JPWO2009075310A1 - 発熱体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
発熱体装置は、周縁部(6,9)が気密に連結される第一ケース板(2a)及び第二ケース板(2b)からなる金属製の放熱ケース(2)を備える。前記両ケース板(2a,2b)間には、電極板(16)を介して複数の磁器半導体発熱体(14)が挟持される。前記各電極板(16)への給電路(4b)は、前記放熱ケース(2)の内部に対して気密に配設される。さらに、前記第一ケース板(2a)の内面(8)と前記第二ケース板(2b)の内面(12)とに相互接近方向への引き付け力が常時作用するように、前記放熱ケース(2)内の中空部分が真空状態に保持される。
Description
本発明は、磁器半導体発熱体を用いた発熱体装置と、その製造方法に関するものである。
下記特許文献1には、金属製の扁平な放熱ケース内に磁器半導体発熱体を複数配設した発熱体装置が記載されている。前記放熱ケースは、第一ケース板と第二ケース板との組み合わせにより形成される。前記放熱ケースの内面、すなわち、前記各ケース板の内面には、絶縁層を介して電極板が固定されている。そして、該電極板間には、複数の磁器半導体発熱体が分布している。前記発熱体装置は、水や油等の液体の加熱源として用いると好適なものであり、例えば、電気湯沸器、電気麺ゆで器、揚げ物(フライや天ぷら等)用の電気フライヤー、空調用加湿器等に対し、それらの熱源として組み込まれる。
この種の発熱体装置においては、熱効率を向上させる観点から、前記各磁器半導体発熱体と前記放熱ケースとの間(すなわち、前記各磁器半導体発熱体と前記電極との間、及び、該電極と前記放熱ケースとの間)が常にしっかりと圧接されていることを要する。圧接状態が悪かったり圧接力が弱かったりすると、前記各磁器半導体発熱体から十分な発熱が得られなかったり、該各磁器半導体発熱体から前記放熱ケースへの熱伝導が不良となったりするからである。
従来、前記各磁器半導体発熱体と前記放熱ケースとの間の圧接力は、次のようにして保持されていた。すなわち、前記第一ケース板と前記第二ケース板との間に前記磁器半導体発熱体を押圧挟持させた状態で、前記両ケース板の中央部と周縁部の合計二箇所を互いに連結することによって、前記圧接力が保持されていた。
また、前記放熱ケースは、内部に液体が入り込まないようにケース外の加熱対象に対しては液密に構成される一方で、前記電極板に接続される導線の取り出し筒を介して、液体容器外の大気に対しては連通状態とされていた。
ところで、前記の如き発熱体装置は、磁器半導体発熱体の数が5〜10個と少ない小出力発熱体装置(小型発熱体装置)から、磁器半導体発熱体の内蔵数が数十個程度にまでなる大出力発熱体装置(大型発熱体装置)まで、様々な出力のものがあり、磁器半導体発熱体の使用数が多いものほど出力が大きくなり、前記放熱ケースの面積も大きくなる。
しかし、前記従来の圧接態様は、大出力用の発熱体装置に適用するには不向きであった。すなわち、前記放熱ケースが大きいと、その中央部から周縁部までの距離が大きいので、中央部と周縁部のみを互いに連結する従来の圧接態様では、その間に配設される多数の磁器半導体発熱体の全てに対して偏りなく前記放熱ケースを強く押圧させることが難しいからである。
また、別の問題として、前記従来の発熱体装置は、長期間使用しているうちに出力が低下してしまう場合があった。前記発熱体装置は、稼働時と非稼働時でその全体が高温と低温とに大きく変化する。この大幅な温度変化は、使用期間を通じて何度も何度も繰り返される。このため、各部の膨張係数の違いや放熱ケースの金属疲労等により、磁器半導体発熱体と放熱ケースとの間の圧接状態が悪くなってしまったり、相互の圧接力が弱まってしまったりする。これが出力低下の原因であると考えられる。
この問題は、発熱体装置のサイズが大きければ大きいほど、より顕著に現れる。それは、発熱体装置が大きければ大きいほど、前記放熱ケースの中央部から周縁部までの距離が長いので、長期間に渡る温度変化の繰り返しによる各部の歪みの影響がより大きくなってしまうからである。
