JP5120835B2 - 開閉装置 - Google Patents
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Description
前記第1閉塞ピストン面(15)が前記第1開放ピストン面(18)よりも広く、前記第2閉塞ピストン面(20)が前記第2開放ピストン面(23)より広く、
前記第1閉塞ピストン面(15)と前記第1開放ピストン面(18)との面積比率(以下「第1面積比率」という。)が、前記第2閉塞ピストン面(20)と前記第2開放ピストン面(23)との面積比率(以下「第2面積比率」という。)よりも高く、
切替バルブ(31)の2つの入口部が接続されている閉塞用気体接続部(29)および開放用気体接続部(28)を有し、前記切替バルブ(31)の出口部が前記第1開放シリンダ空間(17)に接続されていることを特徴とする。
Claims (11)
- 壁(3)の開口部(4)を真空に閉塞する開閉装置(1)であって、
開閉プレート(11)と、前記開閉プレート(11)を駆動する駆動ユニット(7)と、前記駆動ユニット(7)を駆動するベースユニット(1)とを備え、
前記開閉プレート(11)は前記開閉装置(1)の閉塞に際して前記開口部(4)が開放されている開放位置から、前記開口部(4)を覆う一方で前記壁(3)から離れている中間位置を経て、前記開口部(4)を覆いかつ前記壁(3)に当接している閉塞位置に移動可能であり、かつ、前記開閉装置(1)の開放に際して前記閉塞位置から前記中間位置を経て前記開放位置に移動可能であり、
前記駆動ユニット(7)は一または複数の第2ピストンシリンダユニット(9)を有し、当該第2ピストンシリンダユニット(9)により前記開閉プレート(11)が前記中間位置から前記閉塞位置まで第2閉塞方向に移動可能とされ、かつ、前記閉塞位置から前記中間位置まで第2開放方向に移動可能とされ、当該第2ピストンシリンダユニット(9)は高圧気体により第2閉塞シリンダ空間(19)を加圧して前記第2閉塞方向の力を第2閉塞ピストン面(20)に作用させ、かつ、高圧気体により第2開放シリンダ空間(22)を加圧して前記第2開放方向の力を第2開放ピストン面(23)に作用させ、
前記ベースユニット(1)は一または複数の第1ピストンシリンダユニット(2)を有し、当該第1ピストンシリンダユニット(2)により前記開閉プレート(11)が前記開放位置から前記中間位置まで第1閉塞方向に移動可能とされ、かつ、前記中間位置から前記開放位置に第1開放方向に移動可能とされ、当該第1ピストンシリンダユニット(2)は高圧気体により第1閉塞シリンダ空間(14)を加圧して前記第1閉塞方向の力を第1閉塞ピストン面(15)に作用させ、かつ、高圧気体により第1開放シリンダ空間(17)を加圧して前記第1開放方向の力を第1開放ピストン面(18)に作用させ、これにより前記第2閉塞シリンダ空間(19)が前記第1閉塞シリンダ空間(14)または閉塞用気体通路(25)を介して前記第1閉塞シリンダ空間(14)の一部に接続され、かつ、前記第2開放シリンダ空間(22)が前記第1開放シリンダ空間(17)または開放用気体通路(24)を介して前記第1開放シリンダ空間(17)の一部に接続され、
前記開閉装置(1)の閉塞に際して前記第1閉塞シリンダ空間(14)および前記第2閉塞シリンダ空間(19)と、前記第1開放シリンダ空間(17)および前記第2開放シリンダ空間(22)とが加圧される一方、前記開閉装置(1)の開放に際して前記第1開放シリンダ空間(17)および前記第2開放シリンダ空間(22)のみが加圧され、
前記第1閉塞ピストン面(15)が前記第1開放ピストン面(18)よりも広く、前記第2閉塞ピストン面(20)が前記第2開放ピストン面(23)より広く、
前記第1閉塞ピストン面(15)と前記第1開放ピストン面(18)との面積比率(以下「第1面積比率」という。)が、前記第2閉塞ピストン面(20)と前記第2開放ピストン面(23)との面積比率(以下「第2面積比率」という。)よりも高く、
切替バルブ(31)の2つの入口部が接続されている閉塞用気体接続部(29)および開放用気体接続部(28)を有し、前記切替バルブ(31)の出口部が前記第1開放シリンダ空間(17)に接続されていることを特徴とする開閉装置。 - 請求項1記載の開閉装置(1)において、
前記閉塞用気体通路(25)が前記第1ピストンシリンダユニット(2)の第1ピストンロッド(6)または前記第1ピストンシリンダユニット(2)の一部を通っていることを特徴とする開閉装置。 - 請求項2記載の開閉装置(1)において、
前記第1ピストンロッド(6)が、前記閉塞用気体通路(25)が通るパイプ状に形成され、当該閉塞用気体通路(25)が前記駆動ユニット(7)とは反対側の当該第1ピストンロッド(6)の開放端部から当該第1ピストンロッド(6)の内部空間を通っていることを特徴とする開閉装置。 - 請求項1〜3のうちいずれか1つに記載の開閉装置(1)において、
前記開放用気体通路(24)が前記第1ピストンシリンダユニット(2)の第1ピストンロッド(6)または前記第1ピストンシリンダユニット(2)の一部を通っていることを特徴とする開閉装置。 - 請求項4記載の開閉装置(1)において、
前記第1ピストンロッド(6)がパイプ状に形成され、前記開放用気体通路(24)が前記ピストンロッド(6)の壁に設けられた、当該ピストンロッド(6)の内部空間における穴を通っていることを特徴とする開閉装置。 - 請求項1〜5のうちいずれか1つに記載の開閉装置(1)において、
前記閉塞用気体通路(25)および前記開放用気体通路(24)が別々の前記第1ピストンシリンダユニット(2)を通っていることを特徴とする開閉装置。 - 請求項1〜6のうちいずれか1つに記載の開閉装置(1)において、
前記閉塞用気体通路(25)の一部および前記開放用気体通路(24)の一部のそれぞれが前記駆動ユニット(7)の横穴から形成されていることを特徴とする開閉装置。 - 請求項1〜7のうちいずれか1つに記載の開閉装置(1)において、
前記駆動ユニット(7)が、前記第2ピストンシリンダユニット(9)または各第2ピストンシリンダユニット(9)に形成された第2シリンダ室を有し、当該第2シリンダ室には、前記第2開放シリンダ空間(22)および前記第2閉塞シリンダ空間(19)を相互に区分する二方向に作用する第2ピストン(21)が配置されていることを特徴とする開閉装置。 - 請求項1〜8のうちいずれか1つに記載の開閉装置(1)において、
前記ベースユニット(1)が一またはそれぞれの前記第1ピストンシリンダユニット(2)に形成された第1シリンダ室を有し、当該第1シリンダ室には、前記第1閉塞シリンダ空間(14)および前記第1開放シリンダ空間(17)を相互に区分する、二方向に作用する第1ピストン(16)が配置されていることを特徴とする開閉装置。 - 請求項1〜9のうちいずれか1つに記載の開閉装置(1)において、
前記閉塞用気体接続部(29)を前記切替バルブ(31)に接続する接続通路(33)が高圧気体通路(32)から外側に延設され、当該接続通路(33)が前記第1閉塞シリンダ空間(14)に通じていることを特徴とする開閉装置。 - 請求項1〜10のうちいずれか1つに記載の開閉装置(1)において、前記第1面積比率が、前記第2面積比率よりも70%以上大きいことを特徴とする開閉装置。
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