KR20150123729A

KR20150123729A - 밸브

Info

Publication number: KR20150123729A
Application number: KR1020150056404A
Authority: KR
Inventors: 플로리안 에르네; 크리슈토프 바흐만; 마티아스 보차제크
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2014-04-25
Filing date: 2015-04-22
Publication date: 2015-11-04
Also published as: CN105042164A; SG10201503256VA; TWI656293B; US9976655B2; CN105042164B; KR102313923B1; JP2015209977A; JP6860282B2; US20180163877A1; US20150308584A1; TW201600777A

Abstract

밸브 시트 (2) 에 의해 둘러싸인 개구부 (3) 와 폐쇄 부재 (4) 를 갖는 밸브 (1) 로서, 폐쇄위치에서 상기 폐쇄 부재 (4) 는 상기 밸브 시트 (2) 에 내리눌려져 있으며 상기 개구부 (3) 를 폐쇄하고, 중간위치에서 상기 밸브 시트 (2) 로부터 들어올려져 있으며 상기 개구부 (3) 와 일치하고, 최대 개방위치에서 상기 개구부 (3) 를 적어도 부분적으로 해제하며, 이때 상기 밸브 (1) 는 제 1 운동경로 (6) 를 따라서 상기 최대 개방위치와 상기 중간위치 사이에서 상기 폐쇄 부재 (4) 를 움직이기 위한 적어도 하나의 제 1 밸브 드라이브 (5) 와, 상기 제 1 운동경로 (6) 에 대해 각을 이룬 제 2 운동경로 (8) 를 따라서 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 상기 폐쇄 부재 (4) 를 움직이기 위한 적어도 하나의 제 2 밸브 드라이브 (7) 를 구비하며, 이때 상기 밸브 (1) 는 상기 제 2 밸브 드라이브 (7) 를 이용해 가역적으로 변형되도록 제공된 적어도 하나의 전달 부품 (9) 을 구비하고, 상기 제 1 밸브 드라이브 (5) 는 상기 전달 부품 (9) 의 중간 삽입하에 상기 폐쇄 부재 (4) 에 작용한다.

Description

밸브{VALVE}

본 발명은 밸브 시트 (valve seat) 에 의해 둘러싸인 개구부와 폐쇄 부재를 갖는 밸브, 특히 진공밸브에 관한 것이며, 이때 폐쇄위치에서 상기 폐쇄 부재는 상기 밸브 시트에 내리눌려져 있으며 상기 개구부를 폐쇄하고, 중간위치에서 상기 밸브 시트로부터 들어올려져 있으며 상기 개구부와 일치하여 배치되고, 최대 개방위치에서 상기 개구부를 완전히 또는 적어도 부분적으로 해제하며, 이때 상기 밸브는 제 1 운동경로를 따라서 상기 최대 개방위치와 상기 중간위치 사이에서 상기 폐쇄 부재를 최대 개방위치로 움직이기 위한 그리고/또는 중간위치로 움직이기 위한 적어도 하나의 제 1 밸브 드라이브와, 제 2 운동경로를 따라서 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 상기 폐쇄 부재를 중간위치로 움직이기 위한 그리고/또는 폐쇄위치로 움직이기 위한 적어도 하나의 제 2 밸브 드라이브를 구비하며, 상기 제 1 운동경로와 상기 제 2 운동경로는 서로 각을 이루며 배치된다.

이러한 밸브들은 선행기술에 원칙적으로 공지되어 있다. 상기 밸브들은 주로 진공기술에서 이용되며, 이른바 L 밸브들 또는 J 밸브들이라고도 불리운다. 상기 최대 개방위치로부터 상기 폐쇄위치로의, 그리고 그 반대로의 상기 폐쇄 부재의 어느 정도 L 모양인 또는 J 모양인 운동은, 시일 (seal) 에서의 전단 운동을 가능하게 적게 유지하기 위해 또는 저지하기 위해, 밸브 시트에 또는 폐쇄 부재에 부착된 상기 시일의 긴 내구성의 관점에서 실행된다.

DE 10 2008 049 353 A1 은 이러한 밸브들을 여러 가지 구현형태로 나타낸다. 이 문헌의 실시예들에서, 상기 최대 개방위치와 상기 중간위치 사이에서 폐쇄 부재를 움직이기 위한 제 1 밸브 드라이브는 피스톤-실린더 배열체의 형태로 형성되고, 이른바 가이드 유닛 안에 설치된다. 이 가이드 유닛은 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의, 그리고 그 반대로의 상기 폐쇄 부재의 운동시 함께 움직여진다. 즉, 이는 상기 제 1 밸브 드라이브도 이 운동시 항상 함께 왕복으로 움직여진다는 것을 의미한다. 이 선행기술의 실시예들은 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 상기 폐쇄 부재를 움직이기 위한 제 2 밸브 드라이브의 방식에 있어서만 구별된다. 상기 문헌의 제 1 실시예에서는, 스프링 하중에 대항하여 작동하는 피스톤-실린더 배열체에 관한 것이다. 이 문헌의 다른 실시예에서, 레버 해제는 제 2 밸브 드라이브로써 실현된다.

이 이외에, 선행기술에 있어서 동종 밸브들이 공지되어 있고, 상기 밸브들은 트랜스퍼 밸브/인서트 L 운동 시리즈 04.3/05.3 이라는 명칭하에 제공된다. 이 밸브에 있어서, 제 1 및 제 2 밸브 드라이브의 실린더들은 상기 밸브의 하우징 안에 통합된다. 수직 행정과 수평 행정의 연결, 즉 제 1 및 제 2 운동경로를 따른 운동은 이 선행기술에서는 상기 제 1 밸브 드라이브의 실린더에 직각으로 설치된 그리고 지지된 볼트를 통해 수행되고, 요크 (yoke) 는 상기 제 2 운동경로를 따른 운동시 또는 수평운동시 상기 볼트 위에서 미끄러진다.

본 발명의 목적은 동종 밸브를 위해 제 1 밸브 드라이브와 제 2 밸브 드라이브의 협력을 위한 대안적인 구상을 제안하는 것이다.

이를 위해, 본 발명에 따르면 상기 밸브는 상기 제 2 밸브 드라이브를 이용해 가역적으로 (reversibly) 변형되도록 제공된 적어도 하나의 전달 부품을 구비하고, 상기 제 1 밸브 드라이브는 상기 전달 부품의 중간 삽입하에 상기 폐쇄 부재에 작용하는 것이 제공된다.

