CN105042164A - 阀 - Google Patents

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Abstract

阀(1)，带有由阀座(2)围绕的开口(3)和封闭机构(4)，其中封闭机构(4)在关闭位置中紧压到阀座(2)处并且封闭开口(3)，且在中间位置中由阀座(2)抬起并且与开口(3)重合并且在最大的打开位置中至少部分地开启开口(3)，其中阀(1)具有至少一个第一阀驱动器(5)用于使封闭机构(4)在最大的打开位置和中间位置之间沿着第一运动轨道(6)运动，并且具有至少一个第二阀驱动器(7)用于使封闭机构(4)在中间位置和关闭位置之间沿着第二、与第一运动轨道(6)成角度的运动轨道(8)运动，其中阀(1)具有至少一个用于借助于第二阀驱动器(7)进行可逆变形所设置的传动部件(9)并且第一阀驱动器(5)在传动部件(9)中间连接的情况下作用在封闭机构(4)处。

Description

阀
技术领域
本发明涉及一种阀、尤其真空阀，带有由阀座围绕的开口和封闭机构，其中封闭机构在关闭位置中紧压到阀座处并且封闭该开口，且在中间位置中从阀座抬起（abheben）并且布置成与开口重合，且在最大的打开位置中完全地或至少部分地开启（freigeben）该开口，其中该阀具有至少一个第一阀驱动器（Ventilantrieb）用于使封闭机构在最大的打开位置和中间位置之间沿着第一运动轨道（Bewegungsbahn）来和/或回运动，并且具有至少一个第二阀驱动器用于使封闭机构在中间位置和关闭位置之间沿着第二运动轨道来和/或回运动，且第一运动轨道和第二运动轨道布置为互相成角度（abwinkeln）。
背景技术
这样的阀在现有技术中基本上已知。其经常在真空技术中使用并且也称为所谓的L阀或J阀。封闭机构从最大的打开位置到关闭位置中以及相反的或多或少L形或者说J形的运动，在安装在阀座处或封闭机构处的密封件的长久耐用性的意义中实施，从而尽可能少地保持或者说排除（ausschalten）在密封件处的剪切运动。
DE 10 2008 049 353 A1以不同的设计形式示出了这样的阀。在该专利申请书的实施例中，用于使封闭机构在最大的打开位置和中间位置之间运动的第一阀驱动器以活塞缸装置的形式构造并且在所谓的引导单元中得到支承。该引导单元在封闭机构从中间位置到关闭位置中和相反的运动中一同运动。因此这意味着，第一阀驱动器同样在该运动中总是一同来回运动。该现有技术的实施例仅仅在第二阀驱动器用于使封闭机构在中间位置和关闭位置之间运动的类型中互相区别。在该专利申请书的第一实施例中其涉及相对于弹簧负载进行工作的活塞缸装置。在该专利申请书的另一实施例中操作杆脱开（Hebellösung）实现为第二阀驱动器。
在现有技术中此外已知这种类型的阀，其以名称Transfer Valve/Insert L-motion series 04.3/05.3提出。在这种阀中第一和第二阀驱动器的缸集成到阀的壳体中。连接竖直和水平行程、也就是说沿着第一和第二运动轨道的运动在该现有技术中通过直角地安装和支承在第一阀驱动器的缸处的销轴来实现，在该销轴上轭状物（Joch）在沿着第二运动轨道运动时或者说在水平运动时滑行。
发明内容
本发明的目的是，对于这种类型的阀提出用于第一和第二阀驱动器的共同作用的备选方案。
为此根据发明规定，该阀具有至少一个用于借助于第二阀驱动器进行可逆变形而设置的传动部件，并且第一阀驱动器在中间连接（Zwischenschaltung）传动部件的情况下作用在封闭机构处。