さらに他の問題もある。前記の如く、従来の放熱ケースは、加熱すべき液体の容器外の大気に対して連通状態とされていた。このため、放熱ケースが高温と低温とを繰り返すことにより外気がケース内へ自由に出入する。したがって、外気の湿度が高い場合には、温度下降時に放熱ケース内に結露が生じ、これが絶縁不良や漏電の原因となったり、電極板を酸化させて接触不良の原因となったりして、発熱体装置の寿命を損なうことが多かった。
実公平4−36071号公報
本発明は、前記の如き事情に鑑みてなされたもので、出力又はサイズの大小に拘わらず良好な性能が保証され、且つ、その性能が長期間維持され、さらに、寿命も長い発熱体装置を提供しようとするものである。また、本発明は、前記発熱体装置の製造方法を提供しようとするものである。
前記課題を解決するため、本発明に係る発熱体装置は、周縁部が気密に連結される第一ケース板及び第二ケース板からなる金属製の放熱ケースと、前記両ケース板間に挟持されて前記放熱ケース内に分布する複数の磁器半導体発熱体と、前記各ケース板の内面側で前記各磁器半導体発熱体に接触する電極板と、該各電極板とこれに対応する前記各ケース板の内面との間を絶縁する絶縁層と、を備え、前記各電極板への給電路が前記放熱ケースの内部に対して気密に配設され、且つ、前記第一ケース板の内面と前記第二ケース板の内面とに相互接近方向への引き付け力が常時作用するように前記放熱ケース内の中空部分が真空状態に保持されていることを特徴とする。
本発明によれば、前記給電路を介して前記各電極板に通電することにより、前記各磁器半導体発熱体が発熱する。この熱は前記放熱ケースに伝導し、外部へと放出される。前記絶縁層は、前記電極板に供給される電力が前記各ケース板へと漏電することを防止する。
本発明においては、前記第一ケース板と前記第二ケース板の周縁部が気密に連結され、且つ、前記各電極板への給電路が前記放熱ケースの内部に対して気密に配設される。そして、前記第一ケース板の内面と前記第二ケース板の内面に相互接近方向の引き付け力が常時作用するように、前記放熱ケース内の中空部分が真空状態に保持される。このため、発熱体装置の出力やサイズの大小に拘わらず、前記各ケース板の内面と前記各磁器半導体発熱体との間に所定の圧接力を偏りなく付与することができる。これにより、出力又はサイズの大小に拘わらず、発熱体装置の良好な性能が保証される。
また、真空により維持される圧接力は、大きな温度変化の繰り返しにより装置の各部に従来生じやすかった歪みに対して良好な耐性をもたらす。また仮に、装置各部に歪みが生じてしまった場合でも、前記真空による圧接力は持続するので、発熱体装置の性能の低下が防止される。
さらに、前記放熱ケースの内外が気密に遮断されているので、放熱ケースの内部に結露を生ずることがない。このため、従来みられた結露による障害が生ずる余地がなく、発熱体装置の寿命が長くなる。
一方、本発明に係る発熱体装置の製造方法は、前記発熱体装置として完成する前の半製品の一部に前記中空部分に連通する通気孔を設け、該通気孔を有する半製品を気密槽内に入れて該気密槽内を真空引きし、該気密槽内で前記通気孔を気密に閉塞することを特徴とする。
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
図1は、本発明の実施の一形態に係る発熱体装置の全体構成及び取付状態を示す部分断面図、図2は、図1中の放熱ケース及び発熱機構の分解斜視図、図3は、図1中の導線取出部の断面図、図4は、他の実施の形態に係る発熱体装置の正面図(a)及び底面図(b)、図5は、放熱ケースの減圧工程の他の例を示す説明図である。
図1に示すように、本発明の実施の一形態に係る発熱体装置1は、気密性が付与された薄形の放熱ケース2と、該放熱ケース2内に配設される発熱機構3と、導線取出部5と、を備えている。
前記放熱ケース2は、上側の第一ケース板2aと下側の第二ケース板2bとの組み合わせにより形成される。図1の例では、前記放熱ケース2が上から見て円形状とされているが、これには限定されず、四角形や他の形状であってもよい。
前記第一ケース板2aは、図2に示すように、周縁に外向きフランジ6を有する浅底の円筒容器状をなしており、その内部の中央部には二本のステーボス7,7が溶接により固定されている。これらのステーボス7,7には取付ねじ21,21がねじ結合される。前記第一ケース板2aの内面8は、前記発熱体装置1の組立状態において、前記第二ケース板2bとの間で前記発熱機構3を押圧挟持するための押圧面として作用する。
