエー
ターに設けられている緩衝機構は何れも、衝撃を機械的
に吸収する方式のもので、構造が簡単で動作も確実では
あるが、衝撃音がしたり、緩衝機構が側面に突出してい
るなどの理由により、用途によっては使用できない場合
がある。

【０００５】一方、通常のエアシリンダ−装置において
は、ピストンの動作時に排気側の圧力室内のエアを一時
的に封じ込めて昇圧させ、この排気圧でピストンを減速
させてストロークエンドに緩衝的に停止させるエアクッ
ション式の緩衝機構が用いられている。

【０００６】しかしながらこのエアクッション式の緩衝
機構は、ピストンの少なくとも一側に長さの長いクッシ
ョンリングを設けると共に、圧力室に該クッションリン
グが嵌入する長いクッション室を設ける方式のものであ
るため、シリンダの軸線方向の長さが長くなり、これを
そのままリニアアクチュエーターに適用しても、該リニ
アアクチュエーターが大形化するだけである。しかも、
２組のエアシリンダ−機構を有しているため、それぞれ
にエアクッションを設けるとなると、リニアアクチュエ
ーターがさらに大形化してしまう。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、エアクッション式の緩衝機構を備えた小形で合理的
な設計構造を有するリニアアクチュエーターを提供する
ことにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のリニアアクチュエーターは、シリンダー孔
内を摺動自在のピストンと該ピストンの両側に区画され
た圧力室とを備え、対応する圧力室同士が連通孔により
相互に連通されている２組のエアシリンダ−機構；これ
らのエアシリンダ−機構を内蔵する基台；上記基台に摺
動自在に取り付けられて上記エアシリンダ−機構により
駆動されるスライドテーブル；上記各エアシリンダ−機
構の圧力室に圧縮空気を供給するための両エアシリンダ
−機構に共通の一対のポート、及びこれらの各ポートと
一方のエアシリンダ−機構の各圧力室とを結ぶポート
孔；上記各エアシリンダ−機構のピストンを正逆少なく
とも一方のストローク端に緩衝的に停止させるための、
両エアシリンダ−機構に共通のエアクッション機構；を
有し、上記エアクッション機構が、少なくとも一方のポ
ート側に設けられて圧力室に上記ポート孔よりも室端寄
りの位置で連通する絞り孔を兼ねる排気口と、該排気口
と上記ポートとを結ぶ弁室と、該弁室内に設けられ該排
気口の開口面積を調整するニードルと、上記ピストンの
外周面に取り付けられ、該ピストンがストローク端に到
達する直前に上記ポート孔を乗り越えて圧力室内の圧縮
空気を上記排気口から流量制限して排出させるように動
作するクッションパッキンと、上記排気口よりも端部寄
りの位置でシリンダー孔に開口するように形成された上
記弁室と圧力室とを結ぶ補助孔と、該補助孔と圧力室と
の間に設けられた逆止弁とを有することを特徴とするも
のである。

【０００９】上記構成を有する本発明のリニアアクチュ
エーターにおいて、一対のポートを通じて各エアシリン
ダ−機構の圧力室に圧縮空気を供給及び排出すると、両
エアシリンダ−機構のピストンは同期的に動作し、スラ
イドテーブルが基台上を直線的に往復移動する。

【００１０】上記スライドテーブルがストローク端に到
達したときの緩衝的停止は、２組のエアシリンダ−機構
のピストンを共通のエアクッション機構で同期的に減速
させることにより行われる。すなわち、各エアシリンダ
−機構におけるピストンの摺動時に、排気側の各圧力室
内の圧縮空気は初めは主として上記ポート孔からポート
を通じて排出されているが、該ピストンがストローク端
に近づいてクッションパッキンが上記排気側のポート孔
を越えると、該ポート孔と上記圧力室とが遮断され、該
圧力室内の圧縮空気は排気口のみから絞り手段を通じて
制限的に排出されるようになる。このため、該流量制限
機構による流量制御によって上記圧力室内の圧力が上昇
し、それがピストン背圧となってピストンを減速させな
がらストローク終端に到達させる。上記絞り手段は、絞
り孔を兼ねる上記排気口とこの排気口の開口面積を調整
するためのニードルとで構成することができる。