因此基本想法是，借助于第二阀驱动器使传动部件针对性可逆地变形。传动部件可以在此构造为单部件或多部件或者说单件式或多件式。可变形性或者说变形的概念能够在这里宽泛地解释。总体上涉及用于传动部件的形式改变的针对性设置的可行性。其可以、但并非必然由弯曲导致，如这进一步还在下面详细地解释的那样。从该进一步在下面接下来详细的说明中首先也得知存在不同的可行性，如实施该借助于第二阀驱动器使传动部件针对性可逆地变形的根据本发明的思想。
封闭机构优选地为阀盘，也就是说尤其为平面构造的封闭机构。借助于封闭机构待封闭的开口在优选的实施变型方案中具有40cm2到1000cm2横截面面积，优选地60cm2到500cm2的横截面面积。根据本发明的阀也可以称为封闭装置。
如本身已知，不仅在封闭机构处而且在阀座处可以布置至少一个密封件或者也可以布置相应的密封件。第一运动轨道和/或第二运动轨道也布置为互相成角度。运动轨道能够、但是不必线性地延伸。但是尤其第一运动轨道优选地构造为线性的。成角度意味着，它们构成夹角并且不平行。优选的第一和第二运动轨道互相构成至少近似正交的角度。运动轨道也能够称为运动路径。其说明封闭机构的运动的路线。相应的运动轨道可以例如通过以下方式记录，在封闭机构运动的情况下遵循在封闭机构处事先规定的点的路线。每个运动轨道包括两个互相相反的方向，其互相叠放或者说同轴于彼此布置。
封闭机构优选固定在阀杆处。本发明的特别优选的设计方案形式规定，封闭机构固定在阀杆处并且第一阀驱动器在中间连接传动部件的情况下作用在阀杆处。在这方面也可以提到，根据本发明的阀可以具有不仅第一阀驱动器用于沿着第一运动轨道运动和第二阀驱动器用于沿着第二运动轨道运动。其实也可以规定，实现两个或更多第一阀驱动器用于使封闭机构沿着第一运动轨道来和/或回运动，并且/或者实现两个或更多阀驱动器用于使封闭机构沿着第二运动轨道来和/或回运动。在该设计方案形式中第一阀驱动器可以在必要时中间连接多个传动部件的情况下(其中优选地给每个阀驱动器分配自己的传动部件)作用在轭状物处，其与阀杆、优选地刚性地连接，其中封闭机构继而固定在阀杆处。
中间位置继续在下面根据实施例再一次详细地示出。该位置是如此：其中封闭机构虽然从阀座抬起但其在其它方面仍然盖住，也就是处于与开口重合。与此相反，在打开位置中规定，封闭机构完全或部分地开启也就是说不再盖住开口，使得流体和/或首先也待加工的或待处理的构件能够引导穿过开口。
在本发明尽可能持久无磨损的和尤其必要时没有对存在的密封件加载的设计方案形式的意义中，在优选的变型方案中规定，该封闭机构在关闭位置中占据下述位置：其是封闭机构在中间位置中的位置的平移。平移在此在数学的意义中可以如下理解，封闭机构的每个点在相同的方向上或者说在平行于彼此的方向上移动相同的距离。在这方面也能够谈论平移。本发明特别优选的变型方案在这方面规定，传动部件可实现在其在中间位置和关闭位置之间的运动的情况下平移封闭机构。对此指出，第二运动轨道为此不必线性地延伸。提到的平移也可以仅仅从终止位置、也就是中间位置和关闭位置的比较中得出。尤其在提到的平移的意义中能够例如规定，该传动部件具有至少一个纵向延伸的弯曲区域或由至少一个纵向延伸的弯曲区域构成。在该设计方案形式中传动部件可以完全或也可以仅仅局部地构造为板弹簧。然后板弹簧形成纵向延伸的弯曲区域。弯曲区域的纵向延伸部在这方面首先就仅仅意味着，其没有涉及点形的弯曲区域。纵向延伸的弯曲区域能够构造为棍形，但也能够涉及平面延伸的弯曲区域。其在该意义中也是纵向延伸的。无论如何，这些实施例的共同之处在于实现传动部件沿着纵向延伸的弯曲区域的整个或至少一个大的部件的变形。
