JP5343097B2 - 流体圧シリンダ及びシリンダボディ - Google Patents

Description

本発明は、流体圧シリンダ及びシリンダボディに関する。

流体圧シリンダは、流体圧の供給に基づいて、例えばピストンが直線的に移動され、そのピストンの移動に伴い、ワーク搬送用のテーブルが直線的に移動される。このような流体圧シリンダでは、テーブルの移動ストロークの終端において、テーブルの急激な停止によるワークの損傷等を防止するために、テーブルの移動速度を緩やかに低下させる緩衝機構を備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１のリニアアクチュエータにおいて、基台（シリンダボディ）の内部には、軸線方向（軸方向）に延びる二つのシリンダ孔が平行に形成されるとともに、各シリンダ孔内にピストンが収容されている。一方のピストンの外周面にはパッキンが二つ取り付けられるとともに、他方のピストンの外周面にはパッキンが一つ取り付けられている。また、各シリンダ孔のヘッド側の端部はヘッドカバーにより閉塞されるとともに、ロッド側の端部はロッドカバーが取り付けられることにより閉塞されている。さらに、各ピストンにはピストンロッドが連結されるとともに、各ピストンロッドはロッドカバーを介して基台に出没可能に支持されている。各シリンダ孔内は、ピストンによりヘッド側圧力室とロッド側圧力室とに区画されている。各ヘッド側圧力室同士、及びロッド側圧力室同士は基台に穿設された各連通孔により連通している。

基台には、一方のヘッド側圧力室及び一方のロッド側圧力室に圧縮空気を別々に供給するためのポートが一つずつ設けられている。さらに、各ポートに隣接する位置であって、各ポートよりもヘッドカバー側又はロッドカバー側に寄った位置それぞれには、エアクッション機構（緩衝機構）が設けられている。各エアクッション機構は、一方のヘッド側圧力室及び一方のロッド側圧力室にそれぞれ開口する排気口と、一方のヘッド側圧力室及び一方のロッド側圧力室から排出される排気の流量を制限する絞り手段とにより構成されている。

そして、例えば、ロッド側のポートから一方のロッド側圧力室に圧縮空気が供給されると、各ピストンはヘッド側に向けて移動する。このとき、一方のヘッド側圧力室内の圧縮空気は、ヘッド側のポートと排気口とを通じて排出されるが、一方のピストンがストローク端に近づいて、二つのパッキンのうちの移動方向前方側のパッキンがヘッド側のポートを乗り越えると、ポートと一方のヘッド側圧力室とが遮断され、ヘッド側圧力室内の圧縮空気は、排気口のみから制限的に排出される。このため、ヘッド側圧力室内の圧力が上昇し、この圧力の上昇がピストン背圧となって各ピストンを減速させながら、ストローク終端に到達させる。

特許第３４６２４６１号公報

しかしながら、特許文献１のリニアアクチュエータでは、各ピストンを減速させながら停止させるために必要なクッションストロークを確保するために、基台にエアクッション機構を構成する排気口を、各ポートよりもヘッドカバー側又はロッドカバー側に寄った位置に形成する必要がある。すなわち、基台において、各ポートよりもヘッドカバー側又はロッドカバー側にエアクッション機構を設けるスペースを確保しなければならず、基台が軸方向に大型化してしまう。

本発明は、このような従来の技術に存在する問題に着目してなされたものであり、その目的は、軸方向に大型化することなく、簡単な構成で、ピストンがストロークエンド近くまで移動したときのピストンの移動速度を減速させることができる流体圧シリンダ及びシリンダボディを提供することにある。