【００１１】このように上記リニアアクチュエーター
は、エアクッション式の緩衝機構を備えているため、機
械式の緩衝機構のような衝突音がなく静かであると共
に、発塵のおそれもなく、クリーンルーム等においても
使用することができる。また、従来のように機械式の緩
衝機構をスライドテーブルの片側だけに設けると、停止
時に該スライドテーブルが片側で支持されるために軸線
が傾き易くなるが、本発明では、各エアシリンダ−機構
のピストンにその推力が発生する方向と同一軸線上にお
いてクッション効果が働き、しかも各エアシリンダ−機
構が同期的に減速されるため、スライドテーブルの傾き
は生じない。さらに、２組のエアシリンダ−機構に１つ
の共通のエアクッション機構を設けているだけでなく、
このエアクッション機構が従来のような長いクッション
リングやそれが嵌入する長いクッション室を必要としな
いので、リニアアクチュエータを非常に小形で合理的な
設計構造とすることができる。

【００１２】本発明の具体的な実施形態によれば、上記
逆止弁がリップシールからなっていて、このリップシー
ルが、上記シリンダー孔の端部を閉塞するカバーの外周
と該シリンダー孔の孔面とに間に設けられていることが
望ましい。

【００１３】 また、本発明においては、上記２組のエア
シリンダ−機構のうち上記ポート及び排気口に直接連通
する一方のエアシリンダ−機構のピストンが、上記クッ
ションパッキンと、ストローク端で上記ポート孔の手前
に停止するピストンパッキンとを有し、他方のエアシリ
ンダ−機構のピストンが、ストローク端で圧力室同士を
結ぶ連通孔の手前に停止するピストンパッキンのみを有
するように構成することができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施形態を図面
を参照しながら詳細に説明する。図１〜図４に示すリニ
アアクチュエーター１００は、扁平な短角柱状をした基
台１と、該基台１の上面に設けられたリニアガイド２
と、基台１の上面に該リニアガイド２に沿って摺動自在
なるように設けられたスライドテーブル３と、上記基台
１の内部に並列に内蔵されて該スライドテーブル３を駆
動する、同期して動作する第１及び第２の２組のエアシ
リンダ−機構４Ａ，４Ｂと、これらのエアシリンダ−機
構４Ａ，４Ｂをストローク端に緩衝的に停止させるため
のエアクッション機構５ａ，５ｂとを備えている。

【００１５】 上記リニアガイド２は、基台１の上面中央
部に固定された矩形のガイドブロック１０を有してい
て、このガイドブロック１０を跨ぐように上記スライド
テーブル３が取り付けられ、これらガイドブロック１０
の両側面の溝１１とスライドテーブル３の両ガイド壁３
ａ内面の溝１２との間にそれぞれ、複数のボール１３が
転動自在に介在せしめられており、これらのボール１３
の転動によって上記スライドテーブル３が、ガイドブロ
ック１０に沿って直線的に往復移動するようになってい
る。

【００１６】 上記ボール１３はまた、上記溝１１の他
に、ガイドブロック１０の両側端部寄りの位置に溝１１
と平行に形成されたボール孔１４内にも収容されてい
て、これらの溝１１内のボール１３とボール孔１４内の
ボール１３とが環状の列をなすように連なっており、ス
ライドテーブル３の摺動時にこれらのボール１３が、上
記溝１１とボール孔１４とに沿って循環的に転動するよ
うになっている。

【００１７】 上記２組のエアシリンダ−機構４Ａ，４Ｂ
は、図４から明らかなように、扁平な基台１の内部に並
列に内蔵されていて、ピストン２１Ａ，２１Ｂの構成が
若干相違している以外は以下に述べるように実質的に同
じ構成を有するものである。なお、以下の説明において
上記ピストン２１Ａ，２１Ｂは、それらを区別するとき
以外は共通符号「２１」で表わすものとする。