作为备选方案为此也可以实现传动部件的可逆的变形，其方式是传动部件具有至少两个借助于至少一个中间隔片互相连接的活节，其中该活节的每个实现了围绕至少一个轴线的摆动。在该变型方案中可以规定，用于传动部件的可逆的变形的运动仅仅通过在活节中的摆动发生。在这里可以是单轴的活节、但完全一样好地可以是多轴的或者还可以是球节。当然提到的变型方案也能够互相组合，例如其方式是在活节之间的中间隔片成形为纵向延伸的弯曲区域。此外也能够设想许多不同的其他的混合形式，传动部件也能够例如在中间隔片和活节的区域之外仍然具有纵向延伸的弯曲区域。弯曲区域可以围绕所想的、处于正交于其纵向延伸部的轴线弯曲或也可以围绕其纵向延伸部承受扭力。
本发明优选的变型方案规定，传动部件在平行于第一运动轨道的方向上加载时基本构造为刚性的，并且在平行于用于实现可逆的变形的第二运动轨道的方向上加载时构造为较软的。在该意义中本发明优选的变型方案规定，传动部件在平行于第一运动轨道的方向上的刚度相比于在平行于第二运动轨道的方向上的刚度构造地更大。这能够这样理解，传动部件在平行于第一运动轨道的方向上力加载到传动部件上时的刚度相比于在平行于第二运动轨道的方向上加载到传动部件上时的刚度更大。据此能够实现，传动部件至少基本没有变形情况下在最大的打开位置和中间位置之间、也就是说沿着第一运动轨道传递第一阀驱动器的运动，并且在中间位置和关闭位置之间、也就是沿着第二运动轨道借助于第二阀驱动器使封闭机构运动的情况下针对性地可逆地变形。
从定义出发，在纵向延伸的弯曲区域中弯曲区域的长度大于弯曲区域的宽度并且弯曲区域的宽度大于弯曲区域的厚度，如此能够实现这种期望的不同的刚度，其方式是弯曲区域的宽度为弯曲区域的厚度的至少两倍，优选地为弯曲区域的厚度的至少十倍。在特别优选的变型方案中传动部件构造为U形或L形。
在本发明特别优选的变型方案中规定，传动部件具有用于切换用以操控第一和/或第二阀驱动器的开关的至少一个开关元件或与该开关元件连接。这例如可应用于在封闭机构沿着第一运动轨道朝中间位置的方向的运动终止时去激活第一阀驱动器并且激活第二阀驱动器，从而将封闭机构接下来沿着第二运动轨道带到关闭位置中或相反。开关元件可以单件式地模制在传动部件处。但也能够设想多件式的设计方案形式，其中开关元件在其他方面、例如通过旋紧、焊接、夹紧或类似方式固定在传动部件处。肯定有利的是，开关元件至少与传动部件平行于第一运动轨道一同运动地固定在传动部件处。
使用最不同的驱动器形式可以作为第一阀驱动器且/或也可以作为第二阀驱动器。能够涉及液压的、气动的、电动的、电磁的或其他在现有技术中已知的驱动器、尤其线性驱动器。然而在真空技术中使用优选气动的或电动的驱动器。优选的变型方案在这方面规定，第一阀驱动器和/或第二阀驱动器（优选地分别）具有活塞缸装置，其中（优选地相应的）阀驱动器的至少一个阀驱动器部件是缸并且（优选相应的）阀驱动器的至少一个另外的阀驱动器部件是在缸中可运动地引导的活塞。可以涉及起双重作用的活塞缸装置，其适用于将封闭机构不仅在沿着运动轨道的方向上而且在沿着运动轨道相反的方向上运动。但也能够直接应用于在运动轨道的仅仅一个方向上起作用的活塞缸装置。然后其他的运动方向可以例如通过弹簧、电动的或其他的合适的驱动器实现。在这里提到例如在DE 10 2008 049 353 A1的图4、8和12中所示出的回位弹簧32作为例子。活塞和缸装置在壳体固定的阀驱动器部件中可以不仅是活塞而且是缸。在本发明的意义中在特别优选的设计方案形式中在这方面规定，第一阀驱动器和第二阀驱动器分别具有至少两个可以相对于彼此运动的阀驱动器部件，其中传动部件布置和/或作用于阀驱动器的相应能相对于阀的阀壳体运动的阀驱动器部件之间。