그러므로, 상기 전달 부품을 상기 제 2 밸브 드라이브를 이용해 의도적으로 가역적으로 변형시키는 것이 기본사상이다. 이때, 상기 전달 부품은 하나의 부분으로 또는 여러 부분으로 또는 여러 피스로 형성될 수 있다. 이때, 변형 가능성 또는 변형이라는 개념은 넓게 해석될 수 있다. 일반적으로, 상기 전달 부품의 형태 변경을 위해 의도적으로 제공된 가능성에 관한 것이다. 상기 가능성은 하기에서 더욱 상세히 설명되는 바와 같이 구부러짐을 통해 초래될 수 있지만, 반드시 구부러짐을 통해 초래될 필요는 없다. 하기의 상세한 이러한 설명들로부터, 무엇보다도, 상기 제 2 밸브 드라이브를 이용한 상기 전달 부품의 의도적인 가역적 변형의 본 발명에 따른 이러한 사상이 실행되는 방법에 대한 여러 가지 가능성을 도출할 수 있을 것이다.

상기 폐쇄 부재는 바람직하게는 밸브 디스크 (valve disk) 이며, 즉 특히 평평하게 형성된 폐쇄 부재이다. 상기 폐쇄 부재를 이용해 폐쇄되어야 하는 개구부들은 바람직한 실시변형들에 있어서 40㎠ 내지 1000㎠, 바람직하게는 60㎠ 내지 500㎠ 의 횡단면적들을 갖는다. 본 발명에 따른 밸브들은 폐쇄 장치라고도 불리울 수 있다.

그 자체가 공지된 바와 같이, 상기 폐쇄 부재에 뿐만 아니라 상기 밸브 시트에도 적어도 하나의 또는 각각 하나의 시일이 배치될 수 있다. 상기 제 1 운동경로 및/또는 상기 제 2 운동경로는 서로 각을 이루며 배치된다. 하지만, 상기 운동경로들이 직선으로 연장될 필요는 없다. 하지만, 특히 상기 제 1 운동경로는 바람직하게는 직선으로 형성된다. 각을 이룬다는 것은 그들이 각도를 이루며 평행하지 않는다는 것을 의미한다. 바람직하게는, 상기 제 1 운동경로와 상기 제 2 운동경로는 서로 적어도 거의 직각인 각도를 이룬다. 상기 운동경로들은 운동진로라고도 불리울 수 있다. 그들은 상기 폐쇄 부재의 운동의 길을 표시한다. 상기 각각의 운동경로는 예컨대 상기 폐쇄 부재의 운동시 상기 폐쇄 부재에서의 미리 확정된 지점 (point) 의 진로를 따라 나타낼 수 있다. 각각의 운동경로는 서로 반대로 향한 2개의 방향을 포함하며, 상기 방향들은 포개어져 있고 또는 서로 동축적으로 배치된다.

상기 폐쇄 부재는 바람직하게는 밸브 로드 (valve rod) 에 고정된다. 본 발명의 특히 바람직한 구현형태들은, 상기 폐쇄 부재가 상기 밸브 로드에 고정되고, 상기 제 1 밸브 드라이브는 상기 전달 부품의 중간 삽입하에 상기 밸브 로드에 작용하는 것을 제공한다. 이와 관련하여, 또한, 본 발명에 따른 밸브들이 상기 제 1 운동경로를 따른 운동을 위한 제 1 밸브 드라이브 뿐만 아니라 상기 제 2 운동경로를 따른 운동을 위한 제 2 밸브 드라이브를 구비할 수 있다는 것이 언급된다. 오히려, 상기 제 1 운동경로를 따라서 상기 폐쇄 부재를 최대 개방위치로 움직이기 위한 그리고/또는 중간위치로 움직이기 위한 2개 또는 그 이상의 제 1 밸브 드라이브들과, 상기 제 2 운동경로를 따라서 상기 폐쇄 부재를 중간위치로 움직이기 위한 그리고/또는 폐쇄위치로 움직이기 위한 2개 또는 그 이상의 밸브 드라이브들이 실현되는 것도 제공될 수 있다. 이 구현형태들에 있어서, 상기 제 1 밸브 드라이브들은 경우에 따라서는 다수의 전달 부품의 중간 삽입하에 (이때, 바람직하게는 각각의 밸브 드라이브에 자신의 전달 부품이 할당된다) 요크에 작용할 수 있고, 상기 요크는 상기 밸브 로드와, 바람직하게는 강성적으로, 연결되고, 이때 상기 밸브 로드에 또다시 상기 폐쇄 부재가 고정된다.

상기 중간위치는 하기에서 실시예들을 근거로 다시 한 번 상세히 나타내진다. 상기 중간위치는 상기 폐쇄 부재가 상기 밸브 시트로부터 들어올려져 있는, 하지만 상기 폐쇄 부재가 그 외에는 아직 덮고 있는, 즉 상기 개구부와 일치하는 위치이다. 이와 달리, 상기 개방위치에서 상기 폐쇄 부재가 상기 개구부를 완전히 또는 부분적으로 해제하고, 즉 더 이상 덮지 않고, 따라서 유체들 및/또는 무엇보다도 가공되어야 하는 또는 처리되어야 하는 부품들이 상기 개구부들을 관통하여 안내될 수 있는 것이 제공된다.

가능한 한 지속적으로 내마모적인, 그리고 특히 경우에 따라 존재하는 시일들에 부하를 주지 않는 본 발명의 구현형태들의 의미에서, 바람직한 변형들에 있어서, 상기 폐쇄위치에서 상기 폐쇄 부재가, 상기 중간위치에서의 상기 폐쇄 부재의 위치의 평행이동인 위치를 차지하는 것이 제공된다. 이때, 상기 평행이동은 수학적인 의미에서 상기 폐쇄 부재의 각각의 점이 동일한 방향에서 또는 서로 평행인 방향들에서 동일한 거리 만큼 이동된다는 것을 의미할 수 있다. 이와 관련하여, 병진 운동이라고도 부를 수 있다. 이와 관련하여, 본 발명의 특히 바람직한 변형들은, 상기 전달 부품이 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서의 상기 폐쇄 부재의 운동시 상기 폐쇄 부재의 평행이동을 가능하게 하는 것을 제공한다. 상기 제 2 운동경로가 이를 위해 직선으로 연장될 필요가 없다는 것에 유의하도록 한다. 상기 언급된 평행이동은 마지막 위치들, 즉 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치의 비교로부터만 발생할 수도 있다. 특히 상기 언급된 평행이동의 의미에서, 예컨대, 상기 전달 부품이 세로 방향으로 연장된 적어도 하나의 굽힘 영역을 구비하거나 또는 세로 방향으로 연장된 적어도 하나의 굽힘 영역으로 구성되는 것이 제공될 수 있다. 이 구현형태들에 있어서, 상기 전달 부품은 완전히 또는 일부 영역에 걸쳐서만 리프 스프링 (leaf spring) 으로서 형성될 수 있다. 그러면, 상기 리프 스프링은 상기 세로 방향으로 연장된 굽힘 영역을 형성한다. 이와 관련하여, 상기 굽힘 영역의 상기 세로 방향 연장은 우선 확실히 그가 점 모양의 굽힘 영역이 아니라는 것만을 의미한다. 세로 방향으로 연장된 굽힘 영역은 막대 모양으로 형성될 수 있으며, 하지만 그는 평평하게 연장된 굽힘 영역일 수도 있다. 상기 굽힘 영역도 이 의미에서 세로 방향으로 연장되어 있다. 어느 경우든 이 실시예들에서, 상기 전달 부품의 변형이 상기 세로 방향으로 연장된 굽힘 영역의 전체 대부분 또는 적어도 하나의 대부분을 따라서 수행된다는 점이 공통적이다.

