JP6758716B2

JP6758716B2 - 真空バルブ用ブレード

Info

Publication number: JP6758716B2
Application number: JP2017557311A
Authority: JP
Inventors: ジンキム、バエ; サンチョイ、キ; ミンキム、サン; ヒュンキム、カン
Original assignee: プレシスカンパニーリミテッド
Priority date: 2015-05-04
Filing date: 2016-04-14
Publication date: 2020-09-23
Anticipated expiration: 2036-04-14
Also published as: KR101725250B1; US20180156339A1; US10443741B2; CN107646084B; CN107646084A; WO2016178481A1; JP2018515726A; KR20160130574A

Description

本発明は、真空バルブ用ブレードに関し、バルブハウジング（10）内部の移動空間（11）に具備して、駆動部材（30）の作動可否によって、移動通路部（12）を開閉させる真空バルブ用ブレード（1）において、板形状で形成され、その一側面が前記移動通路部（12）と接触し、他側面にネジ結合部（110、110`）がそれぞれ形成され、前記ネジ結合部（110、110`）の外側まわりには、第1弾性部材（300、300`）の一側面に停止するように、第1弾性部材停止部（120、120`）がそれぞれ形成される開閉板（100）と、
前記開閉板（100）他側面に1つ以上を具備し、前記第1弾性部材（400、400`）の他側面が停止するように、第2弾性部材停止部（211,211`）が形成される接触突出部（210、210`）がそれぞれ形成され、前記接触突出部（210、210'）内部には、連結ユニット（400、400`）を挿入するように連結部（220、220`）がそれぞれ形成されるシャフト連結バー（200）と、
前記第1弾性部材停止部（120、120`）と第2弾性部材停止部（211,211`）の間にそれぞれ具備して、前記開閉板（100）とシャフト連結バー（200）が弾性的に連結することをガイドする第1弾性部材（300、300`）と、前記連結部（220,220`）にそれぞれ挿入して、前記開閉板（100）の他側面と連結する連結ユニット（400、400`）と、で構成されることを特徴とする真空バルブ用ブレードに関する。

一般的に、半導体製造工程は、高精度を要求する工程として、高い清潔度と特殊な製造技術が要求されている。

前記のような理由で、半導体素子は、空気中に含まれた異物の接触を完璧に遮断した状態、すなわち、真空状態で製造されている。

したがって、半導体製造装置の真空作業区域と大気との密閉技術も半導体製品の品質に多い影響を与える。

このような半導体製造工程のためには、半導体素子の集積工程が行われる工程チャンバと工程チャンバ内の空気を吸入する真空ポンプ、及び、工程チャンバと真空ポンプの間に設置して、真空ポンプの吸入力が工程チャンバーに伝達されることを調節する真空バルブが設置される。

このような真空バルブの構成の中に、駆動部材と連結して駆動部材の駆動力により移動通路を開閉するブレードは、駆動部材の作動可否によって、垂直及び水平移動して、移動通路を開閉する役割をすることにより、工程チャンバ内の清潔度を維持させ、作業の効率性を増進させることに非常に重要な役割をする。

このため、ブレードは、移動通路を閉鎖する場合に、移動通路との密閉力が高いように設計することが好ましい。

このようなブレードの中に、特許文献1の「バルブロッド上へのバルブプレートの設置（大韓民国公開特許公報第10-2011-0102328号）」は、バルブロッドに対して、横切って伸びているクロス部材を利用したバルブロード上へのバルブプレートの設置として、前記クロス部材は、中央連結地点では、バルブロッドと連結されている。そして、中央連結地点の両側に置かれている少なくても2個の側面連結地点では、バルブプレートと連結されている。そして、前記クロス部材は、中央連結地点及び両側で、前記中央連結地点接に折れているクロス部材のセクギョンを含む中央セクションでバルブプレートからの間隔を持つバルブロッド上へのバルブプレートの設置において、クロス部材のネジりを介してバルブプレートはバルブロッドに対して直角である旋回軸まわりに、バルブロードに対して旋回することができるように構成されたものとして、バルブプレートがバルブ開口部を閉鎖する場合に、バルブプレートが均等な力でバルブ開口部を加圧して緊密な密閉状態を維持することができると言う長所があった。

しかし、前記特許文献1の「バルブロッド上へのバルブプレートの設置」は、反復的な作動により、バルブロッドが磨耗されるとか、バルブプレート及び縦軸などの連結が緩くなることにより、バルブプレートがバルブ開口部を閉鎖する場合に、バルブプレートがバルブ開口部を正確に閉鎖することができないことにより、工程チャンバー内の清潔度が低下し、バルブハウジングの内部に異物などが流入してパーティクルが発生されると言う問題があった。