如开头已经提到，特别优选地在真空技术中使用根据本发明的阀，例如从而封闭其中加工或制造电子构件或类似物的加工腔室。当达到具有小于或等于0.001 mbar或者说0.1 Pascal的压力的运行状态时，在这方面尤其谈论真空技术。真空阀是针对这些压力范围和关于周围环境的相应压力差所设计的阀。然后真空阀具有最多一个所谓的真空区域，其中达到带有该负压的过程状态。在这样的阀或者说真空阀的优选的设计方案形式中，第一和第二阀驱动器或者说多个第一和第二阀驱动器优选处于真空区域外部。为了由真空区域外部的区域对真空区域进行限制和密封，在现有技术中已知波纹套管（Balgdurchführung）、滑动套管和类似物，例如用于阀杆。
附图说明
在图中示例性地示出本发明的实施变型方案。其中：
图1到5示出了其中第一实施例的阀的封闭机构位于最大的打开位置中的图示；
图6到10示出了其中第一实施例的阀的封闭机构位于中间位置中的图示；
图11到15示出了其中该第一实施例的阀的封闭机构位于关闭位置中的图示；
图16示出了本发明备选的设计方案形式的图示；
图17示出了平移封闭机构的示意性的图示；
图18示出了根据本发明的传动部件的纵向延伸的弯曲区域的可逆变形的示意性的图示，以及
图19示出了具有中间隔片和两个活节的根据本发明的传动部件的可逆变形的示意性的图示。
具体实施方式
第一实施例的阀1为所谓的真空阀，其可以在真空技术中用于密闭地（druckfest）和/或气密地封闭在加工腔室（Prozesskammer）中的开口，通过该开口待加工的工件引入加工腔室中和/或从该加工腔室中取出。封闭机构4在这里示出的实施例中为阀盘（Ventilteller）。阀1的待封闭的开口3在这里构造为近似矩形带有倒圆角。开口3由阀1的阀座2围绕。阀座2在这里是阀壳体20的部件。但这并非必须如此，阀座2也可以基本上在分开的构件上实施。在示出的实施例中密封件26位于封闭机构4处。这也不必强制如此，密封件26可以完全一样好地布置在阀座2处或者不仅布置在阀座2处而且布置在封闭机构4处。
在图1到5中示出了在封闭机构4的最大的打开位置中的阀1的该根据本发明的第一实施例。在该最大的打开位置中封闭机构4在示出的实施例中完全开启开口3。这特别好地在图3和4中可见。图1示出了对阀1的正视图，图2示出了沿着截面线AA的水平截面，图3示出了沿着截面线BB的竖直截面，图4示出了沿着截面线CC的竖直截面。图5是省略阀1的很多部件的图示，从而能够更好地示出传动部件9中的一个及其连接。
图6到10示出了封闭机构4位于中间位置中时的情况。在该中间位置中封闭机构4从阀座2抬起并且与开口3重合，但是恰好还没有紧压到阀座2处。该位置可以特别好地在图8和9中看到。封闭机构4在根据图1到5的最大的打开位置到根据图6到10的中间位置中以及返回之间的运动沿着第一运动轨道6借助于第一阀驱动器5实现。在示出的实施例中这是纯粹的竖直行程。为此记入运动轨道6或者说平行线，其因为简化也以注释标记6表明。图6示出了如图1的正视图，图7示出了沿着截面线DD的截面，图8示出了沿着截面线EE的截面，并且图9示出了沿着图6的截面线FF的截面。图10示出了类似于图5的图示，然而其中(如所说)封闭机构4位于中间位置中。