이에 대해 대안으로서, 상기 전달 부품의 가역적 변형은, 상기 전달 부품이 적어도 하나의 중간 웨브 (intermediate web) 를 이용해 서로 연결된 적어도 2개의 조인트 (joint) 를 구비함으로써 달성될 수도 있고, 이때 이 조인트들 각각은 적어도 하나의 축 둘레로 선회를 가능하다. 이 변형들에 있어서, 상기 전달 부품의 가역적 변형을 위한 운동이 오로지 상기 조인트들 안에서의 선회를 통해 발생하는 것이 제공될 수 있다. 이때, 1축 조인트들일 수 있고, 하지만 마찬가지로 다축 조인트들 또는 볼 조인트들 (ball joints) 일 수도 있다. 물론, 상기 언급된 변형들은, 예컨대 상기 중간 웨브가 상기 조인트들 사이에서 세로 방향으로 연장된 굽힘 영역으로서 성형됨으로써 서로 조합될 수도 있다. 이 이외에, 많은 여러 가지 다른 혼합형태들도 가능하며, 전달 부품은 예컨대 상기 조인트들의 영역의 그리고 상기 중간 웨브의 외부에서도 또한 세로 방향으로 연장된 굽힘 영역을 구비할 수 있다. 상기 굽힘 영역들은 그들의 세로 방향 연장부에 대해 직각으로 있는 가상의 축 둘레로 구부러질 수 있거나 또는 그들의 세로 방향 연장부 둘레로 비틀림을 겪을 수 있다.

본 발명의 바람직한 변형들은, 상기 전달 부품이 상기 제 1 운동경로에 대해 평행인 방향으로의 가압시 본질적으로 강성으로 형성되고, 상기 제 2 운동경로에 대해 평행인 방향으로의 가압시 상기 가역적 변형을 가능하게 하기 위해 보다 부드럽게 형성되는 것을 제공한다. 이 의미에서, 본 발명의 바람직한 변형들은, 상기 전달 부품이 상기 제 2 운동경로에 대해 평행인 방향으로보다 상기 제 1 운동경로에 대해 평행인 방향으로 보다 강성으로 형성되는 것을 제공한다. 이는 상기 전달 부품이 상기 제 2 운동경로에 대해 평행인 방향으로의 상기 전달 부품에의 가압시보다 상기 제 1 운동경로에 대해 평행인 방향으로 상기 전달 부품에 힘을 가할시 보다 강성이라는 것을 의미할 수 있다. 이를 통해, 상기 전달 부품이 상기 최대 개방위치와 상기 중간위치 사이의, 즉 상기 제 1 운동경로를 따른 상기 제 1 밸브 드라이브의 운동을 적어도 본질적으로 변형 없이 전달하고, 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이의, 즉 상기 제 2 운동경로를 따른 상기 폐쇄 부재의 운동시 상기 제 2 밸브 드라이브를 이용해 의도적으로 가역적으로 변형되는 것이 달성될 수 있다.

세로 방향으로 연장된 굽힘 영역에 있어서 길이가 폭보다 크고, 폭은 상기 굽힘 영역의 두께보다 크다는 정의에 근거하여, 이러한 원하는 여러 가지 강성은, 상기 굽힘 영역의 폭이 상기 굽힘 영역의 두께의 적어도 2배이고, 바람직하게는 상기 굽힘 영역의 두께의 적어도 10배임으로써 달성될 수 있다. 특히 바람직한 변형들에 있어서, 상기 전달 부품은 U 모양으로 또는 L 모양으로 형성된다.

본 발명의 특히 바람직한 변형들에 있어서, 상기 전달 부품은 상기 제 1 및/또는 상기 제 2 밸브 드라이브를 액추에이팅하기 위한 스위치를 스위칭하기 위한 적어도 하나의 스위칭 요소 (switching element) 를 구비하거나 또는 이 스위칭 요소와 연결되는 것이 제공된다. 이는 예컨대, 상기 중간위치를 향한 방향으로 상기 제 1 운동경로를 따른 상기 폐쇄 부재의 운동의 마지막에 상기 제 1 밸브 드라이브를 비활성화시키고 상기 제 2 밸브 드라이브를 활성화시키기 위해 사용될 수 있는데, 왜냐하면 그 후 상기 폐쇄 부재를 상기 제 2 운동경로를 따라서 상기 폐쇄위치로 데려가기 위해서이고 또는 그 반대로 하기 위해서이다. 상기 스위칭 요소는 상기 전달 부품에 일체로 성형될 수 있다. 하지만, 상기 스위칭 요소가 다른 방식으로, 예컨대 나사결합, 납땜, 클램핑 또는 그와 같은 것을 통해 상기 전달 부품에 고정되는, 여러 부분으로 이루어진 구현형태도 가능하다. 어쨌든 상기 스위칭 요소가 적어도 상기 전달 부품과 함께 상기 제 1 운동경로에 대해 평행으로 함께 움직이면서 상기 전달 부품에 고정되어 있으면 유리하다.

