CN101131213A - 用于真空密封地封闭壁上的开口的封闭装置 - Google Patents

用于真空密封地封闭壁上的开口的封闭装置 Download PDF

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Abstract

用于在壁中真空密封封闭开口的封闭装置，包括封闭板，带有纵向活塞缸体单元的支承单元和带有横向活塞缸体单元的基础单元，纵向单元的闭合－缸室与横向单元或其闭合－缸室连接，纵向单元的开口－缸室与横向单元或其开口－缸室经过开口－压力气体通道连接。为了关闭封闭装置，不仅对横向和纵向单元的闭合－缸室而且对横向和纵向单元的开口－缸室都进行压力加载，为了打开封闭装置，只对横向和纵向单元的开口－缸室进行压力加载。横向单元的闭合－活塞面比横向单元的开口－活塞面大，纵向单元的闭合－活塞面比纵向单元的开口－活塞面大。横向单元的闭合－活塞面与开口－活塞面之间的比例比纵向单元的闭合－活塞面与开口－活塞面之间的比例大。

Description

用于真空密封地封闭壁上的开口的封闭装置
技术领域
本发明涉及一种用于真空密封封闭壁上的开口的封闭装置，包括有：
一个封闭板，该封闭板为关闭封闭装置可从一个开放开口的敞开状态，经过一个遮盖开口的但由壁抬起的中间位置，调整到要遮盖开口并贴靠在壁上的闭合状态，及为打开封闭装置可从其闭合状态经过其中间位置调整到其敞开状态；
一个支承封闭板的带有至少一个纵向-活塞-缸体-单元的支承单元，用该纵向-活塞-缸体-单元可将封闭板向闭合方向从其中间位置调整到其闭合状态并可向打开方向从其闭合状态调整到其中间位置；该纵向-活塞-缸体-单元为了施加在闭合方向作用的力具有一个闭合-缸室，该闭合-缸室用于用压力气体压力加载一个闭合-活塞面，为了施加在打开方向作用的力具有一个打开-缸室，该打开-缸室用于用压力气体压力加载一个打开-活塞面；
一个支承支承单元的带有至少一个横向-活塞-缸体-单元的基础单元，用该横向-活塞-缸体-单元可将封闭板向闭合方向从其敞开状态调整到其中间位置并可向其打开方向从其中间位置调整到其敞开状态；该横向-活塞-缸体-单元为了施加在闭合方向作用的力具有一个闭合-缸室，该闭合-缸室用于用压力气体压力加载一个闭合-活塞面，为了施加在打开方向作用的力具有一个打开-缸室，该打开-缸室用于用压力气体压力加载一个打开-活塞面；此时，至少一个纵向-活塞-缸体-单元的闭合-缸室是与横向-活塞-缸体-单元或横向-活塞-缸体-单元的至少一个的闭合-缸室经过一个闭合-压力气体通道连接的，至少一个纵向-活塞-缸体-单元的打开-缸室是与横向-活塞-缸体-单元或横向-活塞-缸体-单元的至少一个打开-缸室经过一个打开-压力气体通道连接的。
背景技术
从US 6,056,266A公知一种这样的封闭装置。为了关闭封闭装置，给横向-和纵向-活塞-缸体-单元的闭合-缸室进行压力加载。开口-缸室相反与大气压力相通。为了打开封闭装置，活塞-缸体-单元的闭合-缸室和打开-缸室都要用压力气体，例如压力空气压力加载。此外，闭合-活塞面对于横向-活塞-缸体-单元和在纵向-活塞-缸体-单元都比各自的打开-活塞面小。对于横向-活塞-缸体-单元，这通过一个双作用的活塞来实现，此时在活塞的活塞杆对面侧设置一个跟活塞杆相比有个较大直径的导轨杆。对于纵向-活塞-缸体-单元，有两个各自单作用的活塞，它们具有不同的直径并设置在活塞孔的有两个不同直径的截面段。一个3/2-换向阀用于在打开的与闭合的状态之间转换封闭装置。
发明内容
本发明的任务在于，提供一种开始时阐述的类型的封闭装置，该装置与公知的这类封闭装置相比具有较简单的结构。根据本发明，这通过具有权利要求1特征的封闭装置来达到。
通过根据本发明的设计，至少一个横向-活塞-缸体-单元可以具有一个简单的构成，此时在活塞的活塞杆对面侧不要求有个跟活塞杆相比直径较大的导轨杆。
对于至少一个纵向-活塞-缸体-单元而言，可以优选利用一个双作用的活塞。
