JP2011169333A - ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、弁体加熱手段を装着した弁体を弁体ホルダに着脱可能に取付けてなるゲートバルブにおいて、弁体および弁体ホルダからなる弁部の厚みを薄くすること、ならびに、弁体および加熱用ヒータの交換を容易にすること、を同時に達成できるゲートバルブを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のゲートバルブは、弁体を弁体ホルダに着脱可能に取付けてなるゲートバルブにおいて、弁体に弁体加熱手段を装着し、弁体と弁体ホルダとの対向面に位置し、かつ、対向面に沿って平板状接続端子を弁体および弁体ホルダにそれぞれ設けることにより、該コイルスプリングを介して加熱手段と電気的に接続されていることを特徴としている。
【選択図】図１

Description

本発明は、たとえば、半導体装置の製造工程等に用いられる真空処理装置における真空処理室の開口部を開閉するゲートバルブに関し、特に、ゲートバルブの弁体を加熱するようにした弁体加熱装置に関する。

半導体製造工程におけるドライエッチング工程やスパッタリング工程やエピタキシャルウェハ形成工程等においては、例えば特開平９−８２７８１号公報に記載のような、複数の真空処理室が接続されたマルチチャンバ構成の真空処理装置が使用される。
ウェハの搬送室と各真空処理室との間の移動は、ゲートを通じて行われる。ゲートの開閉および密封は、ゲートバルブによって行われる。

このような、半導体製造装置用のゲートバルブにおける弁体は、反応ガスが触れる部位で使用される場合、反応生成物が弁体に付着しないように加熱制御される。具体的には、弁体にシーズヒータやカートリッジヒータ、面状ヒータを埋め込み、熱電対等を用いた温度コントローラで温度制御している。

加熱源としてのシーズヒータ、カートリッジヒータ、または、面状ヒータは、バルブの流路が大気圧から真空状態に変化してもその影響を受けないように弁体装置の内部に閉鎖状態で内蔵されるものであるが、弁体または加熱源としてのヒータを交換可能にしておき、弁体装置全体の長寿命化および経済性の向上を図るようにしたゲートバルブが知られている。

弁体またはヒータを交換可能にしたものとして、弁体と弁体ホルダとをOリングを介してねじで固定し、弁体凹部に複数の舌片状のPTCサーミスタを配設し、PTCサーミスタへの電力供給は弁体ホルダに設けた雄型端子を有する第２ソケットと雌型端子を有する第１ソケットにより行うようにしたゲートバルブの加熱装置が知られている（以下「従来技術１」という。例えば、特許文献２参照。）。

また、弁体またはヒータを交換可能にした他の例として、ボディの流路口を開閉するための弁体と、この弁体を加熱するための弁体加熱用ヒータと、この弁体加熱用ヒータを収納し得る収納部を有する弁体ホルダ本体部と、この弁体ホルダ本体部の収納部に前記弁体加熱用ヒータを収納した状態で、前記弁体ホルダ本体部に全周がシール状態に溶接されて前記弁体加熱用ヒータを前記ボディの内部に対して閉鎖した密閉状態に被覆するシールプレートとから成り、前記弁体ホルダ本体部に連結されたステムには、前記弁体加熱用ヒータの導線の延出部を外部に導出する孔が形成され、前記弁体は前記弁体ホルダ本体部のシールプレート表面上に重ねて取り付けられ、かつ、前記弁体は弁体ホルダ本体部の裏面側からボルトにより着脱可能に取り付けられているゲートバルブが知られている（以下「従来技術２」という。特許文献３参照。）。

特開平９−８２７８１号公報 特許第３０１２８３６号公報 特許第３３６６５４２号公報

上記した特許文献２記載の従来技術１のゲートバルブの加熱装置においては、ヒータへの電源接続がオスメス端子構造であるため、接続個所が大きなスペースを必要とし、弁体および弁体ホルダの厚みが大きくなるという問題があった。
また、上記した特許文献３記載の従来技術２のゲートバルブにおいては、加熱用ヒータとリード線を半田や溶接で接続し、弁体ホルダ本体部の収納部に弁体加熱用ヒータを収納した状態でシールプレートにより密閉状態に被覆し、リード線をステムの中まで通し、大気側で接続を行う必要があった。このため、加熱用ヒータの交換作業が煩雑になるという問題があった。

