TW201600777A - valve - Google Patents

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克里斯多夫 巴赫曼
馬提亞斯 沃查斯克
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Abstract

一種閥(1)，具有一被一閥座(2)圍繞之開孔(3)及一關閉機構(4)，而該關閉機構(4)在一關閉位置按壓在閥座(2)上且關閉開孔(3)，且在一中間位置由閥座(2)被抬高但仍覆蓋開孔(3)，及在一最大開放位置完全或至少部分開放開孔(3)，而該閥(1)具有至少一第一閥驅動器(5)，用於關閉機構(4)在最大開放位置與中間位置間沿一第一運動軌道(6)之運動，及具有至少一第二閥驅動器(7)，用於關閉機構(4)在中間位置與關閉位置間沿一第二運動軌道(8)之運動，且第二運動軌道(8)對第一運動軌道(6)交成角度，其中，該閥(1)至少具有一傳動部(9)，藉由第二閥驅動器(7)產生可回復式變形，且第一閥驅動器(5)在傳動部(9)中介下作用在關閉機構(4)上。 (第1圖)

Description

閥
本發明係關於一種閥，尤指一種真空閥，具有一被一閥座圍繞之開孔及一關閉機構，該關閉機構在一關閉位置按壓在閥座上，且關閉開孔，而其在一中間位置被由閥座抬高，且對齊開孔，而在一最大開放位置完全或至少部分開放開孔，而該閥至少具有一第一閥驅動器，用於關閉機構在最大開放位置與中間位置間沿一第一運動軌道之去程及/或回程運動，及至少具有一第二閥驅動器，用於關閉機構在中間位置與關閉位置間沿一第二運動軌道之去程及/或回程運動，且該第一運動軌道與第二運動軌道互相交成夾角。
此類閥在先前技術中基本屬於習知。其經常被用於真空技術，且亦被稱為所謂之L閥或J閥。關閉機構由最大開放位置至關閉位置，及反之，或多或少之L及J形運動，都實施成意在盡可能長期保護裝設在閥座上或關閉機構上之密封件，俾便盡可能減少在密封件上之剪切運動，甚至排除之。
文件DE 10 2008 049 353 A1以不同實施例揭示 一種此類閥。在此文件之實施例中，第一閥驅動器為關閉機構在最大開放位置與中間位置間之運動而設計成活塞-缸-組合，並被承載在一所謂之導引單元中。當關閉機構由中間位置運動至關閉位置，及返回時，此導引單元隨同連動。此意味，第一閥驅動器在此運動中亦一直隨同來回運動。此先前技術之各實施例彼此間之不同僅在於使關閉機構在中間位置與關閉位置間運動之第二閥驅動器之形式。在該文件之第一實施例中，其係一活塞-缸-組合，該組合抗拒一彈簧負荷而工作。在此文件之另一實施例中第二閥驅動器實施為一槓桿方案。
在先前技術中進一步習知之此類閥門中，有以轉換閥/插入L運動系列04.3/05.3之名稱被提供者。在此閥門上第一及第二閥驅動器之缸被整合在閥之一殼體內。垂直行程與水平行程之聯繫，亦即沿第一及第二運動軌道之運動，在此先前技術中係由一直角安裝於及被承載於第一閥驅動器缸上之螺栓為之，一軛在沿第二運動軌道之運動中及在水平運動中在該螺栓上滑動。
本發明之目的在於，對此類型之閥第一及第二閥驅動器之相互作用提出一種可供選擇之概念。
為此在本發明中設置，閥至少具有藉由第二閥驅動器可回復式變形之傳動部，且第一閥驅動器在傳動部中 介下作用在關閉機構上。
因而所提出者係一基本構想，藉由第二閥驅動器以目標導向之方式使傳動部做可回復式變形。傳動部可設計成一件式或多件式或一體式或多體式。可變形性及變形概念在此處係寬鬆理解。其一般係指一有目的設置之傳動部之變形能力。此可為，但非必須為，經由一種折彎產生，以下將另有詳細說明。由以下之詳細說明主要可知，有各種不同作法，將本發明之一種有目的之傳動部可回復式變形構想藉由第二閥驅動器實施。