图11到15示出了关闭位置的图示。其中封闭机构4封闭该开口3，其方式是封闭机构4在这里连同其密封件26朝阀座2挤压。在该关闭位置中优选地气密地借助于封闭机构4封闭用于所设置的压力范围的开口3。在根据图6到10的中间位置和根据图11到15的关闭位置之间的封闭机构4的运动沿着第二运动轨道8借助于第二阀驱动器7实现。为此记入运动轨道8或者说平行线，其因为简化也以注释标记8表明。图11继而示出正视图，图12示出沿着截面线GG的截面，图13示出沿着截面线HH的截面，并且图14示出沿着截面线II的截面。图15示出了在该情况中类似于图5和10的图示。
第二运动轨道8因为封闭机构4在中间位置和关闭位置之间运动时传动部件9的可逆的变形也不能精确地线性地延伸。在优选的设计方案形式中，如这里所示出，然而优选地规定，第一运动轨道6和对第二运动轨道8的切线在第一运动轨道6到第二运动轨道8过渡时正交于彼此地布置。
在根据图1到15的示出的实施例中用于封闭机构4沿着第一运动轨道6的运动设置有两个第一阀驱动器5。在这里这些第一阀驱动器在该实施例中相应实施为起双重作用的活塞缸装置，如这可以特别好地在图3、8和13的截面图中看到。通过相应地加载第一阀驱动器5的缸17的缸室(Zylinderraum)，活塞16能够沿着或者平行于第一运动轨道6在两个方向上行进，由此封闭机构4可以在最大的打开位置和中间位置之间来回行进。在示出的实施例中，阀驱动器部件17以缸的形式壳体固定地关于阀1的阀壳体20布置。在图3、8和13中，这可以在阀壳体20中的缸17的单件式构造上较好地看出。可运动的阀驱动器部件16相应形成活塞。严格来说，在这里所示出的实施例中阀驱动器部件16相应由活塞和固定在其处的活塞杆所形成。但是这里在简化中由活塞和固定在其处的活塞杆组成的单元称为活塞。当然，也可以不同地改造（herum bauen）在这里所实现的实施形式，其方式是将阀驱动器部件16以活塞的形式壳体固定地关于阀壳体20实施并且阀驱动器部件17以缸的形式相对于此运动。
第二阀驱动器7在这里也是双重或者说双倍地存在。继而涉及活塞缸装置，其中相应的阀驱动器部件18形成活塞并且另外的阀驱动器部件19形成缸。同样在这里阀驱动器部件19以缸的形式壳体固定地关于阀壳体20构造。采用第二阀驱动器7的活塞的形式的阀驱动器部件18相应固定地与引导杆23连接，在引导杆上可移动地支承轭状物22。在轭状物22处固定有阀杆21，其借助于波纹套管24相对于阀壳体20密封。据此也实现在开口3的区域中的所谓的真空区域和位于真空区域外部的区域之间的分离，其中在示出的实施例中例如不仅存在第一阀驱动器5而且存在第二阀驱动器7。封闭机构4固定在阀杆21处。
在本发明的第一实施例中，阀1具有两个根据本发明的用于借助于两个阀驱动器7进行可逆变形所设置的传动部件9，其中第一阀驱动器5在中间连接传动部件9的情况下相应地作用在封闭机构4处。在第一实施例中，传动部件9至少局部地构造为U形或L形或者具有至少这样的区域，如这可以在图1、6和11中特别好地看到。右边的传动部件9具有开关元件14用于切换用以操控第一和/或第二阀驱动器5、7的开关15。在示出的实施例中，开关元件4单件式地模制在该传动部件9处。在示出的变型方案中传动部件9将相应的第一阀驱动器5的活塞或者说阀驱动器部件16与轭状物22连接。在该构件上的传动部件9的固定点相应设有附图标记25。在示出的实施例中，第一阀驱动器5由此相应在中间连接传动部件9、轭状物22和阀杆21的情况下作用在封闭机构4处。在另外的设计方案形式中也可以设想或多或少的构件的中间连接。例如传动部件9直接固定在封闭机构4处或者直接固定在阀杆21处也是可行的。