また、前記特許文献1の「バルブロッド上へのバルブプレートの設置」は、面と面が接触するバルブ開口部とバルブプレートの構造として、バルブ開口部の開閉のために、水平方向に移動するバルブプレートは、シリンダを作動させる圧縮空気の量、ピストンの上昇出力、バルブプレートに加わる回転力、各構成要素の連結地点などの微細な差異によって、バルブ開口部に対して水平状態ではない、一側が横に曲がって移動することにより、バルブプレートとバルブ開口部が会う面に離隔現象が発生する。これによって、密閉力が低下し、工程チャンバー内で使用されるバルブとしての機能が喪失されると言う問題があった。

本発明は、上述した問題点を解決するために考案されたもので、本発明の目的は、開閉板とシャフト連結バーの間に弾性材質の第1弾性部材をそれぞれ挿入して、開閉板とシャフト連結バーが弾性的に連結される構造を具現することにより、機械的な離隔誤差が発生するとか、作動する力の不均衡による開閉板の位置変更について、第1弾性部材が可変的に対応して、開閉板が移動通路部を閉鎖する場合に、開閉板が移動通路部に精巧に密着して、常に緊密な密閉状態を維持することができる真空バルブ用ブレードを提供することである。

前記のような問題点を解決するために、本発明に係る真空バルブ用ブレードは、バルブハウジング（10）内部の移動空間（11）に具備して、駆動部材（30）の作動可否によって、移動通路部（12）を開閉させる真空バルブ用ブレード（1）において、板形状で形成され、その一側面が前記移動通路部（12）と接触し、他側面にネジ結合部（110，110`）がそれぞれ形成され、前記ネジ結合部（110，110`）の外側まわりには、第1弾性部材（300、300`）の一側面が停止するように、第1弾性部材停止部（120、120`）がそれぞれ形成される開閉板（100）と、
前記開閉板（100）他側面に1つ以上具備し、前記第1弾性部材（400、400`）の他側面が停止するように、第2弾性部材停止部（211,211`）が形成される接触突出部（210，210`）がそれぞれ形成され、前記接触突出部（210，210`）内部には、連結ユニット（400、400`）を挿入するように連結部（220、220`）がそれぞれ形成されるシャフト連結バー（200）と、
前記第1弾性部材停止部（120、120`）と第2弾性部材停止部（211、211`）の間にそれぞれ具備して、前記開閉板（100）とシャフト連結バー（200）が弾性的に連結されることをガイドする第1弾性部材（300、300`）と、
前記連結部（220、220`）にそれぞれ挿入して、前記開閉板（100）の他側面に連結される連結ユニット（400、400`）と、で構成されることを特徴とする。

また、前記連結ユニット（400、400`）は、ネジ頭形状のヘッド部（410、410`）と、前記ヘッド部（410、410`）の一側に形成されて、前記開閉板（100）の他側面と接触する連結突起部（420、420`）が形成され、前記ヘッド部（410、410`）と連結突起部（420、420`）内側には、結合ボルト（440、440`）を挿入するように結合部（430、430`）が形成され、前記結合部（430、430`）に挿入した状態で、前記ネジ結合部（110、110`）に結合して、前記開閉板（100）とシャフト連結バー（200）を連結させる結合ボルト（440、440`）を具備し、

前記連結部（220、220`）の内側面には、前記連結ユニット（400、400`）を、前記連結部（220、220`）に挿入した状態で、前記ヘッド部（410、410`）を支持するように段係止部（221,221`）が形成され、前記段係止部（221,221`）の内側には、前記連結突起部（420、420`）を挿入するように連結挿入孔（222、222`）が形成されることを特徴とする。

また、前記連結挿入孔（222、222`）の直径（D1）は、前記連結突起部（420、420`）の直径（dl）より大きく形成されることを特徴とする。

また、前記段係止部（221、221`）には、第2弾性部材（500、500`）の一側面が停止するように、第3弾性部材停止部（221a、221a`）が形成され、前記第3弾性部材停止部（221a、221a`）と前記ヘッド部（410，410`）の一側の間には、前記シャフト連結バー（200）と連結ユニット（400、400`）が弾性的に連結されるように、第2弾性部材（500、500`）を具備することを特徴とする。