在本发明的一个有利的实施形式中，封闭装置具有一个闭合-压力气体接头和一个打开-压力气体接头，这些接头分别与一个“或”门阀(Oder-Ventil)输入端连接，其输出端与横向-活塞-缸体-单元的打开-缸室或与所有横向-活塞-缸体-单元的打开-缸室连接。在此有利的方式是，至少一个连接通道从一个将闭合-压力气体接头与“或”门阀连接的压力气体通道开始，该连接通道通向横向-活塞-缸体-单元的闭合-缸室，或通向所有横向-活塞-缸体-单元的闭合-缸室的连接通道都从该压力气体通道开始。因此，可以实现封闭装置的简单控制，而无需一个3/2-换向阀。
附图说明
本发明的其它优点和细节在下面用附图说明。在这些附图示出的有：
图1一个根据本发明的封闭装置的斜视图，该装置装在有个开口的壁上，在封闭装置的打开状态；
图2封闭装置在图1状态下的一个视图，没有壁；
图3封闭装置在打开状态的一个侧视图；
图4封闭装置在闭合状态的一个侧视图；
图5图3沿着A-A线的剖面；
图6图2沿着B-B线的剖面；
图7和图8与图5和图6相应的剖面，但在封闭装置的闭合状态。
具体实施方式
在图中示出的本发明实施例中，封闭装置具有一个基础单元1，该单元包括有两个横向-活塞-缸体-单元2。更多更少的横向-活塞-缸体-单元2也是可以设想和可能的。基础单元1可以与具有要封闭的开口4的壁3刚性地连接，例如用螺栓5拧紧在其上。壁3尤其可以是一个真空室的壁。用于真空室开口的这种封闭装置也可以称作为真空门。一根管道的开口也可以用本发明的封闭装置封闭。本发明的封闭装置也可以称作为真空阀门。如果封闭装置相对于两个方向作用的压差可以使开口保持封闭，则大多称封闭装置为阀门。本发明的封闭装置也可以是为一个只在一个方向作用的压差设计的(这种封闭装置大多称作为“门”)。
在横向-活塞-缸体-单元2的活塞杆6上，装有一个支承单元7，从而该支承单元以这种方式被基础单元1支承并可以借助于横向-活塞-缸体-单元2在横向于开口4的纵轴线8的方向进行调整，在下面还要详细阐述。
支承单元7在示出的实施例中包括有三个纵向-活塞-缸体-单元9。更多更少的纵向-活塞-缸体-单元9也是可以设想和可能的。
在纵向-活塞-缸体-单元9的活塞杆10上，装有一个封闭板11。封闭板11因而以这种方式被支承单元7支承并可在开口4的纵轴线8的纵方向由纵向-活塞-缸体-单元9调整。
在封闭装置1的打开状态，封闭板11位于它的敞开位置，这在图1至3和5至6表示出。为了将封闭装置关闭，先将封闭板11借助于横向-活塞-缸体-单元2横向于，尤其是垂直于，开口4的纵轴线8(平行于壁3的平面)向闭合方向进行调整，直至它达到一个中间位置，它在该中间位置遮盖开口4(在开口的纵轴线8方向看)，但是还从壁3上抬起(在图中未示出)。
从这个中间位置开始，封闭板11由纵向-活塞-缸体-单元9平行于开口4的纵轴8(垂直于壁3的平面)向闭合方向移动，直至它达到它的闭合位置，在该闭合位置它在环绕开口4的范围紧贴在壁3上。在此，封闭板11的一个密封件12紧贴在围绕着开口4的密封面13(参看图1)上。密封件12也可以设置在壁3上，密封面13可设置在封闭板11上。封闭装置的这种关闭状态表示在图4和7至8中。
为了打开封闭装置，这个过程相反地进行。因此，先将封闭板11在平行于开口4的纵向轴线8的打开的方向从壁3上抬起并转送到其中间位置，也就是用纵向-活塞-缸体-单元9，并在以后向横向于，尤其是垂直于开口4的纵向轴线8的打开方向从它的中间位置转送到它的打开位置，也就是用横向-活塞-缸体-单元2。
封闭装置的闭合和打开是借助于一种压力气体进行，例如压力空气或有压力的氮气。
为了用横向-活塞-缸体-单元2施加一个作用在该横向-活塞-缸体-单元2闭合方向的力，用压力气体加载相应的横向-活塞-缸体-单元2的闭合-缸室14，由此将横向-活塞-缸体-单元2的活塞16的闭合-活塞面15压力加载。往一个相应横向-活塞-缸体-单元2的打开-缸室17输入压力气体，导致给活塞16的打开-活塞面18压力加载(参见图5和7)。
端头26，27用于将各自的活塞16保持在活塞杆6上并为此具有一个向外突出的轴环，活塞16贴靠在该轴环上，此外端头配有拧入活塞杆6的内罗纹的外罗纹。端头27是盖子式的封闭形成的并将管状活塞杆6的内部空间密封。而端头26具有一个孔或设计成像管子式的(这种结构的目的在下面详述)。活塞16在活塞杆6上的固定也可以以另外方式设计。