在第一实施例中，每个传动部件9具有弯曲区域10，该弯曲区域设置用于借助于相应的第二阀驱动器7进行可逆的变形。该纵向延伸的弯曲区域10可以例如以板弹簧的形式实施。在示出的实施例中整个传动部件9相应由板弹簧组成。对于不仅到活塞或者说阀驱动器部件16上而且到轭状物22上的简单的连接，传动部件9有利地(如这里所示出)构造为局部地L形或者说U形。在所示出的变型方案中，相应在传动部件9处还得到第二弯曲区域10'。其中可以发生扭转变形。弯曲区域10与此相反这样偏转，如这可以在示出中间位置的图9和示出关闭位置的图14之间的比较上较好地看出。对于示出的变型方案，当然给出很多的变更可行性，这样当然也可以局部地如下刚性地构造传动部件9，即其要么仅仅给出弯曲区域10要么仅仅给出弯曲区域10'。此外当然还可以设想很多的其他的在传动部件9上的纵向延伸的弯曲区域10或者说10'的设计方案的可行性。
为了一方面可以将第一阀驱动器5作为或多或少刚性的元件沿着第一运动轨道6的运动传递到封闭机构4上，并且另一方面允许借助于第二阀驱动器7进行可逆的变形，将传动部件9在平行于第一运动轨道6的方向上的刚度相比于在平行于第二运动轨道8的方向上的刚度构造得更大。在示出的实施例中这据此实现，该实施例的构造为板弹簧形的传动部件9的宽度显著大于传动部件9的厚度。
接下来现在示例性地解释关闭过程，其从根据图1到5的最大的打开位置出发经过根据图6到10的中间位置直到根据图11到15的关闭位置。
从最大的打开位置出发如此加载第一阀驱动器5的构造为缸的阀驱动器部件17的腔室，使得构造为活塞的阀驱动器部件16下沉。该阀驱动器部件16或者说活塞的这种运动通过传动部件9传递到轭状物22上。轭状物22沿着引导杆23向下滑行，并且在这里携带活塞杆21且由此也携带封闭机构4沿着第一运动轨道6，直到达到根据图11到15的中间位置。如果达到中间位置，则右边的传动部件9的开关元件14碰到开关15上。据此在示出的实施例中开启第二阀驱动器7。
据此现在为了将封闭机构4从中间位置运动到关闭位置中，对第二阀驱动器7的实施为缸的阀驱动器部件19的相应的缸腔室进行加载，使得第二阀驱动器7的构造为活塞的阀驱动器部件18连同引导杆23以及支承在其上的轭状物22沿着第二运动轨道8运动。据此同样固定在轭状物22处的阀杆21连同封闭机构4沿着第二运动轨道8在朝阀座2的方向上运动，对此在中间位置中仍然从阀座2所抬起的封闭机构4现在利用其密封件26在关闭位置中密封地朝阀座2挤压。在沿着第二运动轨道8的运动中传动部件9借助于第二阀驱动器7可逆地变形。在示出的实施例中该传动部件9的变形基本上在弯曲区域10中实施，如这可以较好地在比较图9和14时看出。
基本以类似形式和方式以相反的顺序实现从关闭位置出发经过中间位置直到最大的打开位置的打开阀的过程。但是在这方面还要提到开关27，其在示出的实施例中由引导杆23操纵。只要封闭机构4位于最大的打开位置中或者中间位置中或者在其之间的位置中，则开关27由引导杆23保持在挤压位置中。在从中间位置到关闭位置中的路线上引导杆23从开关27抬起。在关闭过程中开关27随后在沿着第二运动轨道8从关闭位置直到中间位置的运动终止时在达到中间位置情况下再次被挤压，对此在示出的实施例中开启第一阀驱动器5。