在關閉機構上以一閥板為佳，特別是一平面構形之關閉機構。在較佳實施例中藉由關閉機構關閉之開孔具有40cm2至1000cm2之截面積，以60cm2至500cm2為佳。本發明之閥亦可稱為關閉設備。
如同習知，可在關閉機構及閥座上至少設置一個或各設一個密封件。第一運動軌道及/或第二運動軌道設成互相有交角。運動軌道可線性走勢，但並非必須。但特別是第一運動軌道以線性為佳。所謂交角係指其交會成一角度，且不平行。第一及第二運動軌道以互相至少交成一近似直角為佳。運動軌道亦可稱為運動路徑。其意指關閉機構運動路線。各運動軌道可例如被標示成，關閉機構之運動追隨事先在關閉機構上預設之點形成之路線。各運動軌道包含二相反方向，其設置成上下方式或同軸方式。
關閉機構以固定於一閥桿上為佳。本發明特別偏好之設計形式為，關閉機構固定於閥桿上，且第一閥驅動器在傳動部中介下作用在閥桿上。在此傳動部之關連中必須說明，本發明之閥並非僅能具有一第一閥驅動器用以沿第一運動軌道運動，及一第二閥驅動器用以沿第二運動軌道運動。而是可以進一步實施成擁有二或多個第一閥驅動器，用於關閉機構沿第一運動軌道之去程及/或回程運動，及/或擁有二或多個第二閥驅動器，用於關閉機構沿第二運動軌道之去程及/或回程運動。在此設計形式中第一閥驅動器可在必要時多個傳動部中介下作用在一軛上，而以每個閥驅動器皆配有一專屬傳動部為佳，其與閥桿連接，以剛性連接為佳，而在閥桿上仍然固定有關閉機構。
以下再根據實施例對中間位置詳細說明。中間位置係關閉機構雖然由閥座被抬起，卻仍覆蓋閥座之位置，亦即仍遮蔽開孔時之位置。與此不同為，在開放位置時，關閉機構完全或部分開放開孔，不再遮蔽，使流體及/或主要是需要加工或處理之構件可被導引通過開孔。
本發明之設計形式係盡可能持續低磨耗且特別是對可能存在之密封件不造成負擔，依此考慮在偏好之實施例中設置，關閉機構在關閉位置採取一種姿位，該姿位係關閉機構在中間位置時姿位之一平行滑移。平行滑移在數學上之理解為，關閉機構之各點在同一方向及在互相平行之方向 滑移相同距離。在此關連中亦可將其稱為線性平移。特別偏好之本發明之實施例在此關連中設置成，當傳動部在其中間位置與關閉位置間運動時，其容許關閉機構平行滑移。必須指出，第二運動軌道無需為此線性走勢。所稱之平行滑移亦可僅由中間位置與關閉位置之末端位置點比較而產生。特別是在所稱之平行滑移之意義上可例如設置，傳動部至少具有一縱向延伸折彎區，或由縱向延伸折彎區構成。在此設計形式中傳動部可完全或亦僅局部設計成葉片彈簧。是則葉片彈簧構成縱向延伸之折彎區。折彎區之縱向延伸在此關連中首先僅意味，其並非一點狀折彎區。一縱向延伸之折彎區可設計成條形，但亦可為一平面延伸之折彎區。在此意義上平面延伸亦為縱向延伸。在這些實施例中共通者是，傳動部之變形沿縱向折彎區全部或至少大部發生。
另外作法可為，傳動部具有至少二藉由至少一中間支架互相連接之關節，而各關節容許對至少一軸樞轉，使傳動部亦能達到可回復式變形。在此實施例中可設置，傳動部可回復式變形之運動僅由在關節中之樞轉實施。此處可為單軸關節，但亦可為多軸關節或球關節。所稱之實施例自然亦可互相結合，例如在關節間之中間支架成形為縱向延伸之折彎區。此外多種其他不同之混合形式亦可想而知，一傳動部可例如在關節區外及中間支架外亦具有一縱向延伸之折彎區。此折彎區可對一想像之、正交其縱向延伸之軸折 彎，或經歷一對其縱向延伸之扭轉。