打开-活塞面18由环形面，优选的是由圆环形面在活塞16的外轮廓与活塞杆6的外轮廓之间形成。闭合-活塞面15受由活塞16外轮廓围住的面确定，该面也在端头26，27上延伸，也端头26中的孔区域上延伸。处于闭合-缸室14中的压力气体，在这个整个的面上施加一个作用在闭合方向的力，使这个整个的面有效地表示为闭合-活塞面15并作为这样的来称谓。
为了由纵向-活塞-缸体-单元9施加一个在其闭合方向作用的力，给相应纵向-活塞-缸体-单元9的一个闭合-缸室19输入压力气体，因此用压力给纵向-活塞-缸体-单元9的活塞21的闭合-活塞面20加载。为了施加一个在相反的打开方向作用的力，相应纵向-活塞-缸体-单元9的打开-缸室22用压力气体加载，因此活塞21的打开-活塞面23被压力加载(参见图6和8)。
因此，在示出的实施例中，相应横向-活塞-缸体-单元2的活塞16和相应纵向-活塞-缸体-单元9的活塞面21都是双作用的活塞，该活塞布置在相应活塞-缸体-单元的一个缸室中。横向-活塞-缸体-单元的缸室由管子式的部件构成。纵向-活塞-缸体-单元的缸室在示出的实施例中由在支承单元7中的缸体孔构成。为了将活塞21装到这个缸体孔中，支承单元7优选的是由两部分构成的，即带有一个基础部件和一个可从中取下的盖，此时在这两个部件之间配置一个密封件35。
将封闭板11固定在纵向-活塞-缸体-单元的活塞杆36上优选地是通过固定螺栓37进行，该固定螺栓穿过活塞21和活塞杆10并从封闭板11对面的支承单元7一侧可接触到。为此，支承单元7具有相应的孔，其在活塞21远离封闭板11的一侧设置有凸肩38，凸肩是经过密封件36相对支承单元7密封的。
纵向-活塞-缸体-单元9的打开-缸室22，与在图2，5和7中左侧示出的横向-活塞-缸体-单元2的打开-缸室17经过打开-压力气体通道24连接。这个通道从横向-活塞-缸体-单元2的打开-缸室17，通过在管状设计的活塞杆6的壁中的孔通向该活塞杆6的一个内部空腔。活塞杆6的这个内部空腔与支承单元7中的一个横向孔相连，这个横向孔形成开口-压力气体通道24的另一段并与纵向-活塞-缸体-单元9的打开-缸室相连。这个横向孔可以在图6和8中看到。
纵向-活塞-缸体-单元9的闭合-缸室19，与在图2，5和7中右边示出的横向-活塞-缸体-单元2的闭合-缸室14经过闭合-压力空气通道25连接。这个通道从横向-活塞-缸体-单元2的闭合-缸室14，通过已经阐述过的在端头26中的孔，通到该横向-活塞-缸体-单元2管状设计的活塞杆6的内空腔中，端头26是装在活塞杆6的远离支承单元7的末端。活塞杆6的这个内空腔与支承单元7中的第二横向孔相连，这个横向孔形成闭合-压力气体通道25的另一段并与纵向-活塞-缸体-单元9的闭合-缸室19相连。这个形成闭合-压力气体通道25的区段的横向孔在图8中可部分地看到。
横向-活塞-缸体-单元2的闭合-活塞面15比横向-活塞-缸体-单元2的打开-活塞面18大。纵向-活塞-缸体-单元9的闭合-活塞面20比纵向-活塞-缸体-单元9的打开-活塞面23大。
相应横向-活塞-缸体-单元2的闭合-活塞面15与打开-活塞面18之间的比例具有一个优选的是对于所有横向-活塞-缸体-单元2都同样大的第一数值。相应纵向-活塞-缸体-单元9的闭合-活塞面20与打开-活塞面23之间的比例具有一个优选的是对于所有纵向-活塞-缸体-单元9都同样大的第二数值。此时，第一数值比第二数值大。优选的是，第一数值至少比第二个数值大70％。在示出的实施例中，第一数值是第二个数值两倍那么大，此时相应横向-活塞-缸体-单元2的闭合-活塞面15与打开-活塞面18之间的比例为8∶3而相应纵向-活塞-缸体-单元9的闭合-活塞面20与打开-活塞面23之间的比例为4∶3。