前記第二ケース板2bは、図2に示すように、周縁に外向きフランジ9を有する浅絞り円皿状をなしており、その中央部には導線取出孔10が形成され、該導線取出孔10の両側には、前記取付ねじ21,21を受け入れる取付ねじ挿通孔10a,10bが形成されている。また、前記第二ケース板2bには、下方へ凸のリング状凸部11が形成されている。このリング状凸部11は、前記二つの取付ねじ挿通孔10a,10bを取り囲むように形成され、且つ、前記導線取出孔10と同心に配設されている。前記第二ケース板2bの内面12は、前記発熱体装置1の組立状態において、前記第一ケース板2aとの間で前記発熱機構3を押圧挟持するための押圧面として作用する。前記第二ケース板2bには、強度を高めるために必要に応じてリブ11aを設けることもできる。
前記両ケース板2a,2bは、例えば、チタン、ジルコニウム、ステンレス鋼等、耐蝕性及び耐薬品性に優れた金属材料で形成される。図1に示すように、組立時に前記両ケース板2a,2bを合わせると、前記外向きフランジ6,9が互いに密着する。この組み合わせ状態において、図2に示すように、前記取付ねじ21,21が前記取付ねじ挿通孔10a,10bに挿通され、前記取付ねじ21,21の先端側が前記ステーボス7,7に螺入する。これにより、前記両ケース板2a,2bが互いに結合される。したがって、前記ステーボス7,7の長さは、前記両ケース板2a,2bを組み合わせたときに前記第二ケース板2bに接触しない長さとされる。
前記発熱機構3は、図2に示すように、複数(図2の例では8個)の磁器半導体発熱体(以下、PTCと称する)14と、該各PTC14の分布の位置決めを行う位置決め板15と、前記各PTC14の上下各面に接触する電極板16,16と、を備えている。
前記各PTC14は、正の抵抗温度特性を有する円板状のものとされ、上下両面にオーム性接触電極14aを一体に有している。前記PTC14はすべて同一構造とし、同形同大とするのが通常であるが、中でも特に、少なくとも厚みだけは同一であることを要する。
前記位置決め板15は、例えば集成マイカ製のドーナツ状のものとされ、周方向に等間隔で前記PTC14の個数と同数の位置決め孔15aを備えている。該各位置決め孔15a内には、前記各PTC14が適合状態で嵌り込む。該各PTC14は、前記放熱ケース2内に均等な間隔をおいてバランスよく分布させるのが好ましい。その結果、前記放熱ケース2内には、前記PTC14を除く部分として、中空部分がバランスよく(偏りなく)分布することになる。
前記各電極板16は、アルミニウム、銅、銀、あるいはこれらの合金によりドーナツ状に形成されている。前記各電極板16の内端縁部には、内部導線4aの内端がそれぞれ接続されている。
前記発熱機構3と前記各ケース板2a,2bとの間には、ポリイミド又はポリテトラフロロエチレン等の、耐熱性を有する絶縁シート17が介装される。該各絶縁シート17は、前記各電極板16とこれに対応する前記各ケース板2a,2bの内面8,12との間を電気的に絶縁する絶縁層となる。前記各絶縁シート17も、前記位置決め板15、前記各電極板16と同様に、装置組立時に前記ステーボス7,7を避け得るように、中央孔を有するドーナツ状とされている。
次に、前記導線取出部5について説明する。該導線取出部5は、図1に示すように、前記放熱ケース2の下面に固着される。前記導線取出部5は、前記各電極板16への給電路4bを前記放熱ケース2の内部に対して気密状態で配設するとともに、前記発熱体装置1を取付対象物22へと取り付けるための取付部としても作用する。
図3に示すように、前記導線取出部5は、スペーサー18とシールシャフト19とを備える。前記スペーサー18は金属製の有底筒体であり、その底部には、前記シールシャフト19を連結するためのシャフト連結孔20が形成されている。また、前記スペーサー18の上向き開口部の周縁には、外向きフランジ23が形成されている。該外向きフランジ23は、前記スペーサー18を前記放熱ケース2に固着する際に、前記第二ケース板2bの前記リング状凸部11に密着する(図1参照)。前記スペーサー18には小さな通気孔24が形成されている。この通気孔24は、後で述べるように、前記放熱ケース2内を減圧して真空にするためのものである。前記通気孔24は、前記放熱ケース2内を真空にした後には塞ぐ必要があるので、小孔としておくのが好ましい。前記スペーサー18は、前記両ケース板2a,2bと同様の金属材料で形成される。