在这里示出的实施例中不仅第一阀驱动器5而且第二阀驱动器7实施为活塞缸装置，其优选气动地操纵。当然也可以设想液压的操纵。但是也对此指出，不仅第一阀驱动器5而且第二阀驱动器7不仅可以相应实施为起双重作用的活塞缸装置而且可以实施为起简单作用的活塞缸装置。然后相反行程（Gegenhub）可以例如通过相应的弹簧或者其他的弹性体实现。当然对此备选地同样可设想其他的、例如电动的或者电磁的驱动器，尤其线性驱动器，从而实现第一阀驱动器5和第二阀驱动器7。
如开始已经解释，传动部件9的可逆的变形不必强制地以弯曲或者扭曲纵向延伸的弯曲区域10或者说10'的形式实现。为此图16以类似于图5、10和15的图示示出了备选方案。该第二实施例的阀1的余下部分可以如第一实施例所解释的那样实施。然后取得在这里未再一次进行解释的基本相同的工作原理。
在根据图16的第二实施例中传动部件9具有两个借助于中间隔片11互相连接的活节12。该活节12的每个可以围绕轴线13摆动。在该实施例中涉及简单的可围绕唯一的轴线13摆动的活节12。但也可以使用球节或者使用可围绕多个轴线摆动的活节12。中间隔片11在该实施例中构造为刚性的，使得该第二实施例的传动部件9的变形仅仅通过在活节12中的运动实现。当然这里也可以不同于到目前为止示出的两个实施例的方式设想混合形式。因此例如也可以将中间隔片11实施为纵向延伸的弯曲区域10。
本发明的两个这里到目前为止示出的和讨论的实施变型方案具有的共同之处在于，封闭机构4在关闭位置中占据下述位置：其是封闭机构4在中间位置中的位置的平移。该封闭机构4的平移示意性地在图17中所示出。实线示出的矩形4示出在根据图6到10的中间位置中的封闭机构4。虚线示出的封闭机构4象征关闭位置，其中封闭机构4以其密封件26朝在图17中没有再一次示出的阀座2挤压。箭头28象征该平移的移动矢量。在第二运动轨道8和第一运动轨道6之间的角度在图17中夸张描写地示出。在平行于第一运动轨道6的方向上容易地提升封闭机构4在封闭机构4从中间位置运动到关闭位置中、也就是说沿着第二运动轨道8情况下通过以下方式必然地得到，即传动部件9在其借助于第二阀驱动器7进行可逆变形的情况下保持其长度。为了将这一点至少示意性地示出，还附加了图18和19。图18示出了传动部件9的纵向延伸的弯曲区域10的变形。图19示出了传动部件9的变形，该传动部件9根据图16具有两个活节12连同处于其之间的中间隔片11。利用实线示出的是相应在中间位置中的情况。虚线示出的是相应在图18和19中未示出的封闭机构的关闭位置中的变形状态。
接下来再一次对此指出，脱离所示出的实施例同样相应仅仅一个第一阀驱动器和/或仅仅一个第二阀驱动器或者同样多于两个第一和/或第二阀驱动器也可以在其他的根据本发明的阀中存在。
附图标记列表
1 阀
2 阀座
3 开口
4 封闭机构
5 第一阀驱动器
6 第一运动轨道
7 第二阀驱动器
8 第二运动轨道
9 传动部件
10、10’ 弯曲区域
11 中间隔片
12 活节
13 轴线
14 开关元件
15 开关
16 阀驱动器部件
17 阀驱动器部件
18 阀驱动器部件
19 阀驱动器部件
20 阀壳体
21 阀杆
22 轭状物
23 引导杆
24 波纹套管
25 固定点
26 密封件
27 开关
28 移动矢量

Claims (10)