在本發明偏好之實施例中，傳動部在平行於第一運動軌道方向之抵緊基本設計成剛性，且在平行於第二運動軌道方向之抵緊設計成較軟，容許可回復式變形。根據此意義，本發明偏好之實施例設置成傳動部在平行於第一運動軌道方向上之剛性大於在平行於第二運動軌道方向上之剛性。可以理解為，傳動部在平行於第一運動軌道之方向上，在傳動部上之抵緊力量剛性較大，大於在平行於第二運動方向上在傳動部上之抵緊剛性。經由此可達到，傳動部第一閥驅動器在最大開放位置與中間位置間之運動，亦即沿第一運動軌道，至少基本以無變形方式傳動，而在中間位置與關閉位置間之關閉機構之運動，亦即藉由第二閥驅動器沿第二運動軌道之運動有目的的產生可回復式變形。
由定義出發，在一縱向折彎區，折彎區之長度大於寬度，且寬度大於厚度，因而可達到此期望之不同剛性，其方式為，折彎區之寬度至少是折彎區厚度之兩倍，而以至少是折彎區厚度10倍為佳。在特別偏好之實施例中，傳動部設計成U形或L形。
在本發明特別偏好之實施例中，傳動部至少具有一切換元件，用以切換一開關，控制第一及/或第二閥驅動器，或與該切換元件連接。此可用於例如在關閉機構沿第一運動軌道朝中間位置方向運動結束點上解除第一閥驅動 器，並啟動第二閥驅動器，俾便關閉機構接續沿第二運動軌道向關閉位置前進，或反之。切換元件可為一件式，成形於傳動部上。但多件式造型亦屬可行，是則該切換元件以其他方式固定，例如經由螺合、焊接、夾固或類似方法，固定於傳動部上。無論如何，有利者係，該切換元件至少以隨同傳動部平行於第一運動軌道運動之方式固定於傳動部上。
可使用最大不同之各種驅動器形式作為第一閥驅動器及/或作為第二閥驅動器。其可為油壓、氣壓、電力、電磁或其他先前技術中習知之驅動器，特別是線性驅動器。然而在真空技術中偏好使用氣壓或電力驅動器。較佳實施例在此關連中設置成，第一閥驅動器及/或第二閥驅動器，最好兩者皆，具有一活塞-缸-組合，而至少一閥驅動器之驅動部，以各驅動器之一驅動部為佳，係一缸，且至少另一驅動器之驅動部，以各驅動器之另一驅動部為佳，係一在缸中被活動導引之活塞。可為雙向作動之活塞-缸-組合，適合使關閉機構既沿運動軌道之一方向亦沿運動軌道之相反方向運動。但亦可使用僅在運動軌道一方向上作用之活塞-缸-組合。另一運動方向可例如經由彈簧、電力或其他適合之驅動器實現。作為舉例，此處舉出例如在文件DE 10 2008 049 353 A1之圖4、圖8及圖12所示之返回彈簧32。在活塞-與缸-組合方面，殼體固定之閥驅動部既可為活塞亦可為缸。根據本發明之意義在特別偏好之設計形式中在此關連中設置，第一閥 驅動器與第二閥驅動器各至少具有二可相互移動之閥驅動部，而傳動部設於及/或作用於閥驅動器之各相對於一閥之閥殼體可活動之閥驅動部之間。
如開頭業已指出，本發明之閥特別以用於真空技術領域為佳，例如用於關閉處理室，在其中加工或製造電子構件或類似物。關於真空技術一般在此關連中特別係指，以壓力小於或等於0.001 mbar或0.1 Pascal達到作業狀態。真空閥係設計用於此壓力範圍及對環境之相應壓差之閥。真空閥大多具有一所謂之真空範圍，在該範圍內以此低壓達到處理狀態。在此類閥及真空閥之偏好之設計形式中，第一及第二閥驅動器，或各第一及第二閥驅動器，以位於真空範圍之外為佳。為區別及密封真空範圍與真空範圍外之範圍，在先前技術中習知者有伸縮密封、滑動密封及類似者，例如對閥桿。
1‧‧‧閥
2‧‧‧閥座
3‧‧‧開孔
4‧‧‧關閉機構
5‧‧‧第一閥驅動器
6‧‧‧第一運動軌道
7‧‧‧第二閥驅動器
8‧‧‧第二運動軌道
9‧‧‧傳動部
10,10’‧‧‧折彎區
11‧‧‧中間支架
12‧‧‧關節
13‧‧‧軸
14‧‧‧切換元件
15‧‧‧開關
16‧‧‧閥驅動部
17‧‧‧閥驅動部
18‧‧‧閥驅動部