以上のように、本発明によると、開閉板とシャフト連結バーの間に弾性材質の第1弾性部材をそれぞれ挿入して、開閉板とシャフト連結バーが弾性的に連結される構造を具現することにより、機械的な離隔誤差が発生するとか、作動する力の不均衡による開閉板の位置変更について、第1弾性部材が可変的に対応し、開閉板が移動通路部に精巧に密着して、常に緊密な密閉状態を維持することができると言う長所がある。

本発明の好ましい実施例に係る真空バルブ用ブレードを含む真空バルブの全体構成を示す斜視図である。本発明の好ましい実施例に係る真空バルブ用ブレードの全体構成を示す斜視図である。本発明の好ましい実施例に係る真空バルブ用ブレードの分解された状態を見せた分解斜視図である。本発明の好ましい実施例に係る真空バルブ用ブレードの他側の状態を示す正面図である。図4のA-Aの断面を示す断面図である。本発明の好ましい実施例に係る真空バルブ用ブレードが移動通路部を閉鎖する状態を示す実施例図である。

以下、添付された図面を参照して、本発明の実施例に係る真空バルブ用ブレード（1）を詳細に説明する。まず、図面の中に、同一の構成要素または部品は、可能な限り同一の参照符号で示していることに留意しなければならない。本発明を説明するにおいて、係わる公知機能あるいは構成について具体的な説明は、本発明の要旨を曖昧ではないようにするために省略する。

本発明の一実施例に係る真空バルブ用ブレード（1）は大きく、開閉板（100）、
シャフト連結バー（200）、連結ユニット（400、400`）で構成される。

まず、開閉板（100）について説明する。前記開閉板（100）は、図1または図2に示すように、バルブハウジング（10）内部の移動空間（11）に具備し、駆動部材（20）の作動可否によって、閉鎖方向（C）に移動することにより、移動通路部（12）を開閉させる構成要素として、ネジ結合部（110、110`）及び第1弾性部材停止部（120、120`）を含む。

前記ネジ結合部（110、110`）は、図3に示すように、前記開閉板（100）の他側面に対称を成して、それぞれ陥没形成される一種の連結具として、後述する連結ユニット（400、400`）の結合ボルト（440、440`）と結合して、前記開閉板（100）と、後述するシャフト連結バー（200）を連結させる役割をする。

前記第1弾性部材停止部（120、120`）は、図3または図5に示すように、前記ネジ結合部（110、110`）の外側まわりにそれぞれ陥没し形成される構成要素として、前記開閉板（100）とシャフト連結バー（200）が連結された状態で、前記開閉板（100）の他側面と後述する接触突起部（210，210`）の一側面の間に挿入する弾性材質の第1弾性部材（300、300`）の一側面が停止することにより、前記駆動部材（30）の作動によって、前記シャフト連結バー（200）が閉鎖方向（C）に移動して、前記第1弾性部材（300、300`）が圧縮し変形される場合に、外部への離脱を防止し、最初の位置を維持することができる。

次に、シャフト連結バー（200）について説明する。前記シャフト連結バー（200）は、図1または図2に示すように、前記開閉板（100）の他側面に具備して、メインシャフト（20）及びガイドシャフト（21）と結合し、前記駆動部材（30）の作動により垂直、水平移動させるメインシャフト（20）及びガイドシャフト（21）を介して、前記開閉板（100）を垂直、水平に移動させる構成要素として、接触突起部（210、210'）及び連結部（220、220`）を含む。

前記接触突起部（210、210`）は、図3または図5に示すように、前記シャフト連結バー（200）の両一側面にそれぞれ突出し形成されて、前記開閉板（100）の他側面に連結される構成要素として、前記接触突起部（210，210`）の一側面には、前記第1弾性部材停止部（120、120`）と対応する第2弾性部材停止部（211、211`）がそれぞれ陥没し形成される。

これにより、前記開閉板（100）とシャフト連結バー（200）が連結された状態で、前記第1弾性部材停止部（120、120`）に、その一側面が停止した前記第1弾性部材（300、300`）の他側面が、前記第2弾性部材停止部（211,211`）に停止することにより、前記第1弾性部材停止部（120、120`）と一緒に、前記第1弾性部材（300、300`）の外部離脱防止及び位置を維持することができるようにガイドする。

前記連結部（220、220`）は、図3または図4に示すように、前記接触突起部（210、210`）の内部にそれぞれ打孔し形成されて、後述する連結ユニット（400、400`）を挿入し、挿入した前記連結ユニット（400、400`）の結合突起（440、440`）が前記ネジ結合部（110、110`）と結合可能にする構成要素として、段係止部（221、221`）、第3弾性部材停止部（221a、221a`）、連結挿入孔（222、222`）を含む。