上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、シリンダボディに複数の貫通孔が形成され、各貫通孔の一端はヘッドカバーが取り付けられることにより閉塞されるとともに、各貫通孔の他端にロッドカバーが取り付けられることでシリンダ室が区画形成され、前記シリンダ室にピストンが収容されるとともに、前記ピストンにより前記シリンダ室内に圧力作用室が区画され、各圧力作用室に対して流体を給排する給排孔が前記シリンダボディにおける前記ヘッドカバー及び前記ロッドカバー近傍に形成され、各ピストンの外面に前記圧力作用室の間をシールするシール部材が設けられる流体圧シリンダであって、前記シリンダボディにおける前記ピストンのストローク途中の位置に形成されるとともに隣り合うシリンダ室同士を連通させる連通通路と、前記ピストンの移動に伴い各圧力作用室から各給排孔を介して排出される流体の流量がそれぞれ異なるように独立して絞る絞り部と、を備えることを要旨とする。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記シリンダボディには前記シリンダ室が二つ形成されるとともに、前記連通通路が前記ヘッドカバー側及び前記ロッドカバー側に一つずつ形成され、前記ヘッドカバー側の連通通路は、前記ピストンに一体のピストンロッドが前記シリンダボディに没入する方向へのクッションストローク長が所望のクッションストローク長になる位置に形成されるとともに、前記ロッドカバー側の連通通路は前記ピストンロッドが前記シリンダボディから突出する方向へのクッションストローク長が所望のクッションストローク長になる位置に形成されていることを要旨とする。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記絞り部を迂回する迂回通路が設けられるとともに、前記迂回通路にオン・オフ弁が設けられていることを要旨とする。

請求項４に記載の発明は、複数の貫通孔が形成され、各貫通孔の一端はヘッドカバーが取り付けられることにより閉塞されるとともに、各貫通孔の他端にロッドカバーが取り付けられることでピストンが収容されるシリンダ室が区画形成され、前記ピストンにより前記シリンダ室内に圧力作用室が区画されるとともに、各圧力作用室に対して流体を給排する給排孔が前記ヘッドカバー及び前記ロッドカバー近傍に形成されたシリンダボディであって、前記ピストンのストローク途中の位置に、隣り合うシリンダ室同士を連通させる連通通路が形成されていることを要旨とする。

この発明によれば、軸方向に大型化することなく、簡単な構成で、ピストンがストロークエンド近くまで移動したときのピストンの移動速度を減速させることができる。

実施形態におけるエアシリンダを示す断面図。 第２シール部材がヘッド側連通通路と重合する位置まで両ピストンが移動した状態を示す断面図。 第２シール部材がヘッド側連通通路を通過した状態を示す断面図。 別の実施形態におけるエアシリンダの一部分を示す断面図。 別の実施形態におけるエアシリンダの一部分を示す断面図。

以下、本発明をエアシリンダに具体化した一実施形態を図１〜図３にしたがって説明する。
図１に示すように、エアシリンダ１１の外郭を形成するシリンダボディ１２内には、二つの貫通孔１３，１４がシリンダボディ１２の軸方向に沿って互いに平行に延びるように形成されている。各貫通孔１３，１４の一端（図１の右端）はヘッドカバー１５，１６が固設されることにより閉塞されるとともに、他端（図１の左端）の内側にはロッドカバー１７，１８が固設されている。各ロッドカバー１７，１８は、Ｃ形止め輪１９，２０により、シリンダボディ１２の軸方向に沿ったシリンダボディ１２内からシリンダボディ１２外へ向けた移動が規制されている。各ロッドカバー１７，１８の内周面にはゴム製のロッドパッキン２１，２２が装着されるとともに、各ロッドカバー１７，１８の外周面にはゴム製のＯリング２３，２４が装着されている。

シリンダボディ１２におけるヘッドカバー１５，１６近傍には、互いに対向するように給排孔としての第１給排孔１２ａ及び第２給排孔１２ｂが形成されている。第１給排孔１２ａは一方の貫通孔１３に連通するとともに、第２給排孔１２ｂは他方の貫通孔１４に連通している。また、シリンダボディ１２におけるロッドカバー１７，１８近傍には、互いに対向するように給排孔としての第３給排孔１２ｃ及び第４給排孔１２ｄが形成されている。第３給排孔１２ｃは一方の貫通孔１３に連通するとともに、第４給排孔１２ｄは他方の貫通孔１４に連通している。