19‧‧‧閥驅動部
20‧‧‧閥殼體
21‧‧‧閥桿
22‧‧‧軛
23‧‧‧導桿
24‧‧‧伸縮密封
25‧‧‧固定點
26‧‧‧密封件
27‧‧‧開關
28‧‧‧滑移向量
在圖式中顯示本發明實施例之舉例。圖中顯示：圖1至圖5顯示第一實施例之閥之關閉機構處於最大開放位置；圖6至圖10顯示第一實施例之閥之關閉機構處於中間位置；圖11至圖15顯示第一實施例之閥之關閉機構處於關閉位置；圖16顯示本發明另一設計形式； 圖17為一示意圖，顯示關閉機構之平行滑移；圖18顯示根據本發明一傳動部一縱向延伸折彎區之可回復式變形；圖19顯示一本發明具有中間支架及二關節之傳動部之可回復式變形。
第一實施例之閥1係一所謂之真空閥，可用於真空技術中，將在處理室中之開孔，經由該開孔待加工之工件被導入處理室及/或由處理室被取出，以壓密及/或氣密方式關閉。在此處所示實施例中關閉機構4係一閥板。需要關閉之閥1之開孔3在此處設計成具有圓角之近似方形。開孔3被閥1之閥座2圍繞。閥座2在此處係閥殼體20之一部分。但非必須如此，閥座2亦可基本實施在一分離之構造部分上。在所示之實施例中在關閉機構4上有密封件26。此亦非必須如此，密封件26可在閥座2上或既設在閥座2上亦設在關閉機構4上。
在圖1至圖5中此本發明之閥1第一實施例被顯示成關閉機構4處於最大開放位置。在此最大開放位置關閉機構4完全打開所示實施例中之開孔3。這特別由圖3及圖4中可清楚看出。圖1顯示對閥1之一正視圖，圖2顯示沿切線AA之水平截面圖，圖3顯示沿切線BB之垂直截面圖，圖4顯示沿切線CC之垂直截面圖。圖5中閥1之眾多部分被省去，俾便清 楚顯示傳動部9之一及其連結。
圖6至圖10顯示關閉機構4位於中間位置之情形。在此位置關閉機構4由閥座2被抬高，且覆蓋開孔3，但仍未按壓在閥座2上。此位置由圖8及圖9可特別清楚看出。關閉機構4在根據圖1至圖5之最大開放位置至根據圖6至圖10之中間位置間之運動及返回運動係藉由第一閥驅動器5沿第一運動軌道6進行。在所示之實施例中此純為一垂直行程。圖中標示運動軌道6及其平行線，為簡單起見亦以元件符號6標示。圖6顯示如圖1之一正視圖，圖7顯示沿圖6中切線DD之截面圖，圖8顯示沿切線EE之截面圖，且圖9顯示沿切線FF之截面圖。圖10顯示類似圖5之視圖，但是如所述，關閉機構4位於中間位置。
圖11至圖15顯示關閉位置之視圖。在此位置關閉機構4關閉開孔3，其方式為該關閉機構4以其密封件26壓緊閥座2。在此關閉位置為壓力區設置之開孔3被關閉機構4關閉，以氣密方式為佳。關閉機構4在根據圖6至圖10之中間位置與根據圖11至圖15之關閉位置間之運動係藉由第二閥驅動器7沿第二運動軌道8進行。圖中繪出運動軌道8及其平行路徑，為簡單起見平行路徑亦以元件符號8標示。圖11再度顯示一正視圖，圖12顯示沿切線GG之截面圖，圖13顯示沿切線HH之截面圖，而圖14顯示沿切線II之截面圖。圖15顯示一在此情況下類比於圖5與圖10之視圖。
基於關閉機構4在介於中間位置與關閉位置間運動時傳動部9之可回復式變形，第二運動軌道8之走勢亦可不必準確線性。但在較佳實施例中，如此處所示，偏好設置成第一運動軌道6及一切線在第二運動軌道8上在由第一運動軌道6過渡至第二運動軌道8處互相正交。