【００１８】 すなわち、上記基台１の内部には、その軸
線方向に延びる２つのシリンダ孔２０，２０が左右平行
に設けられ、これらの各シリンダ孔２０内に上記ピスト
ン２１が摺動自在に収容されると共に、該ピストン２１
に連結されて先端がシリンダ孔２０の一方から突出する
ピストンロッド２２が設けられている。また、上記各シ
リンダ孔２０のヘッド側の端部はヘッドカバー２４によ
り閉塞され、ロッド側の端部にはロッドカバー２５が取
り付けられ、このロッドカバー２５を上記ピストンロッ
ド２２が、シール部材を介して気密にかつ摺動自在なる
ように貫通している。

【００１９】 これによって上記ピストン２１の両側に
は、上記ヘッドカバー２４との間にヘッド側圧力室２６
ａが形成されると共に、ロッドカバー２５との間にロッ
ド側圧力室２６ｂが形成され、２組のエアシリンダ−機
構４Ａ，４Ｂの対応する圧力室同士、すなわちヘッド側
圧力室２６ａ，２６ａ同士とロッド側圧力室２６ｂ，２
６ｂ同士とがそれぞれ、基台１に穿設した連通孔２７
ａ，２７ｂにより相互に連通している。

【００２０】 そして、上記基台１における第１のエアシ
リンダ−機構４Ａ側の側面には、該第１のエアシリンダ
−機構４Ａにおける一対の圧力室２６ａ，２６ｂに圧縮
給気を供給するための一対のポート３０ａ，３０ｂが設
けられ、これらのポート３０ａ，３０ｂと圧力室２６
ａ，２６ｂとがそれぞれ、ポート孔３０ｃ，３０ｃを通
じて相互に連通している。これらのポート３０ａ，３０
ｂは、２組のエアシリンダ−機構４Ａ，４Ｂに共通のも
ので、これらのポート３０ａ，３０ｂから第１のエアシ
リンダ−機構４Ａのヘッド側圧力室２６ａとロッド側圧
力室２６ｂとに交互に圧縮空気を供給することにより、
圧力室同士が連通する２組のエアシリンダ−機構４Ａ，
４Ｂのピストン２１Ａ，２１Ｂが互いに同期して摺動す
るようになっている。

【００２１】 上記２組のエアシリンダ−機構４Ａ，４Ｂ
におけるピストンロッド２２の先端には、共通の中継プ
レート３２が取り付けられていて、この中継プレート３
２が上記スライドテーブル３に連結され、この中継プレ
ート３２を介してスライドテーブル３が２つのエアシリ
ンダ−機構４Ａ，４Ｂにより駆動されるようになってい
る。

【００２２】 また、上記エアクッション機構５ａ，５ｂ
は、２組のエアシリンダ−機構４Ａ，４Ｂに共通のもの
で、第１のエアシリンダ−機構４Ａに付設することによ
って連鎖的に第２のエアシリンダ−機構４Ｂもエアクッ
ション作用を生ずるように構成されている。すなわち、
このエアクッション機構５ａ，５ｂは、図５からも分か
るように、上記一対のポート３０ａ，３０ｂに隣接する
位置に設けられてポート孔３０ｃ，３０ｃよりも室端側
に寄った位置で各圧力室２６ａ，２６ｂに開口する排気
口３４と、これらの排気口３４とポート３０ａ，３０ｂ
との間に接続されて上記圧力室２６ａ，２６ｂから排出
される排気の流量を制限する絞り手段３６とを有してい
る。

【００２３】 上記絞り手段３６は、絞り孔を兼ねる上記
排気口３４とこの排気口３４の開口面積を調整するため
のニードル４５とで構成されている。上記排気口３４と
ポート３０ａ，３０ｂの両方に通じる弁室３９内に上記
排気口３４を開口させ、上記 ニードル４５をホルダー４
６に進退調節自在に保持させて上記弁室３９内に設ける
ことにより、絞り手段３６をこの弁室３９内に収容して
いる。上記弁室３９とポート３０ａ，３０ｂとは流路４
１によって結ばれている。また、上記基台１には、上記
弁室３９と各圧力室２６ａ，２６ｂとを流路４１によっ
て結ぶ補助孔４７が上記排気口３４よりもシリンダー孔
２０の端部寄りの位置で該シリンダー孔２０に開口する
ように形成され、ヘッドカバー２４及びロッドカバー２
５の外周とシリンダー孔２０の孔面との間にそれぞれリ
ップシールからなる上記逆止弁３８が設けられている。