제 1 밸브 드라이브로서 및/또는 제 2 밸브 드라이브로서 여러 가지 드라이브 형태들이 이용될 수 있다. 유압식, 공압식, 전기식, 전자기식, 또는 선행기술에 공지된 다른 드라이브들, 특히 리니어 드라이브들일 수 있다. 하지만 진공기술에서는, 바람직하게는 공압식 또는 전기식 드라이브들이 이용된다. 이와 관련하여, 바람직한 변형들은 상기 제 1 밸브 드라이브 및/또는 상기 제 2 밸브 드라이브가, 바람직하게는 각각, 피스톤-실린더 배열체를 구비하는 것을 제공하며, 이때 상기, 바람직하게는 각각의, 밸브 드라이브의 적어도 하나의 밸브 드라이브 부품은 실린더이고, 상기, 바람직하게는 각각의, 밸브 드라이브의 적어도 하나의 다른 밸브 드라이브 부품은 상기 실린더 안에서 움직일 수 있게 안내된 피스톤이다. 복동식 피스톤-실린더 배열체들일 수 있고, 상기 복동식 피스톤-실린더 배열체들은 상기 폐쇄 부재를 상기 운동경로를 따른 한 방향으로 뿐만 아니라 상기 운동경로를 따른 반대방향으로도 움직이기에 적합하다. 하지만, 간단히 상기 운동경로의 한 방향으로만 작용하는 피스톤-실린더 배열체들도 사용될 수 있다. 그러면, 다른 운동방향은 예컨대 스프링들을 통하여, 전기식으로 또는 다른 적합한 드라이브들을 통하여 실현될 수 있다. 예들로서는, 여기에서 DE 10 2008 049 353 A1 의 도 4, 도 8 및 도 12 에 나타내진 리턴 스프링들 (32) 이 언급된다. 상기 피스톤-실린더 배열체들에 있어서, 하우징에 고정된 밸브 드라이브 부품들은 피스톤들 뿐만 아니라 실린더들일 수도 있다. 이와 관련하여, 본 발명의 의미에서, 특히 바람직한 구현형태들에 있어서, 상기 제 1 밸브 드라이브와 상기 제 2 밸브 드라이브가 각각 서로 상대적으로 움직일 수 있는 적어도 2개의 밸브 드라이브 부품들을 구비하는 것이 제공되며, 이때 상기 전달 부품은 상기 밸브의 밸브 하우징에 대해 각각 상대적으로 움직일 수 있는, 상기 밸브 드라이브들의 상기 밸브 드라이브 부품들 사이에 배치되고 그리고/또는 작용한다.

도입부에서 이미 말한 바와 같이, 공정챔버들 (그들 안에서 전자 부품들 또는 그와 같은 것들이 가공되거나 또는 제조된다) 을 폐쇄하기 위해, 본 발명에 따른 밸브들은 특히 바람직하게는 진공기술에서 이용된다. 이와 관련하여, 특히 작동상태들이 0.001 mbar 또는 0.1 파스칼보다 작은 또는 같은 압력들을 갖고 달성되면 진공기술이라 부른다. 진공밸브들은 이 압력범위들, 및 주변에 대한 상응하는 압력차이를 위해 설계된 밸브들이다. 그러면 진공밸브들은 주로 이른바 진공영역을 구비하며, 상기 진공영역 안에서, 이 저압들을 갖는 공정상태들이 달성된다. 이러한 밸브들 또는 진공밸브들의 바람직한 구현형태들에 있어서, 상기 제 1 및 상기 제 2 밸브 드라이브 또는 상기 제 1 및 상기 제 2 밸브 드라이브들은 바람직하게는 상기 진공영역의 외부에 있다. 상기 진공영역을 상기 진공영역의 외부의 영역으로부터 경계짓기 위해 그리고 밀봉하기 위해, 선행기술에는 예컨대 상기 밸브 로드를 위한 벨로스 부싱들, 슬라이딩 부싱들 및 그와 같은 것들이 공지되어 있다.

도면들에는, 본 발명의 실시변형들이 예시적으로 도시된다.

도 1 내지 도 5 는 제 1 실시예의 밸브의 상기 폐쇄 부재가 상기 최대 개방위치에 있는 도면들을 도시하고,
도 6 내지 도 10 은 제 1 실시예의 밸브의 상기 폐쇄 부재가 상기 중간위치에 있는 도면들을 도시하고,
도 11 내지 도 15 는 이 제 1 실시예의 밸브의 상기 폐쇄 부재가 상기 폐쇄위치에 있는 도면들을 도시하고,
도 16 은 본 발명의 대안적인 구현형태에 관한 도면을 도시하고,
도 17 은 상기 폐쇄 부재의 평행이동에 관한 도식적인 도면을 도시하고,
도 18 은 본 발명에 따른 전달 부품의, 세로 방향으로 연장된 굽힘 영역의 가역적 변형에 관한 도식적인 도면을 도시하고,
도 19 는 중간 웨브와 2개의 조인트를 갖는 본 발명에 따른 전달 부품의 가역적 변형에 관한 도식적인 도면을 도시한다.

제 1 실시예의 밸브 (1) 는 이른바 진공밸브이며, 상기 진공밸브는 진공기술에서 공정챔버들 안의 개구부들을 내압적으로 그리고/또는 기밀적으로 폐쇄하기 위해 이용될 수 있고, 가공되어야 하는 작업물들은 상기 개구부들을 통해 상기 공정챔버 안으로 도입되고 그리고/또는 상기 개구부들 밖으로 빼내진다. 여기에 도시된 실시예들에서 폐쇄 부재 (4) 는 밸브 디스크이다. 밸브 (1) 의 폐쇄되어야 하는 개구부 (3) 는 이 경우 둥근 모서리들을 갖는 거의 직사각형인 모양으로 형성된다. 개구부 (3) 는 밸브 (1) 의 밸브 시트 (2) 에 의해 둘러싸인다. 밸브 시트 (2) 는 이 경우 밸브 하우징 (20) 의 부분이다. 하지만 반드시 그럴 필요는 없고, 밸브 시트 (2) 는 원칙적으로 별도의 부품에서 실시될 수도 있다. 도시된 실시예에서, 시일 (26) 은 폐쇄 부재 (4) 에 있다. 반드시 그럴 필요는 없고, 시일 (26) 은 밸브 시트 (2) 에, 또는 밸브 시트 (2) 에 뿐만 아니라 폐쇄 부재 (4) 에도 마찬가지로 잘 배치될 수 있다.

도 1 내지 도 5 에서, 본 발명에 따른 밸브 (1) 의 이 제 1 실시예는 폐쇄 부재 (4) 의 최대 개방위치에 있어서 도시된다. 이 최대 개방위치에서, 폐쇄 부재 (4) 는 도시된 실시예에서 개구부 (3) 를 완전히 해제한다. 이는 도 3 및 도 4 에서 특히 잘 볼 수 있다. 도 1 은 밸브 (1) 의 정면도를 나타내고, 도 2 는 절단선 AA 를 따른 수평 단면을 나타내며, 도 3 은 절단선 BB 를 따른 수직 단면을 나타내고, 도 4 는 절단선 CC 를 따른 수직 단면을 나타낸다. 도 5 는 전달 부품들 (9) 중 하나 및 그의 결합을 보다 잘 나타낼 수 있기 위해 밸브 (1) 의 다수의 부품이 생략된 도면이다.