前記シールシャフト19は、前記給電路としての二本の外部導線4b,4bが挿通されるシャフト部25と、該シャフト部25と前記二本の外部導線4b,4bとの間を気密にシールするシール材26と、を備える。
前記シャフト部25は、上端側に前記スペーサー18への連結部31を有し、下端側の外周に、前記取付対象物22への取付用のねじ溝27を有する。前記シャフト部25には、前記外部導線4b,4bを挿通するための二つの外部導線挿通孔28,28が形成されている。前記シャフト部25も、前記両ケース板2a,2bと同様の金属材料で形成される。
前記連結部31は、前記シャフト部25の外径よりやや小さい小径部29と、該小径部29と前記シャフト部25の外周面との間に形成される段部30と、を備える。前記スペーサー18への前記シャフト部25の連結状態において、前記小径部29は、前記スペーサー18の前記シャフト連結孔20に適合状態で嵌り込み、前記段部30が前記スペーサー18の底面の一部に当接する。この状態で、前記シールシャフト19が前記スペーサー18に対して適宜な固着方法で気密に接合される。具体的な固着方法としては、前記スペーサー18の内側から溶接する等の方法が挙げられる。
前記シール材26としては、前記シャフト部25と前記外部導線4b,4bとの間にしっかりとした気密性を付与し得るシール材であって、耐熱性、耐圧性等、前記発熱体装置1の使用環境に耐えるために必要な性能を備えた適宜の公知のものを使用する。例えば、高熱で溶かしたガラスを封入するハーメチックシールを用いることができ、あるいは、前記条件を満たす接着剤として、アルミナを主成分としアルコール系溶剤を溶媒とする無機接着剤等を使用することができる。なお、前記シャフト部25と前記外部導線4b,4bとの間の前記シール材26によるシールは、そのシール作業の容易性の観点から、前記シャフト部25を前記スペーサー18に固着する前に行うのが好ましい。
次に、前記発熱体装置1の製造方法について説明する。該発熱体装置1の製造は、前記放熱ケース2内への前記発熱機構3の配設工程、前記放熱ケース2の接合工程、前記放熱ケース2への前記導線取出部5の結合工程、前記放熱ケース2内を真空にする減圧工程の順で行われる。
前記放熱ケース2内への前記発熱機構3の配設工程として、まず、前記第一ケース板2aの内部に前記ステーボス7,7をスポット溶接等の方法で固着する。次いで、前記第一ケース板2aの内面に前記絶縁シート17をセットする。該絶縁シート17の中央部には孔があいているので、前記ステーボス7,7を避けてセットすることができる。前記第二ケース板2bの内面にも絶縁シート17をセットしておく。その後、前記第一ケース2aの前記絶縁シート17の上に前記発熱機構3を配設する。
具体的には、前記絶縁シート17の上に一枚の電極板16を重ね、その上に前記位置決め板15と前記各PTC14とを配設し、さらにその上にもう一枚の電極板16を配設する。このとき、前記両電極板16に接続されている前記両内部導線4aの内端部同士が互いに干渉し合ったり、それらが前記ステーボス7,7と干渉したりしないように、前記両電極板16の中央孔上で互いに対向する位置であって、且つ、前記ステーボス7,7から各々90°離れた角度位置に前記両内部導線4aの内端部が位置するように前記各電極板16を配設する。その後、前記各内部導線4a,4aを前記第二ケース板2bの前記導線取出孔10a,10bに通し、前記外向きフランジ6,9同士が面接触するように、絶縁シート17が既に配設されている前記第二ケース板2bを前記第一ケース板2a上に組み合わせる。