本発明は、弁体加熱手段を装着した弁体を弁体ホルダに着脱可能に取付けてなるゲートバルブにおいて、弁体および弁体ホルダからなる弁部の厚みを薄くすること、ならびに、弁体および加熱用ヒータの交換を容易にすること、を同時に達成できるゲートバルブを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため本発明のゲートバルブは、第１に、弁体を弁体ホルダに着脱可能に取付けてなるゲートバルブにおいて、弁体に弁体加熱手段を装着し、弁体と弁体ホルダとの対向面に位置し、かつ、対向面に沿って平板状接続端子を弁体および弁体ホルダにそれぞれ設けることを特徴としている。
上記第１の特徴において、弁体と弁体ホルダとの対向面に位置し、かつ、対向面に沿って平板状接続端子を弁体および弁体ホルダにそれぞれ設けることにより、電気接点の奥行き寸法が短くなるため、弁体および弁体ホルダからなる弁部の厚みを薄くすることができ、さらに、弁体を弁体ホルダに着脱するだけで自動的に電気接点が接離されるため、弁体および加熱用ヒータの交換を容易にすることができる。

また、本発明のゲートバルブは、第２に、第１の特徴において、平板状接続端子の間に導電性のスプリングを挟着することを特徴としている。
この構成により、平板状接続端子の間の接触をより確実なものとすることができる。
また、本発明のゲートバルブは、第３に、第２の特徴において、導電性のスプリングが弁体側あるいは弁体ホルダ側のどちらか一方に保持されていることを特徴としている。
導電性のスプリングを弁体側あるいは弁体ホルダ側のどちらかに保持可能であるため、設計の自由度が増し、製品の多様化を図ることができる。

また、本発明のゲートバルブは、第４に、第２または第３の特徴において、導電性のスプリングが導電性材料からなるコイルスプリングまたはコンタクトバンドであることを特徴としている。
このため、平板状接続端子の間の接触をより確実なものとするとともに、電気接点が多点接触を形成するため電気伝導度が良く、他の電気接点と比較して、接点奥行き寸法を短くすることができる。
また、本発明のゲートバルブは、第５に、第２ないし第４のいずれかの特徴において、平板状接続端子のうち、一方の平板状接続端子に導電性のスプリングを収容する凹部を形成することを特徴としている。
この構成により、安定した電気接点を形成することができる。
また、本発明のゲートバルブは、第６に、第１ないし第５のいずれかの特徴において、複数の平板状接続端子が１つの絶縁スペーサに装着されてユニット体をなしていることを特徴としている。
この構成により、複数の接続端子を備えた電気接点を１つのユニット体として扱うことができるため、部品管理あるいは着脱作業を簡素化することができる。

また、本発明のゲートバルブは、第７に、第１ないし第６のいずれかの特徴において、平板状接続端子を押圧するバネ機構を弁体側あるいは弁体ホルダのどちら一方に設けることを特徴としている。
この構成により、常時、平板状接続端子が押圧されるため、長時間の使用による変形、および、ゲートバルブの開閉に伴う振動による平板状接続端子同士あるいは平板状接続端子と導電性スプリングとの接触不安定を完全に防止することができる。

また、本発明のゲートバルブは、第８に、第１ないし第７のいずれかの特徴において、弁体と弁体ホルダとを断熱用リブを介して固定することを特徴としている。
このため、弁体に設けられた加熱手段からの熱が弁体ホルダに伝わるのを小さくでき、加熱効率を向上させることができる。
また、本発明のゲートバルブは、第９に、第８の特徴において、断熱用リブは、弁体あるいは弁体ホルダのどちらか一方に一体に、かつ、弁体と弁体ホルダとの対向面の一部に設けられていることを特徴としている。
この構成により、断熱用リブを別途用意する必要がないため、部品点数を少なくできる。