在根據圖1至圖15所示之實施例中設有二個第一閥驅動器5，提供關閉機構4沿第一運動軌道6運動。在此實施例中此閥驅動器各實施為雙向作動之活塞-缸-組合，如可由圖3、圖8及圖13之截面圖特別清楚看出。經由對第一閥驅動器5之缸17缸室適當充壓，活塞16可沿或平行於第一運動軌道6雙向行走，經由此關閉機構4可在最大開放位置及中間位置之間來回行走。在所示之實施例中閥驅動部17係以缸形式對閥1之閥殼體20以殼體固定方式設置。在圖3、8及13中可在閥殼體20內在缸17之一件式構造上清楚將之識別出。活動之閥驅動部16由活塞構成。嚴格而言，在此處所示之實施例中閥驅動部16各由一活塞及固定於其上之活塞桿構成。然而在簡化中將由一活塞及一固定於其上之活塞桿構成之該單位標示為活塞。此處實現之實施例當然亦可用其他方式構建，其方式為將閥驅動部16以活塞形式實施成對閥殼體20殼體固定，而閥驅動部17以缸形式對此運動。
第二閥驅動器7此處亦雙倍或雙重設置。其仍係活塞-缸-組合，一閥驅動部18由一活塞構成而另一閥驅動部 19由一缸構成。此處閥驅動部19亦以缸形式設計成對閥殼體20殼體固定。閥驅動部18之形式為第二閥驅動器7之活塞，與導桿23固定連接，一軛22以可滑動之方式被承載於其上。閥桿21固定在軛22上，其藉由伸縮密封24對閥殼體20密封。經由此亦在開孔3區域之所謂之真空區與真空區以外之區域間產生一種分隔，而在所示之實施例中例如不僅第一閥驅動器5亦且第二閥驅動器7位於真空區以外之區域。在閥桿21上固定有關閉機構4。
在本發明第一實施例中閥1具有二依本發明之、藉由第二閥驅動器7可回復式變形之傳動部9，而各第一閥驅動器5在一傳動部9之中介下作用在關閉機關4上。在第一實施例中傳動部9至少分區設計成U形或L形或至少具有如此形狀之區域，如特別是在圖1、圖6及圖11中可清楚辨認。右方傳動部9具有一切換元件14，用於切換一開關15，控制第一及/或第二閥驅動器5、7。在所示之實施例中切換元件4以一件式方式形成於此傳動部9上。在所示之改進例中傳動部9將閥驅動部16及各第一閥驅動器5之活塞與軛22連接。傳動部9在這些構件上之固定點各用元件符號25標示。在所示之實施例中第一閥驅動器5在一傳動部9、軛22及閥桿21中介下作用在關閉機構4上。在其他設計形式中多個或較少個構件中介係屬可想而知。例如，傳動部9直接固定在關閉機構4上或直接固定在閥桿21上，皆屬可行。
在第一實施例中各傳動部9具有一折彎區10，其作用在於藉由各第二閥驅動器7產生可回復式變形。此縱向延伸折彎區10可例如實施為一葉片彈簧形式。在所示之實施例中整體傳動部9各由一葉片彈簧構成。為能簡單地既連接在活塞及閥驅動部16上亦連接在軛22上，傳動部9有利地設計成，如此處所示，局部L形或U形。在所示之實施例中在各傳動部9上尚有一第二折彎區10’。在其中可產生一扭轉變形。相對而言，折彎區10之折彎可由比較圖9及圖14清楚看出，在圖9中所示為中間位置，在圖14中所示為關閉位置。對所示之實施例當然有無數改變可能性，當然亦可將傳動部9局部設計成剛性，使得其僅有折彎區10或僅有折彎區10’。此外當然尚有無數設計在傳動部9上之縱向延伸之折彎區10及10’之可能性。
為一方面能將第一閥驅動器5沿第一運動軌道6之運動作為或多或少剛性元件傳遞至關閉機構4，另一方面藉由第二閥驅動器7容許可回復式變形，傳動部9設計成在平行於第一運動軌道6方向之剛性大於平行於第二運動軌道8方向之剛性。在所示之實施例中其達到方式為，此實施例中設計成葉片彈簧式之傳動部9之寬度明顯大於傳動部9之厚度。
以下將由圖1至圖5中之最大開放位置經過圖6至圖10中之中間位置，至圖11至圖15中之關閉位置，說明關 閉程序。
由最大開放位置起，設計成缸之第一閥驅動器5之閥驅動部17之室被充壓，使設計成活塞之閥驅動部16下沈。閥驅動部16及活塞之此運動經由傳動部9傳遞至軛22。該軛22在導桿23上向下滑動，並帶動活塞桿21及沿第一運動軌道6帶動關閉機構4，直至抵達圖11至圖15所示之中間位置。一旦抵達，則右方傳動部9之切換元件14碰觸開關15。經由此在所示之實施例中啟動第二閥驅動器7。