各貫通孔１３，１４内において、各ヘッドカバー１５，１６と各ロッドカバー１７，１８とにより区画された空間によってシリンダ室２５，２６が区画形成されている。各シリンダ室２５，２６には、流体としての空気によりシリンダボディ１２の軸方向に沿って移動可能な円環状をなすピストン２７，２８が収容されている。そして、一方のシリンダ室２５は、ピストン２７によりヘッドカバー１５側の圧力作用室としての第１圧力作用室２５ａと、ロッドカバー１７側の圧力作用室としての第２圧力作用室２５ｂとに区画されている。また、他方のシリンダ室２６は、ピストン２８によりヘッドカバー１６側の圧力作用室としての第３圧力作用室２６ａと、ロッドカバー１８側の圧力作用室としての第４圧力作用室２６ｂとに区画されている。

また、各ピストン２７，２８の内側にはピストンロッド２９，３０の一端に形成された突起部２９ａ，３０ａが嵌着されるとともに、各ピストン２７，２８とピストンロッド２９，３０とが一体移動可能になっている。各ピストン２７，２８の外周面には、ゴム製のシール部材としての第１シール部材３２，３３、第２シール部材３４，３５及びピストン位置検出用のマグネット３６，３７が突起部２９ａ，３０ａの基端側から先端側に向けてこの順序で装着されている。第１シール部材３２，３３及び第２シール部材３４，３５は、第１圧力作用室２５ａと第２圧力作用室２５ｂとの間、及び第３圧力作用室２６ａと第４圧力作用室２６ｂとの間をシールしている。

各ピストンロッド２９，３０は、各ロッドカバー１７，１８の内側を通過してシリンダボディ１２に出没可能になっている。各ピストンロッド２９，３０の他端は、図示しないボルトによってエンドプレート３１に固定され、二つのピストンロッド２９，３０がエンドプレート３１によって連結されている。

両ピストンロッド２９，３０がシリンダボディ１２に没入して両ピストン２７，２８がヘッドカバー１５，１６の端面に当接した状態において、第２シール部材３４，３５は第１及び第２給排孔１２ａ，１２ｂよりもロッドカバー１７，１８側に位置している。すなわち、第１及び第２給排孔１２ａ，１２ｂが位置するシリンダボディ１２におけるヘッドカバー１５，１６近傍とは、両ピストンロッド２９，３０がシリンダボディ１２に没入して両ピストン２７，２８がヘッドカバー１５，１６の端面に当接した状態において、ヘッドカバー１５，１６の端面と第２シール部材３４，３５との間の範囲のことをいう。

また、両ピストンロッド２９，３０がシリンダボディ１２から突出して両ピストン２７，２８がロッドカバー１７，１８の端面に当接した状態において、第１シール部材３２，３３は第３及び第４給排孔１２ｃ，１２ｄよりもヘッドカバー１５，１６側に位置している。すなわち、第３及び第４給排孔１２ｃ，１２ｄが位置するシリンダボディ１２におけるロッドカバー１７，１８近傍とは、両ピストンロッド２９，３０がシリンダボディ１２から突出して両ピストン２７，２８がロッドカバー１７，１８の端面に当接した状態において、ロッドカバー１７，１８の端面と第１シール部材３２，３３との間の範囲のことをいう。

シリンダボディ１２における両ピストン２７，２８のストローク途中の位置であって、ヘッドカバー１５，１６側には連通通路としてのヘッド側連通通路４１が形成されるとともに、ロッドカバー１７，１８側には連通通路としてのロッド側連通通路４２が形成されている。ヘッド側連通通路４１及びロッド側連通通路４２は、シリンダボディ１２の軸方向に対して直交する方向へ直線状に延びるように形成されるとともに、二つのシリンダ室２５，２６を連通させている。

第１〜第４給排孔１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄには第１〜第４スピードコントローラ５１，５２，５３，５４が設けられている。第１〜第４スピードコントローラ５１，５２，５３，５４はシリンダボディ１２に対して外付けされている。以下、第１スピードコントローラ５１の構成について説明する。