为了打开封闭装置，这个装置有个打开-压力气体接头28；为了闭合，这个装置有个闭合-压力气体接头29。在图5和7中示意示出的压力气体通道30，从打开-压力气体接头28通向一个同样示意示出的“或”门阀31的输入端。在图5和7中同样只示意示出的压力气体通道32，从闭合-压力气体接头29通向“或”门阀31的两个输入端的另一个。从这个压力气体通道32分出同样示意示出的连接通道33，这些连接通道33通向相应横向-活塞-缸体-单元2的闭合-活塞室14。“或”门阀31的输出端经过压力气体通道34与相应横向-活塞-缸体-单元2的打开-缸室17连接。压力气体通道34在图5和7中在第一段紧接着“或”门阀31示意示出。之后是一个在管件39中和紧接着一个在基础单元1部件40的一个孔中延伸的段，该段经过一个环形槽41与一个通过基础单元1的套管42的孔连接。
“或”门阀是公知的。它的功能在于，将加在输入端之一上的压力气体传输向输出端(而不输向另一输入端)。例如可以设想具有两个输入端的“或”门阀通过两个止回阀实现。如公知的那样，优选的是，只有一个闭合元件例如一个球，该球将相应无压力的输入端关闭，如在图5和7示意示出的那样。
在封闭装置打开的状态，在横向-和纵向-活塞-缸体-单元2，9的打开-缸室17，22中有连接的压力气体的系统压力存在，在横向-和纵向-活塞-缸体-单元2，9的闭合-缸室14，19中有大气压力存在；而在封闭装置的关闭状态，不仅在在横向-和纵向-活塞-缸体-单元2，9的闭合-缸室14，19而且在打开-缸室17，22中都有连接的压力气体的系统压力存在。为了在压力气体故障时保持封闭装置的已有的状态，可以在压力气体通道30，32中(在连接通道33之前)安装止回阀。
如果在图5和6中示出的打开的状态在闭合-压力气体接头29上加压力气体(打开-压力气体接头28与大气压力连接)，不仅横向-和纵向-活塞-缸体-单元2，9的闭合-缸室14，19而且横向-和纵向-活塞-缸体-单元2，9的打开-缸室17，22都被压力加载。在封闭装置的打开的状态是无压力的闭合-缸室14，19中压力上升直至达到一个下门限值。在这个下门限值时，通过作用在闭合-活塞面15上的力大的足以去在闭合方向推动横向-活塞-缸体-单元2的-活塞16。而对于纵向-活塞-缸体-单元9作用在闭合-活塞面20上的力还不足以去在闭合方向推动纵向-活塞-缸体-单元9的-活塞21。一直到横向-活塞-缸体-单元2的-活塞16达到了它的封闭板11位于其中间位置的另外终点位置，在闭合-缸室14，19的压力基本保持在这个下门限值。随后在闭合-缸室14，19中的压力继续上升直至到一个上门限值，在该门限值时作用在纵向-活塞-缸体-单元9的闭合-活塞面20上的力大到足以去在闭合方向推动纵向-活塞-缸体-单元9的-活塞21。从而，封闭板11从其中间位置被推到其闭合位置，它在该位置压贴在壁3上。
为了打开封闭装置，打开-压力气体接头28用压力气体加载，使闭合-压力气体接头29无压力(与大气相通)。如果在横向-和纵向-活塞-缸体-单元2，9的闭合-缸室14，19的中的压力降到大约所述的上门限值，纵向-活塞-缸体-单元9的-活塞21就在打开方向移动，此时闭合-缸室14，19中的压力直至达到封闭板11的中间位置约保持恒定。随后这个压力继续下降直约至下门限值，在那上横向-活塞-缸体-单元2的-活塞16的移动在打开方向开始。
连接压力气体的系统压力可以例如在4与7巴之间的范围内。所述的压力下门限值可以例如在1与2巴之间的范围内，优选为1.5巴。所述的压力上门限值可以例如在2.5与3.5巴之间的范围，优选的是在约3巴。
如已阐述过的那样，可以有更多更少的横向-和纵向-活塞-缸体-单元存在，例如只有一个横向-活塞-缸体-单元2和一个纵向-活塞-缸体-单元9。所说明的功能原理保持不变。
也可以设想和可能的例如是，打开-和闭合-压力气体通道24，25通过同一个活塞杆6通导。
附图标记列表
1 基础单元
2 横向-活塞-缸体-单元
3 壁
4  开口
5  螺栓
6  活塞杆
7  支承单元
8  纵轴线
9  纵向-活塞-缸体-单元
10 活塞杆
11 封闭板
12 密封件
13 密封面
14 闭合-缸室
15 闭合-活塞面
16 活塞
17 打开-缸室
18 打开-活塞面
19 闭合-缸室
20 闭合-活塞面
21 活塞
22 打开-缸室
23 打开-活塞面
24 打开-压力气体通道
25 闭合-压力气体通道
26 端头
27 端头
28 打开-压力气体接头
29 闭合-压力气体接头
30 压力气体通道
31 “或”门阀
32 压力气体通道