そして、前記第一ケース板2aの前記ステーボス7,7と前記第二ケース板2bの前記取付ねじ挿通孔10a,10bとの位置合わせを行い、前記第二ケース板2bの外側から前記取付ねじ挿通孔10a,10bに前記取付ねじ21を挿通し、これを前記第一ケース板2aの前記ステーボス7,7内へとねじ込む。これにより、前記ケース板2a,2b同士がそれらの中央部において互いに連結され、同時に、前記放熱ケース2内への前記発熱機構3の配設が完了する。この状態において、前記放熱ケース2の内部では、前記第一ケース板2aの前記内面8と前記第二ケース板2bの前記内面12とで前記発熱機構3が押圧挟持されている。そして、前記放熱ケース2の内部には前記PTC14がバランスよく分布し、これに対応して、各PTC14同士の間及び各PTC14と前記放熱ケース2の内周面との間には、中空部分がバランスよく(偏りなく)分布している。
次に、前記放熱ケース2の接合工程として、まず、互いに面接触している前記外向きフランジ6,9を外側から押圧し、それらを強く密着させる。そしてこの状態で、前記両フランジ6,9の全周縁を溶接し、両フランジ6,9間を気密に接合する。この際、前記両ケース板2a,2bの酸化を防止するため、溶接は不活性雰囲気中で行うのが好ましい。また、溶接の熱により内部の前記絶縁シート17等が損傷しないようにするため、前記両ケース板2a,2bは、溶接中、溶接部分以外の箇所を積極的に冷却することが好ましい。
次に、前記放熱ケース2への前記導線取出部5の結合工程として、該導線取出部5の前記外部導線4b,4bと、前記電極板16,16から延び出している前記内部導線4a,4aとを、適当な長さに切断する。そして、接続用スリーブ32(図1参照)を圧着する等の方法で前記導線4a,4b同士を接続する。次いで、前記接続用スリーブ32及び前記導線4a,4bを前記スペーサー18の内部に収容した状態で、前記導線取出部5を前記放熱ケース2に対して気密に連結する。具体的には、前記第二ケース板2bの前記リング状凸部11上に前記スペーサー18の前記外向きフランジ23を重ね合わせ、その重合部の全周を気密に溶接する。この時、溶接の熱で内部の前記導線4a,4bの耐熱被覆チューブが焼損しないように、前記スペーサー18内に収容される前記導線4a,4bをガラス繊維等でできた耐熱保護チューブで予め覆っておくのが好ましい。
次に、前記放熱ケース2内を真空にする減圧工程として、前記放熱ケース2と前記導線取出部5の一体品である発熱体装置の半製品を気密槽(図示せず)に入れ、該気密槽内を真空引きする。これにより、前記スペーサー18の前記通気孔24を介して前記放熱ケース2内の空気が吸い出される。真空度は、10−2〜10−4Torr程度とする。真空引きが終了すると、真空状態のままの気密槽の内部において、前記スペーサー18の前記通気孔24をビーム溶接等によって気密に塞ぐ。これにより、前記発熱体装置1が完成する。前記減圧工程の実施により、前記放熱ケース2内に偏りなく分布している中空部分が真空状態に保持され、その結果、前記第一ケース板2aの前記内面8と前記第二ケース板2bの前記内面12との間に、相互接近方向への大きな引き付け力が偏りなく常時作用した状態(前記第一ケース板2aの外面と前記第二ケース板2bの外面が大気によって相互接近方向へと強く押圧された状態)が得られる。
図1に示すように、前記発熱体装置1は、加熱すべき液体を貯留するタンク(取付対象物)22に取り付けて使用することができる。すなわち、前記放熱ケース2が前記タンク22内に配置され、前記シャフト部25が前記タンク22の取付孔33に挿通される。前記タンク22の内面と前記スペーサー18との間には、樹脂製又はゴム製等のパッキン34が介装される。該パッキン34の材質は、加熱される液体の種類に応じて最適なものが適宜選択される。前記タンク22の外側に突出する前記シャフト部25にワッシャ35を装着し、前記ねじ溝27に適合するナット36を締め付ける。
前記外部導線4b,4bを介して前記各電極板16,16に通電することにより、前記各PTCが発熱する。この熱は前記放熱ケース2に伝導し、前記タンク22内の液体が加熱される。前記絶縁シート17,17は、前記各電極板16,16に供給される電力が前記各ケース板2a,2bへと漏電することを防止する。