第１スピードコントローラ５１は、第１給排孔１２ａに接続される第１絞り流路５１ａを有するとともに、この第１絞り流路５１ａは、空気の供給源（図示せず）に接続されている。また、第１スピードコントローラ５１は、第１絞り流路５１ａを流れる空気の流量を絞る絞り部としての第１絞り弁５１ｂを有している。また、第１スピードコントローラ５１は、第１絞り流路５１ａから分岐して第１絞り弁５１ｂを迂回する第１分岐流路５１ｃを有するとともに、第１分岐流路５１ｃには第１逆止弁５１ｄが設けられている。この第１逆止弁５１ｄは、供給源から第１分岐流路５１ｃを介して第１給排孔１２ａへの空気の流れを許容するとともに、第１給排孔１２ａから第１分岐流路５１ｃを介した外部への空気の流れを阻止するようになっている。

なお、第２〜第４スピードコントローラ５２，５３，５４を構成する第２〜第４絞り流路５２ａ，５３ａ，５４ａ、第２〜第４絞り弁５２ｂ，５３ｂ，５４ｂ、第２〜第４分岐流路５２ｃ，５３ｃ，５４ｃ、及び第２〜第４逆止弁５２ｄ，５３ｄ，５４ｄは、第１スピードコントローラ５１を構成する各々と構成が同じであるため、その説明を省略する。

本実施形態では、第１及び第２絞り弁５１ｂ，５２ｂにより第１及び第２絞り流路５１ａ，５２ａの絞り量が調節され、第１絞り流路５１ａを流れる空気の流量が、第２絞り流路５２ａを流れる空気の流量よりも多くなるようになっている。また、第３及び第４絞り弁５３ｂ，５４ｂにより第３及び第４絞り流路５３ａ，５４ａの絞り量が調節され、第３絞り流路５３ａを流れる空気の流量が、第４絞り流路５４ａを流れる空気の流量よりも多くなるようになっている。なお、各絞り弁５１ｂ，５２ｂ，５３ｂ，５４ｂにより、各絞り流路５１ａ，５２ａ，５３ａ，５４ａの絞り量を調節することで、両ピストン２７，２８の移動速度が調節されるようになっている。

次に、上記構成のエアシリンダ１１の作用について説明する。
ピストンロッド２９，３０がシリンダボディ１２から突出されている状態において、まず、供給源から第３スピードコントローラ５３の第３分岐流路５３ｃ及び第３絞り流路５３ａを介して第３給排孔１２ｃから第２圧力作用室２５ｂに空気が供給される。また、供給源から第４スピードコントローラ５４の第４分岐流路５４ｃ及び第４絞り流路５４ａを介して第４給排孔１２ｄから第４圧力作用室２６ｂに空気が供給される。すると、第２圧力作用室２５ｂ及び第４圧力作用室２６ｂに供給された空気により両ピストン２７，２８が押圧されてヘッドカバー１５，１６に向けて移動するとともに、ピストンロッド２９，３０がシリンダボディ１２に没入する方向へ移動する。

そして、両ピストン２７，２８がロッド側連通通路４２を通過すると、第１圧力作用室２５ａ及び第３圧力作用室２６ａはヘッド側連通通路４１により連通した状態になる。このとき、第１圧力作用室２５ａ及び第３圧力作用室２６ａ内の空気は、第１給排孔１２ａから第１絞り流路５１ａに排出されるとともに第１絞り弁５１ｂを介して外部へ排出される流れと、第２給排孔１２ｂから第２絞り流路５２ａに排出されるとともに第２絞り弁５２ｂを介して外部へ排出される流れとが同時に発生している。このため、第１圧力作用室２５ａ内の圧力及び第３圧力作用室２６ａ内の圧力は同じになっているとともに、これら第１圧力作用室２５ａ内の圧力及び第３圧力作用室２６ａ内の圧力は、第１絞り弁５１ｂによる第１絞り流路５１ａの絞り量により決められている。