도 6 내지 도 10 은 폐쇄 부재 (4) 가 중간위치에 있을 때의 상황을 나타낸다. 상기 중간위치에서, 폐쇄 부재 (4) 는 밸브 시트 (2) 로부터 들어올려져 있으며, 개구부 (3) 와 일치하고, 하지만 밸브 시트 (2) 에 아직 내리눌려져 있지 않다. 이 위치는 도 8 및 도 9 에서 특히 잘 볼 수 있다. 도 1 내지 도 5 에 따른 상기 최대 개방위치로부터 도 6 내지 도 10 에 따른 상기 중간위치로의, 그리고 되돌아 가는 폐쇄 부재 (4) 의 운동은 제 1 밸브 드라이브 (5) 를 이용해 제 1 운동경로 (6) 를 따라서 수행된다. 도시된 실시예에서, 이는 순전한 수직행정이다. 운동경로 (6) 또는 그에 대한 평행선들이 도시되어 있고, 이들은 간략히 하기 위해 참조부호 (6) 로도 표시된다. 도 6 은 도 1 과 같이 정면도를 나타내고, 도 7 은 절단선 DD 를 따른 단면을 나타내며, 도 8 은 절단선 EE 를 따른 단면을 나타내고, 도 9 는 도 6 으로부터의 절단선 FF 를 따른 단면을 나타낸다. 도 10 은 도 5 와 유사한 도면을 나타내며, 하지만 이때, 언급된 바와 같이, 폐쇄 부재 (4) 는 상기 중간위치에 있다.

도 11 내지 도 15 는 폐쇄위치에 관한 도면들을 나타낸다. 이 폐쇄위치에서, 폐쇄 부재 (4) 는, 상기 폐쇄 부재 (4) 가 이때 그의 시일 (26) 과 함께 밸브 시트 (2) 에 대해 눌려져 있음으로써 개구부 (3) 를 폐쇄한다. 이 폐쇄위치에서, 개구부 (3) 는 예정된 압력범위들에 대해 바람직하게 기밀적으로 폐쇄 부재 (4) 를 이용해 폐쇄된다. 도 6 내지 도 10 에 따른 상기 중간위치와 도 11 내지 도 15 에 따른 상기 폐쇄위치 사이의 폐쇄 부재 (4) 의 운동은 제 2 밸브 드라이브 (7) 를 이용해 제 2 운동경로 (8) 를 따라서 수행된다. 운동경로 (8) 또는 그에 대한 평행선들이 도시되어 있고, 상기 평행선들은 간략히 하기 위해 참조부호 (8) 로도 표시된다. 도 11 은 또다시 정면도를 나타내고, 도 12 는 절단선 GG 를 따른 단면을 나타내며, 도 13 은 절단선 HH 를 따른 단면을 나타내고, 도 14 는 절단선 II 를 따른 단면을 나타낸다. 도 15 는 이 상황에서 도 5 및 도 10 과 유사한 도면을 나타낸다.

제 2 운동경로 (8) 는 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이의 폐쇄 부재 (4) 의 운동에 있어서의 전달 부품 (9) 의 가역적 변형을 근거를 정확히 직선으로 연장될 수 있는 것은 아니다. 하지만, 바람직한 구현형태들에 있어서, 여기에 도시된 바와 같이, 바람직하게는, 제 1 운동경로 (6) 와, 제 2 운동경로 (8) 에의 접선이 제 1 운동경로 (6) 로부터 제 2 운동경로 (8) 로의 전이부에서 서로 직각으로 배치되는 것이 제공된다.

도 1 내지 도 15 에 따른 도시된 실시예에서, 제 1 운동경로 (6) 를 따른 폐쇄 부재 (4) 의 운동을 위해 2개의 제 1 밸브 드라이브들 (5) 이 제공된다. 그들은 도 3, 도 8 및 도 13 의 단면도들에서 특히 잘 볼 수 있는 바와 같이 여기 이 실시예에서 각각 복동식 피스톤-실린더 배열체들로서 실시된다. 제 1 밸브 드라이브들 (5) 의 실린더들 (17) 의 실린더 공간들을 상응하여 가압함으로써, 피스톤들 (16) 은 제 1 운동경로 (6) 를 따라서 또는 상기 제 1 운동경로에 대해 평행으로 두 방향으로 이동될 수 있고, 이를 통해 폐쇄 부재 (4) 는 상기 최대 개방위치와 상기 중간위치 사이에서 왕복으로 이동될 수 있다. 도시된 실시예에서, 실린더들 형태의 밸브 드라이브 부품들 (17) 은 밸브 (1) 의 밸브 하우징 (20) 과 관련하여 하우징에 고정되어 배치된다. 이는 도 3, 도 8 및 도 13 에서 밸브 하우징 (20) 안에서의 실린더 (17) 의 일체형 형성에서 잘 알아볼 수 있다. 움직일 수 있는 밸브 드라이브 부품들 (16) 은 각각 피스톤들을 형성한다. 정확히 말하자면, 여기에 도시된 실시예들에서 밸브 드라이브 부품들 (16) 은 각각 피스톤과 그에 고정된 피스톤 로드 (piston rod) 로 형성된다. 하지만, 간략히 하기 위해, 이 경우 피스톤과 그에 고정된 피스톤 로드로 이루어진 유닛을 피스톤이라고 부른다. 물론, 여기에서 실현된 실시는, 피스톤들 형태의 밸브 드라이브 부품들 (16) 을 밸브 하우징 (20) 과 관련하여 하우징에 고정되도록 설계하고, 실린더들 형태의 밸브 드라이브 부품들 (17) 이 이에 대해 상대적으로 움직여짐으로써 반대로 이루어질 수도 있다.

제 2 밸브 드라이브 (7) 도 이 경우 두 개로 또는 이중으로 존재한다. 또다시 피스톤-실린더 배열체들이며, 상기 피스톤-실린더 배열체들에 있어서 각각 밸브 드라이브 부품 (18) 은 피스톤을 형성하고, 다른 밸브 드라이브 부품 (19) 은 실린더를 형성한다. 여기에서도, 실린더들 형태의 밸브 드라이브 부품들 (19) 은 밸브 하우징 (20) 과 관련하여 하우징에 고정되도록 형성된다. 제 2 밸브 드라이브들 (7) 의 피스톤들 형태의 밸브 드라이브 부품들 (18) 은 각각 고정적으로 가이드 로드들 (23) 과 연결되고, 상기 가이드 로드들 위에 요크 (22) 가 이동 가능하게 설치된다. 요크 (22) 에 밸브 로드 (21) 가 고정되고, 상기 밸브 로드는 벨로스 부싱 (24) 을 이용해 밸브 하우징 (20) 에 대해 밀봉된다. 이를 통해, 개구부 (3) 의 영역 안의 이른바 진공영역과, 상기 진공영역의 외부에 있는 영역 사이의 분리가 수행되고, 상기 진공영역의 외부에 있는 영역에, 도시된 실시예에서 예컨대 제 1 밸브 드라이브들 (5) 뿐만 아니라 제 2 밸브 드라이브들 (7) 도 있다. 밸브 로드 (21) 에 폐쇄 부재 (4) 가 고정된다.