前記発熱体装置1において、前記第一ケース板2a及び前記第二ケース板2bは、それらの中央部を前記取付ねじ21,21で相互接近方向に締め付けられており、さらに、前記両ケース板2a,2bの周縁部(外向きフランジ)6,9が相互に押圧された状態で互いに連結されている。加えて、前記放熱ケース2内に強い真空度が付与されることで、前記第一ケース板2aの内面8と前記第二ケース板2bの内面12の全体に相互に接近する方向の引き付け力が常時作用した状態となっている。このため、前記放熱ケース2内が真空とされていない従来技術に比べて、前記放熱ケース2の内面が前記発熱機構3により強く且つ偏りなく圧接するとともに、この圧接力に起因して、前記各電極板16と前記各PTC14も強い力で偏りなく互いに圧接している。その結果、前記発熱体装置3の出力やサイズの大小に拘わらず、前記発熱機構3における発熱効率が良好となり、且つ、該発熱機構3で発生した熱の前記放熱ケース2への伝導性も良好となる。この効果は、前記PTC14を何十個も内蔵し、それに対応して前記放熱ケース2の面積も大きい大型発熱体装置において特に顕著に現れる。
また、前記発熱体装置1においては、真空により前記第一ケース板2aの内面8と前記第二ケース板2bの内面12との間に作用する相互接近方向への引き付け力が前記発熱体装置1の耐用期間を通じて持続するため、長期使用に基づく大きな温度変化の繰り返しにより装置の各部に従来生じ易かった歪みに対しても良好な耐性を有することになる。また仮に、長期使用により装置の各部に歪みが生じてきたとしても、真空による引き付け力により、前記第一ケース板2a及び前記第二ケース板2bの前記発熱機構3への偏りのない大きな圧接力が高いレベルに維持される。よって、前記発熱体装置1の性能の低下が防止される。
さらに、前記放熱ケース2の内外が気密に遮断されているので、放熱ケース2の内部に結露を生ずることがない。このため、従来みられた結露による障害が生ずる余地がなく、前記発熱体装置1の寿命が長くなる。
前記発熱体装置1の各部に種々の変更を加えた他の実施の形態も採用できる。
例えば、前記実施の形態では、前記PTC14を8個内蔵し、前記放熱ケース2が円形の場合について説明したが、PTC14の個数はそれより少なくても多くても本発明は適用可能であるし、さらに、放熱ケースの平面形状にも制限はない。例えば、図4に示すような大型サイズ(PTC14を16個内蔵)や、平面視四角形状等の放熱ケース2’を有する発熱体装置1’とすることもできる。出力の大きなものは、前記導線取出部5を複数箇所に(複数)配設することも可能である。
また、前記放熱ケース2における前記取付ねじ21,21の配設位置は、必ずしも前記放熱ケース2の中央部付近でなくてもよく、図2の例よりも中央部から周縁方向へさらに外れた位置であってもよい。前記取付ねじ21,21の本数にも制限はなく、真空により前記第一ケース板2aと前記第二ケース板2bとの間に強い引き付け力が作用するので、前記取付ねじ21,21を有しない態様での実施も可能となる。
さらに、前記放熱ケース2の減圧工程を別の方法で行うこともできる。例えば、図5に示すように、真空引き用の吸気パイプ37を放熱ケース2に予め一体に形成しておき、真空引き後に前記吸気パイプ37を閉塞し、その閉塞部38より先の不要な部分をカットする。また、前記吸気パイプ37を閉塞する方法に代えて、前記吸気パイプ37の途中に手動式等のバルブを設けた態様とすることもできる。
Claims (2)
- 周縁部が気密に連結される第一ケース板及び第二ケース板からなる金属製の放熱ケースと、前記両ケース板間に挟持されて前記放熱ケース内に分布する複数の磁器半導体発熱体と、前記各ケース板の内面側で前記各磁器半導体発熱体に接触する電極板と、該各電極板とこれに対応する前記各ケース板の内面との間を絶縁する絶縁層と、を備え、前記各電極板への給電路が前記放熱ケースの内部に対して気密に配設され、且つ、前記第一ケース板の内面と前記第二ケース板の内面とに相互接近方向への引き付け力が常時作用するように前記放熱ケース内の中空部分が真空状態に保持されている、発熱体装置。
- 請求項1に記載の発熱体装置の製造方法であって、前記発熱体装置として完成する前の半製品の一部に前記中空部分に連通する通気孔を設け、該通気孔を有する半製品を気密槽内に入れて該気密槽内を真空引きし、該気密槽内で前記通気孔を気密に閉塞する、発熱体装置の製造方法
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