そして、図２に示すように、各ピストン２７，２８の第２シール部材３４，３５がヘッド側連通通路４１と重合する位置まで各ピストン２７，２８が移動する。すると、第２シール部材３４，３５による第１圧力作用室２５ａと第２圧力作用室２５ｂとの間、及び第３圧力作用室２６ａと第４圧力作用室２６ｂとの間のシール性が無くなる。しかし、第１シール部材３２，３３により第１圧力作用室２５ａと第２圧力作用室２５ｂとの間、及び第３圧力作用室２６ａと第４圧力作用室２６ｂとの間のシール性が確保されている。

そして、図３に示すように、各ピストン２７，２８の第２シール部材３４，３５がヘッド側連通通路４１を通過すると、第２シール部材３４により第１圧力作用室２５ａとヘッド側連通通路４１との間がシールされるとともに、第２シール部材３５により第３圧力作用室２６ａとヘッド側連通通路４１との間がシールされる。これにより、ヘッド側連通通路４１を介した第１圧力作用室２５ａと第３圧力作用室２６ａとの連通が遮断される。

このとき、第２絞り流路５２ａは第１絞り流路５１ａよりも絞られている。よって、第３圧力作用室２６ａ内の圧力が、ヘッド側連通通路４１を介した第１圧力作用室２５ａと第３圧力作用室２６ａとの連通が遮断される前の圧力よりも高くなる。すなわち、第３圧力作用室２６ａ内の圧力が、第１圧力作用室２５ａ内の圧力よりも高くなる。この第３圧力作用室２６ａ内の圧力変化によって、両ピストン２７，２８におけるヘッドカバー１５，１６側への移動速度が減速される。

そして、第１圧力作用室２５ａ内の空気は、第１給排孔１２ａから第１絞り流路５１ａに排出されるとともに第１絞り弁５１ｂを介して外部へ排出され、第３圧力作用室２６ａ内の空気は、第２給排孔１２ｂから第２絞り流路５２ａに排出されるとともに第２絞り弁５２ｂを介して外部へ排出される。すると、各ピストン２７，２８がさらにヘッドカバー１５，１６側へ移動して、第１圧力作用室２５ａ内の圧力が徐々に高くなっていくとともに、第３圧力作用室２６ａ内の圧力も徐々に高くなっていく。これにより、各ピストン２７，２８におけるヘッドカバー１５，１６側への移動速度が徐々に減速されていく。そして、各ピストン２７，２８におけるヘッドカバー１５，１６側の端面がヘッドカバー１５，１６の端面に当接するまで各ピストン２７，２８が移動すると、各ピストン２７，２８におけるヘッドカバー１５，１６側への移動が停止される。

本実施形態では、各ピストン２７，２８の第２シール部材３４，３５がヘッド側連通通路４１を通過したときの各ピストン２７，２８におけるヘッドカバー１５，１６側の端面からヘッドカバー１５，１６の端面までの距離が、両ピストン２７，２８の移動速度を減速させるために必要な所望のクッションストローク長になっている。このクッションストローク長は、ヘッド側連通通路４１が形成される位置により決められている。

なお、上記説明では、第３給排孔１２ｃ及び第４給排孔１２ｄから空気を供給して、両ピストン２７，２８を没入方向へ移動させる場合について説明したが、第１給排孔１２ａ及び第２給排孔１２ｂから空気を供給して、両ピストン２７，２８を突出方向へ移動させる場合についての説明も、上記説明と概ね共通しているため、その説明を省略する。また、両ピストン２７，２８を突出方向へ移動させる場合では、各ピストン２７，２８の第１シール部材３２，３３がロッド側連通通路４２を通過したときの各ピストン２７，２８におけるロッドカバー１７，１８側の端面からロッドカバー１７，１８の端面までの距離が、両ピストン２７，２８の移動速度を減速させるために必要な所望のクッションストローク長になっている。このクッションストローク長は、ロッド側連通通路４２が形成される位置により決められている。