본 발명의 제 1 실시예에서, 밸브 (1) 는 제 2 밸브 드라이브들 (7) 을 이용해 가역적으로 변형되도록 제공된, 본 발명에 따른 2개의 전달 부품 (9) 을 구비하고, 이때 각각 제 1 밸브 드라이브 (5) 는 전달 부품 (9) 의 중간 삽입하에 폐쇄 부재 (4) 에 작용한다. 도 1, 도 6 및 도 11 에서 특히 잘 볼 수 있는 바와 같이, 제 1 실시예에서 전달 부품들 (9) 은 적어도 일부 영역에 걸쳐 U 모양 또는 L 모양으로 형성되거나 또는 적어도 이러한 영역들을 구비한다. 오른쪽 전달 부품 (9) 은 제 1 및/또는 제 2 밸브 드라이브 (5, 7) 를 액추에이팅하기 위한 스위치 (15) 를 스위칭하기 위한 스위칭 요소 (14) 를 구비한다. 도시된 실시예에서, 스위칭 요소 (4) 는 이 전달 부품 (9) 에 일체로 성형된다. 도시된 변형에 있어서, 전달 부품 (9) 은 각각 제 1 밸브 드라이브들 (5) 의 밸브 드라이브 부품들 (16) 또는 피스톤들을 요크 (22) 와 연결시킨다. 이 부품들에서의 전달 부품들 (9) 의 고정점들은 각각 참조부호 (25) 로 표시된다. 즉, 도시된 실시예에서 제 1 밸브 드라이브 (5) 는 각각 전달 부품 (9), 요크 (22) 및 밸브 로드 (21) 의 중간 삽입하에 폐쇄 부재 (4) 에 작용한다. 다른 구현형태들에 있어서, 더 많은 또는 더 적은 부품들의 중간 삽입도 가능하다. 예컨대, 전달 부품들 (9) 이 바로 폐쇄 부재 (4) 에 고정되거나 또는 바로 밸브 로드 (21) 에 고정되는 것도 가능하다.

제 1 실시예에서, 전달 부품들 (9) 각각은 굽힘 영역 (10) 을 구비하며, 상기 굽힘 영역은 각각의 제 2 밸브 드라이브 (7) 를 이용해 가역적으로 변형되도록 제공된다. 세로 방향으로 연장된 이 굽힘 영역들 (10) 은 예컨대 리프 스프링의 형태로 설계될 수 있다. 도시된 실시예에서, 전체 전달 부품 (9) 은 각각 리프 스프링으로 구성된다. 상기 피스톤들 또는 밸브 드라이브 부품들 (16) 에의, 또한 요크 (22) 에의 간단한 결합을 위해 전달 부품들 (9) 은 유리하게는, 여기에 도시된 바와 같이, 일부 영역에 걸쳐 L 모양으로 또는 U 모양으로 형성된다. 도시된 변형에 있어서, 각각 전달 부품 (9) 에서 또한 제 2 굽힘 영역 (10') 이 발생한다. 그 안에서 비틀림 변형이 발생할 수 있다. 상기 중간위치가 도시된 도 9 와 상기 폐쇄위치가 도시된 도 14 와의 비교에서 잘 볼 수 있는 바와 같이, 굽힘 영역들 (10) 은 이와 반대로 변위된다. 도시된 변형에 대해, 물론 다수의 변경 가능성이 제공되며, 즉, 굽힘 영역 (10) 만 존재하도록 또는 굽힘 영역 (10') 만 존재하도록 전달 부품 (9) 을 물론 일부 영역에 걸쳐 강성으로 형성할 수도 있다. 이 이외에, 물론 전달 부품 (9) 에서 세로 방향으로 연장된 굽힘 영역들 (10 또는 10') 을 형성하기 위한 다수의 다른 가능성이 있을 수 있다.

한편으로는 어느 정도 강성적인 요소로서 제 1 운동경로 (6) 를 따라서 제 1 밸브 드라이브들 (5) 의 운동을 폐쇄 부재 (4) 로 전달할 수 있기 위해, 그리고 다른 한편으로는 제 2 밸브 드라이브 (7) 를 이용한 가역적 변형을 허용하기 위해, 전달 부품 (9) 은 제 2 운동경로 (8) 에 대해 평행인 방향으로보다 제 1 운동경로 (6) 에 대해 평행인 방향으로 보다 강성으로 형성된다. 이는 도시된 실시예에서 이 실시예의 리프 스프링 유형으로 형성된 전달 부품 (9) 의 폭이 전달 부품 (9) 의 두께보다 훨씬 큼으로써 달성된다.

하기에서는, 이제 도 1 내지 도 5 에 따른 상기 최대 개방위치로부터 출발하여 도 6 내지 도 10 에 따른 상기 중간위치를 거쳐 도 11 내지 도 15 에 따른 상기 폐쇄위치로의 폐쇄 과정이 예시적으로 설명된다.

상기 최대 개방위치로부터 출발하여, 제 1 밸브 드라이브들 (5) 의 실린더들로서 형성된 밸브 드라이브 부품들 (17) 의 챔버들은, 피스톤들로서 형성된 밸브 드라이브 부품들 (16) 이 하강되도록 가압된다. 밸브 드라이브 부품들 (16) 또는 피스톤들의 이 운동은 전달 부품들 (9) 을 통하여 요크 (22) 로 전달된다. 요크 (22) 는 가이드 로드들 (23) 을 따라서 아래로 미끄러지고, 이때, 도 11 내지 도 15 에 따른 상기 중간위치에 도달할 때까지 피스톤 로드 (21) 그리고 이로써 폐쇄 부재 (4) 를 제 1 운동경로 (6) 를 따라서 함께 이동시킨다. 상기 중간위치에 도달하면, 오른쪽 전달 부품 (9) 의 스위칭 요소 (14) 는 스위치 (15) 에 부딪친다. 이를 통해, 도시된 실시예에서 제 2 밸브 드라이브들 (7) 이 연결된다.

이를 통해, 이제 폐쇄 부재 (4) 를 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로 움직이기 위해, 제 2 밸브 드라이브들 (7) 의 실린더들로서 설계된 밸브 드라이브 부품들 (19) 의 상응하는 실린더 챔버들은 가압되고, 따라서 제 2 밸브 드라이브들 (7) 의 피스톤들로서 형성된 밸브 드라이브 부품들 (18) 은 가이드 로드들 (23) 및 그 위에 설치된 요크 (22) 와 함께 제 2 운동경로 (8) 를 따라서 움직여진다. 이를 통해, 요크 (22) 에 고정된 밸브 로드 (21) 도 폐쇄 부재 (4) 와 함께 제 2 운동경로 (8) 를 따라서 밸브 시트 (2) 를 향한 방향으로 움직여지고, 이로써 상기 중간위치에서 아직 밸브 시트 (2) 로부터 들어올려져 있는 폐쇄 부재 (4) 는 이제 그의 시일 (26) 들과 함께 상기 폐쇄위치에서 밀봉적으로 밸브 시트 (2) 에 대해 눌려진다. 제 2 운동경로 (8) 를 따른 상기 운동에 있어서, 전달 부품 (9) 은 제 2 밸브 드라이브 (7) 를 이용해 가역적으로 변형된다. 도시된 실시예에서, 도 9 와 도 14 의 비교에서 잘 알아볼 수 있는 바와 같이, 전달 부품들 (9) 의 이 변형은 본질적으로 굽힘 영역들 (10) 에서 실행된다.