經由此，為將關閉機構4由中間位置向關閉位置運動，實施成缸之第二閥驅動器7之閥驅動部19之對應缸室被充壓，使設計成活塞之第二閥驅動器7之閥驅動部18連同導桿23及被承載於其上之軛22沿第二運動軌道8運動。經由此固定在軛22上之閥桿21與關閉機構4沿第二運動軌道8向閥座2方向運動，將在中間位置上由閥座2被抬高之關閉機構4以其密封件26以氣密方式在關閉位置壓緊閥座2。在沿第二運動軌道8之運動中傳動部9藉由第二閥驅動器7可回復式變形。在所示之實施例中此傳動部9之變形基本在折彎區10實施，如由比較圖9及圖14可清楚看出。
閥由關閉位置經過中間位置朝最大開放位置之開放程序基本以類似方式進行，只是順序相反。這當中需指出者係開關27，其在所示之實施例中被導桿23觸發。只要關閉機關4位於最大開放位置或中間位置或介於其中之位置， 開關27被導桿23保持在壓住位置。在由中間位置向關閉位置的路途中，導桿23被開關27升高。在關閉程序中開關27在沿第二運動軌道8由關閉位置朝向中間位置在抵達中間位置運動終止時再度被壓住，使在所示之實施例中第一閥驅動器5被啟動。
在此處所示之實施例中第一閥驅動器5及第二閥驅動器7皆實施為活塞-缸-組合，以氣壓致動為佳。當然液壓致動亦可行。然而需要指出，第一及第二閥驅動器5及7非僅各為雙向作動之活塞-缸-組合，而是亦可實施為單向作動之活塞-缸-組合。其返回行程可例如經由適當之彈簧或其他彈性體為之。當然其他方案例如電力或電磁驅動器，特別是線性驅動器，亦屬可行，用以實現第一及第二閥驅動器5與7。
如開頭所述，傳動部9之可回復式變形並非必須為縱向延伸之折彎區10或10’之折彎或扭曲形式。圖16以類比於圖5、圖10及圖15之方式顯示一種其他方案。此第二實施例之閥1之其餘部分可如第一實施例之說明實施。其基本具有相同功能，此處不再贅述。
在圖16所示之第二實施例中傳動部9具有二藉由中間支架11互相連接之關節12。各關節12可對一軸13樞轉。在此實施例中其為一簡單、可對單一軸13樞轉之關節12。但亦可使用球關節或可對多軸樞轉之關節12。中間支架11在此實施例中設計成剛性，使此第二實施例之傳動部9變 形僅由在關節12中之運動發生。當然此處與至此所示之二實施例不同之混合形式亦屬可行。因而例如中間支架11可實施為縱向延伸之折彎區10。
此處所示及討論之本發明之二實施例共通點在於，關閉機構4在關閉位置採取一種姿位，該姿位係關閉機構4在中間位置之一平行滑移。此關閉機構4之平行滑移以示意法顯示於圖17中。實線所示之直角4顯示關閉機構4位於圖6至圖10所示之中間位置。虛線所示之關閉機構4代表關閉位置，在該關閉位置關閉機構4與其密封件26壓緊在圖17中未再度顯示之閥座2。箭頭28代表此平行滑移之滑移向量。第二運動軌道8與第一運動軌道6之間之夾角在圖17中放大顯示。當關閉機構4由中間位置沿第二運動軌道8向關閉位置運動時，關閉機構4在平行於第一運動軌道6方向輕微抬高，此係傳動部9在其藉由第二閥驅動器7可回復式變形時保持其長度所強迫產生。為至少以示意方式顯示此輕微抬高，另追加圖18及圖19。圖18顯示一傳動部9之一縱向延伸之折彎區10之變形。圖19顯示傳動部9之變形，該傳動部根據圖16具有二關節12連同居中之中間支架11。實線所顯示者係在中間位置之情形。虛線所示係圖18及圖19中未圖示之關閉機構在關閉位置之變形狀態。
最後再度指出，與所示實施例有所差異之情況，在其他本發明之閥中，各僅一第一閥驅動器及/或僅一 第二閥驅動器或多於二個第一及/或第二閥驅動器係屬可能。
1‧‧‧閥
3‧‧‧開孔
5‧‧‧第一閥驅動器