【００２４】 上記 逆止弁３８は、ピストン２１のストロ
ーク終端側のクッション行程において、圧力室２６ａ，
２６ｂからの排気が上記絞り手段３６を通じてポート３
０ａ，３０ｂ側へと流れるもの以外は阻止し、ピストン
２１の駆動開始時には、ポート３０ａ，３０ｂからの圧
縮空気を圧力室２６ａ，２６ｂへ自由に流入させるもの
である。

【００２５】 上記第１のエアシリンダ−機構４Ａにおけ
るピストン２１Ａの外周面には、２つのパッキン４３
ａ，４３ｂが取り付けられている。これらのパッキン４
３ａ，４３ｂは、ピストン２１Ａの両側の２つの圧力室
２６ａ，２６ｂを区画するピストンパッキンとしての機
能を有することは勿論であるが、それ以外にクッション
パッキンとしての機能をも兼備していて、上記ピストン
２１Ａがストローク端に到達する直前に移動方向前方側
のパッキン４３ａ又は４３ｂが排気状態にあるポート３
０ａ又は３０ｂのポート孔３０ｃを乗り越え、圧力室２
６ａ又は２６ｂ内の圧縮空気を上記排気口３４のみから
排出させるように動作する。このとき、ピストン２１Ａ
の移動方向後方側のパッキン４３ｂ又は４３ａは、排気
側のポート３０ｂ又は３０ａのポート孔３０ｃを越える
ことなく、ピストン２１Ａがストローク端に到達したと
き該ポート孔３０ｃの手前に停止する。

【００２６】 なお、第２のエアシリンダ−機構４Ｂにお
けるピストン２１Ｂの外周面には、１つのパッキン４３
だけが取り付けられ、これがピストンパッキンとして機
能するようになっている。このピストンパッキン４３
は、ストローク端において、２つのエアシリンダ−機構
４Ａ，４Ｂの対応する圧力室２６ａ，２６ａ同士及び２
６ｂ，２６ｂ同士を結ぶ連通孔２７ａ，２７ｂの手前で
それぞれ停止する。

【００２７】 上記構成を有するリニアアクチュエーター
において、２つのポート３０ａ，３０ｂから２組のエア
シリンダ−機構４Ａ，４Ｂの圧力室２６ａ，２６ｂに圧
縮空気を交互に供給すると、両エアシリンダ−機構４
Ａ，４Ｂのピストン２１Ａ，２１Ｂが同期的に動作し、
ピストンロッド２２，２２及び中継プレート３２を介し
てスライドテーブル３がリニアガイド２に沿って移動す
る。このとき、上記スライドテーブル３のストローク端
での緩衝的停止は、２組のエアシリンダ−機構４Ａ，４
Ｂのピストン２１Ａ，２１Ｂを、共通のエアクッション
機構５ａ，５ｂでストローク端に同期的に減速停止させ
ることにより行われる。この点を、図４により、ピスト
ン２１Ａ，２１Ｂをヘッド側のストローク端にエアクッ
ション機構５ａで緩衝的に停止させる場合について説明
する。

【００２８】 すなわち、図４に示すように、ロッド側ポ
ート３０ｂからエアシリンダ−機構４Ａ，４Ｂのロッド
側圧力室２６ｂに圧縮空気を供給すると、ピストン２１
Ａ，２１Ｂはヘッド側に向けて図の右方向に移動する。
このとき、排気側であるヘッド側圧力室２６ａ内の圧縮
空気は、ヘッド側ポート３０ａのポート孔３０ｃと排気
口３４とを通じて排出されているが、ピストン２１Ａが
ストローク端に近づいて、移動方向前方側のパッキン４
３ａが図に示すように排気側のポート３０ａのポート孔
３０ｃを乗り越えると、該ポート孔３０ｃと上記圧力室
２６ａとが遮断され、該圧力室２６ａ内の圧縮空気は、
エアクッション機構５ａの排気口３４のみから制限的に
排出されるようになる。このため、上記圧力室２６ａ内
の圧力が上昇し、それがピストン背圧となって２つのピ
ストン２１Ａ，２１Ｂを減速させながら、ストローク終
端に到達させる。