상기 폐쇄위치로부터 출발하여 상기 중간위치를 거쳐 상기 최대 개방위치로 상기 밸브를 개방하기 위한 과정은 본질적으로 유사한 방식으로 반대 순서로 수행된다. 하지만 이와 관련하여서는 또한 스위치 (27) 가 언급되어야 하며, 상기 스위치는 도시된 실시예에서 가이드 로드 (23) 에 의해 작동된다. 폐쇄 부재 (4) 가 상기 최대 개방위치에 있는 동안은 또는 상기 중간위치에 있는 동안은 또는 그 사이의 위치들에 있는 동안은, 스위치 (27) 는 가이드 로드 (23) 에 의해 눌려진 위치에 유지된다. 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의 경로 상에서, 가이드 로드 (23) 는 스위치 (27) 로부터 들어올려진다. 그러면, 폐쇄 과정에 있어서 스위치 (27) 는 상기 폐쇄위치로부터 상기 중간위치로의 제 2 운동경로 (8) 를 따른 운동의 마지막에 상기 중간위치에 도달할시 다시 눌려지고, 이로써 도시된 실시예에서 제 1 밸브 드라이브들 (5) 이 켜진다.

여기에 도시된 실시예에서, 제 1 밸브 드라이브들 (5) 뿐만 아니라 제 2 밸브 드라이브들 (7) 도 피스톤-실린더 배열체들로서 실행되고, 상기 피스톤-실린더 배열체들은 바람직하게는 공압식으로 작동된다. 물론, 유압식 작동도 가능하다. 하지만, 제 1 밸브 드라이브들 (5) 뿐만 아니라 제 2 밸브 드라이브들 (7) 도 각각 복동식 피스톤-실린더 배열체들로서 뿐만 아니라 단동식 피스톤-실린더 배열체들로서도 실행될 수 있다는 것에 유의하도록 한다. 그러면, 대응 행정은 예컨대 상응하는 스프링들을 통해 또는 다른 탄성적 몸체들을 통해 수행될 수 있다. 물론, 이에 대해 대안적으로, 제 1 및 제 2 밸브 드라이브들 (5, 7) 을 실현하기 위해 다른 드라이브들, 예컨대 전기식 또는 전자기식 드라이브들, 특히 리니어 드라이브들도 가능하다.

도입부에서 이미 설명한 바와 같이, 전달 부품 (9) 의 가역적 변형이 반드시 세로 방향으로 연장된 굽힘 영역 (10 또는 10') 의 구부러짐 또는 비틀림의 형태로 수행될 필요는 없다. 도 16 은 이를 위해 대안을 도 5, 도 10 및 도 15 와 유사한 도면으로 나타낸다. 이 제 2 실시예의 밸브 (1) 의 나머지는 제 1 실시예에 관해 설명한 바와 같이 실시될 수 있다. 그러면, 이경우 본질적으로 동일한 작동방식이 발생하며, 상기 작동방식은 여기에서 다시 한 번 설명되지 않는다.

도 16 에 따른 제 2 실시예에서, 전달 부품 (9) 은 중간 웨브 (11) 를 이용해 서로 연결된 2개의 조인트 (12) 를 구비한다. 이 조인트들 (12) 각각은 축 (13) 둘레로 선회될 수 있다. 이 실시예에서는, 하나의 유일한 축 (13) 둘레로 선회 가능한 간단한 조인트들 (12) 이다. 하지만, 볼 조인트들, 또는 다수의 축 둘레로 선회 가능한 조인트들 (12) 도 이용될 수 있다. 중간 웨브 (11) 는 이 실시예에서 강성적으로 형성되며, 따라서 이 제 2 실시예의 전달 부품 (9) 의 변형은 오로지 조인트들 (12) 안에서의 운동을 통해 수행된다. 물론, 여기에서, 지금까지 도시된 상기 두 실시예와 달리 혼합 형태들도 가능하다. 즉, 예컨대 중간 웨브 (11) 도 세로 방향으로 연장된 굽힘 영역 (10) 으로서 실시될 수 있다.

여기에서 지금까지 도시된 그리고 설명된 본 발명의 두 실시변형에 있어서, 상기 폐쇄위치에서 폐쇄 부재 (4) 가, 상기 중간위치에서 폐쇄 부재 (4) 의 위치에 대해 평행이동된 위치를 차지한다는 공통점을 갖는다. 폐쇄 부재 (4) 의 이 평행이동은 도 17 에 도식적으로 도시된다. 실선으로 도시된 직사각형 (4) 은 도 6 내지 도 10 에 따른 상기 중간위치에서의 폐쇄 부재 (4) 를 나타낸다. 파선으로 도시된 폐쇄 부재 (4) 는 상기 폐쇄위치를 상징하며, 상기 폐쇄위치에서 폐쇄 부재 (4) 는 그의 시일들 (26) 과 함께, 도 17 에 다시 한 번 도시되지 않은 밸브 시트 (2) 에 대해 눌려져 있다. 화살표들 (28) 은 이 평행이동의 이동벡터들을 상징한다. 제 2 운동경로 (8) 와 제 1 운동경로 (6) 사이의 각도는 도 17 에 과장되어 도시된다. 즉, 제 2 운동경로 (8) 를 따라 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의 폐쇄 부재 (4) 의 운동시 제 1 운동경로 (6) 에 대해 평행인 방향으로의 폐쇄 부재 (4) 의 약간의 들어올림은, 전달 부품 (9) 이 제 2 밸브 드라이브 (7) 에 의한 그 가역적 변형 시에 그 길이를 유지함으로써 강제적으로 발생한다. 이를 적어도 도식적으로 나타내기 위해, 또한 도 18 및 도 19 가 첨부된다. 도 18 은 전달 부품 (9) 의, 세로 방향으로 연장된 굽힘 영역 (10) 의 변형을 나타낸다. 도 19 는 전달 부품 (9) 의 변형을 나타내며, 상기 전달 부품은 도 16 에 따르면 2개의 조인트 (12) 를 구비하고, 상기 조인트들은 상기 조인트들 사이에 놓여 있는 중간 웨브 (11) 를 갖는다. 각각 상기 중간위치에서의 상황이 실선으로 도시된다. 도 18 및 도 19 에 도시되지 않은 상기 폐쇄 부재의 상기 폐쇄위치에서의 변형된 상태는 파선으로 도시된다.