また、本発明のゲートバルブは、第１０に、第１ないし第９のいずれかの特徴において、弁体加熱手段および平板状接続端子が弁体、弁体ホルダおよびステムの内部に設けられた連通路を介して大気に連通していることを特徴としている。
このため、弁体加熱手段を大気雰囲気中に置くことができるから、大気を媒体として熱を均等に伝達するすることができ、熱伝導効率を良好にし、弁体の加熱を効率的に行うことができる。さらに、弁体加熱手段のヒータエレメントおよび温度センサのためのリード線を連通路を介して外部の電源および制御装置に接続することができる。

本発明は、以下のような優れた効果を奏する。
（１）弁体と弁体ホルダとの対向面に位置し、かつ、対向面に沿って平板状接続端子を弁体および弁体ホルダにそれぞれ設けることにより、電気接点の奥行き寸法が短くなるため、弁体および弁体ホルダからなる弁部の厚みを薄くすることができ、さらに、弁体を弁体ホルダに着脱するだけで自動的に電気接点が接離されるため、弁体および加熱用ヒータの交換を容易にすることができる。
（２）また、平板状接続端子の間に導電性のスプリングを挟着することにより、平板状接続端子の間の接触をより確実なものとすることができる。
（３）導電性のスプリングが導電性材料からなるコイルスプリングまたはコンタクトバンドであることにより、平板状接続端子の間の接触をより確実なものとするとともに、電気接点が多点接触を形成するため電気伝導度が良く、他の電気接点と比較して、接点奥行き寸法を短くすることができる。
（４）平板状接続端子のうち、一方の平板状接続端子に導電性のスプリングを収容する凹部を形成することにより、安定した電気接点を形成することができる。
（５）複数の平板状接続端子を１つの絶縁スペーサに装着させてユニット体を形成していることにより、複数の接続端子を備えた電気接点を１つのユニット体として扱うことができるため、部品管理あるいは着脱作業を簡素化することができる。

（６）平板状接続端子を押圧するバネ機構を弁体側あるいは弁体ホルダのどちら一方に設けることにより、常時、平板状接続端子が押圧されるため、長時間の使用による変形、および、ゲートバルブの開閉に伴う振動による平板状接続端子同士あるいは平板状接続端子と導電性スプリングとの接触不安定を完全に防止することができる。
（７）弁体と弁体ホルダとを断熱用リブを介して固定することにより、弁体に設けられた加熱手段からの熱が弁体ホルダに伝わるのを小さくでき、加熱効率を向上させることができる。
（８）断熱用リブを、弁体あるいは弁体ホルダのどちらか一方に一体に、かつ、弁体と弁体ホルダとの対向面の一部に設けることにより、断熱用リブを別途用意する必要がないため、部品点数を少なくできる。
（９）弁体加熱手段および平板状接続端子が弁体、弁体ホルダおよびステムの内部に設けられた連通路を介して大気に連通していることにより、弁体加熱手段を大気雰囲気中に置くことができるから、大気を媒体として熱を均等に伝達するすることができ、熱伝導効率を良好にし、弁体の加熱を効率的に行うことができる。さらに、弁体加熱手段のヒータエレメントおよび温度センサのためのリード線を連通路を介して外部の電源および制御装置に接続することができる。

本発明のゲートバルブを実施するための最良の形態を図面を参照しながら詳細に説明するが、本発明はこれに限定されて解釈されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々の変更、改良を加えうるものである。

図１は、本発明の実施の形態１に係るゲートバルブの主要部を構成する弁部を示す断面図であり、駆動部およびシールベローズ等は省略している。
図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。
図３は、図１のB−B断面図である。
図１および図２に示すゲートバルブの弁部１は、真空処理装置における真空処理室の開口部を開閉する弁体２、該弁体を加熱するための弁体加熱手段３、弁体２を支持する弁体ホルダ４、弁体加熱手段３と外部の電源とを接続したり、弁体加熱手段３と外部の制御手段とを電気的に接続するための電気接点５、弁体２と弁体ホルダ４との間をシールするＯリング６、および、弁体ホルダ４を支持するとともに内部に大気と連通する連通路８を有するステム７とを備えている。
また、弁体２は弁体ホルダ４にボルト等の固定手段により着脱自在に取付けられている。図２には、弁体ホルダ４側から弁体２にボルトを螺着させるための取付け用ネジ穴２２が４個所図示されている。