33 连接通道
34 压力气体通道
35 密封件
36 密封件
37 固定螺栓
38 凸肩
39 管件
40 部件
41 环形槽
42 套管

Claims (12)

1.用于真空密封地封闭在壁(3)中的开口(4)的封闭装置，包括有：
封闭板(11)，该封闭板为关闭封闭装置可从开放开口(4)的敞开状态，经过遮盖开口(4)的但由壁(3)抬起的中间位置调整到遮盖开口(4)并贴靠在壁(3)上的闭合状态，及为打开封闭装置可从其闭合状态经过其中间位置调整到其敞开状态，
支承封闭板(11)的带有至少一个纵向-活塞-缸体-单元(9)的支承单元(7)，用该纵向-活塞-缸体-单元可将封闭板(11)向闭合方向从其中间位置调整到其闭合状态并可向打开方向从其闭合状态调整到其中间位置，该纵向-活塞-缸体-单元为了施加在闭合方向作用的力具有闭合-缸室(19)，该闭合-缸室用于用压力气体压力加载闭合-活塞面(20)，为了施加在打开方向作用的力具有打开-缸室(22)，该打开-缸室用于用压力气体压力加载打开-活塞面(23)，
支承支承单元(7)的带有至少一个横向-活塞-缸体-单元(2)的基础单元(1)，用该横向-活塞-缸体-单元可将封闭板(11)向闭合方向从其敞开状态调整到其中间位置并可向其打开方向从其中间位置调整到其敞开状态，该横向-活塞-缸体-单元为了施加在闭合方向作用的力具有闭合-缸室(14)，该闭合-缸室用于用压力气体压力加载闭合-活塞面(15)，为了施加在打开方向作用的力具有打开-缸室(17)，该打开-缸室用于用压力气体压力加载打开-活塞面(18)，至少一个纵向-活塞-缸体-单元(9)的闭合-缸室(19)是与横向-活塞-缸体-单元(2)的或横向-活塞-缸体-单元(2)的至少一个的闭合-缸室(14)经过闭合-压力气体通道(25)连接的，至少一个纵向-活塞-缸体-单元(9)的打开-缸室(22)是与横向-活塞-缸体-单元(2)的或横向-活塞-缸体-单元(2)的至少一个的打开-缸室(17)经过打开-压力气体通道(24)连接的，其特征在于，为了关闭封闭装置，不仅对横向-和纵向-活塞-缸体-单元(2，9)的闭合-缸室(14，19)而且对横向-和纵向-活塞-缸体-单元(2，9)的打开-缸室(17，22)都进行压力加载，为了打开封闭装置，只对横向-和纵向-活塞-缸体-单元的打开-缸室(17，22)进行压力加载，至少一个横向-活塞-缸体-单元(2)的闭合-活塞面(15)比至少一个横向-活塞-缸体-单元(2)的打开-活塞面(18)大，至少一个纵向-活塞-缸体-单元(9)的闭合-活塞面(20)比至少一个纵向-活塞-缸体-单元(9)的打开-活塞面(23)大，至少一个横向-活塞-缸体-单元(2)的闭合-活塞面(15)与打开-活塞面(18)之间的比例比至少一个纵向-活塞-缸体-单元(9)的闭合-活塞面(20)与打开-活塞面(23)之间的比例大。
2.如权利要求1的封闭装置，其特征在于，闭合-压力气体通道(25)穿过横向-活塞-缸体-单元(2)的或横向-活塞-缸体-单元(2)之一的活塞杆(6)。
3.如权利要求2的封闭装置，其特征在于，闭合-压力气体通道(25)穿过的活塞杆(6)是成管形设计的且闭合-压力气体通道(25)穿过活塞杆(6)的远离支承单元(7)敞开的末端引导到这个活塞杆(6)的内腔。
4.如权利要求1至3之一的封闭装置，其特征在于，打开-压力气体通道(24)穿过横向-活塞-缸体-单元(2)的或横向-活塞-缸体-单元(2)之一的活塞杆(6)。
5.如权利要求4的封闭装置，其特征在于，横向-活塞-缸体-单元(2)的这个活塞杆(6)是成管形设计的且打开-压力气体通道(24)穿过通过活塞杆(6)壁的孔通向这个活塞杆(6)的内腔中。
6.如权利要求1至5之一的封闭装置，其特征在于，闭合-压力气体通道(25)和打开-压力气体通道(24)穿过不同的横向-活塞-缸体-单元(2)的活塞杆(6)。
7.如权利要求1至6之一的封闭装置，其特征在于，闭合-压力气体通道(25)的一段和打开-压力气体通道(24)的一段分别由支承单元(7)中的横向孔形成。