前記段係止部（221、221`）は、前記連結部（220,220`）の内側面に突出し形成される構成要素として、前記連結ユニット（400、400`）を、前記連結部（220、220`）に挿入した状態で、後述する前記連結ユニット（400、400`）のヘッド部（410，410`）を支持する役割をする。

一方、前記段係止部（221、221`）には、前記段係止部（221、221`）と前記ヘッド部（410、410`）の間に挿入する弾性材質の第2弾性部材（500、500`）の一側面が停止するように、第3弾性部材停止部（221a、221a`）が陥没し形成されることができる。

前記連結挿入孔（222、222`）は、図5に示すように、前記段係止部（221、221`）の内側に打孔し形成される構成要素として、前記連結挿入孔（222、222`）には後述する前記連結ユニット（400,400`）の前記連結突起部（420,420`）をそれぞれ挿入することにより、前記開閉板（100）とシャフト連結バー（200）を連結することができる。

一方、本発明において、前記連結挿入孔（222、222`）の直径（D1）は、前記連結突起部（420、420`）の直径（dl）より大きく形成することを特徴とする。

これは、図6の（b）に示すように、その一実施例として、前記駆動部材（30）の作動する過程で、前記シャフト連結バー（200）に伝達される力（F）がシャフト連結バーの中心軸（C.L）から右側（図6を基準で表現する。）に、さらに作用すると、前記開閉板（100）が移動通路部（120）に密着する瞬間、右側の前記第1弾性部材（300`）は、左側（図6を基準で表現する。）の前記第1弾性部材（300`）より、さらに変形されることによって、前記シャフト連結バー（200）が反時計方向に回転する。このとき、連結挿入孔（222、222`）に挿入された前記連結突起部（420、420`）の制約を受けなく、前記シャフト連結バー（200）が反時計方向に回転することができるように変位範囲を確保するためである。

次に、連結ユニット（400、400`）について説明する。前記連結ユニット（400、400`）は、図3または図5に示すように、前記連結部（220、220`）にそれぞれ挿入して、前記開閉板（100）の他側面と連結されることにより、前記開閉板（100）とシャフト連結バー（200）を連結させる役割をする構成要素として、ヘッド部（410、410`）、連結突起部（420、420`）、結合部（430、430`）、結合ボルト（440、440`）を含む。

前記ヘッド部（410、410`）は、前記連結ユニット（400、400`）を、前記連結部（220、220`）に挿入した状態で、前記段係止部（221,221`）の第3弾性部材停止部（221a、221a`）に停止する前記第2弾性部材（500、500`）の他側面と接触する構成要素として、
前記ヘッド部（410，410`）は、前記開閉板（100）の他側面に固定する前記連結突起部（420、420`）の他側に形成されることにより、前記シャフト連結バー（200）の移動を制限する役割をする。

一方、本発明において、前記ヘッド部（410、410`）が停止する前記連結部（220、220`）の内側直径（D2）は、前記ヘッド部（410、410`）の直径（d2）より大きく形成されることを特徴とする。

これは、先に図6の（b）に示すことを参考して説明したように、前記シャフト連結バー（200）に伝達される力（F）がシャフト連結バーの中心軸（C.L）から右側（図6を基準に表現する。）に、さらに作用すると、前記シャフト連結バー（200）が反時計方向に回転することができるように変位範囲を確保するためである。

前記連結突起部（420、420`）は、前記ヘッド部（410、410`）の一側に突出し形成され、前記連結挿入孔（222、222`）を通過して、前記開閉板（100）の他側面に連結される構成要素として、前記ヘドゥブ（410、410`）を固定させる役割をする。

前記結合部（430、430`）は、前記ヘッド部（410、410`）と連結突起部（420、420`）内側に打孔し形成される構成要素として、前記結合ボルト（440、440`）を挿入して、前記結合ボルト（440、440`）が前記ネジ結合部（110、110`）に結合することができる。

以下では、図1及び図6を参考して、本発明の好ましい実施例に係る開閉板（100）が、移動通路部（12）を閉鎖する過程を説明する。

先に、図6の（a）に示すように、前記開閉板（100）は、前記移動通路部（12）から開放方向（0）側に位置して、前記移動通路部（12）の開放状態を維持させる。

以後、前記移動通路部（12）の閉鎖のための作動進行は、前記駆動部材（30）によって前記開閉板（100）とシャフト連結バー（200）は垂直移動した後に、閉鎖方向（C）に水平移動することにより、前記開閉板（100）によって、前記移動通路部（12）を密閉して閉鎖することが一般的に行われる。