弁体２は、Ａｌ合金やステンレス材等の金属材料から形成され、また、その表面の全周にわたってＯリング９が装着される。
弁体２の裏面側には、弁体加熱手段３を収容し保持するための凹部１０が形成され、図２に示すように、弁体２の広範囲にわたって弁体を加熱できるように弁体加熱手段３が収納されている。凹部１０に収容された弁体加熱手段３は、図１に示すように、弁体カバー１１により弁体２に密着して保持されるようになっており、弁体カバー１１は弁体２の裏面が面一になるようにして弁体２に溶接されている。
弁体カバー１１には、電気接点５を収容するための凹部１２および弁体加熱手段３を大気と連通させるための連通路１３が形成されている。

弁体ホルダ４は、熱絶縁性材料から形成されるのが好ましいが、加工性および強度の面から総合的に材質が決定されるものであるため、特に、熱絶縁性材料に限定されるものではない。また、その形状において、弁体２より横方向の幅が少し小さく、弁体２が若干横方向に飛び出した形となっている。
図１に示すように、弁体ホルダ４の弁体２の裏面と対向する側には、電気接点５を収容するための凹部１４およびＯリングを装着するＯリング溝１５が形成されている。また、弁体ホルダ４には、弁体２側に形成された連通路１３とステム７の連通路８とを連通させるための連通路１６が形成されている。

弁体加熱手段３は、図２に示すように、面状のヒータであることが好ましく、弁体の形状や大きさによりヒータの種類を変えることができる。
面状の弁体加熱手段３について、マイカヒータ、シースヒータ、ポリイミドヒータ、ＰＴＣヒータなどの発熱体であればよい。
弁体加熱手段３には、発熱体としてのヒータエレメント１７があり、該ヒータエレメント１７の両端には接続端子部１８、１８が連続して形成されており、この接続端子部１８、１８に接続するヒータリード線１９を介して所定の電圧を印加することによってヒータエレメント１７が発熱する。接続端子部１８、１８は、ヒータエレメント１７の中央部であって、下向きに配置されている。
ヒータエレメント１７の全体と接続端子部１８、１８の一部は、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド等の有機高分子材料やマイカ材等の無機材料などからなる絶縁材で覆われるが、説明の都合上、透明なものとし、図示していない。

弁体加熱手段３には、弁体２の温度を計測して制御するための温度センサ２０が設けられ、センサリード線２１を介して外部の制御手段と接続されている。本例では、温度センサ２０は弁体のほぼ中央部に配置されている。温度センサ２０としては、白金測温抵抗体が用いられているが、これに限らず、熱電対を用いても良い。
なお、面状の発熱体として、温度センサを必要としない正の温度係数を有するＰＴＣ面状発熱体を用いたような場合は、温度センサを設ける必要はない。

弁体ホルダ４を支持するステム７は、金属材料からロッド状に形成され、一端が弁体ホルダ４の下端面の中央部に接続され略Ｔ字状を形成するように溶接等で固着されている。ステム７内部には、図１に示すように、その中心部に大気に連通する連通路８が形成されている。連通路８は、弁体加熱手段３に電力を供給するためのヒータリード線１９および温度センサ２０に接続されるセンサリード線２１を通すとともに加熱手段３を大気に連通させるための機能を有している。

弁体加熱手段３のヒータエレメント１７と外部の電源とを接続したり、弁体加熱手段３の温度センサ２０と外部の制御手段とを電気的に接続するための電気接点５は、図１および図３に示すように、導電性を有する平板状接続端子２６、２６、該平板状接続端子２６、２６を周囲と絶縁するとともにこれを保持する絶縁スペーサ２７、２７を備えている。図１および図３に示した例では、ヒータエレメント１７用に２本、温度センサ２０用に２本の合計４本の平板状接続端子２６が装着された構成となっている。

平板状接続端子２６、２６は、電気伝導度の良い板状部材からなり、弁体２側の平板状接続端子２６は、弁体カバー１１の面と同一面かあるいは僅かに突出するように凹部１２に配置される。一方、弁体ホルダ４側の平板状接続端子２６は、弁体ホルダ４の面と同一面かあるいは僅かに突出するように凹部１４に配置される。そのため、弁体２を弁体ホルダ４に固定した際、両側の平板状接続端子２６、２６は確実に接触する。
また、平板状接続端子２６、２６の連通路１３および１６に臨む下端部には、ヒータリード線１９およびセンサリード線２１がカシメ、ロウ付け、溶接等の方法で接続される。