8.如权利要求1至7之一的封闭装置，其特征在于，为了形成纵向-活塞-缸体-单元(9)或相应的纵向-活塞-缸体-单元(9)，支承单元(7)具有缸室，在该缸室中配置双作用的活塞(21)，该活塞将打开-缸室(22)和闭合-缸室(19)彼此分界。
9.如权利要求1至8之一的封闭装置，其特征在于，为了形成横向-活塞-缸体-单元(2)或相应的横向-活塞-缸体-单元(2)，基础单元(1)具有缸室，在该缸室中配置双作用的活塞(16)，该活塞将闭合-缸室(14)和打开-缸室(17)彼此分界。
10.如权利要求1至9之一的封闭装置，其特征在于，封闭装置具有闭合-压力气体接头(29)和打开-压力气体接头(28)，其与“或”门阀(31)的两个输入端连接，或门阀输出端与至少一个横向-活塞-缸体-单元(2)的打开-缸室(17)连接。
11.如权利要求10的封闭装置，其特征在于，至少一个连接通道(33)从将闭合-压力气体接头(29)与带有“或“门阀(31)连接的压力气体通道(32)开始，该连接通道通向至少一个横向-活塞-缸体-单元(2)的闭合-缸室(14)。
12.如权利要求1至11之一的封闭装置，其特征在于，至少一个横向-活塞-缸体-单元(2)的闭合-活塞面(15)与打开-活塞面(18)之间的比例至少约比至少一个纵向-活塞-缸体-单元(9)的闭合-活塞面(20)与打开-活塞面(23)之间的比例大70％。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011137691A1 (zh) * 2010-05-06 2011-11-10 东莞宏威数码机械有限公司 密封腔体阀板驱动机构
CN102252109A (zh) * 2011-07-18 2011-11-23 昆山新莱洁净应用材料股份有限公司 一种闸阀
CN102668022A (zh) * 2010-01-18 2012-09-12 普利西斯株式会社 门阀
CN102713388A (zh) * 2010-01-29 2012-10-03 Vat控股公司 用于封闭开口的门
CN103574084A (zh) * 2012-07-19 2014-02-12 Vat控股公司 真空阀
CN103591365A (zh) * 2012-08-17 2014-02-19 Vat控股公司 阀
CN106704600A (zh) * 2015-11-13 2017-05-24 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 阀门机构及半导体加工设备
CN114616414A (zh) * 2019-10-30 2022-06-10 Vat控股公司 真空阀

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6899316B2 (en) * 2003-04-16 2005-05-31 Vat Holding Ag Closure device for vacuum closure of at least one opening in a wall
DE102008049353A1 (de) * 2008-09-29 2010-04-08 Vat Holding Ag Vakuumventil
DE102008051349B3 (de) * 2008-10-15 2009-11-12 Vat Holding Ag Vakuumventil
DE102008061315B4 (de) * 2008-12-11 2012-11-15 Vat Holding Ag Aufhängung einer Ventilplatte an einer Ventilstange
KR100994761B1 (ko) * 2009-10-16 2010-11-16 프리시스 주식회사 도어밸브
US8960641B2 (en) 2012-11-14 2015-02-24 Vat Holding Ag Vacuum valve
KR101528458B1 (ko) * 2013-01-18 2015-06-18 (주) 유앤아이솔루션 슬라이딩 역압 차단 밸브