1. 阀(1)、尤其真空阀，带有由阀座(2)围绕的开口(3)和封闭机构(4)，其中所述封闭机构(4)在关闭位置中被挤压到阀座(2)处并且封闭所述开口(3)，且在中间位置中从所述阀座(2)抬起并且布置为与所述开口(3)重合，且在最大的打开位置中完全或者至少部分地开启所述开口(3)，其中所述阀(1)具有至少一个第一阀驱动器(5)用于使所述封闭机构(4)在所述最大的打开位置和所述中间位置之间沿着第一运动轨道(6)来和/或回运动，并且具有至少一个第二阀驱动器(7)用于使所述封闭机构(4)在所述中间位置和所述关闭位置之间沿着第二运动轨道(8)来和/或回运动，且所述第一运动轨道(6)和所述第二运动轨道(8)布置成互相成角度，其特征在于，所述阀(1)具有至少一个用于借助于第二阀驱动器(7)进行可逆变形所设置的传动部件(9)并且所述第一阀驱动器(5)在中间连接所述传动部件(9)的情况下作用在所述封闭机构(4)处。
2. 根据权利要求1所述的阀(1)，其特征在于，所述封闭机构(4)在所述关闭位置中占据下述位置，其是所述封闭机构(4)在所述中间位置中的位置的平移。
3. 根据权利要求1或2所述的阀(1)，其特征在于，所述传动部件(9)具有至少一个纵向延伸的弯曲区域(10)或由至少一个纵向延伸的弯曲区域(10)构成。
4. 根据权利要求1到3中任一项所述的阀(1)，其特征在于，所述传动部件(9)具有至少两个借助于至少一个中间隔片(11)互相连接的活节(12)，其中所述活节(12)中的每个能够实现围绕至少一个轴线(13)摆动。
5. 根据权利要求1到4中任一项所述的阀(1)，其特征在于，所述传动部件(9)具有至少一个开关元件(14)用于切换用以操控第一和/或第二阀驱动器(5、7)的开关(15)或与所述开关元件(14)连接。
6. 根据权利要求5所述的阀(1)，其特征在于，所述开关元件(14)至少与所述传动部件(9)平行于所述第一运动轨道(6)一同运动地固定在所述传动部件(9)处。
7. 根据权利要求1到6中任一项所述的阀(1)，其特征在于，所述传动部件(9)在平行于所述第一运动轨道(6)的方向上的刚度相比于在平行于所述第二运动轨道(8)的方向上的刚度构造地更大。
8. 根据权利要求1到7中任一项所述的阀(1)，其特征在于，所述第一阀驱动器(5)和/或所述第二阀驱动器(7)具有、优选分别具有至少两个能相对于彼此运动的阀驱动器部件(16、17、18、19)，其中，所述阀驱动器部件(17、19)之一、优选相应的阀驱动器部件(17、19)壳体固定地关于所述阀(1)的阀壳体(20)布置。
9. 根据权利要求1到8中任一项所述的阀(1)，其特征在于，所述第一阀驱动器(5)和所述第二阀驱动器(7)分别具有至少两个能相对于彼此运动的阀驱动器部件(16、17、18、19)，其中所述传动部件(9)布置和/或作用于所述阀驱动器(5、7)的相应能相对于所述阀(1)的阀壳体(20)运动的阀驱动器部件(16、18)之间。
10. 根据权利要求8或9所述的阀(1)，其特征在于，所述第一阀驱动器(5)和/或所述第二阀驱动器(7)具有、优选地分别具有活塞缸装置，其中，所述阀驱动器(5、7)的、优选地相应的阀驱动器(5、7)的至少一个阀驱动器部件(17、19)是缸，并且所述阀驱动器(5、7)的、优选地相应的阀驱动器(5、7)的至少一个另外的阀驱动器部件(16、18)是在所述缸中能运动地引导的活塞。
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