平板状接続端子２６、２６を周囲から絶縁し、これらを保持する絶縁スペーサ２７、２７は、公知の電気絶縁材料から形成されており、図４に示すように、平板状接続端子２６を収容する凹部３１を有し、固定用穴３２を介して固定部材により弁体カバー１１および弁体ホルダ４にそれぞれ固定される。凹部３１の深さは平板状接続端子２６の厚さと同一かあるいは僅かに浅く形成されている。
また、１つの絶縁スペーサ２７に平板状接続端子２６を収容する凹部３１を複数形成し、平板状接続端子２６とでユニット体を形成するようにしておくと、装着および配線等が容易になる。
なお、図３において、二点鎖線で示す部分２３がＯリング６のシール面であり、電気接点５および連通路１３、１６の周囲を囲むように弁体２と弁体ホルダ４の対向面のシールをしている。

図１に示すように、平板状接続端子２６を押圧するバネ機構、例えば皿バネ３３が弁体ホルダ４側の絶縁スペーサ２７と弁体ホルダ４の凹部１４との間に設けられている。 このため、弁体ホルダ４側の平板状接続端子２６は絶縁スペーサ２７を介して、常時、弁体２側の平板状接続端子に押圧される。このように、皿バネ３３により、常時、平板状接続端子２６、２６が押圧された状態となるため、ゲートバルブの開閉に伴う振動による平板状接続端子２６、２６の接触不安定は完全に防止される。

図５は、本発明の実施の形態２に係るゲートバルブの主要部を構成する弁部を示す断面図であり、図６は、図５のＣ−Ｃ断面図である。
実施の形態２は、電気接点５の構成以外は、実施の形態１と同じであり、同じ符号は実施の形態１と同じ部材を意味している。
図５および図６において、電気接点５は、導電性のスプリングを構成する導電性を有するコイルスプリング２５、該コイルスプリング２５を挟んで両側から接する導電性の平板状接続端子２６、２６、該平板状接続端子２６、２６を周囲と絶縁するとともにこれを保持する絶縁スペーサ２７、２７を備えている。図５および図６に示した例では、コイルスプリング２５は弁体カバー１１の凹部１２に配置されるようになっているが、これに限らず、弁体ホルダ４の凹部２５に配置されるようにしてもよい。

コイルスプリング２５は、ベリリウム銅、ＳＵＳ、インコネルあるいはチタン等の材質から形成され、該コイルスプリング２５を用いた電気接点は、耐熱性を有し、電気伝導度が良く、コイルひとつひとつが電気接点になって多点接触を形成しており、他の電気接点と比較して、接点奥行き寸法が短いという特徴を有している。この特徴を生かすように、コイルスプリング２５は、平板状接続端子２６に沿うように配設される。

図７は、弁体側の平板状接続端子２６の凹部にコイルスプリング２５を収容した状態を説明する図であり、図（ａ）は斜視図、図（ｂ）は図（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。
平板状接続端子２６は、長手方向にコイルスプリング２５を収容するための凹部を構成するアリ溝２８を形成しており、弁体カバー１１の面と同一面になるように弁体カバー１１の凹部１２に配置される。アリ溝２８の深さはコイルスプリング２５の外径より小さく、コイルスプリング２５が僅かにアリ溝２８から飛び出るようになっている。一方、弁体ホルダ側の平板状接続端子２６は、弁体ホルダ４の面と同一面になるように弁体ホルダ４の凹部１４に配置される。このため、弁体２を弁体ホルダ４に固定した際、コイルスプリング２５は、両側の平板状接続端子２６、２６によりコイル径が縮小される方向にわずかに押圧される。また、図７に示すように、平板状接続端子２６、２６の両端には、固定用穴２９が形成され、ビス等の固定部材により絶縁スペーサ２７に固定されるようになっている。また、連通路１３および１６に臨む接続端子２６の下端部には、ヒータリード線１９およびセンサリード線２１を接続するための端子３０が設けられている。