上記実施形態では以下の効果を得ることができる。
（１）シリンダボディ１２における両ピストン２７，２８のストローク途中の位置には隣り合うシリンダ室２５，２６同士を連通させるヘッド側連通通路４１及びロッド側連通通路４２が形成されている。さらに、第１〜第４給排孔１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄには、排出される空気の流量が異なるように独立して絞る第１〜第４絞り弁５１ｂ，５２ｂ，５３ｂ，５４ｂが設けられている。そして、両ピストン２７，２８の移動に伴う第１シール部材３２，３３のヘッド側連通通路４１の通過、又は第２シール部材３４，３５のロッド側連通通路４２の通過により、第１圧力作用室２５ａと第３圧力作用室２６ａとの連通、又は第２圧力作用室２５ｂと第４圧力作用室２６ｂとの連通が遮断される。このとき、各絞り弁５１ｂ，５２ｂ，５３ｂ，５４ｂの絞り量に差を持たせているため、第１圧力作用室２５ａと第３圧力作用室２６ａとの間、又は第２圧力作用室２５ｂと第４圧力作用室２６ｂとの間に圧力差が生じ、この圧力差により両ピストン２７，２８の移動速度が減速される。よって、背景技術のように、シリンダボディ１２がその軸方向に大型化することなく、シリンダボディ１２にヘッド側連通通路４１及びロッド側連通通路４２を形成するとともに、各給排孔１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄに絞り弁５１ｂ，５２ｂ，５３ｂ，５４ｂを設けることで、両ピストン２７，２８がストロークエンド近くまで移動したときの両ピストン２７，２８の移動速度を減速させることができる。

（２）シリンダボディ１２には二つのシリンダ室２５，２６が形成され、ヘッドカバー１５，１６側にヘッド側連通通路４１が形成されるとともに、ロッドカバー１７，１８側にロッド側連通通路４２が形成されている。そして、ヘッド側連通通路４１は、ピストンロッド２９，３０がシリンダボディ１２に没入する方向へのクッションストローク長が所望のクッションストローク長になる位置に形成されている。さらに、ロッド側連通通路４２はピストンロッド２９，３０がシリンダボディ１２から突出する方向へのクッションストローク長が所望のクッションストローク長になる位置に形成されている。例えば、連通通路を各ピストン２７，２８のストローク長の中間位置に一つだけ形成した場合、クッションストローク長が所望のクッションストローク長よりも長くなってしまい、両ピストン２７，２８の移動時間が長くなってしまう場合がある。しかし、本実施形態では、ピストンロッド２９，３０の没入方向及び突出方向それぞれのクッションストローク長が所望のクッションストローク長になるように、ヘッド側連通通路４１及びロッド側連通通路４２が形成されているため、両ピストン２７，２８の移動時間にロスが無く、効率良く両ピストン２７，２８を移動させることができる。

（３）シリンダボディ１２における両ピストン２７，２８のストローク途中の位置に各シリンダ室２５，２６同士を連通させるヘッド側連通通路４１及びロッド側連通通路４２が形成されている。そして、この構成のシリンダボディ１２において、第１〜第４給排孔１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄに第１〜第４絞り弁５１ｂ，５２ｂ，５３ｂ，５４ｂを設けることで、各ピストン２７，２８がストロークエンド近くまで移動したときの両ピストン２７，２８の移動速度を減速させることができる。

（４）第１〜第４スピードコントローラ５１，５２，５３，５４には、第１〜第４絞り弁５１ｂ，５２ｂ，５３ｂ，５４ｂを迂回する第１〜第４分岐流路５１ｃ，５２ｃ，５３ｃ，５４ｃが設けられるとともに、第１〜第４分岐流路５１ｃ，５２ｃ，５３ｃ，５４ｃの途中に第１〜第４逆止弁５１ｄ，５２ｄ，５３ｄ，５４ｄが設けられている。よって、供給源から第１〜第４圧力作用室２５ａ，２５ｂ，２６ａ，２６ｂに空気を供給する際には、第１〜第４逆止弁５１ｄ，５２ｄ，５３ｄ，５４ｄが第１〜第４給排孔１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄへの空気の流れを許容するため、第１〜第４絞り弁５１ｂ，５２ｂ，５３ｂ，５４ｂにより空気の流れが絞られることがなく、スムーズに第１〜第４圧力作用室２５ａ，２５ｂ，２６ａ，２６ｂに空気を供給することができる。

なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○ 図４に示す実施形態では、第２絞り流路５２ａから分岐されるとともに第２絞り弁５２ｂ及び第２分岐流路５２ｃを迂回する迂回通路６１が設けられるとともに、迂回通路６１にはオン・オフ弁６２が設けられている。オン・オフ弁６２は外部からの制御信号によりオン・オフに切換可能になっている。具体的には、オン・オフ弁６２がオンになると、迂回通路６１での空気の流れが許容されるとともに、オン・オフ弁６２がオフになると、迂回通路６１での空気の流れが遮断されるようになっている。これによれば、各ピストン２７，２８を短時間で移動させたいときに、オン・オフ弁６２をオンにすることで、第２給排孔１２ｂから排出された空気が迂回通路６１に向けて流れ込むため、第２絞り弁５２ｂにより空気の流れが絞られることがない。よって、各ピストン２７，２８がストロークエンド近くまで移動しても、各ピストン２７，２８の移動速度が減速されることがなく、各ピストン２７，２８を早く移動させることができる。なお、迂回通路６１は、第１、第３及び第４絞り弁５１ｂ，５３ｂ，５４ｂ、と第１、第３及び第４分岐流路５１ｃ，５３ｃ，５４ｃを迂回するようにそれぞれ設けてもよい。

○ 図５に示す実施形態では、第１及び第２絞り流路５１ａ，５２ａにおける第１及び第２絞り弁５１ｂ，５２ｂよりも第１及び第２給排孔１２ａ，１２ｂ側に、第１及び第２逆止弁５１ｄ，５２ｄを流れた空気の流量を絞る供給用絞り部としての供給用絞り弁７１が設けられている。また、供給用絞り弁７１を迂回するように排出用通路７２が設けられるとともに、排出用通路７２には、供給源から供給された空気の流れを阻止するとともに、第１及び第２給排孔１２ａ，１２ｂから外部に向けて流れようとする空気の流れを許容する逆止弁７３が設けられている。そして、供給源から第１圧力作用室２５ａ及び第３圧力作用室２６ａに空気を供給する際には、供給用絞り弁７１を介して第１圧力作用室２５ａ及び第３圧力作用室２６ａに空気が供給される。これによれば、各ピストン２７，２８の動き始めを緩やかにすることができ、供給用絞り弁７１の絞り量を適宜調整することで、各ピストン２７，２８の動き始めの速度を制御することができる。

○ 実施形態において、二つのシリンダ室２５，２６を連通させる連通通路を両ピストン２７，２８のストローク長の中間位置に一つだけ形成してもよい。
○ 実施形態において、各ピストン２７，２８の外周面にシール部材が一つだけ設けられていてもよい。

○ 実施形態において、各ピストン２７，２８は四角環状に形成されていてもよく、各ピストン２７，２８の形状は特に限定されるものではない。そして、各ピストン２７，２８の外面にシール部材が設けられる。

○ 実施形態において、シリンダボディ１２にシリンダ室を３つ以上形成してもよい。そして、隣り合うシリンダ室同士を連通させる連通通路を形成してもよい。
○ 実施形態において、スピードコントローラ５１，５２，５３，５４は、シリンダボディ１２に対して外付けされていたが、これに限らず、シリンダボディ１２に内蔵されていてもよい。

○ 実施形態において、二つのピストン２７，２８をヘッドカバー１５，１６に向けて移動させる際に、第３給排孔１２ｃ及び第４給排孔１２ｄのいずれか一方から空気を供給するようにしてもよい。

○ 本発明を、空気以外の流体を用いて二つのピストン２７，２８を移動させてピストンロッド２９，３０を出没可能にするものに適用してもよい。
次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について以下に追記する。