EP2781813A1 (de) * 2013-03-21 2014-09-24 VAT Holding AG Vakuumventil
TWI656293B (zh) * 2014-04-25 2019-04-11 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 閥
JP6584829B2 (ja) * 2014-07-04 2019-10-02 バット ホールディング アーゲー バルブ
JP6679594B2 (ja) * 2014-12-19 2020-04-15 バット ホールディング アーゲー 真空チャンバのチャンバ壁内のチャンバ開口を閉鎖するドア
US9470319B2 (en) 2015-01-26 2016-10-18 King Lai Hygienic Materials Co., Ltd. Gate valve with linkage structure
CN107407443B (zh) 2015-03-09 2019-05-10 Vat控股公司 真空阀
JP6778206B2 (ja) 2015-03-27 2020-10-28 バット ホールディング アーゲー 真空バルブ
DE102015106916A1 (de) * 2015-05-04 2016-11-10 M. Braun Inertgas-Systeme Gmbh Transferventil
KR101725250B1 (ko) * 2015-05-04 2017-04-11 프리시스 주식회사 진공밸브용 블레이드
TWI705212B (zh) * 2016-01-19 2020-09-21 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 用於對壁中開口進行真空密封的密封裝置
TWI740981B (zh) 2016-08-22 2021-10-01 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 真空閥
KR102039542B1 (ko) * 2018-06-21 2019-11-01 삼승테크(주) 카메라 모듈 검사용 지그장치
DE102019123563A1 (de) * 2019-09-03 2021-03-04 Vat Holding Ag Vakuumventil für das Be- und/oder Entladen einer Vakuumkammer
DE102019133555A1 (de) * 2019-12-09 2021-06-10 Vat Holding Ag Vakuumventil oder Vakuumtür
TWI730808B (zh) * 2020-06-11 2021-06-11 新萊應材科技有限公司 二向移動之閥件驅動裝置
JP7089245B1 (ja) * 2020-12-22 2022-06-22 Smc株式会社 デュアルゲートバルブ
DE102021129884A1 (de) * 2021-11-16 2023-05-17 Vat Holding Ag Ventilplatte
KR102574233B1 (ko) * 2023-03-14 2023-09-04 주식회사 에스알티 U motion 게이트밸브

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2472525A (en) * 1945-06-27 1949-06-07 Samuel H Edwards Fluid pressure operated valve
FR1196093A (fr) 1958-05-12 1959-11-20 Chantiers De Latlantique Vanne droite à commande hydraulique
CH420759A (de) * 1965-03-03 1966-09-15 Schertler Siegfried Absperrschieber, insbesondere für Gas- und Vakuumleitungen