図８は、本発明の実施の形態２に係る電気接点における導電性のスプリングの変形例を示したものであり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）のＥ−Ｅ断面図である。 図８の符号３６は、コンタクトバンドを示しており、該コンタクトバンド３６は、ベリリウム銅合金などの導電性材料から形成され、平板形状をしており、バネ特性を有し、多面・多点接触であるため接触抵抗が小さく、フラットな面に装着ができる。
コンタクトバンド３６は、バネ特性を有し、多面・多点接触を形成するように、幅方向中央部に長手方向にわたって複数の接点３７が斜め方向に形成されており、これら接点３７は弾性を有し、上下方向からの力に対し弾性変形する。
このコンタクトバンド３６は、平板状接続端子２６に溶接等の手段で固定され、あるいは、上記したコイルスプリング２５と同じく、一方の平板状接続端子２６の凹部に収容される等して装着されるものであり、弁体２を弁体ホルダ４に固定した際、両側の平板状接続端子２６、２６により斜め方向に形成された接点３７がわずかに押圧されるように装着されて用いられる。

図９〜図１１は、弁体２と弁体ホルダ４との間に断熱用リブを介在させた例を説明する説明図であり、その他の構成は図１〜図８に示した構成と同じであるのでそれらの説明は省略する。

図９は、弁体２と弁体ホルダ４との間に挟むように、弁体２の裏面および底面に接する断面Ｌ字形状の断熱用リブ３４を介在させたものである。この例では、断熱用リブ３４は、弁体２および弁体ホルダ４と独立しており、上下方向に長いリブ形状をしており、弁体２の幅方向において電気接点５およびＯリング６の設けられている位置を避けるように、例えば、両側に設けられる。断熱用リブ３４の設けられていない部分の弁体２と弁体ホルダ４との間は真空空間が形成される。
断熱用リブ３４は、断熱性の優れた材料から形成されるのが望ましいが、弁体２と弁体ホルダ４との間に真空空間を形成することが重要であるため、特段、断熱性の優れた材料に限定されるものではない。また、断面形状も任意に設定可能であるが、幅については強度上許容される範囲で狭い方が望ましい。
さらに、断熱用リブ３４の厚みは、弁部の厚みを過度に厚くすることなく、また、電気接点５の接触、または、Ｏリング６のシール性に支障のない範囲に設定される。すなわち、断熱用リブが３４を介在させた状態で弁体２を弁体ホルダ４にボルト３５により固定する際には、最初に、コイルスプリング２５またはＯリング６が弁体２の裏面と接触し、次いで、断熱用リブが３４が弁体の裏面に接触するように設定される。
このように、弁体２と弁体ホルダ４との間に断熱用リブ３４が介在され、真空空間が形成されているため、弁体に設けられた加熱手段３からの熱が弁体ホルダに伝わるのを小さくでき、加熱効率を向上させることができる。

図１０は、弁体ホルダ４に一体に断熱用リブ３４を形成する例を説明する説明図である。本例は、弁体ホルダ４に一体に断熱用リブ３４を形成する点で図９の場合と相違するが、断熱用リブ３４の役割については図９の場合と同様であるのでその説明は省略する。
断熱用リブ３４は、図（ｂ）の破線で示すように、弁体ホルダ４が弁体２の裏面および底面に接する部分に亘って設けられており、側面視でＬ字形状をなし、上下方向に長いリブ形状に形成される。また、図（ｃ）に示すように、電気接点５が、左側にヒータエレメント１７用、右側に温度センサ２０用と２つに分かれて配置されている関係上、断熱用リブ３４は、中央と両端との３個所に形成される。この場合、断熱用リブ３４は、その部分が他の部分より相対的に突出した形になるように切削等の手段で形成されてなるものである。このように、弁体ホルダ４に一体に断熱用リブ３４が形成されているため部品点数を減らすことができる。