【００２９】 上述した場合とは逆に、ピストン２１Ａ，
２１Ｂを上記ヘッド側のストローク端からロッド側に向
けて図の左方向に移動させる場合は、ヘッド側のポート
３０ａに圧縮空気を供給する。このとき、該ポート３０
ａのポート孔３０ｃは、ピストン２１Ａ上の２つのパッ
キン４３ａ，４３ｂの間にあって閉鎖されているが、上
記ポート３０ａからの圧縮空気は、流路４１から補助孔
４７を通ってヘッドカバー２４の外周とシリンダ孔２０
の孔面との隙間に流入した後、上記逆止弁３８を押し開
いて圧力室２６ａ内に自由に流入するため、ピストン２
１Ａ，２１Ｂは所定の速度で起動することができる。そ
して、ピストン２１Ａの移動方向後方側のパッキン４３
ａが上記ポート３０ａのポート孔３０ｃを越えると、圧
縮空気はこのポート孔３０ｃを通じて直接圧力室２６ａ
に流入するようになるため、ピストン２１はそのまま引
き続いて移動する。

【００３０】 上記ピストン２１Ａ，２１Ｂがロッド側の
ストローク端に到達するときは、ロッド側のエアクッシ
ョン機構５ｂが機能する。すなわち、上記ピストン２１
Ａがストローク端に近づくと、その移動方向前方側にあ
るパッキン４３ｂが、ロッド側圧力室２６ｂからの排気
の流出経路を、ポート孔３０ｃを通じてポート３０ｂか
ら直接排出されている状態から、エアクッション機構５
ｂの排気口３４を通じて制限的に排出される状態に切換
える。このため２つのピストン２１Ａ，２１Ｂは、ロッ
ド側ストローク端に減速しながら緩衝的に停止すること
になる。

【００３１】 このように上記リニアアクチュエーター
は、エアクッション式の緩衝機構を備えているため、機
械式の緩衝機構のような衝突音がなく静かであると共
に、発塵のおそれもなく、クリーンルーム等においても
使用することができる。また、従来のように機械式の緩
衝機構をスライドテーブル３の片側だけに設けると、停
止時に該スライドテーブル３が片側で支持されるために
軸線が傾き易くなるが、本発明では、各エアシリンダ−
機構４Ａ，４Ｂのピストン２１，２１にその推力が発生
する方向と同一軸線上においてクッション効果が働き、
しかもこれらのエアシリンダ−機構４Ａ，４Ｂが同期的
に減速されるため、スライドテーブル３の傾きは生じな
い。さらに、２組のエアシリンダ−機構４Ａ，４Ｂに共
通のエアクッション機構５ａ，５ｂを設けているだけで
なく、このエアクッション機構５ａ，５ｂが従来のよう
な長いクッションリングやそれが嵌入する長いクッショ
ン室を必要としないので、リニアアクチュエータを非常
に小形で合理的な設計構造とすることができる。

【００３２】 また、 逆止弁３８をヘッドカバー２４及び
ロッドカバー２５に保持させてシリンダー孔２０内に設
けることにより、弁室３９内にはニードル４５を設ける
だけで良く、しかも排気口３４が絞り孔を兼ねていて専
用の絞り孔を別に設ける必要がないため、上記弁室３９
の容積を小さくすることができ、この結果、基台１の肉
厚を小さくすることが可能となってリニアアクチュエー
ター全体を小形化することができる。

【００３３】 なお、上記各実施例では、ピストン２１を
正逆両方のストローク端で緩衝的に停止させ得るように
両ストローク端の位置に２つのエアクッション機構５
ａ，５ｂを設けているが、何れか一つのエアクッション
機構５ａ又は５ｂだけを設けることにより、ピストン２
１を一方のストローク端だけに緩衝的に停止させるよう
に構成することもできる。