6‧‧‧第一運動軌道
9‧‧‧傳動部
10,10’‧‧‧折彎區
14‧‧‧切換元件
16‧‧‧閥驅動部
20‧‧‧閥殼體
21‧‧‧閥桿
22‧‧‧軛
23‧‧‧導桿
24‧‧‧伸縮密封
25‧‧‧固定點

Claims (10)

  1. 一種閥(1)，尤指真空閥，具有一被一閥座(2)圍繞之開孔(3)及一關閉機構(4)，而該關閉機構(4)在一關閉位置按壓在閥座(2)上且關閉開孔(3)，且在一中間位置由閥座(2)被抬高但仍覆蓋開孔(3)，及在一最大開放位置完全或至少部分開放開孔(3)，而該閥(1)具有至少一第一閥驅動器(5)，用於關閉機構(4)在最大開放位置與中間位置間沿一第一運動軌道(6)之去程及/或回程運動，及具有至少一第二閥驅動器(7)，用於關閉機構(4)在中間位置與關閉位置間沿一第二運動軌道(8)之去程及/或回程運動，且第一運動軌道(6)及第二運動軌道(8)互相成角度設置，其特徵在，該閥(1)至少具有一傳動部(9)，藉由第二閥驅動器(7)產生可回復式變形，且第一閥驅動器(5)在傳動部(9)中介下作用在關閉機構(4)上。
  2. 根據申請專利範圍第1項所述之閥(1)，其特徵在，該關閉機構(4)在關閉位置採取一種姿位，該姿位係關閉機構(4)在中間位置之姿位之一平行滑移。
  3. 根據申請專利範圍第1項或第2項所述之閥(1)，其特徵在，該傳動部(9)至少具有一縱向延伸之折彎區(10)或由其構成。
  4. 根據申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述之閥(1)，其特徵在，該傳動部(9)具有至少二藉由至少一中間支架(11)互相連接之關節(12)，而各關節(12)容許對至少一軸(13)樞轉。
  5. 根據申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述之閥(1)，其特徵在，該傳動部(9)具有至少一切換元件(14)，用以切換一開關(15)，控制第一及/或第二閥驅動器(5、7)，或與此切換元件(14)連接。
  6. 根據申請專利範圍第5項所述之閥(1)，其特徵在，該切換元件(14)固定於傳動部(9)上，至少與傳動部(9)平行於第一運動軌道(6)一同運動。
  7. 根據申請專利範圍第1項至第6項中任一項所述之閥(1)，其特徵在，該傳動部(9)在平行於第一運動軌道(6)方向設計成剛性大於平行於第二運動軌道(8)方向。
  8. 根據申請專利範圍第1項至第7項中任一項所述之閥(1)，其特徵在，該第一閥驅動器(5)及/或第二閥驅動器(7)，以兩者皆然為佳，至少具有二可相互運動之閥驅動部(16、17、18、19)，而閥驅動部(17、19)之一，以兩者皆然為佳，以對閥(1)之一閥殼體(20)殼體固定之方式裝設。
  9. 根據申請專利範圍第1項至第8項中任一項所述之閥(1)，其特徵在，該第一閥驅動器(5)及第二閥驅動器(7)各 至少具有二可相互運動之閥驅動部(16、17、18、19)，而該傳動部(9)設於閥驅動器(5、7)之閥驅動部(16、18)之間，該閥驅動部可相對於閥(1)之閥殼體(20)運動。
  10. 根據申請專利範圍第8項至第9項所述之閥(1)，其特徵在，該第一閥驅動器(5)及/或第二閥驅動器(7)，以兩者皆然為佳，具有一活塞-缸-組合，而閥驅動器(5、7)至少一，以兩者皆為佳，閥驅動部(17、19)係一缸，且閥驅動器(5、7)至少另一閥驅動部(16、18)，以兩者皆為佳，係一在缸中被導引之活塞。
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