図１１は、弁体２側に一体に断熱用リブ３４を形成する例を説明する説明図である。
本例は、弁体２に一体に断熱用リブ３４を形成する点で図９の場合と相違するが、断熱用リブ３４の役割については図９の場合と同様であるのでその説明は省略する。
断熱用リブ３４は、図（ｂ）に示すように、弁体２および弁体カバー１１の裏面ならびに弁体２の下面に亘って設けられるもので、側面視でＬ字形状をなし、上下方向に長いリブ形状に形成される。また、図（ｃ）に示すように、電気接点５が、左側にヒータエレメント１７用、右側に温度センサ２０用と２つに分かれて配置されている関係上、断熱用リブ３４は、中央と両端との３個所に形成される。この場合、弁体２および弁体カバー１１に一体に形成される断熱用リブ３４は、その部分が他の部分より相対的に突出した形になるように切削等の手段により形成されてなるものである。このように、弁体２に一体に断熱用リブ３４が形成されているため部品点数を減らすことができる。

本発明の実施の形態１に係るゲートバルブの主要部を構成する弁部を示す断面図である。 図１のＡ−Ａ断面図である。 図１のB−B断面図である。 絶縁スペーサを示す斜視図である。 本発明の実施の形態２に係るゲートバルブの主要部を構成する弁部を示す断面図である。 図５のＣ−Ｃ断面図である。 平板状接続端子の凹部にコイルスプリングが収容された状態を説明する図であり、図（ａ）は斜視図、図（ｂ）は図（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。 本発明の実施の形態２に係る電気接点を形成する導電性のスプリングの変形例を示したものであり、図（ａ）は斜視図、図（ｂ）は図（ａ）のＥ−Ｅ断面図である。 弁体と弁体ホルダとの間に挟むように断熱用リブを介在させる例を説明する説明図である。 弁体ホルダに一体に断熱用リブを形成する例を説明する説明図である。 弁体側に一体に断熱用リブを形成する例を説明する説明図である。

符号の説明

１ ゲートバルブの弁部
２ 弁体
３ 弁体加熱手段
４ 弁体ホルダ
５ 電気接点
６ Ｏリング
７ ステム
８ 連通路
９ Ｏリング
１０ 凹部
１１ 弁体カバー
１２ 凹部
１３ 連通路
１４ 凹部
１５ Ｏリング溝
１６ 連通路
１７ ヒータエレメント
１８ 接続端子部
１９ ヒータリード線
２０ 温度センサ
２１ センサリード線
２２ 取付け用ネジ穴
２３ Ｏリングのシール面
２５ コイルスプリング
２６ 平板状接続端子
２７ 絶縁スペーサ
２８ アリ溝
２９ 固定用穴
３０ 端子
３１ 凹部
３２ 固定用穴
３３ 皿バネ
３４ 断熱用リブ
３５ ボルト
３６ コンタクトバンド
３７ 接点

Claims (10)

1. 弁体を弁体ホルダに着脱可能に取付けてなるゲートバルブにおいて、弁体に弁体加熱手段を装着し、弁体と弁体ホルダとの対向面に位置し、かつ、対向面に沿って平板状接続端子を弁体および弁体ホルダにそれぞれ設けることを特徴とするゲートバルブ。
2. 平板状接続端子の間に導電性のスプリングを挟着することを特徴とする請求項１記載のゲートバルブ。
3. 導電性のスプリングが弁体側あるいは弁体ホルダ側のどちらか一方に保持されていることを特徴とする請求項２記載のゲートバルブ。
4. 導電性のスプリングが導電性材料からなるコイルスプリングまたはコンタクトバンドであることを特徴とする請求項２または請求項３記載のゲートバルブ。
5. 平板状接続端子のうち、一方の平板状接続端子に導電性のスプリングを収容する凹部を形成することを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれか１項に記載のゲートバルブ。
6. 複数の平板状接続端子が１つの絶縁スペーサに装着されてユニット体をなしていることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のゲートバルブ。
7. 平板状接続端子を押圧するバネ機構を弁体側あるいは弁体ホルダのどちらか一方に設けることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のゲートバルブ。
8. 弁体と弁体ホルダとを断熱用リブを介して固定することを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載のゲートバルブ。
9. 断熱用リブは、弁体あるいは弁体ホルダのどちらか一方に一体に、かつ、弁体と弁体ホルダとの対向面の一部に設けられていることを特徴とする請求項８項に記載のゲートバルブ。
10. 弁体加熱手段および平板状接続端子が弁体、弁体ホルダおよびステムの内部に設けられた連通路を介して大気に連通していることを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載のゲートバルブ。
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

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