【００３４】

【発明の効果】このように本発明によれば、エアクッシ
ョン式の緩衝機構を備えた小形で合理的な設計構造を有
するリニアアクチュエーターを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るエアクッション機構付きリニアア
クチュエーターの実施例を示す斜視図である。

【図２】図１のリニアアクチュエーターの側面図であ
る。

【図３】図２におけるＡ−Ａ線での断面図である。

【図４】図２におけるＢ−Ｂ線での断面図である。

【図５】図４の要部拡大図である。

【符号の説明】１００ リニアアクチュエーター １ 基台 ３ スライドテーブル ４Ａ，４Ｂ エアシリンダ−機構 ５ａ，５ｂ エアクッション機構 ２１Ａ，２１Ｂ ピストン ２４ ヘッドカバー ２５ ロッドカバー ２６ａ，２６ｂ 圧力室 ２７ａ，２７ｂ 連通孔 ３０ａ，３０ｂ ポート ３０ｃ ポート孔 ３４ 排気口 ３６ 絞り手段 ３８ 逆止弁 ３９ 弁室 ４３ａ，４３ｂ パッキン ４５ ニードル ４７ 補助孔

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−61611（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−169608（ＪＰ，Ａ) 特開2000−199503（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−69601（ＪＰ，Ｕ) 米国特許3033169（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F15B 15/14 F15B 15/22

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】シリンダー孔内を摺動自在のピストンと該
   ピストンの両側に区画された圧力室とを備え、対応する
   圧力室同士が連通孔により相互に連通されている２組の
   エアシリンダ−機構； これらのエアシリンダ−機構を内蔵する基台； 上記基台に摺動自在に取り付けられて上記エアシリンダ
   −機構により駆動されるスライドテーブル； 上記各エアシリンダ−機構の圧力室に圧縮空気を供給す
   るための両エアシリンダ−機構に共通の一対のポート、
   及びこれらの各ポートと一方のエアシリンダ−機構の各
   圧力室とを結ぶポート孔； 上記各エアシリンダ−機構のピストンを正逆少なくとも
   一方のストローク端に緩衝的に停止させるための、両エ
   アシリンダ−機構に共通のエアクッション機構；を有
   し、 上記エアクッション機構が、少なくとも一方のポート側
   に設けられて圧力室に上記ポート孔よりも室端寄りの位
   置で連通する絞り孔を兼ねる排気口と、該排気口と上記
   ポートとを結ぶ弁室と、該弁室内に設けられ該排気口の
   開口面積を調整するニードルと、上記ピストンの外周面
   に取り付けられ、該ピストンがストローク端に到達する
   直前に上記ポート孔を乗り越えて圧力室内の圧縮空気を
   上記排気口から流量制限して排出させるように動作する
   クッションパッキンと、上記排気口よりも端部寄りの位
   置でシリンダー孔に開口するように形成された上記弁室
   と圧力室とを結ぶ補助孔と、該補助孔と圧力室との間に
   設けられた逆止弁とを有する、 ことを特徴とするエアクッション機構付きリニアアクチ
   ュエーター。
2. 【請求項２】請求項１に記載のリニアアクチュエーター
   において、上記逆止弁がリップシールからなっていて、
   このリップシールが、上記シリンダー孔の端部を閉塞す
   るカ バーの外周と該シリンダー孔の孔面との間に設けら
   れていることを特徴とするもの。
3. 【請求項３】請求項１または２に記載のリニアアクチュ
   エーターにおいて、上記２組のエアシリンダ−機構のう
   ち上記ポート及び排気口に直接連通する一方のエアシリ
   ンダ−機構のピストンが、上記クッションパッキンと、
   ストローク端で上記ポート孔の手前に停止するピストン
   パッキンとを有し、他方のエアシリンダ−機構のピスト
   ンが、ストローク端で圧力室同士を結ぶ連通孔の手前に
   停止するピストンパッキンのみを有することを特徴とす
   るもの。