しかし、垂直移動をした前記開閉板（100）とシャフト連結バー（200）が、次の進行段階である水平方向の移動を実行する場合に、図6の（b）に示すように、一実施例として、前記シャフト連結バー（200）に伝達される力（F）がシャフト連結バーの中心軸（C.L）から右側（図6を基準に表現する。）に、さらに作用すると、前記開閉板（100）は、前記移動通路部（12）を閉鎖する過程で一側に横に曲がった状態で水平移動する。

このとき、前記開閉板（100）の前面が、前記移動通路部（12）に当接すると、右側の前記第1弾性部材（300`）は、左側（図6を基準に表現する。）の前記第1弾性部材（300）よりも、加わる力（F）と距離に比例して、さらに変形されることにより、前記開閉板（100）と、前記移動通路部（12）を平行状態を成すことができる。これにより、前記開閉板（100）と、前記移動通路部（12）との間に離隔なしに緊密な連結状態を維持することにより、精巧に密閉することができる。

一方、前記シャフト連結バー（200）の接続突出部（220、220`）及び第1弾性部材（300、300`）は、真空バルブ及びブレードなどの構成要素の形状または大きさ、前記駆動部材（30）の出力などを考慮して、その個数が一つ以上、多様に構成されることができる。

図面と明細書で最適の実施例を開示した。ここで特定の用語を用いたが、これは単に本発明を説明するための目的で用いたものであり、意味の限定や特許請求の範囲に記載された本発明の範囲を制限するために用いたものではない。従って、当該技術分野の通常の知識を有する者であれば、多様な変形および均等な他の実施例が可能であることを理解すべきである。また、本発明の真の技術的保護範囲は、添付された特許請求の範囲の技術的思想によって定められる。

Claims

バルブハウジング（10）内部の移動空間（11）に具備し、駆動部材（30）の作動可否によって、移動通路部（12）を開閉させる真空バルブ用ブレード（1）において、板形状に形成されて、一側面が前記移動通路部（12）と接触し、他側面にネジ結合部（110，110`）がそれぞれ形成され、前記ネジ結合部（110、110`）の外側周囲には、第1弾性部材（300、300`）の一側面に停止されるように、第1弾性部材停止部（120、120`）がそれぞれ形成される開閉板（100）と、
前記開閉板（100）の他側面に1つ以上具備し、前記第1弾性部材（300、300`）の他側面が停止されるように、第2弾性部材停止部（211,211`）が形成される接触突出部（210、210`）がそれぞれ形成されるシャフト連結バー（200）と、
前記第1弾性部材停止部（120、120`）と第2弾性部材停止部（211、211`）の間にそれぞれ具備し、前記開閉板（100）と前記シャフト連結バー（200）が弾性的に連結されることをガイドする前記第1弾性部材（300、300`）と、
前記シャフト連結バー（200）に結合し、前記開閉板（100）の他側面に連結される連結ユニット（400、400`）と、で構成され、
前記連結ユニット（400、400'）は、ネジ頭形状のヘッド部（410，410`）と、前記ヘッド部（410，410`）の一側に形成され、前記開閉板（100）の他側面と接触される連結突起部（420、420`）が形成され、前記ヘッド部（410、410`）と連結突起部（420、420`）内側には、結合ボルト（440、440`）を挿入するように結合部（430、430`）が形成され、前記結合部（430、430'）に挿入した状態で、前記ネジ結合部（110、110'）に結合し、前記開閉板（100）と前記シャフト連結バー（200）を連結する結合ボルト（440、440`）を具備し、連結部（220、220`）の内側面には、前記連結ユニット（400、400`）を、前記連結部（220、220`）に挿入した状態で、前記ヘッド部（410、410`）を支持するように段係止部（221、221`）が形成され、
前記段係止部（221,221`）の内側には、前記連結突起部（420,420`）を挿入するように連結挿入孔（222、222`）が形成されることを特徴とする真空バルブ用ブレード（1）。
前記連結挿入孔（222、222`）の直径（D1）は、前記連結突起部（420、420`）の直径（dl）より大きく形成されることを特徴とする請求項1に記載の真空バルブ用ブレード（1）。
前記段係止部（221、221`）には、第2弾性部材（500、500`）の一側面が停止するように、第3弾性部材停止部（221a、221a`）が形成され、
前記第3弾性部材停止部（221a、221a`）と前記ヘッド部（410，410`）の一側の間には、前記シャフト連結バー（200）と前記連結ユニット（400、400`）が弾性的に連結されるように、第2弾性部材（500、500`）を具備することを特徴とする請求項2に記載の真空バルブ用ブレード（1）。