마지막으로, 상기 도시된 실시예들과 달리 각각 제 1 밸브 드라이브만 그리고/또는 제 2 밸브 드라이브만 또는 2개를 초과하는 제 1 및/또는 제 2 밸브 드라이브들이 본 발명에 따른 다른 밸브들 안에 존재할 수 있다는 것에 다시 한 번 유의하도록 한다.

1 : 밸브 2 : 밸브 시트
3 : 개구부 4 : 폐쇄 부재
5 : 제 1 밸브 드라이브 6 : 제 1 운동경로
7 : 제 2 밸브 드라이브 8 : 제 2 운동경로
9 : 전달 부품 10, 10' : 굽힘 영역
11 : 중간 웨브 12 : 조인트
13 : 축 14 : 스위칭 요소
15 : 스위치 16 : 밸브 드라이브 부품
17 : 밸브 드라이브 부품 18 : 밸브 드라이브 부품
19 : 밸브 드라이브 부품 20 : 밸브 하우징
21 : 밸브 로드 22 : 요크
23 : 가이드 로드 24 : 벨로스 부싱
25 : 고정점 26 : 시일
27 : 스위치 28 : 이동벡터

Claims

밸브 시트 (2) 에 의해 둘러싸인 개구부 (3) 와 폐쇄 부재 (4) 를 갖는 밸브 (1), 특히 진공밸브로서,
폐쇄위치에서 상기 폐쇄 부재 (4) 는 상기 밸브 시트 (2) 에 내리눌려져 있으며 상기 개구부 (3) 를 폐쇄하고, 중간위치에서 상기 밸브 시트 (2) 로부터 들어올려져 있으며 상기 개구부 (3) 와 일치하여 배치되고, 최대 개방위치에서 상기 개구부 (3) 를 완전히 또는 적어도 부분적으로 해제하며,
상기 밸브 (1) 는 제 1 운동경로 (6) 를 따라서 상기 최대 개방위치와 상기 중간위치 사이에서 상기 폐쇄 부재 (4) 를 최대 개방위치로 움직이기 위한 그리고/또는 중간위치로 움직이기 위한 적어도 하나의 제 1 밸브 드라이브 (5) 와, 제 2 운동경로 (8) 를 따라서 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 상기 폐쇄 부재 (4) 를 중간위치로 움직이기 위한 그리고/또는 폐쇄위치로 움직이기 위한 적어도 하나의 제 2 밸브 드라이브 (7) 를 구비하며, 상기 제 1 운동경로 (6) 와 상기 제 2 운동경로 (8) 는 서로 각을 이루고,
상기 밸브 (1) 는 상기 제 2 밸브 드라이브 (7) 를 이용해 가역적으로 변형되도록 제공된 적어도 하나의 전달 부품 (9) 을 구비하고, 상기 제 1 밸브 드라이브 (5) 는 상기 전달 부품 (9) 의 중간 삽입하에 상기 폐쇄 부재 (4) 에 작용하는 것을 특징으로 하는 밸브 (1).
제 1 항에 있어서,
상기 폐쇄위치에서 상기 폐쇄 부재 (4) 는 상기 중간위치에서의 상기 폐쇄 부재 (4) 의 위치에 대해 평행이동된 위치를 차지하는 것을 특징으로 하는 밸브 (1).
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 전달 부품 (9) 은 세로 방향으로 연장된 적어도 하나의 굽힘 영역 (10) 을 구비하거나 또는 세로 방향으로 연장된 적어도 하나의 굽힘 영역 (10) 으로 구성되는 것을 특징으로 하는 밸브 (1).
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 전달 부품 (9) 은 적어도 하나의 중간 웨브 (intermediate web, 11) 를 이용해 서로 연결된 적어도 2개의 조인트 (12) 를 구비하며, 이러한 조인트들 (12) 각각은 적어도 하나의 축 (13) 둘레로 선회 가능한 것을 특징으로 하는 밸브 (1).
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 전달 부품 (9) 은 제 1 및/또는 제 2 밸브 드라이브 (5, 7) 를 액추에이팅하기 위한 스위치 (15) 를 스위칭하기 위한 적어도 하나의 스위칭 요소 (switching element, 14) 를 구비하거나 또는 이러한 스위칭 요소 (14) 와 연결되는 것을 특징으로 하는 밸브 (1).
제 5 항에 있어서,
상기 스위칭 요소 (14) 는 적어도 상기 전달 부품 (9) 과 함께 상기 제 1 운동경로 (6) 에 대해 평행으로 함께 움직이면서 상기 전달 부품 (9) 에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 밸브 (1).
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 전달 부품 (9) 은 상기 제 2 운동경로 (8) 에 대해 평행인 방향으로보다 상기 제 1 운동경로 (6) 에 대해 평행인 방향으로 더 강성으로 형성되는 것을 특징으로 하는 밸브 (1).
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 밸브 드라이브 (5) 및/또는 상기 제 2 밸브 드라이브 (7) 는, 바람직하게는 각각, 서로 상대적으로 움직일 수 있는 적어도 2개의 밸브 드라이브 부품들 (16, 17, 18, 19) 을 구비하며, 바람직하게는 각각, 상기 밸브 드라이브 부품들 (17, 19) 중 하나는 상기 밸브 (1) 의 밸브 하우징 (20) 과 관련하여 하우징에 고정되어 배치되는 것을 특징으로 하는 밸브 (1).
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 밸브 드라이브 (5) 와 상기 제 2 밸브 드라이브 (7) 는 각각 서로 상대적으로 움직일 수 있는 적어도 2개의 밸브 드라이브 부품들 (16, 17, 18, 19) 을 구비하며, 상기 전달 부품 (9) 은 상기 밸브 (1) 의 밸브 하우징 (20) 에 대해 각각 상대적으로 움직일 수 있는, 상기 밸브 드라이브들 (5, 7) 의 상기 밸브 드라이브 부품들 (16, 18) 사이에 배치되고 그리고/또는 작용하는 것을 특징으로 하는 밸브 (1).
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
상기 제 1 밸브 드라이브 (5) 및/또는 상기 제 2 밸브 드라이브 (7) 는, 바람직하게는 각각, 피스톤-실린더 배열체를 구비하며, 바람직하게는 각각의, 상기 밸브 드라이브 (5, 7) 의 적어도 하나의 밸브 드라이브 부품 (17, 19) 은 실린더이고, 바람직하게는 각각의, 상기 밸브 드라이브 (5, 7) 의 적어도 하나의 다른 밸브 드라이브 부품 (16, 18) 은 상기 실린더 안에서 움직일 수 있게 안내된 피스톤인 것을 특징으로 하는 밸브 (1).