（イ）前記絞り部を迂回する分岐流路が設けられるとともに、前記分岐流路の途中に逆止弁が設けられ、前記逆止弁は供給源から前記分岐流路を介した前記給排孔への流体の流れを許容することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の流体圧シリンダ。

（ロ）前記給排孔と前記絞り部との間に前記逆止弁によって許容された流体の流量を絞る供給用絞り部をさらに備えたことを特徴とする前記技術的思想（イ）に記載の流体圧シリンダ。

１１…流体圧シリンダとしてのエアシリンダ、１２…シリンダボディ、１２ａ〜１２ｄ…給排孔としての第１〜第４給排孔、１３，１４…貫通孔、１５，１６…ヘッドカバー、１７，１８…ロッドカバー、２５，２６…シリンダ室、２５ａ…圧力作用室としての第１圧力作用室、２５ｂ…圧力作用室としての第２圧力作用室、２６ａ…圧力作用室としての第３圧力作用室、２６ｂ…圧力作用室としての第４圧力作用室、２７，２８…ピストン、２９，３０…ピストンロッド、３２，３３…シール部材としての第１シール部材、３４，３５…シール部材としての第２シール部材、４１，４２…連通通路、５１ｂ〜５４ｂ…絞り部としての第１〜第４絞り弁、５１ｃ〜５４ｃ…分岐通路としての第１〜第４分岐通路、５１ｄ〜５４ｄ…逆止弁、６１…迂回通路、６２…オン・オフ弁、７１…供給用絞り部としての供給用絞り弁。

Claims (4)

1. シリンダボディに複数の貫通孔が形成され、各貫通孔の一端はヘッドカバーが取り付けられることにより閉塞されるとともに、各貫通孔の他端にロッドカバーが取り付けられることでシリンダ室が区画形成され、前記シリンダ室にピストンが収容されるとともに、前記ピストンにより前記シリンダ室内に圧力作用室が区画され、各圧力作用室に対して流体を給排する給排孔が前記シリンダボディにおける前記ヘッドカバー及び前記ロッドカバー近傍に形成され、各ピストンの外面に前記圧力作用室の間をシールするシール部材が設けられる流体圧シリンダであって、
   前記シリンダボディにおける前記ピストンのストローク途中の位置に形成されるとともに隣り合うシリンダ室同士を連通させる連通通路と、
   前記ピストンの移動に伴い各圧力作用室から各給排孔を介して排出される流体の流量がそれぞれ異なるように独立して絞る絞り部と、を備えることを特徴とする流体圧シリンダ。
2. 前記シリンダボディには前記シリンダ室が二つ形成されるとともに、前記連通通路が前記ヘッドカバー側及び前記ロッドカバー側に一つずつ形成され、前記ヘッドカバー側の連通通路は、前記ピストンに一体のピストンロッドが前記シリンダボディに没入する方向へのクッションストローク長が所望のクッションストローク長になる位置に形成されるとともに、前記ロッドカバー側の連通通路は前記ピストンロッドが前記シリンダボディから突出する方向へのクッションストローク長が所望のクッションストローク長になる位置に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の流体圧シリンダ。
3. 前記絞り部を迂回する迂回通路が設けられるとともに、前記迂回通路にオン・オフ弁が設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の流体圧シリンダ。
4. 複数の貫通孔が形成され、各貫通孔の一端はヘッドカバーが取り付けられることにより閉塞されるとともに、各貫通孔の他端にロッドカバーが取り付けられることでピストンが収容されるシリンダ室が区画形成され、前記ピストンにより前記シリンダ室内に圧力作用室が区画されるとともに、各圧力作用室に対して流体を給排する給排孔が前記ヘッドカバー及び前記ロッドカバー近傍に形成されたシリンダボディであって、
   前記ピストンのストローク途中の位置に、隣り合うシリンダ室同士を連通させる連通通路が形成されていることを特徴とするシリンダボディ。

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