DE19746241C2 (de) * 1997-10-20 2000-05-31 Vat Holding Ag Haag Einrichtung zum Verschließen einer Öffnung
JP2002106729A (ja) * 2000-09-28 2002-04-10 Ckd Corp ゲート弁
JP3425937B2 (ja) * 2000-12-04 2003-07-14 入江工研株式会社 ゲート弁
JP2003148635A (ja) * 2001-11-15 2003-05-21 Smc Corp ゲートバルブ
CN2608781Y (zh) * 2003-03-26 2004-03-31 赵广路 阀门
US6899316B2 (en) * 2003-04-16 2005-05-31 Vat Holding Ag Closure device for vacuum closure of at least one opening in a wall
US7422653B2 (en) * 2004-07-13 2008-09-09 Applied Materials, Inc. Single-sided inflatable vertical slit valve
US7494107B2 (en) * 2005-03-30 2009-02-24 Supercritical Systems, Inc. Gate valve for plus-atmospheric pressure semiconductor process vessels

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102668022A (zh) * 2010-01-18 2012-09-12 普利西斯株式会社 门阀
CN102668022B (zh) * 2010-01-18 2014-12-03 普利西斯株式会社 门阀
CN102713388B (zh) * 2010-01-29 2014-05-07 Vat控股公司 用于封闭开口的门
CN102713388A (zh) * 2010-01-29 2012-10-03 Vat控股公司 用于封闭开口的门
WO2011137691A1 (zh) * 2010-05-06 2011-11-10 东莞宏威数码机械有限公司 密封腔体阀板驱动机构
CN102252109A (zh) * 2011-07-18 2011-11-23 昆山新莱洁净应用材料股份有限公司 一种闸阀
CN103574084A (zh) * 2012-07-19 2014-02-12 Vat控股公司 真空阀
CN103574084B (zh) * 2012-07-19 2017-06-20 Vat 控股公司 真空阀
CN103591365A (zh) * 2012-08-17 2014-02-19 Vat控股公司 阀
CN103591365B (zh) * 2012-08-17 2017-06-20 Vat 控股公司 阀
CN106704600A (zh) * 2015-11-13 2017-05-24 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 阀门机构及半导体加工设备
CN106704600B (zh) * 2015-11-13 2019-03-12 北京北方华创微电子装备有限公司 阀门机构及半导体加工设备
CN114616414A (zh) * 2019-10-30 2022-06-10 Vat控股公司 真空阀

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Publication number Publication date
KR20070113122A (ko) 2007-11-28
JP5120835B2 (ja) 2013-01-16
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